KR102632190B1 - 편광 필름의 촬상 장치, 및 검사 장치, 그리고 검사 방법 - Google Patents

편광 필름의 촬상 장치, 및 검사 장치, 그리고 검사 방법 Download PDF

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이치로 수에히로
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닛토덴코 가부시키가이샤
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Abstract

검사 대상이 되는 편광 필름에 광을 조사하는 광원과, 그 광원의 광축 상에서 상기 광원과는 반대측에서 상기 편광 필름을 향하여 배치되는 촬상부를 구비하고, 상기 광원과 상기 편광 필름 사이에 배치되는 원편광판, 및 상기 편광 필름과 상기 촬상부 사이에 배치된 파장판 중 적어도 어느 한 쪽을 구비하는 편광 필름의 촬상 장치, 및 그 촬상 장치를 구비하는 편광 필름의 검사 장치, 그리고 그 촬상 장치를 사용하는 편광 필름의 검사 방법.

Description

편광 필름의 촬상 장치, 및 검사 장치, 그리고 검사 방법{IMAGING APPARATUS FOR OBTAINING IMAGE OF POLARIZING FILM, INSPECTION APPARATUS, AND INSPECTION METHOD}
[관련 출원의 상호 참조]
본원은, 2017년 7월 31일 출원된 일본 특허 출원 제2017-148174호에 기초하는 우선권을 주장하고, 그 출원이 인용에 의해 원용된다.
본 발명은 편광 필름의 편광 특성을 촬상하는 촬상 장치, 및 그 촬상 장치를 구비하는 검사 장치, 그리고 그 촬상 장치를 사용한 검사 방법에 관한 것이다.
종래, 특정한 방향으로 편광한 광을 통과시키는 편광 필름을 검사하기 위한 검사 장치가 제공되고 있다. 이러한 검사 장치에는, 편광 필름의 편광 특성을 촬상하는 촬상 장치가 내장되어 있다.
예를 들어, 특허문헌 1에 개시되어 있는 검사 장치(결함 검출 장치)에 내장되어 있는 촬상 장치는, 편광 필름에 광을 조사하는 광원(2)과, 광원(2)으로부터의 광의 광로 상에 있어서 편광 필름을 사이에 두고서 광원(2)과 나란히 배치되고 또한 편광 필름의 투과광을 촬상하도록 구성된 촬상부와, 상기 광로 상에 있어서의 편광 필름과 촬상부 사이에서 배치 변경 가능한 편광 필터 및 위상차 필터를 구비하고 있다.
상기 촬상 장치에 의하면, 검사하는 편광 필름에 맞춰서 편광 필터나 위상차 필터의 배치를 바꿈으로써, 편광 필름의 촬상에 적합한 촬상 환경을 구축할 수 있게 되어 있다.
일본 특허 공개2007-212442호 공보
그런데, 편광 필름 중 결함이 발생되어 있는 영역을 통과한 광의 편광 특성이, 편광 필름 중 결함의 주위의 영역(즉, 결함이 없는 영역)을 통과한 광의 편광 특성에 대하여 근소한 차이밖에 발생하지 않는 경우가 있다. 그 때문에, 상기 촬상 장치에서는, 편광 필름의 결함이 화상에 찍히기 어려워져, 결함의 검출의 누락으로 이어지는 경우가 있었다.
그래서, 본 발명은 이러한 실정을 감안하여, 편광 필름의 결함을 강조한 화상을 얻을 수 있는 촬상 장치, 및 그 촬상 장치를 구비한 검사 장치, 그리고 그 촬상 장치를 사용한 검사 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명의 편광 필름의 촬상 장치는,
검사 대상이 되는 편광 필름을 향하여 광을 조사하기 위한 광원과,
그 광원의 광축 상에 있어서 상기 편광 필름에 대하여 상기 광원과는 반대측에서 상기 편광 필름을 향하여 배치되는 촬상부를 구비하고,
상기 광원과 상기 편광 필름 사이에 배치되는 원편광판, 및 상기 편광 필름과 상기 촬상부 사이에 배치되는 파장판 중 적어도 어느 한 쪽을 구비한다.
본 발명의 촬상 장치에 있어서,
상기 파장판은, 입사광의 위상을 4분의 1 파장 어긋나게 하여 구성되어 있어도 된다.
본 발명의 촬상 장치에 있어서,
상기 편광 필름은, 상기 광축에 대하여 경사진 상태에서 배치되어 있어도 된다.
본 발명의 촬상 장치에 있어서,
상기 광원의 광의 파장이 400nm 내지 500nm, 또는 700nm 내지 1000nm여도 된다.
본 발명의 편광 필름의 검사 장치는,
상기 중 어느 촬상 장치와,
그 촬상 장치로 촬상한 편광 필름의 화상에 찍히는 그 편광 필름의 결함을 검출하는 결함 검출부를 구비한다.
본 발명의 편광 필름의 검사 방법은,
상기 중 어느 촬상 장치로 편광 필름을 촬상하고,
그 촬상 장치로 촬상한 화상에 찍히는 그 편광 필름의 결함을 검출한다.
도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 편광 필름의 촬상 장치의 블록도이다.
도 2는, 동 실시 형태에 따른 편광 필름의 촬상 장치의 해석부의 블록도이다.
도 3은, 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 편광 필름의 촬상 장치의 블록도이다.
도 4는, 동 실시 형태에 따른 편광 필름의 촬상 장치로 촬상한 화상의 이미지도이다.
도 5는, 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 편광 필름의 촬상 장치의 블록도이다.
도 6은, 동 실시 형태에 따른 편광 필름의 촬상 장치로 촬상한 화상의 이미지도이다.
도 7은, 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 편광 필름의 촬상 장치의 블록도이다.
이하, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 편광 필름의 촬상 장치(이하, 촬상 장치라고 칭한다)에 대해서, 첨부 도면을 참조하면서 설명한다.
본 실시 형태에 따른 촬상 장치는, 도 1에 도시한 바와 같이, 검사 대상이 되는 편광 필름(F)을 향하여 광을 조사하기 위한 광원(2)과, 그 광원(2)의 광축 상에 있어서 상기 편광 필름에 대하여 상기 광원(2)과는 반대측에서 상기 편광 필름(F)을 향하여 배치되는 촬상부(3)와, 광원(2)과 편광 필름(F) 사이에 배치되는 원편광판(4)과, 편광 필름(F)과 촬상부(3) 사이에 배치되는 파장판(5)과, 촬상부(3)로 촬상한 화상의 정보를 해석하는 해석부(6)와, 그 해석부(6)의 해석 결과를 표시하기 위한 표시부(7)를 구비하고 있다.
광원(2)은 단파장의 광을 발생시키도록 구성되어 있다. 광원(2)의 파장은, 편광 필름(F)의 종류에 따라 설정되어 있다. 예를 들어, 검사 대상물이 편광 필름(F)인 경우에는, 광원(2)의 파장이 400nm 내지 500nm로 설정되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 검사 대상물이 편광 필름(F)의 표면에 방현 처리가 실시되어 있는 것인 경우(즉, 방현 기능을 구비한 편광 필름(F)인 경우), 광원(2)의 파장은, 700nm 내지 1000nm로 설정되어 있는 것이 바람직하다.
촬상부(3)는 촬상한 피사체(검사 대상이 되는 편광 필름(F))의 편광 정보(구체적으로는, 소정의 방위각의 편광 정보)를 취득하도록 구성되어 있다. 본 실시 형태에 따른 촬상부(3)는 편광 카메라에 의해 구성되어 있다. 또한, 촬상부(3)는 0°, 45°, 90°, 135°의 방위각의 편광 정보를 편광 정보로서 취득하도록 구성되어 있다.
원편광판(4)은 광원(2)의 광으로부터 원편광을 추출하도록 구성되어 있다. 또한, 원편광판(4)으로 추출하는 원편광은, 우회전이어도 되고, 좌회전이어도 된다. 그 때문에, 검사 대상물인 편광 필름(F)에는, 원편광의 광이 조사되도록 되어 있다.
또한, 원편광판(4)은 광원(2)의 광축과 교차하도록 하여 배치되어 있다. 원편광판(4)의 각 판면이 확대되는 방향과, 광원(2)의 광축이 연장하는 방향(이하, 광축 방향이라고 칭한다)은 서로 직교하고 있다.
검사 대상물로 하는 편광 필름(F)은, 편광판만으로 구성되어 있어도 되고, 편광판과 위상차판을 접합한 복합 필름이어도 된다. 또한, 검사 대상물인 편광 필름(F)은, 표면에 반사 방지 처리나, 방현 처리가 실시되어 있는 것이어도 된다. 또한, 본 실시 형태에서는, 편광판과 위상차판을 접합한 복합 필름을 검사 대상물로 하고 있다. 또한, 그 복합 필름의 위상차판은, 촬상부(3)측을 향하여 배치되어 있다. 또한, 그 복합 필름의 편광판은, 광원(2)측을 향하여 배치되어 있다. 또한, 편광판, 위상차판은, 정형성을 갖는 평판상이어도 되고, 변형 가능한 필름상이어도 된다.
본 실시 형태에서는, 검사 대상인 편광 필름(F)을 검사용 필름(F)이라고 칭하고 이하의 설명을 행하기로 한다.
검사용 필름(F)은, 광원(2)의 광축과 교차하도록 배치되어 있고, 각 면이 광축에 대하여 경사진 상태에서 그 광축과 교차하고 있다.
또한, 본 실시 형태에 따른 검사용 필름(F)은, 광축 방향 및 연직 방향의 각각의 방향에 대하여 경사지게 배치되어 있다. 또한, 연직 방향에 대한 검사용 필름(F)의 경사 각도는, 0° 내지 60°의 사이에 설정되어 있는 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 45°이다.
또한, 본 실시 형태에 따른 검사용 필름(F)은, 상단부가 하단부보다도 광원(2)에 가깝게 되도록 경사져 있다.
파장판(5)은 입사광(검사용 필름(F)을 통과한 광)의 위상을 어긋나게 하도록 구성되어 있다. 본 실시 형태에 따른 파장판(5)은 입사광의 위상을 4분의 1 파장 어긋나게 하여 구성되어 있다.
또한, 파장판(5)으로의 입사광은 원편광이지만, 파장판(5)을 통과한 출사광은 직선 편광이 된다. 그 때문에, 촬상 장치(1)에서는, 파장판(5)을 통과한 직선 편광이 촬상부(3)에 의해 촬상된다. 이와 같이, 촬상부(3)에는, 광원(2)의 광이 촬상에 적합한 상태에서 조사된다.
이와 같이 하여, 광원(2)으로부터 쏘아져서 원편광판(4), 검사용 필름(F), 파장판(5)을 통과하여 촬상부(3)에 도달하는 광에는, 원이색성 및 복굴절성에 의한 광 강도 변화가 포함되어 있다.
보다 구체적으로 설명하면 원편광판(4)의 스토크스 파라미터를 Sc, 검사용 필름(F)의 뮬러 행렬을 Mf, 파장판(5)의 뮬러 행렬을 Mw로 하는 경우, 촬상부(3)에 도달하는 광의 편광 상태를 나타내는 스토크스 파라미터 S는, 하기의 식 (1)에 의해 구해진다.
Figure 112018073942929-pat00001
또한, 본 실시 형태에 있어서, 원편광판(4)의 스토크스 파라미터 Sc, 검사용 필름(F)의 뮬러 행렬 Mf, 파장판(5)의 뮬러 행렬 Mw는, 각각,
Figure 112018073942929-pat00002
Figure 112018073942929-pat00003
이 되어 있다. 그 때문에, 촬상부(3)에 도달하는 광의 스토크스 파라미터 S는, 하기의 식 (2)가 된다.
Figure 112018073942929-pat00004
따라서, 촬상부(3)에 도달하는 광에서는, 스토크스 파라미터 S의 S0 성분에 원이색성이 강조되고, S1 성분에 복굴절이 강조된다.
해석부(6)는 도 2에 도시한 바와 같이, 촬상부(3)가 취득한 편광 정보로부터 편광 특성을 나타내는 특성 정보를 추출하는 추출 수단(60)과, 그 추출 수단(60)으로 추출한 특성 정보의 처리를 행하는 처리 수단(61)과, 그 처리 수단(61)에 의한 특성 정보의 처리 결과를 표시부(7)에 출력하기 위한 출력 수단(62)을 구비하고 있다.
또한, 해석부(6)는 예를 들어, 정보의 처리를 행하는 처리 장치(CPU)와, 정보를 기억하는 기억 장치를 구비한 기기(예를 들어, 퍼스널 컴퓨터)로 구성할 수 있고, 촬상부(3)에 대해서는 유선 또는 무선으로 접속되어 있으면 된다.
추출 수단(60)은 특성 정보로서, 촬상부(3)가 촬상한 화상의 광 강도, 수평 직선 편광과 수직 직선 편광의 광 강도차, 및 45°직선 편광과 135°직선 편광의 광 강도차를 추출하도록 구성되어 있다. 또한, 추출 수단(60)은 우원편광과 좌원편광의 광 강도차를 특성 정보로서 추출할 수 있도록 구성되어 있어도 된다.
처리 수단(61)은 추출 수단(60)으로 추출한 특성 정보에 기초하여 검사용 필름(F)을 촬상한 화상(검사 화상)을 새롭게 생성하도록 구성되어 있다. 처리 수단(61)은 예를 들어, 광 강도나, 수평 직선 편광의 강도에 기초하여 검사 화상을 생성하도록 구성되어 있으면 된다.
출력 수단(62)은 처리 수단(61)으로 생성한 검사 화상을 표시부(7)에 출력한다. 또한, 표시부(7)는 디스플레이 등의 표시 장치로 구성되어 있다. 그 때문에, 검사 작업자는, 출력 수단(62)에 의해 표시부(7)에 출력된 검사 화상을 확인함으로써 검사용 필름(F)의 불균일(편광 특성이 부분적으로 변화하는 결함)의 유무나, 불균일의 종류 등을 파악할 수 있다.
또한, 편광 필름(F)의 검사 방법을 행하는 경우에는, 촬상 장치(1)로 검사용 필름(F)을 촬상하고, 촬상 장치(1)로 촬상한 검사용 필름(F)의 화상에 찍히는 편광 필름의 불균일(결함)을 작업자나 검사 기기에서 검출하면 된다.
이상과 같이, 본 실시 형태에 따른 촬상 장치(1)에 의하면, 광원(2)과 촬상부(3) 사이에는, 원편광판(4), 검사용 필름(F), 파장판(5)이 배치되어 있기 때문에, 광원(2)의 광은, 원편광판(4)이나, 편광 필름(F), 파장판(5)의 배치에 따른 편광 특성(본 실시 형태에서는 원이색성 및 복굴절성)이 강조된 상태에서 촬상부(3)에 도달한다.
그 때문에, 촬상 장치(1)는 특정한 편광 특성을 강조함으로써, 검사용 필름(F)의 불균일(결함)을 통과한 광의 편광 특성과, 그 불균일의 주위를 통과한 광의 편광 특성에 큰 차이를 둘 수 있다. 따라서, 촬상 장치(1)는 불균일이 분명히 찍혀 있는 검사용 필름(F)의 화상을 얻을 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서는, 검사용 필름(F)이 광축에 대하여 경사진 자세로 배치되어 있기 때문에, 광원으로부터의 광이 검사용 필름(F)을 통과하는 거리가 길어진다. 그 때문에, 검사용 필름(F)의 편광 특성이 강조된다. 따라서, 촬상 장치(1)에서는, 검사용 필름(F)에 불균일이 발생하는 경우, 검사용 필름(F)의 화상에 찍히는 불균일이 강조되기 쉬워진다.
또한, 본 실시 형태에서는, 처리 수단(61)이 추출 수단(60)으로 수신한 특성 정보(광 강도, 수평 직선 편광과 수직 직선 편광의 광 강도차, 및 45°직선 편광과 135°직선 편광의 광 강도차)에 기초하여 검사 화상을 새롭게 작성하도록 구성되어 있고, 촬상부(3)에 도달하는 광의 스토크스 파라미터 S의 S0 성분에 검사용 필름(F)의 뮬러 행렬 Mf의 M03의 성분이 포함되어 있는 경우, 검사 화상에는 원이색성에 의해 발생하는 검사용 필름(F)의 광 강도의 변화가 현저하게 나타난다. 그 때문에, 이러한 검사 화상에는 원이색성에 의해 광 강도에 변동이 발생하는 불균일이 강조된 상태로 나타난다.
또한, 촬상부(3)에 도달하는 광의 스토크스 파라미터 S의 S1 성분에 검사용 필름(F)의 뮬러 행렬 Mf의 M33의 성분이 포함되어 있는 경우, 검사 화상에는 복굴절성에 의해 발생하는 검사용 필름(F)의 광 강도의 변화가 현저하게 나타난다. 그 때문에, 이러한 검사 화상에는 복굴절에 의해 광 강도에 변동이 발생하는 불균일이 강조된 상태로 나타난다.
또한, 원이색성에 의해 광 강도에 변동이 발생하는 불균일이란, 예를 들어, 스폿 불균일이나, 경사 불균일이다. 스폿 불균일이란, 점상의 간섭 불균일과 같은 결점이며, 경사 불균일이란, 위상차 필름에 경사상으로 발생하는 두께 불균일이다.
또한, 복굴절에 의해 광 강도에 변동이 발생하는 불균일이란, 예를 들어, 편광 필름(PVA)에 세로 줄무늬상으로 발생하는 농담의 불균일(소위, 위상 불균일)이다.
이와 같이, 본 실시 형태에 따른 촬상 장치(1)는 촬상부(3)에 도달하는 광의 소정의 편광 특성을 강조함으로써, 그 편광 특성에 영향을 미치는 불균일을 강조한 검사 화상을 얻을 수 있다.
또한, 본 발명의 촬상 장치(1)는 상기 일 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 다양한 변경을 행하는 것은 물론이다.
상기 실시 형태에 있어서, 촬상부(3)는 0°, 45°, 90°, 135°의 방위각의 편광을 촬상할 수 있도록 구성되어 있었지만, 촬상부(3)는 적어도 45°의 방위각의 편광을 촬상할 수 있도록 구성되어 있으면 된다.
예를 들어, 촬상부(3)를 45°의 방위각의 편광만을 촬상할 수 있도록 구성하는 경우에는, 도 3에 도시한 바와 같이, 파장판(5)과 촬상부(3) 사이에 방위가 45°인 편광판(8)을 배치하면 된다. 이 경우, 촬상부(3)는 편광 카메라가 아니라, 라인 카메라 등의 편광 정보를 취득하는 기능을 갖지 않는 카메라로 구성되어 있어도 된다. 또한, 도 3에 도시하는 촬상 장치(1)에서는, 검사용 필름(F)의 뮬러 행렬 Mf의 M30의 성분 및 M33의 성분 중 M33의 성분만이 촬상부(3)에 도달하는 광의 스토크스 파라미터 S의 S0 성분에 포함되기 때문에, 복굴절에 의해 광 강도에 변동이 발생하는 불균일이 강조된 검사 화상(도 4 참조)이 취득된다. 또한, 도 4에 있어서는, 불균일에 해당하는 부분에 부호 「I1」을 붙이고 있다.
상기 실시 형태에 있어서, 촬상 장치(1)는 광원(2)과 편광 필름(F) 사이에 배치되는 원편광판(4), 및 편광 필름(F)과 촬상부(3) 사이에 배치된 파장판(5)을 구비하고 있었지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들어, 촬상 장치(1)는 원편광판(4) 및 파장판(5) 중 적어도 어느 한 쪽을 구비하고 있으면 된다.
도 5에 도시하는 촬상 장치(1)에서는, 원편광판(4) 및 파장판(5) 중 원편광판(4)만을 구비하고 있다. 또한, 촬상부(3)에는, 편광 정보를 취득하는 기능을 갖지 않는 카메라가 채용되어 있기 때문에, 검사용 필름(F)과 촬상부(3) 사이에는, 방위각이 -45°인 편광판(8)이 배치되어 있다.
이 경우, 원편광판(4)의 스토크스 파라미터 Sc, 검사용 필름(F)의 뮬러 행렬 Mf, 편광판의 뮬러 행렬을 Mp로 하면, 촬상부(3)에 도달하는 광의 편광 상태를 나타내는 스토크스 파라미터 S는, 하기의 식 (3)으로 표현된다.
Figure 112018073942929-pat00005
또한, 도 5에 도시하는 촬상 장치(1)에서는, 원편광판(4)의 스토크스 파라미터 Sc, 검사용 필름(F)의 뮬러 행렬 Mf, 편광판(8)의 뮬러 행렬 Mp가,
Figure 112018073942929-pat00006
이 되어, 촬상부(3)에 도달하는 광의 스트로크 파라미터 S는, 하기 식 (4)와 같이,
Figure 112018073942929-pat00007
이 된다. 또한, 도 5에 도시하는 촬상 장치(1)에서는, 검사용 필름(F)의 뮬러 행렬 Mf의 M30의 성분 및 M33의 성분 중 M30의 성분만이 촬상부(3)에 도달하는 광의 스토크스 파라미터 S의 S0 성분에 포함되기 때문에, 원이색성에 의해 광 강도에 변동이 발생하는 불균일이 강조된 검사 화상(도 6 참조)이 취득된다. 또한, 도 6에 있어서는, 불균일에 해당하는 부분에 부호 「I2」을 붙이고 있다.
상기 실시 형태에서는, 편광 필름(F)을 촬상하는 촬상 장치(1)의 설명을 행했지만, 예를 들어, 촬상 장치(1)에는, 도 7에 도시하는 바와 같이, 그 촬상 장치(1)로 촬상한 화상에 찍히는 결함(편광 필름(F)의 결함)을 검출하는 결함 검출부(9)가 접속되어 있어도 된다. 즉, 촬상 장치(1)는 촬상 장치(1)와, 결함 검출부(9)를 구비하는 편광 필름(F)의 검사 장치로서 사용해도 된다.
상기 실시 형태에 있어서, 검사용 필름(F)은, 각면이 광축에 대하여 경사진 상태에서 교차하도록 배치되어 있었지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들어, 검사용 필름(F)은, 각 면이 광축에 대하여 직교한 상태에서 그 광축과 교차하도록 배치되어 있어도 된다.
상기 실시 형태에 있어서, 검사용 필름(F)은, 각면이 광축 방향 및 연직 방향의 각각의 방향에 대하여 경사지게 배치되어 있었지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 광축 방향 및 연직 방향에 직교하는 방향을 깊이 방향으로 하는 경우, 검사용 필름(F)의 각 면은, 예를 들어, 광축 방향 및 깊이 방향의 각각의 방향에 대하여 경사져 있어도 된다.
1: 촬상 장치
2: 광원
3: 촬상부
4: 원편광판
5: 파장판
6: 해석부
7: 표시부
8: 편광판
8: 결함 검출부
9: 결함 검출부
60: 추출 수단
61: 처리 수단
62: 출력 수단
F: 편광 필름(검사용 필름)

Claims (6)

  1. 편광 필름을 검사 대상으로 하여 검사를 행하는 편광 필름의 촬상 장치에 있어서,
    상기 편광 필름을 향하여 광을 조사하기 위한 광원과,
    그 광원의 광축 상에 있어서 상기 편광 필름에 대하여 상기 광원과는 반대측에서 상기 편광 필름을 향하여 배치되는 촬상부와,
    상기 광원과 상기 편광 필름 사이에 배치되는 원편광판과,
    상기 편광 필름과 상기 촬상부 사이이며, 또한 상기 광축 상에 있어서 상기 촬상부에 인접하는 위치에 배치되는 파장판으로서, 상기 편광 필름의 투과광을 받는 파장판을 구비하며,
    상기 광원과, 상기 원편광판과, 상기 편광 필름과, 상기 파장판과, 상기 촬상부는 일렬로 나란히 배치되고,
    상기 촬상부는, 상기 파장판을 투과한 직선 편광을 촬상하도록 구성되는 편광 필름의 촬상 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 파장판은, 입사광의 위상을 4분의 1 파장 어긋나게 하여 구성되어 있는
    편광 필름의 촬상 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 편광 필름은, 상기 광축에 대하여 경사진 상태에서 배치되어 있는
    편광 필름의 촬상 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 광원의 광의 파장이 400nm 내지 500nm, 또는 700nm 내지 1000nm인
    편광 필름의 촬상 장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 기재된 촬상 장치와,
    그 촬상 장치로 촬상한 편광 필름의 화상에 찍히는 그 편광 필름의 결함을 검출하는 결함 검출부를 구비하는
    편광 필름의 검사 장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 기재된 촬상 장치로 편광 필름을 촬상하고,
    그 촬상 장치로 촬상한 화상에 찍히는 그 편광 필름의 결함을 검출하는
    편광 필름의 검사 방법.
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