JPH1083580A

JPH1083580A - 光ディスク測定装置

Info

Publication number: JPH1083580A
Application number: JP23769396A
Authority: JP
Inventors: Shigeru Takekado; 茂竹門
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1996-09-09
Filing date: 1996-09-09
Publication date: 1998-03-31

Abstract

(57)【要約】【課題】光ディスクの構造的特性である偏心、傾き、面
振れの各測定項目を同時にかつ高速に測定できるように
して、光ディスクの製造工程におけるインライン全数自
動検査に適用可能な光ディスク測定装置を提供すること
にある。【解決手段】本発明の光ディスク測定装置は、レーザ照
射手段と面振れ検出手段とが一体化されたレーザドップ
ラ速度計３と、光ディスク１からの反射光である０次回
折光に基づいて傾きを検出する第１の２次元受光素子５
と、光ディスク１からの反射光である１次回折光に基づ
いて偏心を検出する第２の受光素子５とを備えたもので
ある。このような測定装置により、レーザドップラ速度
計３から測定用のレーザ光を放射することにより、回転
中の光ディスク１の面振れ、傾き、偏心の各測定結果を
同時に測定することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、特にレーザ光を利
用して情報を記録または再生するための光ディスクの面
振れ、傾き、偏心の構造的特性を測定するための光ディ
スク測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、レーザ光を利用して、光ディスク
上に情報（オーディオ信号、映像信号等を含む）を記録
または再生する光ディスク装置が一般的になりつつあ
る。ここでは、光ディスク装置とは、コンパクトディス
ク（ＣＤ）、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ（書込み可能なＣ
Ｄ−ＲＯＭ）、レーザディスク（ＬＤ）、およびＤＶＤ
（ディジタル・ビデオ・ディスクまたはディジタル・バ
ーサタイル・ディスク）などのディスクを記録媒体とし
て使用する広範囲な装置を意味する。

【０００３】光ディスク装置は、概略的にはディスク上
に照射したレーザ光の反射率の変化により記録した情報
パターンを検出する方式であり、その反射率の変化を発
生するための回折格子に相当するパターン（ピット、案
内溝を構成する凹凸部などから構成された情報パター
ン）が記録されたディスクを使用する。ディスク上に
は、疑似同心円状またはスパイラル（ｓｐｉｒａｌ）状
のトラックフォーマットからなるパターンが記録され
る。

【０００４】光ディスク装置では、レーザ光の光ビーム
をディスク上のパターン（ピット等の微小マーク）に照
射して、その反射光（０次回折光と１次回折光）により
情報を検出する。従って、回転運動するディスクに面振
れ（反射面の変位）、傾き（オプティカルティルト）、
偏心が発生すると、光ビームの照射位置に対する焦点ず
れや光ビームスポットのトラックずれが発生し、最悪の
場合には情報の記録再生は不可能となる。このため、例
えば光ディスク装置の製造工程において、回転駆動機構
に固定されて、回転運動中のディスクに対する面振れ、
傾き、偏心の構造的特性を測定する測定工程は重要な工
程の一つである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前述したように、光デ
ィスク装置の製造工程において、回転運動中のディスク
に対する面振れ、傾き、偏心の構造的特性を測定する測
定工程は重要である。従来の測定方式としては以下の３
方式がある。まず、通常のディスク読取装置と同様の装
置を使用して、回転中のディスク上の任意のトラックを
光ピックアップを保持するアクチュエータにより追従さ
せて、その光ピックアップに対してサーボをかけること
により、そのアクチュエータ変位量を検出する第１の方
式がある。また、機械系の一般的な芯振れ測定方式と同
様に、光学的顕微鏡によりディスクを上から観察しなが
ら、ディスク上のトラック溝のエッジ部分からの反射光
をＣＣＤラインセンサなどのエリアセンサの受光面に結
像させて、ディスクの回転によるエッジ部分の移動量を
測定する第２の方式がある。さらに、回折格子であるパ
ターンにレーザ光を照射したときに、反射してくる０次
回折光（正反射の回折光）と１次回折光（正反射軸に対
して所定の傾き角度φを有する回折光）との位置をエリ
アセンサで測定し、０次回折光から傾きを測定し、また
１次回折光から偏心を測定する第３の方式がある。

【０００６】しかしながら、前記の各検出方式には以下
のように問題がある。まず、各検出方式の共通問題とし
て、面振れ、傾き、偏心の各測定項目を同時に測定する
ことは困難である。従って、各測定項目を別々に測定す
ることになるため、測定効率を向上させることが困難で
ある。

【０００７】前記第１の検出方式は、サーボやアクチュ
エータの追従性の精度に問題があり、各測定項目の物理
量を直接測定することができないため、高速測定ができ
ない。光ピックアップの特性やサーボ回転特性がそのま
ま測定結果に反映されるため、測定装置毎に測定結果の
ばらつきが発生する。アクチュエータの機械的特性の影
響を受けて、アクチュエータの可動範囲を越える変位に
対しては測定不能となる。アクチュエータのレンズを吊
っているゴムやワイヤが劣化するための経年変化があ
り、それが測定誤差になる。さらに、数ｍＶの電気的な
ばらつきにより敏感にバランスが崩れるので、常に校正
のためのメンテナンスが必要となり、メンテナンス作業
が複雑化する。また、測定装置を構成要素として高精度
の素子が必要であり、校正手段により装置構成が複雑に
なるためコスト高となる。

【０００８】第２の検出方式は、測定対象のディスクの
変位によりディスクとセンサとの間の距離が一定で無く
なると、結像関係が崩れてセンサ上の画像のピントがず
れて測定不能となる。また、光学的顕微鏡で観察しなが
ら測定ビームを、回転中の光ディスクのトラックのエッ
ジ部分に合わせるという煩わしい操作を必要とするの
で、高速測定が困難である。第３の検出方式は面振れの
測定が原理的に不可能である。

【０００９】ところで、光ディスク装置を製造する場合
に、光ディスクの回転中心とトラック中心とを一致させ
るように設計されているが、実際にはトラック中心にメ
ディアハブを位置決めして取り付けるチャッキング工程
において、光ディスクの回転中心とトラック中心との間
にずれ（偏心）が発生することがある。また、メディア
ハブ自身が、光ディスクに対して斜めに傾いて取り付け
られている可能性もある。さらに、光ディスクの表面も
常に理想的な平面であるとは限らない。これらの不具合
が光ディスクの偏心、傾き、面振れとして現れて、製品
の品質を損なうことになる。従って、インライン全数製
品の検査工程において、それらの光ディスクの構造的特
性（機械的特性）である偏心、傾き、面振れの各測定項
目を同時にかつ高速に測定できることが望ましい。しか
しながら、前記の各検出方式は、各測定項目の同時測定
と高速測定が困難である。具体的には、検査工程におい
て、１枚の光ディスクに対して、少なくとも数十秒から
数分を要し、またレンズの微妙なピント調整も実際上で
は困難である。このため、実際には、完成品のサンプル
検査や試作品の検査にしか利用できず、製造工程中の通
常数秒以内の検査が要求される半製品を含む光ディスク
のインライン全数自動検査には適用できない。

【００１０】本発明の目的は、光ディスクの構造的特性
（機械的特性）である偏心、傾き、面振れの各測定項目
を同時にかつ高速に測定できるようにして、光ディスク
の製造工程におけるインライン全数自動検査に適用可能
な光ディスク測定装置を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、近似的同心円
状またはスパイラル状の回折格子に相当するパターンが
設けられた光ディスクを測定対象とする光ディスク測定
装置である。本装置は、光ディスクを回転するための回
転駆動手段と、回転駆動手段により回転運動中の光ディ
スクに対して測定用レーザ光を照射するためのレーザ照
射手段と、測定用レーザ光が照射された光ディスクの表
面からの反射光である０次回折光に基づいて光ディスク
上の反射点の面振れ速度を検出するための面振れ検出手
段と、光ディスクの表面からの反射光である０次回折光
を受光して、２次元座標位置を検出するための第１の座
標検出手段と、光ディスクの表面からの反射光である１
次回折光を受光して、１次元または２次元座標位置を検
出するための第２の座標検出手段と、面振れ、傾き、偏
心の各測定結果を出力する測定処理手段とを備えてい
る。

【００１２】具体的には、レーザ照射手段と面振れ検出
手段とは、レーザドップラ速度計により一体化されてい
る。レーザドップラ速度計は、光ディスクの表面（回折
格子面）にレーザ光を照射し、その回折格子面から正反
射された０次回折光を例えばビームスプリッタを介して
受光し、回折格子面のレーザ入射方向の速度変動を検出
する。即ち、レーザ光をディスク回転中心と平行に入射
させることにより、回折格子面の面振れ方向速度を検出
する。測定処理手段は、検出した速度を電気的（アナロ
グ演算）または数値的に積分して面振れ変位を測定す
る。また、測定処理手段は、フリンジカウンタを使用す
ることにより、レーザ検出信号のフリンジ変化をカウン
トすることにより直接に面振れ変位を測定する。

【００１３】第１の座標検出手段は２次元受光素子（Ｐ
ＳＤやＣＣＤなど）からなり、例えばビームスプリッタ
を介して０次回折光を受光し、光の中心に対する２方向
の傾き角を検出する。ここで、光ディスクの回折格子面
が角度ａだけ傾くと、角度２ａだけ傾いた光が反射され
てくる。また、具体的には、２次元受光素子の前に、光
を集光するためのコリメータレンズを配置することによ
り、面振れによる格子面の位置ずれに関係なく、傾きに
応じた２次元受光素子の位置に光を集光させて、光ディ
スクの格子面の傾きを高精度に測定することができる。

【００１４】光ディスクの回折格子面にレーザ光が照射
されると、正反射の０次回折光に対してほぼ一定角度φ
だけ傾いて反射される１次回折光がある。第２の座標検
出手段は例えば２次元受光素子（１次元受光素子でもよ
い）からなり、その１次回折光を集光手段であるコリメ
ータレンズを介して受光する。ここで、１次回折光の傾
き角度φは、光の波長をλ、格子間隔をｄとした場合
に、「φ＝ｓｉｎ^-1（λ／ｄ）」の式から算出される。
従って、第２の座標検出手段を第１の座標検出手段の位
置（０次回折光の正反射軸）に対して、角度φだけずれ
た位置に配置して、第２の２次元受光素子から第１の２
次元受光素子の出力を差し引くことにより、トラックの
返信量を測定することができる。１次回折光は回折格子
に直交する方向に反射してくる。このため、１次回折光
に対する２次元受光素子の出力から０次回折光の２次元
受光素子の出力を差し引いたものは、回折格子の接線の
傾き方向を示している。接線の傾きを示す出力を一筆書
き風に繋げていけば、回折格子の形を求めて偏心量を求
めることができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の実施
の形態を説明する。図１は本実施形態に関係する光ディ
スク測定装置の構成を示すブロック図であり、図２は本
実施形態の動作を説明するための図である。（装置の構成）本装置は、図１に示すように、測定対象
である光ディスク１を回転させるスピンドル機構２と、
測定用のレーザ光を放射し面振れ速度を検出するための
レーザドップラ速度計（ＬＤＶ）３と、ビームスプリッ
タ４と、光ディスクの傾きを検出するための第１の２次
元受光素子５と、集光手段である第１のコリメータレン
ズ６と、光ディスクの偏心を検出するための第２の２次
元受光素子７と、第２のコリメータレンズ８と、各検出
信号を処理して測定結果を出力するための測定信号処理
装置９を備えている。

【００１６】測定対象の光ディスク１としては、ほぼ近
似的同心円状またはスパイラル（ｓｐｉｒａｌ）状の回
折格子に相当するパターン（ピットまたは凹凸表面形状
などの情報トラック）が設けられたものを想定してい
る。ＬＤＶ３は、光ディスク１にレーザ光を照射し、光
ディスク１から反射された０次回折光を受光して反射点
の面振れ速度を検出する。

【００１７】ビームスプリッタ４は、ＬＤＶ３からのレ
ーザ光を直交方向に反射して光ディスク１の表面にガイ
ドする。一方、ビームスプリッタ４は、光ディスク１か
らの０次回折光１０を第１の２次元受光素子５とＬＤＶ
３とに分離してガイドする。第１の２次元受光素子５
は、第１のコリメータレンズ６による焦点距離ｆ１の位
置に配置されており、ビームスプリッタ４を介して反射
された０次回折光１０を受光して結像する。

【００１８】第２の２次元受光素子７と第２のコリメー
タレンズ８は、正反射の０次回折光１０に対して角度φ
だけ傾いた位置に配置されている。第２の２次元受光素
子７は、第２のコリメータレンズ８による焦点距離ｆ２
の位置に配置されており、光ディスク１から反射された
１次回折光１１を受光して結像する。（本実施形態の測定動作）まず、ＬＤＶ３から照射され
たレーザ光は、ビームスプリッタ４により直交方向に反
射されて、光ディスク１上にガイドされる。光ディスク
１上に照射されたレーザ光に対する反射光である０次回
折光１０は、ビームスプリッタ４により第１の２次元受
光素子５とＬＤＶ３のそれぞれに分離される。即ち、０
次回折光１０は、ビームスプリッタ４により直交方向に
反射されて、ＬＤＶ３に戻ることになる。ＬＤＶ３は、
レーザ光をディスク回転中心と平行に入射させることに
より、格子面（光ディスク１の反射点）の面振れ速度を
検出する。

【００１９】測定信号処理装置９は、例えばＬＤＶ３か
らの面振れ速度検出信号を積分するためのアナログ演算
回路を有し、光ディスク１の面振れ変位を測定する。ま
た、測定信号処理装置９はＡ／Ｄコンバータとマイクロ
プロセッサを有し、面振れ速度検出信号をディジタルデ
ータに変換してマイクロプロセッサに入力し、マイクロ
プロセッサの数値演算により光ディスク１の面振れ変位
を測定する。

【００２０】また、光ディスク１から反射された０次回
折光１０は、ビームスプリッタ４により第１の２次元受
光素子５の方向に直進する。ここで、光ディスク１が入
射光に対して角度ａだけ傾いていると、０次回折光１０
は角度２ａだけ傾く。第１の２次元受光素子５上に０次
回折光１０の光ビームが照射されて結像したときに、光
の中心に対するずれ量をｂとしたとき、傾き角ａは「ａ
＝ｂ／（２ｆ１）」の式により求められる。傾き角は二
方向あるため、当然ａ，ｂは２次元ベクトルとして扱う
ことにより２つの傾き角を求める。即ち、測定信号処理
装置９は第１の２次元受光素子５からの検出信号に基づ
いて、前記式「ａ＝ｂ／（２ｆ１）」の演算を実行して
光ディスク１の傾き（傾き角ａ）を算出する。ここで、
第１のコリメータレンズ６は、光ディスク１の面振れに
よる第１の２次元受光素子５と光ディスク間の距離の変
動を吸収するために設けられている。

【００２１】さらに、光ディスク１の回折格子により生
ずる１次回折光１１は、正反射光である０次回折光に対
して角度φだけ傾き、回折格子の接線方向に生ずる。こ
の角度φは、「φ＝ｓｉｎ^-1（λ／ｄ）」の式により算
出される。但し、光の波長をλ、格子間隔をｄとする。

【００２２】第２の２次元受光素子７と第２のコリメー
タレンズ８は、正反射の０次回折光１０に対して角度φ
だけ傾いた位置に配置されている。この第２の２次元受
光素子７により測定される位置は、光ディスク１面の傾
きによる傾き角２ａと回折格子の接線方向の成分が重な
ったものであるため、傾き部を差し引くことにより回折
格子の接線方向が観測される。ここで、第２のコリメー
タレンズ８は、光ディスク１の面振れの影響を除くため
である。即ち、測定信号処理装置９は、１次回折光１１
に対する２次元受光素子７の出力から０次回折光１０の
２次元受光素子５の出力を差し引いたものは、回折格子
の接線の傾き方向を示している。接線の傾きを示す出力
を一筆書き風に繋げていけば、回折格子の形を求めて偏
心量を求めることができる。なお、前記の第２の２次元
受光素子７は１次元受光素子であってもよい。

【００２３】ここで、図２を参照して、光ディスク１の
偏心の測定原理について具体的に説明する。いま仮に、
歪、偏心のない理想的な光ディスクをｄ０とし、回転中
心をＳ、測定点をＯａとする。回転中心Ｓが一致して、
理想的な光ディスクｄ０（以下理想ディスクと称する）
に対して歪んで偏心のある測定ディスクをｄ１とする。
測定点Ｏａを原点として、理想ディスクｄ０上に（Ｘ，
Ｙ，Ｚ）直交座標系を想定する。Ｘ座標は回転中心Ｓの
直線上であり、Ｚ座標は理想ディスクｄ０の面外方向に
取る。

【００２４】次に、測定ディスクｄ１とＺ座標の交点を
Ｏｂとし、この交点Ｏｂ上で測定ディスクｄ１の接平面
Ｓを想定する。この交点Ｏｂを通過して接平面Ｓに直交
する軸Ｚｓと、Ｚ−Ｚｓ平面上でＯｂを通り、Ｚｓに対
しＺと対象位置にある軸Ｚｂを想定する。このＯｂを通
り、Ｚｂと直交する平面をＳｂとする。この平面Ｓｂ上
で回折格子に直交する方向に軸Ｘｂを想定する。測定デ
ィスクｄ１は測定点Ｏａで、Ｘ，Ｙ軸回りの傾き角α，
βと面振れｄを有するが、Ｏａ−Ｏｂ間の距離が面振れ
ｄ、Ｚ軸と軸Ｚｂとの傾きがα，βを与えることにな
る。

【００２５】このような前提において、Ｚ軸方向からレ
ーザ光が入射すると、Ｚｂ軸上に０次回折光が反射され
る。Ｚ軸上に第１の２次元受光素子５を配置することに
より、０次回折光の光の位置からＺｂ軸の傾きを求める
ことができる。この傾きから測定点Ｏａの傾き角α，β
を求めることができる。このとき、０次回折光には、面
振れｄの影響が入り、（ｄβ，ｄα）の誤差を与えるた
め第１の２次元受光素子５の前に第１のコリメータレン
ズ６を配置することにより、面振れｄの影響を除くこと
ができる。また、面振れｄは、前述したように、ＬＤＶ
３により測定されるため、計算により誤差を低減するこ
とができる。

【００２６】測定ディスクｄ１上には、ミクロンオーダ
の等ピッチで反射率の変化するスパイラル（近似円）が
書かれているため、回折格子を形成することになり、Ｘ
ｂ，Ｚｂ平面上にＺｂ軸から角度φだけ傾いた１次回折
光が反射される。ここで、回折格子の中心に偏心εがあ
るとき、（Ｘ，Ｙ，Ｚ）の固定座標系において１次回折
光を観測することを想定する。回転中心Ｓと測定点Ｏａ
との距離をｒとする。そして、Ｘ，Ｚ平面上にＺ軸から
角度φだけ傾いた直線上に、Ｘ軸上で測定点Ｏａから距
離Ｌの位置に２次元センサである２次元受光素子７また
はＹ方向の変位を測定する１次元センサを配置する。

【００２７】１次回折光は、測定ディスクｄ１の面振れ
ｄの影響、Ｚｂ軸の傾きの影響、および偏心εの影響が
同時に観察される。偏心εの影響は、ディスク回転数
ω、時間ｔとした場合に、Ｙ方向に「Ｙ＝（Ｌ／ｒ）・
ε・ｓｉｎ（ωｔ）」として観察される。従って、セン
サ出力から、Ｚｂ軸の傾きによる影響と面振れｄの影響
を差し引くことにより、偏心εを求めることができる。
偏心センサは基本的には１次元センサでよいが、１次回
折光は測定面の傾きのため２次元的に動くので、２次元
受光素子７からなる２次元センサによる構成の方が望ま
しい。

【００２８】

【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、測
定対象である光ディスクに測定用のレーザ光を照射した
ときの光ディスクからの反射光である０次回折光と１次
回折光を利用する方式により、光ディスクの面振れ、傾
き、偏心のそれぞれを同時に高精度で測定することが可
能である。従って、結果的に光ディスクの構造的特性
（機械的特性）である偏心、傾き、面振れの各測定項目
を高速に測定できることになる。これにより、光ディス
クの製造工程において、インライン全数自動検査に適用
することができる。また、傾き、偏心の測定手段として
オートコリメータの構造により単に受光位置の変位を検
出する方式であるため、測定対象である光ディスクの厚
さ、格子のピッチの影響を受けず、レンズの微妙なピン
ト調整などを不要にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に関係する光ディスク測定装
置の構成を示すブロック図。

【図２】本実施形態に関係する測定動作を説明するため
の図。

【符号の説明】

１…光ディスク２…スピンドル機構（回転駆動機構）３…レーザドップラ速度計（ＬＤＶ）４…ビームスプリッタ５…第１の２次元受光素子（傾き検出手段）６…第１のコリメータレンズ（集光手段）７…第２の２次元受光素子（偏心手段）８…第２のコリメータレンズ（集光手段）９…測定信号処理装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】近似的同心円状またはスパイラル状の回
折格子に相当するパターンが設けられた光ディスクを測
定対象とする光ディスク測定装置であって、前記光ディスクを回転するための回転駆動手段と、前記回転駆動手段により回転運動中の前記光ディスクに
対して測定用レーザ光を照射するためのレーザ照射手段
と、前記測定用レーザ光が照射された前記ディスクの表面か
らの反射光である０次回折光に基づいて、前記光ディス
クの反射点の面振れ速度を検出するための面振れ検出手
段と、前記光ディスクの表面からの反射光である０次回折光を
受光して、２次元座標位置を検出するための第１の座標
検出手段と、前記光ディスクの表面からの反射光である１次回折光を
受光して座標位置を検出するための第２の座標検出手段
と、前記面振れ検出手段により検出された面振れ速度に基づ
いて前記回転運動中の光ディスクの面振れ、前記第１の
座標検出手段による検出結果に基づいて前記回転運動中
の光ディスクの傾き、前記第２の座標検出手段による検
出結果に基づいて前記回転運動中の光ディスクの偏心の
各測定結果を出力する測定処理手段とを具備したことを
特徴とする光ディスク測定装置。
【請求項２】近似的同心円状またはスパイラル状の回
折格子に相当するパターンが設けられた光ディスクを測
定対象とする光ディスク測定装置であって、前記光ディスクを回転するための回転駆動手段と、前記回転駆動手段により回転運動中の前記光ディスクに
対して測定用レーザ光を照射するためのレーザ照射手段
と、前記測定用レーザ光が照射された前記光ディスクの表面
からの反射光である０次回折光に基づいて、前記光ディ
スク上の反射点の面振れ速度を検出するための面振れ検
出手段と、前記光ディスクの表面からの反射光である０次回折光を
受光して、２次元座標位置を検出するための第１の座標
検出手段と、前記測定用レーザ光を前記光ディスクの表面にガイド
し、前記光ディスクの表面からの反射光である０次回折
光を複数の光ビームに分離して一方の光ビームを前記第
１の座標検出手段にガイドし、他方の光ビームを直交方
向である前記面振れ検出手段にガイドするためのビーム
スプリッタ手段と、前記ビームスプリッタ手段からの光ビームを集光して前
記第１の座標検出手段に入射させる第１の集光手段と、前記光ディスクの表面からの反射光である１次回折光を
受光して座標位置を検出するための第２の座標検出手段
と、前記１次回折光である光ビームを集光して前記第２の座
標検出手段に入射させる第２の集光手段と、前記面振れ検出手段により検出された面振れ速度に基づ
いて前記回転運動中の光ディスクの面振れ、前記第１の
座標検出手段による検出結果に基づいて前記回転運動中
の光ディスクの傾き、前記第２の座標検出手段による検
出結果に基づいて前記回転運動中の光ディスクの偏心の
各測定結果を出力する測定処理手段とを具備したことを
特徴とする光ディスク測定装置。
【請求項３】面振れ検出手段はレーザドップラ速度計
を有し、前記測定処理手段は前記レーザドップラ速度計
により検出された面振れ速度に基づいて前記光ディスク
の反射面の変位に相当する面振れの測定値を算出する計
算手段を有することを特徴とする請求項１または請求項
２記載の光ディスク測定装置。
【請求項４】前記第１の座標検出手段は０次回折光を
受光する２次元受光素子からなる光ビーム座標検出器を
有し、光の中心位置に対する前記光ディスクの表面から
の反射光の傾き角を検出し、前記測定処理手段は前記反
射光の傾き角に基づいて回転運動中の光ディスクの傾き
を測定することを特徴とする請求項１または請求項２記
載の光ディスク測定装置。
【請求項５】第２の座標検出手段は１次回折光を受光
する２次元受光素子からなる光ビーム座標検出器を有
し、前記０次回折光を軸として所定の傾き角度を有する
前記１次回折光の変位を検出し、前記測定処理手段は前
記１次回折光の変位と前記光ディスクの回転数に基づい
て回転運動中の光ディスクの回折格子の中心に対する偏
心を測定することを特徴とする請求項１または請求項２
記載の光ディスク測定装置。