JP2020173188A - 検査装置、検査方法、及び、フィルムの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】フィルムの一方向に延在する欠陥を検出する検査方法、検査装置、フィルムの製造方法を提供する。【解決手段】検査装置１０は、照明部１２１と、欠陥判定のための検査画像を取得する撮像部１２２とを有する検査光学系１２と、フィルムを移動させる移動機構１３とを備え、検査光学系は、移動機構と独立して固定配置されており、移動機構は、検査光学系に対し、フィルムをフィルムの基準方向と異なる第１方向に移動させる機構を有し、撮像部の撮像領域は、第１方向と異なる第２方向に延在しており、基準方向、第１方向及び第２方向は、フィルムの厚さ方向に直交しており、基準方向と第１方向との間の第１角度は１５°以上１６５°以下であり、第１方向と第２方向との間の第２角度は１５°以上１６５°以下であり、基準方向と第２方向とは非直交である。【選択図】図４

Description

本発明は、検査装置、検査方法、及び、フィルムの製造方法に関する。

偏光フィルム及び位相差フィルム等の光学フィルム、電池のセパレータに用いられるフィルム等は、そのフィルムを形成した後、フィルムの欠陥検査が実施される。フィルムの欠陥検査の従来技術として、特許文献１の技術がある。特許文献１の技術では、長尺のフィルムを長手方向に搬送しながらフィルムの検査を行っている。具体的には、長手方向に搬送されているフィルムの幅方向（長手方向に直交する方向）に延在する照明手段でフィルムを照明しながら、幅方向に配置された複数のカメラでフィルムを撮像してフィルムの欠陥を検査している。

特開２０１６−７０８５６号公報

偏光フィルムは、偏光フィルムの材料で形成された長尺のフィルムを長手方向に搬送ロールで搬送しながら、上記長手方向にフィルムを延伸させる延伸処理を施すことによって形成される。例えば長尺のフィルムを搬送するための上記搬送ロールのロール表面に異物が付着しており、その異物によってフィルムに傷がつく場合がある。傷が生じたフィルムに延伸処理が施されると、フィルムの長手方向に延在した筋状の欠陥がフィルムに生じる。しかしながら、フィルムを長手方向に搬送しながら、幅方向にライン状に照明された領域を撮像してフィルムの欠陥検査を行う特許文献１の技術では、上述したような、長手方向に延びる欠陥を検出できなかった。

ここでは、偏光フィルムを例にして、長手方向に延びる欠陥について説明したが、フィルムにおいて設定される基準方向に延びる欠陥について同様の問題が生じる。すなわち、特許文献１の技術のように、フィルムを基準方向（特許文献１の長手方向に相当）に移動させながら、その基準方向に直交する方向に沿ってライン状にフィルムを照明し、そのライン状の照明領域を撮像領域として撮像することによって、欠陥検査をする場合、基準方向に延びる欠陥の検出が困難である。

そこで、本発明は、フィルムにおいて一方向に延在する欠陥を検出可能な検査方法及び検査装置並びに上記検査方法を含むフィルムの製造方法を提供することである。

本発明の一側面に係る検査装置（以下、「第１検査装置」と称す）は、フィルムを照明する照明部と、上記照明部で照明された上記フィルムからの光を受けて欠陥判定のための検査画像を取得する撮像部とを有する検査光学系と、フィルムを移動させる移動機構と、を備える。上記検査光学系は、上記移動機構と独立して固定配置されている。上記移動機構は、上記検査光学系に対し、上記フィルムを上記フィルムの基準方向と異なる第１方向に移動させる機構を有する。上記検査光学系の撮像領域は、上記第１方向と異なる第２方向に延在している。上記基準方向、上記第１方向及び上記第２方向は、上記フィルムの厚さ方向に直交している。上記基準方向と上記第１方向との間の第１角度は、１５°以上１６５°以下である。上記第１方向と上記第２方向との間の第２角度は、１５°以上１６５°以下である。上記基準方向と上記第２方向とは非直交である。

上記第１検査装置では、フィルムを検査光学系に対して基準方向とは異なる第１方向に移動させながら検査画像を取得する。検査光学系の撮像領域の延在方向である第２方向は、第１方向と異なり且つ上記基準方向と非直交である。そのため、基準方向に延在する欠陥を検出可能である。上記第１検査装置では、検査光学系は移動しない一方、フィルムが移動するので、照明部と撮像部との配置関係においてそれらの位置ズレが生じない。そのため、上記欠陥を確実に検出しやすい。

上記第１検査装置の一実施形態では、上記検査光学系は、散乱光学系であってもよい。検査光学系が散乱光学系である場合、照明部と撮像部との位置精度が検出感度に影響を与えやすい。検査光学系は固定されており、フィルムを移動させる場合、前述したように、照明部と撮像部との配置関係においてそれらの位置ズレが生じない。そのため、上記欠陥を確実に検出しやすい。

上記第１検査装置の一実施形態では、上記移動機構は、上記検査光学系に対して上記フィルムを上記第１方向とは異なるとともに上記厚さ方向に直交する第３方向に移動させる機構を更に有し、上記第１方向と上記第３方向との間の第３角度は、１５°以上１６５°以下であってもよい。この場合、第１方向にフィルムを移動させて検査を行う検査範囲を変更可能である。

本発明の一側面に係る他の検査装置（以下、「第２検査装置」と称す）は、フィルムを照明する照明部と、上記照明部で照明された上記フィルムからの光を受けて欠陥判定のための検査画像を取得する撮像部とを有する検査光学系と、フィルム及び検査光学系の少なくとも一方を移動させる移動機構と、を備える。上記移動機構は、上記フィルム及び上記検査光学系のうちの一方を他方に対し、上記フィルムの基準方向と異なる第１方向に移動させる機構を有する。上記検査光学系の撮像領域は、上記第１方向と異なる第２方向に延在している。上記基準方向、上記第１方向及び上記第２方向は、上記フィルムの厚さ方向に直交している。上記基準方向と上記第１方向との間の第１角度は、１５°以上９０°未満または９０°より大きく１６５°以下である。上記第１方向と上記第２方向との間の第２角度は、１５°以上１６５°以下である。上記基準方向と上記第２方向とは非直交である。

上記第２検査装置では、上記フィルム及び上記検査光学系のうちの一方を他方に対し、上記フィルムの基準方向と異なる第１方向に移動させながら検査画像を取得する。検査光学系の撮像領域の延在方向である第２方向は、第１方向と異なり且つ上記基準方向と非直交である。そのため、基準方向に延在する欠陥を検出可能である。

上記第２検査装置の一実施形態では、上記移動機構は、上記フィルム及び上記検査光学系のうちの一方を他方に対し、上記第１方向とは異なるとともに上記厚さ方向に直交する第３方向に移動させる機構を更に有し、上記第１方向と上記第３方向との間の第３角度は、１５°以上１６５°以下であってもよい。この場合、上記フィルム及び上記検査光学系のうちの一方を他方に対し第１方向に移動させて検査を行う検査範囲を変更可能である。

上記第１検査装置及び上記第２検査装置それぞれの一実施形態は、上記フィルムを上記基準方向に搬送する搬送機構を有し、上記移動機構は、上記搬送機構を移動させることによって、上記フィルムを移動させてもよい。

本発明の他の側面に係る検査方法（以下、「第１検査方法」と称す）は、欠陥判定のためにフィルムの検査画像を取得することによって上記フィルムを検査する検査方法であって、検査光学系が有する照明部で上記フィルムを照明しながら、上記検査光学系が有する撮像部で上記フィルムを撮像することによって、欠陥判定のための検査画像を取得する検査画像取得工程を備える。上記検査画像取得工程では、上記フィルムの基準方向とは異なる第１方向に、上記検査光学系に対して上記フィルムを移動させながら上記検査画像を取得する。上記検査光学系の撮像領域は、上記第１方向と異なる第２方向に延在している。 上記基準方向、上記第１方向及び上記第２方向は、上記フィルムの厚さ方向に直交している。上記基準方向と上記第１方向との間の第１角度は、１５°以上１６５°以下である。上記第１方向と上記第２方向との間の第２角度は、１５°以上１６５°以下である。上記基準方向と上記第２方向とは非直交である。

上記第１検査方法では、フィルムを検査光学系に対して基準方向とは異なる第１方向に移動させながら検査画像を取得する。検査光学系の撮像領域の延在方向である第２方向は、第１方向と異なり且つ上記基準方向と非直交である。そのため、基準方向に延在する欠陥を検出可能である。上記第１検査方法では、検査光学系を移動させない一方、フィルムを移動させるので、照明部と撮像部との配置関係においてそれらの位置ズレが生じない。そのため、上記欠陥を確実に検出しやすい。

上記第１検査方法の一実施形態では、上記検査光学系は、散乱光学系であってもよい。検査光学系が散乱光学系である場合、照明部と撮像部との位置精度が検出感度に影響を与えやすい。検査光学系は固定されており、フィルムを移動させる場合、前述したように、照明部と撮像部との配置関係においてそれらの位置ズレが生じない。そのため、上記欠陥を確実に検出しやすい。

本発明の他の側面に係る他の検査方法（以下、「第２検査方法」と称す）は、欠陥判定のためにフィルムの検査画像を取得することによって上記フィルムを検査する検査方法であって、検査光学系が有する照明部で上記フィルムを照明しながら、上記検査光学系が有する撮像部で上記フィルムを撮像することによって、欠陥判定のための検査画像を取得する検査画像取得工程を備える。上記検査画像取得工程では、上記フィルムの基準方向と異なる第１方向に、上記フィルム及び上記検査光学系のうちの一方を他方に対して移動させながら、検査画像を取得する。上記検査光学系の撮像領域は、上記第１方向と異なる第２方向に延在している。上記基準方向、上記第１方向及び上記第２方向は、上記フィルムの厚さ方向に直交している。上記基準方向と上記第１方向との間の第１角度は、１５°以上９０°未満または９０°より大きく１６５°以下である。上記第１方向と上記第２方向との間の第２角度は、１５°以上１６５°以下である。上記基準方向と上記第２方向とは非直交である。

上記第２検査方法では、上記フィルム及び上記検査光学系のうちの一方を他方に対し、上記フィルムの基準方向と異なる第１方向に移動させながら検査画像を取得する。上記第１角度及び第２角度の関係は上記関係を満たし且つ上記基準方向と上記第２方向とは非直交である。そのため、基準方向に延在する欠陥を検出可能である。

上記第１検査方法及び第２検査方法それぞれの一実施形態では、検査画像取得工程による上記フィルムの検査範囲を変更する範囲変更工程を有し、上記フィルムにおいて予め設定している全検査範囲の上記検査画像を取得するまで、検査画像取得工程と上記範囲変更工程とを交互に実施してもよい。これにより、上記全検査範囲を検査可能である。

上記第１検査方法及び第２検査方法それぞれの一実施形態の範囲変更工程では、上記フィルムを上記第１方向と異なるとともに上記厚さ方向に直交する第３方向に移動させることによって上記検査範囲を変更してもよい。或いは、上記第１検査方法及び第２検査方法それぞれの一実施形態の範囲変更工程では、上記フィルムを上記基準方向に搬送することによって上記検査範囲を変更してもよい。

上記第１検査装置、第２検査装置、第１検査方法及び第２検査方法それぞれの一実施形態では、上記フィルムは長尺のフィルムであり、上記基準方向は、上記フィルムの長手方向であってもよい。

上記第１検査装置、第２検査装置、第１検査方法及び第２検査方法それぞれの一実施形態では、上記フィルムは、一方向に延伸された延伸フィルムを含み、上記基準方向は、上記延伸フィルムの延伸方向であってもよい。

本発明は、上記検査方法で上記フィルムを検査する工程を有する、フィルムの製造方法にも係る。

本発明によれば、フィルムにおいて一方向に延在する欠陥を検出可能な検査装置及び検査方法並びに上記検査方法を含むフィルムの製造方法を提供できる。

図１は、一実施形態に係る検査方法を含むフィルムの製造方法の一例のフローチャートである。 図２は、図１に示したフィルムの製造方法が有するフィルム形成工程を説明するための図面である。 図３は、図１に示したフィルムの製造方法が有するフィルム検査工程で検出する欠陥を説明するための図面である。 図４は、図１に示したフィルムの製造方法が有するフィルム検査工程を実施するための検査装置の一例の模式図である。 図５は、図４に示した検査装置を、撮像部側からみた場合の模式図である。 図６は、基準方向、第１移動方向（第１方向）及び撮像領域の延在方向（第２方向）の関係を説明するための図面である。 図７は、図１に示したフィルム検査工程の一例のフローチャートである。 図８は、図７に示した検査画像取得工程を説明するための図面である。 図９は、図７に示した検査画像取得工程で検査される範囲を示す図面である。 図１０は、欠陥を有するフィルムを第１参考検査方法で検査して取得した検査画像の一例を示す図面である。 図１１は、図１０で撮像したフィルムを第２参考検査方法で検査して取得した検査画像の一例を示す図面である。 図１２は、変形例１のフィルム検査工程を実施するための検査装置の一例を説明するための図面である。 図１３は、図１２に示した検査装置を、撮像部側からみた場合の模式図である。 図１４は、変形例２のフィルム検査工程を実施するための検査装置の一例を説明するための図面である。 図１５は、変形例３における基準方向、第１移動方向（第１方向）、撮像領域の延在方向（第２方向）及び第２移動方向（第３方向）の関係を説明するための図面である。 図１６は、変形例３のフィルム検査工程を実施するための検査装置の一例を説明するための図面である。

以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。図面において同一又は相当の部分に対しては同一の符号を付し、重複する説明を省略する。図面の寸法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。

図１は、一実施形態に係る検査方法を含むフィルムの製造方法のフローチャートを示す図面である。フィルムの製造方法は、フィルム形成工程Ｓ１０と、フィルム検査工程Ｓ２０とを有する。本実施形態において、フィルムの製造方法で製造するフィルムは、偏光フィルムである。偏光フィルムの材料の例は、ポリビニルアルコール系樹脂である。ポリビニルアルコール系樹脂の例は、ＰＶＡ（Polyvinyl Alcohol）樹脂である。以下では、長尺のポリビニル系アルコール樹脂フィルムを用いて偏光フィルムを製造する場合を説明する。

フィルム形成工程Ｓ１０では、図２に示したように、ロールツーロール方式で長尺のポリビニルアルコール系樹脂フィルム２を長手方向に搬送しながら、偏光フィルム３を形成する。具体的には、巻出しロールＲ１にセットされた長尺のポリビニルアルコール系樹脂フィルム２を巻き出す。巻き出されたポリビニルアルコール系樹脂フィルム２を複数の搬送ロールＲ２で搬送しながら、種々の処理を施して偏光フィルム３を形成した後、巻取りロールＲ３で巻き取る。図２では、種々の処理のうち、ポリビニルアルコール系樹脂フィルム２の搬送経路上に配置された延伸処理装置４で、延伸処理を行う場合を例示している。延伸処理装置４では、長手方向に搬送されているポリビニルアルコール系樹脂フィルム２を、その長手方向に延伸する。延伸処理装置４での延伸方法は、乾式及び湿式の延伸方法の何れでもよい。これにより、ポリビニルアルコール系樹脂フィルム２に直線偏光特性が付与され、偏光フィルム３が形成される。よって、偏光フィルム３は延伸フィルムであり、偏光フィルム３の延伸方向は、長尺の偏光フィルム３の長手方向である。

フィルム形成工程Ｓ１０において、偏光フィルム３を形成するための他の処理（例えば二色性色素をポリビニルアルコール系樹脂フィルム２に吸着させる染色処理、洗浄処理、乾燥処理など）を含んでもよい。

フィルム検査工程Ｓ２０では、フィルム形成工程Ｓ１０で形成された偏光フィルム３における欠陥の有無を検査する。フィルム検査工程Ｓ２０での検査対象は、偏光フィルム３から検査のために切り出された部分をつなげた長尺のフィルムである。例えば、検査対象のフィルムは、偏光フィルム３の長手方向の両端部のうち一方の端部から切り出された長尺のフィルムである。検査対象のフィルムは、例えば、フィルム検査工程Ｓ２０で形成された複数の偏光フィルム３のそれぞれの一方の端部（長手方向の一方の端部）と他方の端部（長手方向の他方の端部）を含む一定部分を切り出し、その切り出された部分をつなげることによって得られたフィルムであってもよい。この場合、複数の偏光フィルム３の欠陥を検査できる。検査対象であるフィルムの長手方向の長さの例は、７０ｍｍ〜７０００ｍｍであり、長手方向に直交する幅方向の長さの例は、５０ｍｍ〜１５００ｍｍである。

フィルム検査工程Ｓ２０で検出する欠陥は、図３に示したように、検査対象であるフィルム１において一方向に延在した筋状の欠陥５である。欠陥５は、例えばフィルム形成工程Ｓ１０で使用する搬送ロールＲ２の表面に付着した異物で生じた傷が、延伸処理、又は、搬送ロールＲ２での搬送のためにポリビニルアルコール系樹脂フィルム２に印加されたテンションなどによって長手方向に伸ばされることによって生じた欠陥と考えられる。よって、欠陥５の延在方向は、フィルム形成工程Ｓ１０で形成された偏光フィルム３の長手方向に一致するとともに、検査対象であるフィルム１の長手方向に一致する。偏光フィルム３の長手方向は、フィルム形成工程Ｓ１０での偏光フィルム３（又はポリビニルアルコール系樹脂フィルム２）の搬送方向であるとともに、偏光フィルム３の延伸方向でもある。以下、フィルム１の長手方向を、フィルム１において設定された基準方向Ｄ１と称す。基準方向Ｄ１における欠陥５の長さは、０．２ｍｍ〜１ｍｍであり、基準方向Ｄ１に直交する幅方向の長さは、０．０５ｍｍ〜０．２ｍｍである。

フィルム検査工程Ｓ２０で使用する検査装置１０を、図４及び図５を利用して説明する。検査装置１０は、フィルム１を長手方向に搬送する搬送機構１１と、フィルム１を撮像する検査光学系１２と、搬送機構１１を移動させる移動機構１３とを有する。

搬送機構１１は、巻出しロール１１１と、搬送ロール１１２と、搬送ロール１１３と、巻取りロール１１４とを有する。巻出しロール１１１、搬送ロール１１２、搬送ロール１１３及び巻取りロール１１４それぞれの回転軸１１１ａ、回転軸１１２ａ、回転軸１１３ａ及び回転軸１１４ａ（図５参照）は、移動機構１３に固定された一対の架台１１５に回転可能に支持されている。図４では、搬送機構１１によるフィルム１の搬送形態及び検査光学系１２を示すために架台１１５を破線で模式的に示している。巻出しロール１１１にセットされたロール状のフィルム１は、搬送ロール１１２及び搬送ロール１１３を利用して巻取りロール１１４に搬送され、巻取りロール１１４でロール状に巻き取られる。図４に示した実施形態では、搬送ロール１１２及び搬送ロール１１３間では、フィルム１は水平搬送される。

検査光学系１２は、搬送ロール１１２及び搬送ロール１１３間に、移動機構１３とは独立して固定配置されている。検査光学系１２は、図５に示したように、一方向に延在した撮像領域Ａを撮像するために、照明部１２１と撮像部１２２とを有する。以下では、撮像領域Ａの延在方向（第２方向）を延在方向Ｄ２と称す。図５では、撮像部１２２の図示を省略している。照明部１２１及び撮像部１２２の一例を説明する。

図４に示したように、照明部１２１は、フィルム１の一方の面（図４では、フィルム１の下面）側に配置されており、フィルム１を照明する。具体的には、照明部１２１は、撮像領域（視野）Ａを照明する。そのため、照明部１２１は、撮像領域Ａの延在方向Ｄ２に延在している。

照明部１２１は、光源１２１ａと遮光体１２１ｂとを有する。光源１２１ａは、照明部１２１の延在方向（撮像領域Ａの延在方向Ｄ２）に延在している。光源１２１ａは、フィルム１を照明するため、フィルム１の組成及び性質に影響を与えない光を出力する。光源１２１ａの例は、メタルハライドランプ、ハロゲン伝送ライト、蛍光灯などである。遮光体１２１ｂは、光源１２１ａとフィルム１との間に配置されている。遮光体１２１ｂは、光源１２１ａからフィルム１に出力される光の一部を遮光するナイフエッジとして機能する。遮光体１２１ｂは、撮像部１２２からみて、光源１２１ａの延在方向に直交する方向において、遮光体１２１ｂを配置しない場合のフィルム１の照明領域の一部（例えば、半分）を隠すように配置されている。

上記照明部１２１の構成では、光源１２１ａから出力され且つ遮光体１２１ｂの縁部で散乱された散乱光がフィルム１を照明する。このように、散乱光でフィルム１が照明されるので、検査光学系１２は散乱光学系である。光源１２１ａ及び遮光体１２１ｂが撮像領域Ａの延在方向Ｄ２に延在していることから、照明部１２１によるフィルム１の照明領域も上記延在方向Ｄ２に延在する。

撮像部１２２は、照明部１２１で照明されたフィルム１からの光を受光することによって、欠陥判定のための検査画像を得るためにフィルム１を撮像する。撮像部１２２は、撮像領域Ａの延在方向Ｄ２に沿って配置された複数の画素を有する。撮像部１２２の例は、ＣＣＤカメラ、ＣＭＯＳカメラ、ラインセンサ及びエリアセンサを含む。撮像部１２２は、撮像領域Ａが照明部１２１の照明領域を撮像可能なように、配置されている。

撮像部１２２は、解析装置１４に電気的に接続されており、撮像データを解析装置１４に入力する。解析装置１４は、撮像部１２２における動作の条件を設定及び制御する。解析装置１４は、撮像部１２２からの撮像データに基づいて、欠陥５の有無の判定のための検査画像を作成し、表示装置１５に表示する。これにより、フィルム１に欠陥５が含まれている場合、検査画像に欠陥５が表示される。その結果、フィルム１の欠陥５の有無が判定され得る。解析装置１４は、上記検査画像を作成する際に、欠陥５を明瞭に示すために、例えば、撮像部１２２に入射する光の強度に基づいて欠陥５の位置を特定し、欠陥５と他の部分とを異なるカラーで表示してもよいし、白黒画像を作成する場合には、濃淡で欠陥５と他の部分とを区別してもよい。解析装置１４は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びハードディスク等を有するコンピュータ装置である。解析装置１４における上記検査画像の形成機能は、例えば撮像部１２２が有してもよい。

解析装置１４は、検査装置１０を制御する制御装置としても機能する。例えば、解析装置１４は、搬送機構１１における搬送速度を設定及び制御する。解析装置１４は、検査装置１０の一部でもよい。

移動機構１３は、フィルム１の基準方向（搬送方向）Ｄ１とは異なる第１移動方向（第１方向）Ｄ３にフィルム１を移動させる機構である。移動機構１３は、ベース板１３１と、移動ステージ１３２とを有し、移動ステージ１３２をベース板１３１に対して電動で第１移動方向Ｄ３に移動させる１軸ステージである。移動ステージ１３２上に搬送機構１１（具体的には、架台１１５）が固定されている。よって、移動ステージ１３２の移動に伴い搬送機構１１が第１移動方向Ｄ３に移動するので、フィルム１が第１移動方向Ｄ３に移動する。

移動機構１３は、例えば、ベース板１３１と移動ステージ１３２との間に第１移動方向Ｄ３に延在したガイド部１３３を有し、移動ステージ１３２がガイド部１３３に沿って移動可能にガイド部１３３に取り付けられていればよい。移動機構１３は、移動ステージ１３２をベース板１３１に対して移動させるために、例えば、アクチュエータ機構、ラックアンドピニオン機構などを有し得る。

移動機構１３が有する移動ステージ１３２の移動タイミング、移動速度、移動量などは、解析装置１４が制御すればよい。

移動機構１３がフィルム１を第１移動方向Ｄ３に移動させるとは、第１移動方向Ｄ３に沿った第１順方向にフィルム１を移動させる場合と、第１移動方向Ｄ３に沿っており上記第１順方向と逆向きの第１逆方向にフィルム１を移動させる場合を含む意味である。

図６を利用して、フィルム１の基準方向Ｄ１、撮像領域Ａの延在方向Ｄ２及び第１移動方向Ｄ３の関係を説明する。基準方向Ｄ１、撮像領域Ａの延在方向Ｄ２及び第１移動方向Ｄ３は、フィルム１の厚さ方向に直交する方向であり、図６に示した関係を有する。

図６に示したように、第１移動方向Ｄ３は、フィルム１の基準方向Ｄ１に対して傾いている。基準方向Ｄ１と第１移動方向Ｄ３との間の第１角度θ１は、１５°以上１６５°以下である。第１角度θ１は、例えば４５°以上１３５°以下である。第１角度θ１は、基準方向Ｄ１と第１移動方向Ｄ３とが仮に揃っている場合から基準方向Ｄ１に対して第１移動方向Ｄ３を所定回転方向（図６では右周り）に回転させた場合に、それに応じて増加する基準方向Ｄ１と第１移動方向Ｄ３との間の角度である。

撮像領域Ａの延在方向Ｄ２は、第１移動方向Ｄ３に対して傾いており且つ基準方向Ｄ１と非直交である。延在方向Ｄ２と第１移動方向Ｄ３との為す第２角度θ２は、１５°以上１６５°以下である。第２角度θ２は、例えば４５°以上１３５°以下である。ただし、第２角度θ２は、上記角度範囲のうち延在方向Ｄ２が基準方向Ｄ１と非直交である角度である。第２角度θ２は、第１移動方向Ｄ３と、撮像領域Ａの延在方向Ｄ２とが仮に揃っている場合から第１移動方向Ｄ３に対して上記延在方向Ｄ２を上記所定回転方向（図６では右周り）に回転させた場合に、それに応じて増加する第１移動方向Ｄ３と上記延在方向Ｄ２との間の角度である。本明細書において、延在方向Ｄ２が基準方向Ｄ１と非直交とは、延在方向Ｄ２と基準方向Ｄ１との間の角度が９０°と異なる場合に限らず、例えば０°〜１８０°のうち８５°〜９５°の範囲又は７５°〜１０５°の範囲と異なる場合も含む。よって、延在方向Ｄ２と基準方向Ｄ１との為す角度は、例えば０°〜１８０°のうち８５°〜９５°の範囲又は７５°〜１０５°の範囲と異なる角度でもよい。延在方向Ｄ２と基準方向Ｄ１との為す角度も、基準方向Ｄ１と延在方向Ｄ２とが仮に揃っている場合から基準方向Ｄ１に対して上記延在方向Ｄ２を上記所定回転方向（例えば図６において右周り）に回転させた場合に、それに応じて増加する基準方向Ｄ１と上記延在方向Ｄ２との間の角度である。

次に、検査装置１０を利用したフィルム検査工程Ｓ２０を説明する。図７は、検査工程の一例のフローチャートである。フィルム検査工程Ｓ２０では、検査対象のフィルム１を、巻出しロール１１１にセットし、フィルム１を巻き出す。巻き出されたフィルム１を、搬送ロール１１２及び搬送ロール１１３を介して巻取りロール１１４にフィルム１を掛け渡す。このようにフィルム１がセットされた後にフィルム検査を行う場合を説明する。フィルム検査工程Ｓ２０は、検査画像取得工程Ｓ２１と、判定工程Ｓ２２と、範囲変更工程Ｓ２３とを有する。

まず、搬送機構１１によるフィルム１の搬送を停止した状態で、移動機構１３で移動ステージ１３２を移動させることによって、図８に実線と二点鎖線で示したように、フィルム１を第１移動方向Ｄ３（例えば第１順方向）に移動させながら、固定配置された（すなわち、移動しない）検査光学系１２でフィルム１を撮像する。具体的には、照明部１２１からフィルム１に光を照射して、撮像部１２２でフィルム１を撮像する。撮像部１２２で得られた撮像データは、解析装置１４に入力され、解析装置１４が検査画像を作成する（図７の検査画像取得工程Ｓ２１）。解析装置１４で作成された検査画像は表示装置１５で表示される。

上記検査画像取得工程Ｓ２１では、例えばフィルム１の幅方向全体が撮像されるまで、フィルム１を移動機構１３によって第１移動方向Ｄ３に移動させる。これにより、図９にハッチングで示したように、フィルム１における検査範囲Ｂの画像データを得ることができる。搬送方向における検査範囲Ｂの長さは、搬送方向における撮像領域Ａの長さ（撮像領域Ａの上流端と、下流端との間の搬送方向に沿った距離）に実質的に相当する。

フィルム１の大きさによっては、検査画像取得工程Ｓ２１で検査できる範囲はフィルム１の一部である。すなわち、検査画像取得工程Ｓ２１では、フィルム１の一部の検査が実施される。そのため、移動機構１３によるフィルム１の移動が終了（すなわち、検査画像取得工程Ｓ２１が終了）した段階で、フィルム１における所望の全検査範囲（予め設定している全検査範囲）の検査が終了したか否かを判定する（図７の判定工程Ｓ２２）。判定は、例えば、解析装置１４で、検査画像取得工程Ｓ２１を実施した回数と検査範囲Ｂの大きさとに基づいて算出される検査終了範囲と、フィルム１における所望の全検査範囲の大きさとを比較することで実施され得る。或いは、作業者が目視で確認してもよい。

所望の全検査範囲の検査が終了していない場合（判定工程Ｓ２２でＮＯの場合）、検査画像取得工程Ｓ２１で検査を行う検査範囲を変更する（図７の範囲変更工程Ｓ２３）。範囲変更工程Ｓ２３では、フィルム１を、基準方向Ｄ１（搬送方向）に搬送する。搬送量は、搬送方向における上記検査範囲Ｂの長さと実質的に等しい。所望の全検査範囲の検査が終了している場合（判定工程Ｓ２２でＹＥＳの場合）、検査を終了する。

フィルム検査工程Ｓ２０では、検査画像取得工程Ｓ２１と、範囲変更工程Ｓ２３とを、フィルム１における所望の全検査範囲の全てが検査されるまで実施する。検査画像取得工程Ｓ２１と検査範囲変更工程Ｓ２２とを繰り返すことにより、検査画像取得工程Ｓ２１を複数回実施する場合、複数の検査画像取得工程Ｓ２１では、移動機構１３で移動ステージ１３２を第１移動方向Ｄ３における第１順方向に移動させる場合と第１逆方向に移動させる場合とを交互に実施してもよい。

フィルム検査工程Ｓ２０を実施して得られたフィルム１の検査画像に欠陥５が表示された場合には、フィルム形成工程Ｓ１０で使用する何れかの搬送ロールＲ２（特に、延伸処理前のロール）に異物が付着している可能性がある。よって、フィルム形成工程Ｓ１０で使用する搬送ロールＲ２のロール表面を洗浄したり、搬送ロールＲ２を交換したりすればよい。これにより、欠陥５を含まない偏光フィルム３を製造可能である。

フィルムを検査する際、撮像領域Ａの延在方向Ｄ２が、基準方向Ｄ１に直交するように、撮像部１２２及び照明部１２１を配置し、フィルムを搬送方向に搬送しながら、フィルムを撮像する場合が考えられる（以下、「第１参考検査方法」と称す）。しかしながら、上記第１参考検査方法では、欠陥５を有するフィルムを検査しても、図１０に示したように、フィルムを撮像することで得られた検査画像に欠陥５は表示されない。すなわち、欠陥５が検出されない。一方、撮像領域Ａの延在方向Ｄ２が、基準方向Ｄ１と９０°とは異なる方向に向いている場合（延在方向Ｄ２と基準方向Ｄ１とが直交していない場合）、フィルムを基準方向Ｄ１に搬送しながら、フィルムを撮像する（以下、「第２参考検査方法」と称す）と、図１１の破線で示した領域に現れているように、欠陥５が検出される。これは、第２参考検査方法では、第１参考検査方法の場合に比べて欠陥５がより多くの光で照明され，その結果、撮像部に入射する光の量が多くなるためと考えられる。

図１０及び図１１に示されている環状のマークは、フィルムにおいて欠陥５が形成されている領域を示すマークである。図１０及び図１１は、環状のマークの位置に欠陥５が形成されている同じフィルムを、上記のように基準方向Ｄ１に対する撮像領域Ａの向きを傾けた点以外は同じ条件で撮像した結果を示す図面である。

検査装置１０を用いたフィルムの検査方法では、検査画像取得工程Ｓ２１で、フィルム１を第１移動方向Ｄ３に移動させながら、検査光学系１２でフィルム１を撮像する。本実施形態では、撮像領域Ａの延在方向Ｄ２、基準方向Ｄ１、第１移動方向Ｄ３が、図６に示した関係を有しており、前述したように、基準方向Ｄ１と延在方向Ｄ２とが非直交である。その結果、検査装置１０を用いたフィルムの検査方法では、第２参考検査方法と同様に、欠陥５を検出できる。

フィルム１を第１移動方向Ｄ３に移動させるので、例えば検査光学系１２が１つであっても、フィルム１の検査画像を得ることが可能である。更に、検査光学系１２は固定配置され、検査光学系１２とは独立してフィルム１を移動させていることから、撮像部１２２と照明部１２１との位置関係のズレが生じない。その結果、欠陥５を確実に検出可能である。図４に示したように、遮光体１２１ｂで光を散乱させ、その散乱光でフィルム１を照明する場合、上記撮像部１２２と照明部１２１との位置精度が非常に重要である。そのため、検査装置１０及びそれを利用した検査方法は、照明部１２１から散乱光を出力してフィルム１を照明する場合に非常に有効である。

次に、上記実施形態に対する種々の変形例を、上記実施形態との相違点を中心に説明する。

（第１変形例）
上記フィルム検査工程Ｓ２０は、フィルム形成工程Ｓ１０において偏光フィルム３をロール状に一度巻き取った後、形成された偏光フィルム３から一定領域を切り出して得られるフィルム１に対して実施した。しかしながら、図１２に示したように、フィルム形成工程Ｓ１０において形成された偏光フィルム３を搬送ロールＲ２で更に搬送しながら、その偏光フィルム３に対してフィルム検査工程Ｓ２０を実施してもよい。換言すれば、フィルム形成工程Ｓ１０で形成された偏光フィルム３をロール状に巻き取る前にフィルム検査工程Ｓ２０を実施してもよい。

図１２及び図１３は、変形例１のフィルム検査工程Ｓ２０を実施するための検査装置２０の模式図である。検査装置２０は、検査光学系１２と、移動機構１３と、搬送機構２１とを有する。検査光学系１２及び移動機構１３の構成は、検査装置１０の場合と同様であるため、説明を省略する。

搬送機構２１は、巻取りロール２１１と、搬送ロール２１２と、一対の架台２１３とを有する。巻取りロール２１１は、偏光フィルム３をロール状に巻き取るためのロールである。搬送ロール２１２は、偏光フィルム３を巻取りロール２１１に搬送するために偏光フィルム３をガイドするとともに支持するためのロールである。一対の架台２１３は、巻取りロール２１１及び搬送ロール２１２それぞれの回転軸２１１ａ及び回転軸２１２ａを回転可能に支持する。一対の架台２１３は、移動機構１３上（具体的には、移動ステージ１３２上）に固定されている。図１２に示した実施形態では、巻取りロール２１１及び搬送ロール２１２は、それらの間で、偏光フィルム３が実質的に水平搬送されるように配置されている。

第１変形例のフィルム検査工程Ｓ２０は、検査装置１０の場合と同様に、図７に示した検査画像取得工程Ｓ２１、判定工程Ｓ２２及び範囲変更工程Ｓ２３を有する。検査画像取得工程Ｓ２１、判定工程Ｓ２２及び範囲変更工程Ｓ２３では、検査対象が偏光フィルム３自体である点を除いて、上記検査装置１０を利用したフィルム検査工程Ｓ２０が有する検査画像取得工程Ｓ２１、判定工程Ｓ２２及び範囲変更工程Ｓ２３と同様である。

変形例１では、偏光フィルム３の実質的に全体が検査範囲でもよい。しかしながら、例えば、偏光フィルム３の搬送方向において、離散的に設定した複数の領域それぞれが検査範囲でもよい。

変形例１でも、検査画像取得工程Ｓ２１では、偏光フィルム３を移動機構１３で移動させる一方、偏光フィルム３の搬送を止める。そのため、検査装置２０の前段には、図１２に示したように、アキュムレータ２２が配置される。アキュムレータ２２は、アキュムレータ２２までの偏光フィルム３の搬送速度と、アキュムレータ２２以降の搬送速度（搬送速度が０の場合を含む）を分離して制御するための機構である。

図１２に示したように、アキュムレータ２２は、固定ロール２２１と、固定ロール２２１との距離を調整可能な可動ロール２２２とを有する。アキュムレータ２２では、可動ロール２２２の位置を移動させることによって偏光フィルム３の搬送距離を変える。これによって、アキュムレータ２２以降の搬送速度が調整され得る。例えば、固定ロール２２１と可動ロール２２２の間の偏光フィルム３の搬送距離を長くするように、可動ロール２２２を移動させることで、アキュムレータ２２内に偏光フィルム３が滞留するので、アキュムレータ２２以降における偏光フィルム３の搬送速度を小さく（滞留時間によっては速度０）できる。可動ロール２２２の位置制御は、例えば、解析装置１４が行えばよい。アキュムレータ２２は、検査装置２０の一部であってもよい。

検査画像取得工程Ｓ２１では、移動機構１３で、搬送機構１１を検査光学系１２に対して第１移動方向Ｄ３に移動させることによって、偏光フィルム３を検査光学系１２に対して第１移動方向Ｄ３に移動させる。そのため、アキュムレータ２２と検査装置２０の搬送ロール２１２との間には、ターンバー（搬送方向変換部）２３が配置されていてもよい。ターンバー２３は、偏光フィルム３の搬送方向を変更する搬送方向変換部として機能する。ターンバー２３は、移動機構１３による搬送機構１１の移動に合わせて、搬送機構１１による偏光フィルム３の搬送方向（すなわち、搬送ロール２１２から巻取りロール２１１までの偏光フィルム３の搬送方向）が維持されるとともに、偏光フィルム３への不要なテンションが生じないように、偏光フィルム３の搬送方向を変更する。

ターンバー２３は、アキュムレータ２２からターンバー２３に搬送されてくる偏光フィルム３の搬送方向に対するターンバー２３の延在方向が、移動機構１３による搬送機構１１の移動に合わせて調整可能に設けられていればよい。ターンバー２３の延在方向の向きの調整は、例えば、解析装置１４が行えばよい。ターンバー２３は、検査装置１０の一部であってもよい。

ターンバー２３の数は一つに限定されない。ターンバー２３の数及び配置は、検査画像取得工程Ｓ２１において搬送機構２１による偏光フィルム３の搬送方向が維持されるとともに、偏光フィルム３への不要なテンションが生じないように、設定され得る。

変形例１のフィルム検査工程Ｓ２０でも上記のように、検査光学系１２を固定した状態で、移動機構１３によって搬送機構１１を第１移動方向Ｄ３に移動（より具体的には、偏光フィルム３を移動）させながら偏光フィルム３を検査する。よって、変形例１でも、検査装置１０及びそれを利用したフィルムの検査方法の場合と同様の作用効果を有する。変形例１では、偏光フィルム３の長手方向のほぼ全てを容易に検査できる。

（第２変形例）
第１角度θ１が１５°以上９０°未満若しくは９０°より大きく１６５°以下、又は、４５°以上９０°未満若しくは９０°より大きく１３５°以下である場合には、検査光学系を移動させてもよい。検査光学系を移動させる場合を第２変形例として説明する。第２変形例においても、延在方向Ｄ２は、基準方向Ｄ１と非直交である。非直交の意味は、前述したとおりである。

第２変形例のフィルム検査工程Ｓ２０を実施する検査装置３０は、搬送機構１１と、検査光学系３１と、移動機構３２とを有する。搬送機構１１は、検査装置１０の場合と同様であるため、搬送機構１１の説明を省略する。検査装置３０が有する検査光学系３１及び移動機構３２の概略構成を、図１４を利用して説明する。図１４では、照明部１２１の延在方向に直交する方向から検査光学系３１及び移動機構３２をみた場合を模式的に示している。図１４では、搬送機構１１の図示を省略している。

検査光学系３１は、図１４に示したように、照明部１２１と撮像部１２２と、それらを一体に連結する連結部３１１とを有する。照明部１２１及び撮像部１２２の構成及びそれらの配置関係は、検査装置１０の場合と同様である。図１４では、照明部１２１を模式的に図示している。連結部３１１は、検査光学系３１を第１移動方向Ｄ３に移動させた際に、フィルム１と干渉しない構成を有すればよい。例えば、連結部３１１が、図１４に示したようにＵ字状を呈する場合、連結部３１１の第１移動方向Ｄ３の長さが、第１移動方向Ｄ３におけるフィルム１の長さ以上であればよい。

移動機構３２は、検査光学系３１の第１移動方向Ｄ３に延在したガイド部３２１と、ガイド部３２１の延在方向に移動可能にガイド部３２１に取り付けられるとともに、連結部３１１を支持する支持部３２２とを有する。支持部３２２は、ガイド部３２１に電動で第１移動方向Ｄ３に移動可能に取り付けられている。

フィルム１の幅が長い場合（換言すれば、第１移動方向Ｄ３における検査光学系３１の移動距離が長い場合）には、例えば、複数の検査光学系３１を移動機構３２で移動すればよい。例えば、２つの検査光学系３１を用いる場合には、フィルム１の幅方向において、フィルム１の一方の縁部側に一つの検査光学系３１を配置し、他方の縁部側に別の検査光学系３１を配置すればよい。これにより、一つの検査光学系３１で第１移動方向Ｄ３に全ての領域を撮像する場合に比べて、各検査光学系３１の移動距離が短くなるので、連結部３１１の第１移動方向Ｄ３における長さを短くできる。

第２変形例では、連結部３１１をガイド部３２１に沿って第１移動方向Ｄ３に移動させながらフィルム１を撮像することでフィルム１の検査を実施すればよい。連結部３１１の移動状態は、例えば解析装置１４が制御すればよい。

第２変形例のフィルム検査工程Ｓ２０は、検査装置１０を利用したフィルム検査工程Ｓ２０の場合と同様に、図７に示した検査画像取得工程Ｓ２１、判定工程Ｓ２２及び範囲変更工程Ｓ２３を有する。第２変形例におけるフィルム検査工程Ｓ２０は、検査画像取得工程Ｓ２１において、搬送機構１１を移動させずに、移動機構３２によって検査光学系３１をフィルム１に対して移動させる点以外は、上記フィルム検査工程Ｓ２０と同様である。そのため、図３に示した欠陥５を検出可能である。検査光学系３１を移動させる場合には、例えば、撮像部１２２と照明部１２１との位置関係のズレが、撮像部１２２の分解能以下であるように検査光学系３１を移動する。図１４に示したように、検査光学系３１が有する照明部１２１及び撮像部１２２が連結部３１１で連結されている場合、撮像部１２２と照明部１２１との位置関係のズレが生じにくく、上記位置関係のズレが撮像部１２２の分解能以下であるように検査光学系３１を移動させ易い。

第２変形例では、搬送機構１１を移動させずに、フィルム１に対して検査光学系３１を移動させる場合を主に説明した。しかしながら、検査装置３０が更に図４に示した移動機構１３を備え、検査光学系３１とともに、搬送機構１１（具体的には、フィルム１）も、移動機構１３で移動させてもよい。すなわち、第１角度θ１が１５°以上９０°未満若しくは９０°より大きく１６５°以下、又は、４５°以上９０°未満若しくは９０°より大きく１３５°以下である場合には、検査光学系３１及びフィルム１（又は搬送機構１１）のうち一方に対して他方を第１移動方向Ｄ３に移動させればよい。

（第３変形例）
図４において、搬送ロール１１２と搬送ロール１１３の間のフィルム１の領域をフィルムの全検査範囲とする場合には、例えば、検査範囲変更工程Ｓ２２では、搬送機構１１自体（すなわち、フィルム１）を更に第１移動方向Ｄ３と異なる第２移動方向（第３方向）Ｄ４に移動させてもよい。

図１５は、基準方向Ｄ１、撮像領域Ａの延在方向Ｄ２、第１移動方向Ｄ３及び第２移動方向Ｄ４の関係を説明するための図面である。基準方向Ｄ１と第１移動方向Ｄ３との間の第１角度θ１及び第１移動方向Ｄ３と延在方向Ｄ２との間の第２角度θ２の関係は、図６の場合と同様であり、更に、第３変形例においても延在方向Ｄ２と基準方向Ｄ１とが非直交である。第３変形例においても延在方向Ｄ２と基準方向Ｄ１との為す角度は、例えば７５°〜１０５°と異なっていてもよい。第２移動方向Ｄ４は、第１移動方向Ｄ３と異なっており、第１移動方向Ｄ３と第２移動方向Ｄ４との間の第３角度θ３は、１５°〜１６５°又は４５°〜１３５°である。第２移動方向Ｄ４は、撮像領域Ａの延在方向Ｄ２と同じでもよい。

フィルム１を第１移動方向Ｄ３と第２移動方向Ｄ４に移動させるために、第３変形例のフィルム検査工程Ｓ２０を実施するための検査装置４０は、図１６に示したように、搬送機構１１と、検査光学系１２と、移動機構４１とを備える。搬送機構１１及び検査光学系１２は、検査装置１０の場合と同様であるため、説明を省略する。

移動機構４１は、フィルム１を、第１移動方向Ｄ３に移動可能とともに第２移動方向Ｄ４に移動可能な２軸ステージである。例えば、移動機構４１は、フィルム１を第１移動方向Ｄ３に移動させる第１移動機構４１１と、フィルム１を第２移動方向Ｄ４に移動させる第２移動機構４１２とを備える。第１移動機構４１１の構成は、図４の移動機構１３と同じであり得る。第２移動機構４１２は、第１移動機構４１１上に配置されており、搬送機構１１は、第２移動機構４１２に固定される。第２移動機構４１２の構成は、ガイド部の延在方向が第２移動方向Ｄ４である点以外は、第１移動機構４１１の構成、すなわち、図４の移動機構１３と同じとし得る。例えば、第２移動機構４１２は、ベース板と、移動ステージと、それらの間に設けられた第２移動方向Ｄ４に延在したガイド部とを有し、移動ステージがベース板に対してガイド部に沿って第２移動方向Ｄ４に移動可能に構成されていればよい。第２移動機構４１２が、上記のようにベース板と、移動ステージを有する場合、第２移動機構４１２側のベース板は、第１移動機構４１１の移動ステージと共通でもよい。

移動機構４１がフィルム１を第２移動方向Ｄ４に移動させるとは、第２移動方向Ｄ４に沿った第２順方向にフィルム１を移動させる場合と、第２移動方向Ｄ４に沿っており上記第２順方向と逆向きの第２逆方向にフィルム１を移動させる場合を含む意味である。

第３変形例では、検査画像取得工程Ｓ２１と、範囲変更工程Ｓ２３とを繰り返すことによって、フィルム１のうち搬送ロール１１２と搬送ロール１１３の間に位置するフィルム１の領域を全検査範囲として検査できる。当該検査範囲の検査完了した後、例えば、搬送機構１１でフィルム１を搬送方向に搬送して、フィルム１の範囲を更に検査してもよい。

（第４変形例）
検査光学系１２は、透過光学系に限定されず、反射光学系であってもよい。すなわち、照明部１２１と撮像部１２２は、フィルム１に対して同じ側に配置されてもよい。更に、検査光学系１２は、透過光学系と反射光学系を組み合わせたものでもよい。この場合、検査光学系１２は、撮像部１２２と、フィルム１に対して撮像部１２２と反対側に配置され、透過光学系を形成する第１照明部と、フィルム１に対して撮像部１２２と同じ側に配置され、反射光学系を形成する第２照明部とを有してもよい。第１照明部及び第２照明部の構成は、図４に例示したように、例えば、光源１２１ａと、遮光体１２１ｂとを備えてもよい。

以上説明した実施形態とともに、種々の変形例を説明した。しかしながら、本発明は、上記実施形態及び種々の変形例に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

よって、例えば本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記実施形態及び種々の変形例は、適宜、組み合わされてもよい。例えば第２〜第４変形例に対しても第１変形例を適用して、図１のフィルム形成工程Ｓ１０で形成された偏光フィルム３を巻き取りロールで巻き取る前に、偏光フィルム３を検査してもよい。第１変形例及び第４変形例に、第３変形例を適用して、図７の範囲変更工程Ｓ２３において、検査対象（フィルム１又は偏光フィルム３）を第２移動方向Ｄ４に移動することによって検査範囲を変更してもよい。第２変形例に、第３変形例を適用してもよい。この場合、図７の範囲変更工程Ｓ２３において、フィルム１又は検査光学系３１のうちの一方を他方に対して第２移動方向Ｄ４に移動させることによって、検査範囲を変更すればよい。第１〜第３変形例において第４変形例を適用して、検査光学系に反射光学系を採用または透過光学系と反射光学系を組み合わせた光学系を採用してもよい。

図７の検査画像取得工程Ｓ２１を１回実施して検査対象の所望の全検査範囲を検査できる場合には、図７の他の工程（判定工程Ｓ２２及び範囲変更工程Ｓ２３）を実施する必要はない。

検査光学系が散乱光学系である実施形態では、照明部は遮光体を有しなくてもよい。例えば、撮像部が、照明部の端部で散乱された光で照明された領域を撮像するように、照明部と撮像部とが配置されることによって、散乱光学系が実現されてもよい。検査光学系は散乱光学系に限定されない。

欠陥５は、前述したように、延伸処理などによって、延伸処理前に生じた傷が延在して形成される場合が多いため、上記実施形態及び種々の変形例で説明した検査方法及び検査装置は、延伸フィルムの欠陥５の検査に有効である。ただし、例えば、フィルムを搬送ロールで搬送する際には、フィルムの搬送方向にテンションが印加されるので、延伸処理の場合と同様に欠陥５が生じる可能性がある。よって、本発明は、例えばロールツーロール方式でフィルムを形成する場合の長尺のフィルムの欠陥検査にも有効である。

上記実施形態及び種々の変形例で説明した検査装置及び検査方法では、基準方向、フィルム及び光学系の少なくとも一方の移動方向（第１方向）並びに撮像領域の延在方向（第２方向）が、前述した関係を満たしていれば、基準方向に実質的に延在する欠陥（すなわち、第１方向及び第２方向に対して一定の関係を満たす、一方向に延在する欠陥）を検出可能である。したがって、フィルムの基準方向は、フィルムの長手方向、フィルムを搬送ロールで搬送する際の搬送方向に限定されない。予めフィルムにおいて検出すべき欠陥の延在方向が想定される場合には、その想定される欠陥の延在方向をフィルムの基準方向とすればよい。フィルムにおいて任意の方向を基準方向としてもよい。この場合、その基準方向に延在する欠陥が生じている場合には、その欠陥を検出可能である。

これまでの説明では主に検査光学系が一つの場合を説明した。しかしながら、照明部と撮像部の組である検査光学系は、フィルムに対して２つ以上設けられてもよい。この場合、複数の検査光学系による検査範囲を考慮して、検査画像取得工程では、第１角度θ１が９０°を含む場合、フィルムを検査光学系に対して移動させればよく、第１角度θ１が９０°を含まない場合、フィルム及び検査光学系のうちの一方を他方に対して移動させればよい。

これまでの説明では、フィルム形成工程で形成するフィルムを偏光フィルムの一部とし、偏光フィルム（又は偏光フィルムから切り出されたフィルム）を検査対象とした。しかしながら、検査対象のフィルムは、偏光フィルムに限定されない。例えば、偏光フィルムに対して更に他のフィルム（例えば、保護フィルム、位相差フィルム）が貼合された積層フィルムでもよいし、電池のセパレータフィルムでもよい。検査対象のフィルムは、長尺のフィルムに限定されず、枚葉のフィルムでもよい。

１…フィルム、１０，２０，３０，４０…検査装置、１１，２１…搬送機構、１２，３１…検査光学系、１３，３２，４１…移動機構、１２１…照明部、１２２…撮像部、Ａ…撮像領域、Ｄ１…基準方向、Ｄ２…延在方向（第２方向）、Ｄ３…第１移動方向（第１方向）、Ｄ４…第２移動方向（第３方向）。

Claims (17)

1. フィルムを照明する照明部と、前記照明部で照明された前記フィルムからの光を受けて欠陥判定のための検査画像を取得する撮像部とを有する検査光学系と、
   フィルムを移動させる移動機構と、
   を備え、
   前記検査光学系は、前記移動機構と独立して固定配置されており、
   前記移動機構は、前記検査光学系に対し、前記フィルムを前記フィルムの基準方向と異なる第１方向に移動させる機構を有し、
   前記検査光学系の撮像領域は、前記第１方向と異なる第２方向に延在しており、
   前記基準方向、前記第１方向及び前記第２方向は、前記フィルムの厚さ方向に直交しており、
   前記基準方向と前記第１方向との間の第１角度は、１５°以上１６５°以下であり、
   前記第１方向と前記第２方向との間の第２角度は、１５°以上１６５°以下であり、
   前記基準方向と前記第２方向とは非直交である、
   検査装置。
2. 前記検査光学系は、散乱光学系である、
   請求項１に記載の検査装置。
3. 前記移動機構は、前記検査光学系に対して前記フィルムを前記第１方向とは異なるとともに前記厚さ方向に直交する第３方向に移動させる機構を更に有し、
   前記第１方向と前記第３方向との間の第３角度は、１５°以上１６５°以下である、
   請求項１又は２に記載の検査装置。
4. フィルムを照明する照明部と、前記照明部で照明された前記フィルムからの光を受けて欠陥判定のための検査画像を取得する撮像部とを有する検査光学系と、
   フィルムまたは検査光学系を移動させる移動機構と、
   を備え、
   前記移動機構は、前記フィルム及び前記検査光学系のうちの一方を他方に対し、前記フィルムの基準方向と異なる第１方向に移動させる機構を有し、
   前記検査光学系の撮像領域は、前記第１方向と異なる第２方向に延在しており、
   前記基準方向、前記第１方向及び前記第２方向は、前記フィルムの厚さ方向に直交しており、
   前記基準方向と前記第１方向との間の第１角度は、１５°以上９０°未満または９０°より大きく１６５°以下であり、
   前記第１方向と前記第２方向との間の第２角度は、１５°以上１６５°以下であり、
   前記基準方向と前記第２方向とは非直交である、
   検査装置。
5. 前記移動機構は、前記フィルム及び前記検査光学系のうちの一方を他方に対し、前記第１方向とは異なるとともに前記厚さ方向に直交する第３方向に移動させる機構を更に有し、
   前記第１方向と前記第３方向との間の第３角度は、１５°以上１６５°以下である、
   請求項４に記載の検査装置。
6. 前記フィルムを前記基準方向に搬送する搬送機構を有し、
   前記移動機構は、前記搬送機構を移動させることによって、前記フィルムを移動させる、
   請求項１〜５の何れか１項に記載の検査装置。
7. 前記フィルムは長尺のフィルムであり、
   前記基準方向は、前記フィルムの長手方向である、
   請求項１〜６の何れか１項に記載の検査装置。
8. 前記フィルムは、一方向に延伸された延伸フィルムを含み、
   前記基準方向は、前記延伸フィルムの延伸方向である、
   請求項１〜７の何れか１項に記載の検査装置。
9. 欠陥判定のためにフィルムの検査画像を取得することによって前記フィルムを検査する検査方法であって、
   検査光学系が有する照明部で前記フィルムを照明しながら、前記検査光学系が有する撮像部で前記フィルムを撮像することによって、欠陥判定のための検査画像を取得する検査画像取得工程を備え、
   前記検査画像取得工程では、前記フィルムの基準方向とは異なる第１方向に、前記検査光学系に対して前記フィルムを移動させながら前記検査画像を取得し、
   前記検査光学系の撮像領域は、前記第１方向と異なる第２方向に延在しており、
   前記基準方向、前記第１方向及び前記第２方向は、前記フィルムの厚さ方向に直交しており、
   前記基準方向と前記第１方向との間の第１角度は、１５°以上１６５°以下であり、
   前記第１方向と前記第２方向との間の第２角度は、１５°以上１６５°以下であり、
   前記基準方向と前記第２方向とは非直交である、
   検査方法。
10. 前記検査光学系は、散乱光学系である、
    請求項９に記載の検査方法。
11. 欠陥判定のためにフィルムの検査画像を取得することによって前記フィルムを検査する検査方法であって、
    検査光学系が有する照明部で前記フィルムを照明しながら、前記検査光学系が有する撮像部で前記フィルムを撮像することによって、欠陥判定のための検査画像を取得する検査画像取得工程を備え、
    前記検査画像取得工程では、前記フィルムの基準方向と異なる第１方向に、前記フィルム及び前記検査光学系のうちの一方を他方に対して移動させながら、検査画像を取得し、
    前記検査光学系の撮像領域は、前記第１方向と異なる第２方向に延在しており、
    前記基準方向、前記第１方向及び前記第２方向は、前記フィルムの厚さ方向に直交しており、
    前記基準方向と前記第１方向との間の第１角度は、１５°以上９０°未満または９０°より大きく１６５°以下であり、
    前記第１方向と前記第２方向との間の第２角度は、１５°以上１６５°以下であり、
    前記基準方向と前記第２方向とは非直交である、
    検査方法。
12. 前記検査画像取得工程による前記フィルムの検査範囲を変更する範囲変更工程を有し、
    前記フィルムにおいて予め設定している全検査範囲の前記検査画像を取得するまで、検査画像取得工程と前記範囲変更工程とを交互に実施する、
    請求項９〜１１の何れか１項に記載の検査方法。
13. 前記範囲変更工程では、前記フィルムを前記第１方向と異なるとともに前記厚さ方向に直交する第３方向に移動させることによって前記検査範囲を変更する、
    請求項１２に記載の検査方法。
14. 前記範囲変更工程では、前記フィルムを前記基準方向に搬送することによって前記検査範囲を変更する、
    請求項１２に記載の検査方法。
15. 前記フィルムは長尺のフィルムであり、
    前記基準方向は、前記フィルムの長手方向である、
    請求項９〜１４の何れか１項に記載の検査方法。
16. 前記フィルムは、一方向に延伸された延伸フィルムを含み、
    前記基準方向は、前記延伸フィルムの延伸方向である、
    請求項９〜１５の何れか１項に記載の検査方法。
17. 請求項９〜１６の何れか１項に記載の検査方法で前記フィルムを検査する工程を有する、フィルムの製造方法。