KR20130001683A - 결함 검사 장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

편광판 (13) 과 세퍼레이터 (15) 를 가지는 적층 필름 (9) 상에, 편광 필터 (19) 를 배치한다. 편광 필터 (19) 의 편광축을, 편광판 (13) 의 편광축과 대략 직교시킨다. 적층 필름 (9) 의 바로 아래에 라인 광원 (17) 을 배치하고, 편광 필터 (19) 의 바로 위에 라인 센서 카메라 (20) 를 배치한다. 라인 광원 (17) 으로부터 적층 필름 (9) 을 향해 검사광 (24) 을 조사한다. 적층 필름 (9) 및 편광 필터 (19) 를 투과한 검사광 (24) 을 라인 센서 카메라 (20) 로 수광하여, 적층 필름 (9) 의 조사 영역을 촬영한다. 촬영에 의해 얻어진 화상 데이터 (41) 로부터, 휘도가 높아지는 고휘도 영역 (40) 을 결함 화상 데이터로서 추출한다. 결함 화상 데이터가 2 개의 고휘도 영역 (40) 이 배열된 특정 결함 화상 데이터인 경우, 이 결함 화상 데이터에 대응하는 필름 결함 부분을, 유사 결함이라고 판정한다.

Description

결함 검사 장치 및 방법{DEVICE AND APPARATUS FOR INSPECTION OF DEFECTS}

본 발명은, 편광판과 필름을 적층하여 이루어진 적층 필름의 결함을 검사하는 결함 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.

액정 디스플레이에는, 각종 광학 기능성 필름이 사용되고 있다. 이 광학 기능성 필름으로서 필름 형상의 편광판이 알려져 있다. 이 편광판의 일면에는, 편광판을 액정 디스플레이의 유리 기판 등에 접합하기 위한 점착층이 형성되어 있다. 이 점착층은, 유리 기판 등에 접합되기 전까지는 세퍼레이터로 덮여 있다. 이 때문에, 예를 들면 일본 공개특허공보 2009－069142 호에 기재되어 있는 바와 같이, 액정 디스플레이의 제조 공정에는, 편광판과 세퍼레이터를 적층하여 이루어진 적층 필름의 제조 공정이 포함된다.

이러한 적층 필름에는, 그 제조 공정에 있어서 필름 표면 또는 필름 내부에 이물이 부착되거나, 오염이나 흠집이 생기는 등의 각 결함이 발생하는 경우가 있다. 이 때문에, 적층 필름의 제조 공정에서는, 결함 검사를 행한다. 이 결함 검사는, 광원으로부터 적층 필름에 대해서 빛을 조사하고, 적층 필름의 투과광 또는 반사광을 카메라로 촬영하여, 이 촬영에 의해 얻어진 화상에 근거하여 행한다.

일본 공개특허공보 2007－213016 호에는, 적층 필름과 카메라와의 사이에 편광 필터를 개재시킨 상태에서, 적층 필름의 투과광을 촬영하는 결함 검사 장치가 개시되어 있다. 편광 필터는, 그 편광축이 편광판의 편광축과 직교하도록, 이른바 크로스 니콜이 되도록 배치되어 있다. 이것에 의해, 적층 필름에 결함이 존재하지 않으면, 적층 필름의 투과광의 진동 방향은 편광 필터의 편광축과 직교하므로, 이 투과광은 편광 필터에 의해 차단된다. 이 때문에, 투과광에 의해 얻어진 상 (투과상) 은 전면 흑화상이 된다. 반대로, 적층 필름에 결함이 존재하는 경우는, 그 결함 부분을 투과한 투과광의 편광 상태가 바뀌는 것에 의해, 이 결함 부분의 투과광은 편광 필름을 투과한다. 이 때문에, 투과상의 결함 부분에 대응하는 부분의 휘도가 높아진다. 이것에 의해, 적층 필름의 결함의 유무를 검사할 수 있다.

일본 특허공개공보 평 6－160295 호에는, 가늘고 길게 뻗은 결함부의 화상을 해석하여, 이 결함부의 종류를 판정하는 흠집 검사 방법이 개시되어 있다. 이 일본 특허공개공보 평 6－160295 호의 흠집 검사 방법에서는, 결함부의 화상의 2차 모멘트로부터 결함부의 형상과 방향성을 구하는 것에 의해, 결함부가 흠집인지 오염인지를 판정한다.

일본 특허공개공보 평 7－318508 호에는, 적층 필름 등의 피검사체의 반사광을 수광하는 것에 의해 촬영하여 얻어진 화상으로부터 각종 특징량을 추출하고, 이 특징량을 근거로 결함 검사를 행하는 결함 검사 장치가 개시되어 있다. 이 결함 검사 장치에서는, 각 특징량을 근거로 중회귀식을 계산하여 예측 특성치를 얻음과 함께, 판별 함수로부터 판별 스코어를 계산하여, 이들 결과에 근거하여 결함의 유무를 판정한다.

적층 필름의 세퍼레이터는, 액정 디스플레이의 제조 공정에 있어서 최종적으로 편광판으로부터 박리된다. 이 때문에, 세퍼레이터 자체에 결함이 존재하고 있어도 점착층의 보호 기능이 손상되어 있지 않으면, 이 세퍼레이터의 결함을 본래는 결함으로서 취급할 필요는 없다. 그러나, 일본 공개특허공보 2007－213016호 및 일본 특허공개공보 평 6－160295 호의 검사 방법에서는, 편광판의 결함과 세퍼레이터의 결함을 구별할 수 없다. 이 때문에, 검사원 등이 결함의 발생 개소를 확인하여, 편광판의 결함인 실해 결함인지, 혹은 세퍼레이터의 결함인 유사 결함인지를 판정할 필요가 있다.

일본 특허공개공보 평 7－318508 호의 결함 검사 장치에서는, 촬영 화상으로부터 추출하는 특징량의 종류를 적절히 설정함으로써, 실해 결함과 유사 결함을 판별하는 것은 불가능하지 않다. 그러나, 촬영 화상의 전부에 대해서 특징량의 추출 처리, 중회귀식 및 판별 함수에 의한 복잡한 연산 처리를 행할 필요가 있다. 이 때문에, 연산량이 방대해져, 처리에 시간이 걸린다는 문제가 생긴다. 그 결과, 일본 특허공개공보 평 7－318508 호의 결함 검사 장치를, 반송 라인을 주행중의 적층 필름의 결함 검사에 이용하는 것은 매우 곤란하다.

본 발명은, 적층 필름의 유사 결함의 판정을 간단히 실행할 수 있는 결함 검사 장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 결함 검사 장치는, 광원과, 편광 필터와, 촬영부와, 결함 화상 추출부와, 유사 결함 판정부를 구비한다. 광원은, 적층 필름에 대해서 빛을 조사한다. 광원은, 적층 필름의 표리면의 일방측에 배치된다. 적층 필름은, 편광판과 편광판에 적층된 베이스 필름을 가진다. 편광 필터는, 적층 필름의 표리면의 타방측에 배치된다. 편광 필터는, 편광판의 제 1 편광축에 대략 직교하고 편광판의 표리면에 평행한 제 2 편광축을 가진다. 편광 필터는, 적층 필름의 정상 부분을 투과한 상기 빛을 차단한다. 편광 필터는, 적층 필름의 결함 부분을 투과한 빛을 투과한다. 촬영부는, 편광 필터의 적층 필름에 대향하는 면측과는 반대면측에 배치된다. 촬영부는, 편광 필터를 투과한 빛을 수광하여 적층 필름의 상기 빛의 조사 영역을 촬영한다. 결함 화상 추출부는, 촬영부에 의해 취득된 투과상으로부터 고휘도 영역을 결함 화상으로서 추출한다. 유사 결함 판정부는, 특정 결함 화상에 대응하는 결함 부분을 유사 결함이라고 판정한다. 판정은 결함 화상이 특정 결함 화상인 경우에 행해진다. 특정 결함 화상은, 2 개의 고휘도 영역이 배열된 결함 화상이다. 유사 결함은, 편광판의 결함이 아닌 결함이다.

결함 검사 장치는, 결함 화상으로부터 복수 종류의 특징량을 추출하는 특징량 추출부를 구비하는 것이 바람직하다. 복수 종류의 특징량은 평균 휘도와 중심 휘도를 포함한다. 평균 휘도는, 결함 화상의 휘도의 평균치이다. 중심 휘도는, 결함 화상의 중심 위치에 있어서의 휘도이다. 유사 결함 판정부는, 특징량 추출부의 추출 결과를 각 특징량의 임계치와 비교하는 것에 의해 결함 화상이 특정 결함 화상인지 아닌지를 판정한다. 임계치는 특정 결함 화상의 특징에 따라 미리 정해진다. 특징량에는, 평균 휘도와 중심 휘도와의 차가 포함되는 것이 보다 바람직하다.

결함 검사 장치는, 제 1 ~ 제 N 판정부와, 판정 제어부를 더욱 구비하는 것이 바람직하다. 제 1 ~ 제 N 판정부는, 결함 화상이 제 1 ~ 제 N 특정 결함 화상인지 아닌지를 개별적으로 판정한다. 제 1 ~ 제 N 판정부는, 유사 결함 판정부에 형성된다. 제 1 ~ 제 N 판정부는, 특징량 추출부의 추출 결과를 제 1 ~ 제 N 임계치와 각각 개별적으로 비교함으로써 판정을 행한다. 특정 결함 화상은, N (N 은 2 이상의 자연수) 종류의 제 1 ~ 제 N 유사 결함에 각각 대응한 제 1 ~ 제 N 특정 결함 화상으로 이루어진다. 임계치는, 제 1 ~ 제 N 특정 결함 화상의 특징에 따라 각각 개별적으로 정해진 상기 제 1 ~ 제 N 임계치로 이루어진다. 판정 제어부는, 제 1 ~ 제 N 판정부에 의한 판정 처리를 소정의 순번으로 실행시킨다. 판정 제어부는, 제 M［M은 (N－1) 이하의 자연수］번째의 판정 처리에서 결함 부분이 유사 결함이라고 판정된 경우에는 제 (M＋1) 번째 이후의 판정 처리를 중지시킨다.

특정 결함 화상에 대략 십자 형상의 고휘도 영역을 가지는 것이 포함되는 경우가 있다.

베이스 필름은, 편광판의 표면상에 형성된 점착층 상에 박리 가능하게 접합된 세퍼레이터인 경우에도, 본 발명은 확실하게 효과가 있다.

결함 검사 장치는 실해 결함 판정부를 구비하는 것이 바람직하다. 실해 결함 판정부는, 유사 결함 판정부가 특정 결함 화상이라고 판정하지 않은 결함 화상에 대응하는 결함 부분을, 편광판의 결함인 실해 결함으로 판정한다. 결함 검사 장치는 마킹부를 구비하는 것이 보다 바람직하다. 마킹부는, 적층 필름의 상기 실해 결함으로 판정된 부분에, 실해 결함을 나타내는 마킹을 행한다.

본 발명의 결함 검사 방법은, 조사 스텝 (A 스텝) 과, 차단 스텝 (B 스텝) 과, 촬영 스텝 (C 스텝) 과, 결함 화상 추출 스텝 (D 스텝) 과, 유사 결함 판정 스텝 (E 스텝) 을 구비한다. A 스텝은, 광원으로부터 적층 필름에 대해서 빛을 조사한다. 광원은, 적층 필름의 표리면의 일방측에 배치된다. 적층 필름은, 편광판과 베이스 필름을 적층하여 이루어진다. B 스텝은, 편광 필터에 의해 적층 필름의 정상 부분을 투과한 빛을 차단한다. 편광 필터는, 표리면의 타방측에 배치된다. 편광 필터는, 제 2 편광축을 가진다. 상기 제 2 편광축은, 편광판의 제 1 편광축에 대략 직교하고, 표리면에 평행하다. 편광 필터는, 적층 필름의 결함 부분을 투과한 빛을 투과한다. C 스텝은, 편광 필터를 투과한 빛을 수광하여 적층 필름의 빛의 조사 영역을 촬영한다. 수광과 촬영은, 촬영부에 의해 행한다. 촬영부는, 편광 필터의 적층 필름에 대향하는 면측과는 반대면측에 배치된다. D 스텝은, C 스텝에서 취득된 투과상으로부터 고휘도 영역을 결함 화상으로서 추출한다. E 스텝은, 특정 결함 화상에 대응하는 결함 부분을 유사 결함이라고 판정한다. 판정은, 결함 화상이 특정 결함 화상인 경우에 행해진다. 특정 결함 화상은, 2 개의 고휘도 영역이 배열된 결함 화상이다. 유사 결함은, 편광판의 결함이 아닌 결함이다.

본 발명에 의해, 중회귀식 및 판별 함수 등을 이용한 복잡한 연산 처리를 행하는 일 없이 유사 결함의 판정을 간단히 실행할 수 있다. 이것에 의해, 검사 처리에 걸리는 시간을 단축시킬 수 있으므로, 주행중의 적층 필름의 결함 검사가 가능해진다.

상기 목적, 이점은, 첨부하는 도면을 참조하여, 바람직한 실시예의 상세한 설명을 읽는 것에 의해, 당업자가 용이하게 이해할 수 있을 것이다.
도 1 은, 결함 검사 장치의 개략도이다.
도 2 는, 결함 검사 장치의 사시도이다.
도 3 은, 적층 필름의 단면도이다.
도 4 는, 세퍼레이터 내의 이물에 기인하는 적층 필름의 유사 결함을 설명하기 위한 설명도이다.
도 5 는, 유사 결함이 편광판의 성능에 영향을 미치지 않는 것을 설명하기 위한 설명도이다.
도 6 은, 결함 검사 장치의 전기적 구성을 나타낸 블록도이다.
도 7 은, 세퍼레이터 내의 이물에 의해, 편광판 중의 각 분자의 배향 방향에 흐트러짐이 생기는 것을 설명하기 위한 설명도이다.
도 8 은, 2 개의 고휘도 영역이 배열되어 있는 화상 데이터의 설명도이다.
도 9 는, 유사 결함인 "2 점 배열 (1)" 을 설명하기 위한 설명도이다.
도 10 은, 유사 결함인 "2 점 배열 (2)" 를 설명하기 위한 설명도이다.
도 11 은, "2 점 배열 (2)" 의 다른 예를 설명하기 위한 설명도이다.
도 12 는, 제 1 추출 패턴에 의한 결함 화상 데이터의 추출 처리를 설명하기 위한 설명도이다.
도 13 은, 제 2 추출 패턴에 의한 결함 화상 데이터의 추출 처리를 설명하기 위한 설명도이다.
도 14 는, 결함 화상 추출 기준 데이터, 유사 결함 분류용 특징량 데이터, 및 결함 위치 정보 데이터를 설명하기 위한 설명도이다.
도 15 는, 결함 검사 장치에 의한 검사 처리의 흐름을 나타내는 플로우 차트이다.
도 16 은, 실해 결함의 종류를 판정하기 위한 실해 결함 분류용 특징량 데이터의 설명도이다.
도 17 은, 도 7 과는 상이한 편광판 중의 각 분자의 배향 방향의 흐트러짐을 설명하기 위한 설명도이다.
도 18 은, 십자 형상의 고휘도 영역이 포함되는 화상 데이터의 설명도이다.
도 19 는, 2 점 배열 유사 결함과 십자 유사 결함의 종류를 판정 가능한 다른실시 형태의 결함 검사 장치의 전기적 구성을 나타내는 블록도이다.
도 20 은, 세퍼레이터와 편광판과의 사이에 끼워져 있는 이물에 기인하는 적층 필름의 유사 결함을 설명하기 위한 설명도이다.

도 1 및 도 2 에 나타내는 바와 같이, 길이가 긴 적층 필름 (9) 을 제조하는 적층 필름 제조 라인 (10) 에는, 결함 검사 장치 (11) 가 배치되어 있다. 결함 검사 장치 (11) 는, 주행하는 적층 필름 (9) 의 결함을 검사한다. 적층 필름 (9) 의 주행 방향은, 도면 중, 화살표 (Y) 로 나타내고, 이후의 설명에 있어서는 Y방향이라고 칭한다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 검사 대상이 되는 적층 필름 (9) 은, 필름 형상의 편광판 (13) 과, 점착층 (14) 과, 세퍼레이터 (15) 를 구비하고, 두께 방향 (도 1 중의 화살표 (Z)) 으로 이들 편광판 (13) 과 점착층 (14) 과 세퍼레이터 (15) 가 겹치는 적층 구조를 가지고 있다. 세퍼레이터 (15) 는, 편광판 (13) 의 일면에 형성된 점착층 (14) 상에 적층되어 있으며, 박막 형상의 베이스 필름이다. 이와 같이 본 실시 형태에서는, 세퍼레이터 (15) 는, 편광판 (13) 상에 점착층 (14) 을 통해 형성되어 있지만, 점착층 (14) 이 없어도 되고, 즉 편광판 (13) 의 일면 상에 세퍼레이터 (15) 가 밀착하여 형성되어 있어도 된다.

편광판 (13) 은, 예를 들면 폴리비닐알코올 (PVA) 등의 폴리머 중에 각종 유기물을 혼합하여 이루어진 필름을 소정 방향으로 연장함으로써 생성된다. 이것에 의해, 편광판 (13) 중의 각 분자 (M) (도 7 참조) 가 연장 방향을 따라 배향된다. 그 결과, 편광판 (13) 은, 각 분자 (M) 의 배향 방향을 따라 진동하는 편광을 투과시킨다. 여기서, 편광판 (13) 의 편광축 (D1) (도 2 참조) 은 도면 중 Y방향을 따르고 있는 것으로 한다. 편광판 (13) 은, 그 일면에 형성된 점착층 (14) 을 통해 액정 디스플레이의 유리 기판 (도시하지 않음) 등에 접합된다.

세퍼레이터 (15) 는, 점착층 (14) 상에 박리 가능하게 적층되어 있고, 편광판 (13) 이 유리 기판 등에 접합되기 전까지는 점착층 (14) 을 보호한다. 이 세퍼레이터 (15) 는, 편광판 (13) 을 유리 기판 등에 접합할 때 등, 최종적으로는 점착층 (14) 상으로부터 박리된다.

도 1 및 도 2로 돌아와, 결함 검사 장치 (11) 는, 적층 필름 (9) 의 반송 라인의 도중에 배치되어 있다. 이 결함 검사 장치 (11) 는, 라인 광원 (17) 과, 편광 필터 (19) 와, 촬영부인 라인 센서 카메라 (이하, 간단히 카메라라고 한다) (20) 와, 마킹 장치 (21) 와, 결함 검사 장치 본체 (이하, 간단히 장치 본체라고 한다) (22) 를 구비한다.

라인 광원 (17) 및 편광 필터 (19) 는, 각각 적층 필름 (9) 의 폭 방향 (이하, 간단히 필름 폭 방향이라고 한다) 으로 적층 필름 (9) 의 폭보다 길게 뻗은 형상을 가지고 있다. 도면 중, 필름 폭 방향은 화살표 (X) 로 나타낸다. 화살표 (X) 와 화살표 (Y) 는 직교한다.

라인 광원 (17) 은, 적층 필름 (9) 의 표리면의 일면측에 배치되어 있다. 예를 들면, 라인 광원 (17) 을 적층 필름 (9) 의 도 1 및 도 2 에 있어서의 하면측에 배치한다. 라인 광원 (17) 은, 필름 폭 방향을 따라 뻗어 있는 라인 형상의 검사광 (24) 을 적층 필름 (9) 을 향해 조사한다. 또한, 라인 광원 (17) 으로서는, 할로겐 램프, LED 등을 사용할 수 있다. 적층 필름 (9) 은, 표리의 구별이 없어도 되고, 표리면의 일면측이란 양 필름면 중 일방측을 의미하고, 표리면의 타면측이란 양 필름면 중 타방측을 의미한다.

편광 필터 (19) 는, 적층 필름 (9) 의 표리면의 타면측에 배치되어 있다. 예를 들면, 편광 필터 (19) 를 적층 필름 (9) 의 도 1 및 도 2 에 있어서의 상면측에 배치한다. 편광 필터 (19) 는, 보다 구체적으로는 적층 필름 (9) 과 카메라 (20) 의 사이에 배치되어 있다. 편광 필터 (19) 는, 적층 필름 (9) 의 표리면에 평행하고, 또한 편광축 (D1) 에 대해서 대략 직교하는 편광축 (D2) 을 가지고 있다. 또한, 여기서 말하는 "대략 직교" 에는 완전하게 직교하고 있는 경우와 거의 직교하고 있는 경우 (편광축 (D1) 과 편광축 (D2) 이 이루는 각도가 90°에 가까운 값이 되는 경우) 의 양방이 포함된다. 이것에 의해, 편광 필터 (19) 와 편광판 (13) 은, 이른바 크로스 니콜의 관계가 된다.

편광 필터 (19) 는, 적층 필름 (9) 을 투과하여 입사한 검사광 (24) 중, 편광축 (D2) 에 수직인 방향으로 진동하는 편광 성분의 빛을 차단하고, 편광축 (D2) 에 평행한 방향으로 진동하는 편광 성분의 빛은 그대로 투과시킨다. 이것에 의해, 편광 필터 (19) 를 투과한 검사광 (24) 은, 편광축 (D2) 에 평행한 방향으로 진동하는 편광이 된다.

카메라 (20) 는, 편광 필터 (19) 의 적층 필름 (9) 에 대향하는 면측과는 반대면측에서, 또한 적층 필름 (9) 의 폭 방향 중심의 바로 위의 위치에 배치되어 있다. 카메라 (20) 는, 필름 폭 방향으로 1 열로 배열된 복수의 화소로 이루어진 라인 형상의 촬영 영역을 가지고 있다. 이 촬영 영역은, 필름 폭 방향으로 적층 필름 (9) 의 폭보다 길게 연장되어 있다.

카메라 (20) 는, 적층 필름 (9) 및 편광 필터 (19) 를 투과한 검사광 (24) 을 수광하여, 검사광 (24) 이 조사된 적층 필름 (9) 의 라인 형상의 조사 영역을 촬영한다. 카메라 (20) 는, 이 1 라인분의 화상 신호를 장치 본체 (22) 로 출력한다. 이 카메라 (20) 는, 적층 필름 (9) 이 1 라인분 반송될 때마다 촬영과 화상 신호의 출력을 연속하여 실행한다. 이것에 의해, 적층 필름 (9) 의 전체 영역을 투과한 검사광 (24) 을 수광하여 적층 필름 (9) 의 전체 영역의 화상 신호가 얻어진다.

마킹 장치 (21) 는, 적층 필름 (9) 의 반송로 상에 배치되어 있다. 마킹 장치 (21) 는, 라인 광원 (17) 이나 카메라 (20) 등보다 적층 필름 (9) 의 반송 방향 하류측에 배치되어 있다. 마킹 장치 (21) 는, 장치 본체 (22) 의 제어 하에서, 적층 필름 (9) 에 특정의 결함이 발생한 경우, 그 위치를 나타내는 마킹을 적층 필름 (9) 에 행한다.

장치 본체 (22) 는, 카메라 (20) 로부터 입력된 화상 신호에 근거하여, 적층 필름 (9) 에 결함이 발생하고 있는지 아닌지의 결함 검사를 행한다. 또, 장치 본체 (22) 는, 적층 필름 (9) 에 결함이 발생하고 있는 경우에, 이 결함이 세퍼레이터 (15) 에서 발생한 유사 결함인지, 혹은 편광판 (13) 에서 발생한 실해 결함인지를 판정한다.

여기서 유사 결함이란, 예를 들면, 도 4 에 나타내는 바와 같이 세퍼레이터 (15) 의 내부에 존재하는 이물 (26) 에 기인하는 결함이다. 이 경우에는, 이물 (26) 에 의해 편광판 (13) 의 표면에 오목부 (13a) 가 형성되지만, 도 5에 나타내는 바와 같이, 편광판 (13) 으로부터 세퍼레이터 (15) 를 박리한 경우에는 편광판 (13) 에 이물 (26) 은 남지 않는다. 또, 편광판 (13) 의 복원력에 의해 오목부 (13a) 도 없어지므로, 편광판 (13) 의 성능에도 영향을 미치지 않는다. 이 때문에, 유사 결함은, 세퍼레이터 (15) 에 의한 점착층 (14) 이나 편광판 (13) 의 보호라는 기능에 문제가 없으면, 본래는 결함으로서 취급할 필요가 없는 것이다.

실해 결함은, 예를 들면, 편광판 (13) 에 이물이 부착 혹은 매립되는 등의 외관 결함이며, 세퍼레이터 (15) 를 박리한 경우에도 편광판 (13) 에 남는 결함이다. 이 실해 결함은, 편광판 (13) 의 성능에 영향을 미치는 것이므로, 결함으로서 취급할 필요가 있다.

도 6 에 나타내는 바와 같이, 장치 본체 (22) 의 CPU (28) 는, 조작부 (29) 로부터의 제어 신호에 근거하여, 메모리 (30) 로부터 독출한 각종 프로그램이나 데이터를 순서대로 실행함으로써, 장치 본체 (22) 의 각 부를 통괄적으로 제어한다. 메모리 (30) 의 RAM 영역은, CPU (28) 가 처리를 실행하기 위한 워크 메모리나, 각종 데이터의 일시 보관처로서 기능한다. 또, 메모리 (30) 의 ROM 영역에는, 제어용의 각종 프로그램이나 데이터가 격납되어 있다.

　CPU (28) 에는, 버스 (Bu) 를 통해, 조작부 (29), 메모리 (30), 입력 I/F (interface) (31), 화상 처리 회로 (32), 결함 화상 추출 회로 (33), 특징량 추출 회로 (34), 유사 결함 판정 회로 (35), 실해 결함 판정 회로 (36), 결함 위치 검출 회로 (37), 마킹 제어 회로 (38) 등이 접속되어 있다. 조작부 (29) 는, 결함 검사의 개시/정지 조작 등에 이용된다.

입력 I/F (31) 는, 카메라 (20) 와 접속되어 있다. 입력 I/F (31) 는, 카메라 (20) 로부터 순서대로 입력되는 1 라인분의 화상 신호를, 화상 처리 회로 (32) 로 순서대로 출력한다.

화상 처리 회로 (32) 는, 입력 I/F (31) 로부터 입력되는 1 라인분의 화상 신호를 축적하여, 예를 들면 소정 라인수분의 화상 신호가 축적될 때마다, 이들 화상 신호에 근거하여 2차원의 화상 데이터를 생성한다. 이것에 의해, 적층 필름 (9) 을 Y방향으로 복수의 구간으로 나누었을 때의, 각 구간을 각각 투과한 검사광 (24) 을 수광하여, 촬영한 화상 데이터가 생성된다. 화상 처리 회로 (32) 는, 화상 데이터를 메모리 (30) 에 순서대로 격납한다.

화상 데이터는, 적층 필름 (9) 의 정상 부분에 대응하는 영역이 흑화상의 저휘도 영역이 된다. 이것은, 적층 필름 (9) 의 정상 부분을 투과한 검사광 (24) 의 진동 방향이 편광축 (D2) 과 직교하기 때문에, 이 검사광 (24) 이 편광 필터 (19) 에서 차단되기 때문이다.

반대로 화상 데이터는, 적층 필름 (9) 의 결함 부분 (이하, 필름 결함 부분이라고 한다) 에 대응하는 영역은 흑화상이 되지 않고, 즉 휘도가 높은 고휘도 영역이 된다. 이것은, 검사광 (24) 이 필름 결함 부분을 투과할 때 편광 상태가 바뀜으로써, 편광축 (D2) 과 수직인 방향으로 진동하는 직선 편광이 아니게 되어, 검사광 (24) 이 편광 필터 (19) 를 투과하기 때문이다.

이때, 편광 필터 (19) 를 투과하는 검사광 (24) 의 양 (이하, 투과 검사 광량이라고 한다) 은, 필름 결함 부분을 투과한 검사광 (24) 의 편광 상태에 따라 바뀐다. 예를 들면, 검사광 (24) 에 편광축 (D2) 에 평행한 방향으로 진동하는 편광 성분이 많을수록 투과 검사 광량은 많고, 적을수록 투과 검사 광량은 적다. 즉, 검사광 (24) 에 편광축 (D2) 에 평행한 방향으로 진동하는 편광 성분이 많아지는 경우에는 투과 검사 광량이 증가하고, 반대로 적어지는 경우에는 투과 검사 광량은 감소한다. 또한, 필름 결함 부분을 투과한 검사광 (24) 의 편광 상태는, 편광판 (13) 중의 분자 (M) 의 배향 방향에 따라 바뀐다.

예를 들면, 도 4 에 나타낸 이물 (26) 에 의한 유사 결함이 발생한 경우에는, 이 이물 (26) 로부터의 압압을 받아 편광판 (13) 중의 분자 (M) (도 7 참조) 의 배향 방향에 흐트러짐이 생긴다. 구체적으로는, 적층 필름 (9) 을 필름면의 법선 방향으로부터 보았을 때, 이물 (26) 로부터의 압압에 의해, 각 분자 (M) 는 이물 (26) 의 중심을 향해 끌려간다. 도 7 에 나타내는 바와 같이, 이물 (26) 의 중심 부근에 위치하는 분자 (Ma) 는, 이물 (26) 에 의해 편광판 (13) 의 두께 방향으로 압압될 뿐이므로, 분자 (Ma) 의 배향 방향은 편광축 (D1) 에 거의 평행한 방향인 채 변함이 없다.

또, 분자 (Ma) 의 주변에 위치하는 분자 (Mb) 중에서, 이물 (26) 의 중심을 향하여 편광축 (D1) 에 평행한 방향으로 끌려가는 것은, 그대로 평행이동할 뿐으로 배향 방향은 변함이 없다. 한편, 분자 (Mb) 중에서, 이물 (26) 의 중심을 향하여 경사 방향으로 끌려가는 것은, 배향 방향이 이물 (26) 의 중심을 향해 비스듬하게 기운다.

이러한 분자 (M) 의 배향 방향에 흐트러짐이 생기고 있는 개소를 투과한 검사광 (24) 은, 편광축 (D2) 과 수직인 방향으로 진동하는 직선 편광은 아니게 되므로, 편광 필터 (19) 를 투과한다. 그 결과, 이 검사광 (24) 을 수광하여 검사광 (24) 이 조사된 적층 필름 (9) 의 조사 영역을 촬영하면, 도 8에 나타내는 바와 같이, 흑화상 (도면 중의 도트로 표시) 중에 휘도가 높은 2 개의 고휘도 영역 (40) (도면 중의 흰색 부분으로 표시) 이 배열되어 있는 화상 데이터 (투과상) (41) 가 취득된다. 이하, 2 개의 고휘도 영역 (40) 이 나란히 관찰되는 유사 결함을 "2 점 배열 유사 결함" 이라고 한다.

2 점 배열 유사 결함에는, 양 고휘도 영역 (40) 의 휘도, 화소수, 및 간격 등이 상이한 N (N은 2이상의 자연수) 종류가 있고, 각각의 2 점 배열 유사 결함을 "2 점 배열 (1)" "2 점 배열 (2)" …"2 점 배열 (N)" 이라고 한다. 예를 들면, 도 9에 나타내는 바와 같이 "2 점 배열 (1)" 은, 양 고휘도 영역 (40) 이 완전히 분리되어 있다.

도 10 에 나타내는 바와 같이 "2 점 배열 (2)" 는, 육안으로 보아서는 2 개의 고휘도 영역 (40) 이 분리되어 있는 것처럼 보여도 실제로는 양자가 연결되어 있다. 또, 2 점 배열 (2) 에는, 도 11 에 나타내는 바와 같이, 양 고휘도 영역 (40) 의 면적 및 휘도가 커져, 육안으로도 2 개의 고휘도 영역 (40) 이 연결되어 있는 것이 확인 가능한 것도 포함된다.

한편, 실해 결함에는, 편광판 (13) 에 부착되는 구형 혹은 다각형상의 "이물"과, 편광판 (13) 에 부착되어, "이물"보다 가늘고 긴 형상의 "가늘고 긴 이물"과, 편광판 (13) 에 매립되어 있는 섬유 형상의 "보풀"의 적어도 3종류가 있다. 또한, "이물", "가늘고 긴 이물", "보풀" 등의 크기가 소정의 하한 규격치를 밑도는 "이물 (소)" 은, 편광판 (13) 의 성능에 영향을 미치는 것은 아니기 때문에, 실해 결함으로는 판정하지 않는다.

도 6 으로 돌아와, 결함 화상 추출 회로 (33) 는, 메모리 (30) 에 격납된 화상 데이터 (41) 로부터, 미리 정해진 조건에 따라, 필름 결함 부분에 기인하는 고휘도 영역 (40) 을 결함 화상 데이터로서 추출한다. 이 조건이란, 예를 들면, 고휘도 영역 (40) 을 구성하는 각 화소의 휘도치의 하한치나, 화소수의 하한치이다. 이것에 의해, 휘도치가 소정치 이상인 화소가 소정 개수 이상 연결되어 이루어진 고휘도 영역 (40) 이 결함 화상 데이터로서 추출된다. 또, 결함 화상 추출 회로 (33) 는, 제 1 추출 패턴과 제 2 추출 패턴의 2 종류의 추출 패턴으로 결함 화상 데이터의 추출을 행한다.

도 12 에 나타내는 바와 같이, 제 1 추출 패턴에서는, 고휘도 영역 (40) 의 외주를 따르도록 외접 사각형 (43a) 을 설정하고, 이 외접 사각형 (43a) 의 내측을 결함 화상 데이터 (42a) 로서 추출한다. 예를 들면 2 점 배열 유사 결함과 같이 복수의 고휘도 영역 (40) 이 집합되어 있는 경우에는, 이들 고휘도 영역 (40) 의 집합체를 포함한 외접 사각형 (43a) 을 설정하고, 이 외접 사각형 (43a) 의 내측을 결함 화상 데이터 (42a) 로서 추출한다. 또, 3 이상의 고휘도 영역 (40) 이 집합되어 있는 경우에도, 모든 고휘도 영역 (40) 의 집합체를 결함 화상 데이터 (42a) 로서 추출한다.

한편, 고휘도 영역 (40) 이 단일체로 존재하고 있는 경우에는, 이것을 포함한 외접 사각형 (43a) 을 설정하여 결함 화상 데이터 (42a) 의 추출을 행한다. 또한, 외접 사각형 (43a) 의 크기에는 상한이 정해져 있다. 따라서, 외접 사각형 (43a) 내에 들어가지 않은 고휘도 영역 (40) 에 대해서는, 다른 필름 결함 부분에 기인하는 것으로 간주하여, 별도 추출을 행한다.

도 13에 나타내는 바와 같이, 제 2 추출 패턴에서는, 복수의 고휘도 영역 (40) 이 집합되어 있는 경우에, 화소수가 많은 고휘도 영역 (40) 을 포함한 외접 사각형 (43b) 을 설정하고, 이 외접 사각형 (43b) 의 내측을 결함 화상 데이터 (42b) 로서 추출한다. 또한, 고휘도 영역 (40) 이 단일체로 존재하고 있는 경우에는, 이것을 포함한 외접 사각형 (43b) 을 설정하여 결함 화상 데이터 (42b) 의 추출을 행한다. 이 경우에는, 결함 화상 데이터 (42a) 와 결함 화상 데이터 (42b) 는 동일한 것이 된다. 결함 화상 추출 회로 (33) 는, 화상 데이터 (41) 로부터 추출한 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 를 서로 관련지어 메모리 (30) 에 격납한다.

도 6 으로 돌아와, 특징량 추출 회로 (34) 는, 메모리 (30) 에 격납된 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 로부터 각각 특징량을 추출한다. 이 특징량에는, 예를 들면 "평균 휘도", "중심 휘도", "평균 휘도-중심 휘도", "최대 휘도", "화소수", "면적비 1", "면적비 2", "폭", "길이", "종횡비", "평균 폭", "평균 폭 종횡비" 등이 포함된다.

"평균 휘도" 는, 결함 화상 데이터 (42a) 를 구성하는 각 화소의 휘도의 평균치이다. "중심 휘도" 는, 결함 화상 데이터 (42a) 의 중심 위치에 있어서의 화소의 휘도이다. "평균 휘도-중심 휘도" 는, "평균 휘도"-"중심 휘도" 이다.

"화소수" 는, 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 내의 고휘도 영역 (40) 을 구성하는 화소의 화소수이다. "면적비 1"은, 결함 화상 데이터 (42a) 에 있어서의 "화소수"÷"고휘도 영역 (40) 외의 화소의 화소수"이다. "면적비 2" 는, 결함 화상 데이터 (42b) 에 있어서의 "화소수"÷"고휘도 영역 (40) 외의 화소의 화소수"이다.

"폭" 은, 결함 화상 데이터 (42a) 의 폭 (외접 사각형 (43a) 의 폭) 이다. "길이" 는, 결함 화상 데이터 (42a) 의 길이 (외접 사각형 (43a) 의 길이) 이다. "종횡비" 는, "길이"÷"폭"이다. "평균 폭"은, 결함 화상 데이터 (42a) 내의 고휘도 영역 (40) 의 폭의 평균치이다. "평균 폭 종횡비" 는, "길이"÷"평균 폭"이다. 특징량 추출 회로 (34) 는, 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 로부터 추출한 각 특징량을, 추출원의 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 에 대응지어 메모리 (30) 에 격납한다.

유사 결함 판정 회로 (35) 는, 메모리 (30) 내의 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 에 대응하는 필름 결함 부분이 2 점 배열 유사 결함인지 아닌지를 판정한다. 이때, 2 점 배열 유사 결함에는, "2 점 배열 (1)" ~ "2 점 배열 (N)" 의 N종류가 있다. 이 때문에, 유사 결함 판정 회로 (35) 는, 필름 결함 부분이 "2 점 배열 (1)" …"2 점 배열 (N)" 인지 아닌지를 개별적으로 판정하는 제 1 판정 회로 (46) (1) ~ 제 N 판정 회로 (46) (N) 를 가지고 있다.

제 1 판정 회로 (46) (1) 는, 메모리 (30) 내의 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 의 특징량에 근거하여, 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 가 "2 점 배열 (1)" 을 나타내는 제 1 특정 결함 화상 데이터 (도 14 참조) 인지 아닌지를 판정하는 제 1 판정 처리를 행한다. 이것에 의해 제 1 판정 회로 (46) (1) 는, 필름 결함 부분이 "2 점 배열 (1)" 인지 아닌지를 판정한다. 이 제 1 판정 처리는, 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 의 각 특징량과, 각 특징량의 제 1 임계치 (54) (1) (도 14 참조) 와의 비교에 의해 실행된다. 각 특징량의 제 1 임계치 (54) (1) 는 제 1 특정 결함 화상 데이터의 특징에 따라 미리 정해진다.

제 2 판정 회로 (46) (2) 는, 결함 화상 데이터 (42a,42b) 가 "2 점 배열 (2)" 을 나타내는 제 2 특정 결함 화상 데이터 (도 14 참조) 인지 아닌지를 판정하는 제 2 판정 처리를 행한다. 이것에 의해 제 2 판정 회로 (46) (2) 는, 필름 결함 부분이 "2 점 배열 (2)" 인지 아닌지를 판정한다. 이하 마찬가지로, 제 N 판정 회로 (46) (N) 는, 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 가 "2 점 배열 (N)" 을 나타내는 제 N 특정 결함 화상 데이터인지 아닌지를 판정하는 제 N 판정 처리를 행함으로써, 필름 결함 부분이 "2 점 배열 (N)" 인지 아닌지를 판정한다.

제 2 ~ 제 N 판정 처리는, 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 의 각 특징량을, 각 특징량의 제 2 ~ 제 N 임계치 (54) (2) ~ (54) (N) (도 14 참조) 와 각각 비교하는 것에 의해 실행된다. 각 특징량의 제 2 ~ 제 N 임계치 (54) (2) ~ (54) (N) 는, 제 2 ~ 제 N 특정 결함 화상 데이터의 특징에 따라 개별적으로 미리 정해진다.

실해 결함 판정 회로 (36) 는, 메모리 (30) 내에 격납된 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 에 대응하는 필름 결함 부분이 실해 결함인지 아닌지를 판정한다. 실해 결함 판정 회로 (36) 는, 유사 결함 판정 회로 (35) 에 의해 제 1 ~ 제 N 특정 결함 화상 데이터라고 판정되지 않은 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 에 대응하는 필름 결함 부분을, 실해 결함이라고 판정한다.

결함 위치 검출 회로 (37) 는, 유사 결함 판정 회로 (35) 및 실해 결함 판정 회로 (36) 에 의해 각각 2 점 배열 유사 결함, 실해 결함으로 판정된 필름 결함 부분의 적층 필름 (9) 내에 있어서의 위치 좌표를 검출한다. 이 위치 좌표는, 예를 들면, 적층 필름 (9) 의 선단의 통과를 검출하는 선단 검출 센서 (도시하지 않음) 로부터의 검출 정보, 기존의 적층 필름 (9) 의 반송 속도, 및 화상 데이터 (41) 내에 있어서의 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 의 위치 정보 등으로 구해진다. 또한, 이 방법 이외에도 공지의 각종 검출 방법을 이용하여 필름 결함 부분의 위치 좌표를 검출해도 된다. 결함 위치 검출 회로 (37) 는, 2 점 배열 유사 결함 및 실해 결함의 위치 좌표 데이터를 메모리 (30) 에 격납한다.

마킹 제어 회로 (38) 는, 메모리 (30) 내의 실해 결함의 위치 좌표 데이터 (이하, 실해 결함 위치 좌표 데이터라고 한다) 에 근거하여, 마킹 장치 (21) 를 제어하고, 반송로 상의 적층 필름 (9) 에 실해 결함의 위치를 나타내는 마킹을 행한다. 마킹 제어 회로 (38) 는, 선단 검출 센서로부터의 검출 정보, 기존의 적층 필름 (9) 의 반송 속도 등으로부터, 적층 필름 (9) 의 실해 결함 위치 좌표 데이터에 대응하는 위치 (이하, 위치 좌표 대응 위치라고 한다) 의 이동을 감시한다. 이것에 의해, 적층 필름 (9) 의 위치 좌표 대응 위치로의 마킹이 가능해진다.

CPU (28) 는, 메모리 (30) 의 ROM 영역으로부터 독출한 각종 프로그램을 순서대로 실행함으로써, 유사 결함 판정 제어부 (28a) 로서 기능한다. 유사 결함 판정 제어부 (28a) 는, 제 1 ~ 제 N 판정 회로 (46) (1) ~ (46) (N) 에 의한 판정 처리를 소정의 순번 (예를 들면, 제 1 판정 회로 (46) (1), 제 2 판정 회로 (46) (2),…제 N 판정 회로 (46) (N)) 에서 실행시킨다.

또, 유사 결함 판정 제어부 (28a) 는, 제 1 판정 처리에서 필름 결함 부분이 2 점 배열 (1) 이라고 판정된 경우에는 제 2 ~ 제 N 판정 처리를 중지시키고, 제 2 판정 처리에서 필름 결함 부분이 2 점 배열 (2) 이라고 판정된 경우에는 제3 ~ 제 N 판정 처리를 중지시킨다. 이 때문에, 제 M［M은 (N－1) 이하의 자연수］판정 처리에서 필름 결함 부분이 2 점 배열 유사 결함이라고 판정된 경우에는, 그 이후의 판정 처리는 행해지지 않는다.

도 14 에 나타내는 바와 같이, 메모리 (30) 의 ROM 영역에는, 각종 프로그램 외에, 결함 화상 추출 기준 데이터 (60) 와, 유사 결함 분류 기준 데이터 (61) 와, 결함 위치 정보 데이터 (62) 가 격납되어 있다.

결함 화상 추출 기준 데이터 (60) 는, 결함 화상 추출 회로 (33) 가 화상 데이터 (41) 로부터 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 를 추출하기 위한 기준 데이터로서 이용된다. 이 결함 화상 추출 기준 데이터 (60) 에는, 고휘도 영역 (40) 을 구성하는 화소의 휘도치의 하한치, 화소수의 하한치 등이 격납되어 있다. 이것에 의해, 결함 화상 추출 회로 (33) 는, 결함 화상 추출 기준 데이터 (60) 를 참조하여, 화상 데이터 (41) 로부터 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 를 추출한다.

유사 결함 분류 기준 데이터 (61) 는, 제 1 ~ 제 N 판정 회로 (46) (1) ~ (46) (N) 에 의한 제 1 ~ 제 N 판정 처리에 이용되는 데이터이다. 유사 결함 분류 기준 데이터 (61) 에는, 제 1 ~ 제 N 특정 결함 화상 데이터의 특징에 따라 각각 미리 정해진 각 특징량의 제 1 ~ 제 N 임계치 (54) (1) ~ (54) (N) 가 격납되어 있다.

예를 들면, 제 1 임계치 (54) (1) 는, 제 1 특정 결함 화상 데이터의 외관상의 특징에 따라 정해져 있다. 이 특징이란, 구체적으로는 (a1) 면적이 큰 쪽의 고휘도 영역 (40) 이 대략 원형이고, (b1) 육안 관찰 상으로는 양 고휘도 영역 (40) 이 분리되어 있으며, (c1) 양 고휘도 영역 (40) 이 근접하여 배열되어 있다, 등이다. 제 1 임계치 (54) (1) 는, (a1) 에 대응하여, "면적비 2"가 소정치 β 이상으로 정해져 있다. (b1) 에 대응하여, "평균 휘도-중심 휘도"가 0.0 이상 (정의 값) 으로 정해져 있다. (c1) 에 대응하여, "종횡비"가 1.0 이하의 소정치이고 또한 "면적비1"이 소정치 α 이상으로 정해져 있다.

또, 제 2 임계치 (54) (2) 는, 제 2 특정 결함 화상 데이터의 외관상의 특징, 구체적으로는 (a2) 거의 원형인 2 개의 고휘도 영역 (40) 이 일부 겹치도록 배열되어 있는, 등의 특징에 따라 정해져 있다. 제 2 임계치 (54) (2) 는, (a2) 에 대응하여, "종횡비"가 1.0 이하, "평균 휘도-중심 휘도"가 소정치 γ 이상, "면적비 1"이 소정치 δ 이상, "평균 폭 종횡비"가 소정치 ε 이하로 정해져 있다.

제 1 ~ 제 N 판정 회로 (46) (1) ~ (46) (N) 는, 각각 제 1 ~ 제 N 임계치 (54) (1) ~ (54) (N) 를 참조하는 것에 의해, 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 가 제 1 ~ 제 N 특정 결함 화상 데이터인지 아닌지를 개별적으로 판정한다.

결함 위치 정보 데이터 (62) 는, 결함 위치 검출 회로 (37) 에 의해 추출된 2 점 배열 유사 결함 및 실해 결함의 위치 좌표 데이터를 격납한다. 이것에 의해, 마킹 제어 회로 (38) 는, 결함 위치 정보 데이터 (62) 를 참조하는 것에 의해, 실해 결함 위치 좌표 데이터를 취득할 수 있다.

다음으로, 도 16을 이용하여 상기 구성의 결함 검사 장치 (11) 의 작용에 대해 설명한다. 조작부 (29) 에서 검사 개시 조작이 이루어지면, 적층 필름 (9) 의 반송 개시와 동시에 결함 검사 장치 (11) 에 의한 검사 처리가 개시된다. 먼저, 라인 광원 (17) 으로부터 적층 필름 (9) 을 향해 검사광 (24) 이 조사된다.

적층 필름 (9) 의 정상 부분에 입사한 검사광 (24) 은, 편광축 (D1) 에 평행한 방향으로 진동하는 직선 편광으로 변환되어 적층 필름 (9) 을 투과한다. 이에 대해, 필름 결함 부분에 입사한 검사광 (24) 은, 필름 결함 부분을 투과할 때 편광 상태가 바뀜으로써, 편광축 (D1) 과 평행한 방향으로 진동하는 직선 편광으로는 되지 않는다. 이들 정상 부분 또는 필름 결함 부분을 투과한 검사광 (24) 은, 편광 필터 (19) 에 입사한다.

편광 필터 (19) 에 입사한 검사광 (24) 중에서, 편광축 (D1) 과 평행한 방향 (편광축 (D2) 에 수직인 방향) 으로 진동하는 직선 편광은 편광 필터 (19) 에 의해 차단된다. 이에 대해, 필름 결함 부분을 투과함으로써, 편광축 (D1) 과 평행한 방향으로 진동하는 직선 편광이 되지 않았던 검사광 (24) 은, 편광 필터 (19) 를 투과하여 카메라 (20) 에 입사한다.

카메라 (20) 는, 편광 필터 (19) 를 투과한 검사광 (24) 을 수광하고, 적층 필름 (9) 의 검사광 (24) 이 조사된 라인 형상의 조사 영역을 촬영하여, 1 라인분의 화상 신호를 장치 본체 (22) 로 출력한다. 이하, 카메라 (20) 는, 적층 필름 (9) 이 1 라인분 반송될 때마다 촬영과 화상 신호의 출력을 연속해서 실행한다.

카메라 (20) 로부터 출력된 1 라인분의 화상 신호는, 입력 I/F (31) 를 통해, 화상 처리 회로 (32) 에 순서대로 입력된다. 화상 처리 회로 (32) 는, 입력 I/F (31) 로부터 입력되는 1 라인분의 화상 신호를 축적하여, 소정 라인수분의 화상 신호가 축적될 때마다, 이들 화상 신호에 근거하여 2차원의 화상 데이터 (41) 을 생성하여 메모리 (30) 에 격납한다.

CPU (28) 는, 새로운 화상 데이터 (41) 가 메모리 (30) 에 격납되었을 때, 결함 화상 추출 회로 (33) 에 대해서 결함 화상 추출 지령을 발한다. 이 지령을 받아, 결함 화상 추출 회로 (33) 는, 메모리 (30) 내의 화상 데이터 (41) 을 독출한다. 그리고, 결함 화상 추출 회로 (33) 는, 메모리 (30) 내의 결함 화상 추출 기준 데이터 (60) 에서 정해진 기준에 따라, 화상 데이터 (41) 로부터 필름 결함 부분에 기인하는 고휘도 영역 (40) 의 추출을 개시한다.

먼저, 결함 화상 추출 회로 (33) 는, 도 12 에 나타낸 바와 같이 제 1 추출 패턴으로 고휘도 영역 (40) 의 추출을 행한다. 이것에 의해, 2 점 배열 유사 결함과 같이 복수의 고휘도 영역 (40) 이 집합되어 있는 경우에는, 이들 고휘도 영역 (40) 의 집합체가 결함 화상 데이터 (42a) 로서 추출된다. 또한, 고휘도 영역 (40) 이 단일체로 존재하고 있는 경우에는, 이 고휘도 영역 (40) 이 결함 화상 데이터 (42a) 로서 추출된다.

이어서, 결함 화상 추출 회로 (33) 는, 도 13에 나타낸 바와 같이 제 2 추출 패턴으로 고휘도 영역 (40) 의 추출을 행한다. 이것에 의해, 2 점 배열 유사 결함과 같이 복수의 고휘도 영역 (40) 이 집합되어 있는 경우에는, 그 중에서 최대 화소수의 고휘도 영역 (40) 이 결함 화상 데이터 (42b) 로서 추출된다. 또한, 고휘도 영역 (40) 이 단일체로 존재하고 있는 경우에는, 이 고휘도 영역 (40) 이 결함 화상 데이터 (42b) 로서 추출되므로, 결함 화상 데이터 (42b) 는 결함 화상 데이터 (42a) 와 동일한 것이 된다. 결함 화상 추출 회로 (33) 는, 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 를 메모리 (30) 에 격납한다.

CPU (28) 는, 새로운 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 가 메모리 (30) 에 격납되었을 때, 특징량 추출 회로 (34) 에 대해서 특징량 추출 지령을 발한다. 이 지령을 받아, 특징량 추출 회로 (34) 는, 메모리 (30) 내의 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 로부터 각종 특징량을 추출한다. 특징량 추출 회로 (34) 는, 각 특징량을 추출원의 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 에 대응지어 메모리 (30) 에 격납한다.

이어서, CPU (28) 는, 유사 결함 판정 회로 (35) 및 실해 결함 판정 회로 (36) 에 대해서 판정 지령을 발한다. 먼저, 유사 결함 판정 제어부 (28a) 에 의한 제어 하에서, 제 1 판정 회로 (46) (1) 는, 메모리 (30) 내의 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 의 각 특징량과 유사 결함 분류 기준 데이터 (61) 의 제 1 임계치 (54) (1) 를 비교한다. 이 비교 결과를 바탕으로, 제 1 판정 회로 (46) (1) 는, 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 가 제 1 특정 결함 화상 데이터인지 아닌지를 판정하는 제 1 판정 처리를 행한다. 이것에 의해, 필름 결함 부분이 "2 점 배열 (1)" 인지 아닌지가 판정된다.

유사 결함 판정 제어부 (28a) 는, 필름 결함 부분이 "2 점 배열 (1)" 이 아니라고 판정되었을 때, 제 2 판정 회로 (46) (2) 를 작동시킨다. 제 2 판정 회로 (46) (2) 는, 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 의 각 특징량과 제 2 임계치 (54) (2) 를 비교하여, 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 가 제 2 특정 결함 화상 데이터인지 아닌지를 판정하는 제 2 판정 처리를 행한다. 이것에 의해, 필름 결함 부분이 "2 점 배열 (2)" 인지 아닌지가 판정된다.

이하 마찬가지로 하여, 필름 결함 부분이 2 점 배열 유사 결함이라고 판정될 때까지, 유사 결함 판정 제어부 (28a) 는, 제3 판정 회로 (46) (3) ~ 제 N 판정 회로 (46) (N) 에 의한 제3 ~ 제 N 판정 처리를 차례로 실행시켜, 2 점 배열 유사 결함의 유무를 판정시킨다.

적층 필름 (9) 의 유사 결함의 대부분은 세퍼레이터 (15) 내부의 이물 (26) 에 기인하는 것이며, 이 이물 (26) 에 기인하는 유사 결함에서는, 도 7 ~ 도 8에 나타낸 바와 같이 고휘도 영역 (40) 이 2 개 나란히 관찰된다. 이 때문에, 화상 데이터 (41) 로부터 추출한 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 중에서, 2 개의 고휘도 영역 (40) 이 배열되어 있는 결함 화상 데이터 (42a) 에 대응하는 필름 결함 부분이 유사 결함으로서 판정된다. 그 결과, 종래와 같이, 화상 데이터 (41) 의 전부에 대해서 특징량의 추출 처리나, 중회귀식 및 판별 함수에 의한 복잡한 연산을 행하는 일 없이, 유사 결함의 유무가 판정된다. 이것에 의해, 검사 처리에 걸리는 시간이 단축되므로, 주행중의 적층 필름 (9) 의 결함 검사가 가능해진다.

유사 결함 판정 제어부 (28a) 는, 제 1 ~ 제 (N (1)) 판정 처리의 중 어느 것에서 필름 결함 부분이 2 점 배열 유사 결함이라고 판정되었을 때에는, 그 이후의 판정 처리를 중지시킨다. 이것에 의해, 불필요한 판정 처리를 행하지 않게 되므로, 검사가 보다 신속히 행해진다.

실해 결함 판정 회로 (36) 는, 제 1 판정 회로 (46) (1) ~ 제 N 판정 회로 (46) (N) 에 의한 제 1 ~ 제 N 판정 처리를 감시한다. 그리고, 실해 결함 판정 회로 (36) 는, 각 판정 처리 중 어느 것에서도 2 점 배열 유사 결함으로 판정되지 않은 경우, 필름 결함 부분을 실해 결함이라고 판정한다.

CPU (28) 는, 필름 결함 부분이 2 점 배열 유사 결함 혹은 실해 결함이라고 판정되었을 때, 결함 위치 검출 회로 (37) 에 대해서 위치 검출 지령을 발한다. 이 지령을 받아, 결함 위치 검출 회로 (37) 는, 2 점 배열 유사 결함 혹은 실해 결함으로 판정된 필름 결함 부분의 적층 필름 (9) 내에 있어서의 위치 좌표를 검출한다. 이어서, 결함 위치 검출 회로 (37) 는, 2 점 배열 유사 결함 혹은 실해 결함의 위치 좌표 데이터를 메모리 (30) 내의 결함 위치 정보 데이터 (62) 에 격납한다.

CPU (28) 는, 실해 결함 위치 좌표 데이터가 결함 위치 정보 데이터 (62) 에 격납되었을 때, 마킹 제어 회로 (38) 에 대해서 마킹 지령을 발한다. 이 지령을 받아, 마킹 제어 회로 (38) 는, 결함 위치 정보 데이터 (62) 로부터 실해 결함 위치 좌표 데이터를 독출한다.

이어서, 마킹 제어 회로 (38) 는, 선단 검출 센서로부터의 검출 정보, 및 적층 필름 (9) 의 반송 속도 등으로, 적층 필름 (9) 에 있어서의 위치 좌표 대응 위치의 이동을 감시한다. 그리고, 마킹 제어 회로 (38) 는, 위치 좌표 대응 위치가 마킹 장치 (21) 의 바로 아래로 이동했을 때, 마킹 장치 (21) 를 작동시켜 위치 좌표 대응 위치에 마킹을 행하게 한다. 이것에 의해, 적층 필름 (9) 에 있어서의 실해 결함의 위치 판별이 용이해진다.

이하, 적층 필름 (9) 의 전체 영역의 검사가 완료되기까지, 상기 서술의 처리가 반복 실행된다.

상기 실시 형태에서는, 실해 결함 판정 회로 (36) 는 필름 결함 부분이 실해 결함인지 아닌지의 판정 밖에 행하지 않는다. 그러나, 필름 결함 부분이 실해 결함인 경우에는 그 종류 ("이물", "가늘고 긴 이물", "보풀" 등) 의 판정을 행해도 된다. 이 경우에는, 도 16에 나타내는 바와 같이, 메모리 (30) 의 ROM 영역에 실해 결함 분류 기준 데이터 (64) 를 격납해 둔다.

실해 결함 분류 기준 데이터 (64) 에는, "이물", "가늘고 긴 이물", "보풀" 등의 실해 결함의 종류에 따라 각각 미리 정해진 각 특징량의 임계치가 격납되어 있다. 이것에 의해, 실해 결함 판정 회로 (36) 는, 특징량 추출 회로 (34) 의 추출 결과에 근거하여, 실해 결함 분류 기준 데이터 (64) 를 참조함으로써, 실해 결함의 종류를 판정할 수 있다.

상기 실시 형태에서는, 세퍼레이터 (15) 내의 이물 (26) 에 의한 유사 결함으로서, 도 7 ~ 도 11 에 나타낸 "2 점 배열 유사 결함"이 발생하는 경우를 예로 들어 설명하고 있다. 그러나, 이것 이외에 십자 형상의 유사 결함 (이하, 십자 유사 결함이라고 한다) 이 발생하는 경우가 있다. 또한, 여기서 말하는 "십자"에는, "X자"도 포함되는 것으로 한다.

세퍼레이터 (15) 내에 이물 (26) 이 존재하고 있는 경우에는, 도 4 에 나타낸 바와 같이, 이물 (26) 로부터의 압압을 받아 편광판 (13) 의 표면에 오목부 (13a) 가 형성된다. 이때, 오목부 (13a) 가 이상적인 원에 가까운 형상으로 형성되면, 도 17 에 나타내는 바와 같이, 이물 (26) 의 중심을 통과하고 또한 편광축 (D1) 에 평행한 직선 (L1) 상 또는 그 부근에 위치하는 분자 (Mc) 는, 편광축 (D1) 에 평행한 방향으로 평행 이동할 뿐으로, 배향 방향은 변함이 없다. 또, 이물 (26) 의 중심을 통과하고 또한 편광축 (D1) 에 수직인 직선 (L2) 상 또는 그 부근에 위치하는 분자 (Md) 도, 편광축 (D1) 에 수직인 방향으로 평행 이동할 뿐으로, 배향 방향은 변함이 없다. 이에 대해, 이물 (26) 의 중심에 대해 경사 방향으로 위치하는 분자 (Me) 의 배향 방향은, 이물 (26) 의 중심을 향하여 비스듬하게 기운다.

분자 (Mc, Md) 를 투과한 검사광 (24) 은, 편광축 (D1) 과 평행한 방향 (편광축 (D2) 에 대해서 수직인 방향) 으로 진동하는 직선 편광이므로, 이 검사광 (24) 은 편광 필터 (19) 에서 차단된다. 이에 대해, 분자 (Me) 를 투과한 검사광 (24) 은 편광축 (D2) 에 대해서 수직인 방향으로 진동하는 직선 편광은 아니게 되므로, 편광 필터 (19) 를 투과한다. 그 결과, 이 검사광 (24) 을 수광하여 촬영을 행하면, 도 18에 나타내는 바와 같이, 흑화상 (도면 중의 도트로 표시) 중에 십자 형상의 고휘도 영역 (66) (도면 중의 흰색 부분으로 표시) 을 포함한 화상 데이터 (41) 가 취득된다.

이와 같이 세퍼레이터 (15) 내의 이물 (26) 에 기인하는 유사 결함에, "2 점 배열 유사 결함"과 "십자 유사 결함"의 양방이 있는 경우에는, 유사 결함 판정 회로 (35) 에 제 X 판정 회로 (46) (X) 를 형성함과 함께, 유사 결함 분류 기준 데이터 (61) 에 제 X 임계치 (54) (X) 를 등록해 둔다.

제 X 판정 회로 (46) (X) 는, 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 가 "십자 유사 결함"을 나타내는 제 X 특정 결함 화상 데이터인지 아닌지를 판정하는 제 X 판정 처리를 행한다. 이것에 의해 제 X 판정 회로 (46) (X) 는, 필름 결함 부분이 "십자 유사 결함"인지 아닌지를 판정한다.

제 X 임계치 (54) (X) 는, 제 X 판정 처리에 이용되는 데이터이며, 제 X 특정 결함 화상 데이터의 외관상의 특징에 따라 정해져 있다. 이 특징은, 구체적으로는 (aX) 고휘도 영역 (40) 이 대략 십자 형상이 되고, (bX) 십자의 중앙 부분의 휘도가 다른 부분의 휘도에 비해 동등 또는 어둡다, 등이다. 또, (aX) 에 있어서 고휘도 영역 (40) 이 대략 십자 형상이 되는 경우의 특징이란, (aX－1) 외접 사각형 (43a) 이 대략 정사각 형상이며, (aX－2) 외접 사각형 (43a) 내에 있어서의 고휘도 영역 (40) 의 면적의 비율이 소정치 이하가 된다, 등을 들 수 있다.

제 1 임계치 (54) (1) 는, (aX－1) 에 대응하여, "종횡비"가 1.0 을 포함한 소정 범위 (ζ 이상 η 이하) 로 정해져 있다. 또, (aX－2) 에 대응하여, "면적비 1"이 0.5 이하의 소정 범위 내로 정해짐과 함께, "평균 폭 종횡비"가 3.0 이하의 소정 범위 내로 정해진다. 또, (bX) 에 대응하여, "평균 휘도-중심 휘도"가 -5.0 이상의 0 에 가까운 값으로 정해져 있다.

제 X 판정 회로 (46) (X) 는, 특징량 추출 회로 (34) 의 추출 결과와, 제 X 임계치 (54) (X) 를 비교함으로써, 제 X 판정 처리를 행할 수 있다. 또한, 각 판정 처리 중에서 제 X 판정 처리를 행하는 순번을, 예를 들면 1번째로 하는 등 적절히 변경해도 된다. 이 경우, 유사 결함 판정 제어부 (28a) 는, 필름 결함 부분이 "십자 유사 결함"이라고 판정되었을 때는 그 이후의 판정 처리를 중지시킨다.

또, "십자 유사 결함"이 1 종류 뿐 아니라 복수 종류 있는 경우에도 본 발명을 적용할 수 있다. 이 경우에는 "2 점 배열 유사 결함"과 마찬가지로, "십자 유사 결함"의 종류마다 미리 정해진 각 특징량의 임계치를 유사 결함 분류 기준 데이터 (61) 에 격납해 둔다. 이것에 의해, 유사 결함 판정 회로 (35) 는, 유사 결함 분류 기준 데이터 (61) 를 참조함으로써, "십자 유사 결함"의 종류를 판정할 수 있다.

상기 실시 형태에서는, 적층 필름 (9) 의 유사 결함으로서, 세퍼레이터 (15) 내에 포함되는 이물 (26) 에 기인하는 유사 결함을 예로 들어 설명했지만, 예를 들면, 도 20 에 나타내는 바와 같이, 세퍼레이터 (15) 와 편광판 (13) 의 사이에 존재하는 이물 (68) 에 기인한 유사 결함의 검사에도 본 발명을 적용할 수 있다. 세퍼레이터 (15) 를 편광판 (13) 으로부터 박리했을 때, 이물 (68) 은 점착층 (14) 에 남을 우려가 있지만, 편광판 (13) 을 액정 디스플레이의 유리 기판 등에 접합하기 전에 행해지는 클리닝 처리에 의해 이물 (68) 은 제거된다. 이 때문에, 이물 (68) 이 발생되어 있어도 편광판 (13) 의 성능에 영향을 미치지는 않는다. 또한, 이물 (68) 에 기인하는 유사 결함의 검사는, 상기의 이물 (26) 에 기인하는 2 점 배열 유사 결함이나 십자 유사 결함의 검사와 동일한 방법으로 행해진다.

상기 실시 형태에서는, 편광 필터 (19) 를 투과한 검사광 (24) 을 카메라 (20) 로 촬영하고 있지만, 적층 필름 (9) 의 폭 방향으로 이동 가능한 에리어 카메라 등의 각종 카메라 (촬영부) 를 이용하여 검사광 (24) 을 촬영해도 된다.

상기 실시 형태에서는, 특징량 추출 회로 (34) 가 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 로부터 추출하는 특징량으로서 "평균 휘도" 및 "중심 휘도" 등을 예로 들어 설명하고 있다. 그러나, 2 점 배열 유사 결함이나 십자 유사 결함의 판정에 유용한 상기 이외의 특징량의 추출을 행해도 된다.

상기 실시 형태에서는, 2 점 배열 유사 결함이나 십자 유사 결함을 적층 필름 (9) 의 유사 결함으로서 판정하고 있다. 그러나, 세퍼레이터 (15) 에서 발생하는 편광판 (13) 의 성능에 영향을 미치지 않는 각종 결함을 적층 필름 (9) 의 유사 결함으로서 판정해도 된다.

상기 실시 형태에서는, 적층 필름 (9) 은 3층 구조이지만, 적어도 편광판 (13) 을 포함한 2 층 또는 4 층 이상의 적층 필름의 검사를 행하는 경우에도 본 발명을 적용할 수 있다. 또, 편광판 (13) 의 양면에 점착층 (14) 을 통해 세퍼레이터 (15) 가 접합되어 있어도 된다.

액정 디스플레이에 이용되는 적층 필름 (9) 을 제조하는 적층 필름 제조 라인 (10) 에 배치되는 결함 검사 장치 (11) 를 예로 들어 설명하고 있다. 그러나, 액정 디스플레이 이외에 이용되는 적층 필름의 결함 검사 장치에도 본 발명을 적용할 수 있다.

실시예

이하, 본 발명의 효과를 실증하기 위한 실시예를 나타내고, 본 발명을 구체적으로 설명한다. 단, 본 발명은 이들 실시예로 한정되는 것은 아니다.

하기 표 1 에 나타내는 바와 같이, 실시예에서는, 결함 검사 장치 (11) 에서 1139 매분의 화상 데이터 (41) (적층 필름 (9) 의 약 7500m 분의 데이터) 를 취득했다. 또, 실시예에서는 이와 함께, 개개의 화상 데이터 (41) 마다 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 의 취득, 결함 화상 데이터 (42a, 42b) 로부터의 각 특징량의 취득, 및 2 점 배열 유사 결함 및 실해 결함의 유무의 판정을 실시했다.

		개수
결함 없음		456
이물 (소)		27
2 점 배열 유사 결함		597
실해 결함	이물	2
	가늘고 긴 이물	4
	보풀	53
합계		1139

결함 검사 장치 (11) 에 의해 2 점 배열 유사 결함 및 실해 결함으로 판정된 필름 결함 부분을 검사원에 의해 육안으로 확인을 행했다. 그 결과, 2 점 배열 유사 결함을 보풀로 판정한 것이 10 개, 보풀을 2 점 배열 유사 결함으로 판정한 것이 1 개 발생했다. 실제의 606 (=597＋10－1) 개의 2 점 배열 유사 결함 중에서 오판정이 11 개가 되어, 오판정율이 약 1.81% 가 되었다. 그 결과, 결함 검사 장치 (11) 에서는 고정밀도로 2 점 배열 유사 결함의 유무의 판정을 실행할 수 있는 것이 확인되었다.

Claims (9)

1. 적층 필름에 대해서 빛을 조사하는 광원;
   상기 표리면의 타방측에 배치되는 편광 필터;
   상기 편광 필터의 상기 적층 필름에 대향하는 면측과는 반대면측에 배치되는 촬영부;
   상기 촬영부에 의해 취득된 투과상으로부터 고휘도 영역을 결함 화상으로서 추출하는 결함 화상 추출부；및,
   특정 결함 화상에 대응하는 상기 결함 부분을 유사 결함이라고 판정하는 유사 결함 판정부;
   를 구비하고,
   상기 광원은 상기 적층 필름의 표리면의 일방측에 배치되고, 상기 적층 필름은 편광판과 편광판에 적층된 베이스 필름을 가지고,
   상기 편광 필터는 상기 편광판의 제 1 편광축에 대략 직교하고 상기 표리면에 평행한 제 2 편광축을 가지고, 상기 편광 필터는 상기 적층 필름의 정상 부분을 투과한 상기 빛을 차단하고, 상기 편광 필터는 상기 적층 필름의 결함 부분을 투과한 빛을 투과하고,
   상기 촬영부는 상기 편광 필터를 투과한 빛을 수광하여 상기 적층 필름의 상기 빛의 조사 영역을 촬영하고,
   상기 판정은 상기 결함 화상이 특정 결함 화상인 경우에 행해지고, 상기 특정 결함 화상은 2 개의 고휘도 영역이 배열된 결함 화상이고, 상기 유사 결함은 상기 편광판의 결함이 아닌 결함인 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 결함 화상으로부터 복수 종류의 특징량을 추출하는 특징량 추출부를 구비하고, 상기 복수 종류의 특징량은 평균 휘도와 중심 휘도를 포함하고, 상기 평균 휘도는 상기 결함 화상의 휘도의 평균치이고, 상기 중심 휘도는 상기 결함 화상의 중심 위치에 있어서의 휘도이며, 상기 유사 결함 판정부는 상기 특징량 추출부의 추출 결과를 각 상기 특징량의 임계치와 비교하는 것에 의해 상기 결함 화상이 상기 특정 결함 화상인지 아닌지를 판정하고, 상기 임계치는 상기 특정 결함 화상의 특징에 따라 미리 정해지는 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 특징량에는, 상기 평균 휘도와 상기 중심 휘도와의 차가 포함되는 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치.
4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
   상기 결함 화상이 제 1 ~ 제 N 특정 결함 화상인지 아닌지를 개별적으로 판정하는 제 1 ~ 제 N 판정부; 및,
   상기 제 1 ~ 제 N 판정부에 의한 판정 처리를 소정의 순번으로 실행시키는 판정 제어부;
   를 구비하고,
   상기 제 1 ~ 제 N 판정부는 상기 유사 결함 판정부에 형성되고, 상기 제 1 ~ 제 N 판정부는 상기 특징량 추출부의 추출 결과를 제 1 ~ 제 N 임계치와 각각 개별적으로 비교함으로써 상기 판정을 행하고, 상기 특정 결함 화상은 N (N 은 2 이상의 자연수) 종류의 제 1 ~ 제 N 유사 결함에 각각 대응한 제 1 ~ 제 N 특정 결함 화상으로 이루어지고, 상기 임계치는 상기 제 1 ~ 제 N 특정 결함 화상의 특징에 따라 각각 개별적으로 정해진 상기 제 1 ~ 제 N 임계치로 이루어지고,
   상기 판정 제어부는 제 M［M 은 (N－1) 이하의 자연수］번째의 판정 처리에서 상기 결함 부분이 상기 유사 결함이라고 판정된 경우에는 제 (M＋1) 번째 이후의 판정 처리를 중지시키는 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치.
5. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 특정 결함 화상에는, 대략 십자 형상의 상기 고휘도 영역을 가지는 것이 포함되는 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치.
6. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 베이스 필름은, 상기 편광판의 표면상에 형성된 점착층 상에 박리 가능하게 접합된 세퍼레이터인 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치.
7. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 유사 결함 판정부가 상기 특정 결함 화상이라고 판정하지 않은 상기 결함 화상에 대응하는 상기 결함 부분을, 상기 편광판의 결함인 실해 결함으로 판정하는 실해 결함 판정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치.
8. 제 7 항에 있어서,
   상기 적층 필름의 상기 실해 결함으로 판정된 부분에, 상기 실해 결함을 나타내는 마킹을 행하는 마킹부를 구비하는 것을 특징으로 하는 결함 검사 장치.
9. (A) 광원으로부터 적층 필름에 대해서 빛을 조사하는 스텝;
   (B) 편광 필터에 의해 상기 적층 필름의 정상 부분을 투과한 상기 빛을 차단하는 스텝;
   (C) 상기 편광 필터를 투과한 빛을 수광하여 상기 적층 필름의 상기 빛의 조사 영역을 촬영하는 스텝;
   (D) 상기 C 스텝에서 취득된 투과상으로부터 고휘도 영역을 결함 화상으로서 추출하는 스텝; 및,
   (E) 특정 결함 화상에 대응하는 상기 결함 부분을 유사 결함이라고 판정하는 스텝;
   을 구비하고,
   상기 광원은 상기 적층 필름의 표리면의 일방측에 배치되고, 상기 적층 필름은 편광판과 베이스 필름을 적층하여 이루어지고,
   상기 편광 필터는 상기 표리면의 타방측에 배치되고, 상기 편광 필터는 제 2 편광축을 가지고, 상기 제 2 편광축은 상기 편광판의 제 1 편광축에 대략 직교하고 상기 표리면에 평행이고, 상기 편광 필터는 상기 적층 필름의 결함 부분을 투과한 빛을 투과하고,
   상기 수광과 상기 촬영은 촬영부에 의해 행하고, 상기 촬영부는 상기 편광 필터의 상기 적층 필름에 대향하는 면측과는 반대면측에 배치되고,
   상기 판정은 상기 결함 화상이 특정 결함 화상인 경우에 행해지고, 상기 특정 결함 화상은 2 개의 고휘도 영역이 배열된 결함 화상이고, 상기 유사 결함은 상기 편광판의 결함이 아닌 결함인 것을 특징으로 하는 결함 검사 방법.

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