JP2013007689A - 欠陥検査装置及び方法 - Google Patents
欠陥検査装置及び方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013007689A JP2013007689A JP2011141426A JP2011141426A JP2013007689A JP 2013007689 A JP2013007689 A JP 2013007689A JP 2011141426 A JP2011141426 A JP 2011141426A JP 2011141426 A JP2011141426 A JP 2011141426A JP 2013007689 A JP2013007689 A JP 2013007689A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defect
- image
- defect image
- laminated film
- pseudo
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/21—Polarisation-affecting properties
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/8422—Investigating thin films, e.g. matrix isolation method
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
- G01N21/896—Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1306—Details
- G02F1/1309—Repairing; Testing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
【解決手段】偏光板13とセパレータ15を有する積層フィルム9上に、偏光フィルタ19を配置する。偏光フィルタ19の偏光軸を、偏光板13の偏光軸と略直交させる。積層フィルム9の直下にライン光源17を配置し、偏光フィルタ19の直上にラインセンサカメラ20を配置する。ライン光源17から積層フィルム9に向けて検査光24を照射する。積層フィルム9及び偏光フィルタ19を透過した検査光24をラインセンサカメラ20で撮像する。撮像により得られた画像データ41から、輝度が高くなる高輝度領域40を欠陥画像データとして抽出する。欠陥画像データが2つの高輝度領域40が並ぶ特定欠陥画像データである場合に、この欠陥画像データに対応するフィルム欠陥部分を、擬似欠陥であると判定する。
【選択図】図1
Description
11 欠陥検査装置
13 偏光板
15 セパレータ
17 ライン光源
19 偏光フィルタ
20 ラインセンサカメラ
21 マーキング装置
22 装置本体
24 検査光
28 CPU
33 欠陥画像抽出回路
34 特徴量抽出回路
35 擬似欠陥判定回路
36 実害欠陥判定回路
40,66 高輝度領域
42a,42b 欠陥画像データ
46(1)〜46(N) 第1判定回路〜第N判定回路
54(1)〜54(N) 第1しきい値〜第Nしきい値
61 擬似欠陥分類基準データ
Claims (9)
- 偏光板とフィルムとを積層してなる多層の積層フィルムの表裏面の一方側に配置され、前記積層フィルムに対して光を照射する光源と、
前記表裏面の他方側に配置され、前記表裏面に平行でかつ前記偏光板の第1偏光軸に略直交する第2偏光軸を有し、前記積層フィルムの正常部分を透過した前記光を遮断する偏光フィルタと、
前記偏光フィルタの前記積層フィルムに対向する面側とは反対面側に配置され、前記偏光フィルタを透過した光を撮影する撮影手段と、
前記撮影手段により取得された前記偏光フィルタの透過光像から、前記積層フィルムの欠陥部分及び前記偏光フィルタを透過した前記光によって輝度が高くなる高輝度領域を欠陥画像として抽出する欠陥画像抽出手段と、
前記欠陥画像抽出手段が抽出した前記欠陥画像が、2つの高輝度領域が並んでいる特定欠陥画像である場合に、当該欠陥画像に対応する前記欠陥部分を前記偏光板の欠陥ではない擬似欠陥であると判定する擬似欠陥判定手段と、
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記欠陥画像抽出手段が抽出した前記欠陥画像から、前記欠陥画像の輝度の平均値である平均輝度と、前記欠陥画像の中心位置における輝度である中心輝度とを少なくとも含む複数種類の特徴量を抽出する特徴量抽出手段を備え、
前記擬似欠陥判定手段は、前記特徴量抽出手段の抽出結果を、前記特定欠陥画像の特徴に応じて予め定められた各前記特徴量のしきい値と比較することで、前記欠陥画像が前記特定欠陥画像であるか否かを判定することを特徴とする請求項1記載の欠陥検査装置。 - 前記特徴量には、前記平均輝度と前記中心輝度との差が含まれることを特徴とする請求項2記載の欠陥検査装置。
- 前記特定欠陥画像は、N(Nは2以上の自然数)種類の第1〜第N擬似欠陥にそれぞれ対応した第1〜第N特定欠陥画像からなり、前記しきい値は、前記第1〜第N特定欠陥画像の特徴に応じてそれぞれ個別に定められた第1〜第Nしきい値からなるものであり、
前記擬似欠陥判定手段に設けられ、前記特徴量抽出手段の抽出結果を、第1〜第Nしきい値とそれぞれ個別に比較することで、前記欠陥画像が前記第1〜第N特定欠陥画像であるか否かを個別に判定する第1〜第N判定手段と、
前記第1〜第N判定手段による判定処理を所定の順番で実行させるとともに、第M[Mは(N−1)以下の自然数]番目の判定処理で前記欠陥部分が前記擬似欠陥であると判定された場合には、第(M+1)番目以降の判定処理を中止させる判定制御手段と、を備えることを特徴とする請求項2または3記載の欠陥検査装置。 - 前記特定欠陥画像には、略十字形状の前記高輝度領域を有するものが含まれることを特徴とする請求項1ないし4いずれか1項記載の欠陥検査装置。
- 前記フィルムは、前記偏光板の表面上に形成された粘着層上に剥離自在に貼り付けられたセパレータであることを特徴とする請求項1ないし5記載の欠陥検査装置。
- 前記擬似欠陥判定手段が前記特定欠陥画像であると判定しなかった前記欠陥画像に対応をする前記欠陥部分を、前記偏光板の欠陥である実害欠陥と判定する実害欠陥判定手段を備えることを特徴する請求項1ないし6いずれか1項記載の欠陥検査装置。
- 前記積層フィルムの前記実害欠陥と判定された部分に、前記実害欠陥を示すマーキングを行うマーキング手段を備えることを特徴とする請求項7記載の欠陥検査装置。
- 偏光板とフィルムとを積層してなる多層の積層フィルムの表裏面の一方側に配置された光源から、前記積層フィルムに対して光を照射する照射ステップと、
前記表裏面の他方側に配置され、前記表裏面に平行でかつ前記偏光板の第1偏光軸に略直交する第2偏光軸を有する偏光フィルタにより、前記積層フィルムの正常部分を透過した前記光を遮断する遮断ステップと、
前記偏光フィルタの前記積層フィルムに対向する面側とは反対面側に配置された撮影手段により、前記偏光フィルタを透過した光を撮影する撮影ステップと、
前記撮影ステップで取得された偏光フィルタの透過光像から、前記積層フィルムの欠陥部分及び前記偏光フィルタを透過した前記光によって輝度が高くなる高輝度領域を欠陥画像として抽出する欠陥画像抽出ステップと、
前記欠陥画像抽出ステップで抽出した前記欠陥画像が、2つの高輝度領域が並んでいる特定欠陥画像である場合に、当該欠陥画像に対応する前記欠陥部分を前記偏光板の欠陥ではない擬似欠陥であると判定する擬似欠陥判定ステップと、
を有することを特徴とする欠陥検査方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011141426A JP5274622B2 (ja) | 2011-06-27 | 2011-06-27 | 欠陥検査装置及び方法 |
KR1020120066124A KR101358481B1 (ko) | 2011-06-27 | 2012-06-20 | 결함 검사 장치 및 방법 |
TW101122729A TWI418779B (zh) | 2011-06-27 | 2012-06-26 | 缺陷檢查裝置及方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011141426A JP5274622B2 (ja) | 2011-06-27 | 2011-06-27 | 欠陥検査装置及び方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013007689A true JP2013007689A (ja) | 2013-01-10 |
JP5274622B2 JP5274622B2 (ja) | 2013-08-28 |
Family
ID=47675148
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011141426A Expired - Fee Related JP5274622B2 (ja) | 2011-06-27 | 2011-06-27 | 欠陥検査装置及び方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5274622B2 (ja) |
KR (1) | KR101358481B1 (ja) |
TW (1) | TWI418779B (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014196476A1 (ja) * | 2013-06-04 | 2014-12-11 | 住友化学株式会社 | 欠陥検査システム及びフィルムの製造装置 |
WO2015025703A1 (ja) * | 2013-08-22 | 2015-02-26 | 住友化学株式会社 | 欠陥検査装置、光学部材の製造システム及び光学表示デバイスの生産システム |
CN104655648A (zh) * | 2015-03-18 | 2015-05-27 | 常州工学院 | 一种用于缺陷检测的硬件移植装置和软件移植方法 |
JP2015160282A (ja) * | 2014-02-27 | 2015-09-07 | 中央発條株式会社 | カバレージ測定方法及びカバレージ測定装置 |
WO2016194874A1 (ja) * | 2015-06-05 | 2016-12-08 | 住友化学株式会社 | 光透過性フィルムの欠陥検査方法、直線偏光子フィルムの製造方法及び偏光板の製造方法 |
JP2016212274A (ja) * | 2015-05-11 | 2016-12-15 | 株式会社クラレ | 偏光フィルムの検査方法 |
JP2017068244A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 日東電工株式会社 | 偏光板の検査方法および検査装置 |
CN107764835A (zh) * | 2017-09-30 | 2018-03-06 | 长沙派数控股份有限公司 | 一种电子产品玻璃盖板检测装置及方法 |
CN110132981A (zh) * | 2019-05-21 | 2019-08-16 | 东莞市瑞图新智科技有限公司 | 一种滤光片中片外观和尺寸一体化检测设备及检测方法 |
JP2020126255A (ja) * | 2015-09-30 | 2020-08-20 | 日東電工株式会社 | 偏光子の検査方法および偏光板の製造方法 |
WO2020208981A1 (ja) * | 2019-04-11 | 2020-10-15 | 住友化学株式会社 | 検査装置、検査方法、及び、フィルムの製造方法 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI487895B (zh) * | 2013-09-10 | 2015-06-11 | Benq Materials Corp | 隔離膜的針孔瑕疵檢測系統及其檢測方法 |
KR101697071B1 (ko) * | 2014-04-18 | 2017-01-17 | 동우 화인켐 주식회사 | 광학 필름의 결함 판별 방법 |
KR101702841B1 (ko) * | 2014-09-01 | 2017-02-06 | 동우 화인켐 주식회사 | 편광 필름의 결함 모니터링 방법 |
CN105842885B (zh) * | 2016-03-21 | 2018-11-27 | 凌云光技术集团有限责任公司 | 一种液晶屏缺陷分层定位方法及装置 |
JP6796704B2 (ja) * | 2017-02-28 | 2020-12-09 | 東洋ガラス株式会社 | 容器の検査装置及び容器の検査方法 |
KR102475056B1 (ko) * | 2017-03-03 | 2022-12-06 | 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤 | 결함 마킹 방법 및 결함 마킹 장치, 원반의 제조 방법 및 원반, 그리고 시트의 제조 방법 및 시트 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1130591A (ja) * | 1997-07-11 | 1999-02-02 | Asahi Chem Ind Co Ltd | フィルムシート欠陥検査方法及びフィルムシート欠陥検査装置 |
JP2004198163A (ja) * | 2002-12-17 | 2004-07-15 | Sumitomo Chem Co Ltd | 保護フィルム粘着偏光板の欠陥検査方法 |
JP2006275843A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Nitto Denko Corp | 配線回路基板用絶縁フィルムの異物検査方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001349839A (ja) * | 2000-06-07 | 2001-12-21 | Sumitomo Chem Co Ltd | 偏光フィルムの欠陥検査方法 |
JP2003344302A (ja) * | 2002-05-31 | 2003-12-03 | Sumitomo Chem Co Ltd | 偏光フィルムの検査法および検査装置 |
JP4396160B2 (ja) * | 2003-07-31 | 2010-01-13 | 住友化学株式会社 | 透明性フィルムの異物検査方法 |
JP5051874B2 (ja) * | 2006-01-11 | 2012-10-17 | 日東電工株式会社 | 積層フィルムの製造方法、積層フィルムの欠陥検出方法、積層フィルムの欠陥検出装置 |
JP4842034B2 (ja) * | 2006-07-12 | 2011-12-21 | 株式会社日本マイクロニクス | 液晶パネルの検査方法および画像処理装置 |
JP5248052B2 (ja) * | 2006-10-11 | 2013-07-31 | 日東電工株式会社 | 光学フィルムを有するシート状製品の欠点検査装置、その検査データ処理装置、その切断装置及びその製造システム |
-
2011
- 2011-06-27 JP JP2011141426A patent/JP5274622B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-06-20 KR KR1020120066124A patent/KR101358481B1/ko active IP Right Grant
- 2012-06-26 TW TW101122729A patent/TWI418779B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1130591A (ja) * | 1997-07-11 | 1999-02-02 | Asahi Chem Ind Co Ltd | フィルムシート欠陥検査方法及びフィルムシート欠陥検査装置 |
JP2004198163A (ja) * | 2002-12-17 | 2004-07-15 | Sumitomo Chem Co Ltd | 保護フィルム粘着偏光板の欠陥検査方法 |
JP2006275843A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Nitto Denko Corp | 配線回路基板用絶縁フィルムの異物検査方法 |
Cited By (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014196476A1 (ja) * | 2013-06-04 | 2014-12-11 | 住友化学株式会社 | 欠陥検査システム及びフィルムの製造装置 |
JP2014235123A (ja) * | 2013-06-04 | 2014-12-15 | 住友化学株式会社 | 欠陥検査システム及びフィルムの製造装置 |
CN105308441A (zh) * | 2013-06-04 | 2016-02-03 | 住友化学株式会社 | 缺陷检查系统以及膜的制造装置 |
TWI629466B (zh) * | 2013-06-04 | 2018-07-11 | 日商住友化學股份有限公司 | 缺陷檢查系統及薄膜製造裝置 |
WO2015025703A1 (ja) * | 2013-08-22 | 2015-02-26 | 住友化学株式会社 | 欠陥検査装置、光学部材の製造システム及び光学表示デバイスの生産システム |
JP2015040782A (ja) * | 2013-08-22 | 2015-03-02 | 住友化学株式会社 | 欠陥検査装置、光学部材の製造システム及び光学表示デバイスの生産システム |
JP2015160282A (ja) * | 2014-02-27 | 2015-09-07 | 中央発條株式会社 | カバレージ測定方法及びカバレージ測定装置 |
CN104655648A (zh) * | 2015-03-18 | 2015-05-27 | 常州工学院 | 一种用于缺陷检测的硬件移植装置和软件移植方法 |
JP2016212274A (ja) * | 2015-05-11 | 2016-12-15 | 株式会社クラレ | 偏光フィルムの検査方法 |
JPWO2016194874A1 (ja) * | 2015-06-05 | 2018-03-29 | 住友化学株式会社 | 光透過性フィルムの欠陥検査方法、直線偏光子フィルムの製造方法及び偏光板の製造方法 |
WO2016194874A1 (ja) * | 2015-06-05 | 2016-12-08 | 住友化学株式会社 | 光透過性フィルムの欠陥検査方法、直線偏光子フィルムの製造方法及び偏光板の製造方法 |
CN107615051A (zh) * | 2015-06-05 | 2018-01-19 | 住友化学株式会社 | 光透射性膜的缺陷检查方法、直线偏振片膜的制造方法以及偏振板的制造方法 |
KR20180013949A (ko) * | 2015-06-05 | 2018-02-07 | 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤 | 광투과성 필름의 결함 검사 방법, 직선 편광자 필름의 제조 방법 및 편광판의 제조 방법 |
KR102513214B1 (ko) | 2015-06-05 | 2023-03-22 | 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤 | 광투과성 필름의 결함 검사 방법, 직선 편광자 필름의 제조 방법 및 편광판의 제조 방법 |
TWI708054B (zh) * | 2015-06-05 | 2020-10-21 | 日商住友化學股份有限公司 | 透光性膜之缺陷檢查方法、直線偏光單元膜之製造方法,及偏光板之製造方法 |
JP2021012393A (ja) * | 2015-09-30 | 2021-02-04 | 日東電工株式会社 | 偏光板の検査方法および検査装置 |
JP2020126255A (ja) * | 2015-09-30 | 2020-08-20 | 日東電工株式会社 | 偏光子の検査方法および偏光板の製造方法 |
JP2017068244A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 日東電工株式会社 | 偏光板の検査方法および検査装置 |
JP2021012392A (ja) * | 2015-09-30 | 2021-02-04 | 日東電工株式会社 | 偏光板の検査方法および検査装置 |
KR20170038727A (ko) * | 2015-09-30 | 2017-04-07 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 편광판의 검사 방법 및 검사 장치 |
CN112782798A (zh) * | 2015-09-30 | 2021-05-11 | 日东电工株式会社 | 偏振板的制造方法 |
CN112817083A (zh) * | 2015-09-30 | 2021-05-18 | 日东电工株式会社 | 偏振板的制造方法 |
KR102386369B1 (ko) | 2015-09-30 | 2022-04-13 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 편광판의 검사 방법 및 검사 장치 |
CN107764835A (zh) * | 2017-09-30 | 2018-03-06 | 长沙派数控股份有限公司 | 一种电子产品玻璃盖板检测装置及方法 |
WO2020208981A1 (ja) * | 2019-04-11 | 2020-10-15 | 住友化学株式会社 | 検査装置、検査方法、及び、フィルムの製造方法 |
JP2020173188A (ja) * | 2019-04-11 | 2020-10-22 | 住友化学株式会社 | 検査装置、検査方法、及び、フィルムの製造方法 |
CN113646624A (zh) * | 2019-04-11 | 2021-11-12 | 住友化学株式会社 | 检查装置、检查方法以及膜的制造方法 |
CN110132981A (zh) * | 2019-05-21 | 2019-08-16 | 东莞市瑞图新智科技有限公司 | 一种滤光片中片外观和尺寸一体化检测设备及检测方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20130001683A (ko) | 2013-01-04 |
KR101358481B1 (ko) | 2014-02-05 |
JP5274622B2 (ja) | 2013-08-28 |
TWI418779B (zh) | 2013-12-11 |
TW201300766A (zh) | 2013-01-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5274622B2 (ja) | 欠陥検査装置及び方法 | |
JP5825278B2 (ja) | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 | |
WO2010024082A1 (ja) | 欠陥検査システムおよび欠陥検査方法 | |
JP2017215277A (ja) | 欠陥検査システム、フィルム製造装置及び欠陥検査方法 | |
CN107003254A (zh) | 用于工件中的缺陷检测的设备、方法及计算机程序产品 | |
US20140286563A1 (en) | Accurate detection of low-contrast defects in transparent material | |
JP2009244063A (ja) | 偏光フィルムの仕分けシステムおよび仕分け方法 | |
JP6801142B1 (ja) | 偏光板の検査方法および検査装置 | |
TW201918702A (zh) | 缺陷檢查裝置、缺陷檢查方法、圓偏光板或橢圓偏光板之製造方法及相位差板之製造方法 | |
TW200307117A (en) | Method for inspecting polarizing film and apparatus for the method | |
TWI502186B (zh) | A bright spot detection device for filtering foreign matter noise and its method | |
US20120133761A1 (en) | Uneven area inspection system | |
JP2008026060A (ja) | 絶縁皮膜被覆帯状体の疵検査装置 | |
JP2015004674A (ja) | 光学フィルムの欠陥判別方法 | |
JP2008096314A (ja) | マクロ検査装置 | |
JP3977503B2 (ja) | フィルム検査方法およびそれを用いたフィルム検査装置 | |
CN101604080B (zh) | 透镜基板的检测方法及其应用于显示装置的制造方法 | |
JP2010223598A (ja) | シート状物の欠陥検査装置 | |
JP2011141285A5 (ja) | ||
JP2001124538A (ja) | 物体表面の欠陥検査方法および欠陥検査装置 | |
KR101188404B1 (ko) | 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법 | |
KR102632190B1 (ko) | 편광 필름의 촬상 장치, 및 검사 장치, 그리고 검사 방법 | |
JP2005351825A (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP2016125817A (ja) | 検査システム、検査方法 | |
KR100971081B1 (ko) | 편광필름의 검사방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130117 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130416 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130424 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130514 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5274622 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |