JP2008051755A

JP2008051755A - 検査装置及び表示パネルの製造方法

Info

Publication number: JP2008051755A
Application number: JP2006230568A
Authority: JP
Inventors: Masashi Higuchi; 政志樋口
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2006-08-28
Filing date: 2006-08-28
Publication date: 2008-03-06

Abstract

【課題】検査精度を高める。
【解決手段】液晶パネル１１を検査するのに用いる検査装置３０は、液晶パネル１１を搬送する搬送コンベア３１と、液晶パネル１１の裏側から光を照射する検査用バックライト３２と、液晶パネル１１を撮像するエリアセンサ３３と、エリアセンサ３３に接続されエリアセンサ３３から出力される受光信号を処理する判定部３４とを備える。判定部３４では、撮像により得られたパネル画像Ｐ１〜Ｐ３における欠陥の有無及びその位置を検出し、その欠陥位置情報を検出したパネル画像Ｐ１〜Ｐ３に対応付けて記憶する。そして、判定部３４では、複数のパネル画像Ｐ１〜Ｐ３の欠陥位置情報の論理積をとり、その論理積と各パネル画像Ｐ１〜Ｐ３の欠陥位置情報との差分をとる。
【選択図】図２

Description

本発明は、検査装置及び表示パネルの製造方法に関する。

液晶表示装置の主要部品である液晶パネルでは、製造工程において製品に不良が生じていないかどうかを各種検査するようにしている。これらの検査には、液晶パネルの裏側から検査用バックライトを照射して、液晶パネルに輝点欠陥や異物欠陥などの欠陥が生じていないかを検査する、点灯検査がある。

なお、液晶パネルの点灯検査装置の一例として下記特許文献１に記載されたものが知られている。
特開平６−１６１３７８号公報

上記した点灯検査を行う際、液晶パネルに欠陥が生じていないにも拘わらず、欠陥が誤検出されることがあった。この種の疑似欠陥は、例えば検査用バックライト上に載っていたゴミに起因して発生することがあり、ゴミにより乱反射した光が輝点欠陥として誤検出されることで生じる。このような疑似欠陥は、液晶パネルに実際に生じた真欠陥との区別が付き難く、検査精度を低下させる原因となっていた。

本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、検査精度を高めることを目的とする。

本発明に係る検査装置は、表示パネルを検査するためのものであって、表示パネルの複数の領域、または複数の表示パネルを順次に撮像し、その受光信号を出力する撮像手段と、前記表示パネルの各領域、または各表示パネルに対して順次に光を照射する検査用照明装置と、前記撮像手段から出力される受光信号に基づいてパネル画像における欠陥の有無及びその位置を検出する欠陥検出手段と、欠陥検出手段から出力される欠陥位置情報を、検出された前記パネル画像に対応付けて記憶する記憶手段と、記憶手段から出力された複数の前記パネル画像の欠陥位置情報の論理積を出力する論理積回路と、論理積回路から出力された論理積と、前記各パネル画像の欠陥位置情報との差分を出力する差分回路とを備えている。

また、本発明に係る表示パネルの製造方法は、表示パネルを製造する過程で、検査用照明装置により表示パネルの複数の領域、または複数の表示パネルに対し順次に光を照射するとともに、撮像手段により表示パネルの各領域、または各表示パネルを順次に撮像し、欠陥検出手段により前記撮像手段から出力された受光信号に基づいてそのパネル画像における欠陥の有無及びその位置を検出し、記憶手段により前記欠陥検出手段から出力された欠陥位置情報を、検出されたパネル画像に対応付けて記憶し、論理積回路により、前記記憶手段から出力された複数の前記パネル画像の欠陥位置情報の論理積を出力し、差分回路により、前記論理積回路から出力された論理積と、前記各パネル画像の欠陥位置情報との差分を出力するようにした。

上記構成によれば、検査用照明装置により表示パネルの各領域または各表示パネルを順次に照射しつつ、各領域または各表示パネルを撮像手段により順次に撮像される。撮像手段から出力される受光信号に基づいて、欠陥検出手段では、パネル画像における欠陥の有無及びその位置が検出される。欠陥検出手段から出力される欠陥位置情報は、検出されたパネル画像に対応付けて記憶手段に記憶される。論理積回路により、記憶手段から出力された各パネル画像の欠陥位置情報の論理積が出力される。

ここで、表示パネルに生じていない疑似欠陥は、検査用照明装置上に載ったゴミなどに起因して生じるため、その欠陥位置情報が各パネル画像で同一となるのに対し、表示パネルに生じた真欠陥は、各パネル画像でその有無及び欠陥位置情報が異なる。従って、各パネル画像の欠陥位置情報の論理積をとることで、疑似欠陥の欠陥位置情報のみが抽出されることになる。

そして、差分回路により、論理積回路から出力された論理積と、各パネル画像の欠陥位置情報との差分を出力する。これにより、表示パネルに生じていない疑似欠陥を排除し、表示パネルに生じている真欠陥を抽出することができる。

本発明の実施態様として、次の構成が好ましい。
（１）前記検査装置における前記撮像手段により、前記表示パネルを複数の領域毎に撮像するとともに、前記検査用照明装置により、前記表示パネルの各領域に対して順次に光を照射する構成とする。このように、表示パネルの複数の領域に分けて撮像し、複数の領域にかかる各パネル画像の欠陥位置情報の論理積をとるようにしたので、各表示パネルにおいて同一位置に繰り返し発生する真欠陥である定点欠陥が疑似欠陥と一緒に抽出されることがない。従って、真欠陥である定点欠陥を確実に検出することができる。

（２）前記検査装置における前記論理積回路から出力された論理積同士の論理和を出力する論理和回路を備え、前記差分回路では、前記論理和回路から出力された論理和と、前記各パネル画像の前記欠陥位置情報との差分を出力する構成とする。このようにすれば、撮像手段により表示パネルを撮像する際には、欠陥が生じていてもその欠陥位置情報を検出し損なう、いわゆる検査漏れが生じる可能性がある。例えば、検査用照明装置上にゴミなどが載っていることに起因してパネル画像中に疑似欠陥が生じているとき、上記検査漏れにより欠陥位置情報を検出できなかった場合でも、論理和回路によって複数のパネル画像から取得した欠陥位置情報の論理積同士の論理和を出力するようにしたから、確実に疑似欠陥を抽出することができる。そして、差分回路によってその論理和と各パネル画像の欠陥位置情報との差分を出力することで、確実に真欠陥を抽出することができる。

本発明によれば、検査精度を高めることができる。

＜実施形態１＞
本発明の実施形態１を図１ないし図３によって説明する。本実施形態では、液晶表示装置１０を構成する液晶パネル１１の製造方法、及び液晶パネル１１を検査するための検査装置３０について示す。

まず、液晶表示装置１０の構造について説明する。液晶表示装置１０は、図１に示すように、大まかには、画像を表示するための液晶パネル１１と、液晶パネル１１の裏側（後側）に配される外部光源であるバックライト１２とを互いに組み付けた構成とされる。液晶パネル１１は、その裏側のバックライト１２と、表側（前側）に配された略枠形をなすベゼル１３との間に挟まれた状態で保持される。

バックライト１２は、表側（液晶パネル１１側）に向けて開口した略箱形をなすケース１４と、ケース１４内に互いに平行に並んだ状態で収容される複数本の線状光源１５（例えば冷陰極管）と、ケース１４の開口部に積層した状態で配される複数の光学シート１６（例えば裏側から順に拡散板、拡散シート、レンズシート、及び輝度上昇シート）と、これら光学シート１６群をケース１４との間で挟んで保持するための略枠状のフレーム１７とから構成される。各光学シート１６は、各線状光源１５から発せられる光を面状に変換するなどの機能を有するものである。

液晶パネル１１は、大まかには、全体として矩形状をなしており、一対の透明な（透光性を有する）ガラス製の基板１８，１９と、両基板１８，１９間に挟持されるとともに電界印加に伴って光学特性が変化する物質である液晶２０とを備えている。両基板１８，１９は、互いに対向するとともに図示しないスペーサによって間に所定の間隔（ギャップ）を空けた状態で貼り合わせられ、間に挟持された液晶２０は、シール剤２１によって取り囲まれて液密状態に保たれる。また、両基板１８，１９の外面側には、それぞれ表裏一対の偏光板２２，２３が貼り付けられている。

両基板１８，１９は、表側がＣＦ基板１８とされ、裏側がアレイ基板１９とされる。アレイ基板１９における内面側（液晶２０側、ＣＦ基板１８との対向面側）には、スイッチング素子（例えばＴＦＴ）及び画素電極が多数個並んで設けられるとともに、これらスイッチング素子及び画素電極（画素）の周りには、格子状をなすソース配線及びゲート配線が取り囲むようにして配設されている。アレイ基板１９の縁近辺には、各配線の端子部が設けられ、この端子部に対して画像信号を供給する外部回路に接続されたドライバが圧着接続されるようになっている。一方、ＣＦ基板１８には、アレイ基板１９側の画素電極と対向する対向電極が設けられるとともに、各画素に対応した位置にカラーフィルタが多数個並んで設けられている。カラーフィルタは、Ｒ，Ｇ，Ｂの三色が交互に並ぶ配置とされる。

なお、この液晶パネル１１は、各配線に信号を付与せず、液晶２０に電界印加しない状態では、光の透過率が最小となって黒表示される、いわゆるノーマリーブラックモードのものとなっている。

上記した構成の液晶パネル１１を製造する過程では、液晶パネル１１に不良が生じていないかどうかを調べるため、各種検査が行われている。この検査の一つとして、液晶パネル１１に輝点欠陥や異物欠陥などの欠陥が生じていないかを検査する点灯検査がある。続いて、点灯検査に用いる検査装置３０について説明する。

検査装置３０は、図２に示すように、液晶パネル１１を搬送するための搬送コンベア３１（搬送手段）と、液晶パネル１１に対して光を照射可能な検査用バックライト３２（検査用照明装置）と、液晶パネル１１を撮像可能なエリアセンサ３３（撮像手段）と、エリアセンサ３３に接続されエリアセンサ３３から出力された受光信号を処理する判定部３４とから構成される。

搬送コンベア３１は、一方向に沿って並設された多数本のローラ３１ａを備えるとともに、このローラ３１ａを駆動手段により転動させることで、その上に載せられる液晶パネル１１をその長辺方向（図２に示す矢線方向）に沿って搬送できるようになっている。この搬送コンベア３１は、液晶パネル１１を所定長さ分搬送しては所定時間停止し、再度所定長さ分搬送する、といった動作を繰り返し行うよう設定されている。この搬送コンベア３１の動作に連動してエリアセンサ３３を作動させることで、エリアセンサ３３では液晶パネル１１を複数の領域Ａ１〜Ａ３に分けて順次に撮像できるようになっている。なお、液晶パネル１１における分割された各領域の符号については、搬送方向前側から順にＡ１，Ａ２，Ａ３とする。

検査用バックライト３２は、搬送コンベア３１に対して液晶パネル１１の搬送方向前側で、且つ搬送される液晶パネル１１の裏側に位置するよう設置されている。検査用バックライト３２は、液晶表示装置１０を構成するバックライト１２に準ずる構成であり、詳しくは図示しないが、上面側が開口した略箱型をなすケース内に多数本の線状光源（例えば冷陰極管）を収容するとともに、ケースにおける上面側に複数枚の光学シートを積層して設置した構成とされ、全体として面状の光を照射可能とされる。

この検査用バックライト３２は、全体として平面視矩形状に形成され、液晶パネル１１に対する照射領域は、液晶パネル１１の短辺方向についてはほぼ全域に、長辺方向については一部領域、詳しくは搬送コンベア３１による液晶パネル１１の一搬送距離に相当する領域、またはそれよりも少し大きな領域に設定されている。本実施形態では、上記長辺方向についての照射領域を、液晶パネル１１の長辺の約１／３程度とし、液晶パネル１１を３つの領域Ａ１〜Ａ３に分け、各領域Ａ１〜Ａ３に対して順次に検査用バックライト３２から光を照射するとともに各領域Ａ１〜Ａ３を順次にエリアセンサ３３により撮像する場合を例示する。

エリアセンサ３３は、液晶パネル１１を撮像するための受光素子を備えるとともに、搬送される液晶パネル１１を挟んで検査用バックライト３２とは反対側（表側）に設置されている。このエリアセンサ３３は、搬送される液晶パネル１１のうち、上記した検査用バックライト３２による照射範囲に対応する領域Ａ１〜Ａ３を撮像できるようになっている。このエリアセンサ３３は、既述した搬送コンベア３１に連動することで、液晶パネル１１の各領域Ａ１〜Ａ３について搬送方向前側から順番に撮像できるようになっている。エリアセンサ３３は、撮像時に受光信号を判定部３４へ出力できるようになっている。

また、液晶パネル１１と検査用バックライト３２との間、及び液晶パネル１１とエリアセンサ３３との間には、図示しない検査用偏光板がそれぞれ介設されている。この検査用偏光板は、検査用バックライト３２やエリアセンサ３３に一体的に組み付けられていてもよく、また検査用バックライト３２やエリアセンサ３３とは別体で設置されていてもよい。

なお、この搬送コンベア３１による一搬送距離、検査用バックライト３２による液晶パネル１１に対する照射領域における搬送方向の長さ寸法、及びエリアセンサ３３による撮像領域における搬送方向の長さ寸法は、液晶パネル１１を製造する過程で各基板上にスイッチング素子や画素電極やカラーフィルタなどを形成するのに用いられる露光装置における露光ステップピッチとは異なる大きさに設定されている。

判定部３４は、図２に示すように、ＩＦボード（インターフェイスボード）３５と、画像メモリ３６と、画像処理部３７と、演算処理部３８と、欠陥記憶部３９とを備える。ＩＦボード３５では、エリアセンサ３３から出力された受光信号の前処理が行われ、画像メモリ３６へと出力される。画像メモリ３６には、ＩＦボード３５から出力された受光信号に基づいたパネル画像Ｐ１〜Ｐ３のデータを、撮像した液晶パネル１１の各領域Ａ１〜Ａ３に対応付けて格納する各メモリ３６−１〜３６−３が備えられる。画像処理部３７では、画像メモリ３６の各メモリ３６−１〜３６−３から出力されたパネル画像Ｐ１〜Ｐ３のデータに平滑化処理やノイズ除去処理などを施し、次述する演算処理部３８へ出力する。

演算処理部３８では、パネル画像Ｐ１〜Ｐ３のデータに二値化処理などを加えることで、欠陥（真欠陥Ｔ及び疑似欠陥Ｆを含む）の有無及びその欠陥の位置を検出する。また、演算処理部３８では、複数の領域Ａ１〜Ａ３に係る各パネル画像Ｐ１〜Ｐ３における欠陥位置情報の論理積を出力する。また、演算処理部３８では、得られた論理積と、各領域Ａ１〜Ａ３に係るパネル画像Ｐ１〜Ｐ３における欠陥位置情報との差分を出力する。このように演算処理部３８には、特許請求の範囲に記載された欠陥検出手段、論理積回路、及び差分回路が備えられている。

欠陥記憶部３９では、演算処理部３８から出力される各パネル画像Ｐ１〜Ｐ３の欠陥位置情報、論理積、差分が記憶される。また、欠陥記憶部３９からは、演算処理部３８に対して記憶した上記各情報が出力可能とされる。

本実施形態は以上のような構造であり、続いてその作用を説明する。液晶パネル１１を製造する際には、既知の方法によりアレイ基板１９側にスイッチング素子や画素電極などを形成する一方、ＣＦ基板１８側にカラーフィルタや対向電極などを形成した後、両基板１８，１９を貼り合わせてその間に液晶２０を注入する。その後、両基板１８，１９の外面側にそれぞれ偏光板２２，２３を貼り付ける作業を行う前の段階で、上記した構成の検査装置３０を用いて、製造途中の液晶パネル１１の点灯検査を行う。

液晶パネル１１を搬送コンベア３１により検査用バックライト３２側へ搬送する。このとき、液晶パネル１１のうち搬送方向前側の領域Ａ１が検査用バックライト３２上に配された状態で、搬送コンベア３１が停止される。この状態で、液晶パネル１１における搬送方向前側の領域Ａ１に対して検査用バックライト３２から光を照射するとともに、エリアセンサ３３により上記領域Ａ１の状態を撮像する。このとき、液晶パネル１１の各配線には外部回路を接続することなく、各配線に電圧を印加しない状態で撮像をする。撮像し終えたら、再び搬送コンベア３１により液晶パネル１１を所定長さ分搬送し、液晶パネル１１の中央の領域Ａ２が検査用バックライト３２上に配された状態で搬送コンベア３１を停止し、エリアセンサ３３により撮像する、といった動作を繰り返し行い、液晶パネル１１の搬送方向後側の領域Ａ３についても撮像する。これにより、液晶パネル１１が３つの領域Ａ１〜Ａ３に分けて、搬送方向前側から順に撮像される。なお、このとき検査用バックライト３２は、常時点灯させても、撮像時にのみ点灯させるようにしてもどちらでも構わない。

撮像に伴いエリアセンサ３３から出力された受光信号は、判定部３４にて次のように処理される。すなわち、受光信号は、ＩＦボード３５を経て画像メモリ３６のうち各領域Ａ１〜Ａ３に対応した各メモリ３６−１〜３６−３に格納された後、画像処理部３７にて平滑化処理やノイズ除去処理などが施されてから、演算処理部３８に入力される。

演算処理部３８により、撮像した領域Ａ１〜Ａ３のパネル画像Ｐ１〜Ｐ３のデータに二値化処理などを加えることで、欠陥（次述する真欠陥Ｔ及び疑似欠陥Ｆを含む）の有無及び欠陥位置情報が検出され、検出された欠陥位置情報は、欠陥記憶部３９に出力されて検出された液晶パネル１１及びその領域Ａ１〜Ａ３と対応付けて記憶される。そして、演算処理部３８により、液晶パネル１１における各領域Ａ１〜Ａ３のパネル画像Ｐ１〜Ｐ３から検出された欠陥の欠陥位置情報の論理積が欠陥記憶部３９へ出力され、出力された論理積は、検出された液晶パネル１１と対応付けて記憶される。

ここで、当該検査によって検出される欠陥について説明する。この液晶パネル１１は、ノーマリーブラックモードであるため、各配線に信号を付与しない状態で検査用バックライト３２から光を照射したとき、表示領域の全域が黒表示されることになるが、例えばスイッチング素子などの画素の構成部位に不具合が生じていたり、液晶２０中に異物が混入していた場合には、その不良箇所については部分的に光が漏れ、常時光が透過する輝点欠陥や異物欠陥として検出される。このような輝点欠陥及び異物欠陥は、液晶パネル１１に実際に生じた真欠陥Ｔである。一方、液晶パネル１１には実際に欠陥が生じていなくても、検査用バックライト３２上にゴミなどが載っていた場合には、そのゴミなどによって照射光が乱反射されることで、あたかも液晶パネル１１に輝点欠陥や異物欠陥が生じていたかのように見えることがある。このような検査用バックライト３２上のゴミなどの外的要因に起因して検出される欠陥が疑似欠陥Ｆである。真欠陥Ｔは、各領域Ａ１〜Ａ３のパネル画像Ｐ１〜Ｐ３において不規則（ランダム）な位置に発生するのに対し、疑似欠陥Ｆは、各領域Ａ１〜Ａ３のパネル画像Ｐ１〜Ｐ３の同一位置に発生する。従って、各領域Ａ１〜Ａ３に係るパネル画像Ｐ１〜Ｐ３の欠陥位置情報の論理積をとることで、疑似欠陥Ｆの欠陥位置情報のみが抽出されることになる。

具体的には、図３に示すように、各領域Ａ１〜Ａ３に係るパネル画像Ｐ１〜Ｐ３の右上角付近の同一位置に欠陥が検出された場合は、論理積をとることによってこの欠陥が疑似欠陥Ｆとして抽出される。一方、液晶パネル１１における中央の領域Ａ２のパネル画像Ｐ２における左下角付近の欠陥（真欠陥Ｔ）については、論理積をとることによって排除される。

続いて、演算処理部３８により、上記のようにして得られた論理積と、各領域Ａ１〜Ａ３に係るパネル画像Ｐ１〜Ｐ３における欠陥位置情報との差分が欠陥記憶部３９へ出力される。これにより、各領域Ａ１〜Ａ３のパネル画像Ｐ１〜Ｐ３から疑似欠陥Ｆが排除され、真欠陥Ｔのみが抽出されることになる。出力された差分は、検出された液晶パネル１１及びその領域Ａ１〜Ａ３と対応付けて記憶される。

具体的には、図３に下段側に示すように、各パネル画像Ｐ１〜Ｐ３の右上角付近の疑似欠陥Ｆが全て排除される。これにより、液晶パネル１１の搬送方向前側の領域Ａ１と後側の領域Ａ３との両パネル画像Ｐ１，Ｐ３には、真欠陥Ｔがないことが分かる。一方、液晶パネル１１の中央の領域Ａ２のパネル画像Ｐ２では、左下角付近に真欠陥Ｔがあることが分かる。真欠陥Ｔが検出された液晶パネル１１については、修理工程に搬送して修理を施すなどする。

以上説明したように本実施形態によれば、液晶パネル１１を検査するにあたり、エリアセンサ３３により液晶パネル１１を撮像して得たパネル画像Ｐ１〜Ｐ３における欠陥の有無及びその位置を判定部３４の演算処理部３８により検出し、その欠陥位置情報を検出されたパネル画像Ｐ１〜Ｐ３に対応付けて欠陥記憶部３９にて記憶し、この欠陥記憶部３９から出力された複数のパネル画像Ｐ１〜Ｐ３の欠陥位置情報の論理積を演算処理部３８により出力し、さらにその論理積と各パネル画像Ｐ１〜Ｐ３の欠陥位置情報との差分を演算処理部３８により出力するようにしたから、検査用バックライト３２上に載ったゴミなどに起因して検出される疑似欠陥Ｆを排除し、液晶パネル１１に実際に生じた真欠陥Ｔのみを抽出することができる。これにより、検査精度を高めることができる。

しかも、エリアセンサ３３により、液晶パネル１１を複数の領域Ａ１〜Ａ３毎に撮像するとともに、検査用バックライト３２により、液晶パネル１１の各領域Ａ１〜Ａ３に対して順次に光を照射して検査を行うようにしたから、仮にエリアセンサ３３により液晶パネル１１全体を撮像し、検査用バックライト３２により液晶パネル１１全体に光を照射して検査を行った場合と比較すると、液晶パネル１１において同一位置に繰り返し発生した真欠陥Ｔである定点欠陥が、論理積をとる際に疑似欠陥Ｆと一緒に抽出されることがない。従って、真欠陥Ｔである定点欠陥を確実に検出することができる。

さらには、液晶パネル１１における各領域Ａ１〜Ａ３の搬送方向の長さ寸法が、液晶パネル１１の製造工程で用いられる露光装置の露光ステップピッチとは異なる大きさに設定されているから、仮に同じに設定した場合と比較すると、露光装置で用いられるマスクなどに不具合があり、液晶パネル１１において露光ステップピッチ分の間隔をあけた位置に繰り返し欠陥（真欠陥Ｔ）が発生した場合でも、その欠陥が論理積をとる際に疑似欠陥Ｆと一緒に抽出されることがない。これにより、露光装置に起因して発生する真欠陥Ｔを確実に検出することができる。

＜実施形態２＞
本発明の実施形態２を図４によって説明する。この実施形態２では、パネル画像Ｐ１〜Ｐ３から欠陥を抽出する方法を変更したものを示す。なおこの実施形態２では、上記した実施形態１と同様の構造、作用及び効果について重複する説明は省略する。

エリアセンサ３３により液晶パネル１１を撮像して欠陥を検出する際には、真欠陥Ｔ・疑似欠陥Ｆのいずれかが生じていても、その欠陥位置情報を検出し損なう、いわゆる検査漏れが生じる可能性がある。上記した実施形態１に記載された方法で欠陥の抽出を行うと、例えばいずれかの領域Ａ１〜Ａ３のパネル画像Ｐ１〜Ｐ３において疑似欠陥Ｆの欠陥位置情報を検出し損なったとき、各領域Ａ１〜Ａ３に係るパネル画像Ｐ１〜Ｐ３の欠陥位置情報の論理積を出力しても、疑似欠陥Ｆが検出されない事態となる。本実施形態では、このような疑似欠陥Ｆの検出漏れを防止すべく、欠陥を抽出するにあたって下記のようにしている。

すなわち、演算処理部３８は、図４に示すように、各領域Ａ１〜Ａ３のパネル画像Ｐ１〜Ｐ３の論理積を出力した後、複数の論理積同士の論理和を出力する。本実施形態では、現在検査した液晶パネル１１から得た論理積と、その前に検査した過去１枚目の液晶パネル１１から得た論理積と、過去２枚目の液晶パネル１１から得た論理積との論理和を出力する設定とされる。このようにすれば、仮に液晶パネル１１を検査したとき、いずれかの領域Ａ１〜Ａ３において疑似欠陥Ｆの検出漏れが生じ、論理積をとったにも拘わらず疑似欠陥Ｆの欠陥位置情報が保持されなかったとしても、他の液晶パネル１１を検査したときに疑似欠陥Ｆの検出漏れが無ければ、各論理積同士の論理和をとることで、疑似欠陥Ｆを確実に抽出することができる。なお、図４では、現在検査した液晶パネル１１における搬送方向後側の領域Ａ３に係るパネル画像Ｐ３から疑似欠陥Ｆを検出し損ない、過去１枚目の液晶パネル１１及び過去２枚目の液晶パネル１１では検査漏れが生じなかった場合を示している。そして、演算処理部３８から出力された論理和は、検査した液晶パネル１１と対応付けて欠陥記憶部３９に記憶される。このように、本実施形態に係る演算処理部３８は、特許請求の範囲に記載された欠陥検出手段、論理積回路、及び差分回路に加えて、論理和回路を備えている。

続いて、演算処理部３８は、得られた論理和と、検査した液晶パネル１１の各領域Ａ１〜Ａ３に係るパネル画像Ｐ１〜Ｐ３の欠陥位置情報との差分を出力する。これにより、検査した液晶パネル１１の各領域Ａ１〜Ａ３に係るパネル画像Ｐ１〜Ｐ３から検出された真欠陥Ｔを確実に抽出することができる。なお、疑似欠陥Ｆの検査漏れが生じた領域Ａ３については、差分をとる前に、論理和に係る欠陥位置情報を疑似欠陥Ｆとして当該領域Ａ３のパネル画像Ｐ３に登録する補正を行うなどすればよい。出力された差分は、検出された液晶パネル１１及びその領域Ａ１〜Ａ３と対応付けて欠陥記憶部３９に記憶される。

以上説明したように本実施形態によれば、演算処理部３８により複数の論理積同士の論理和をとり、その論理和と、各パネル画像Ｐ１〜Ｐ３の欠陥位置情報との差分をとるようにしたから、疑似欠陥Ｆの検出漏れが生じていても、確実に疑似欠陥Ｆを抽出でき、もって確実に真欠陥Ｔを抽出することができる。

＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。

（１）疑似欠陥を抽出するにあたり、少なくとも２つの領域に係るパネル画像同士の論理積をとるようにすればよく、本発明は、必ずしも全ての領域のパネル画像間で論理積をとるものに限定されない。また、疑似欠陥を抽出するにあたり、異なる液晶パネルの領域に係るパネル画像同士の論理積をとるようにしてもよく、必ずしも１つの液晶パネルにおける各領域のパネル画像間で論理積をとるものに限定されない。

（２）液晶パネルを２つの領域、または４つ以上の領域に分けて撮像するようにしてもよく、そのようなものも本発明に含まれる。

（３）エリアセンサの数については、２つ以上としてもよい。その場合、エリアセンサを、液晶パネルの搬送方向に沿って複数並べたり、搬送方向と直交する方向に沿って複数並べるよう設置することも可能である。

（４）エリアセンサ以外にもラインセンサなど他の種類の撮像手段を用いることの可能である。

（５）上記した実施形態２では、合計３枚の液晶パネルから得た論理積同士の論理和をとるようにした場合を示したが、２枚または４枚以上の液晶パネルから得た論理積同士の論理和をとるようにしてもよく、そのようなものも本発明に含まれる。

（６）上記した各実施形態では、搬送コンベアにより液晶パネルを搬送しつつ撮像する場合を示したが。液晶パネルを固定し、エリアセンサ及び検査用バックライトを液晶パネルに対して相対的に移動させるようにして撮像するようにしてもよい。

（７）上記した各実施形態では、液晶パネルを複数の領域に分けて撮像して検査する場合を示したが、エリアセンサにより液晶パネル全体を１回で撮像するようにし、複数枚の液晶パネルから得た各パネル画像の欠陥位置情報同士の論理積をとることで、疑似欠陥を抽出するようにしてもよく、そのようなものも本発明に含まれる。

（８）検査用バックライトの構成については、任意に変更可能である。

（９）上記した各実施形態では、ノーマリーブラックモードの液晶パネルを修理する場合を例示したが、液晶に電界印加しない状態で光の透過率が最大となって白表示される、いわゆるノーマリーホワイトモードの液晶パネルにも本発明は適用可能である。

（１０）また、液晶パネル以外の種類の表示パネルの検査する場合にも本発明は適用可能である。

本発明の実施形態１に係る液晶表示装置の断面図検査装置の全体を表す概略図判定部における欠陥の抽出手順を表す説明図本発明の実施形態２に係る検査装置の判定部における欠陥の抽出手順を表す説明図

符号の説明

１１…液晶パネル（表示パネル）
３０…検査装置
３２…検査用バックライト（検査用照明装置）
３３…エリアセンサ（撮像手段）
３８…演算処理部（欠陥検出手段、論理積回路、差分回路、論理和回路）
３９…欠陥記憶部（記憶部）
Ａ１，Ａ２，Ａ３…領域
Ｆ…疑似欠陥（欠陥）
Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３…パネル画像
Ｔ…真欠陥（欠陥）

Claims

表示パネルを検査するためのものであって、
表示パネルの複数の領域、または複数の表示パネルを順次に撮像し、その受光信号を出力する撮像手段と、
前記表示パネルの各領域、または各表示パネルに対して順次に光を照射する検査用照明装置と、
前記撮像手段から出力される受光信号に基づいてパネル画像における欠陥の有無及びその位置を検出する欠陥検出手段と、
欠陥検出手段から出力される欠陥位置情報を、検出された前記パネル画像に対応付けて記憶する記憶手段と、
記憶手段から出力された複数の前記パネル画像の欠陥位置情報の論理積を出力する論理積回路と、
論理積回路から出力された論理積と、前記各パネル画像の欠陥位置情報との差分を出力する差分回路とを備えている検査装置。
前記撮像手段により、前記表示パネルを複数の領域毎に撮像するとともに、前記検査用照明装置により、前記表示パネルの各領域に対して順次に光を照射する請求項１記載の検査装置。
前記論理積回路から出力された論理積同士の論理和を出力する論理和回路を備え、前記差分回路では、前記論理和回路から出力された論理和と、前記各パネル画像の前記欠陥位置情報との差分を出力する請求項１または請求項２記載の検査装置。
表示パネルを製造する過程で、検査用照明装置により表示パネルの複数の領域、または複数の表示パネルに対し順次に光を照射するとともに、撮像手段により表示パネルの各領域、または各表示パネルを順次に撮像し、欠陥検出手段により前記撮像手段から出力された受光信号に基づいてそのパネル画像における欠陥の有無及びその位置を検出し、記憶手段により前記欠陥検出手段から出力された欠陥位置情報を、検出されたパネル画像に対応付けて記憶し、論理積回路により、前記記憶手段から出力された複数の前記パネル画像の欠陥位置情報の論理積を出力し、差分回路により、前記論理積回路から出力された論理積と、前記各パネル画像の欠陥位置情報との差分を出力するようにした表示パネルの製造方法。