KR20160078211A - 투과식 결함 검사 장치 및 결함 검사 방법 - Google Patents

투과식 결함 검사 장치 및 결함 검사 방법 Download PDF

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토모카즈 유라
사토루 고시오
카즈오 기타다
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닛토덴코 가부시키가이샤
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Abstract

투과식 결함 검사 장치 및 결함 검사 방법을 제공하는 광학 표시 패널에 대해서 빛을 사출하는 라인 형상 조명 장치와, 라인 형상에 병렬하여 라인 형상 조명 장치와 대향하도록 장착되고, 라인 형상 조명 장치로부터의 빛이 광학 표시 패널을 투과한 투과광을 수광하여 광학 표시 패널에 대해서 촬상하는 복수의 에어리어 카메라와, 에어리어 카메라에 의해 촬상된 광학 표시 패널의 화상을 처리하는 화상 처리부와, 광학 표시 패널의 이동 속도에 따라서 에어리어 카메라의 촬상 타이밍을 제어하는 제어부를 구비하며, 에어리어 카메라는, 제n(n≥1)회째에 촬상된 광학 표시 패널의 화상과 제n＋1회째에 촬상된 광학 표시 패널의 화상은, 광학 표시 패널의 이동 방향에 일부 겹치도록 촬상하는 것을 특징으로 하는 투과식 결함 검사 장치. 이 투과식 결함 검사 장치에 의하면, 결함의 검출 누락을 방지할 수 있어, 효율적으로 결함의 검출을 할 수 있다.

Description

투과식 결함 검사 장치 및 결함 검사 방법{Transmission Type Defect Detecting Device and Defect Detecting Method}
본 발명은, 투과식 결함 검사 장치 및 결함 검사 방법에 관한 것이다.
광학 표시 패널에 있어서는, 표시 기능을 실현하기 위해서, 필요에 따라서 다양한 광학 필름을 첩부할 필요가 있다. 또한, 광학 필름이 첩부된 표시 패널에 대해서, 결점이 있는지를 검사할 필요가 있다.
통상, 예를 들면 액정 패널과 같은 표시 패널에 대해서 결점 검사를 행하는 경우에는, 액정 패널의 한편의 면으로 조명을 대어, 그 투과광을 센서로 검지하거나, 카메라로 촬상함으로써, 액정 패널의 결점 검사를 행한다.
일반적으로, 카메라에는, 에어리어 카메라와 라인 센서 카메라가 있고, 특허 문헌 1에 기재와 같이, 라인 카메라는 촬상 대상물이 움직이고 있는 상태로 촬상하는 것이지만, 에어리어 카메라는 촬상 대상물을 정지시켜 촬상할 필요가 있다. 예를 들면, 특허 문헌 2에는, 에어리어 카메라를 이용하여 액정 패널의 결점을 검사할 때에, 액정 패널을 정지하여 촬상하는 것이 기재되어 있고, 특허 문헌 3에는 라인 센서 카메라로 액정 패널의 결점을 검사할 때에 액정 패널을 반송하면서 촬상하는 것이 기재되어 있다.
특개 2011­197281호 공보 특개 2008­051755호 공보 특개 2010­091714호 공보
그러나, 특허 문헌 2에 기재되는 검사 방법에 의하면, 액정 패널을 정지시키는 것이 필요하고, 액정 패널의 검사를 행하는 동안에, 제조 라인을 일단 정지해야 한다. 그 때문에, 제조 효율의 향상이 곤란하다.
한편, 특허 문헌 3에 기재된 일반적으로 라인 카메라에 의한 검사 방법에 의하면, 라인 카메라로 액정 패널의 폭 방향의 소정 폭을 촬상하기 때문에, 얻어진 영상은 완전하게 맞댈 필요가 있다. 그 때문에, 전후에 얻어진 영상이 연속하지 않는 경우에는, 액정 패널의 전면을 빠짐없이 검사하는 것이 어려워진다. 또, 액정 패널의 표면에 부착한 이물 또는 화상 처리 장치로의 데이터 송신에 의한 노이즈 등에 의한 오검출(誤檢出)이 발생했을 경우에는, 특허 문헌 1 내지 3에 기재된 어느 것의 검사 방법에서도, 대상물의 검사를 1회밖에 행하지 않기 때문에, 대상물이 우량품인 것에도 불구하고, 오검출에 의해 불량으로 판정되는 일이 있었다.
본 발명은, 상기 문제점을 해결하기 위해서 이루어진 것이며, 에어리어 카메라에 의해 이동 중의 광학 표시 패널을 촬상하고, 전후에 촬상되는 화상을, 각각 일부가 중복하도록 촬상함으로써, 간단하고 고정밀도로 광학 표시 패널에 있는 결점을 검출할 수 있도록 하는 것이다.
본 발명은, 광학 표시 패널을 이동시키면서 그 결함을 검출하는 투과식 결함 검사 장치이며, 상기 광학 표시 패널에 대해서 빛을 사출하는 라인 형상 조명 장치와, 상기 라인 형상 조명 장치와 대향하도록 라인 형상에 병렬하여 장착되고, 상기 라인 형상 조명 장치로부터의, 상기 광학 표시 패널을 투과한 투과광을 수광하고, 상기 광학 표시 패널의 촬상을 행하는 복수의 에어리어 카메라와, 상기 에어리어 카메라에 의해 촬상된 광학 표시 패널의 화상을 처리하는 화상 처리부와, 상기 광학 표시 패널의 이동 속도에 따라서 상기 에어리어 카메라의 촬상 타이밍을 제어하는 제어부를 구비하며, 상기 에어리어 카메라는, 제n(n≥1)회째에 촬상된 상기 광학 표시 패널의 화상과 제n＋1회째에 촬상된 상기 광학 표시 패널의 화상이 일부 겹치도록 촬상하는 것을 특징으로 하는 투과식 결함 검사 장치를 제공한다.
본 발명에 의하면, 광학 표시 패널을 이동시키면서, 에어리어 카메라에 의해 상기 광학 표시 패널을 촬상할 수 있기 때문에, 결함 검사를 맞아서 광학 표시 패널을 일단 정지시킬 필요가 없어, 생산율을 큰 폭으로 향상할 수 있다.
또, 본 발명에 의하면, 에어리어 카메라는, 제n(n≥1)회째에 촬상된 상기 광학 표시 패널의 화상과 제n＋1회째에 촬상된 상기 광학 표시 패널의 화상이, 상기 광학 표시 패널의 이동 방향에 일부 겹치도록 촬상하는 것이기 때문에, 광학 표시 패널의 전면을 빠짐없이 촬상할 수 있어, 결함의 검출 누락을 방지할 수 있다. 또, 화상을 중복시킴으로써, 한 개소에 대해서 여러 차례의 검사를 행할 수 있어, 전술의 오검출에 의한 불량 판정을 저감시킬 수 있다.
또, 본 발명에 있어서는, 상기 복수의 에어리어 카메라의 각각은, 그 촬영 범위가 광학 표시 패널의 폭 방향에 서로 일부 겹치도록 배치되는 것이 바람직하다.
이것에 의해, 광학 표시 패널의 이동 방향만이 아니고, 그 폭 방향에서도 촬상 범위가 일부 겹치게 되어, 결함의 검출 누락을 보다 확실히 방지할 수 있다. 또, 촬상 범위를 중복시킴으로써, 한 개소에 대해서 여러 차례의 검사를 행할 수 있어, 전술의 오검출에 의한 불량 판정을 저감시킬 수 있다.
또, 본 발명의 라인 형상 조명 장치는, 광학 표시 패널의 전체 폭에 미치도록 장착되는 라인 광원인 것이 바람직하지만, 상기 광학 표시 패널의 폭 방향을 따라서 라인 형상에 배열된 복수의 점광원으로 이루어지는 구성으로 할 수도 있다. 상기 라인 형상 조명 장치는, 메탈 할라이드 램프 또는 LED 램프인 것이 바람직하다.
이것에 의해, 광학 표시 패널의 폭 방향 전체를 균일하게 빛으로 조명할 수 있게 되어, 에어리어 카메라의 촬상 효과를 확보할 수 있다.
본 발명은 또, 상술한 투과식 결함 검사 장치를 이용하여 광학 표시 패널에 있어서의 결함을 검출하는 결함 검사 방법을 제공한다. 이 결함 검출 방법은, 광학 표시 패널이 라인 형상 조명 장치와 에어리어 카메라의 사이를 통과하고 있는 동안에, 에어리어 카메라에 의해, 라인 형상 조명 장치로부터 광학 표시 패널에 사출되어 투과된 빛을 수광하고, 상기 광학 표시 패널을 이동시키면서, 그 소정 범위를 차례차례 촬상하고, 촬상된 복수의 화상 데이터를 화상 처리부에 보내 광학 표시 패널의 전체적인 화상으로 합성하며, 상기 에어리어 카메라가 제n(n≥1)회째에 촬상한 광학 표시 패널의 화상과 제n＋1회째에 촬상한 광학 표시 패널의 화상이, 광학 표시 패널의 이동 방향에 일부 겹치도록 하는 것을 특징으로 한다.
또, 화상의 중복 부분의 면적은 적당히 조정할 수 있지만, 에어리어 카메라가 제n(n≥1)회째에 촬상한 광학 표시 패널의 화상과 제n＋1회째에 촬상한 광학 표시 패널의 화상이, 에어리어 카메라의 촬상 범위의 1／2 이상으로 중복하도록 하는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 광학 표시 패널의 전면을 확실히 여러 차례 촬상할 수 있게 된다.
도 1은, 본 발명의 투과식 결함 검사 장치의 사시도이다.
도 2는, 본 발명의 투과식 결함 검사 장치의 측면도이다.
도 3은, 본 발명의 투과식 결함 검사 장치의 평면도이다.
도 4는, 본 발명의 투과식 결함 검사 장치에 의해 촬상된 광학 표시 패널의 영상을 나타내는 설명도이다.
도 5는, 차광기구가 없는 경우에 광원으로부터의 빛의 입사 상황을 설명하는 개략도이다.
도 6은, 본 발명의 투과식 결함 검사 장치에 차광기구를 설치했을 경우에 광원으로부터의 빛의 입사 상황을 설명하는 개략도이다.
도 7은, 본 발명의 투과식 결함 검사 장치를 이용하는 액정 패널의 제조 라인의 모식도이다.
다음에, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시 형태를 자세하게 설명한다. 또한, 이하의 실시 형태에 있어서는, 광학 표시 패널의 일례로서 액정 패널에 대해서 결함 검사를 행하는 경우에 대해서 설명한다.
본 발명의 투과식 결함 검사 장치(11)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 2개의 기둥을 가진 틀 형상에 형성된 프레임(41)과, 이 프레임(41)의 하부에서 2개의 기둥의 사이에 가설된 라인 형상 조명 장치를 구성하는 한 개의 라인 광원(21)과, 이 프레임(41)의 상부에 가설된 빔(beam)에 장착되며, 라인 광원(21)에 대향하도록 라인 형상에 병렬한 복수의 에어리어 카메라(31)를 구비한다.
도 1~3에 나타낸 바와 같이, 양면에 편광 필름(F1)이 첩부된 액정 패널(P1)이 반송 부재(51)에 의해 반송되어, 라인 광원(21)과 에어리어 카메라(31)의 사이를 통과한다. 라인 광원(21)은, 거기에 대향하는 에어리어 카메라(31)를 향해서 조사광을 사출한다. 그리고, 액정 패널(P1)이 라인 광원(21)과 에어리어 카메라(31)의 사이를 통과할 때에, 라인 광원(21)으로부터 사출된 빛은, 액정 패널(P1)에 투사되어, 상기 액정 패널(P1)을 투과해 에어리어 카메라(31)에 도달한다.
에어리어 카메라(31)는, 도시하지 않는 제어부의 지령에 따라서, 상기 에어리어 카메라의 하방을 통과하는 액정 패널(P1)에 대해서 그 영상을 촬상한다. 촬상하는 타이밍은, 액정 패널의 이동 속도에 따라서 적당히 조정되지만, 그 자세한 것은 후에 설명한다.
에어리어 카메라(31)는, 촬상된 화상 데이터를 도 6에 나타낸 화상 처리부(61)에 송출하고, 거기서 화상 합성을 행해, 결함이 있는지 아닌지를 판별한다.
액정 패널의 결함으로서는, 일반적으로, 액정층 내부의 기포, 이물 등, 편광 필름 내의 상처, 및 편광 필름과 액정 셀의 첩합면에 있어서의 티끌 등이 고려된다. 이러한 결함이 검출되지 않고 액정 패널이 그대로 출시되면, 결함에 의해 액정 패널은 표시 불량이 되어 버리므로, 제품의 품질에 큰 영향을 미친다.
본 발명의 투과식 결함 검사 장치에 있어서는, 액정 패널의 아래쪽의 면에 대향해 설치된 광원으로부터 조사된 가시광은, 액정 패널의 양면에 첩부된 편광 필름의 편광 작용에 의해서 그 대부분이 차단되지만, 만약 액정 셀 또는 편광 필름의 내부, 혹은 액정 셀과 편광 필름의 사이에 이물 또는 기포 등의 결함이 존재하면, 편광 필름의 편광 작용이 저해되어, 결함 부분에서는 가시광이 투과한다. 따라서, 광학 카메라에 의해서 이 투과광을 검출함으로써, 액정 패널의 결함 부분을 검출할 수 있다.
복수의 에어리어 카메라(31)는, 도 1에 나타낸 바와 같이 라인 광원(21)에 대향해서 장착된다. 에어리어 카메라(31)의 수와 설치 간격은, 필요에 따라서 적당히 조정할 수 있다. 예를 들면, 액정 패널(P1)의 폭 방향에 관해서, 복수의 에어리어 카메라(31)에 의한 복수의 촬상 범위가 서로 연속하도록 에어리어 카메라(31)를 설치하면 좋지만, 복수의 에어리어 카메라(31)에 의한 폭 방향의 촬상 범위가 각각 겹치도록 에어리어 카메라(31)를 배치하면, 액정 패널(P1)의 폭 방향 전체의 영상을 빠짐없이, 확실히 촬상하는 것이 가능하게 되기 때문에, 이 배치가 보다 바람직하다.
또, 액정 패널(P1)을 반송하면서 촬상을 행하는 구성이기 때문에, 에어리어 카메라(31)의 촬상 타이밍은, 액정 패널(P1)의 이동 속도에 맞추어 도시하지 않는 제어부에 의해 제어된다.
구체적으로 말하면, 도 4에 나타낸 바와 같이, 먼저 찍힌 일부의 영상과, 후에 찍힌 일부의 영상이 액정 패널(P1)의 반송 방향에 대해 일부 겹치도록, 에어리어 카메라(31)가 액정 패널(P1)에 대해서 촬상을 행한다. 예를 들면, 제1회째에 찍힌 영상이 도 4의 좌측에 나타난 긴 직사각형 형상(短冊狀)의 것이고, 제2회째에 찍힌 영상이 도 4의 우측에 나타난 긴 직사각형 형상의 것이라고 하면, 이 두 개의 영상이 액정 패널(P1)의 반송 방향에 대해 일부 중복하도록 촬상을 한다.
중복 부분의 면적은 필요에 따라서 적당히 조정할 수 있다. 예를 들면, 에어리어 카메라의 촬상 범위의 1／2이 중복하도록 촬상하면, 전후 3회의 촬상으로, 하나의 촬상 범위에 관한 화상이 이중 형성된다. 또, 에어리어 카메라의 촬상 범위의 2／3가 중복하도록 촬상하면, 5회의 촬상으로 하나의 촬상 범위에 관한 화상이 삼중 형성된다. 이와 같이, 액정 패널의 이동 속도에 따라서 촬상 타이밍을 설정함으로써, 소정의 중복 범위로 촬상하는 것이 가능하다.
이들 화상 신호는, 또한 도 6에 나타낸 화상 처리부(61)에 보내져, 거기서 합성된다. 액정 패널(P1)이 반송되는 동안에, 에어리어 카메라(31)는 소정의 타이밍으로 상기와 같이 연속적으로 촬상한다. 이 연속적인 촬상에 의해, 액정 패널(P1)의 전체적인 영상을 얻을 수 있다.
이와 같이 배치된 에어리어 카메라(31)에 의해 촬상함으로써, 액정 패널(P1)의 폭 방향 및 반송 방향의 어느 것이든지 얻어진 화상이 일부 겹치도록 할 수 있고, 결함을 빠짐없이 검출할 수 있어, 결함 검출의 정확성을 매우 향상시킬 수 있다.
또, 상기의 설명에서는, 라인 형상 조명 장치로서 한 개의 라인 광원의 예를 들었지만, 복수의 점광원을 라인 형상에 병렬 배치한 형태에 의해서도 같은 효과를 실현할 수 있다.
또한, 광원으로서, 메탈 할라이드 램프를 사용해도 좋고, LED 램프를 사용해도 좋다. 메탈 할라이드 램프를 사용하는 경우에는, 가시광이 사출되어, 액정 패널(P1)에 포함되는 결함이 휘점으로서 검출되게 된다. 또, 이 실시 형태에 있어서, 라인 광원과 에어리어 카메라는 틀 형상에 형성된 프레임에 장착된 구성을 예로서 들었지만, 광원 및 에어리어 카메라의 장착은, 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 라인 광원과 에어리어 카메라는 다른 프레임에 장착해도 좋다. 또, 프레임은 틀 형상이 아니라, 라인 광원 및 에어리어 카메라를 장착할 수 있는 구성이면, 어떠한 구조라도 좋다.
라인 형상 조명 장치를 이용한 액정 패널(P1)의 검사 장치에 있어서는, 라인 형상 조명 장치로부터 조사된 빛은, 도 5에 나타낸 바와 같이, 넓은 범위에 퍼지도록 사출되어, 에어리어 카메라의 정면에 향하는 빛 이외의 빛이 에어리어 카메라의 시야 범위 내에 들어가게 되기 때문에, 에어리어 카메라의 촬상에 휘도의 차이가 생겨 버려, 오검출의 요인이 될 가능성이 있다.
본 발명에서는, 이 문제점을 해소하기 위해서, 도 6에 나타낸 바와 같이, 라인 광원(21)의 상방에 차광기구(71)를 설치할 수 있다. 이러한 차광기구(71)를 설치함으로써, 에어리어 카메라(31)의 정면에 향하는 빛만을 통과시켜, 측부에 향하는 빛이 차광기구(71)에 의해 차단되어, 에어리어 카메라(31)에 입사하는 것이 없게된다. 이것에 의해, 한정된 범위 내의 빛(L)만이 에어리어 카메라(31)의 시야 범위에 들어가, 산란광의 입사에 의해 에어리어 카메라(31)의 화상에 휘도차이를 일으키는 것이 억제된다.
또, 차광기구(71)는, 라인 광원(21)의 긴 방향을 따라서 슬릿이 설치된 슬릿 부 차광판의 형태라도 좋고, 에어리어 카메라(31)와 대응한 위치에 원형의 개구부가 설치된 구멍(穴)부의 차광판의 형태라도 좋다. 슬릿부의 차광판이면, 간단한 구성으로 라인 형상 조명 부재(21)의 폭 방향의 산란광을 차단할 수 있다. 한편, 구멍부의 차광판이면, 라인 광원(21)의 폭 방향의 산란광만이 아니고, 서로 인접한 에어리어 카메라의 사이의 산란광의 입사도 방지할 수 있기 때문에, 검출 정밀도를 한층 향상시킬 수 있다. 또, 슬릿 또는 개구부의 설치 위치 및 크기 등은, 라인 광원(21)과 에어리어 카메라(31)의 위치 및 필요한 광량에 따라서 적당히 결정할 수 있다.
도 7에는, 본 발명의 투과식 결함 검사 장치가 배치되는 위치의 일례가 나타난다. 도 7에 나타낸 것은, 액정 셀의 양면에 광학 필름을 첩부하여 연속적으로 액정 패널을 제조하는 롤·투·패널 방법(Roll to Panel, RTP)이 적용된 액정 패널 제조 라인의 일례이다.
도 7에 나타낸 바와 같이, 액정 셀은, 액정 셀 공급 장치로부터 공급되어, 제1 광학 필름 첩부 장치에 반송된다. 또, 롤 형상으로 감겨진 제1 광학 필름은, 제1 광학 필름 공급 장치(FS1)로부터 공급되어, 제1 광학 필름 절단 장치(CS1)에서 액정 셀에 대응하는 치수로 절단되어, 제1 광학 필름 첩부 장치(PS1)에 반송된다. 제1 광학 필름 첩부 장치(PS1)에서, 액정 셀의 한 면에 제1 광학 필름이 첩부된다. 이 제1 광학 필름이 첩부된 액정 셀은 또한 제2 광학 필름 첩부 장치(PS2)에 반송된다. 제2 광학 필름은, 제1 광학 필름과 마찬가지로, 제2 광학 필름 공급 장치(FS2)로부터 공급되어, 제2 광학 필름 절단 장치(CS2)에서 액정 셀과 대응하는 치수로 절단되어, 제2 광학 필름 첩부 장치(PS2)에 반송된다. 제2 광학 필름 첩부 장치(PS2)에서, 액정 셀의 다른 면에 제2 광학 필름이 첩부되어 액정 패널을 형성한다. 이 양면에 광학 필름이 첩부된 액정 패널은 액정 패널 집적 장치에 축적되어, 다음의 공정에 반송된다.
거기서, 이 제조 라인의 마지막 위치에, 본 발명의 투과식 결함 검사 장치(11)가 배치되어, 양면에 광학 필름이 첩부된 액정 패널은, 집적 장치에 반송되기 전에, 출하하기 전의 액정 패널에 대해서 결함의 유무를 검사한다. 물론, 투과식 결함 검사 장치(11)가 배치되는 위치는 필요에 따라서 적당히 조정할 수 있다. 예를 들면, 액정 셀이 제조 라인에 공급되기 전에 그 중에 결함이 포함됐는지를 검사하거나, 편광 필름이 첩부된 후에 결함이 말려들어 갔는지를 검사하거나 할 수 있다. 또, 본 발명은, 액정 패널만이 아니고, 편광 필름에 대해서도 검사 가능하다.
상술한 실시예에서는, 양면에 편광 필름을 첩합한 액정 패널에 대해서 결함 검사를 행하는 예를 설명했지만, 본 발명은, 하나의 면에만 편광 필름이 첩합된 액정 패널에도 마찬가지로 적용할 수 있다. 그 경우에는, 도 7에 나타낸 액정 패널의 제조 라인에 제1 광학 필름 첩부 장치(PS1)의 하류 측이며 제2 광학 필름 첩부 장치(PS2)의 상류 측에 본 발명의 투과식 결함 검사 장치(11)를 설치하여, 한 면에만 편광 필름이 첩합된 액정 패널에 대해서 결함 검사를 행한다. 또한, 도 7에 나타낸 바와 같이, 액정 패널 집적 장치의 상류 측에 다른 투과식 결함 검사 장치(11)를 설치하여, 양면 모두 편광 필름이 첩합된 액정 패널에 대해서, 출하 전의 검사를 행한다.
이상, 최선의 실시 형태에 근거하여 본 발명의 내용을 설명했지만, 본 발명은 이 실시 형태로 한정되지 않는 것은 말할 필요도 없다. 청구항의 범위 내에 있는 여러 가지 변형이나 개선은 모두 본 발명의 범위 내이다.
P1: 액정 패널
F1: 편광 필름
11: 투과식 결함 검사 장치
21: 라인 광원
31: 에어리어 카메라
41: 프레임
51: 반송 부재
61: 화상 처리 장치
71: 차광기구

Claims (11)

  1. 광학 표시 패널의 이동 중에 그 결함을 검출하는 투과식 결함 검사 장치에 있어서,
    상기 광학 표시 패널에 대해서 빛을 사출하는 라인 형상 조명 장치와,
    상기 라인 형상 조명 장치와 대향하도록 라인 형상에 병렬로 장착되어, 상기 라인 형상 조명 장치로부터의, 상기 광학 표시 패널을 투과한 투과광을 수광하고, 상기 광학 표시 패널의 촬상을 행하는 복수의 에어리어 카메라와,
    상기 에어리어 카메라에 의해 촬상된 광학 표시 패널의 화상을 처리하는 화상 처리부와,
    상기 광학 표시 패널의 이동 속도에 따라서 상기 에어리어 카메라의 촬상 타이밍을 제어하는 제어부를 구비하며,
    상기 에어리어 카메라는, 제n(n≥1)회째에 촬상된 상기 광학 표시 패널의 화상과 제n＋1회째에 촬상된 상기 광학 표시 패널의 화상이, 상기 광학 표시 패널의 이동 방향에 일부 겹치도록 촬상하는 것을 특징으로 하는 투과식 결함 검사 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 복수의 에어리어 카메라의 각각의 촬영 범위는, 상기 광학 표시 패널의 폭 방향에 서로 일부가 겹치도록 배치된 것을 특징으로 하는 투과식 결함 검사 장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 라인 형상 조명 장치는, 상기 광학 표시 패널의 전체 폭에 미치도록 장착된 라인 광원인 것을 특징으로 하는 투과식 결함 검사 장치.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 라인 형상 조명 장치는, 상기 광학 표시 패널의 폭 방향을 따라서 라인 형상에 병렬 배치된 복수의 점광원으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 투과식 결함 검사 장치.
  5. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 라인 형상 조명 장치는, 메탈 할라이드 램프인 것을 특징으로 하는 투과식 결함 검사 장치.
  6. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 라인 형상 조명 장치는, LED 램프인 것을 특징으로 하는 투과식 결함 검사 장치.
  7. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 라인 형상 조명 장치의 상방에 설치되어, 상기 라인 형상 조명 장치로부터의 출사광 중, 상기 에어리어 카메라의 정면에 향하는 빛만을 통과시키는 차광기구를 추가하여 구비하는 것을 특징으로 하는 투과식 결함 검사 장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 차광기구는, 상기 라인 형상 조명 장치의 긴 방향을 따른 슬릿을 가지는 슬릿부 차광판인 것을 특징으로 하는 투과식 결함 검사 장치.
  9. 제 7항에 있어서,
    상기 차광기구는, 복수의 상기 에어리어 카메라에 각각 대응하는 위치에 개구부를 가지는 구멍부 차광판인 것을 특징으로 하는 투과식 결함 검사 장치.
  10. 청구항 1~9의 어느 한 항에 기재의 투과식 결함 검사 장치를 이용하여 광학 표시 패널의 결함을 검출하는 투과식 결함 검사 방법에 있어서,
    상기 광학 표시 패널이 라인 형상 조명 장치와 에어리어 카메라의 사이를 통과하고 있는 동안에, 상기 에어리어 카메라에 의해, 라인 형상 조명 장치로부터 상기 광학 표시 패널에 사출되어 투과된 빛을 수광하고, 상기 광학 표시 패널을 이동시키면서, 그 소정 범위를 차례차례 촬상하고, 촬상된 복수의 화상 데이터를 화상 처리부에 보내 상기 광학 표시 패널의 전체적인 화상으로 합성하며,
    상기 에어리어 카메라는, 제n(n≥1)회째에 촬상한 상기 광학 표시 패널의 화상과 제n＋1회째에 촬상한 상기 광학 표시 패널의 화상이, 상기 광학 표시 패널의 이동 방향에 일부 겹치도록 촬상하는 것을 특징으로 하는 광학 표시 패널의 결함 검사 방법.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 에어리어 카메라가 제n(n≥1)회째에 촬상한 상기 광학 표시 패널의 화상과 제n＋1회째에 촬상한 상기 광학 표시 패널의 화상이, 상기 에어리어 카메라의 촬상 범위의 1／2 이상으로 중복하도록 촬상하는 것을 특징으로 하는 투과식 결함 검사 방법.
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