CN111721502A - 检查方法及检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供可容易地判断偏振板有无缺陷的检查方法及检查装置。依次排列地配置具备偏振板(1A)和由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂形成的剥离膜(16a)的膜状的被检查物(10A)；包含波长550nm时的面内相位差值比剥离膜(16a)的波长550nm时的面内相位差值大500～600nm的区域、且对剥离膜(16a)所具有的双折射进行补偿的相位差板(4)；与偏振板(1A)构成正交尼克尔棱镜的偏振滤光片(3A)，从被检查物(10A)侧或偏振滤光片(3A)侧中的任一侧，以光轴(9)通过该区域的方式使光入射，从另一侧观察偏振滤光片(3A)或被检查物(10A)来判断偏振板(1A)有无缺陷。

Description

检查方法及检查装置

技术领域

本发明涉及检查方法及检查装置。

背景技术

液晶显示装置或有机EL显示装置等所使用的偏振板通常以将偏振片被两片保护膜夹持的方式来构成。为了将偏振板粘贴于显示装置，在一侧的保护膜上层叠粘合剂层，进而在粘合剂层上层叠剥离膜。另外，多数情况下，在另一侧的保护膜上也贴合保护其表面的剥离膜。偏振板在如此层叠有剥离膜的状态下进行流通搬运，在显示装置的制造工序中贴合于显示装置时，将剥离膜剥离。

但是，偏振板在其制造阶段中有时在偏振片与保护膜之间混入异物或残留气泡，或者，在保护膜具有相位差膜的功能的情况下内部存在有取向缺陷(以下有时将这些异物、气泡及取向缺陷总称为“缺陷”)。在将存在缺陷的偏振板贴合于显示装置的情况下，有时该缺陷的部位被视觉辨认为亮点，或者，在缺陷的部位观察到图像扭曲。特别是，被视觉辨认为亮点的缺陷在该显示装置显示黑色时容易被视觉辨认到。

因此，在将偏振板贴合于显示装置的前阶段(具备剥离膜的状态的偏振板)，进行用于检测该偏振板缺陷的检查。该缺陷的检查通常为利用偏振板的偏振轴进行的光检查。具体而言，如专利文献1所示，在作为被检查物的偏振板与光源之间设置偏振滤光片，并且使该偏振板或偏振滤光片在平面方向上旋转，使它们各自的偏振轴方向满足规定的关系。在偏振轴方向彼此相互正交的情况下(即，构成正交尼克尔棱镜的配置的情况下)，通过偏振滤光片后的直线偏振光无法通过偏振板。然而，若偏振板存在缺陷，则在该部位直线偏振光发生透过，因此，通过检测该光来判明缺陷的存在。另一方面，在偏振板与偏振滤光片的偏振轴方向彼此平行的情况下，通过偏振滤光片后的直线偏振光会透过偏振板。然而，若偏振板存在缺陷，则在该部位直线偏振光被阻断，因此，通过检测不到该光而判明缺陷的存在。透过偏振板来的光由检查者通过目视来检测，或者，通过组合CCD照相机和图像处理装置而得的图像分析处理值来自动地检测，由此能够进行偏振板有无缺陷的检查。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9－229817号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，如上所述，在偏振板具备剥离膜的情况下，由于该剥离膜所具有的双折射而使偏振板的偏振特性受到阻碍，所以无法利用现有的检查装置来高精度地检测偏振板中存在的亮点等缺陷。

即，在将偏振板与偏振滤光片以构成正交尼克尔棱镜的方式进行配置的情况下，根据上述原理，缺陷会被视觉辨认为亮点，但根据偏振板的缺陷状况也有亮点缺陷被视觉辨认为黑点的情况，此时，与作为亮点进行检测相比检测判断变难。这种情况在偏振板为直线偏振板的情况下或为圆偏振板的情况下均相同。

本发明的目的在于，提供能够容易地判断偏振板有无缺陷的检查方法及检查装置。

用于解决课题的手段

本发明提供一种检查方法，其为判断膜状的被检查物有无缺陷的检查方法，所述膜状的被检查物具备偏振板和由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂(PET系树脂)形成的剥离膜，在所述检查方法中，依次排列地配置：被检查物；相位差板，其包含波长550nm时的面内相位差值(以下将该波长550nm时的面内相位差值称为“Re(550)”)比剥离膜的Re(550)大500～600nm的区域，且对剥离膜所具有的双折射进行补偿；以及偏振滤光片，其与偏振板构成正交尼克尔棱镜，从被检查物侧或偏振滤光片侧中的任一侧，以光轴通过区域的方式使光入射，从另一侧观察偏振滤光片或被检查物来判断偏振板有无缺陷。

根据该检查方法，通过使用该相位差板，能够使可见光的透射光谱在更宽的波长范围内与剥离膜相符，因此能够使观察视野整体进一步变暗。此时，作为亮点被观察的偏振板的缺陷部分在观察视野之中变得更明显。因此，根据本发明，能够容易地判断偏振板有无缺陷。

在本发明的检查方法中，偏振板可以为直线偏振板，偏振滤光片可以为直线偏振滤光片。另外，在本发明中，偏振板可以为圆偏振板，偏振滤光片可以为相位差滤光片。任一情况下均能够应用本发明。

相位差板的面内相位差值可以是连续地变化的。这种情况下，由于一片相位差板具有各种面内相位差值，因此，能够用该一片相位差板对各种剥离膜所具有的相位差进行补偿。

本发明中，相位差板可以为如下方式：由多片构成，且以使面内相位差值增加的朝向互为反向的方式进行配置。与相位差板为一片的情况相比，这样配置的多片相位差板中，与相位差板内的部位相对应的相位差值的变化和缓。因此，在使用多片相位差板的情况下，与相位差板为一片的情况相比，能够对剥离膜所具有的相位差进行补偿的区域变广。

相位差板可以包含无机材料或环烯烃系树脂。

在本发明中，可以将被检查物、相位差板及偏振滤光片中的至少一者以彼此相向的角度不同的方式倾斜，或在与光的光轴垂直的方向上旋转。通过将它们倾斜，从而能够对剥离膜、相位差板的相位差进行微调，因此能够实现更广范围的检查。另外，通过使它们旋转，从而剥离膜与相位差板的轴校正变得容易。

另外，本发明提供一种检查装置，其为使光入射至膜状的被检查物来判断偏振板有无缺陷的检查装置，所述膜状的被检查物具备偏振板和由PET系树脂形成的剥离膜，所述检查装置具备：光源；偏振滤光片，其使从光源发出且已通过被检查物的光入射；以及相位差板，其配置在与配置被检查物的位置相比更远离光源的一侧，且与配置偏振滤光片的位置相比更靠近光源的一侧，并且使已通过被检查物的光通过，相位差板包含Re(550)比剥离膜的Re(550)大500～600nm的区域，且对剥离膜所具有的双折射进行补偿。

另外，本发明提供一种检查装置，其为使光入射至膜状的被检查物来判断偏振板有无缺陷的检查装置，所述膜状的被检查物具备偏振板和由PET系树脂形成的剥离膜，所述检查装置具备：光源；偏振滤光片，其使光源所发出的光通过；以及相位差板，其配置在与配置被检查物的位置相比更靠近光源的一侧，且与配置偏振滤光片的位置相比更远离光源的一侧，并且使已通过偏振滤光片的光通过，相位差板包含Re(550)比剥离膜的Re(550)大500～600nm的区域，且对剥离膜所具有的双折射进行补偿。

在本发明的检查装置中，偏振板可以为直线偏振板，偏振滤光片可以为直线偏振滤光片。另外，在本发明中，偏振板可以为圆偏振板，偏振滤光片可以为相位差滤光片。在任一情况下均可以应用本发明。

在本发明的检查装置中，相位差板的面内相位差值也可以是连续地变化的。另外，相位差板可以由多片构成，且以使面内相位差值增加的朝向互为反向的方式来配置。另外，相位差板可以包含无机材料或环烯烃系树脂。

在本发明的检查装置中，相位差板可以配置在光的光轴通过区域的位置处。

发明的效果

根据本发明，可以提供能够容易地判断偏振板有无缺陷的检查方法及检查装置。

附图说明

图1为表示第一实施方式的检查装置的图。

图2为第一实施方式的被检查物的剖视图。

图3为表示相位差板的一例的图。

图4为表示第一实施方式的变形例的检查装置的图。

图5为表示扫描相位差板的状况的图。

图6为表示第二实施方式的检查装置的图。

图7为表示第三实施方式的检查装置的图。

图8为第三实施方式的被检查物的剖视图。

图9为表示第四实施方式的检查装置的图。

附图标记说明

1A…直线偏振板(偏振板)；1B…圆偏振板(偏振板)；2…光源；3A…直线偏振滤光片(偏振滤光片)；3B…相位差滤光片(偏振滤光片)；4…相位差板；5…检测单元；9…光轴；10A、10B…被检查物；11…偏振膜；12a、12b…保护膜；13…粘合剂层；14…相位差膜；15…粘合剂层；16a、16b…剥离膜；100A、100B、100C、100D…检查装置。

具体实施方式

以下，针对本发明的优选实施方式，一边参照附图一边详细地进行说明。需要说明的是，在各附图中，对同一部分或相应部分标注相同的符号，并省略重复说明。

＜第一实施方式＞

对第一实施方式的检查装置及检查方法进行说明。

(检查装置和被检查物)

本实施方式的检查装置为对直线偏振板有无表面缺陷进行检查的装置。如图1所示，检查装置100A通过将光源2、相位差板4及直线偏振滤光片(偏振滤光片)3A依次进行配置而成。

如图2所示，作为检查对象的膜状的被检查物10A具备：作为检查对象主体的直线偏振板1A；以及隔着粘合剂层15而层叠于直线偏振板1A的剥离膜16a。直线偏振板1A是通过在偏振膜11的两面贴合保护膜12a、12b而成的。而且，在直线偏振板1A中的不具备剥离膜16a的一侧的面层叠有另外的剥离膜16b。直线偏振板1A通常用于显示装置、例如液晶显示装置或有机EL显示装置，在使用时将剥离膜16a剥离，隔着粘合剂层15而贴付于显示装置。

需要说明的是，在本说明书中，“直线偏振板”是指用于将任意的光、例如无偏振的光转换成直线偏振光的偏振板。

偏振膜11是在检查装置100A中将由光源2入射的光转换成直线偏振光的膜。作为偏振膜11，例如可举出：在聚乙烯醇膜中吸附、取向有碘或二色性色素的偏振膜；在将聚合性液晶化合物取向、聚合而得的物质中吸附、取向有二色性色素的偏振膜。

保护膜12a、12b用于保护偏振膜11。作为保护膜12a、12b，出于得到具有适度的机械强度的偏振板的目的，可以使用在偏振板的技术领域中广泛使用的保护膜。典型地有：三乙酰纤维素(TAC)膜等纤维素酯系膜；环状烯烃系膜；聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜等聚酯系膜：聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)膜等(甲基)丙烯酸系膜等。另外，保护膜中可以包含在偏振板的技术领域中广泛使用的添加剂。

保护膜12a、12b作为直线偏振板1A的构成要素而与偏振膜11一起贴合于显示装置，因此要求相位差值的严格管理等。作为保护膜12a、12b，典型而言，优选使用相位差值极小的保护膜。保护膜12a、12b隔着粘接剂贴合于偏振膜11。

剥离膜16a、16b是在贴合于显示装置时从直线偏振板1A剥离的膜，通常，被剥离掉的剥离膜16a、16b被废弃。因此，与保护膜12a、12b不同，并不要求相位差值的严格管理。因此，在采用市售的膜作为剥离膜16a的情况下，如果不对其相位差值进行补偿，则在使用直线偏振滤光片3A的缺陷检查中，可能导致误动作。即，在如此贴合有相位差值未被严格管理的剥离膜16a、16b的直线偏振板1A的缺陷检查中，该剥离膜16a的相位差可能成为使检查装置100A的检查精度降低的原因。

需要说明的是，如上述背景技术所记载的那样，在偏振板1A中，大多在剥离膜16a的相反面设置有另外的剥离膜16b。在图2所示的偏振板1A中，在保护膜12b侧贴合有剥离膜16b。该剥离膜16b通常也是在贴合于显示装置时从直线偏振板1A剥离的膜，与保护膜12a、12b不同，并不要求相位差值的严格管理。在对剥离膜16b的相位差值进行补偿的情况下，在检查装置100A中，将剥离膜16a替换成剥离膜16b，即预先求出剥离膜16b的Re(550)，然后颠倒被检查物10A的朝向(设置为剥离膜16b与相位差板4相向的形式)，使用检查装置100A实施本实施方式的检查方法即可。需要说明的是，在图2中，保护膜12b与剥离膜16b可以隔着恰当的粘接剂层或粘合剂层进行贴合(在图2中，该粘接剂层或粘合剂层没有图示)。

在本实施方式中，剥离膜16a由PET系树脂形成。在对剥离膜16b的相位差值进行补偿来实施本实施方式的检查方法的情况下，剥离膜16b也使用由PET系树脂形成的膜。由PET系树脂形成的膜(PET系树脂膜)广泛用作剥离膜，且具有廉价的优点。另一方面，廉价的PET系树脂膜如上所述，并不要求相位差值的严格管理。因此，例如在每个制品批次间相位差值存在偏差。另外，即便是同一PET树脂系膜，也会在面内存在相位差值(面内相位差值)的偏差。即便是将这种廉价的PET树脂系膜作为剥离膜来贴合的偏振板，也可以通过本实施方式的检查方法而精度良好地检测其有无缺陷。

在此，预先示出剥离膜16a的Re(550)的求得方法。如上所述，这些剥离膜为由PET系树脂形成的膜，这样的膜能够容易从市场获得。从该膜中分割取得(使用恰当的切断工具从长条膜进行分割取得等)例如40mm×40mm左右大小的片。将该片的Re(550)测定3次，求出Re(550)的平均值。片的Re(550)可以使用相位差测定装置KOBRA－WPR(王子计测机器株式会社制)在测定温度为室温(25℃左右)的条件下进行测定。需要说明的是，在求取剥离膜16b的Re(550)时，也只要进行同样的试验即可。

光源2可以使用各种市售品，例如激光等直线光(也包括与直线光近似的光)是有利的。光源2发出的光为未偏振光，从偏振膜11通过而成为规定方向的偏振光。

直线偏振滤光片3A为直线偏振板。关于直线偏振滤光片3A，在对被检查物10A进行检查的情况下，通常以与被检查物10A中的直线偏振板1A构成正交尼克尔棱镜的方式来调整直线偏振滤光片3A的朝向。直线偏振滤光片3A的直线偏振板为无缺陷物。

相位差板4对基于剥离膜16a的光的双折射进行补偿。在直线偏振滤光片3A与直线偏振板1A的偏振轴正交的情况下(即，构成正交尼克尔棱镜的情况下)，利用直线偏振板1A而转换出的直线偏振光完全不会通过直线偏振滤光片3A，但是若直线偏振板1A存在缺陷，则会以亮点的形式被视觉辨认出。

然而，作为剥离膜16a而使用光学透明的材料，通常，大多使用PET系树脂这样的具有双折射的材料。若直线偏振光从这样的材料通过，则被转换成椭圆偏振光，因此，虽然直线偏振滤光片3A与直线偏振板1A构成了正交尼克尔棱镜，但是透过直线偏振滤光片3A的光量仍将超过光源光量的15％，由直线偏振板1所存在的缺陷导致的亮点的检测精度显著降低。在使用剥离膜16b的情况下，也由于同样的理由而使用光学透明的材料。

因此，通过在直线偏振滤光片3A与作为被检查物的直线偏振板1A之间配置相位差板4，从而消除剥离膜16a的透射率变化，由此对基于剥离膜16a的光的双折射进行补偿。

作为相位差板4的形状，只要能够对剥离膜16a的光的双折射进行补偿就没有特别限定，但由PET系树脂形成的剥离膜16a的面内相位差值、慢轴的偏差较大，因此优选制成能够在检查时调整相位差值的形状。作为其形状，如图3所示那样，可举出：厚度不同，以具有薄的部分和厚的部分的方式使厚度连续变化的形状。由于厚度连续地变化，因此与其厚度相对应，相位差值也连续地变化。关于该相位差板4，将厚度最薄的部分作为起点，厚度以规定的角度α扩展，剖面观察时成为“楔(楔形物)”的形状。通过使形成这种楔形的相位差板4在被检查物10A的检查区域内挪动或旋转，从而能够简便地对基于剥离膜16a的光的双折射进行补偿。

相位差板4的大小优选为：一边的长度在1cm～30cm这一范围内的长方形或正方形。

作为相位差板4，可以使用石英、方解石等显示双折射性的矿物等无机材料；由环烯烃系树脂形成的膜。特别优选使用这样的波长色散特性平坦的材料。另外，从加工成楔形的难易度及之后的处理性的方面考虑，优选使用石英等矿物。

在使用石英等矿物的情况下，为了使波长色散特性更为平坦，还可以使用相位差膜。在将包含石英等矿物的相位差板的慢轴与相位差膜的慢轴正交配置的情况下，优选使用正分散性的相位差膜，在将包含石英等矿物的相位差板的慢轴与相位差膜的慢轴平行配置的情况下，优选使用逆分散性的相位差膜。在使用这种相位差膜的情况下，在石英的表面贴合该相位差膜。

作为逆分散性的相位差膜，例如可举出：帝人株式会社制的商品名“Pure AceWR－S”、“Pure Ace WR－W”、“Pure Ace WR－M”、日东电工株式会社制的商品名“NRF”。作为正分散性的相位差膜，例如可举出：由聚碳酸酯系树脂形成的膜、由聚丙烯系树脂形成的膜。

作为上述环烯烃系树脂，例如可举出：将通过狄尔斯－阿尔德反应由环戊二烯和烯烃类得到的降冰片烯或其衍生物作为单体而进行开环易位聚合，接下来通过氢化而得到的树脂；将通过狄尔斯－阿尔德反应由二环戊二烯和烯烃类或甲基丙烯酸酯类得到的四环十二碳烯或其衍生物作为单体而进行开环易位聚合，接下来通过氢化而得到的树脂；使用降冰片烯、四环十二碳烯、它们的衍生物类或其它环状烯烃单体中的2种以上，同样地进行开环易位共聚，接下来通过氢化而得到的树脂；对上述降冰片烯、四环十二碳烯或它们的衍生物加成共聚具有乙烯基的芳香族化合物等而得到的树脂等。

环烯烃系树脂能够容易地获得市售品。作为该市售品，例如以各商品名的形式可举出Topas(Topas Advanced Polymers GmbH制)、ARTON(JSR株式会社制)、ZEONOR、ZEONEX(以上为日本ZEON株式会社制)、以及APEL(三井化学株式会社制)等。

另外，使用如下的相位差板：关于相位差板4的相位差值，具有比剥离膜16a的Re(550)大500～600nm的区域(以下有时称为“广补偿区域”)。通过使用具有如此偏离约1波长水平的区域的相位差板4，从而能够使可见光的透射光谱在更广的波长范围内与PET系树脂膜相符，能够进行相位差补偿。

为了对通过被检查物10A、相位差板4及直线偏振滤光片3A后的光进行观察，可以在光轴9上且直线偏振滤光片3A的两侧之中与光源2的一侧相反侧的位置处配置包含CCD照相机等的检测单元5。例如，能够利用组合了CCD照相机和图像处理装置的图像处理分析来自动地检测，由此进行被检查物的检查。或者，检测单元5也可以不是构件，而是人对直线偏振滤光片3A进行目视观察的情形。

另外，检查装置100A优选具备可移动装置(未图示)，该可移动装置能够将被检查物10A、相位差板4及直线偏振滤光片3A中的至少一者以彼此相向的角度不同的方式倾斜，或在与光的光轴9垂直的方向上旋转。通过将它们倾斜，从而可以对由PET系树脂形成的剥离膜16a、相位差板4的相位差进行微调，因此能够实现更广范围的检查。另外，通过使它们旋转，从而由PET系树脂形成的剥离膜16a与相位差板4的轴校正变得容易。

(检查方法)

使用了检查装置100A的检查方法如下所述。首先，在检查装置100A的内部中，在光源2与一片楔形相位差板4之间插入被检查物10A。此时，被检查物10A、相位差板4和直线偏振滤光片3A按照以下方式进行配置：其面均为平行，并且，被检查物10A中的具备剥离膜16a的一侧朝向与光源2相反侧，且直线偏振板1A与直线偏振滤光片3A构成正交尼克尔棱镜。在检查装置100A具备上述可移动装置的情况下，可以在将被检查物10A以任意的方向插入后，通过可移动装置使被检查物10A与直线偏振滤光片3A的相对位置关系发生变化来形成正交尼克尔棱镜。

光源2发出的光入射至被检查物10A，从被检查物10A通过而成为直线偏振光。通过使被检查物10A与直线偏振滤光片3A呈现正交尼克尔棱镜的配置，由此使因从被检查物10A通过而生成的直线偏振光被直线偏振滤光片3A阻断。此时，如果被检查物10A中的直线偏振板1A中存在缺陷，则该缺陷部分无法进行正常的阻断，通过检测单元5中的检查作业者的眼睛或CCD照相机等，缺陷部分作为亮点被观察。

然而，在剥离膜16a具有相位差的情况下，因从被检查物10A通过而生成的直线偏振光受到影响，透过直线偏振滤光片3A的光量变多(例如超过光源光量的10％或15％)，直线偏振板1A中存在的亮点等缺陷的检测精度降低。在此，通过在被检查物10A与直线偏振滤光片3A之间配置有相位差板4，从而被检查物10A中的剥离膜16a的相位差值被消除，对基于剥离膜16a的光的双折射进行补偿。

在检查中，使光源2发出的光的光轴通过相位差板4的“广补偿区域”。由此，能够使可见光的透射光谱在更广的波长范围内与PET系树脂膜相符，相位差的补偿变得更为有效。即，相位差板4的厚度连续地变化，从而相位差值也连续地变化，因此，在相位差板4所具有的各种厚度中的一部分厚度部分中，剥离膜16a所具有的双折射被消除。

另外，在检查中，可以将被检查物10A、相位差板4及直线偏振滤光片3A中的至少一者以彼此相向的角度不同的形式倾斜，也可以在与光的光轴9垂直的方向上旋转。通过进行倾斜，从而能够对剥离膜16a、相位差板4的相位差进行微调，因此能够实现更广范围的检查。另外，通过使它们旋转，从而由PET系树脂形成的剥离膜16a与相位差板4的轴校正变得容易。这些操作在检查装置100A具备可移动装置的情况下能够特别容易地进行。

以上，对第一实施方式的检查装置及检查方法进行了说明。该检查装置及检查方法也可以如下对部分构成或检查步骤进行变更来实施。

如图4所示，准备两片剖视观察时呈楔形的相位差板4，将它们形成使相位差值连续增加的朝向互为反向并重合的状态来使用。这种情况下，作为相位差板的相位差值，是指两片的合计值，上述“广补偿区域”也以两片的合计值为基准。通过使用两片楔形的相位差板4，能够在广范围内对剥离膜16a的光的双折射进行补偿，因此能够扩大检查区域，能够高效地进行检查。

更详细而言，通过将两片相位差板4、4中的至少一者在其厚度发生变化的方向(图示的左右方向)上移动，由此可以使相位差板4、4整体的相位差发生变化。就其变化程度而言，通过使厚度增加的方向互为反向地进行配置，从而与相位差板4为一片的情况相比更为和缓。由此，在使用两片相位差板4、4的检查装置100A’(图4)中，与相位差板4为一片的检查装置100相比，能够消除剥离膜16a所具有的双折射的区域进一步变广。另外，即便将所使用的相位差板4设为三片、四片等，也能够同样地进行检查。

或者，作为相位差板，也可以在剖面观察时不为楔形。作为相位差板，只要具有上述“广补偿区域”即可，因此，也可以预先测定剥离膜16a、16b的相位差，并使用具有与此相对应的相位差且厚度一样的相位差板。

另外，第一实施方式作为在预先确定了被检查物10A中的想要检查的位置的基础上对其一片区域进行检查的方法特别有用，如图5所示那样，通过使光源2、相位差板4进行扫描，从而能够以更广的范围对被检查物10A进行检查。这种情况下，如图5所示那样，以扫描被检查物10A的整个面的区域的方式使相位差板4移动。作为移动的方向，优选为相位差板4的厚度不同的方向。若以图1和图5的关系来说，由于相位差板4的厚度在图示的左右方向上不同，因此，相位差板4的移动方向优选为图示的左右方向。此时，根据需要使光源2、检测单元5也一起移动。

＜第二实施方式＞

对第二实施方式的检查装置及检查方法进行说明。如图6所示，第二实施方式的检查装置100B与第一实施方式的检查装置100A的不同之处在于，配置被检查物10A的位置与配置直线偏振滤光片3A的位置相反。即，检查装置100B是通过依次配置光源2、直线偏振滤光片3A及相位差板4而成的，被检查物10A按照在检查时使剥离膜16a朝向光源2侧的方式，配置在与相位差板4相比更远离光源2的位置处。需要说明的是，与上述第一实施方式同样地，当在偏振板1A上贴合剥离膜16b并对该剥离膜16b的相位差值进行补偿的情况下，只要在检查装置100B中以剥离膜16b与相位差板4相向的方式设置被检查物10A即可。

在使用了检查装置100B的被检查物10A的检查中，也可以通过与第一实施方式相同的原理而容易地检查直线偏振板1A有无缺陷。

＜第三实施方式＞

对第三实施方式的检查装置及检查方法进行说明。

(检查装置及被检查物)

本实施方式的检查装置与第一实施方式不同，是对圆偏振板有无表面缺陷进行检查的装置。作为与第一实施方式的不同之处在于：作为检查对象的膜状的被检查物10B包含圆偏振板1B；以及，据此使用相位差滤光片3B来代替直线偏振滤光片3A。以下，针对与第一实施方式不同的方面进行说明。

如图7所示，检查装置100C是通过依次配置光源2、相位差板4及相位差滤光片(偏振滤光片)3B而成的。

如图8所示，作为检查对象的膜状的被检查物10B具备：作为检查对象主体的圆偏振板1B；以及隔着粘合剂层15而层叠于圆偏振板1B的剥离膜16a。圆偏振板1B在偏振膜11的两面贴合保护膜12a、12b，进而在具备剥离膜16a的一侧的保护膜12a上隔着粘合剂层13形成相位差膜14。而且，在圆偏振板1B中的不具备剥离膜16a的一侧的面层叠有另外的剥离膜16b。圆偏振板1B通常用于显示装置、例如液晶显示装置或有机EL显示装置，在使用时将剥离膜16a剥离，隔着粘合剂层15而贴付于显示装置。

需要说明的是，在本说明书中，“圆偏振板”包括圆偏振板及椭圆偏振板。另外，“圆偏振光”包括圆偏振光和椭圆偏振光。

相位差膜14是在检查装置100C中将被偏振膜11直线偏振的光转换成圆偏振光的膜(例如λ/4板)。相位差膜14只要是具有相位差的膜则没有特别限制，但优选包含聚合性液晶化合物的固化物。包含聚合性液晶化合物的固化物的相位差膜14通常厚度为0.2μm～10μm左右。

相位差膜14可以通过在基材上涂布取向膜形成用组合物，进而在其上涂布包含聚合性液晶化合物的液晶固化膜形成用组合物来制作。将如此制成的相位差膜14带着基材一起贴合形成在保护膜12a上的粘合剂层13，之后将基材剥离，由此可以将相位差膜14转印至保护膜12a上。

光源2为例如激光等直线光(也包括近似于直线光的光)是有利的。光源2发出的光为未偏振光，从偏振膜11通过而成为规定方向的偏振光，进而从相位差膜14通过而成为圆偏振光。即，通过使非偏振的光从圆偏振板1B通过而成为圆偏振光。

相位差滤光片3B为圆偏振板，将具有相位差的层朝向光源2侧地配置。在对被检查物10B进行检查的场景下，通常按照与被检查物10B中的圆偏振板1B构成正交尼克尔棱镜的方式，对相位差滤光片3B的朝向进行调整。

(检查方法)

使用了检查装置100C的检查方法如下所述。首先，在检查装置100C的内部中，在光源2与相位差板4之间插入被检查物10B。此时，被检查物10B、相位差板4和相位差滤光片3B按照以下方式进行配置：其面均为平行，并且，被检查物10B中的具备剥离膜16a的一侧朝向与光源2相反侧，且圆偏振板1B与相位差滤光片3B构成正交尼克尔棱镜。在检查装置100C具备上述可移动装置的情况下，可以在将被检查物10B以任意的方向插入后，通过可移动装置使被检查物10B与相位差滤光片3B的相对位置关系发生变化来形成正交尼克尔棱镜。

光源2发出的光入射至被检查物10B，从被检查物10B通过而成为圆偏振光。通过使被检查物10B与相位差滤光片3B成为正交尼克尔棱镜的配置，由此因从被检查物10B通过而生成的圆偏振光被相位差滤光片3B阻断。此时，如果被检查物10B中的圆偏振板1B中存在缺陷，则该缺陷部分无法进行正常的阻断，通过检测单元5中的检查作业者的眼睛或CCD照相机等缺陷部分作为亮点而被观察到。

然而，在剥离膜16a具有相位差的情况下，因从被检查物10B通过而生成的圆偏振光受到影响，透过相位差滤光片3B的光量变多(例如超过光源光量的10％或15％)，圆偏振板1B中存在的亮点等缺陷的检测精度降低。在此，通过在被检查物10B与相位差滤光片3B之间配置有相位差板4，从而被检查物10B中的剥离膜16a、16b的相位差值被消除，对基于剥离膜16a的光的双折射进行补偿。

在检查中，使光源2发出的光的光轴通过相位差板4的广补偿区域。由此，可以使可见光的透射光谱在更广的波长范围内与PET系树脂膜相符，相位差的补偿更为有效。即，相位差板4的厚度连续地变化，从而相位差值也连续地变化，因此，在相位差板4所具有的各种厚度中的一部分的厚度部分中，剥离膜16a所具有的双折射被消除。

另外，在检查中，可以将被检查物10B、相位差板4及相位差滤光片3B中的至少一者以彼此相向的角度不同的方式倾斜，也可以在与光的光轴9垂直的方向上旋转，这一点与第一实施方式相同。需要说明的是，与上述第一实施方式同样，当在圆偏振板1B上贴合剥离膜16b并对该剥离膜16b的相位差值进行补偿的情况下，只要在检查装置100C中以剥离膜16b与相位差板4相向的方式设置被检查物10A即可。

＜第四实施方式＞

对第四实施方式的检查装置及检查方法进行说明。如图9所示，第四实施方式的检查装置100D与第三实施方式的检查装置100C的不同之处在于，配置被检查物10B的位置与配置相位差滤光片3B的位置相反。即，检查装置100D是通过依次配置光源2、相位差滤光片3B及相位差板4而成的，被检查物10B按照在检查时使剥离膜16a朝向光源2侧的方式，配置在与相位差板4相比更远离光源2的位置处。

在使用了检查装置100D的被检查物10B的检查中，也可以通过与第三实施方式相同的原理而容易地检查圆偏振板1B有无缺陷。需要说明的是，与上述第一实施方式同样，当在被检查物10B上贴合剥离膜16b并对该剥离膜16b的相位差值进行补偿的情况下，只要在检查装置100D中以剥离膜16b与相位差板4相向的方式设置被检查物10B即可。

以上，对本发明的优选实施方式进行了说明，但本发明不受上述实施方式的任何限定。例如，就作为第一实施方式的变形例而示出的使用两片相位差板4的检查装置及检查方法而言，其也可以适用于第二～第四实施方式的任一者中。

实施例

以下，列举实施例及比较例对本发明的内容更具体地进行说明。需要说明的是，本发明不限定于下述实施例。以下的记载中，表示含量或用量的“份”及“％”只要没有特别记载则为重量基准。另外，以下的记载中，“偏振板1”及“相位差板1”的符号表示用于对实验中使用的材料进行规定的符号，与附图上的符号不同。

各物性的测定通过以下的方法进行。

(1)膜厚度的测定方法

使用作为尼康株式会社制的数字千分尺的MH－15M进行测定。

(2)相位差值的测定方法

使用相位差测定装置KOBRA－WPR(王子计测机器株式会社制)进行测定。

(3)透过偏振滤光片的光的透射率的测定

将分光辐射度计(TOPCON TECHNOHOUSE株式会社制、SR－UL1)设置为距离测定面1m，以测定角设定为2°视野的状态测定亮度。计算相对于光源的亮度而由多少百分比的光透过了偏振滤光片。

(4)偏振板的偏振度及单体透射率的测定：

使用带积分球的分光光度计〔日本分光株式会社制的“V7100”、2度视野；C光源〕进行测定。

[被检查物的制作]

将厚度30μm的聚乙烯醇膜(平均聚合度约为2400、皂化度为99.9摩尔％以上)通过干式拉伸而单轴拉伸至约4倍，进一步地在保持张紧状态的情况下，在40℃的纯水中浸渍40秒后，在碘/碘化钾/水的重量比为0.052/5.7/100的水溶液中以28℃浸渍30秒来进行染色处理。之后，在碘化钾/硼酸/水的重量比为11.0/6.2/100的水溶液中以70℃浸渍120秒。接着，在8℃的纯水中清洗15秒后，在以300N的张力进行保持的状态下，在60℃下干燥50秒，然后在75℃下干燥20秒，得到在聚乙烯醇膜中吸附取向有碘的厚度12μm的吸收型偏振片。

在所得到的偏振膜的两面，一边以使粘接剂层的厚度达到0.1μm的方式涂布聚乙烯醇系粘接剂，一边贴合保护膜(三乙酰纤维素(TAC)膜(商品名：KC2UAW、厚度：25μm、柯尼卡美能达株式会社制)，然后在80℃下进行2分钟的干燥，制作出偏振板1。所得到的偏振板1的偏振度为99.995％、单体透射率为42.5％。

在该偏振板1的单面形成粘合剂层，贴合相位差值为2000nm的PET膜作为剥离膜，制作出作为被检查物的直线偏振板。该PET膜是由PET形成的膜，为PET系树脂膜中的一种。

[准备相位差板]

作为相位差板1，使用了两片石英的楔形附件板。两片楔形附件板均为相位差值在500nm至2000nm连续地变化的相位差板。

[实施例1]

以背光源(光源)/被检查物(以剥离膜侧朝向背光源的相反侧的方式进行配置)/相位差板1/偏振板1(偏振滤光片)的顺序构成光学体系。相位差板1使用上述两片石英附件板，并以使相位差值增加的朝向互为反向的方式重叠配置相位差板1。通过使相位差板1滑动，从而在光轴部分中使相位差值(Re(550))成为2550nm。如此操作而测定最暗的状态下的亮度，结果为1.4％，可以在检查中没有问题地检测出亮点缺陷。

[比较例1]

以背光源(光源)/被检查物(以剥离膜侧朝向背光源的相反侧的方式进行配置)/相位差板1/偏振板1(偏振滤光片)的顺序构成光学体系。相位差板1使用上述两片石英附件板，并以使相位差值增加的朝向互为反向的方式重叠配置相位差板1。通过使相位差板1滑动，从而在光轴部分中使相位差值(Re(550))成为2000nm。如此操作而测定最暗状态下的亮度，结果为11.7％，无法检测出亮点缺陷。

[实施例2]

将具备实施例1的被检查物的PET膜(剥离膜)变更为相位差值为2300nm的PET膜，除此以外，同样地构成光学体系。通过使相位差板1滑动，从而在光轴部分中使相位差值(Re(550))成为2850nm。如此操作而测定最暗状态下的亮度，结果为2.0％，可以在检查中没有问题地检测出亮点缺陷。

[比较例2]

在实施例2中，通过使相位差板1滑动，从而在光轴部分中使相位差值(Re(550))成为2300nm，除此以外，同样地构成光学体系。如此操作而测定最暗状态下的亮度，结果为12.7％，无法检测出亮点缺陷。

[实施例3]

将实施例1的被检查物所具备的PET膜(剥离膜)变更为相位差值(Re(550))为2600nm的PET膜，除此以外，同样地构成光学体系。通过使相位差板1滑动，从而在光轴部分中使相位差值成为3150nm。如此操作而测定最暗状态下的亮度，结果为3.7％，可以在检查中没有问题地检测出亮点缺陷。

[比较例3]

在实施例3中，通过使相位差板1滑动，从而在光轴部分中使相位差值(Re(550))成为2600nm，除此以外，同样地构成光学体系。如此操作而测定最暗状态下的亮度，结果为14.4％，无法检测出亮点缺陷。

[实施例4]

将实施例1的被检查物所具备的PET膜(剥离膜)变更为相位差值(Re(550))为1700nm的PET膜，除此以外，同样地构成光学体系。通过使相位差板1滑动，从而在光轴部分中使相位差值成为2250nm。如此操作而测定最暗状态下的亮度，结果为2.1％，可以在检查中没有问题地检测出亮点缺陷。

[比较例4]

在实施例3中，通过使相位差板1滑动，从而在光轴部分中使相位差值(Re(550))成为1700nm，除此以外，同样地构成光学体系。如此操作而测定最暗状态下的亮度，结果为10.5％，无法检测出亮点缺陷。

[实施例5]

使用将实施例1的光学体系变更为背光源(光源)/偏振板1(偏振滤光片)/相位差板1/被检查物的顺序的光学体系的检查装置，也能够检测出亮点缺陷。

产业上的可利用性

本发明可以在偏振板的品质检查中加以利用。

Claims (15)

1.一种检查方法，其为判断膜状的被检查物有无缺陷的检查方法，所述膜状的被检查物具备偏振板和由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂形成的剥离膜，在该检查方法中，依次排列地配置：

所述被检查物；

相位差板，其包含波长550nm时的面内相位差值比所述剥离膜的波长550nm时的面内相位差值大500nm～600nm的区域，且对所述剥离膜所具有的双折射进行补偿；以及

偏振滤光片，其与所述偏振板构成正交尼克尔棱镜，

从所述被检查物侧或所述偏振滤光片侧中的任一侧，以光轴通过所述区域的方式使光入射，从另一侧观察所述偏振滤光片或所述被检查物。

2.根据权利要求1所述的检查方法，其中，

所述偏振板为直线偏振板，

所述偏振滤光片为直线偏振滤光片。

3.根据权利要求1所述的检查方法，其中，

所述偏振板为圆偏振板，

所述偏振滤光片为相位差滤光片。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的检查方法，其中，所述相位差板的面内相位差值连续地变化。

5.根据权利要求4所述的检查方法，其中，所述相位差板由多片构成，以使所述面内相位差值增加的朝向互为反向的方式进行配置。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的检查方法，其中，所述相位差板包含无机材料或环烯烃系树脂。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的检查方法，其中，将所述被检查物、所述相位差板及所述偏振滤光片中的至少一者以彼此相向的角度不同的方式倾斜，或者在与所述光的光轴垂直的方向上旋转。

8.一种检查装置，其为使光入射至膜状的被检查物来判断所述偏振板有无缺陷的检查装置，所述膜状的被检查物具备偏振板和由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂形成的剥离膜，所述检查装置具备：

光源；

偏振滤光片，其使从所述光源发出且已通过所述被检查物的光入射；以及

相位差板，其配置在与配置所述被检查物的位置相比更远离所述光源的一侧、且与配置所述偏振滤光片的位置相比更靠近所述光源的一侧，并且使已通过所述被检查物的光通过，

所述相位差板包含波长550nm时的面内相位差值比所述剥离膜的波长550nm时的面内相位差值大500nm～600nm的区域，且对所述剥离膜所具有的双折射进行补偿。

9.一种检查装置，其为使光入射至膜状的被检查物来判断所述偏振板有无缺陷的检查装置，所述膜状的被检查物具备偏振板和由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂形成的剥离膜，所述检查装置具备：

光源；

偏振滤光片，其使所述光源所发出的光通过；以及

相位差板，其配置在与配置所述被检查物的位置相比更靠近所述光源的一侧、且与配置所述偏振滤光片的位置相比更远离所述光源的一侧，并且使已通过所述偏振滤光片的光通过，

所述相位差板包含波长550nm时的面内相位差值比所述剥离膜的波长550nm时的面内相位差值大500nm～600nm的区域，且对所述剥离膜所具有的双折射进行补偿。

10.根据权利要求8或9所述的检查装置，其中，

所述偏振板为直线偏振板，

所述偏振滤光片为直线偏振滤光片。

11.根据权利要求8或9所述的检查装置，其中，

所述偏振板为圆偏振板，

所述偏振滤光片为相位差滤光片。

12.根据权利要求8～11中任一项所述的检查装置，其中，所述相位差板的面内相位差值连续地变化。

13.根据权利要求12所述的检查装置，其中，所述相位差板由多片构成，以使所述面内相位差值增加的朝向互为反向的方式进行配置。

14.根据权利要求8～13中任一项所述的检查装置，其中，所述相位差板包含无机材料或环烯烃系树脂。

15.根据权利要求8～14中任一项所述的检查装置，其中，所述相位差板配置在所述光的光轴通过所述区域的位置处。

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