TW201623947A - 透射型缺陷檢查裝置及缺陷檢查方法 - Google Patents

Abstract

提供透射型缺陷檢查裝置以及缺陷檢查方法之透射型缺陷檢查裝置，其特徵為，係具備有：線狀照明裝置，係對於光學顯示面板而射出光；和複數之區域攝像機，係並列為線狀並以與線狀照明裝置相對向的方式而被安裝，並受光從線狀照明裝置而來之透過了光學顯示面板之透射光，而對光學顯示面板進行攝像；和畫像處理部，係對於藉由區域攝像機所攝像了的光學顯示面板之畫像進行處理；和控制部，係因應於光學顯示面板之移動速度而對於區域攝像機之攝像時序作控制，區域攝像機，係以使在第n(n≧1)次所攝像的光學顯示面板之畫像和在第n+1次所攝像的光學顯示面板之畫像會於光學顯示面板之移動方向上而作一部分之重疊的方式，來進行攝像。若依據此透射型缺陷檢查裝置，則係能夠防止缺陷之漏檢測，而能夠以良好效率來檢測出缺陷。

Description

透射型缺陷檢查裝置及缺陷檢查方法

本發明，係有關於透射型缺陷檢查裝置及缺陷檢查方法。

在光學顯示面板中，為了實現顯示功能，係有必要因應於需要而貼附各種的光學薄膜。進而，係有必要對於貼附有光學薄膜之顯示面板而檢查其是否存在有缺陷。

通常，在針對例如液晶面板一般之顯示面板而進行缺陷檢查的情況時，係從液晶面板之其中一面照射照明光，並藉由感測器來檢測出其之透射光或者是藉由攝像機來進行攝像，藉此來進行液晶面板之缺陷檢查。

一般而言，在攝像機中，係存在有區域攝像機和線狀感測攝像機，如同在專利文獻1中所記載一般，線狀攝像機，係身為在使攝像對象物移動的狀態下而進行攝像者，但是，區域攝像機係需要使攝像對象物停止並進行攝像。

例如，在專利文獻2中，係記載有：在使用區域攝像機而對於液晶面板之缺陷進行檢查時，係使液晶面板停止並進行攝像，又，在專利文獻3中，係記載有：在藉由線狀感測攝像機來對於液晶面板之缺陷進行檢查時，係一面搬送液晶面板一面進行攝像。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2011-197281號公報

[專利文獻2]日本特開2008-051755號公報

[專利文獻3]日本特開2010-091714號公報

但是，若依據在專利文獻2中所記載之檢查方法，則係有必要使液晶面板靜止，在進行液晶面板之檢查的期間中，係必須要暫時使生產線停止。因此，係難以使製造效率提昇。

另一方面，若依據在專利文獻3中所記載之一般性的由線狀攝像機所致之檢查方法，則由於係以線狀攝像機來對於液晶面板之寬幅方向的特定寬幅進行攝像，因此係有必要將所得到的影像完全地相互接合。因此，當前後所得到的影像並非為連續的情況時，係成為難以對於液晶面板之全面而毫無遺漏地進行檢查。又，當起因於附 著在液晶面板之表面上的異物或者是在對於畫像處理裝置進行資料送訊時之雜訊等而導致發生誤檢測的情況時，由於不論是在專利文獻1~3中所記載之任一者的檢查方法中，均係僅進行1次的對象物之檢查，因此，係會有雖然對象物乃身為良品但是卻起因於誤檢測而將其判定為不良的情形。

本發明，係為為了解決上述問題點所進行者，其目的，係在於藉由以區域攝像機來對於移動中之光學顯示面板進行攝像並以會使前後所攝像之畫像分別會有一部分之重複的方式來進行攝像，來成為能夠簡單地以高精確度而檢測出在光學顯示面板中所存在的缺陷。

本發明，係提供一種透射型缺陷檢查裝置，其係為一面使光學顯示面板移動一面檢測出其缺陷的透射型缺陷檢查裝置，其特徵為，係具備有：線狀照明裝置，係對於前述光學顯示面板而射出光；和複數之區域攝像機，係以與前述線狀照明裝置相對向的方式而並列地安裝為線狀，並受光從前述線狀照明裝置而來之透過了前述光學顯示面板之透射光，而進行前述光學顯示面板之攝像；和畫像處理部，係對於藉由前述區域攝像機所攝像了的光學顯示面板之畫像進行處理；和控制部，係因應於前述光學顯示面板之移動速度而對於前述區域攝像機之攝像時序作控制，前述區域攝像機，係以使在第n(n≧1)次所攝 像的前述光學顯示面板之畫像和在第n+1次所攝像的前述光學顯示面板之畫像會作一部分之重疊的方式，來進行攝像。

若依據本發明，則由於係能夠一面使光學顯示面板移動一面藉由區域攝像機來對於該光學顯示面板進行攝像，因此，在缺陷檢查中係並不需要使光學顯示面板暫時停止，生產率係大幅度的提升。

又，若依據本發明，則由於區域攝像機，係身為以使在第n(n≧1)次所攝像的前述光學顯示面板之畫像和在第n+1次所攝像的前述光學顯示面板之畫像會在前述光學顯示面板之移動方向上作一部分之重疊的方式來進行攝像者，因此，係能夠對於光學顯示面板之全面而毫無遺漏地進行攝像，而能夠防止缺陷之漏檢測。又，藉由使畫像有所重複，係能夠對於1個場所而進行複數次之檢查，而能夠將前述之起因於誤檢測所導致的不良判定減少。

又，在本發明中，較理想，前述複數之區域攝像機的各別之攝影範圍，係以會在前述光學顯示面板之寬幅方向上而相互作一部分之重疊的方式而被作配置。

藉由此，不僅是在光學顯示面板之移動方向上，就連在其之寬幅方向上，攝像範圍也會成為作一部分的重疊，而能夠更確實地防止缺陷之漏檢測。又，藉由使攝像範圍有所重複，係能夠對於1個場所而進行複數次之檢查，而能夠將前述之起因於誤檢測所導致的不良判定減 少。

又，本發明之線狀照明裝置，較理想，係為以涵蓋光學顯示面板之全寬幅的方式而被作安裝之線光源，但是，亦可採用由沿著該光學顯示面板之寬幅方向而配列成線狀的複數之點光源所成之構成。較理想，該線狀照明裝置，係為金屬鹵素燈或LED燈。

藉由此，係成為能夠將光學顯示面板之寬幅方向全體以均勻之光來照明，而能夠確保區域攝像機之攝像效果。

又，本發明，係提供一種利用上述之透射型缺陷檢查裝置來檢測出光學顯示面板中之缺陷的缺陷檢查方法。此缺陷檢查方法，其特徵為：在光學顯示面板通過線狀照明裝置和區域攝像機之間的期間中，藉由區域攝像機，而受光從線狀照明裝置所射出至光學顯示面板處並作了透過之光，並一面使該光學顯示面板移動，一面對於其之特定範圍依序進行攝像，再將所攝像的複數之畫像資料送至畫像處理部處，並合成為光學顯示面板之全體性的畫像，該區域攝像機，係以使在第n(n≧1)次所攝像的光學顯示面板之畫像和在第n+1次所攝像的光學顯示面板之畫像會於光學顯示面板之移動方向上而作一部分之重疊的方式，來構成之。

又，畫像之重複部分的面積，係可適宜作調整，但是，較理想，區域攝像機，係以使在第n(n≧1)次所攝像的光學顯示面板之畫像和在第n+1次所攝像的 光學顯示面板之畫像會作區域攝像機的攝像範圍之1/2以上之重複的方式，來構成之。藉由此，係成為能夠將光學顯示面板之全面確實地進行複數次的攝像。

P1‧‧‧液晶面板

F1‧‧‧偏光薄膜

11‧‧‧透射型缺陷檢查裝置

21‧‧‧線光源

31‧‧‧區域攝像機

41‧‧‧框架

51‧‧‧搬送構件

61‧‧‧畫像處理裝置

71‧‧‧遮光機構

[圖1]係為本發明之透射型缺陷檢查裝置之立體圖。

[圖2]係為本發明之透射型缺陷檢查裝置之側面圖。

[圖3]係為本發明之透射型缺陷檢查裝置之平面圖。

[圖4]係為對於藉由本發明之透射型缺陷檢查裝置所攝像的光學顯示面板之影像作展示的說明圖。

[圖5]係為對於當不存在遮光機構的情況時之從光源而來之光的射入狀況作說明之概略圖。

[圖6]係為對於當在本發明之透射型缺陷檢查裝置處設置有遮光機構的情況時之從光源而來之光的射入狀況作說明之概略圖。

[圖7]係為利用本發明之透射型缺陷檢查裝置的液晶面板之生產線之示意圖。

接著，參考圖面，對於本發明之實施形態作詳細說明。另外，在以下之實施形態中，作為光學顯示面板之其中一例，針對對於液晶面板進行缺陷檢查的情況作說明。

本發明之透射型缺陷檢查裝置11，係如圖1中所示一般，具備有：具有2根之柱並被形成為框狀之框架41、和在此框架41之下部而被架設於2根之柱之間的構成線狀照明裝置之1根的線光源21、和被安裝於被架設在此框架41之上部的樑處並以與線光源21相對向的方式而並列為線狀的複數之區域攝像機31。

如同圖1~3中所示一般，在兩面被貼附有偏光薄膜F1之液晶面板P1，係藉由搬送構件51而被進行搬送，並通過線光源21和區域攝像機31之間。線光源21，係朝向與其相對向之區域攝像機31而射出照射光。又，在液晶面板P1通過線光源21和區域攝像機31之間時，從線光源21所射出之光，係被投射至液晶面板P1處，並透過該液晶面板P1而到達區域攝像機31處。

區域攝像機31，係因應於未圖示之控制部的指令，而對於通過該區域攝像機之下方的液晶面板P1攝像其之影像。進行攝像之時序，係因應於液晶面板之移動速度而適宜作調整，但是，關於其詳細內容，係於後再作說明。

區域攝像機31，係將所攝像的畫像資料送出至圖6中所示之畫像處理部61處，並於該處進行畫像合成，而判別是否存在有缺陷。

作為液晶面板之缺陷，一般而言，係可考慮有液晶層內部之氣泡、異物等，偏光薄膜內之傷痕、以及在偏光薄膜與液晶胞之間的貼合面處之塵埃等。若是並未 檢測出此種缺陷地而直接將液晶面板出貨，則由於會起因於缺陷而導致液晶面板成為顯示不良，因此係會對於製品之品質造成極大的影響。

在本發明之透射型缺陷檢查裝置中，從與液晶面板之下側之面相對向而設置的光源所照射而來之可視光，係會起因於被貼附在液晶面板之兩面上的偏光薄膜之偏光作用而使其之絕大部分被作遮蔽，但是，如果在液晶胞或是偏光薄膜之內部或者是液晶胞與偏光薄膜之間而存在有異物或氣泡等之缺陷，則偏光薄膜之偏光作用會被阻礙，在缺陷部分處可視光係會透過。故而，藉由以光學攝像機來檢測出此透射光，係能夠檢測出液晶面板之缺陷部分。

複數之區域攝像機31，係如同圖1中所示一般而與線光源21相對向地被作安裝。區域攝像機31之數量和設置間隔，係可因應於需要而適宜作調整。例如，針對液晶面板P1之寬幅方向，只要以使由複數之區域攝像機31所得到的複數之攝像範圍會相互連續的方式來設置區域攝像機31即可，但是，若是以使由複數之區域攝像機31所得到的寬幅方向之攝像範圍會分別相互重疊的方式來配置區域攝像機31，則由於係成為能夠對於液晶面板P1之寬幅方向全體的影像而毫無遺漏地確實進行攝像，因此，此種配置係更為理想。

又，由於係身為一面搬送液晶面板P1一面進行攝像之構成，因此，區域攝像機31之攝像時序，係配 合於液晶面板P1之移動速度而藉由未圖示之控制部來進行控制。

若是作具體性敘述，則如圖4中所示一般，係以會使之前所攝像之一部分的影像和之後所攝像之一部分的影像於液晶面板P1之搬送方向上而作一部分之重疊的方式，來使區域攝像機31對於液晶面板P1進行攝像。例如，若是第1次所攝像的影像係為圖4之左側處所示的短籤狀者，而第2次所攝像的影像為圖4之右側處所示的短籤狀者，則係以使此2個的影像會在液晶面板P1之搬送方向上作一部分之重複的方式來進行攝像。

重複部分之面積，係可因應於需要而適宜作調整。例如，若是以使區域攝像機之攝像範圍的1/2會相互重複的方式來進行攝像，則藉由前後3次的攝像，係形成雙重之關連於1個攝像範圍的畫像。又，若是以使區域攝像機之攝像範圍的2/3會相互重複的方式來進行攝像，則藉由5次的攝像，係形成三重之關連於1個攝像範圍的畫像。如此這般，藉由因應於液晶面板之移動速度而設定攝像時序，係能夠以特定之重複範圍來進行攝像。

此些之畫像訊號，係更進而被送至圖6中所示之畫像處理部61處，並於該處被作合成。在液晶面板P1被進行搬送的期間中，區域攝像機31係以特定之時序而如同上述一般地連續性進行攝像。藉由此連續性之攝像，係能夠得到液晶面板P1之全體性的影像。

藉由以如此這般所作了配置的區域攝像機31 來進行攝像，不論是針對液晶面板P1之寬幅方向以及搬送方向之任一者，均能夠使所得到的畫像作一部分之重疊，而能夠毫無遺漏地檢測出缺陷，並能夠使缺陷檢測之正確性作大幅度的提升。

又，在上述之說明中，作為線狀照明裝置，雖係列舉出1根的線光源之例，但是，就算是藉由將複數之點光源並列配置成線狀的形態，也能夠實現相同的效果。

另外，作為光源，係可使用金屬鹵素燈，亦可使用LED燈。在使用金屬鹵素燈的情況時，係射出可視光，在液晶面板P1中所包含之缺陷係成為作為亮點而被檢測出來。

又，在此實施形態中，雖係列舉出將線光源和區域攝像機安裝在被形成為框狀之框架上的構成為例，但是，光源以及區域攝像機之安裝係並不被限定於此。例如，線光源和區域攝像機，係亦可安裝在相異之框架上。又，框架係亦可並非為框狀，只要是能夠安裝線光源以及區域攝像機之構成，則不論是何種構造均可。

在使用有線狀照明裝置之液晶面板P1之檢查裝置中，從線狀照明裝置所照射而來之光，係如同圖5中所示一般，以擴廣為廣範圍的方式而被射出，朝向區域攝像機之正面的光以外之光，係成為會進入至區域攝像機之視野範圍內，因此，會在區域攝像機之攝像中產生亮度之差，並會有成為誤檢測之要因的可能性。

在本發明中，為了解決此問題點，係可如同圖6中所示一般，在線光源21之上方設置遮光機構71。藉由設置此種遮光機構71，係僅使朝向區域攝像機31之正面的光通過，朝向側部之光係被遮光機構71所遮斷，並成為不會射入至區域攝像機31中。藉由此，僅有在有限範圍內之光L會進入至區域攝像機31之視野範圍中，起因於散射光之射入而導致在區域攝像機31之畫像中產生亮度差的情形係被抑制。

又，遮光機構71，係可採用沿著線光源21之長邊方向而設置有細縫的附細縫遮光板之形態，亦可採用在與區域攝像機31相對應之位置處設置有圓形的開口部之附孔遮光板之形態。若是身為附細縫遮光板之形態，則係能夠以簡單的構成來將線狀照明構件21之寬幅方向的散射光遮斷。另一方面，若是身為附孔遮光板，則由於不僅是能夠防止線光源21之寬幅方向的散射光之射入，而亦可防止相鄰之區域攝像機之間的散射光之射入，因此係能夠使檢測精確度更進一步提昇。又，細縫或開口部之設置位置以及大小等，係可因應於線光源21和區域攝像機31之位置以及所需要的光量而適宜作決定。

在圖7中，對於本發明之透射型缺陷檢查裝置所被作配置的位置之其中一例作展示。圖7中所示者，係為被適用有在液晶胞之兩面貼附光學薄膜並連續性地製造出液晶面板的卷至面板方法(Roll To Panel，RTP)之液晶面板生產線的其中一例。

如同圖7中所示一般，液晶胞，係從液晶胞供給裝置而被作供給，並被搬送至第1光學薄膜貼附裝置處。又，被捲繞成卷狀之第1光學薄膜，係從第1光學薄膜供給裝置FS1而被作供給，並在第1光學薄膜切斷裝置CS1處被切斷成與液晶胞相對應的尺寸，再被搬送至第1光學薄膜貼附裝置PS1處。在第1光學薄膜貼附裝置PS1處，於液晶胞之單面上係被貼附有第1光學薄膜。此被貼附有第1光學薄膜之液晶胞，係更進而被搬送至第2光學薄膜貼附裝置PS2處。第2光學薄膜，係與第1光學薄膜相同的，從第2光學薄膜供給裝置FS2而被作供給，並在第2光學薄膜切斷裝置CS2處被切斷成與液晶胞相對應的尺寸，再被搬送至第2光學薄膜貼附裝置PS2處。在第2光學薄膜貼附裝置PS2處，於液晶胞之另外一面上係被貼附有第2光學薄膜，而形成液晶面板。此於兩面上被貼附有光學薄膜之液晶面板，係被積蓄於液晶面板積蓄裝置中，並被搬送至下一工程處。

而，於此生產線之最後的位置處，係被配置有本發明之透射型缺陷檢查裝置11，於兩面上被貼附有光學薄膜之液晶面板，在被搬送至積蓄裝置中之前，係針對出貨前之液晶面板而對於缺陷之有無作檢查。當然的，透射型缺陷檢查裝置11所被作配置之位置，係可因應於需要而適宜作調整。例如，係可在液晶胞被供給至生產線之前而檢查在其中是否包含有缺陷，亦可在被貼附了偏光薄膜之後，對於是否混入有缺陷一事進行檢查。又，本發 明，係不僅是能夠對於液晶面板進行檢查，而亦能夠對於偏光薄膜進行檢查。

在上述之實施例中，雖係針對對於在兩面上貼合有偏光薄膜之液晶面板進行缺陷檢查之例作了說明，但是，本發明，對於僅在單面上貼合有偏光薄膜之液晶面板，係亦能夠同樣的作適用。於此情況，係在圖7中所示之液晶面板的生產線中，於身為第1光學薄膜貼附裝置PS1之下游側且身為第2光學薄膜貼附裝置PS2之上游側處，設置本發明之透射型缺陷檢查裝置11，並對於僅在單面上貼附有偏光薄膜之液晶面板進行缺陷檢查。進而，如圖7中所示一般，於液晶面板積蓄裝置之上游側處，設置其他之透射型缺陷檢查裝置11，並對於在兩面上均貼附有偏光薄膜之液晶面板，而進行出貨前之檢查。

以上，雖係參考最佳之實施形態而針對本發明之內容作了說明，但是，當然的，本發明係並不被限定於此實施形態。在申請專利範圍之範圍內的各種之變形以及改良，均係包含於本發明之範圍中。

P1‧‧‧液晶面板

F1‧‧‧偏光薄膜

11‧‧‧透射型缺陷檢查裝置

21‧‧‧線光源

31‧‧‧區域攝像機

41‧‧‧框架

51‧‧‧搬送構件

Claims (11)

1. 一種透射型缺陷檢查裝置，係為在光學顯示面板之移動中而檢測出其缺陷的透射型缺陷檢查裝置，其特徵為，係具備有：線狀照明裝置，係對於前述光學顯示面板而射出光；和複數之區域攝像機，係以與前述線狀照明裝置相對向的方式而並列地安裝為線狀，並受光從前述線狀照明裝置而來之透過了前述光學顯示面板之透射光，而進行前述光學顯示面板之攝像；和畫像處理部，係對於藉由前述區域攝像機所攝像了的光學顯示面板之畫像進行處理；和控制部，係因應於前述光學顯示面板之移動速度而對於前述區域攝像機之攝像時序作控制，前述區域攝像機，係以使在第n(n≧1)次所攝像的前述光學顯示面板之畫像和在第n+1次所攝像的前述光學顯示面板之畫像會於前述光學顯示面板之移動方向上而作一部分之重疊的方式，來進行攝像。
2. 如申請專利範圍第1項所記載之透射型缺陷檢查裝置，其中，前述複數之區域攝像機的各別之攝影範圍，係以會在前述光學顯示面板之寬幅方向上而相互作一部分之重疊的方式而被作配置。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所記載之透射型缺陷檢查裝置，其中，前述線狀照明裝置，係為以涵蓋前述 光學顯示面板之全寬幅的方式而被作安裝之線光源。
4. 如申請專利範圍第1項或第2項所記載之透射型缺陷檢查裝置，其中，前述線狀照明裝置，係為沿著前述光學顯示面板之寬幅方向而以線狀來作了並列配置的複數之點光源。
5. 如申請專利範圍第1~3項中之任一項所記載之透射型缺陷檢查裝置，其中，前述線狀照明裝置，係為金屬鹵素燈。
6. 如申請專利範圍第1~4項中之任一項所記載之透射型缺陷檢查裝置，其中，前述線狀照明裝置，係為LED燈。
7. 如申請專利範圍第1~6項中之任一項所記載之透射型缺陷檢查裝置，其中，係更進而具備有：遮光機構，係被設置在前述線狀照明裝置之上方，並僅使從前述線狀照明裝置而來之射出光中的朝向前述區域攝像機之正面之光通過。
8. 如申請專利範圍第7項所記載之透射型缺陷檢查裝置，其中，前述遮光機構，係為具備有沿著前述線狀照明裝置之長邊方向的細縫之附細縫遮光板。
9. 如申請專利範圍第7項所記載之透射型缺陷檢查裝置，其中，前述遮光機構，係為在分別與複數之前述區域攝像機相對應的位置處具備有開口部之附孔遮光板。
10. 一種光學顯示面板之缺陷檢查方法，係為使用如申請專利範圍第1~9項中之任一項所記載之透射型缺陷 檢查裝置而檢測出光學顯示面板之缺陷的透射型缺陷檢查方法，其特徵為：在前述光學顯示面板通過線狀照明裝置和區域攝像機之間的期間中，藉由前述區域攝像機，而受光從線狀照明裝置所射出至前述光學顯示面板處並作了透過之透射光，並一面使前述光學顯示面板移動，一面對於其之特定範圍依序進行攝像，再將所攝像的複數之畫像資料送至畫像處理部處，並合成為前述光學顯示面板之全體性的畫像，前述區域攝像機，係以使在第n(n≧1)次所攝像的前述光學顯示面板之畫像和在第n+1次所攝像的前述光學顯示面板之畫像會於前述光學顯示面板之移動方向上而作一部分之重疊的方式，來進行攝像。
11. 如申請專利範圍第10項所記載之透射型缺陷檢查裝置，其中，前述區域攝像機，係以使在第n(n≧1)次所攝像的前述光學顯示面板之畫像和在第n+1次所攝像的前述光學顯示面板之畫像會作前述區域攝像機的攝像範圍之1/2以上之重複的方式，來進行攝像。