JP5944165B2 - フィルムの欠陥検査装置および欠陥検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、被検査フィルムの光学的欠陥検査を簡易かつ容易に行い、特に、偏光板製造工程に用いる偏光板離型フィルムの偏光板加工処理前において、欠陥検査を連続的に行う偏光板離型フィルムの欠陥検査装置および欠陥検査方法の技術分野に属する。

近年、従来のディスプレイであるＣＲＴに比べ薄型軽量化、低消費電力、高画質化の利点を有する液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）の需要が急速に拡大しており、とくに、大画面モニターや３２インチ以上といった大画面ＴＶ用途のＬＣＤが急速に伸びている。ＬＣＤの大画面化に伴って、バックライトの輝度を上げることや、輝度を向上させる機能性フィルムを組み込むことなどにより、大画面でも輝度を十分確保したＬＣＤとする場合が多い。このような高輝度タイプのＬＣＤでは、輝度が高いゆえにディスプレイ中に存在する小さな欠点が問題となる場合が多く、偏光板、位相差板といった光学特性を有する構成部材においては、これまでのＬＣＤでは問題にならなかったようなサイズの欠点が問題となってきている。そのため、各光学部材の製造工程における欠点の発生を防ぐ一方で、欠点が発生したとしても欠点として確実に認知できるような検査性の向上も重要となってきている。

偏光板の欠点検査はクロスニコル法による目視検査が一般的であるが、３２インチ以上といった大画面ＴＶ用に使用する偏光板では、クロスニコル法を利用した自動検査器による検査も種々検討されている。

このクロスニコル法は２枚の偏光板をその配向主軸を直交させて暗視野をつくり、その間にフィルムなどの測定対象品を挟んで透過光で観察する方法である。クロスニコルに配置することで、仮に欠陥が存在しなければ撮像部から全面黒の画像が入力されるが、欠陥が存在すれば、その部分が黒にならない。つまり、偏光板中に異物や欠点があれば輝点として現れるので、欠点検査ができるというものである。ここで、偏光板には粘着剤層を介して一軸または二軸延伸した配向ポリエチレンテレフタレートフィルムを離型フィルムとして貼り合わせているので、この離型フィルムの光学的欠点が加わると、離型フィルムの輝点が加わり、欠点検査の障害となる。これまでに、離型フィルム中の異物や、表面のキズが欠点検査時の輝点となることは知られている。

しかしながら、配向フィルムは薄膜化の観点からも製法としても有利であるが、延伸による配向に起因した複屈折（位相差）を有するため、入射する直線偏光は透過によって楕円偏光となってしまい、実質的にはクロスニコルの状態にはならない。つまり、２枚の偏光板を直交させるだけでは、撮像部に入力される可視光の受光量がフィルムの複屈折によって影響されてしまう。
延伸によって製造されるフィルムにおいては、特許文献１に開示されるように、延伸端部に対して中央部が遅れて延伸されることによるボーイング（ｂｏｗｉｎｇ）という現象が生じる。これは、端部を把持した状態での加熱延伸により、製造されるフィルムの中央部が自重や熱収縮応力によって重力方向や製造工程の進行方向に対して引っ張られ垂れ下がることにより、工程内のフィルムが懸垂線（カテナリー曲線）を構成することに起因する現象である。このため、配向フィルムの複屈折は、特許文献１における二色性と同様に、フィルム幅方向で異なる。その結果、フィルムの製造時の幅方向における位置により、フィルムの中央部と端部とでフィルム中に存在する欠陥検査を精度良く行えない部位が存在するという問題が生じていた。

かかる問題を解決したフィルムの欠陥検出装置として、下記特許文献２に開示される検査装置が公知である。この欠陥検査装置は、光源と撮像部の光路上の間に検査用偏光板を有し、フィルムの複屈折（位相差）をキャンセルするために、撮像部に入力される可視光の受光量が最小値となるよう、検査用偏光板の相対角度位置を調整し、クロスニコル状態で、偏光板付きフィルム中の欠陥を検査する装置である。

しかしながら、上記特許文献２では、幅方向で複屈折のバラツキを有するフィルムを検査する場合においては、幅方向に複数台の撮像部および偏光板を有する必要がある。本発明者らの知見によれば、この時、撮像部に入力される可視光の受光量が最小値となるよう偏光板角度を調整するだけでは、撮像部位置毎つまり幅方向で均一な受光量を得ることが難しく、例えば、フィルム幅方向でフィルム端部と中央部の受光量レベルに差が生じてしまう。そのため、幅方向で複屈折のバラツキを有するフィルムを検査する場合、同時に精度良く欠陥検査を行うことができない。

さらに、本発明者らの知見によれば、大きな光量変化をもたらす欠陥はともかく、小さな光量変化しかもたらさない欠陥の場合には、クロスニコル検査時の視野が最も暗くなるように偏光板を配置した場合にはコントラスト差がさらに小さくなり検出が困難となる。

特公昭３９−０２９２１４号公報 特開２００７―２１３０１６号公報

本発明の目的は、フィルム幅方向に複屈折のバラツキを有するフィルムにおいても精度良く欠陥検査を行うことができ、また欠陥部と正常部とのコントラストを大きくし精度良く検査可能な欠陥検査装置を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明によれば、ある幅を有する長尺物のフィルムの欠陥を検出する検査装置であって、前記フィルムの一方面側に前記フィルムを照明する照明手段と、前記照明手段と前記フィルムとの間に設けられた第１の偏光板と、前記フィルムの他方面側に設けられた第２の偏光板と、前記フィルムの他方面側に設けられ、前記照明手段から照明され前記第１の偏光板、前記フィルムおよび前記第２の偏光板を透過してきた透過光を受光する受光手段とを有し、前記第１の偏光板の角度を前記第１の偏光板の面内で、前記第２の偏光板の角度を前記第２の偏光板の面内でそれぞれ独自に調整する角度調整手段を有することを特徴とする、フィルムの欠陥検査装置が提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、前記第２の偏光板および前記受光手段が前記フィルムの幅方向に複数配置されており、前記第２の角度調整手段が前記複数の第２の偏光板にそれぞれ設けられていることを特徴とする、フィルムの欠陥検査装置が提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、前記第１の偏光板の角度を前記第１の面内で調整する角度調整手段は、前記第１の偏光板を回転させる際の支点として働く軸と、前記第１の偏光板の端部を力点として略回転方向に押し引きする直動機構とを有することを特徴とする、フィルムの欠陥検査装置が提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、前記第１、第２の偏光板の角度が１°以下の回転精度で少なくとも−８°〜＋８°の範囲で調整されることを特徴とする、フィルムの欠陥検査装置が提供される。

また、本発明の別の形態によれば、ある幅を有する長尺物のフィルムの欠陥を検出する欠点検査方法であって、前記フィルムの一方面側に設けた照明手段により前記フィルムを照明し、前記照明手段と前記フィルムとの間に第１の偏光板を設け、前記フィルムの他方面側に第２の偏光板を設け、前記照明手段から照明され前記第１の偏光板、前記フィルムおよび前記第２の偏光板を透過してきた透過光を前記フィルムの他方面側に設けた受光手段により受光し、前記第１の偏光板の角度を前記第１の偏光板の面内で、前記第２の偏光板の角度を前記第２の偏光板の面内でそれぞれ独自に調整することを特徴とする、フィルムの欠陥検査方法が提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、前記第２の偏光板および前記受光手段を前記フィルムの幅方向に複数配置し、配置位置に応じて前記第２の偏光板の角度を独自に調整することを特徴とする、フィルムの欠陥検査方法が提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、前記第１の偏光板の角度を前記第１の面内で調整する際に、前記第１の偏光板を回転させる際の支点として働く軸と、前記第１の偏光板の端部を力点として略回転方向に押し引きする直動機構によって、偏光板角度が１°以下の回転精度で微調整することを特徴とする、フィルムの欠陥検査方法が提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、前記フィルムの検査される領域において、前記第１、第２の偏光板の角度を前記受光手段における受光量が２５６階調で１０〜３０の範囲となるよう角度をずらして検査することを特徴とする、フィルムの欠陥検査方法が提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、前記フィルムの検査される領域において、前記第１、第２の偏光板の角度を前記受光手段における受光量が２５６階調で３０〜５０の範囲となるよう角度をずらして検査することを特徴とする、フィルムの欠陥検査方法が提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、前記フィルムの検査される領域において、前記第１、第２の偏光板の角度を前記受光手段における受光量が最小値となる状態から１〜２°の範囲でずらした状態から検査することを特徴とする、のフィルムの欠陥検査方法が提供される。

また、本発明の好ましい形態によれば、検査対象のフィルムにおいて、他の光学フィルムや光学部材を貼り合わせる前の離型フィルムの状態で欠陥検査を適用することを特徴とする、フィルムの欠陥検査方法が提供される。

また、本発明の別の形態によれば、ある幅を有する長尺物のフィルムの欠陥を検出する検査装置であって、前記フィルムの一方面側に前記フィルムを照明する照明手段と、前記照明手段と前記フィルムとの間に設けられた第１の偏光板と、前記フィルムの他方面側に設けられた第２の偏光板と、前記フィルムの他方面側に設けられ、前記照明手段から照明され前記第１の偏光板、前記フィルムおよび前記第２の偏光板を透過してきた透過光を受光する受光手段とを有し、前記第１の偏光板の角度を前記第１の偏光板の面内で、前記第２の偏光板の角度を前記第２の偏光板の面内でそれぞれ独自に調整する角度調整手段を有することを特徴とする、フィルムの欠陥検査方法により欠陥検査を実施されたことを特徴とする離型フィルムが提供される。

ここで偏光板とは、特定方向に振動している光だけを透過させる性質を持つ板状あるいはフィルム状のものを言う。

ここで離型フィルムとは、偏光板や位相差版などの光学部材の製造や検査、出荷の際に、光学特性を失わないように保護するために貼り付けされ、使用時に剥がされる目的で用いられるフィルムである。この目的から、貼り付けに必要な粘着層を表面に設けてあってもよく、また使用時に剥がせるように離型層を表面に設けてあってもよい。

ここで他の光学フィルムや光学部材を貼り合わせる前の離型フィルムの状態とは、偏光特性をもつ物質、つまり入射した偏光を変化させて透過・出力させるような物質を貼り合わせていない状態を指す。

本発明によれば、フィルム幅方向に複屈折のバラツキを有するフィルムにおいても精度良く欠陥検査を行うことができ、また欠陥部と正常部とのコントラストを大きくし精度良く検査可能な欠陥検査装置を行うことができる。

本発明の欠陥検出装置の一つの形態を示した概略斜視図である。 本発明の欠陥検出装置の一つの形態を示した別の概略斜視図である。 本発明の欠陥検出装置の一つの形態を示した概略断面図である。 フィルム幅方向における偏光板角度とその際の受光量分布を示した模式図である。 フィルム幅方向における偏光板角度とその際の受光量分布を示した別の模式図である。 フィルム幅方向の各受光手段における受光量分布を示した模式図である。 フィルム幅方向における偏光板角度とその際の受光量分布を示した別の模式図である。 フィルム幅方向の各受光手段における受光量分布を示した別の模式図である。 従来技術による欠点検出でのバックグラウンドノイズと欠点部の受光量の関係（ａ）、および本発明技術による欠点検出でのバックグラウンドノイズと欠点部の受光量の関係（ｂ）を対比した模式図である。 本発明の欠陥検出装置において第１の偏光板を回転させる際の支点および力点の配置の一つの形態を示した模式図である。 本発明の欠陥検出装置において第１の偏光板を略回転方向に押し引きする直動機構の一つの形態を示した模式図である。 本発明の欠陥検出装置において第２の偏光板を回転させる際の支点および力点の配置の一つの形態を示した模式図である。 本発明の欠陥検出装置において第２の偏光板を回転させる機構の一つの形態を示した模式図（ａ）、およびそれによる第２の偏光板の回転の一つの形態を示した模式図（ｂ）である。 常温でのフィルム加工時に発生した表面欠陥を本発明の受光手段における受光量が２５６階調で１０〜３０の範囲として撮像した画像（ａ）、および２５６階調で３０〜５０の範囲として撮像した画像（ａ’）、ならびに、フィルム製造時や加熱時に発生した表面欠陥を本発明の受光手段における受光量が２５６階調で１０〜３０の範囲として撮像した画像（ｂ）、および２５６階調で３０〜５０の範囲として撮像した画像（ｂ’）である。

以下、図面を用いて詳細に説明する。本発明の欠陥検査装置は、図１に示すように、フィルム面の検査される領域において、フィルムの一方面側に第１の偏光板を、他方面側に第２の偏光板をフィルムと平行に配置し、前記第１の偏光板を挟み、偏光板の外側からフィルムを照明する照明手段と、前記フィルムの他方面側において第１の偏光板、フィルムおよび第２の偏光板を透過してきた透過光を受光する受光手段とを有する。

本発明の欠陥検査装置が適用されるフィルムとしては、偏光板、位相差板といった光学部材の離型フィルムとして用いられるフィルム、具体的にはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムなどのプラスチックフィルムが挙げられる。

また第１の偏光板について、適用できる偏光板は、フィルムを照明する照明手段からの光を余すことなく偏光できるサイズであれば特に限定されず、市販の偏光板が適用できるが照明手段からフィルムを照明する光を余すことなく十分に偏光させるために、照明手段の照明範囲を十分にカバーできるサイズである必要があり、好ましくはフィルムと平行な平面における大きさが照明手段よりも大きな偏光板を用いることが良い。さらに好ましくは、複数の照明手段をフィルムの幅方向に並べて用いる場合は、その照明手段の数と等しい数の偏光板を用いることにより、より高精度にクロスニコル光学系の調整が可能となる。

また、第２の偏光板についても同様に、フィルムを透過し受光手段に入射する照明光を余すことなく偏光できるサイズであれば特に限定されず、市販の偏光板が適用できるが、好ましくは受光手段と同数の偏光板を用いて、かつそれぞれの偏光板を受光手段の受光部前面に配することにより、各受光手段ごとに偏光板の角度調整が可能となることから、より高精度にクロスニコル光学系の調整が可能となることが良い。

また、受光手段については、偏光板を介して欠点での照明手段からの散乱・反射光を受光できるものであれば特に限定されないが、コストや信号処理の容易さから、市販のＣＣＤカメラあるいはＣＭＯＳカメラを用いることが好ましい。さらに好ましくは、設置スペースやカメラ１台あたりの撮像視野から、受光素子であるＣＣＤあるいはＣＭＯＳが１直線状に並んでいるラインセンサカメラを用いることが好ましい。また、コスト、受光精度、検査範囲を考慮して、図２に示すように必要に応じて複数の受光手段を幅方向に並べて使用することも好ましい。

また、照明手段については、フィルムにおける検査範囲を均一に照明できるものが好ましく、例えば、ライン状に発光素子を並べたライン状のＬＥＤ照明や、ロッド状の蛍光灯、またメタルハラロイドランプ等の光源からの光を光ファイバを用いてロッド状のライトガイドに導き、照明する方法が適用できる。特に照明光量が大きいことから、メタルハラロイドランプ光源からの光を光ファイバを用いてロッド状のライトガイドに導き、照明する方法が好ましい。この場合、特にフィルムの幅が大きく検査範囲が広い場合は、１本の長いライトガイドではコストが大きくなることから、コストや検査範囲、および受光手段の個数を考慮して、複数の照明手段をフィルムの幅方向に並べて使用しても良い。

また、フィルムと第１の偏光板、第２の偏光板、照明手段、受光手段とのそれぞれの位置関係については、欠点での照明手段からの散乱・反射光を可能な限り強い強度で受光できるようにするために、図３に示すように１直線状に配置されることが好ましい。さらに好ましくは、検査対象のフィルムの面と前記直線が垂直であることが、設置の容易さ、保守性の観点から好ましい。

また、第１の偏光板と第２の偏光板の関係については、前記クロスニコル法におけるクロスニコルの状態で配置することにより、前記クロスニコル法と同様の方法で欠陥検査を行うことができる。その場合、仮に欠陥が存在しなければ撮像部から全面黒の画像が入力されるが、欠陥が存在すれば、その部分が黒にならない。つまり、偏光板中に異物や欠点があれば輝点として現れる。受光手段により得られた信号は、信号処理手段により処理され、欠点の有無の判定などの処理が行われる。

また、第１、第２の偏光板角度がそれぞれ独自に調整されることが好ましい。これは、幅方向で複屈折のバラツキを持つフィルムの場合、クロスニコルとなる第１、第２の偏光板の角度がフィルムの幅方向で異なるため、図４に示すように、フィルムの中心付近とフィルムの端付近とで複屈折（位相差）が異なることから、仮に第１の偏光板角度および第２の偏光板角度を幅方向でそれぞれ同様の角度とした場合、幅方向で最適なクロスニコルの条件にならないことから、受光手段へ入光する受光量に幅方向で差が生じてしまう。なお、図４においてＬ・Ｃ・Ｒとは、フィルムの進行方向に向かって左・中央・右を示す。

よって、図５に示すように、第１の偏光板角度と第２の偏光板角度を、フィルムの幅方向に対して、全ての受光手段においてそれぞれの受光量がもっとも少ない角度にそれぞれ調整することにより、幅方向で光学的に最適なクロスニコルの条件に近い状態が得られることからより好ましい。ここで、偏光板角度を調整するとは、第１、第２の偏光板ともに、フィルムの面と平行に、かつフィルムの走行方向に対して内側あるいは外側に回転させることを言う。また、調整される角度の方向や大きさは、フィルムの幅方向の偏光特性により異なるが、例えば図４に示すようにフィルムの幅方向の偏光特性がＵ字型になる場合は、Ｕ字型に合わせ、第１、第２の偏光板ともに中央を境に、フィルムの左側の偏光板とフィルムの右側の偏光板とでは回転させる方向が逆になる傾向があり、またフィルムの中央と比較し端部は最適な角度が大きくなる傾向がある。

さらに好ましくは、前記第１の偏光板の角度を前記第１の面内で調整する角度調整手段は、前記第１の偏光板を回転させる際の支点として働く軸と、前記第１の偏光板の端部を力点として略回転方向に押し引きする直動機構とを有することが良い。これは、第１の偏光板は検査されるフィルムの全幅をカバーする必要から、大型ＬＣＤテレビ用など２ｍを超えるような光学フィルムに対しては、それ以上の幅を有する第１の偏光板を必要とすることに起因する。図１０のようなこれほどに広く大きな第１の偏光板２を１°以下の回転精度で傾斜させるためには、単純なステッピングモータやサーボモータによる回転機構では回転角の位置決めや再現性に乏しく、図１１のような直動機構１５によって図１０にあるような力点１３を動かすことにより、支点１４を軸に第１の偏光板２の端部を略回転方向に押し引きさせることが回転精度の面から好ましい。さらには、サーボモータによって直動機構１５を駆動することが、停止精度のみならず、駆動動作の完了をフィードバックで確認する点や、大負荷時においてもトルクの安定性を確保する点で好ましい。

さらに好ましくは、受光手段の受光量をモニタリングすることにより、最適な角度となるようモーター等の稼動手段を用いて自動的に調整されることが良い。この時、偏光板角度がフィルムの幅方向の複屈折のバラツキの変化に対応する必要があることと、偏光板の調整精度が高い方がより完全なクロスニコルの状態に近づきより、結果的に高い検査精度が得られることから、第１、第２の偏光板角度が１°以下の回転精度で、−８°〜＋８°の範囲で調整されることが好ましい。第２の偏光板角度の調整機構としては、図１２および図１３に見られるように、第２の偏光板３の端部を支点１８を軸とした梃子状の機構により、より支点１８に近い力点１７にて駆動することが好ましい。これは、単純に第２の偏光板３の端部を直接ステッピングモータ、サーボモータなどの回転機構やそれらを用いた直動機構で駆動する場合に比べ、より支点１８に近い力点１７を駆動させることで、梃子の原理により少ない力、つまり図１３における第２の偏光板を回転させる機構の駆動装置１９のトルクが小さいものであっても、第２の偏光板を小さい力で大きく回転させることが可能となるためである。なお、この梃子となる部分については、図１３に見られるような棒状のもので−８°〜＋８°という非常に微少な角度調整には足りるが、駆動側同様に円盤を用いても同様の効果を得ることは可能である。

さらに好ましくは、前記フィルムの検査される領域において、前記第１、第２の偏光板の角度を前記受光手段における受光量が２５６階調で１０〜３０の範囲となるよう角度をずらして検査することが良い。これにより、図１４（ａ）（ａ’）にみられるように常温でのフィルム加工時に発生した表面欠陥をより高いピーク強度で鮮明にとらえることができる。

ならびに、さらに好ましくは、前記フィルムの検査される領域において、前記第１、第２の偏光板の角度を前記受光手段における受光量が２５６階調で３０〜５０の範囲となるよう角度をずらして検査することが良い。これにより、図１４（ｂ）（ｂ’）にみられるようにフィルム製造時や加熱時に発生した表面欠陥をより広い幅の大きな像としてとらえることができる。

さらに好ましくは、クロスニコルの状態から１〜２°の範囲で偏光板の角度をずらして設置することが好ましい。これは、上記の方法で第１、第２の偏光板角度をそれぞれ最適な角度に調整されることにより、幅方向で最適なクロスニコルの条件に近い状態とした場合でも、各受光手段においてクロスニコルの状態が異なることから、例えば受光手段の個数が５個の場合は図６に示すように、受光量のベースラインがフィルムの中心付近と端とで異なる受光量の分布が生じる。しかし、各受光手段は最適な偏光板角度に調整されているため、例えばフィルムの端付近の受光量のベースラインを下げ、中心付近に合わせることは困難である。そこで、図７に示すように各受光手段の前面に配されている第２の偏光板の角度を１〜２°の範囲でずらすことにより、受光量のベースラインを上げる方向に調整することで、ボーイングによる複屈折の曲線的な分布を有するフィルムに対しても、図８に示すようにそれぞれの受光手段の受光量を幅方向で均一化させ直線性を得ることが可能となる。

これにより、フィルムの幅方向で検出感度を一定にすることが可能となり、図９（ａ）に示すような従来技術に比べて、本発明技術によって図９（ｂ）にあるように欠点のない部分の受光量のベースラインがより明るい方向に調整されるとともに、空気層による光散乱分などで生じるバックグラウンドノイズがカバーされることでノイズＮがＮ’へと低減でき、Ｓ／Ｎ比が上げられる。これにより、従来技術よりも欠点のない部分の受光量のベースラインに対して、欠点検知のための閾値を近づけることが可能となり、欠点によって閾値を超える受光量を検知する幅ｈもｈ’へとより広く確保できることから、より高精度かつより誤検出の少ない検査が可能となる。

［実施例１］
被検査サンプルとして東レ製 “ルミラー”［３８Ｒ６４］を用意した。

本発明の欠陥検査装置において、照明手段として２５０Ｗのメタルハライド（目白プレシジョン製 BMH-250A）を使用し、受光手段として分解能２５μｍのＣＣＤカメラ（ＤＡＬＳＡ製 P3-80-8K-40）と第２の偏光板を組み合わせて複数配置し、被検査サンプルについて検査幅１２５５ｍｍを撮像してベース受光量の確認を行った。

ベース受光量の評価は、第１の偏光板、第２の偏光板の両方の角度を調整し、全検査幅での受光量の２５６階調で評価したときの平均値が最小となった状態で受光量の最大値と最小値の差を確認し、この差を受光量バラツキとして評価した。実施例における受光量バラツキは２０以下であることを確認した。

更に第１の偏光板、第２の偏光板の両方の角度を調整することで、ベース受光量を２５６階調で１０〜３０、及び３０〜５０の範囲に調整可能であることを確認した。このことから実施例１の条件では、フィルム幅方向に複屈折のバラツキを有するフィルムにおいても検査精度が均一であり、精度良く検査が行えることを確認した。

実施例１における条件で具体的に表面欠陥を撮像したものを図１４に示す。常温でのＰＥＴフィルム加工時に発生した表面欠陥を本発明の受光手段における受光量が２５６階調で１０〜３０の範囲として撮像した画像（ａ）、および２５６階調で３０〜５０の範囲として撮像した画像（ａ’）を比較すると、ベースラインからのピーク強度は（ａ）で４０、（ａ’）で１７であった。つまり、このように常温でフィルム表面に生じた欠陥を検出するにあたっては、本発明の受光手段における受光量が２５６階調で１０〜３０の範囲として撮像することで、Ｓ／Ｎ比の向上が実現された。

また、ＰＥＴフィルム製造における加熱延伸時に発生した表面欠陥を本発明の受光手段における受光量が２５６階調で１０〜３０の範囲として撮像した画像（ｂ）、および２５６階調で３０〜５０の範囲として撮像した画像（ｂ’）を比較すると、ベースラインからのピーク強度は（ｂ）で８０、（ｂ’）で７０であったが、検出される幅は（ｂ）で７６０、（ｂ’）で９４０と大きな差が見られた。つまり、このように加熱工程でフィルム表面に生じた欠陥を検出するにあたっては、本発明の受光手段における受光量が２５６階調で３０〜５０の範囲として撮像することで、閾値を超える受光量を検知する幅ｈの向上が実現された。
［比較例１］
実施例１における同じ装置、同じフィルムを用いて、カメラ側に設置されている第２の偏光板の角度を一律に固定し、光源側に設置された第１の偏光板の角度のみを調整することで特許文献２に記載されているように偏光板の相対角度だけを調整する以外は実施例と同様に撮像し、ベース受光量の確認を行った。

比較例１の条件では受光量バラツキ３０より大きくなり、ベース受光量を２５６階調で１０〜３０、及び３０〜５０の範囲に調整することはできなかった。このことから比較例の条件では、フィルム幅方向に複屈折のバラツキを有するフィルムでは検査精度が均一にならず、精度良い検査が行えないことが確認された。

本発明はフィルムの欠陥検出装置に限らず、透過性のある紙やシート状の物の欠陥検出装置などにも応用することができるが、その応用範囲が、これらに限られるものではない。

１ 検査対象のフィルム
２ 第１の偏光板
３ 第２の偏光板
４ 照明手段
５ 受光手段
６ 信号処理手段
７ 製造時に左側の部分から得られたフィルム
８ 製造時に中央部から得られたフィルム
９ 製造時に右側の部分から得られたフィルム
１０ 製造時に左側の部分から得られたフィルムにおける受光量分布
１１ 製造時に中央部から得られたフィルムにおける受光量分布
１２ 製造時に右側の部分から得られたフィルムにおける受光量分布
１３ 第１の偏光板を回転させる際の力点
１４ 第１の偏光板を回転させる際の支点
１５ 第１の偏光板を略回転方向に押し引きする直動機構
１６ 直動機構の駆動装置
１７ 第２の偏光板を回転させる際の力点
１８ 第２の偏光板を回転させる際の支点
１９ 第２の偏光板を回転させる機構の駆動装置

Claims (9)

1. 長尺物のフィルムの欠陥を検出するフィルムの検査装置であって、
   前記フィルムの一方面側を照明する照明手段と、
   前記照明手段と前記フィルムとの間に設けられた第１の偏光板と、
   前記フィルムの他方面側に設けられた第２の偏光板と、
   前記フィルムの他方面側に設けられ、前記照明手段から照明され前記第１の偏光板、前記フィルムおよび前記第２の偏光板を透過してきた透過光を受光する受光手段と、
   前記第１の偏光板を回転させる際の支点として働く軸、および、前記第１の偏光板の端部を力点として略回転方向に押し引きする直動機構を有し、前記第１の偏光板の角度を前
   記第１の偏光板の面内で調整する第１の角度調整手段と、
   前記第２の偏光板の角度を前記第２の偏光板の面内で調整する第２の角度調整手段と、
   を備えることを特徴とする、フィルムの欠陥検査装置。
2. 前記第２の偏光板および前記受光手段が前記フィルムの幅方向に複数配置されており、
   前記第２の角度調整手段が前記複数の第２の偏光板にそれぞれ設けられていることを特徴とする、請求項１に記載のフィルムの欠陥検査装置。
3. 前記第１、第２の偏光板の角度が１°以下の回転精度で少なくとも−８°〜＋８°の範囲で調整されることを特徴とする請求項１または２に記載のフィルムの欠陥検査装置。
4. 長尺物のフィルムの欠陥を検出する欠点検査方法であって、
   前記フィルムの一方面側に設けた照明手段により前記フィルムを照明し、前記照明手段と前記フィルムとの間に第１の偏光板を設け、前記フィルムの他方面側に第２の偏光板を
   設け、前記照明手段から照明され前記第１の偏光板、前記フィルムおよび前記第２の偏光板を透過してきた透過光を前記フィルムの他方面側に設けた受光手段により受光し、
   前記第１の偏光板を回転させる際の支点として働く軸と、前記第１の偏光板の端部を力点として略回転方向に押し引きする直動機構とにより、前記第１の偏光板の角度を、偏光板角度が１°以下の回転精度で微調整することによって前記第１の偏光板の面内で調整し、
   前記第２の偏光板の角度を前記第２の偏光板の面内で調整する
   ことを特徴とする、フィルムの欠陥検査方法。
5. 前記第２の偏光板および前記受光手段を前記フィルムの幅方向に複数配置し、配置位置に応じて前記第２の偏光板の角度を独自に調整する
   ことを特徴とする、請求項４に記載のフィルムの欠陥検査方法。
6. 前記第１、第２の偏光板の角度を前記受光手段における受光量が２５６階調で１０〜３０の範囲となるよう角度をずらして検査する
   ことを特徴とする請求項４または５に記載のフィルムの欠陥検査方法。
7. 前記第１、第２の偏光板の角度を前記受光手段における受光量が２５６階調で３０〜５０の範囲となるよう角度をずらして検査する
   ことを特徴とする請求項４または５に記載のフィルムの欠陥検査方法。
8. 前記第１、第２の偏光板の角度を前記受光手段における受光量が最小値となる状態から１〜２°の範囲でずらした状態から検査する
   ことを特徴とする請求項４〜７のいずれかに記載のフィルムの欠陥検査方法。
9. 他の光学フィルムや光学部材を貼り合わせる前の離型フィルムの状態で欠陥検査を適用する
   ことを特徴とする請求項４〜８のいずれかに記載のフィルムの欠陥検査方法。