JP2001194317A

JP2001194317A - 欠陥検査光学系、欠陥検査装置および欠陥検査方法

Info

Publication number: JP2001194317A
Application number: JP2000325199A
Authority: JP
Inventors: Takayuki Ishiguro; 隆之石黒; Hiroshi Nakajima; 洋中島
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1999-10-27
Filing date: 2000-10-25
Publication date: 2001-07-19

Abstract

(57)【要約】【課題】裏面の欠陥にほとんど影響されることなく、高
い精度で検出できる欠陥検出光学系および検査装置裏面
を提供することにある。【解決手段】この発明は、リング状の光束を受ける中空
の光学部材により受けたリング状の光束を光ビームとし
てディスクの表面に集束させ、光学部材の中空に向かう
ディスク表面からの散乱光を対物レンズで受光してこの
対物レンズを介して散乱光を受光器に受光させるもので
ある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、欠陥検査光学
系、欠陥検査装置および欠陥検査方法に関し、詳しく
は、磁気ディスクあるいはそのガラス基板（ガラスサブ
ストレート）の表面欠陥検査装置において、ガラス表面
のスクラッチやカケ欠陥、突起欠陥等の大きさ、あるい
は大きさと深さ、大きさと高さのなどの検出が裏面の欠
陥にほとんど影響されることなく、高い精度で検出でき
るような欠陥検出光学系、これを用いる欠陥検査装置お
よび欠陥検査方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータシステムの記録媒体に使用
されるハード磁気ディスクは、素材としての基板ディス
ク（サブストレート）、または磁気膜が塗布された磁気
ディスク（便宜上これらを総称して磁気ディスクまたは
単にディスクという）の段階で、表面に存在する欠陥と
その大きさとがそれぞれ検査される。近年、ディスクの
大きさは、３．３インチか、これ以下のものが主流とな
り、その記録密度もＧＭＲヘッドの採用により飛躍的に
伸びている。この種のディスクでは、アルミサブストレ
ートから、より熱膨張率の小さいガラスディスクが使用
され、その厚さも、０．６ｍｍ〜０．８ｍｍ程度と薄い
ものである。

【０００３】図４は、従来の磁気ディスクの表面欠陥検
査装置１０の要部構成を示している。図４（ａ）に示す
表面欠陥検査装置１０は、回転機構２と検出光学系３お
よび表面欠陥検出処理部４とにより構成される。検査対
象となるディスク１は、回転機構２のスピンドル２１に
装着されてモータ（Ｍ）２２の駆動により回転する。こ
れに対して検出光学系３は、その投光系３１のレーザ光
源３１１よりのレーザビームＬ_Tを集束レンズ３１２に
より集束させて、ディスク１の表面にスポットＳ_Pを形
成してディスク１の表面を照射する。例えば、ディスク
１のＸ軸方向の移動によりスポットＳ_Pは、ディスク１
の半径Ｒの方向に移動し、これによりディスク１の表面
がスパイラル状に走査される。この場合、走査時間をで
きるだけ短くするために、スポットＳ_Pは、下側に図
（ｂ）として示すように短径φ₁と長径φ₂を有する楕円
形とされ、長径φ₂を走査方向に対して直角に設定して
走査幅を広くする方法が採られる。

【０００４】表面に存在する欠陥Ｆは、スポットＳ_Pの
光を散乱する。その散乱光Ｓ_Rは、受光系３２の集光レ
ンズ３２１により集光されて、光電変換素子、例えば、
アバランシェホトダイオード（ＡＰＤ）あるいは光電子
増倍管（ＰＭＴ）よりなる受光器３２２に受光される。
受光器３２２の出力信号は、表面欠陥検出処理部４の信
号処理回路４１に入力される。ここで、欠陥Ｆが検出さ
れ、さらに、この出力信号の振幅より、欠陥の大きさが
大小分類され、あるいは算出される。欠陥を検出し、大
きさを分類あるいは算出のために信号処理回路４１は、
いわゆるサンプリングにより欠陥を検出する回路であっ
て、受光器３２２からの出力信号を増幅するアンプと、
ロータリエンコーダ２３からのパルスを受けて増幅され
た出力信号のうちノイズを越える欠陥についての出力信
号についてピーク値をサンプリングして欠陥のピーク値
を検出するサンプリング回路と、さらにサンプリングさ
れたピーク値をデジタル値にするためのＡ／Ｄコンバー
タ、そしてロータリエンコーダ２３からのパルスを受け
てディスク上の位置データを生成する位置データ生成回
路等からなる。

【０００５】各欠陥の大きさのデータとディスク上の位
置のデータは、信号処理回路４１の内部でＡ／Ｄ変換さ
れ、ＭＰＵ４２とメモリ４３等とからなるデータ処理装
置４４に入力される。そしてここで、大きさ別の個数が
カウントされ、その結果がディスク１における欠陥の位
置とともにプリンタ（ＰＲ）４５によりプリントアウト
される。あるいはまた、その大きさがディスプレイ（Ｃ
ＲＴ）４６等にディスク上の位置とともに表示され、カ
ウント値も別途表示される。なお、ロータリエンコーダ
２３は、モータ２２の回転軸に隣接してあるいはこれに
係合して設けられ、ディスクの基準回転位置と回転量と
を検出し、それぞれのパルス信号を信号処理回路４１に
送出する。

【０００６】さて、ディスク１における欠陥Ｆの形状は
さまざまなものがある。その一例を図５に示す。図５に
おいて、欠陥Ｆ_hは、皿状のものであって、比較的に大
きい直径Ｄ_hを有し、これに比べて深さｄ_hが浅い。欠陥
Ｆ_Pは、井戸状のものであって、直径Ｄ_Pは比較的に小さ
いが、深さｄ_Pは大きく、ピットとよばれるものであ
る。なお、両欠陥Ｆ_h,Ｆ_Pは、孤立して存在することが
多い。これに対して、Ｆ_Sは、線状をなすスクラッチ欠
陥であり、その断面の幅ｗ_Sと深さｄ_Sはまちまちであ
る。なお、これらの形状以外の形態の欠陥Ｆももちろん
ある。このような凹型の欠陥とは別に微粒子が付着する
ことなどにより発生する凸型の異物と呼ばれる欠陥を始
めとする突起欠陥も各種の大きさと高さとで存在する。

【０００７】そこで、各種の形状とサイズの欠陥を、そ
れぞれ良好に検出するために、上記の表面欠陥検査装置
１０は、投光系３１のレーザビームＬ_Tの投射角度θ
_Tや、受光系３２の受光角度θ_R、受光器３２２（ＡＰ
Ｄ）に加圧する電圧Ｖ、または信号処理回路４１に内蔵
されたアンプのゲイン、ノイズ除去用の閾電圧Ｅ、レー
ザ光源３１１のレーザ出力など、検出感度に関係する要
素についてコントロールパネル４７を介してそれぞれ最
適に設定する。なお、感度調整は、大きさが既知の皿状
欠陥や、ピット欠陥、スクラッチ欠陥などサンプルとし
ての欠陥を持つ実際のディスクあるいは特定の高さの突
起を持つ実際のディスクをサンプルとして使用すること
で行われている。

【０００８】この種の発明として出願人による特開平１
０−３２５７１３号「表面欠陥検査方法および検査装
置」の出願がある。これは、各模擬欠陥列の凸部あるい
は凹部のサイズが段階的に相違する放射状の感度較正用
のディスクを使用して欠陥検査をして段階的にサイズが
増加あるいは減少している模擬欠陥列を放射線状に検査
結果として表示し、その検査結果に応じて検出感度の調
整をするものである。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような表
面欠陥検査方法あるいは検査装置にあっても、検査対象
となるディスクが０．６ｍｍ〜０．８ｍｍ程度のガラス
ディスクであるときには、ディスクの上下変動によりレ
ーザビームＬ_Tによる裏面側の欠陥や裏面側に付着した
異物の散乱光が表面に現れ、あるいは裏面側の反射光が
ノイズとなり、ガラス表面のスクラッチやカケ欠陥、突
起欠陥の検出精度が低下し、さらに裏面側の欠陥を表面
側のものとして誤検出することになる。この発明の目的
は、このような従来技術の問題点を解決するものであっ
て、裏面の欠陥にほとんど影響されることなく、高い精
度で欠陥検出できる欠陥検出光学系を提供することにあ
る。この発明の他の目的は、裏面の欠陥にほとんど影響
されることなく、高い精度で欠陥検出できる欠陥検査装
置および欠陥検査方法を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るためのこの発明の欠陥検出光学系および欠陥検査装置
の特徴は、リング状の光束を発生する光源と、リング状
の光束を受けるリング状の受光面を有し受けたリング状
の光束を光ビームとして検査されるディスクの表面に集
束させる内側が中空の光学部材と、この光学部材の中空
部分に配置され散乱光を受光する対物レンズと、この対
物レンズからの光を受けて受光器に走査位置の映像を結
像させる結像レンズとを備えるものである。また、この
発明の欠陥検査方法の特徴は、リング状の光束を受ける
中空の光学部材により受けたリング状の光束を光ビーム
としてディスクの表面に集束させ、光学部材の中空に向
かうディスク表面からの散乱光を対物レンズで受光して
この対物レンズを介して散乱光を受光器に受光させるも
のである。さらに、この他の発明では、前記の光学部材
によるリング状の光束の集束点が検査されるディスクの
上下変動においてディスクの裏面側にほとんど到達しな
い角度にリング状の光束の照射角が設定されているもの
である。

【００１１】

【発明の実施の形態】このように、この発明は、リング
状の光束を光ビームとして表面に集束させる光学部材を
使用することにより検査されるディスクの表面への照射
光の集束を検査点の周囲から検査点に向かって行うこと
ができる。これにより集束点より後ろ側では、光は拡散
して内側に向かう強い散乱光を発生し難くなる。また、
光を集束させた表面からの散乱光を光学部材の中空部分
に配置した対物レンズで受けることで、内側となる対物
レンズには、検査されるディスクの裏面側の欠陥や付着
異物などの指向性の強い散乱光をほとんど受けないで済
み、裏面からの反射光もほとんど受けない。これにより
受光器の検出信号のＳ／Ｎ比を向上させることができ
る。

【００１２】特に、リング状の光束の集束点が検査され
るディスクの上下変動があってもその裏面にほとんど到
達しないような角度にリング状の光束の照射角を設定す
ることによりいっそうＳ／Ｎ比を向上させることができ
る。その結果、裏面の欠陥にほとんど影響されることな
く、高い精度で欠陥検出ができ、特に、ガラス表面のス
クラッチやカケ欠陥、突起欠陥等の大きさ、あるいは大
きさと深さ、大きさと高さのなどの検出が容易な欠陥検
出光学系および表面欠陥検査装置を容易に実現できる。

【００１３】

【実施例】図１において、５０は、表面欠陥検査装置の
欠陥検出光学系であり、５１は、その投光系である。投
光系５１は、レーザダイオード（ＬＤ）によるレーザ光
源５１１よりのレーザビームＬ_Tをコリメータレンズ５
１２で受け、これにより円形の平行光にしてこれを先端
側が円錐形の第１コーンレンズ５１３の後端に入射し、
この平行光を光軸Ｏ上の集束点Ｆに集束させる。集束点
Ｆを経て放射してくるビーム光は、後端が円錐形の第２
コーンレンズ５１４にリング光として入射され、これに
より第２コーンレンズ５１４の垂直な先端面よりリング
状のビーム光を発生させる。なお、この場合、集束点Ｆ
と第１コーンレンズ５１３との距離Ｌ1と集束点Ｆと第
２コーンレンズ５１４との距離Ｌ2は、Ｌ1＜Ｌ2に設定
されている。それぞれのコーンの傾斜角は実質的に等し
いものである。

【００１４】投光系５１の第２コーンレンズ５１４から
発生するリング光は、受光系５２の光路にほぼ４５゜傾
斜で設けられた円形の穴開きミラー５１５の円周反射面
に照射されて、ここで落射照明として垂直方向に反射さ
れ、これが内側が中空となっている顕微鏡倍率の円筒対
物レンズ５１６の上部円周部に照射される。リング状の
光ビームは、このレンズを経てディスク１の検査点Ｓを
焦点としてこれに照射される。円筒対物レンズ５１６の
倍率は、２０倍〜５０倍程度の範囲であり、ディスク１
の表面から上部５ｍｍ〜１０ｍｍ程度の位置に配置され
ている。その照射角の範囲θ1〜θ2（図２参照）は、デ
ィスク１の面からみた仰角として７０゜以下、好ましく
は６５゜以下である。

【００１５】これによりガラスディスクの厚さが０．６
ｍｍ〜０．８ｍｍ程度と薄くかつディスク１の回転によ
るディスク面に上下変動があってもほとんどの照射光の
集束点（焦点）が裏面側まで至らず、裏面に集束するこ
とが防止され、裏面側の欠陥、付着異物による散乱光の
受光が抑制あるいは受光を防止できる。このとき、照射
角の範囲θ1〜θ2の角度において検査点の周囲から検査
点に向かう照射光は、集束点より後ろ側では、拡散して
内側に向かう強い散乱光を発生し難くなる。

【００１６】受光系５２は、円筒対物レンズ５１６の中
空部分に挿着され、先端側が円筒対物レンズ５１６より
も内側に位置する、円筒対物レンズ５１６の倍率に対応
する２０倍〜５０倍程度の顕微鏡倍率の受光用の対物レ
ンズ５２１を有している。この対物レンズ５２１が円筒
対物レンズ５１６の内側に位置することで、裏面の欠
陥、異物からの散乱光を受光し難くなる。この対物レン
ズ５２１により受光されたディスク１の検査点Ｓからの
散乱光は、平行光となって穴開きミラー５１５の中央部
の穴を通過して結像レンズ５２２へと導かれる。結像レ
ンズ５２２は、ＡＰＤセンサ５２３の受光面に検査点Ｓ
の映像を結像させる。ＡＰＤセンサ５２３は、図４の受
光器３２２に対応するセンサであり、その検出信号（出
力信号）は、表面欠陥検出処理部４の信号処理回路４１
に入力され、ここで欠陥Ｆが検出され、さらに、この出
力信号の振幅より、欠陥の大きさが大小分類され、ある
いは算出される。また、信号処理回路４１の欠陥各種の
設定に応じて信号処理回路４１の感度調整がなされて、
信号処理回路４１において、欠陥の大きさあるいは欠陥
の大きさと深さあるいは欠陥の大きさと高さが検出され
る。

【００１７】円筒対物レンズ５１６による照射光と対物
レンズ５２１の散乱光の投受光関係を図２に拡大して示
す。図示するように、照射光がディスク１の表面１ａに
対してθ1〜θ2の角度となっている。この角度θ1〜θ2
が６５゜程度前後かこれよりも低い低照射角の範囲でリ
ング光が検査点Ｓに集束させるので、ディスク１の上下
変動により照射光の集束点（焦点）が表面１ａよりディ
スク１の内部に侵入しても表面１ａから裏面１ｂに向か
って距離が離れれば離れるほど入射された光が拡散し、
その強度は低下していく。これにより裏面１ｂ側からの
反射光が低減し、検査点Ｓを中心とした光の拡散により
裏面側に欠陥があったとしてもその欠陥から検査点Ｓの
上部でリング光の内側にある対物レンズ５２１へと向か
う散乱光は非常に少なくなる。その結果、リング光の内
側にある対物レンズ５２１によって表層に近い欠陥の散
乱光が相対的に選択的される。ディスク１の回転により
表面１ａと裏面１ｂの位置が点線で示すように変動して
も、表面１ａ側の集束点Ｓが裏面１ｂ側に到達し難くな
るので、検出光は、裏面１ｂの欠陥や付着異物の影響を
受け難くなる。その結果、ＡＰＤセンサ５２３から得ら
れる検出信号のＳ／Ｎ比は向上し、裏面の欠陥に影響さ
れることなく、高い精度で欠陥検出ができる欠陥検出光
学系が実現される。

【００１８】図３は、円筒対物レンズ５１６に換えてデ
ィスク１の検査点Ｓを焦点としてこれに照射するリング
レンズおよび多重反射のフォーカス球面鏡からなる光学
部材の断面説明図である。５１７は、多重反射のフォー
カス球面鏡であって、下部凹面鏡５１８と上部凸面鏡５
１９とからなり、下部凹面鏡５１８と上部凸面鏡５１８
とは、主要部分で上下方向において重なりあい、それぞ
れ反射面が内側で対向しているドーナッツ状のものであ
る。この多重反射球面鏡５１７の上部には、リングレン
ズ５２０が配置されていて、このリングレンズ５２０
は、平凸レンズの中央部をくり抜き、受光用の対物レン
ズ５２１の受光光路５２１ａを確保するとともに、穴開
きミラー５１５から平行光にて落射してきたリング光５
２０ａを焦点位置である検査点Ｓ方向に屈折させ、下部
凹面鏡５１８へ導くためのものである。下部凹面鏡５１
８は、外側において上部凸面鏡５１９より突出する重な
らない反射部分５１８ａを有している。この部分で上部
よりの入射光（リング光５２０ａ）を受けてこれを上部
凸面鏡５１９へと反射する。さらに、上部凸面鏡５１９
は、内側においてリング光５２０ａを検査点Ｓへ導出し
てフォーカスする反射部分５１９ａを有している。これ
により検査点Ｓにリング光を集束させる。

【００１９】そこで、図１の投光系５１の第２コーンレ
ンズ５１４から発生するリング光は、穴開きミラー５１
５の反射面を経て下部凹面鏡５１８の受光部分５１８ａ
に円形に照射され、上部凸面鏡５１９と下部凹面鏡５１
８も上下方向で重なりあう主要部分で多重反射した光が
反射部分５１９ａへと導出されて、反射部分５１９ａの
幅で円筒対物レンズ５１６の場合と同様にリング状の光
をディスク１の検査点Ｓに焦点として集束させ、そこに
照射する。このときの照射角は、円筒対物レンズ５１６
の場合と同様に、この照射光がディスク１の表面１ａに
対してディスク１の面からみた仰角として７０゜以下、
好ましくは６５゜程度前後かこれよりも低い低照射角の
範囲である。

【００２０】以上説明してきたが、実施例においては、
顕微鏡倍率の投光系の円筒対物レンズ５１６の内側に配
置される受光系の対物レンズ５２１の倍率が２０倍〜５
０倍程度であり、この倍率を投光系の倍率と対応させて
いるが、この対物レンズの倍率は、投光系の倍率に対応
させる必要はない。それより低い場合には、ディスク１
に対して外側の円筒対物レンズ５１６よりさらに後ろに
後退配置すればよい。実施例では、ディスクの検査面に
照射する照射光としてレーザビームのリング状の光を集
束させる例を挙げているが、レーザビームを用いる場合
には、特に、Ｓ偏光レーザビームを用いるとよい。しか
し、この発明は、このレーザビームに限定されるもので
はなく、照射光としては白色光であってもよいことはも
ちろんである。

【００２１】

【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明にあって
は、光学部材による検査ディスクの表面への照射光の集
束が検査ディスクの上下変動により裏面にほとんど到達
しない角度において中空の光学部材によりリング状の光
ビームを表面に集束させて照射し、表面からの散乱光を
光学部材の中空部分に配置した対物レンズで受けること
で、対物レンズには、検査ディスクの裏面側の欠陥や付
着異物の指向性の強い散乱光をあるいは裏面からの反射
光をほとんど受けないで済むため、受光器の検出信号の
Ｓ／Ｎ比が向上する。その結果、裏面の欠陥にほとんど
影響されることなく、高い精度で欠陥検出ができる欠陥
検出光学系および表面欠陥検査装置を容易に実現でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、この発明を適用した欠陥検査光学系の
一実施例のブロック図である。

【図２】図２は、ディスク表面への照射光とその欠陥か
らの散乱光との関係の説明図である。

【図３】図３は、リング状の光ビームを検査点に集束さ
せるリングレンズおよび多重反射のフォーカス球面鏡か
らなる光学部材の断面説明図である。

【図４】図４は、従来の磁気ディスク表面欠陥検査装置
の要部の構成の説明図である。

【図５】図５は、ディスクにおける各種の欠陥の形状の
説明図である。

【符号の説明】

１…ディスク、１ａ…ディスクの表面、１ｂ…ディスク
の裏面、２…回転機構、１０…表面欠陥検査装置、２１
…スピンドル、２２…モータ、３，５０…検出光学系、
３１，５１…投光系、３１１，５１１…レーザ光源、３
１２，５１２…集束レンズ、３２，５２…受光系、３２
１…集光レンズ、３２２…受光器（ＡＰＤ等）、４…欠
陥検出処理部、４１…信号処理回路、４２…ＭＰＵ、４
３…メモリ、４４…データ処理装置、４５…プリンタ
（ＰＲ）、４６…ディスプレイ、５１３…第１コーンレ
ンズ、５１４…第２コーンレンズ、５１５…穴開きミラ
ー、５１６…円筒対物レンズ、５１７…多重反射球面
鏡、５１８…下部凹面鏡、５１９…上部凸面鏡、５２０
…リングレンズ、５２１…対物レンズ、５２２…結像レ
ンズ、５２３…ＡＰＤセンサ、Ｌ_T…レーザビーム、Ｓ_P
…レーザスポット、φ₁…スポットの短径、φ₂…スポッ
トの長径、Ｆ…欠陥。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ１１Ｂ 7/14 Ｇ１１Ｂ 7/14 7/26 7/26

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】検査されるディスクの表面を光ビームによ
り走査し、前記光ビームによる前記表面からの散乱光を
受光器により受光してこの受光器が欠陥検出のための信
号を発生する欠陥検査光学系において、リング状の光束を発生する光源と、前記リング状の光束
を受けるリング状の受光面を有し受けたリング状の光束
を前記光ビームとして前記表面に集束させる内側が中空
の光学部材と、この光学部材の前記中空部分に配置され
前記散乱光を受光する対物レンズと、この対物レンズか
らの光を受けて前記受光器に走査位置の映像を結像させ
る結像レンズとを備えることを特徴とする欠陥検出光学
系。
【請求項２】前記光学部材による前記表面に対する前記
リング状の光束の照射角は、前記光束の集束点が前記デ
ィスクの上下変動において前記検査されるディスクの裏
面側にほとんど到達しない角度にある請求項１記載の欠
陥検査光学系。
【請求項３】さらに前記光源の前記リング状の光束を穴
の外側の円周反射面で受ける穴あきミラーを備え、前記
光学部材は、前記円周反射面で反射されたリング状の光
束を前記受光面で受ける請求項２記載の欠陥検査光学
系。
【請求項４】前記光源は、レーザ光源とこのレーザ光源
からの光を受けて平行光にするコリメータレンズと、こ
のコリメータレンズの平行光を受けて特定の集束点に集
束させる第１のコーンレンズと、この第１のコーンレン
ズからの光を前記特定の集束点より後ろで受けてリング
状の平行光を前記リング状の光束として発生する第２の
コーンレンズとを有する請求項３記載の欠陥検査光学
系。
【請求項５】前記光学部材は、前記円周反射面で反射さ
れたリング状の光束を一方の円周部で受け他方の円周部
から発生する光を前記表面に集束させる内側が中空の円
筒形対物レンズである請求項４記載の欠陥検査光学系。
【請求項６】前記光学部材による光束の照射角は、前記
表面からみた仰角で７０゜以下であって、前記光学部材
の倍率と前記対物レンズの倍率が２０倍〜５０倍の範囲
にある請求項５記載の欠陥検査光学系。
【請求項７】前記光学部材は、前記円周反射面で反射さ
れたリング状の光束を受けるリングレンズと、このリン
グレンズを経たリング状の光を受けて多重反射により発
生する光を前記表面に集束させるドーナッツ状の多重反
射のフォーカス球面鏡とを有する請求項４記載の欠陥検
査光学系。
【請求項８】前記リング状の光束の照射角は、前記表面
からみた仰角で７０゜以下であって、前記光学部材の倍
率と前記対物レンズの倍率が２０倍〜５０倍の範囲にあ
る請求項７記載の欠陥検査光学系。
【請求項９】検査されるディスクの表面を光ビームによ
り走査し、前記光ビームによる前記表面からの散乱光を
受光器により受光してこの受光器の出力信号に基づいて
欠陥を検出する欠陥検査装置において、リング状の光束を発生する光源と、前記リング状の光束
を受けるリング状の受光面を有し受けたリング状の光束
を前記光ビームとして前記表面に集束させる内側が中空
の光学部材と、この光学部材の前記中空部分に配置され
前記散乱光を受光する対物レンズと、この対物レンズか
らの光を受けて前記受光器に走査位置の映像を結像させ
る結像レンズとを備え、前記光学部材による前記表面に
対する前記リング状の光束の照射角が前記光束の集束点
が前記ディスクの上下変動において前記検査されるディ
スクの裏面側にほとんど到達しない角度にあることを特
徴とする欠陥検査装置。
【請求項１０】前記光源は、レーザ光源とこのレーザ光
源からの光を受けて平行光にするコリメータレンズと、
このコリメータレンズの平行光を受けてある集束点に集
束ｓるる集束光を発生する第１のコーンレンズと、この
第１のコーンレンズからの光を前記ある集束点より後ろ
で受けてリング状の平行光を前記リング状の光束として
発生する第２のコーンレンズとを有し、さらに前記光源
の前記リング状の光束を穴の外側の円周反射面で受ける
穴あきミラーを備え、前記光学部材は、前記円周反射面
で反射されたリング状の光束を前記受光面で受ける請求
項９記載の欠陥検査装置。
【請求項１１】前記光学部材は、前記円周反射面で反射
されたリング状の光束を一方の円周部で受け他方の円周
部から発生する光を前記表面に集束させる内側が中空の
円筒形対物レンズであり、前記受光器の出力信号に基づ
いて欠陥の大きさを検出する請求項１０記載の欠陥検査
装置。
【請求項１２】前記光学部材は、前記円周反射面で反射
されたリング状の光束を受けるリングレンズと、このリ
ングレンズを経たリング状の光を受けて多重反射により
発生する光を前記表面に集束させるドーナッツ状の多重
反射のフォーカス球面鏡とを有し、前記受光器の出力信
号に基づいて欠陥の大きさを検出する請求項１０記載の
欠陥検査装置。
【請求項１３】検査されるディスクの表面を光ビームに
より走査し、前記光ビームによる前記表面からの散乱光
を受光器により受光して欠陥検出のための信号を得て前
記ディスクの欠陥を検査する欠陥検出方法において、リング状の光束を受ける中空の光学部材により受けた前
記リング状の光束を前記光ビームとして前記表面に集束
させ、前記光学部材の中空に向かう前記散乱光を対物レ
ンズで受光してこの対物レンズを介して前記散乱光を前
記受光器に受光させることを特徴とする欠陥検出方法。
【請求項１４】前記光学部材による前記表面に対する前
記リング状の光束の照射角は、前記光束の集束点が前記
ディスクの上下変動において前記検査されるディスクの
裏面側にほとんど到達しない角度にある請求項１３記載
の欠陥検査方法。