TWI629466B - 缺陷檢查系統及薄膜製造裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明之缺陷檢查系統係包含：貼合滾筒，係將第一薄膜與第二薄膜貼合而形成薄膜；搬送生產線，係於貼合滾筒下游側搬送薄膜；缺陷檢查裝置，係設置於搬送生產線；以及記錄裝置，係設置於搬送生產線之缺陷檢查裝置下游側，將由缺陷檢查裝置所檢測出缺陷的相關缺陷資訊記錄於薄膜上；其中，缺陷檢查裝置係配置在搬送生產線中，並配置在貼合滾筒以外的第二薄膜之第一薄膜的反對側之面最先接觸到的滾筒之上游側。

Description

缺陷檢查系統及薄膜製造裝置
本發明係關於一種缺陷檢查系統及薄膜製造裝置。 本發明係根據2013年6月4日於日本提出申請之日本專利申請第2013－117947號而主張其優先權，並引用其內容。
關於條狀薄膜之缺陷檢查系統，已知有專利文獻1中所記載之缺陷檢查系統。專利文獻1之缺陷檢查系統係於薄膜之搬送生產線上，具備有：缺陷檢查裝置；以及將缺陷資訊記錄於薄膜上的記錄裝置。 另一方面，關於薄膜製造裝置，已知有專利文獻2中所記載之薄膜製造裝置。專利文獻2之薄膜製造裝置具備有：貼合滾筒，係將第一薄膜與第二薄膜貼合而形成薄膜；搬送生產線，係於貼合滾筒下游側搬送薄膜；以及缺陷檢查裝置，係設置於搬送生產線。
例如，在薄膜之製造生產線中，將第一薄膜與第二薄膜貼合，捲取成滾筒狀而製造出薄膜之料捲滾筒。在將第一薄膜與第二薄膜貼合時，第一薄膜與第二薄膜之間可能會發生氣泡等軋入異物之混入問題。缺陷檢查裝置係用於檢查第一薄膜與第二薄膜之間是否有異物缺陷等。 [先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本專利特開第2011－7779號公報。 專利文獻2：日本專利特開第2008－49604號公報。
[發明所欲解決的問題]
缺陷檢查裝置通常係設置於搬送生產線下游側。將缺陷檢查裝置設置於搬送生產線下游側比設置於搬送生產線上游側來得好，原因是能一併檢查搬送中薄膜所產生的刮痕等缺陷。例如，缺陷檢查裝置係在薄膜接觸10～20根滾筒後，檢查是否有薄膜缺陷。
另一方面，於最終產品中，將第二薄膜從第一薄膜處進行剝離的情況下，第二薄膜表面之刮痕並不造成問題。例如，即使第二薄膜表面產生有刮痕，第一薄膜與第二薄膜之間不存在有異物缺陷等的情況下，薄膜仍可作為最終產品且使用上沒有問題。
然而，薄膜在搬送中於第二薄膜表面產生有刮痕時，會有把原本沒有問題的第二薄膜表面之刮痕誤檢測出為缺陷的情況。該情況中，會把作為最終產品的可使用之薄膜視作缺陷品。
本發明之態樣係有鑑於前述問題，目的係提供一種能抑制因檢測出刮痕而導致缺陷誤報的缺陷檢查系統及薄膜製造裝置。 [用於解決問題的手段]
為達成上述目的，本發明態樣之缺陷檢查系統及薄膜製造裝置係採用以下構成。 (1)本發明第一態樣之缺陷檢查系統，係為具有第一薄膜與可剝離地層積於該第一薄膜之第二薄膜的條狀薄膜之缺陷檢查系統，包含：貼合滾筒，係將該第一薄膜與該第二薄膜貼合而形成該薄膜；搬送生產線，係於該貼合滾筒下游側搬送該薄膜；缺陷檢查裝置，係設置於該搬送生產線；以及記錄裝置，係設置於該搬送生產線之缺陷檢查裝置下游側，將由該缺陷檢查裝置所檢測出缺陷的相關缺陷資訊記錄於該薄膜；其中，該缺陷檢查裝置係配置在該搬送生產線中，並配置在該貼合滾筒以外的第二薄膜之第一薄膜的反對側之面最先接觸到的滾筒之上游側處。
(2)於上述(1)所記載之缺陷檢查系統，其中該缺陷檢查裝置包含：光源，係配置於該薄膜之第一薄膜側，對該薄膜照射光線；拍攝裝置，係配置於該薄膜之第二薄膜側，拍攝該薄膜之透射光圖像；第一偏光濾鏡，係配置於該光源與該薄膜間的光線路徑上，具有第一吸收軸；以及第二偏光濾鏡，係配置於該拍攝裝置與該薄膜間的光線路徑上，具有與該第一吸收軸正交的第二吸收軸。
(3)於上述(1)所記載之缺陷檢查系統，其中：該第一薄膜係偏光元件；且該缺陷檢查裝置包含有：光源，係配置於該薄膜之偏光元件側，對該薄膜照射光線；拍攝裝置，係配置於該薄膜之第二薄膜側，拍攝該薄膜之透射光圖像；以及偏光濾鏡，係配置於該拍攝裝置與該薄膜間的光線路徑上，具有與該偏光元件之吸收軸正交的吸收軸。
(4)本發明第二態樣之薄膜製造裝置，係包含如上述(1)至(3)中任一項所記載之缺陷檢查系統。 [發明的效果]
依照本發明之態樣，可提供一種能抑制因檢測出刮痕而導致缺陷誤報的缺陷檢查系統及薄膜製造裝置。
以下，係參考圖式說明本發明之實施形態，但本發明不限定於以下之實施形態。
此外，於以下全部圖式中，為了圖式清楚起見，各結構元件之尺寸和比例等係經過適當變更。又，以下說明及圖式中，對相同或相當之元件係賦予相同之元件符號，而省略重複說明。
(第一實施形態) 第1圖係顯示第一實施形態之薄膜製造裝置1的側視圖。於第1圖中，元件符號Sf1係薄膜F之上側面，即為第一薄膜F1側之面。元件符號Sf2係薄膜F之下側面，即為第二薄膜F2側之面。
以下說明中，係對應需求並設定XYZ正交座標系，參考該XYZ正交座標系並說明各組件之位置關係。於本實施形態中，X方向係條狀薄膜之搬送方向，Y方向係薄膜面內與X方向正交之方向(長條薄膜之寬度方向)，Z方向係與X方向及Y方向正交之方向。
如第1圖所示，薄膜製造裝置1具備：供給第一薄膜F1的第一供給部7；供給第二薄膜F2的第二供給部8；檢查薄膜F是否有缺陷的缺陷檢查系統2；形成薄膜F之搬送路線的複數個滾筒(例如，本實施形態中係第一導引滾筒10、第二導引滾筒11及第三導引滾筒12)；以及捲取薄膜F的捲取部9。
此外，本實施形態中，雖設置有第一導引滾筒10、第二導引滾筒11及第三導引滾筒12的三個導引滾筒，以作為形成薄膜F之搬送路線的複數個滾筒，但並不限定於此。例如，亦可設置有四個以上的導引滾筒，或亦可設置有除了導引滾筒以外的夾持滾筒或張力滾筒，來作為形成薄膜F之搬送路線的複數個滾筒。又，除了此類接觸型滾筒以外，亦可設置有空氣棒等非接觸型滾筒。
薄膜F係為具有第一薄膜F1與可剝離地層積於第一薄膜F1之第二薄膜F2的條狀薄膜。本實施形態中所使用之薄膜F係為例如將作為分離薄膜之第二薄膜F2覆蓋在作為最終產品來使用之薄膜的第一薄膜F1之一側之面的結構。
第一薄膜F1係例如使用三醋酸纖維素(TAC, Triacetyl cellulose)薄膜、相位差薄膜、輝度增加薄膜、廣視角薄膜等薄膜。第二薄膜F2係例如使用具有離型膜的黏著薄膜。 此外，薄膜F亦可為在第一薄膜F1的另一側之面，層積有相位差薄膜或輝度增加薄膜等複數個光學薄膜者。
又，於薄膜F處，將第二薄膜F2從第一薄膜F1處進行剝離的情況下，並非將第二薄膜F2整體從第一薄膜F1處進行剝離。例如，將薄膜F中第二薄膜F2之一部分(離型膜)進行剝離，自黏著材料側將剝離後之薄膜(第一薄膜F1及黏著材料)貼合至面板等。即，將第二薄膜F2之一部分剝離後，將第二薄膜F2之殘餘部分(黏著材料)配置於第一薄膜F1之一面。
第一供給部7係保持著捲繞有條狀第一薄膜F1之料捲滾筒R1，並沿第一薄膜F1之長邊方向將第一薄膜F1捲出。第一供給部7係配置於薄膜F之供給路線的一側(第1圖所示之＋Z方向側)。
第二供給部8係保持著捲繞有條狀第二薄膜F2之料捲滾筒R2，並沿第二薄膜F2之長邊方向將第二薄膜F2捲出。第二供給部8係配置於薄膜F之供給路線的另一側(第1圖所示之－Z方向側)。
此外，第一供給部7及第二供給部8之配置結構並不限定於此。例如，第一供給部7亦可配置於薄膜F之供給路線的另一側(第1圖所示之－Z方向側)，且第二供給部8亦可配置於薄膜F之供給路線的一側(第1圖所示之＋Z方向側)。
缺陷檢查系統2具備：貼合滾筒3，係將第一薄膜F1與第二薄膜F2二片薄膜貼合而形成一片薄膜F；搬送生產線4，係於貼合滾筒3下游側搬送薄膜F；缺陷檢查裝置5，係設置於搬送生產線4；以及記錄裝置6，係設置於搬送生產線4之缺陷檢查裝置5下游側。
貼合滾筒3具有於軸線方向相互平行地配置的一對夾持滾筒3a, 3b。一對夾持滾筒3a, 3b之間形成有指定間隙，該間隙內即為第一薄膜F1與第二薄膜F2的貼合位置。將第一薄膜F1和第二薄膜F2重合導入該間隙內。第一薄膜F1和第二薄膜F2係於夾持滾筒3a, 3b處受夾壓，並送往下游側。藉此，將第二薄膜F2貼合至第一薄膜F1的一側之面。
藉由貼合滾筒3，將第一薄膜F1與第二薄膜F2貼合，而形成一片薄膜F。薄膜F係往缺陷檢查裝置5進行搬送。
缺陷檢查裝置5具備：光源20，係配置於薄膜F之第一薄膜F1側(第1圖所示之＋Z方向側)；拍攝裝置22，係配置於薄膜F之第二薄膜F2側(第1圖所示之－Z方向側)；第一偏光濾鏡21，係配置於光源20與薄膜F之間的光線路徑上；以及第二偏光濾鏡23，係配置於拍攝裝置22與薄膜F之間的光線路徑上。
缺陷檢查裝置5係配置在搬送生產線4中，並配置在貼合滾筒3以外的第二薄膜F2之第一薄膜F1的反對側之面Sf2最先接觸到的滾筒之上游側處。本實施形態之缺陷檢查裝置5係配置在搬送生產線4中，貼合滾筒3下游側的第一導引滾筒10之上游側處。本實施形態中，除了貼合滾筒3以外，第一導引滾筒10係第二薄膜F2之第一薄膜F1的反對側之面Sf2最先接觸到的滾筒。
光源20之光線射出面20a中心與拍攝裝置22之受光面22a中心係同軸(光軸CL上)地配置。
第2圖係第一偏光濾鏡21之第一吸收軸V1與第二偏光濾鏡23之第二吸收軸V2的配置關係說明用圖。
如第2圖所示，第一偏光濾鏡21具有第一吸收軸V1。第二偏光濾鏡23具有與第一吸收軸V1正交的第二吸收軸V2。第一偏光濾鏡21係於光源20與拍攝裝置22間的光線路徑上，使第一偏光濾鏡21之第一吸收軸V1與第二偏光濾鏡23之第二吸收軸V2相互正交地配置(正交偏光鏡配置)。
本實施形態之情況中，薄膜F(參考第1圖)係對於穿透第一偏光濾鏡21之光線而不提供相位差的薄膜。因此，當第一偏光濾鏡21之第一吸收軸V1與第二偏光濾鏡23之第二吸收軸V2呈正交偏光鏡配置時，於第一偏光濾鏡21與第二偏光濾鏡23的重疊部分SV處，光線不會穿透。因此，以拍攝裝置22拍攝重疊部分SV時，只要不具備會擾亂第一偏光濾鏡21與第二偏光濾鏡23間所具有相位差之偏光狀態的缺陷等因素，則可視為暗場。
另外，薄膜F係對於穿透第一偏光濾鏡21之光線而提供相位差的薄膜之情況中，亦可在第一偏光濾鏡21與第二偏光濾鏡23間配置能抵銷該相位差的相位補償薄膜。在沒有配置相位補償薄膜的情況中，亦可將第一偏光濾鏡21之透射軸與第二偏光濾鏡23之透射軸配置呈自90°角偏移特定角度後的角度，在沒有異物缺陷等缺陷之狀態下，拍攝裝置22處之受光強度係最小(暗場)。
第3圖係缺陷檢查裝置5的平面圖。第3圖中，為了方便起見，係繪示有薄膜F。
如第3圖所示，構成缺陷檢查裝置5的光源20之光線射出面20a係長方形，沿Y方向上具有長邊。於本實施形態中，光源20之光線射出面20a係沿與薄膜F搬送方向正交之寬度方向上具有長邊。光源20之光線射出面20a係相對薄膜F而橫跨其寬度方向來形成。例如，可使用LED線光源作為光源20。
第一偏光濾鏡21係配置成與光源20之光線射出面20a的外周部重疊。第一偏光濾鏡21係與光源20之光線射出面20a相同地，沿Y方向上具有長邊。第一偏光濾鏡21的長度係於X方向及Y方向上皆較光源20之光線射出面20a更長。
藉此，將第一偏光濾鏡21配置於光源20與薄膜F間之光線路徑上的情況中，從光源20所射出之光線會全部射入至第一偏光濾鏡21。
拍攝裝置22亦與光源20之光線射出面20a相同地，沿Y方向上具有長邊。例如，可使用線型攝影機作為拍攝裝置22。
第二偏光濾鏡23係配置成與拍攝裝置22之受光面22a的外周部重疊。第二偏光濾鏡23係與拍攝裝置22之受光面22a相同地，沿Y方向上具有長邊。第二偏光濾鏡23的長度係於X方向及Y方向上皆較拍攝裝置22之受光面22a更長。
回到第1圖，記錄裝置6係設置於搬送生產線4之第三導引滾筒12下游側。記錄裝置6將由缺陷檢查裝置5所檢測出缺陷的相關缺陷資訊記錄於薄膜F(例如本實施形態中之第一薄膜F1)上。缺陷資訊包含缺陷位置和種類的相關資訊等。
記錄裝置6係例如將缺陷資訊以識別碼(一維條碼、二維條碼、QR碼(登錄商標)等)形式記錄於第一薄膜F1之寬度方向端部。識別碼係包含例如：顯示缺陷檢查裝置5所測檢出之缺陷位於沿薄膜寬度方向上距條碼附加位置相隔有多少距離之位置的資訊(缺陷位置之相關資訊)。識別碼亦可包含所檢測出之缺陷種類的相關資訊。
記錄裝置6亦可將能包圍缺陷之尺寸的點狀、線狀或框狀標記直接標示於第一薄膜F1之缺陷位置處。此時，將該標記與顯示缺陷種類之記號或外觀標示於缺陷位置處，以記錄缺陷種類的相關資訊。
經記錄裝置6記錄有缺陷資訊之薄膜F係朝捲取部9進行搬送。且，於捲取部9捲取成滾筒狀，以製造出薄膜F之料捲滾筒R。
順帶一提，缺陷檢查裝置通常係設置於搬送生產線下游側。將缺陷檢查裝置設置於搬送生產線下游側比設置於搬送生產線上游側來得好，原因是能一併檢查搬送中薄膜上產生的刮痕等缺陷。例如，缺陷檢查裝置在薄膜接觸10～20根滾筒後，檢查是否有薄膜缺陷。
另一方面，於最終產品中，將第二薄膜從第一薄膜處進行剝離的情況下，第二薄膜表面之刮痕並不造成問題。例如，即使第二薄膜表面產生刮痕，第一薄膜與第二薄膜之間不存在有異物缺陷等的情況下，薄膜仍可作為最終產品且使用上沒有問題。
然而，薄膜在搬送中於第二薄膜表面產生有刮痕時，會有把原本沒有問題的第二薄膜表面之刮痕誤檢測為缺陷的情況。該情況中，會把作為最終產品的可使用之薄膜視作缺陷品。
故，為解決前述問題，本發明之一實施形態係採用以下構成。 本發明第一實施形態之缺陷檢查系統2係為具有第一薄膜F1與可剝離地層積於第一薄膜F1之第二薄膜F2的條狀薄膜F之缺陷檢查系統，包含：貼合滾筒3，係將第一薄膜F1與第二薄膜F2貼合而形成薄膜F；搬送生產線4，係於貼合滾筒3下游側搬送薄膜F；缺陷檢查裝置5，係設置於搬送生產線4；以及記錄裝置6，係設置於搬送生產線4之缺陷檢查裝置5的下游側，將由缺陷檢查裝置5所檢測出缺陷的相關缺陷資訊記錄於薄膜F上；其中，缺陷檢查裝置5係配置在搬送生產線4中，並配置在貼合滾筒3以外的第二薄膜F2之第一薄膜F1的反對側之面Sf2最先接觸到的滾筒(第一導引滾筒10)之上游側處。 換言之，本發明第一實施形態之缺陷檢查系統2係為具有第一薄膜F1與可剝離地層積於第一薄膜F1之第二薄膜F2的條狀薄膜F之缺陷檢查系統，包含：貼合滾筒3，係將第一薄膜F1與第二薄膜F2貼合而形成薄膜F；搬送生產線4，係於貼合滾筒3下游側搬送薄膜F；缺陷檢查裝置5，係設置於搬送生產線4；記錄裝置6，係設置於搬送生產線4之缺陷檢查裝置5的下游側，將由缺陷檢查裝置5所檢測出缺陷的相關缺陷資訊記錄於薄膜F上；以及複數個滾筒(第一導引滾筒10、第二導引滾筒11、第三導引滾筒12)，係設置於搬送生產線4；其中，缺陷檢查裝置5係配置在搬送生產線4中，並配置在複數個滾筒中的第二薄膜F2之第一薄膜F1的反對側之面Sf2最先接觸到的滾筒(第一導引滾筒10)之上游側處。
以下，使用第4圖及第5圖來說明本實施形態之缺陷檢查系統2的作用效果。
第4圖係比較例1之缺陷檢查系統的薄膜F缺陷檢查說明用圖。 於比較例1之缺陷檢查系統中，缺陷檢查裝置5係配置在搬送生產線4中，並配置在貼合滾筒3以外的第二薄膜F2之第一薄膜F1的反對側之面Sf2處接觸到的滾筒(例如最後接觸到複數個導引滾筒中之面Sf2的導引滾筒)之下游側。第4圖係因為在將第一薄膜F1與第二薄膜F2貼合時軋入氣泡等而於薄膜F處存在有缺陷E1，且薄膜F於搬送中因為第二薄膜F2與導引滾筒的摩擦而於第二薄膜F2表面產生有刮痕E2的情況示意圖。
如第4圖所示，從光源20朝薄膜F射出之光線L1係通過第一偏光濾鏡21而變成直線偏光L2。通過第一偏光濾鏡21所獲得之直線偏光L2係射入至第一薄膜F1。然後，因存在於第一薄膜F1與第二薄膜F2間之缺陷E1而擾亂直線偏光L2之偏光狀態，偏光狀態被擾亂的光線之一部分(光線L3)會穿透第二偏光濾鏡23。
另一方面，亦因存在於第二薄膜F2表面之刮痕E2而擾亂直線偏光L2之偏光狀態，偏光狀態被擾亂的光線之一部分(光線L4)會穿透第二偏光濾鏡23。
其結果，穿透第二偏光濾鏡23之光線L3與光線L4係射入至拍攝裝置22，以拍攝裝置22明亮地拍攝到被視作亮點的缺陷E1與刮痕E2。
又，即使第一薄膜F1與第二薄膜F2間不存在有缺陷E1，而第二薄膜F2表面仍存在有刮痕E2的情況下，穿透第二偏光濾鏡23之光線L4係射入至拍攝裝置22，使拍攝裝置22明亮地拍攝到被視作亮點的刮痕E2。
如此一來，於比較例1中，薄膜F在搬送中因為與導引滾筒之摩擦而於第二薄膜F2表面產生有刮痕E2時，於最終產品中，將第二薄膜F2從第一薄膜F1處進行剝離的情況下，原本可視為沒有問題的第二薄膜F2表面之刮痕將被誤檢測為缺陷。
第5圖係本實施形態之缺陷檢查系統2的薄膜F缺陷檢查說明用圖。 於本實施形態之缺陷檢查系統2中，缺陷檢查裝置5係配置在搬送生產線4中，並配置在貼合滾筒3以外的第二薄膜F2之第一薄膜F1的反對側之面Sf2最先接觸到的滾筒(例如本實施形態中之第一導引滾筒10)之上游側處。第5圖係因為將第一薄膜F1與第二薄膜F2貼合時軋入氣泡等而於薄膜F處存在有缺陷E1的情況示意圖。此外，由於是在第二薄膜F2造成刮痕前來進行薄膜F缺陷之檢查，故第二薄膜F2表面未產生有刮痕。
如第5圖所示，從光源20朝薄膜F射出之光線L1係通過第一偏光濾鏡21而變成直線偏光L2。通過第一偏光濾鏡21所獲得之直線偏光L2係射入至第一薄膜F1。然後，因存在於第一薄膜F1與第二薄膜F2間之缺陷E1而擾亂直線偏光L2之偏光狀態，偏光狀態被擾亂的光線之一部分(光線L3)會穿透第二偏光濾鏡23。其結果，穿透第二偏光濾鏡23之光線L3係射入至拍攝裝置22，以拍攝裝置22明亮地拍攝到被視作亮點的缺陷E1。
另一方面，在第一薄膜F1與第二薄膜F2間不存在有缺陷E1的情況中，直線偏光L2無法穿透第二偏光濾鏡23。其結果，由於沒有光線射入至拍攝裝置22，故拍攝裝置22會拍攝到黑色影像。
如此一來，於本實施形態中，因為第二薄膜F2表面未產生有刮痕，故不會將第二薄膜F2表面之刮痕誤檢測成缺陷。
如以上說明，依照本實施形態，缺陷檢查裝置5係配置在搬送生產線4中，並配置在貼合滾筒3以外的第二薄膜F2之第一薄膜F1的反對側之面Sf2最先接觸到的滾筒(例如本實施形態中之第一導引滾筒10)之上游側處，故是在第二薄膜F2造成刮痕前來進行薄膜F缺陷之檢查。即，薄膜F於搬送中，由於第二薄膜F2與導引滾筒並無產生摩擦，所以第二薄膜F2表面未產生有刮痕。因此，可抑制刮痕檢出之缺陷誤報(檢測出錯誤缺陷之資訊)。
(第二實施形態) 其次，使用第6圖至第9圖來說明本發明第二實施形態。 第6圖係顯示本發明第二實施形態之薄膜製造裝置101的側視圖。 如第6圖所示，本實施形態之薄膜製造裝置101與第一實施形態之薄膜製造裝置1的相異之處為：第一薄膜F1a係偏光元件；且缺陷檢查裝置105包含有：光源20，係配置於薄膜Fa之偏光元件F1a側；拍攝裝置22，係配置於薄膜Fa之第二薄膜F2側；以及偏光濾鏡123，係配置於拍攝裝置22與薄膜Fa間的光線路徑上。其它與第一實施形態相同之結構係賦予相同之元件符號，並省略詳細說明。
薄膜Fa係具有偏光元件F1a與可剝離層積於偏光元件F1a之第二薄膜F2的條狀薄膜。本實施形態中所使用之薄膜F係為例如以第二薄膜F2(作為分離膜)覆蓋住由PVA(聚乙烯醇)等所構成的偏光元件F1a之一面的結構。
此外，薄膜Fa亦可在偏光元件F1a之另一面層積有相位差薄膜或輝度增加薄膜等複數個光學薄膜。
本實施形態之情況中，雖然薄膜Fa係為對於穿透偏光元件F1a之光線而不提供相位差的薄膜，但在薄膜Fa係為會對於穿透偏光元件F1a之光線而提供相位差的薄膜之情況中，亦可在薄膜Fa與偏光濾鏡123間配置有能抵銷該相位差的相位補償薄膜。在沒有配置相位補償薄膜的情況中，亦可將偏光元件F1a之透射軸與偏光濾鏡123之透射軸配置呈自90°角偏移特定角度後的角度，在沒有異物缺陷等缺陷之狀態下，拍攝裝置22處之受光強度係最小(暗場)。
缺陷檢查裝置105係配置在搬送生產線4中，並配置在貼合滾筒3以外的第二薄膜F2之偏光元件F1a的反對側之面Sf2最先接觸到的滾筒之上游側處。本實施形態之缺陷檢查裝置105係配置於搬送生產線4中，在貼合滾筒3之下游側的第一導引滾筒10之上游側。
第7圖係偏光元件F1a之吸收軸Va與偏光濾鏡123之吸收軸V的配置關係說明用圖。
如第7圖所示，偏光元件F1a具有吸收軸Va。偏光濾鏡123具有與吸收軸Va正交之吸收軸V。偏光濾鏡123係於光源20與拍攝裝置22間的光線路徑上，使偏光元件F1a之吸收軸Va與偏光濾鏡123之吸收軸V相互正交地配置(正交偏光鏡配置)。
當偏光元件F1a之吸收軸Va與偏光濾鏡123之吸收軸V呈正交偏光鏡配置時，於偏光元件F1a與偏光濾鏡123的重疊部分SV處，光線不會穿透。因此，以拍攝裝置22拍攝重疊部分SV時，不具備會擾亂偏光元件F1a與偏光濾鏡123間所具有相位差之偏光狀態的缺陷等因素，則可視為暗場。
以下，使用第8圖及第9圖來說明本實施形態之缺陷檢查系統102的作用效果。
第8圖係比較例2之缺陷檢查系統的薄膜Fa缺陷檢查說明用圖。 於比較例2之缺陷檢查系統中，缺陷檢查裝置105係配置在搬送生產線4中，並配置在貼合滾筒3以外的第二薄膜F2之偏光元件F1a的反對側之面Sf2處接觸到的滾筒(例如複數個導引滾筒中最晚接觸到面Sf2的導引滾筒)之下游側處。第8圖係因為在將偏光元件F1a與第二薄膜F2貼合時軋入氣泡等而於薄膜Fa存在有缺陷E1，且薄膜Fa於搬送中因為第二薄膜F2與導引滾筒的摩擦而於第二薄膜F2表面產生有刮痕E2的情況示意圖。
如第8圖所示，從光源20朝薄膜Fa射出之光線L1係通過偏光元件F1a而變成直線偏光L2。通過偏光元件F1a所獲得之直線偏光L2係射入至第二薄膜F2。然後，因存在於偏光元件F1a與第二薄膜F2間之缺陷E1而擾亂直線偏光L2之偏光狀態，偏光狀態被擾亂的光線之一部分(光線L3)會穿透偏光濾鏡123。
另一方面，亦因存在於第二薄膜F2表面之刮痕E2而擾亂直線偏光L2之偏光狀態，偏光狀態被擾亂的光線之一部分(光線L4)會穿透偏光濾鏡123。
其結果，穿透偏光濾鏡123之光線L3與光線L4係射入至拍攝裝置22，以拍攝裝置22明亮地拍攝到被視作亮點的缺陷E1與刮痕E2。
又，即使偏光元件F1a與第二薄膜F2間不存在有缺陷E1，而第二薄膜F2表面仍存在有刮痕E2的情況下，穿透偏光濾鏡123之光線L4係射入至拍攝裝置22，以拍攝裝置22明亮地拍攝到被視作亮點的刮痕E2。
如此一來，於比較例2中，薄膜Fa在搬送中因為與導引滾筒之摩擦而於第二薄膜F2表面產生有刮痕E2時，於最終產品中，將第二薄膜F2從偏光元件F1a處進行剝離的情況下，原本可視為沒有問題的第二薄膜F2表面之刮痕將被誤檢測為缺陷。
第9圖係第二實施形態之缺陷檢查系統102的薄膜Fa缺陷檢查說明用圖。 於本實施形態之缺陷檢查系統102中，缺陷檢查裝置105係配置在搬送生產線4中，並配置在貼合滾筒3以外的第二薄膜F2之偏光元件F1a的反對側之面Sf2最先接觸到的滾筒(例如本實施形態中之第一導引滾筒10)之上游側處。第9圖係因為將偏光元件F1a與第二薄膜F2貼合時軋入氣泡等而於薄膜Fa處存在有缺陷E1的情況示意圖。此外，由於是在第二薄膜F2造成刮痕前來進行薄膜Fa缺陷之檢查，故第二薄膜F2表面未產生有刮痕。
如第9圖所示，從光源20朝薄膜Fa射出之光線L1係通過偏光元件F1a而變成直線偏光L2。通過偏光元件F1a所獲得之直線偏光L2係射入至第二薄膜F2。然後，因存在於偏光元件F1a與第二薄膜F2間之缺陷E1而擾亂直線偏光L2之偏光狀態，偏光狀態被擾亂的光線之一部分(光線L3)會穿透偏光濾鏡123。
其結果，穿透偏光濾鏡123之光線L3係射入至拍攝裝置22，以拍攝裝置22明亮地拍攝到被視作亮點的缺陷E1。
另一方面，在偏光元件F1a與第二薄膜F2間不存在有缺陷E1的情況中，直線偏光L2無法穿透偏光濾鏡123。其結果，由於沒有光線射入至拍攝裝置22，故拍攝裝置22會拍攝到黑色影像。
如此一來，於本實施形態中，因為第二薄膜F2表面未產生有刮痕，故不會將第二薄膜F2表面之刮痕誤檢測成缺陷。
如以上說明，依照本實施形態，缺陷檢查裝置105係配置在搬送生產線4中，並配置在貼合滾筒3以外的第二薄膜F2之偏光元件F1a的反對側之面Sf2最先接觸到的滾筒(例如本實施形態中之第一導引滾筒10)之上游側處，故是在第二薄膜F2造成刮痕前來進行薄膜Fa缺陷之檢查。即，薄膜Fa於搬送中，由於第二薄膜F2與導引滾筒並無產生摩擦，所以第二薄膜F2表面未產生有刮痕。因此，可抑制刮痕檢出之缺陷誤報。
以上雖一邊參考所添附之圖式一邊說明本實施形態之合適實施形態例，不言而喻，本發明並不限定於該等範例。上述範例中所示之各構成元件的外形和組合等係一範例，只要不脫離本發明之主旨的範圍內，可根據設計要求等進行各種變更。
1, 101‧‧‧薄膜製造裝置
2, 102‧‧‧缺陷檢查系統
3‧‧‧貼合滾筒
3a, 3b‧‧‧夾持滾筒
4‧‧‧搬送生產線
5, 105‧‧‧缺陷檢查裝置
6‧‧‧記錄裝置
7‧‧‧第一供給部
8‧‧‧第二供給部
9‧‧‧捲取部
10‧‧‧第一導引滾筒
11‧‧‧第二導引滾筒
12‧‧‧第三導引滾筒
20‧‧‧光源
20a‧‧‧光線射出面
21‧‧‧第一偏光濾鏡
22‧‧‧拍攝裝置
22a‧‧‧受光面
23‧‧‧第二偏光濾鏡
123‧‧‧偏光濾鏡
CL‧‧‧光軸
E1‧‧‧缺陷
E2‧‧‧刮痕
F‧‧‧薄膜
F1‧‧‧第一薄膜
F1a‧‧‧偏光元件
F2‧‧‧第二薄膜
L1, L3, L4‧‧‧光線
L2‧‧‧直線偏光
R, R1, R2‧‧‧料捲滾筒
Sf1‧‧‧面
Sf2‧‧‧面
SV‧‧‧重疊部分
V‧‧‧吸收軸
V1‧‧‧第一吸收軸
V2‧‧‧第二吸收軸
Va‧‧‧吸收軸
第1圖係顯示第一實施形態之薄膜製造裝置的側視圖。 第2圖係第一偏光濾鏡之第一吸收軸與第二偏光濾鏡之第二吸收軸的配置關係說明用圖。 第3圖係第一實施形態之缺陷檢查裝置的平面圖。 第4圖係比較例1之缺陷檢查系統的薄膜缺陷檢查說明用圖。 第5圖係第一實施形態之缺陷檢查系統的薄膜缺陷檢查說明用圖。 第6圖係顯示第二實施形態之薄膜製造裝置的側視圖。 第7圖係偏光元件之吸收軸與偏光濾鏡之吸收軸的配置關係說明用圖。 第8圖係比較例2之缺陷檢查系統的薄膜缺陷檢查說明用圖。 第9圖係第二實施形態之缺陷檢查系統的薄膜缺陷檢查說明用圖。

Claims (4)

  1. 一種缺陷檢查系統，係為具有第一薄膜與可剝離層積於該第一薄膜之第二薄膜的條狀薄膜之缺陷檢查系統，包含：貼合滾筒，係將該第一薄膜與該第二薄膜貼合而形成該條狀薄膜；搬送生產線，係於該貼合滾筒下游側搬送該條狀薄膜；缺陷檢查裝置，係設置於該搬送生產線；以及記錄裝置，係設置於該搬送生產線之缺陷檢查裝置下游側，將由該缺陷檢查裝置所檢測出缺陷的相關缺陷資訊記錄於該條狀薄膜；其中，該缺陷檢查裝置係配置在該搬送生產線中，並配置在該貼合滾筒以外的第二薄膜之第一薄膜的反對側之面最先接觸到的滾筒之上游側。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之缺陷檢查系統，其中該缺陷檢查裝置包含：光源，係配置於該條狀薄膜之第一薄膜側，對該條狀薄膜照射光線；拍攝裝置，係配置於該條狀薄膜之第二薄膜側，拍攝該條狀薄膜之透射光圖像；第一偏光濾鏡，係配置於該光源與該條狀薄膜間的光線路徑上，具有第一吸收軸；以及第二偏光濾鏡，係配置於該拍攝裝置與該條狀薄膜間的光線路徑上，具有與該第一吸收軸正交的第二吸收軸。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之缺陷檢查系統，其中： 該第一薄膜係偏光元件；且該缺陷檢查裝置包含有：光源，係配置於該條狀薄膜之偏光元件側，對該條狀薄膜照射光線；拍攝裝置，係配置於該條狀薄膜之第二薄膜側，拍攝該條狀薄膜之透射光圖像；以及偏光濾鏡，係配置於該拍攝裝置與該條狀薄膜間的光線路徑上，具有與該偏光元件之吸收軸正交的吸收軸。
  4. 一種薄膜製造裝置，係包含如申請專利範圍第1至3項中任一項所述之缺陷檢查系統。
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