TWI782086B - 缺陷檢查裝置、缺陷檢查方法、圓偏光板或橢圓偏光板之製造方法及相位差板之製造方法 - Google Patents

Abstract

本發明之課題係提供一種可實現高泛用性之缺陷檢查裝置及缺陷檢查方法、以及使用了上述缺陷檢查方法之圓偏光板或橢圓偏光板的製造方法及相位差板之製造方法，其中，該缺陷檢查裝置及缺陷檢查方法係用以檢查圓偏光板或橢圓偏光板的缺陷或者圓偏光光或橢圓偏光光之生成所用之相位差板的缺陷。

本發明之一形態的缺陷檢查裝置10，係檢查具有直線偏光板20及相位差板22的圓偏光板12或橢圓偏光板之缺陷者，且具備：光照射部14，係配置於圓偏光板或橢圓偏光板所具有之直線偏光板側，並且對圓偏光板或橢圓偏光板之攝像區域A照射檢查光；反射構件16，係從圓偏光板或橢圓偏光板來看，為配置於與光照射部為相反側，並且將從已照射檢查光之圓偏 光板或橢圓偏光板輸出之光反射至圓偏光板或橢圓偏光板側；以及攝像部18，係從圓偏光板或橢圓偏光板來看配置於與光照射部為相同側。

Description

缺陷檢查裝置、缺陷檢查方法、圓偏光板或橢圓偏光板之製造方法及相位差板之製造方法

本發明係關於缺陷檢查裝置、缺陷檢查方法、圓偏光板或橢圓偏光板的製造方法及相位差板的製造方法。

本技術領域之以往技術已知有專利文獻1之技術。專利文獻1係揭示一種至少積層有偏光板與光學補償層之積層膜的製造方法、缺陷檢測裝置及缺陷檢查方法。當上述光學補償層具有從直線偏光生成圓偏光或橢圓偏光之功能(相當於相位差板)時，上述積層膜相當於圓偏光板或橢圓偏光板。在專利文獻1之技術中，係從檢查對象之積層膜的偏光板側對積層膜照射光，並以配置於積層膜之光學補償層側的攝像部取得積層膜之穿透光像。在積層膜與攝像部之間係從積層膜側起依序配置有檢查用相位差濾光片及檢查用偏光濾光片。藉由此等濾光片的功能，在 積層膜沒有產生缺陷時，攝像部所得之圖像會暗黑地顯示，在積層膜產生缺陷時則在攝像部所得之圖像中缺陷部分變明亮。其結果，能以攝像部所得之圖像來判別有無缺陷。

[先行技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利第4869053號

專利文獻1所使用之檢查用相位差濾光片係用來抵消積層膜所具有之光學補償層所致的相位差。因而，為了更正確地實施檢查，檢查用相位差濾光片必須視光學補償層而進行更換。因此，當實施圓偏光板或橢圓偏光板之缺陷檢查或者實施會從直線偏光生成圓偏光或橢圓偏光之相位差板的缺陷檢查時，若應用專利文獻1之技術，則缺陷檢查裝置及缺陷檢查方法之泛用性會降低。

因此，本發明之目的在於提供一種可實現高泛用性之缺陷檢查裝置及缺陷檢查方法、以及使用了上述缺陷檢查方法之圓偏光板或橢圓偏光板的製造方法及相位差板的製造方法，其中，該缺陷檢查裝置及缺陷檢查方法係用以檢查圓偏光板或橢圓偏光板的缺陷或者圓偏光光或橢圓偏光光之生成所用之相位差板的缺陷。

本發明之一態樣的缺陷檢查裝置，係檢查具 有直線偏光板及積層於上述直線偏光板之相位差板的圓偏光板或橢圓偏光板之缺陷者，該缺陷檢查裝置具備：光照射部，係配置於上述圓偏光板或橢圓偏光板所具有之上述直線偏光板側，並且對上述圓偏光板或橢圓偏光板之攝像區域照射檢查光；反射構件，係從上述圓偏光板或橢圓偏光板來看，為配置於與上述光照射部為相反側，並且將從已照射上述檢查光之上述圓偏光板或橢圓偏光板輸出之光反射至上述圓偏光板或橢圓偏光板側；以及攝像部，係從上述圓偏光板或橢圓偏光板來看，為配置於與上述光照射部為相同側，並且拍攝上述攝像區域。

假如在圓偏光板或橢圓偏光板不存在缺陷時，在上述缺陷檢查裝置中，從圓偏光板或橢圓偏光板輸出至反射構件側之光為圓偏光光或橢圓偏光光。以下為了方便說明，將從直線偏光板側入射至圓偏光板或橢圓偏光板且從圓偏光板或橢圓偏光板輸出之光的圓偏光或橢圓偏光假設為右旋之圓偏光或橢圓偏光。此時，被反射構件反射而返回圓偏光板或橢圓偏光板側之光的圓偏光或橢圓偏光為左旋之圓偏光或橢圓偏光。因而，被反射構件反射之光無法通過圓偏光板或橢圓偏光板，故攝像部所得之圖像為暗黑地顯示之黑色圖像。另一方面，若在圓偏光板或橢圓偏光板產生缺陷，因缺陷而致使偏光狀態混亂，故從反射構件返回至圓偏光板或橢圓偏光板側之光包含通過圓偏光板或橢圓偏光板之成分。因此，在攝像部所得之圖像中存在 對應於缺陷之明亮部。其結果，可檢查圓偏光板或橢圓偏光板之缺陷。

本發明之另一態樣的缺陷檢查裝置，係檢查會將直線偏光轉換成圓偏光或橢圓偏光而輸出之相位差板的缺陷者，且具備：直線偏光板；光照射部，係穿過上述直線偏光板而對上述相位差板之攝像區域照射檢查光；反射構件，係從上述相位差板來看，為配置於與上述光照射部為相反側，並且將從已照射上述檢查光之上述相位差板輸出之光反射至上述相位差板側；以及攝像部，係從上述相位差板來看，為配置於與上述光照射部為相同側，並且穿過上述直線偏光板而拍攝上述攝像區域。

假如在相位差板不存在缺陷時，在上述缺陷檢查裝置中，因穿過直線偏光板而對相位差板照射檢查光，故從相位差板輸出至反射構件側之光為圓偏光光或橢圓偏光光。以下為了方便說明，將檢查光穿過直線偏光板而入射至相位差板時從相位差板輸出之光的圓偏光或橢圓偏光假設為右旋之圓偏光或橢圓偏光。此時，被反射構件反射並返回至相位差板側之光的圓偏光或橢圓偏光為左旋之圓偏光或橢圓偏光。由於穿過上述直線偏光板而照射於相位差板之光為右旋之圓偏光光或橢圓偏光光，故若左旋之圓偏光光或橢圓偏光光從反射構件入射至相位差板，則與直 線偏光板為正交偏光之直線偏光光會朝向直線偏光板而從相位差板輸出。因而，攝像部所得之圖像為黑色圖像。另一方面，若在相位差板產生缺陷，因缺陷而致使偏光狀態混亂，故被反射構件反射且通過相位差板之光包含可通過直線偏光板之成分。因此，穿過直線偏光板而由攝像部拍攝攝像區域所得之圖像係存在對應於缺陷之明亮部。其結果，可檢查相位差板之缺陷。

上述光照射部能夠以與上述攝像部之光軸為同軸並將上述檢查光照射於上述攝像區域。

上述光照射部亦能夠以相對於上述攝像部之光軸而言為交叉之光軸並將上述檢查光照射於上述攝像區域。

上述光照射部可具有配置成包圍上述攝像部之周圍之複數個光源。

上述反射構件可為表面經鏡面加工的滾筒。

本發明之另一態樣的缺陷檢查方法(以下，稱為「第1缺陷檢查方法」)，係檢查具有直線偏光板及積層於直線偏光板之相位差板的圓偏光板或橢圓偏光板之缺陷者，該缺陷檢查方法具備：光照射步驟，係從上述直線偏光板側，將來自光照射部之檢查光照射於上述圓偏光板或橢圓偏光板之攝像區域；反射步驟，係將從已照射上述檢查光之上述圓偏光板或橢圓偏光板輸出之光以反射構件反射至上述圓偏光板或 橢圓偏光板側；以及攝像步驟，係使用從上述圓偏光板或橢圓偏光板來看為配置於與上述光照射部為相同側之攝像部，拍攝上述攝像區域。

假設在圓偏光板或橢圓偏光板不存在缺陷時，若在上述光照射步驟中對圓偏光板或橢圓偏光板照射檢查光，則會從圓偏光板或橢圓偏光板輸出圓偏光光或橢圓偏光光至反射構件側。以下為了方便說明，將從直線偏光板側入射至圓偏光板或橢圓偏光板且從圓偏光板或橢圓偏光板輸出之光的圓偏光或橢圓偏光假設為右旋之圓偏光或橢圓偏光。此時，在反射步驟中被反射構件反射且返回至圓偏光板或橢圓偏光板側之光的圓偏光或橢圓偏光為左旋之圓偏光或橢圓偏光。因而，被反射構件反射之光無法通過圓偏光板或橢圓偏光板，故在攝像步驟中攝像部所得之圖像為黑色圖像。另一方面，若在圓偏光板或橢圓偏光板產生缺陷，因缺陷而致使偏光狀態混亂，故從反射構件返回至圓偏光板或橢圓偏光板側之光會包含通過圓偏光板或橢圓偏光板之成分。因此，在攝像步驟中在攝像部所得之圖像中存在對應於缺陷之明亮部。其結果，可檢查圓偏光板或橢圓偏光板之缺陷。

本發明之另一態樣的缺陷檢查方法(以下，稱為「第2缺陷檢查方法」)，係檢查會將直線偏光轉換成圓偏光或橢圓偏光而輸出之相位差板的缺陷者，且具備：光照射步驟，係穿過直線偏光板而對上述相位差板之 攝像區域照射來自光照射部之檢查光；反射步驟，係將從已照射上述檢查光之上述相位差板輸出之光以反射構件反射至上述相位差板側；以及攝像步驟，係使用從上述相位差板來看為配置於與上述光照射部為相同側之攝像部，穿過上述直線偏光板而拍攝上述攝像區域。

假設在相位差板不存在缺陷時，若在上述光照射步驟中穿過直線偏光板而對相位差板照射檢查光，則會從相位差板輸出圓偏光光或橢圓偏光光至反射構件側。以下為了方便說明，將檢查光從穿過直線偏光板而入射至相位差板時從相位差板所輸出之光的圓偏光或橢圓偏光假設為右旋之圓偏光或橢圓偏光。此時，在反射步驟中被反射構件反射且返回至相位差板側之光的圓偏光或橢圓偏光為左旋之圓偏光或橢圓偏光。由於穿過上述直線偏光板而照射於相位差板之光為右旋的圓偏光光或橢圓偏光光，故若左旋之圓偏光光或橢圓偏光光從反射構件入射至相位差板，則與直線偏光板為正交偏光之直線偏光光會朝向直線偏光板而從相位差板輸出。因而，在攝像步驟中，穿過直線偏光板而由攝像部拍攝攝像區域所得之圖像為黑色圖像。另一方面，若在相位差板產生缺陷，因缺陷而致使偏光狀態混亂，故被反射構件反射且通過相位差板之光包含可通過直線偏光板之成分。因此，在攝像步驟中，穿過直線偏光板而在攝像部拍攝攝像區域所得之圖像中存在對應於缺陷之明亮部。其結果，可檢查相位差板之缺陷。

在上述第1或第2缺陷檢查方法中，反射構件係表面經鏡面加工之滾筒，可將長條之上述圓偏光板或橢圓偏光板或上述相位差板以上述滾筒輸送的同時實施上述光照射步驟、上述反射步驟及上述攝像步驟。

上述第1或第2缺陷檢查方法之上述光照射步驟中，能夠以與上述攝像部之光軸為同軸並將上述檢查光照射於上述攝像區域。

上述第1或第2缺陷檢查方法之上述光照射步驟中，亦能夠以相對於上述攝像部之光軸而言為交叉之光軸並將上述檢查光照射於上述攝像區域。

上述第1或第2缺陷檢查方法之上述光照射步驟中，亦可將來自配置成包圍上述攝像部之周圍的複數個光源之上述檢查光照射於上述攝像區域。

本發明亦有關圓偏光板的製造方法，係包含上述第1缺陷檢查方法，且以上述第1缺陷檢查方法檢查上述圓偏光板。本發明亦有關橢圓偏光板的製造方法，係包含上述第1缺陷檢查方法，且以上述第1缺陷檢查方法檢查上述橢圓偏光板。

本發明亦有關相位差板的製造方法，係包含上述第2缺陷檢查方法。

若依據本發明，可提供一種可實現高泛用性之缺陷檢查裝置及缺陷檢查方法、以及使用了上述缺陷檢查方法之圓偏光板或橢圓偏光板的製造方法及相位差板的 製造方法，其中，該缺陷檢查裝置及缺陷檢查方法係用以檢查圓偏光板或橢圓偏光板的缺陷或者圓偏光光或橢圓偏光光之生成所用之相位差板的缺陷。

10,10A,10B,10C,38‧‧‧缺陷檢查裝置

12‧‧‧圓偏光板

14‧‧‧光照射部

16‧‧‧反射構件

18‧‧‧攝像部

20‧‧‧直線偏光板

20a‧‧‧偏光軸

22‧‧‧相位差板

24‧‧‧偏光膜

26A,26B‧‧‧保護膜

28‧‧‧檢查光

30‧‧‧光源

32‧‧‧半透射鏡

34‧‧‧光軸(攝像部之光軸)

36‧‧‧分析裝置

40‧‧‧圓偏光板

42‧‧‧光軸(光照射部之光軸)

44‧‧‧相位差板

46‧‧‧直線偏光板

A‧‧‧攝像區域

p1‧‧‧第1偏光方向

p2‧‧‧第2偏光方向

r1‧‧‧第1旋轉方向

r2‧‧‧第2旋轉方向

第1圖係表示檢查圓偏光板之缺陷的缺陷檢查裝置之一例的概略構成之示意圖。

第2圖係第1圖所示之檢查對象的圓偏光板之沿著II-II線的剖面圖。

第3圖係用以說明缺陷之檢測原理的圖。

第4圖係表示比較對象之缺陷檢查裝置的概略構成之示意圖。

第5圖係表示變形例1之缺陷檢查裝置的概略構成之示意圖。

第6圖係表示變形例2之缺陷檢查裝置的概略構成之示意圖。

第7圖係表示圓偏光板的製造方法之流程圖。

第8圖係表示檢查會從直線偏光光生成圓偏光光之相位差板的缺陷之缺陷檢查裝置的一例之概略構成之示意圖。

以下，一邊參照圖式一邊說明本發明之實施形態。相同的要素係賦予相同的符號，並省略重複之說明。圖式之尺寸比率未必與說明內容一致。

(第1實施形態)

第1圖係表示一實施形態之缺陷檢查裝置的構成之示意圖。缺陷檢查裝置10為檢查圓偏光板12之缺陷的裝置，且具備光照射部14、反射構件16、及攝像部18。

檢查對象之圓偏光板12係如第1圖及第2圖所示，具備直線偏光板20及相位差板22。

直線偏光板20之構成係在具有直線偏光特性之偏光膜24的一面貼合保護膜26A，並且在偏光膜24之另一面貼合保護膜26B。偏光膜24之材料可舉例如PVA(Polyvinyl Alcohol)。保護膜26A之材料可舉例如TAC(Triacetyl cellulose)、COP(CycloOlefin Polymer)、PET(Polyethylene Terephthalate)等。保護膜26B之材料可使用舉例作為保護膜26A之材料者。直線偏光板20之構成係不限定於第2圖所示之構成。例如，直線偏光板20若具有保護膜26A及保護膜26B之一者即可。

相位差板22係積層於直線偏光板20，且將通過直線偏光板20之直線偏光光轉換成圓偏光光。亦即，相位差板22係作為λ/4板而發揮功能。相位差板22例如可隔著接著劑層(圖中未表示)而貼合於直線偏光板20。相位差板22可為單層構造，若以相位差板22整體作為λ/4板而發揮功能之方式構成，則也可具有多層構造。例如，相位差板22可具有積層有λ/2板與λ/4板之構造。

如第1圖所示，光照射部14係配置於圓偏 光板12所具有之直線偏光板20側，且對圓偏光板12之攝像區域A照射檢查光28。光照射部14具備輸出檢查光28之光源30。光源30可舉例如螢光燈(尤其為高頻螢光燈)、金屬鹵素燈、鹵素傳送燈、發光二極體(LED)等。本實施形態之光照射部14更具備半透射鏡32，藉由半透射鏡32，使從光源30輸出之檢查光28與攝像部18之光軸34為同軸，並將檢查光28照射至攝像區域A。在第1圖中，為了方便以圖來表示及說明，而將檢查光28之行進方向與光軸34稍微偏移地表示。

反射構件16係從圓偏光板12來看，配置於與光照射部14為相反側。換言之，反射構件16係配置於圓偏光板12之相位差板22側。反射構件16係將從已照射檢查光28之圓偏光板12輸出之光反射至圓偏光板12側。反射構件16可舉例如反射板(鏡子)。圓偏光板12朝一方向延伸時，可使用用以將圓偏光板12在長度方向輸送之滾筒作為反射構件16。此時，若作為反射構件16之滾筒的滾筒表面被鏡面加工即可。

攝像部18係從圓偏光板12來看，配置於與光照射部14為相同側，且拍攝攝像區域A。攝像區域A係相當於攝像部18之視野區域。攝像部18之例為照相機。照相機可為區域感測照相機(2維感測照相機)，亦可為線性感測照相機。區域感測照相機之例為CCD照相機。攝像部18亦可更具有與照相機不同之使光聚集於照相機之集光光學系。

缺陷檢查裝置10係如第1圖所示，可具備分析裝置36。分析裝置36例如為具有電腦(演算部)，且對於對應於圖像之圖像數據而進行存在於圓偏光板12之缺陷的檢查處理。具體而言，分析裝置36係分析從攝像部18輸入之圖像數據(攝像數據)而檢測出缺陷部分。分析裝置36亦可具有實施如將缺陷部分予以強調顯示之圖像處理的功能、對於圓偏光板12之圖像而製作顯示缺陷位置的缺陷圖(map)的功能等。分析裝置36若為可實行缺陷之檢查處理及用於該檢查處理之圖像處理的裝置，則無限定。例如，分析裝置36可為被製造成檢查處理用之裝置，亦可為安裝有檢查處理用之軟體的個人電腦。分析裝置36亦可具有控制攝像部18之拍攝時機的功能。

其次，說明使用缺陷檢查裝置10之缺陷檢查方法。為了檢查圓偏光板12之缺陷，將來自光照射部14之檢查光28從直線偏光板20側照射至圓偏光板12之攝像區域A(光照射步驟)。照射於攝像區域A之檢查光28係穿透圓偏光板12而輸出至反射構件16側。從已照射檢查光28之圓偏光板12所輸出之光係藉由反射構件16而反射至圓偏光板12側(反射步驟)。在從光照射部14輸出檢查光28之狀態，攝像部18拍攝攝像區域A(攝像步驟)。因而，在攝像步驟中，可拍攝由被反射構件16反射之光所照明之狀態的攝像區域A。可依據在攝像步驟所得之攝像區域A的圖像來判斷圓偏光板12有無缺陷。利用第3圖說明該點。

第3圖係表示假設在圓偏光板12不存在缺陷時之檢查光28的偏光狀態。第3圖中為了說明而將圓偏光板12分成直線偏光板20與相位差板22並以圖表示。將檢查光28之行進狀態以虛線之箭號表示。

如第3圖所示，包含第1偏光方向p1之成分與第2偏光方向p2之成分的無偏光狀態之檢查光28係從直線偏光板20側入射至圓偏光板12。此時，與直線偏光板20之偏光軸20a為平行偏光之第1偏光方向p1的直線偏光光會從直線偏光板20輸出。若從直線偏光板20所輸出之直線偏光光入射至相位差板22，則第1旋轉方向r1之圓偏光光從相位差板22朝向反射構件16而輸出，且被反射構件16反射至圓偏光板12側。若從相位差板22所輸出之圓偏光光被反射構件16反射，則與第1旋轉方向r1為相反方向之第2旋轉方向r2的圓偏光光(逆圓偏光光)再度入射至相位差板22。例如，第1旋轉方向r1為右旋時，從反射構件16返回至相位差板22之光為左旋之圓偏光光。若第2旋轉方向r2之圓偏光光入射至相位差板22，則具有與第1偏光方向p1正交之第2偏光方向p2的直線偏光光會朝向直線偏光板20而輸出。該第2偏光方向p2之直線偏光光相對於直線偏光板20而言為正交偏光，故被直線偏光板20攔截。因此，被反射構件16反射之光無法通過圓偏光板12。因而，攝像部18所得之圖像為暗黑地顯示之黑色圖像。

另一方面，若在圓偏光板12存在缺陷，則 從上述之直線偏光板20及相位差板22輸出之光的偏光狀態會因缺陷而混亂。其結果，從反射構件16返回圓偏光板12之光之中的一部分會通過圓偏光板12。通過圓偏光板12之光係入射至攝像部18而被檢測出。其結果，若在圓偏光板12存在缺陷，則在攝像部18所得之圖像中，缺陷部分顯現為明亮部。

如同上述，在圓偏光板12不存在缺陷時，由攝像部18獲得黑色圖像，相對於此，若在圓偏光板12存在缺陷，則在攝像部18所得之圖像中，缺陷部分會顯現為明亮部。因而，依據攝像部18所得之圖像，可判斷圓偏光板12有無缺陷。換言之，可藉由缺陷檢查裝置10檢查圓偏光板12之缺陷。

例如就不使用反射構件16而檢查圓偏光板12之缺陷的裝置構成而言，可想到第4圖所示之缺陷檢查裝置38。缺陷檢查裝置38與缺陷檢查裝置10之構成相異點在於：光照射部14為光源30本身，且光源30配置在相對於圓偏光板12而言與攝像部18為相反側(圓偏光板12之相位差板22側)之點、及在圓偏光板12與光源30之間配置有圓偏光板40之點。圓偏光板40為檢查用之圓偏光濾光片，且會生成相對於圓偏光板12所生成之圓偏光光而言的逆圓偏光光。在缺陷檢查裝置38中，若在圓偏光板12無缺陷，則圓偏光板40所生成之圓偏光光無法通過圓偏光板12，故攝像部18所得之圖像為黑色圖像。另一方面，若在圓偏光板12含有缺陷，則在缺陷部分，光之偏光 狀態會混亂，故圓偏光板40所生成之圓偏光光的一部分會通過圓偏光板12。其結果，在攝像部18所得之圖像中缺陷部分會顯現為明亮部。

第4圖所示之缺陷檢查裝置38如上述，亦可檢查圓偏光板12之缺陷。然而，每次更換檢查對象之圓偏光板12時，必須準備因應檢查對象之圓偏光板40。再者，因將檢查用之圓偏光板40配置於光源30之附近，故圓偏光板40會劣化，而有增加圓偏光板40更換次數之虞。

相對於此，在缺陷檢查裝置10中，相對於圓偏光板12而言，在與光照射部14及攝像部18為相反側配置反射構件16，並以反射構件16反射從圓偏光板12輸出至反射構件16側之光。藉此，可藉由相對於圓偏光板12所生成之圓偏光光而言的逆圓偏光光來照明圓偏光板12。因而，不需要如第4圖所示之缺陷檢查裝置38之檢查用之圓偏光板40。再者，藉由以反射構件16反射從圓偏光板12所輸出之光，可將相對於圓偏光板12所生成之圓偏光光而言的逆圓偏光光入射至圓偏光板12，故藉由一個缺陷檢查裝置10，可更正確地檢查具有相異的圓偏光特性之圓偏光板12的缺陷。亦即，缺陷檢查裝置10係具有高的泛用性。因不需要如第4圖所示之檢查用之圓偏光板40，故在缺陷檢查裝置10中，亦不存在圓偏光板40劣化之問題。圓偏光板12應用於例如液晶面板時，第1圖所示之形態係與實際上的圓偏光板12的使用形態接近之狀態。因此，第1圖所示之缺陷檢查裝置10中，可在接近圓偏光板12 之使用形態的狀態下檢查圓偏光板12之缺陷。其結果，在缺陷檢查裝置10中可有效率地檢查出在圓偏光板12之使用形態應排除之缺陷。

其次，說明缺陷檢查裝置10之變形例。

(變形例1)

第5圖係第1實施形態之變形例1的缺陷檢查裝置10A之示意圖。缺陷檢查裝置10A與缺陷檢查裝置10的主要相異之點在於：光照射部14配置成以相對於攝像部18之光軸34而言為交叉之光軸(光照射部之光軸)42將檢查光28照射於攝像區域A之點。變形例1之光照射部14可為光源30本身。缺陷檢查裝置10A中，反射構件16較佳係如第5圖所示地配置成反射構件16之反射面會與圓偏光板12之相位差板22相接。這是因為藉此，從光照射部14照射於圓偏光板12之檢查光28、與被反射構件16反射之光可在圓偏光板12中通過幾乎相同的區域之故。從光照射部14照射於圓偏光板12之檢查光28、與被反射構件16反射之光若可在圓偏光板12中通過幾乎相同的區域，則反射構件16可遠離圓偏光板12之相位差板22。反射構件16可為反射板(鏡子)，亦可為滾筒表面經鏡面加工之滾筒。該滾筒例如可使用於圓偏光板12之輸送。缺陷檢查裝置10A除了光照射部14與攝像部18之配置關係以外與缺陷檢查裝置10之構成相同。因此，缺陷檢查裝置10A及使用缺陷檢查裝置10A之缺陷檢查方法係具有與缺陷檢查裝置10及使用缺陷檢查裝置10之缺陷檢查方法相同的作 用效果。

(變形例2)

第6圖係第1實施形態之變形例2的缺陷檢查裝置10B之示意圖。缺陷檢查裝置10B與缺陷檢查裝置10的主要相異之點在於：光照射部14具有包圍攝像部18之周圍的複數個光源30之點。第6圖中，為了方便以圖來表示，而表示2個光源30，但複數個光源30係配置成在攝像部18之光軸34周圍以環狀包圍攝像部18。藉此，容易均勻地照射攝像區域A。光源30之數量若為可均勻照射攝像區域A之數量即可。

在缺陷檢查裝置10B中，由於與變形例1之情形相同的理由，反射構件16較佳係如第6圖所示地配置成反射構件16之反射面會與圓偏光板12之相位差板22相接。從光照射部14照射於圓偏光板12之檢查光28、與被反射構件16反射之光若可在圓偏光板12中通過幾乎相同的區域，則反射構件16可遠離圓偏光板12之相位差板22。反射構件16之例亦與變形例1之情形相同。缺陷檢查裝置10B除了光照射部14與攝像部18之配置關係以外與缺陷檢查裝置10之構成相同。因此，缺陷檢查裝置10B及使用缺陷檢查裝置10B之缺陷檢查方法係具有與缺陷檢查裝置10及使用缺陷檢查裝置10之缺陷檢查方法至少相同的作用效果。

(第2實施形態)

就第2實施形態而言說明第1實施形態之檢查對象的 圓偏光板12的製造方法。第7圖係第1實施形態之檢查對象的圓偏光板之製造方法的流程圖。製造圓偏光板12時，係具備貼合直線偏光板20與相位差板22之貼合步驟S01、及檢查圓偏光板12之缺陷的缺陷檢查步驟S02。以下，若無特別聲明，則說明使用長條之直線偏光板20與長條之相位差板22而製造圓偏光板12之方法。

[貼合步驟]

在貼合步驟S01中，將長條之直線偏光板20與長條之相位差板22分別在長度方向輸送，同時使直線偏光板20與相位差板22相向並隔著例如接著劑層而貼合該等。接著劑層可藉由在貼合直線偏光板20與相位差板22時在該等之間塗佈接著劑而形成，亦可例如預先在直線偏光板20與相位差板22之至少一者形成接著劑層。

[缺陷檢查步驟]

在缺陷檢查步驟S02中，係將屬於由貼合步驟S01所得之直線偏光板20與相位差板22之積層體的圓偏光板12在長度方向輸送，同時藉由配置於輸送路程上之缺陷檢查裝置10來實施圓偏光板12之缺陷檢查。利用缺陷檢查裝置10之缺陷檢查方法係如同在第1實施形態中所說明。於在輸送圓偏光板12的同時以缺陷檢查裝置10檢查圓偏光板12之形態中，可使用構成圓偏光板12之輸送機構之一的複數個滾筒之一作為缺陷檢查裝置10所具有之反射構件16。此時，作為反射構件16之滾筒較佳係滾筒表面經鏡面加工之滾筒。

圓偏光板12的製造方法可具備將由缺陷檢查步驟S02取得之缺陷資訊標記在圓偏光板12之標記步驟。標記步驟中，若可依據攝像部18所得之圖像，並以具有筆具等標記手段的標記裝置將顯示缺陷資訊的標記附記於圓偏光板12即可。在缺陷檢查裝置10如第1圖所示地具有分析裝置36之形態中，例如分析裝置36依據攝像部18所得之圖像，而製作顯示圖像內之缺陷位置之缺陷圖，上述標記裝置可依據缺陷圖而在缺陷位置附上標記，例如可在圓偏光板12之緣部等寫入缺陷資訊。如此，若將顯示缺陷位置之標記寫入於圓偏光板12，則從長條之圓偏光板12切出片狀之圓偏光板12時，可切出不具有缺陷之片狀的圓偏光板12、或從所切出之複數個片狀的圓偏光板12有效率地除去含有缺陷之圓偏光板12。或者，可依照缺陷檢查步驟S02之結果，替換欲在貼合步驟中貼合之直線偏光板20及相位差板22之至少一者。

在圓偏光板12的製造方法中，以使用了第1實施形態所示之缺陷檢查裝置10的缺陷檢查方法來檢查圓偏光板12。因此，例如在貼合步驟S01中，即使更換例如相位差板22，仍可不變更缺陷檢查裝置10而以相同的製造生產線來製造圓偏光板12。再者，與使用第4圖所示之缺陷檢查裝置38的情形相比，因不需要圓偏光板40，故亦不需要圓偏光板40劣化所伴隨的圓偏光板40之更換作業。其結果，可有效率地實施缺陷檢查步驟S02。此外，例如製造應用於液晶面板之圓偏光板12時，在缺陷檢查步 驟S02中，可在接近圓偏光板12之使用形態的狀態下實施圓偏光板12之缺陷檢查。因此，可確實地檢測出在圓偏光板12之使用形態應排除之缺陷，故圓偏光板12之製造良率提升。

圓偏光板12的製造方法可具備例如在貼合步驟S01之前，形成直線偏光板20及相位差板22之至少一者的步驟。

在第2實施形態中，說明利用第1圖所示之缺陷檢查裝置10的圓偏光板12之製造方法。然而，亦可使用第5圖所示之缺陷檢查裝置10A及第6圖所示之缺陷檢查裝置10B取代缺陷檢查裝置10。

(第3實施形態)

就第3實施形態而言說明檢查對象為會生成圓偏光之相位差板的形態。

第8圖係第3實施形態之缺陷檢查裝置10C的示意圖。缺陷檢查裝置10C係藉由入射直線偏光而檢查會生成圓偏光之相位差板44的缺陷之裝置。作為缺陷檢查裝置10C之檢查對象的相位差板44可為第1實施形態之檢查對象的圓偏光板12所使用之相位差板22。

缺陷檢查裝置10C與第6圖所示之變形例2的缺陷檢查裝置10B之構成的主要相異之點在於：在檢查對象之相位差板44與光照射部14及攝像部18之間具備直線偏光板46之點。以該點作為中心而說明缺陷檢查裝置10C。

直線偏光板46係具有直線偏光特性，且係用以檢查相位差板22之檢查用直線偏光濾光片。缺陷檢查裝置10C所具備之光照射部14係穿過直線偏光板46而對攝像區域A照射檢查光28。光照射部14具有包圍攝像部18之複數個光源30。光照射部14之光源30之個數及配置狀態與缺陷檢查裝置10B之情形相同。缺陷檢查裝置10C所具備之攝像部18係穿過直線偏光板46而拍攝相位差板44之攝像區域A。

說明利用缺陷檢查裝置10C之相位差板44的缺陷檢查方法。首先，從光照射部14穿過直線偏光板46而對相位差板44之攝像區域A照射檢查光28(光照射步驟)。照射於攝像區域A之檢查光28係穿透相位差板44而輸出至反射構件16側。從相位差板44所輸出之光係藉由反射構件16而反射至相位差板22側(反射步驟)。在從光照射部14輸出檢查光28之狀態，攝像部18穿過直線偏光板46而拍攝攝像區域A(攝像步驟)。因而，在攝像步驟中，係拍攝由被反射構件16反射之光所照明之狀態的攝像區域A。

在光照射步驟中，係穿過直線偏光板46將檢查光28照射於相位差板22之攝像區域A，故相對於直線偏光板46而言為平行偏光之直線偏光光會入射至相位差板44。

若相位差板44不含有缺陷，則圓偏光光會從相位差板44輸出至反射構件16。為了方便說明，與第1 實施形態之情形相同地，將來自相位差板44之輸出光稱為第1旋轉方向r1的圓偏光光。若從相位差板44所輸出之光被反射構件16反射，則相對於從相位差板44所輸出之光而言的逆圓偏光光之第2旋轉方向r2的圓偏光光會入射至相位差板44。藉此，會從相位差板44輸出相對於直線偏光板46而言為正交偏光之直線偏光光至直線偏光板46側。其結果，以攝像部18穿過直線偏光板46而拍攝攝像區域A所得之圖像為黑色圖像。

另一方面，若在相位差板44產生缺陷，則在光通過相位差板44時，在缺陷部分偏光狀態會產生混亂。因此，被反射構件16反射之光再度入射至相位差板44之後，從相位差板44輸出至直線偏光板46側之光中具有相對於直線偏光板46而言為平行偏光之成分。其結果，在攝像部18所得之圖像中，相位差板44之缺陷部分顯現為明亮部，故可藉由攝像部18所得之圖像來判斷有無缺陷。換言之，以缺陷檢查裝置10C可檢查相位差板44之缺陷。

在缺陷檢查裝置10C中，相對於相位差板44而言，在與光照射部14及攝像部18為相反側配置反射構件16，並以反射構件16反射從相位差板44輸出至反射構件16側之光。因此，可藉由相對於相位差板44所生成之圓偏光光而言的逆圓偏光光來照明相位差板44。因而，不須準備相當於第4圖所示之缺陷檢查裝置38所具有的檢查用圓偏光板40之檢查用相位差板。再者，藉由以反射構件16反射從相位差板44所輸出之光，可將相對於相位差板 44所生成之圓偏光光而言的逆圓偏光光入射至相位差板44，故可藉由一個缺陷檢查裝置10C而更正確地檢查相位差特性相異之相位差板44的缺陷。亦即，缺陷檢查裝置10C具有高的泛用性。

使用缺陷檢查裝置10C之缺陷檢查方法及缺陷檢查裝置10C可應用於相位差板44的製造方法。該製造方法中，首先，形成長條之相位差板44(相位差板形成步驟)。相位差板44可藉由例如將樹脂膜進行雙軸延伸來形成。相位差板44具有多層構造時，藉由貼合複數個相位差板來形成相位差板44。

形成相位差板44之後，將相位差板44在其長度方向輸送，同時使用配置在輸送路程上之缺陷檢查裝置10C，如前述般地實施相位差板44之缺陷檢查(缺陷檢查步驟)。在缺陷檢查步驟中可得知相位差板44有無缺陷，故可製造不含有缺陷之相位差板44。

在相位差板44的製造方法中，藉由使用缺陷檢查裝置10C之缺陷檢查方法來檢查相位差板44。因此，例如即使在相位差板形成步驟中形成具有相異之相位差特性的相位差板44，仍可不變更缺陷檢查裝置10C而以相同的製造生產線製造相位差板44。

在輸送相位差板44的同時以缺陷檢查裝置10C檢查相位差板44之形態中，可使用構成相位差板44之輸送機構之一的複數個滾筒之一作為缺陷檢查裝置10C所具有之反射構件16。此時，作為反射構件16之滾筒較 佳係滾筒表面經鏡面加工的滾筒。

相位差板44的製造方法亦可具備標記步驟，該標記步驟係將由缺陷檢查步驟取得之缺陷資訊標記於相位差板44。標記步驟可與第2實施形態所說明之標記步驟相同。若將顯示缺陷位置之標記寫入相位差板44，則從長條的相位差板44切出片狀之相位差板44時，可切出不具有缺陷之片狀的相位差板44、或從所切出之複數個片狀的相位差板44有效率地除去含有缺陷之相位差板44。再者，亦可因應缺陷檢查步驟之結果來變更相位差板形成步驟之條件。

相位差板44的製造方法例如亦可被組入第2實施形態之圓偏光板12的製造方法之一部分中。亦即，亦可藉由上述相位差板的製造方法來製造在圓偏光板12的製造方法之貼合步驟S01所貼合的相位差板22。

就缺陷、檢查裝置10C之光照射部14而言，例示第1實施形態之第2變形例的形態。然而，光照射部14可如第1圖所示之光照射部14般，具有以與攝像部18之光軸34同軸並將檢查光28照射於相位差板22之構成。或者，如第1變形例般，光照射部14亦能以相對於攝像部18之光軸34而言為交叉之光軸並將檢查光28照射於攝像區域A。

本發明並不限定於所例示之各種實施形態及變形例，而是藉由申請專利範圍來表示，且意圖包含與申請專利範圍均等之意義及範圍內的所有變更。例如，第1 圖所示之光照射部若能以與攝像部之光軸同軸並將檢查光照射於攝像區域，則不限定於具備半透射鏡之形態。上述各種實施形態中，說明圓偏光之情形。然而，本發明亦可應用於圓偏光以外之橢圓偏光。因此，上述各種實施形態所說明之缺陷檢查裝置及缺陷檢查方法以橢圓偏光板代替圓偏光板而可為檢查橢圓偏光板之缺陷之裝置及方法。同樣地，上述各種實施形態所說明之缺陷檢查裝置及方法以橢圓偏光代替圓偏光而亦可為檢查會將直線偏光轉換為橢圓偏光而輸出之相位差板的缺陷之裝置及方法。同樣地，本發明亦有關包含檢查橢圓偏光板之缺陷的缺陷檢查方法之橢圓偏光板的製造方法。

10‧‧‧缺陷檢查裝置

12‧‧‧圓偏光板

14‧‧‧光照射部

16‧‧‧反射構件

18‧‧‧攝像部

20‧‧‧直線偏光板

22‧‧‧相位差板

28‧‧‧檢查光

30‧‧‧光源

32‧‧‧半透射鏡

34‧‧‧光軸

36‧‧‧分析裝置

A‧‧‧攝像區域

Claims (16)

1. 一種缺陷檢查裝置，係檢查具有直線偏光板及積層於前述直線偏光板之相位差板的圓偏光板或橢圓偏光板之缺陷者，該缺陷檢查裝置具備：光照射部，係配置於前述圓偏光板或橢圓偏光板所具有之前述直線偏光板側，並且對前述圓偏光板或橢圓偏光板之攝像區域照射檢查光；反射構件，係從前述圓偏光板或橢圓偏光板來看，為配置於與前述光照射部為相反側，並且將從已照射前述檢查光之前述圓偏光板或橢圓偏光板輸出之光反射至前述圓偏光板或橢圓偏光板側；以及攝像部，係從前述圓偏光板或橢圓偏光板來看，為配置於與前述光照射部為相同側，並且拍攝前述攝像區域。
2. 一種缺陷檢查裝置，係檢查會將直線偏光轉換成圓偏光或橢圓偏光而輸出之相位差板的缺陷者，且具備：直線偏光板；光照射部，係穿過前述直線偏光板而對前述相位差板之攝像區域照射檢查光；反射構件，係從前述相位差板來看，為配置於與前述光照射部為相反側，並且將從已照射前述檢查光之前述相位差板輸出之光反射至前述相位差板側；以及攝像部，係從前述相位差板來看，為配置於與前述光照射部為相同側，並且穿過前述直線偏光板而拍攝前 述攝像區域。
3. 如申請專利範圍第1或2項所述之缺陷檢查裝置，其中，前述光照射部係以與前述攝像部之光軸為同軸並對前述攝像區域照射前述檢查光。
4. 如申請專利範圍第1或2項所述之缺陷檢查裝置，其中，前述光照射部係以相對於前述攝像部之光軸而言為交叉之光軸並對前述攝像區域照射前述檢查光。
5. 如申請專利範圍第1或2項所述之缺陷檢查裝置，其中，前述光照射部具有配置成包圍前述攝像部之周圍的複數個光源。
6. 如申請專利範圍第1或2項所述之缺陷檢查裝置，其中，前述反射構件為表面經鏡面加工的滾筒。
7. 一種缺陷檢查方法，係檢查具有直線偏光板及積層於直線偏光板之相位差板的圓偏光板或橢圓偏光板之缺陷者，該缺陷檢查方法具備：光照射步驟，係從前述直線偏光板側，將來自光照射部之檢查光照射於前述圓偏光板或橢圓偏光板之攝像區域；反射步驟，係將從已照射前述檢查光之前述圓偏光板或橢圓偏光板輸出之光以反射構件反射至前述圓偏光板或橢圓偏光板側；以及攝像步驟，係使用從前述圓偏光板或橢圓偏光板來看為配置於與前述光照射部為相同側之攝像部，拍攝前述攝像區域。
8. 如申請專利範圍第7項所述之缺陷檢查方法，其中，前述反射構件為表面經鏡面加工的滾筒，該缺陷檢查方法係在將長條之前述圓偏光板或橢圓偏光板以前述滾筒輸送的同時，實施前述光照射步驟、前述反射步驟及前述攝像步驟。
9. 一種缺陷檢查方法，係檢查會將直線偏光轉換成圓偏光或橢圓偏光而輸出之相位差板的缺陷者，該缺陷檢查方法具備：光照射步驟，係穿過直線偏光板而對前述相位差板之攝像區域照射來自光照射部之檢查光；反射步驟，係將從已照射前述檢查光之前述相位差板輸出之光以反射構件反射至前述相位差板側；以及攝像步驟，係使用從前述相位差板來看為配置於與前述光照射部為相同側之攝像部，穿過前述直線偏光板而拍攝前述攝像區域。
10. 如申請專利範圍第9項所述之缺陷檢查方法，其中，前述反射構件為表面經鏡面加工的滾筒，該缺陷檢查方法係在將長條之前述相位差板以前述滾筒輸送的同時，實施前述光照射步驟、前述反射步驟及前述攝像步驟。
11. 如申請專利範圍第7至10項中任一項所述之缺陷檢查方法，其中，在前述光照射步驟中，以與前述攝像部之光軸為同軸並對前述攝像區域照射前述檢查光。
12. 如申請專利範圍第7至10項中任一項所述之缺陷檢查 方法，其中，在前述光照射步驟中，以相對於前述攝像部之光軸而言為交叉之光軸並對前述攝像區域照射前述檢查光。
13. 如申請專利範圍第7至10項中任一項所述之缺陷檢查方法，其中，在前述光照射步驟中，對前述攝像區域照射來自配置成包圍前述攝像部之周圍的複數個光源之前述檢查光。
14. 一種圓偏光板之製造方法，係包含申請專利範圍第7或8項所述之缺陷檢查方法，且以前述缺陷檢查方法檢查前述圓偏光板。
15. 一種橢圓偏光板之製造方法，係包含申請專利範圍第7或8項所述之缺陷檢查方法，且以前述缺陷檢查方法檢查前述橢圓偏光板。
16. 一種相位差板之製造方法，係包含申請專利範圍第9或10項所述之缺陷檢查方法。

Images