JPH0755721A - シート材の検査装置 - Google Patents
シート材の検査装置Info
- Publication number
- JPH0755721A JPH0755721A JP22802793A JP22802793A JPH0755721A JP H0755721 A JPH0755721 A JP H0755721A JP 22802793 A JP22802793 A JP 22802793A JP 22802793 A JP22802793 A JP 22802793A JP H0755721 A JPH0755721 A JP H0755721A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 透明シート材をレーザ光の反射によって誤り
なく検査する。 【構成】 ロール２は、黒色で、しかも一定以上かつ所
定の範囲内の粗さが表面に形成されている。被検査物８
は、ロール２にだかせて一定方向に搬送されている。被
検査物８には、レーザ光を幅方向に走査しながら照射
し、その反射を受光器１０で受け、欠陥があれば受光器
１０で検知する。したがって、被検査物８が透明でレー
ザ光が透過する場合でも、ロール２に所定の粗さが形成
されているので反射がなく、ロール２の状態が受光器１
０に受光されて被検査物８に欠陥が生じている等誤った
判断がされることがない。
なく検査する。 【構成】 ロール２は、黒色で、しかも一定以上かつ所
定の範囲内の粗さが表面に形成されている。被検査物８
は、ロール２にだかせて一定方向に搬送されている。被
検査物８には、レーザ光を幅方向に走査しながら照射
し、その反射を受光器１０で受け、欠陥があれば受光器
１０で検知する。したがって、被検査物８が透明でレー
ザ光が透過する場合でも、ロール２に所定の粗さが形成
されているので反射がなく、ロール２の状態が受光器１
０に受光されて被検査物８に欠陥が生じている等誤った
判断がされることがない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、搬送中のシート状被検
査物に、フライングスポット方式でレーザ光を照射し、
その反射光により被検査物の欠陥を検出するシート材の
検査装置に関する。
査物に、フライングスポット方式でレーザ光を照射し、
その反射光により被検査物の欠陥を検出するシート材の
検査装置に関する。
【０００２】
【従来技術】フィルム等シート状の物の欠陥を検査する
方法として、シート材にレーザ光を透過させて欠陥によ
る透過光の変化により欠陥を検出したり、又シート材の
表面でレーザ光を反射させて欠陥による反射光の変化を
とらえてシート材の欠陥を検出する方法等が知られてい
る。この内、反射を用いた方法では、シート状の被検査
物を搬送させながら照射する方法と、ロールにだかせて
搬送し、そこにレーザ光を照射する方法とがある。ロー
ルにだかせる方法では、ロールにだかせた被検査物の幅
方向にレーザ光を走査しながら照射し、被検査物からの
反射光が一定の状態で反射されてきているかどうかを検
知し、傷等が生じていれば反射状態に変動が発生するこ
とを用いて不良箇所を検査している。
方法として、シート材にレーザ光を透過させて欠陥によ
る透過光の変化により欠陥を検出したり、又シート材の
表面でレーザ光を反射させて欠陥による反射光の変化を
とらえてシート材の欠陥を検出する方法等が知られてい
る。この内、反射を用いた方法では、シート状の被検査
物を搬送させながら照射する方法と、ロールにだかせて
搬送し、そこにレーザ光を照射する方法とがある。ロー
ルにだかせる方法では、ロールにだかせた被検査物の幅
方向にレーザ光を走査しながら照射し、被検査物からの
反射光が一定の状態で反射されてきているかどうかを検
知し、傷等が生じていれば反射状態に変動が発生するこ
とを用いて不良箇所を検査している。
【０００３】このようなロールに被検査物をだかせた場
合、被検査物がフィルム基材のような透明シートのとき
には、レーザ光が被検査物を透過してロール表面に当た
り、ロール表面からの反射光を受けて反射状態が変動す
るため被検査物の正確な検査ができなくなる。又逆に被
検査物に欠陥があっても検出しなくなる可能性がある。
そのため、ロールの表面を黒色に着色し、更に光沢を無
くすために表面を粗くしたロールを使用することが行な
われている。
合、被検査物がフィルム基材のような透明シートのとき
には、レーザ光が被検査物を透過してロール表面に当た
り、ロール表面からの反射光を受けて反射状態が変動す
るため被検査物の正確な検査ができなくなる。又逆に被
検査物に欠陥があっても検出しなくなる可能性がある。
そのため、ロールの表面を黒色に着色し、更に光沢を無
くすために表面を粗くしたロールを使用することが行な
われている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、より小
さな欠陥を検出するためには上記従来の検査装置では検
出力が十分でない。例えば透過レーザ光で検査する方法
では、これら欠陥は光の広がりも、透過光量の変化も少
なく検出できない。又、ロールを用いず反射光を感知す
る方法では、被検査物のバタツキを押える対処に費用が
かかり、かつ対処した場合でも搬送時のツレが残り反射
光の光路がずれて小さな欠陥までは検出できない。
さな欠陥を検出するためには上記従来の検査装置では検
出力が十分でない。例えば透過レーザ光で検査する方法
では、これら欠陥は光の広がりも、透過光量の変化も少
なく検出できない。又、ロールを用いず反射光を感知す
る方法では、被検査物のバタツキを押える対処に費用が
かかり、かつ対処した場合でも搬送時のツレが残り反射
光の光路がずれて小さな欠陥までは検出できない。
【０００５】更に、ロールを用いて反射光を感知する方
法でも、ロールに密着させて検査するため、ロール表面
の凹凸によってシート表面にも凹凸ができてしまい、小
さな欠陥と識別できず欠陥が検出できないという問題が
あった。又、被検査物がフィルム基材のように透明な場
合には、レーザ光は被検査物を透過してロールに当た
り、ロール表面で反射して受光装置で受光されてしまう
ことがある。すると、被検査物の状態とは無関係に光を
反射させて被検査物を正確に検査できなくなる。
法でも、ロールに密着させて検査するため、ロール表面
の凹凸によってシート表面にも凹凸ができてしまい、小
さな欠陥と識別できず欠陥が検出できないという問題が
あった。又、被検査物がフィルム基材のように透明な場
合には、レーザ光は被検査物を透過してロールに当た
り、ロール表面で反射して受光装置で受光されてしまう
ことがある。すると、被検査物の状態とは無関係に光を
反射させて被検査物を正確に検査できなくなる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明では、上記課題を
解決し、被検査物の欠陥を確実に検出するため、検査装
置のロールを次のように構成したのである。すなわち、
ロール表面を黒色とした上、表面粗さをＲMAX で例えば
５〜１５μｍ等所定範囲内に抑えることとしたのであ
る。
解決し、被検査物の欠陥を確実に検出するため、検査装
置のロールを次のように構成したのである。すなわち、
ロール表面を黒色とした上、表面粗さをＲMAX で例えば
５〜１５μｍ等所定範囲内に抑えることとしたのであ
る。
【０００７】
【作用】ロール表面を黒色としたので反射を抑えること
ができ、かつ表面粗さをＲMAX５μｍ以上等所定の値以
上としたので反射を抑えることができ、ロール地合のノ
イズが発生しない。又、表面粗さをＲMAX １５μｍ以下
等所定の値以下としたので、シート状の被検査物をだか
せたときでも被検査物を平滑に保持でき、ロール表面の
凹凸によって被検査物が影響を受けない。したがって、
被検査物をロールに密着させて小さな傷や歪みが検出で
きるとともに、ロールの凹凸及びロール表面での反射の
影響を受けることがない。
ができ、かつ表面粗さをＲMAX５μｍ以上等所定の値以
上としたので反射を抑えることができ、ロール地合のノ
イズが発生しない。又、表面粗さをＲMAX １５μｍ以下
等所定の値以下としたので、シート状の被検査物をだか
せたときでも被検査物を平滑に保持でき、ロール表面の
凹凸によって被検査物が影響を受けない。したがって、
被検査物をロールに密着させて小さな傷や歪みが検出で
きるとともに、ロールの凹凸及びロール表面での反射の
影響を受けることがない。
【０００８】
【実施例】以下本発明にかかる検査装置の一実施例につ
いて説明する。図１に検査装置を示す。検査装置１は、
被検査物８をだかせるロール２と、レーザ光を射出する
レーザ発振器４と、ロール２にだかせた被検査物８にレ
ーザ光を照射する光学系６と、被検査物８で反射された
レーザ光を受光する受光器１０等から構成されている。
いて説明する。図１に検査装置を示す。検査装置１は、
被検査物８をだかせるロール２と、レーザ光を射出する
レーザ発振器４と、ロール２にだかせた被検査物８にレ
ーザ光を照射する光学系６と、被検査物８で反射された
レーザ光を受光する受光器１０等から構成されている。
【０００９】被検査物８は、写真フィルムのフィルムベ
ースであって、一定の幅を有する透明シートで、ロール
２にだかせて、例えば図の下方から上方に向かって所定
の速度で搬送させている。レーザ発振器４は、Ｈｅ−Ｎ
ｅレーザで、回転多面体１２等からなる光学系６に向け
てレーザ光を発射する。光学系６は、集光レンズ１３、
回転多面体１２、ミラー１４、第１凹面鏡１５等からな
り、集光レンズ１３は、ロール２にだかせた被検査物８
にレーザ発振器４からのレーザ光を集光させるレンズで
あり、回転多面体１２は、第１凹面鏡１５の焦点に配置
されたポリゴンミラーで、所定の回転数で回転してお
り、各ミラー面が回転して入射されたレーザ光を左右に
振る。ミラー１４は、回転多面体１２で振られたレーザ
光を第１凹面鏡１５に反射し、この第１凹面鏡１５で平
行光線としてレーザ光を被検査物８の全幅にわたって照
射する。
ースであって、一定の幅を有する透明シートで、ロール
２にだかせて、例えば図の下方から上方に向かって所定
の速度で搬送させている。レーザ発振器４は、Ｈｅ−Ｎ
ｅレーザで、回転多面体１２等からなる光学系６に向け
てレーザ光を発射する。光学系６は、集光レンズ１３、
回転多面体１２、ミラー１４、第１凹面鏡１５等からな
り、集光レンズ１３は、ロール２にだかせた被検査物８
にレーザ発振器４からのレーザ光を集光させるレンズで
あり、回転多面体１２は、第１凹面鏡１５の焦点に配置
されたポリゴンミラーで、所定の回転数で回転してお
り、各ミラー面が回転して入射されたレーザ光を左右に
振る。ミラー１４は、回転多面体１２で振られたレーザ
光を第１凹面鏡１５に反射し、この第１凹面鏡１５で平
行光線としてレーザ光を被検査物８の全幅にわたって照
射する。
【００１０】ロール２の上方には第２凹面鏡２０が、ロ
ール２に照射されたレーザ光が反射してくる位置に配置
してあり、更に、第２凹面鏡２０が反射する方向で、か
つ第２凹面鏡２０の焦点位置に受光器１０が設置してあ
る。受光器１０は、全面が受光部で、レーザ光の反射の
状態の変化を検知でき、これにより被検査物８の欠陥を
検出する。
ール２に照射されたレーザ光が反射してくる位置に配置
してあり、更に、第２凹面鏡２０が反射する方向で、か
つ第２凹面鏡２０の焦点位置に受光器１０が設置してあ
る。受光器１０は、全面が受光部で、レーザ光の反射の
状態の変化を検知でき、これにより被検査物８の欠陥を
検出する。
【００１１】ロール２は、セラミック製の黒色で、表面
は一定の粗さを持ち表面粗さをＲMAX ５〜１５μｍに設
定してあるとともに平らな面が形成されないようになっ
ている。更に、粗さにおいては、凸はその周囲からの突
出が５μｍ以下、好ましくは３μｍ以下としてあり、凹
においてはその周囲からの窪みが２０μｍ以下、好まし
くは１０μｍ以下としてある。
は一定の粗さを持ち表面粗さをＲMAX ５〜１５μｍに設
定してあるとともに平らな面が形成されないようになっ
ている。更に、粗さにおいては、凸はその周囲からの突
出が５μｍ以下、好ましくは３μｍ以下としてあり、凹
においてはその周囲からの窪みが２０μｍ以下、好まし
くは１０μｍ以下としてある。
【００１２】次に、上記検査装置１の作用について説明
する。
する。
【００１３】被検査物８は、ロール２にだかせて所定の
速度で搬送する。レーザ発振器４から発振されたレーザ
光は、集光レンズ１３で集光され回転多面体１２で方向
を変えられ、ミラー１４、第１凹面鏡１５を介して被検
査物８に照射される。照射されたレーザ光は、被検査物
８の表面で反射し、第２凹面鏡２０で集光されて受光器
１０に入射する。
速度で搬送する。レーザ発振器４から発振されたレーザ
光は、集光レンズ１３で集光され回転多面体１２で方向
を変えられ、ミラー１４、第１凹面鏡１５を介して被検
査物８に照射される。照射されたレーザ光は、被検査物
８の表面で反射し、第２凹面鏡２０で集光されて受光器
１０に入射する。
【００１４】被検査物８に欠陥がなければ、受光器１０
では正常な反射状態のレーザ光を受光し、欠陥がないと
判断する。一方、被検査物８に傷や歪みが生じている
と、被検査物８での反射の方向が異なったり又拡散され
るので、受光器１０にはレーザ光の反射の異常が検知さ
れ、被検査物８に欠陥があると判断する。
では正常な反射状態のレーザ光を受光し、欠陥がないと
判断する。一方、被検査物８に傷や歪みが生じている
と、被検査物８での反射の方向が異なったり又拡散され
るので、受光器１０にはレーザ光の反射の異常が検知さ
れ、被検査物８に欠陥があると判断する。
【００１５】このように、レーザ光は被検査物８の表面
に当たり、その反射の状態から傷等を検査する。その際
ロール２は、一定の粗さを表面に有しかつ表面が黒色で
あることから、レーザ光が被検査物８を透過してロール
２に照射されても、ロール２の表面では反射はせず、ロ
ール２の状態が受光器１０に入力されることはない。し
かも粗さはＲMAX で５〜１５μｍであるので被検査物８
の表面形状を変更させることはない。
に当たり、その反射の状態から傷等を検査する。その際
ロール２は、一定の粗さを表面に有しかつ表面が黒色で
あることから、レーザ光が被検査物８を透過してロール
２に照射されても、ロール２の表面では反射はせず、ロ
ール２の状態が受光器１０に入力されることはない。し
かも粗さはＲMAX で５〜１５μｍであるので被検査物８
の表面形状を変更させることはない。
【００１６】更に、粗さ中の凸においては周囲から５μ
ｍ以下、好ましくは３μｍ以下に設定したので、凸状部
分で被検査物８が持ち上げられることはなく、これによ
って欠陥が生じているとする誤った判断がなされない。
逆に凹部にあっては、周囲から２０μｍ、好ましくは１
０μｍまで許容されているので、粗さを十分に形成で
き、かつこれによっては被検査物８の表面状態が変化せ
ず欠陥があると誤った判断がされることはない。これを
図に示すと図３のようになり、図のＡのような上に凸の
場合の差においては５μｍ以下、好ましくは３μｍ以下
であって、Ｂのように下に凹の場合の深さにおいては２
０μｍ、好ましくは１０μｍまで許容するということで
ある。図４に示すように５μｍ以上突出した突起がある
と、被検査物８を密着させた場合、それによって表面形
状が突出してしまい、欠陥と判断されてしまうからであ
る。
ｍ以下、好ましくは３μｍ以下に設定したので、凸状部
分で被検査物８が持ち上げられることはなく、これによ
って欠陥が生じているとする誤った判断がなされない。
逆に凹部にあっては、周囲から２０μｍ、好ましくは１
０μｍまで許容されているので、粗さを十分に形成で
き、かつこれによっては被検査物８の表面状態が変化せ
ず欠陥があると誤った判断がされることはない。これを
図に示すと図３のようになり、図のＡのような上に凸の
場合の差においては５μｍ以下、好ましくは３μｍ以下
であって、Ｂのように下に凹の場合の深さにおいては２
０μｍ、好ましくは１０μｍまで許容するということで
ある。図４に示すように５μｍ以上突出した突起がある
と、被検査物８を密着させた場合、それによって表面形
状が突出してしまい、欠陥と判断されてしまうからであ
る。
【００１７】図２に、ロール２の表面粗さの実験結果に
ついて示す。グラフの横軸は粗さであり、縦軸はその発
生頻度を表す。斜線を付したグラフはＲMAX が約１０μ
ｍのロール２を計測した結果であり、７．５〜１０μｍ
までの値の発生頻度が５０％と最も高いことがわかる。
これに対して、ＲMAX 約４０μｍのロールを計測した場
合は、３２．５〜４５μｍまでの発生頻度が多く、実際
このような値のロールを検査装置に用いた場合には、被
検査物の小さな傷や歪み等の検出は困難であった。
ついて示す。グラフの横軸は粗さであり、縦軸はその発
生頻度を表す。斜線を付したグラフはＲMAX が約１０μ
ｍのロール２を計測した結果であり、７．５〜１０μｍ
までの値の発生頻度が５０％と最も高いことがわかる。
これに対して、ＲMAX 約４０μｍのロールを計測した場
合は、３２．５〜４５μｍまでの発生頻度が多く、実際
このような値のロールを検査装置に用いた場合には、被
検査物の小さな傷や歪み等の検出は困難であった。
【００１８】
【発明の効果】本発明の検査装置によれば、被検査物を
だかせるロールを黒色にしその表面粗さを所定範囲以
下、例えばＲMAX ５〜１５μｍとしたので、被検査物を
ロールに密着でき、小さな欠陥まで検出でき、しかも被
検査物が透明で照射したレーザ光が被検査物を透過した
ときでも、ロール表面ではレーザ光は反射せず、ロール
の状態を受光器に入射させて誤った検査を行なわせるこ
とがなく、かつ、だかせた被検査物の表面に変化を与え
ることがなく、被検査物に欠陥が存在しないにもかかわ
らずロールの形状によって欠陥があると誤った判断がな
されることがない。
だかせるロールを黒色にしその表面粗さを所定範囲以
下、例えばＲMAX ５〜１５μｍとしたので、被検査物を
ロールに密着でき、小さな欠陥まで検出でき、しかも被
検査物が透明で照射したレーザ光が被検査物を透過した
ときでも、ロール表面ではレーザ光は反射せず、ロール
の状態を受光器に入射させて誤った検査を行なわせるこ
とがなく、かつ、だかせた被検査物の表面に変化を与え
ることがなく、被検査物に欠陥が存在しないにもかかわ
らずロールの形状によって欠陥があると誤った判断がな
されることがない。
【図１】本発明の検査装置の一実施例を示す斜視図であ
る。
る。
【図２】ロールの表面粗さの計測結果を表すグラフであ
る。
る。
【図３】粗さを示すグラフである。
【図４】ロールに取り付けた被検査物を示す図である。
１ 検査装置 ２ ロール ４ レーザ発振器 ６ 光学系 ８ 被検査物 １０ 受光器 １２ 回転多面体 １３ 集光レンズ １４ ミラー １５ 第１凹面鏡 ２０ 第２凹面鏡
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 工藤 広貴 東京都日野市さくら町１番地 コニカ株式 会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 ロールにだかせた透明シート状被検査物
にレーザ光を照射し、該レーザ光の反射光を検出器で検
出して前記透明シート状被検査物に生じている欠陥を検
査するシート材の検査装置において、前記ロールの円筒
表面を黒色とし、かつ表面粗さを所定範囲内としたこと
を特徴とするシート材の検査装置。 - 【請求項２】 前記ロールの表面粗さＲMAX を５〜１５
μｍとしたことを特徴とする請求項１に記載のシート材
の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22802793A JPH0755721A (ja) | 1993-08-20 | 1993-08-20 | シート材の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22802793A JPH0755721A (ja) | 1993-08-20 | 1993-08-20 | シート材の検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0755721A true JPH0755721A (ja) | 1995-03-03 |
Family
ID=16870056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22802793A Withdrawn JPH0755721A (ja) | 1993-08-20 | 1993-08-20 | シート材の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0755721A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011169676A (ja) * | 2010-02-17 | 2011-09-01 | Konica Minolta Holdings Inc | 可撓性を有する検査対象物の表面の状態を検査する方法および装置 |
| JP2015078985A (ja) * | 2013-10-15 | 2015-04-23 | ギガビス カンパニー リミテッド | 透明基板の表面パターン不良測定装置 |
| CN109490323A (zh) * | 2017-09-13 | 2019-03-19 | 住友化学株式会社 | 缺陷检查装置、缺陷检查方法、圆偏振板或椭圆偏振板的制造方法及相位差板的制造方法 |
-
1993
- 1993-08-20 JP JP22802793A patent/JPH0755721A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011169676A (ja) * | 2010-02-17 | 2011-09-01 | Konica Minolta Holdings Inc | 可撓性を有する検査対象物の表面の状態を検査する方法および装置 |
| JP2015078985A (ja) * | 2013-10-15 | 2015-04-23 | ギガビス カンパニー リミテッド | 透明基板の表面パターン不良測定装置 |
| CN109490323A (zh) * | 2017-09-13 | 2019-03-19 | 住友化学株式会社 | 缺陷检查装置、缺陷检查方法、圆偏振板或椭圆偏振板的制造方法及相位差板的制造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001031 |