JP6924002B2 - 検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Description
本発明は、検査装置及び検査方法に関する。
近年、液晶ディスプレイでは、視野角特性や色特性の改善を目的とし、位相差特性といった光学特性を有する位相差フィルムが用いられている。このような位相差フィルムを用いた光学フィルムとして、偏光フィルムと、該偏光フィルムに積層された位相差フィルムとを備えた偏光板が挙げられる。
この種の偏光板では、その製造工程において、光抜けやムラといった局所的な外観不良による欠陥が発生することがあり、これが問題となっている。かかる欠陥部分の発生は、位相差フィルムにおいて局所的に位相が所望の位相から変動した部分に起因しており、この位相の変動が、光抜けやムラとして現れることになる。
このような欠陥を検査する技術として、例えば、光源部、第１の偏光フィルム、検査用の位相差フィルム、検査対象の位相差フィルム、第２の偏光フィルム、及び、検査部の順にこれらが配された検査装置を用いた技術が提案されている。この技術では、検査対象の位相差フィルムの配向方向に対して第１及び第２の偏光フィルムの配向方向を異なる２つの角度（±４５°）で回転させて２つの画像を取得し、取得した画像を合成して欠陥を検知することによって、位相差フィルムを検査するようになっている（特許文献１参照）。
また、光源部と、２つの検査部とを備え、これら検査部で検査対象の位相差フィルムを検査する検査装置を用いた技術が提案されている。この技術では、２つの検査部のうち第１の検査部では、光源部、第１の偏光板、検査対象の位相差フィルム、第２の偏光板、第１の検査部の順にこれらが配され、第２の検査部では、光源部、第３の偏光板、第２の検査対象の位相差フィルム、第４の偏光板、第２の検査部の順にこれらが配されており、第１の偏光板と検査対象の位相差フィルムとがなす配向角度を４５°、第２の偏光板と検査対象の位相差フィルムとがなす配向角度を９０°として各検査部で２つの画像を取得し、取得した画像の差を検知することによって位相差フィルムの欠陥を検知するようになっている（特許文献２参照）。
しかし、上記したような技術では、いずれも、２つの画像を比較して欠陥を検知しているため、画像ノイズ、２つの検知部間の個体差の問題によって検査の感度が低下したものとなるおそれがある。また複雑な同期制御が必要となるため、この制御動作に起因して検査の感度が低下したものとなるおそれがある。このように、これら技術では、十分に感度良く欠陥を検査することが困難である。
上記事情に鑑み、本発明は、十分に感度良く欠陥を検知することが可能な位相差フィルムの検査装置及び検査方法を提供することを課題とする。
本発明に係る検査装置は、
検査対象である検査対象位相差フィルムの欠陥を検査する検査装置であって、
前記検査対象位相差フィルムに照射する光を射出する光源部と、
前記光源部と前記検査対象位相差フィルムとの間に配されて、前記光源部から射出された前記光を前記検査対象位相差フィルムへと通過させる偏光フィルムと、
前記検査対象位相差フィルムを通過した前記光を受光して欠陥を検査する検査部と、
前記光源部から射出された前記光が前記検査部に受光されるまでの経路に配された非平行用位相差フィルムとを備え、
前記非平行用位相差フィルムは、該非平行用位相差フィルムの配向方向と、前記検査対象位相差フィルムの配向方向とが非平行となるように配されて、前記光の位相差を変更するように構成されている。
検査対象である検査対象位相差フィルムの欠陥を検査する検査装置であって、
前記検査対象位相差フィルムに照射する光を射出する光源部と、
前記光源部と前記検査対象位相差フィルムとの間に配されて、前記光源部から射出された前記光を前記検査対象位相差フィルムへと通過させる偏光フィルムと、
前記検査対象位相差フィルムを通過した前記光を受光して欠陥を検査する検査部と、
前記光源部から射出された前記光が前記検査部に受光されるまでの経路に配された非平行用位相差フィルムとを備え、
前記非平行用位相差フィルムは、該非平行用位相差フィルムの配向方向と、前記検査対象位相差フィルムの配向方向とが非平行となるように配されて、前記光の位相差を変更するように構成されている。
かかる構成によれば、光源部から射出された光を偏光フィルムで偏光して検査対象位相差フィルムに照射し、検査対象位相差フィルムを通過して位相差が発生した光を検査部で受光して、検査対象フィルムの欠陥を検査することができる。
このとき、光源部から射出された光が検査部に受光されるまでの経路に、検査対象位相差フィルムの配向方向と非平行用位相差フィルムの配向方向とが非平行に配されることによって、検査対象位相差フィルムにおける欠陥が発生している部分の位相差と、欠陥が発生していない部分の位相差との差を、非平行用位相差フィルムの配向方向と検査対象位相差フィルムの配向方向とが平行な場合よりも、大きくする（増幅する）ことができる。
このように、欠陥部分が強調されるため、十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
このとき、光源部から射出された光が検査部に受光されるまでの経路に、検査対象位相差フィルムの配向方向と非平行用位相差フィルムの配向方向とが非平行に配されることによって、検査対象位相差フィルムにおける欠陥が発生している部分の位相差と、欠陥が発生していない部分の位相差との差を、非平行用位相差フィルムの配向方向と検査対象位相差フィルムの配向方向とが平行な場合よりも、大きくする（増幅する）ことができる。
このように、欠陥部分が強調されるため、十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
上記構成の検査装置においては、
前記検査対象位相差フィルムが発生させる位相差が１／４であり、
該検査対象位相差フィルムの配向方向と、前記非平行用位相差フィルムの配向方向とが交差してなす交差角度が１°〜２０°となるように、前記非平行用位相差フィルムが配されて構成されていてもよい。
前記検査対象位相差フィルムが発生させる位相差が１／４であり、
該検査対象位相差フィルムの配向方向と、前記非平行用位相差フィルムの配向方向とが交差してなす交差角度が１°〜２０°となるように、前記非平行用位相差フィルムが配されて構成されていてもよい。
かかる構成によれば、検査対象位相差フィルムにおける欠陥が発生した部分の位相差と、欠陥が発生していない部分の位相差との差を、非平行用位相差フィルムが回転されていない場合よりも、より大きくすることができる。
このように、欠陥部分がより強調されるため、より十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
このように、欠陥部分がより強調されるため、より十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
上記構成の検査装置においては、
前記光源部が、５０ｎｍ以下の半値幅を有する前記光を射出するように構成されていてもよい。
前記光源部が、５０ｎｍ以下の半値幅を有する前記光を射出するように構成されていてもよい。
かかる構成によれば、光源部が、５０ｎｍ以下の半値幅を有する光を射出することによって、検査対象位相差フィルムにおける欠陥が発生した部分の位相差と、欠陥が発生していない部分の位相差との差を、非平行用位相差フィルムが回転されていない場合よりも、より大きくすることができる。
このように、欠陥部分がより強調されるため、より十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
このように、欠陥部分がより強調されるため、より十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
上記構成の検査装置においては、
前記光源部と前記検査対象位相差フィルムとの間に配された偏光フィルムを第１の偏光フィルムとするとき、
前記経路に、且つ、前記検査対象位相差フィルムに対して前記第１の偏光フィルムと反対の側に第２の偏光フィルムをさらに備え、
前記第２の偏光フィルムは、該第２の偏光フィルムの配向方向と、前記第１の偏光フィルムの配向方向とがクロスニコルとなるように配されて構成されていてもよい。
前記光源部と前記検査対象位相差フィルムとの間に配された偏光フィルムを第１の偏光フィルムとするとき、
前記経路に、且つ、前記検査対象位相差フィルムに対して前記第１の偏光フィルムと反対の側に第２の偏光フィルムをさらに備え、
前記第２の偏光フィルムは、該第２の偏光フィルムの配向方向と、前記第１の偏光フィルムの配向方向とがクロスニコルとなるように配されて構成されていてもよい。
かかる構成によれば、上記経路に、且つ、検査対象位相差フィルムに対して第１の偏光フィルムと反対の側に、第１の偏光フィルムの配向方向と第２の偏光フィルムの配向方向とがクロスニコルとなるように第２の偏光フィルムを配することによって、検査対象位相差フィルムにおける欠陥が発生していない部分を暗部、欠陥が発生している部分を明部として検査部が検知できる。
これにより、検査部は、欠陥をより検知し易くなるため、より十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
これにより、検査部は、欠陥をより検知し易くなるため、より十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
上記構成の検査装置においては、
前記経路に、検査用位相差フィルムをさらに備え、
前記検査用位相差フィルムは、該検査用位相差フィルムの配向方法と、前記検査対象位相差フィルムの配向方向とが直交となるように配されて構成されていてもよい。
前記経路に、検査用位相差フィルムをさらに備え、
前記検査用位相差フィルムは、該検査用位相差フィルムの配向方法と、前記検査対象位相差フィルムの配向方向とが直交となるように配されて構成されていてもよい。
かかる構成によれば、上記経路に、検査用位相差フィルムの配向方向と検査対象位相差フィルムの配向方向とが直交となるように検査用位相差フィルムが配されることによって、検査対象位相差フィルムに欠陥が無い場合には、これら位相差フィルムの一方を光が通過して発生した位相差が、他方を通過することによって抑制されることになる（直線偏光に近づくことになる）。これに対し、検査対象位相差フィルムに欠陥が存在していると、位相差が抑制される程度が低くなる。よって、この位相差が抑制される程度の差によって、欠陥が発生している部分を検査部が検知することが可能となるため、検査部が、欠陥をより検知し易くなる。
本発明の検査方法は、
前記検査装置を用いて、
前記非平行用位相差フィルムを、該非平行用位相差フィルムの配向方向と、前記検査対象位相差フィルムの配向方向とが非平行となるように配することによって、前記検査対象位相差フィルムの位相差と、前記非平行用位相差フィルムの位相差との差を発生させて、前記検査対象位相差フィルムの欠陥を検査する方法である。
前記検査装置を用いて、
前記非平行用位相差フィルムを、該非平行用位相差フィルムの配向方向と、前記検査対象位相差フィルムの配向方向とが非平行となるように配することによって、前記検査対象位相差フィルムの位相差と、前記非平行用位相差フィルムの位相差との差を発生させて、前記検査対象位相差フィルムの欠陥を検査する方法である。
かかる構成によれば、非平行用位相差フィルムを、該非平行用位相差フィルムの配向方向と前記検査対象位相差フィルムの配向方向とが非平行となるように配することによって、検査対象位相差フィルムの位相差と、非平行用位相差フィルムの位相差との差を発生させて、検査対象位相差フィルムの欠陥を検査することができる。
これによって、上記の通り、検査対象位相差フィルムにおける欠陥が発生している部分の位相差と、欠陥が発生していない部分の位相差との差を、非平行用位相差フィルムの配向方向と検査対象位相差フィルムの配向方向とが平行な場合よりも、大きくすることができる。
このように、欠陥部分が強調されるため、十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
これによって、上記の通り、検査対象位相差フィルムにおける欠陥が発生している部分の位相差と、欠陥が発生していない部分の位相差との差を、非平行用位相差フィルムの配向方向と検査対象位相差フィルムの配向方向とが平行な場合よりも、大きくすることができる。
このように、欠陥部分が強調されるため、十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
以上の通り、本発明によれば、十分に感度良く欠陥を検知することが可能な位相差フィルムの検査装置及び検査方法が提供される。
以下、本発明の実施形態に係る検査装置及び検査方法について、図面を参照しながら説明する。なお、図１において位相差フィルムの搬送方向を白抜き矢印で示す。
まず、本実施形態の検査装置を備えた光学フィルムの搬送装置について説明する。
本実施形態の光学フィルムの搬送装置１は、偏光板５０を構成する光学フィルムとしての帯状の偏光フィルム３１が巻回されてなる偏光フィルムロール体３３から偏光フィルム３１を繰り出す第１の繰り出し部３と、偏光板５０を構成する光学フィルムとしての帯状の位相差フィルム（検査対象位相差フィルム）４１が巻き回されてなる位相差フィルムロール体４３から位相差フィルム４１を繰り出す第２の繰り出し部５と、第１の繰り出し部３から繰り出された偏光フィルム３１と、第２の繰り出し部５から繰り出された位相差フィルム４１とを積層して積層体である帯状の偏光板５０を形成する積層部７と、偏光板５０を巻き取って偏光板ロール体５１として回収する巻き取り部９と、位相差フィルム４１の欠陥を検査可能な検査装置２０とを備えている。
この搬送装置１は、第１の繰り出し部３から繰り出された偏光フィルム３１と、第２の繰り出し部５から繰り出された位相差フィルム４１とが積層部７で積層されて偏光板５０が形成され、形成された偏光板５０が巻き取り部９によって巻き取られるようになっている。
本実施形態では、偏光板５０の移動の際、偏光板５０の位相差フィルム４１が検査装置２０によって検査されるようになっている。
また、偏光板５０を構成する位相差フィルム４１が検査対象位相差フィルム４１に相当し、偏光板５０を構成する偏光フィルム３１が、第１の偏光フィルム３１に相当する。
本実施形態では、偏光板５０の移動の際、偏光板５０の位相差フィルム４１が検査装置２０によって検査されるようになっている。
また、偏光板５０を構成する位相差フィルム４１が検査対象位相差フィルム４１に相当し、偏光板５０を構成する偏光フィルム３１が、第１の偏光フィルム３１に相当する。
図２及び図３に示すように、本実施形態の検査装置２０は、
検査対象である検査対象位相差フィルム４１の欠陥を検査する検査装置２０であって、
前記検査対象位相差フィルム４１に照射する光を射出する光源部２３と、
前記光源部２３と前記検査対象位相差フィルム４１との間に配されて、前記光源部２３から射出された前記光を前記検査対象位相差フィルム４１へと通過させる偏光フィルム（第１の偏光フィルムとする。）３１と、
前記検査対象位相差フィルム４１を通過した前記光を受光して欠陥を検査する検査部２５と、
前記光源部２３から射出された前記光が前記検査部２５に受光されるまでの経路Ｒに配された非平行用位相差フィルム６１とを備え、
前記非平行用位相差フィルム６１は、該非平行用位相差フィルム６１の配向方向と、前記検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが非平行となるように配されて、前記光の位相差を変更するように構成されている。
検査対象である検査対象位相差フィルム４１の欠陥を検査する検査装置２０であって、
前記検査対象位相差フィルム４１に照射する光を射出する光源部２３と、
前記光源部２３と前記検査対象位相差フィルム４１との間に配されて、前記光源部２３から射出された前記光を前記検査対象位相差フィルム４１へと通過させる偏光フィルム（第１の偏光フィルムとする。）３１と、
前記検査対象位相差フィルム４１を通過した前記光を受光して欠陥を検査する検査部２５と、
前記光源部２３から射出された前記光が前記検査部２５に受光されるまでの経路Ｒに配された非平行用位相差フィルム６１とを備え、
前記非平行用位相差フィルム６１は、該非平行用位相差フィルム６１の配向方向と、前記検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが非平行となるように配されて、前記光の位相差を変更するように構成されている。
また、本実施形態の検査装置２０は、
前記光源部２３と前記検査対象位相差フィルム４１との間に配された偏光フィルム３１を第１の偏光フィルム３１とするとき、
前記経路Ｒに、且つ、前記検査対象位相差フィルム４１に対して前記第１の偏光フィルム３１と反対の側に第２の偏光フィルム３５をさらに備え、
前記第２の偏光フィルム３５は、該第２の偏光フィルム３５の配向方向と、前記第１の偏光フィルム３１の配向方向とがクロスニコルになるように、の配向方向を有するように配されて構成されている。
前記光源部２３と前記検査対象位相差フィルム４１との間に配された偏光フィルム３１を第１の偏光フィルム３１とするとき、
前記経路Ｒに、且つ、前記検査対象位相差フィルム４１に対して前記第１の偏光フィルム３１と反対の側に第２の偏光フィルム３５をさらに備え、
前記第２の偏光フィルム３５は、該第２の偏光フィルム３５の配向方向と、前記第１の偏光フィルム３１の配向方向とがクロスニコルになるように、の配向方向を有するように配されて構成されている。
また、本実施形態の検査装置２０は、前記経路Ｒに、検査用位相差フィルム７１をさらに備え、
前記検査用位相差フィルム７１は、該検査用位相差フィルム７１の配向方向と、前記検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが平行となるように配されている。
前記検査用位相差フィルム７１は、該検査用位相差フィルム７１の配向方向と、前記検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが平行となるように配されている。
また、本実施形態の検査装置２０は、検査部２５と電気的に接続されて、検査部２５からの検査結果を取得する制御部２７を、さらに備える。
このように、本実施形態の検査装置２０は、光源部２３、第１の偏光フィルム３１、検査対象位相差フィルム４１、非平行用位相差フィルム６１、検査用位相差フィルム７１、第２の偏光フィルム３５、及び、検査部２５がこの順に配されている。これにより、光源部２３から射出された光は、第１の偏光フィルム３１、検査対象位相差フィルム４１、非平行用位相差フィルム６１、検査用位相差フィルム７１、及び、第２の偏光フィルム３５を順次通過した後、検査部２５に受光されるようになっている。
光源部２３は、光を射出して、射出した光を検査対象位相差フィルム４１に光を照射し、照射した光を検査部２５に到達させ得るものである。このように、検査対象位相差フィルム４１に光を照射し、照射した光を検査部２５に到達させ得ることが可能なものであれば、光源部２３は、特に限定されるものではない。例えば、光源部２３として、ＬＥＤ照明が挙げられる。
光源部２３から射出される光の波長は、特に限定されるものではなく、適宜設定され得る。
例えば、光源部２３が、好ましくは５０ｎｍ以下、より好ましくは４０ｎｍ以下の半値幅を有する光を射出するように構成されていることが望ましい。
光源部が、５０ｎｍ以下の半値幅を有する光を射出することによって、検査対象位相差フィルム４１における欠陥が発生した部分の位相差と、欠陥が発生していない部分の位相差との差を、非平行用位相差フィルム６１が回転されていない場合よりも、より大きくすることができる。
このように、欠陥部分がより強調されるため、より十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
例えば、光源部２３が、好ましくは５０ｎｍ以下、より好ましくは４０ｎｍ以下の半値幅を有する光を射出するように構成されていることが望ましい。
光源部が、５０ｎｍ以下の半値幅を有する光を射出することによって、検査対象位相差フィルム４１における欠陥が発生した部分の位相差と、欠陥が発生していない部分の位相差との差を、非平行用位相差フィルム６１が回転されていない場合よりも、より大きくすることができる。
このように、欠陥部分がより強調されるため、より十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
５０ｎｍ以下の半値幅を有する光としては、単色光が挙げられ、単色光としては、青色光、緑色光、赤色光等が挙げられる。
一方、上記に加えて、光源部２３が、１０ｎｍ以上の半値幅を有する光を射出するように構成されていることが好ましい。
また、上記に加えて、通過する光の９０％以上が、１００ｎｍ以下の波長幅に含まれることがより好ましい。このような波長幅（ピーク幅）を有する光が光源部２３から射出されることによって、検査対象位相差フィルム４１における欠陥が発生した部分の位相差と、欠陥が発生していない部分の位相差との差を、非平行用位相差フィルム６１が回転されていない場合よりも、より大きくすることができる。
一方、上記に加えて、光源部２３が、１０ｎｍ以上の半値幅を有する光を射出するように構成されていることが好ましい。
また、上記に加えて、通過する光の９０％以上が、１００ｎｍ以下の波長幅に含まれることがより好ましい。このような波長幅（ピーク幅）を有する光が光源部２３から射出されることによって、検査対象位相差フィルム４１における欠陥が発生した部分の位相差と、欠陥が発生していない部分の位相差との差を、非平行用位相差フィルム６１が回転されていない場合よりも、より大きくすることができる。
また、上記光源部２３から射出される光としては、４００ｎｍ〜７００ｎｍにピークを有する光が挙げられる。射出される光の波長帯域によって屈折率が異なることから、検査対象位相差フィルム４１、第１の偏光フィルム３１、第２の偏光フィルム３５、検査用位相差フィルム７１、非平行用位相差フィルム６１の各光特性に応じて、射出される光の波長帯域を設定することができ、これらの光特性に応じて、例えば、上記のように、射出する光として、青、緑、赤などの、波長−相対分光強度分布曲線において単一ピークを有する単色光を採用し得る。
また、単色光の他、単色光よりもピーク幅が広い白色光を光源部２３から射出してもよい。かかる白色光を射出する光源部２３としては、白色ＬＥＤ照明、ハロゲン光照明、メタルハライド光照明等が挙げられる。
これら照明から射出される白色光は、光の９０％以上が有する波長帯域が、４００ｎｍ〜７００ｎｍにわたる。このような波長帯域を有する光を光源部２３から射出するときには、検査装置２０が、半値幅２５ｎｍ以下となるように光を阻止（吸収）し、その阻止率ＯＤ（光学濃度）が４以上のバンドパスフィルターを備える態様も採用し得る。かかる態様を採用する場合、バンドパスフィルターを通過した光を、第１の偏光フィルム３１を介して検査対象位相差フィルム４１に照射する構成を採用し得る。
これら照明から射出される白色光は、光の９０％以上が有する波長帯域が、４００ｎｍ〜７００ｎｍにわたる。このような波長帯域を有する光を光源部２３から射出するときには、検査装置２０が、半値幅２５ｎｍ以下となるように光を阻止（吸収）し、その阻止率ＯＤ（光学濃度）が４以上のバンドパスフィルターを備える態様も採用し得る。かかる態様を採用する場合、バンドパスフィルターを通過した光を、第１の偏光フィルム３１を介して検査対象位相差フィルム４１に照射する構成を採用し得る。
検査対象位相差フィルム４１は、これを通過する光に位相差を発生させるものである。
本実施形態では、検査対象位相差フィルム４１は、第１の偏光フィルム３１に積層されて偏光板５０として使用されるものであり、偏光板５０を構成する位相差フィルムとして所望の位相差を発生させ得るものである。
検査対象位相差フィルム４１は、このように積層された状態で検査装置２０によって検査される。
かかる検査対象位相差フィルム４１としては、従来公知の位相差フィルムを採用し得る。例えば、光の波長（λ）の位相を１／４ずらした位相差を発生させ得る１／４波長板（λ／４板）等を採用し得る。
本実施形態では、検査対象位相差フィルム４１は、第１の偏光フィルム３１に積層されて偏光板５０として使用されるものであり、偏光板５０を構成する位相差フィルムとして所望の位相差を発生させ得るものである。
検査対象位相差フィルム４１は、このように積層された状態で検査装置２０によって検査される。
かかる検査対象位相差フィルム４１としては、従来公知の位相差フィルムを採用し得る。例えば、光の波長（λ）の位相を１／４ずらした位相差を発生させ得る１／４波長板（λ／４板）等を採用し得る。
第１の偏光フィルム３１は、これを通過する光に偏光を発生させるものである。
本実施形態では、第１の偏光フィルム３１は、その上に検査対象位相差フィルム４１が積層されて、偏光板５０として使用されるものである。
かかる第１の偏光フィルム３１としては、従来公知の偏光フィルムを採用し得る。
本実施形態では、第１の偏光フィルム３１は、その上に検査対象位相差フィルム４１が積層されて、偏光板５０として使用されるものである。
かかる第１の偏光フィルム３１としては、従来公知の偏光フィルムを採用し得る。
第１の偏光フィルム３１と検査対象位相差フィルム４１とが積層されてなる偏光板５０としては、例えば、市販品を採用することができ、該市販品としては、例えば日東電工社製のＮＰＦ（透過率４４．５％、偏光度９５．８％）等が挙げられる。
非平行用位相差フィルム６１は、これを通過する光に位相差を発生させるものである。
また、非平行用位相差フィルム６１は、該非平行用位相差フィルム６１の配向方向と、検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが非平行になるように配されている、すなわち、非平行用位相差フィルム６１は、該非平行用位相差フィルム６１の配向方向と、検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが交差するように、配されている。非平行用位相差フィルム６１がこのように配されることによって、これを通過する光の位相差を変更するようになっている。
具体的には、本実施形態では、非平行用位相差フィルム６１は、該非平行用位相差フィルム６１の配向方向と、検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが平行に配された状態から、非平行用位相差フィルム６１が回転されることによって、該非平行用位相差フィルム６１の配向方向と、検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが非平行となるように配されるようになっている。
また、非平行用位相差フィルム６１は、従来公知の回転機構によって、回転されるようになっている。
非平行用位相差フィルム６１としては、従来公知の位相差フィルムを採用し得る。例えば、光の波長（λ）の位相を１／４ずらした位相差を発生させ得る１／４波長板（λ／４板）等を採用し得る。また、検査対象位相差フィルム４１と同じ位相差フィルムも採用し得る。
また、非平行用位相差フィルム６１は、該非平行用位相差フィルム６１の配向方向と、検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが非平行になるように配されている、すなわち、非平行用位相差フィルム６１は、該非平行用位相差フィルム６１の配向方向と、検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが交差するように、配されている。非平行用位相差フィルム６１がこのように配されることによって、これを通過する光の位相差を変更するようになっている。
具体的には、本実施形態では、非平行用位相差フィルム６１は、該非平行用位相差フィルム６１の配向方向と、検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが平行に配された状態から、非平行用位相差フィルム６１が回転されることによって、該非平行用位相差フィルム６１の配向方向と、検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが非平行となるように配されるようになっている。
また、非平行用位相差フィルム６１は、従来公知の回転機構によって、回転されるようになっている。
非平行用位相差フィルム６１としては、従来公知の位相差フィルムを採用し得る。例えば、光の波長（λ）の位相を１／４ずらした位相差を発生させ得る１／４波長板（λ／４板）等を採用し得る。また、検査対象位相差フィルム４１と同じ位相差フィルムも採用し得る。
非平行用位相差フィルム６１は、該非平行用位相差フィルム６１の配向方向と検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが０°を超える交差角度で交差するように配されればよい。すなわち、かかる交差角度は、０°を超えていればよく、特に限定されるものではない。
かかる交差角度は、例えば、検査部２５の検査精度や、検査対象位相差フィルム４１の移動速度等に応じて、適宜設定されればよい。
例えば、検査対象位相差フィルム４１が発生させる位相差が１／４であるとき、該検査対象位相差フィルム４１の配向方向と非平行用位相差フィルム６１とが交差してなす交差角度が１°〜２０°となるように、非平行用位相差フィルム６１が配される構成を採用し得る。
このように非平行用位相差フィルム６１が配されることによって、検査対象位相差フィルム４１における欠陥が発生した部分の位相差と、欠陥が発生していない部分の位相差との差を、非平行用位相差フィルム６１の配向方向と検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが平行な場合よりも、より大きくすることができる。
このように、欠陥部分がより強調されるため、より十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
このように非平行用位相差フィルム６１が配されることによって、検査対象位相差フィルム４１における欠陥が発生した部分の位相差と、欠陥が発生していない部分の位相差との差を、非平行用位相差フィルム６１の配向方向と検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが平行な場合よりも、より大きくすることができる。
このように、欠陥部分がより強調されるため、より十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
また、より具体的には、光源部２３から半値幅５０ｎｍ以下の光が射出された場合、上記交差角度が１°〜２０°とされることが好ましく、１°〜１０°とされることがより好ましく、１°〜５°とされることがより好ましく、１°〜３°とされることが一層好ましい。
検査用位相差フィルム７１は、これを通過する光に位相差を発生させるものであり、該検査用位相差フィルム７１の配向方向と検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが直交となるように配されるものである。
かかる検査用位相差フィルム７１としては、従来公知の位相差フィルムを採用し得る。例えば、光の波長（λ）の位相を１／４ずらした位相差を発生させ得る１／４波長板（λ／４板）等を採用し得る。また、検査対象位相差フィルム４１と同じ位相差を発生させ得るものを採用し得る。
検査装置２０が検査用位相差フィルム７１を備えることによって、検査対象位相差フィルム４１に欠陥が無い場合には、これら検査用位相差フィルム７１及び検査対象位相差フィルム４１の一方を光が通過して発生した位相差が、他方を通過することによって抑制されることになる（直線偏光に近づくことになる）。これに対し、検査対象位相差フィルム４１に欠陥が存在していると、位相差が抑制される程度が低くなる。よって、この位相差が抑制される程度の差によって、欠陥が発生している部分を検査部２５が検知することが可能となるため、検査部２５が、欠陥をより検知し易くなる。
特に、検査用位相差フィルム７１として、検査対象位相差フィルム４１と同じものを用いる場合には、上記一方の位相差フィルム（ここでは検査対象位相差フィルム）によって円偏光とされた光が、他方の位相差フィルム（ここでは、検査用位相差フィルム７１）によって、直線偏光に変換されるため、欠陥をさらに検知し易くなる。
さらに、このように直線偏光に変換されることによって、後述する第２の偏光フィルム３５で検査され易くなる。
かかる検査用位相差フィルム７１としては、従来公知の位相差フィルムを採用し得る。例えば、光の波長（λ）の位相を１／４ずらした位相差を発生させ得る１／４波長板（λ／４板）等を採用し得る。また、検査対象位相差フィルム４１と同じ位相差を発生させ得るものを採用し得る。
検査装置２０が検査用位相差フィルム７１を備えることによって、検査対象位相差フィルム４１に欠陥が無い場合には、これら検査用位相差フィルム７１及び検査対象位相差フィルム４１の一方を光が通過して発生した位相差が、他方を通過することによって抑制されることになる（直線偏光に近づくことになる）。これに対し、検査対象位相差フィルム４１に欠陥が存在していると、位相差が抑制される程度が低くなる。よって、この位相差が抑制される程度の差によって、欠陥が発生している部分を検査部２５が検知することが可能となるため、検査部２５が、欠陥をより検知し易くなる。
特に、検査用位相差フィルム７１として、検査対象位相差フィルム４１と同じものを用いる場合には、上記一方の位相差フィルム（ここでは検査対象位相差フィルム）によって円偏光とされた光が、他方の位相差フィルム（ここでは、検査用位相差フィルム７１）によって、直線偏光に変換されるため、欠陥をさらに検知し易くなる。
さらに、このように直線偏光に変換されることによって、後述する第２の偏光フィルム３５で検査され易くなる。
第２の偏光フィルム３５は、これを通過する光に偏光を発生させるものであり、該第２の偏光フィルム３５の配向方向と第１の偏光フィルム３１の配向方向とがクロスニコルとなるように配されるようになっている。
かかる第２の偏光フィルム３５としては、従来公知の偏光フィルムを採用し得る。
検査装置２０が第２の偏光フィルム３５をさらに備えることによって、検査対象位相差フィルム４１における欠陥が発生していない部分を暗部、欠陥が発生している部分を明部として検査部２５が検知できる。
これにより、検査部２５は、欠陥をより検知し易くなるため、より十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
かかる第２の偏光フィルム３５としては、従来公知の偏光フィルムを採用し得る。
検査装置２０が第２の偏光フィルム３５をさらに備えることによって、検査対象位相差フィルム４１における欠陥が発生していない部分を暗部、欠陥が発生している部分を明部として検査部２５が検知できる。
これにより、検査部２５は、欠陥をより検知し易くなるため、より十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
なお、第１の偏光フィルム３１、第２の偏光フィルム３５、非平行用位相差フィルム６１、及び、検査用位相差フィルム７１は、予め別途検査が行われて、欠陥が発生していないものが用いられる。
検査部２５は、光を受光し、受光した光を画像として出力可能に構成されている。
検査部２５は、特に限定されるものではないが、例えば、検査部２５としては、撮像装置が挙げられ、該撮像装置としては、ラインカメラやエリアカメラ等が挙げられる。
検査部２５は、光源部２３から射出された光が検査部２５に全く受光されない場合を黒色（最も暗い）とし、光の受光量が増加する程、白色に近づく（明るくなる）として、黒白の二値化し、且つ、最も黒い場合を０、最も白い場合を２５５として０〜２５５の数値で受光量を表すことによって、画像情報を作成し、作成した画像情報を制御部２７に出力するようになっている。
本実施形態では、第１の偏光フィルム３１と第２の偏光フィルム３５とが備えられていることによって、検査対象位相差フィルム４１に欠陥が存在している場合、その欠陥部分の、他の部分との位相差のずれによって、該他の部分よりも白く（受光量が大きく）表示されるようになっている。
検査部２５は、特に限定されるものではないが、例えば、検査部２５としては、撮像装置が挙げられ、該撮像装置としては、ラインカメラやエリアカメラ等が挙げられる。
検査部２５は、光源部２３から射出された光が検査部２５に全く受光されない場合を黒色（最も暗い）とし、光の受光量が増加する程、白色に近づく（明るくなる）として、黒白の二値化し、且つ、最も黒い場合を０、最も白い場合を２５５として０〜２５５の数値で受光量を表すことによって、画像情報を作成し、作成した画像情報を制御部２７に出力するようになっている。
本実施形態では、第１の偏光フィルム３１と第２の偏光フィルム３５とが備えられていることによって、検査対象位相差フィルム４１に欠陥が存在している場合、その欠陥部分の、他の部分との位相差のずれによって、該他の部分よりも白く（受光量が大きく）表示されるようになっている。
制御部２７には、受光量の閾値が格納されており、検査部２５から出力された画像情報を、上記閾値と比較して、欠陥の有無を判定し得るように構成されている。
かかる制御部２７としては、中央演算装置（ＣＰＵ）を有するコンピュータ等が挙げられる。
また、例えば、制御部２７は、検査部２５から出力された画像情報から得られる総受光量を積算し、得られた総積算受光量を予め設定された閾値と比較し、該閾値を超える場合に、欠陥部分が存在していると判定するように構成され得る。また、例えば、制御部２７は、検査部２５から出力された画像情報を、所定の面積の領域に分け、各領域の画像情報から得られる受光量を積算し、得られた各積算受光量を予め設定された閾値と比較し、該閾値を超える場合に、その領域では、欠陥部分が存在していると判定するように構成され得る。
このような画像情報に基づく欠陥の判定は、従来公知のプログラムを用いて実行し得る。
かかる制御部２７としては、中央演算装置（ＣＰＵ）を有するコンピュータ等が挙げられる。
また、例えば、制御部２７は、検査部２５から出力された画像情報から得られる総受光量を積算し、得られた総積算受光量を予め設定された閾値と比較し、該閾値を超える場合に、欠陥部分が存在していると判定するように構成され得る。また、例えば、制御部２７は、検査部２５から出力された画像情報を、所定の面積の領域に分け、各領域の画像情報から得られる受光量を積算し、得られた各積算受光量を予め設定された閾値と比較し、該閾値を超える場合に、その領域では、欠陥部分が存在していると判定するように構成され得る。
このような画像情報に基づく欠陥の判定は、従来公知のプログラムを用いて実行し得る。
続いて、検査装置２０における非平行用位相差フィルム６１の配置（検査対象位相差フィルム４１と非平行用位相差フィルム６１とが交差してなす交差角度）の設定について説明する。
本実施形態では、非平行用位相差フィルム６１の配置は、下記の予備実験によって設定される。
本実施形態では、非平行用位相差フィルム６１の配置は、下記の予備実験によって設定される。
まず、欠陥を有することが予め分かっている検査対象位相差フィルム４１が用いられ、検査装置２０が、光源部２３、第１の偏光フィルム３１、検査対象位相差フィルム４１、非平行用位相差フィルム６１、検査用位相差フィルム７１、第２の偏光フィルム３５、及び、検査部２５の順に配されるように設置される。
また、第１の偏光フィルム３１と第２の偏光フィルム３５とが、これらの配向方向がクロスニコルとなるように配され、検査対象位相差フィルム４１と検査用位相差フィルム７１とが、これらの配向方向が平行となるように配される。これら第１の偏光フィルム３１、第２の偏光フィルム３５フィルム、検査対象位相差フィルム４１及び検査用位相差フィルム７１がこのように配されることによって、非平行用位相差フィルム６１が配されていない状態では、光源部２３から射出された光は、検査部２５で比較的小さな受光量の光を受光するようになっている。より具体的には、ほとんど光を受光しないようになっている。この状態では、欠陥部分と他の部分とが区別され難い。
また、第１の偏光フィルム３１と第２の偏光フィルム３５とが、これらの配向方向がクロスニコルとなるように配され、検査対象位相差フィルム４１と検査用位相差フィルム７１とが、これらの配向方向が平行となるように配される。これら第１の偏光フィルム３１、第２の偏光フィルム３５フィルム、検査対象位相差フィルム４１及び検査用位相差フィルム７１がこのように配されることによって、非平行用位相差フィルム６１が配されていない状態では、光源部２３から射出された光は、検査部２５で比較的小さな受光量の光を受光するようになっている。より具体的には、ほとんど光を受光しないようになっている。この状態では、欠陥部分と他の部分とが区別され難い。
この状態で、検査対象位相差フィルム４１と検査用位相差フィルム７１との間に非平行用位相差フィルム６１が挿入される。このように非平行用位相差フィルム６１が挿入された状態で光源部２３から光が射出されながら、非平行用位相差フィルム６１が回転され、最も暗い状態になったとき（すなわち、検査部２５の受光量が最も小さくなって最も黒く表示されたとき）、検査対象位相差フィルム４１の配向方向と非平行用位相差フィルム６１の配向方向とが平行となる。すなわち、両配向方向の交差角度が０°となる。この状態から、非平行用位相差フィルム６１が回転されて、検査対象位相差フィルム４１の欠陥部分が最も明るい状態になったとき（すなわち、検査部２５の受光量が最も大きくなって最も白く表示された状態になったとき）、回転が止められ、この状態で、非平行用位相差フィルム６１の配置が固定される。この状態では、非平行用位相差フィルム６１の配向方向と検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが非平行となっている。また、この状態では、検査対象位相差フィルム４１の位相差と、非平行用位相差フィルム６１の位相差とが最も大きくずれた状態となっている。
このようにして、非平行用位相差フィルム６１が固定された状態で、検査対象位相差フィルム４１を有する偏光板５０が移動されながら、光源部２３から検査対象位相差フィルム４１に光が照射され、照射された光が検査部２５で受光されて、検査対象位相差フィルム４１が検査される。
上記の通り、本実施形態の検査装置２０は、
検査対象である検査対象位相差フィルム４１の欠陥を検査する検査装置２０であって、
前記検査対象位相差フィルム４１に照射する光を射出する光源部２３と、
前記光源部２３と前記検査対象位相差フィルム４１との間に配されて、前記光源部２３から射出された前記光を前記検査対象位相差フィルム４１へと通過させる偏光フィルム（ここでは第１の偏光フィルム）３１と、
前記検査対象位相差フィルム４１を通過した前記光を受光して欠陥を検査する検査部２５と、
前記光源部２３から射出された前記光が前記検査部２５に受光されるまでの経路Ｒに配された非平行用位相差フィルム６１とを備え、
前記非平行用位相差フィルム６１は、該非平行用位相差フィルム６１の配向方向と、前記検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが非平行となるように配されて、前記光の位相差を変更するように構成されている。
検査対象である検査対象位相差フィルム４１の欠陥を検査する検査装置２０であって、
前記検査対象位相差フィルム４１に照射する光を射出する光源部２３と、
前記光源部２３と前記検査対象位相差フィルム４１との間に配されて、前記光源部２３から射出された前記光を前記検査対象位相差フィルム４１へと通過させる偏光フィルム（ここでは第１の偏光フィルム）３１と、
前記検査対象位相差フィルム４１を通過した前記光を受光して欠陥を検査する検査部２５と、
前記光源部２３から射出された前記光が前記検査部２５に受光されるまでの経路Ｒに配された非平行用位相差フィルム６１とを備え、
前記非平行用位相差フィルム６１は、該非平行用位相差フィルム６１の配向方向と、前記検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが非平行となるように配されて、前記光の位相差を変更するように構成されている。
かかる構成によれば、光源部２３から射出された光を偏光フィルム３１（ここでは第１の偏光フィルム３１）で偏光して検査対象位相差フィルム４１に照射し、検査対象位相差フィルム４１を通過して位相差が発生した光を検査部２５で受光して、検査対象位相差フィルム４１の欠陥を検査することができる。
このとき、光源部２３から射出された光が検査部２５に受光されるまでの経路Ｒに、検査対象位相差フィルム４１の配向方向と、非平行用位相差フィルム６１の配向方向とが非平行となるように非平行用位相差フィルム６１が配されることによって、検査対象位相差フィルム４１における欠陥が発生している部分の位相差と、欠陥が発生していない部分の位相差との差を、非平行用位相差フィルム６１の配向方向と検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが平行な場合よりも、大きくする（増幅する）ことができる。
このように、欠陥部分が強調されるため、十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
このとき、光源部２３から射出された光が検査部２５に受光されるまでの経路Ｒに、検査対象位相差フィルム４１の配向方向と、非平行用位相差フィルム６１の配向方向とが非平行となるように非平行用位相差フィルム６１が配されることによって、検査対象位相差フィルム４１における欠陥が発生している部分の位相差と、欠陥が発生していない部分の位相差との差を、非平行用位相差フィルム６１の配向方向と検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが平行な場合よりも、大きくする（増幅する）ことができる。
このように、欠陥部分が強調されるため、十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
本実施形態の検査装置２０においては、
前記検査対象位相差フィルム４１が発生させる位相差が１／４であり、
該検査対象位相差フィルム４１の配向方向と、前記非平行用位相差フィルム６１とが交差してなす交差角度が１°〜２０°となるように、前記非平行用位相差フィルム６１が配されて構成されていてもよい。
前記検査対象位相差フィルム４１が発生させる位相差が１／４であり、
該検査対象位相差フィルム４１の配向方向と、前記非平行用位相差フィルム６１とが交差してなす交差角度が１°〜２０°となるように、前記非平行用位相差フィルム６１が配されて構成されていてもよい。
かかる構成によれば、検査対象位相差フィルム４１における欠陥が発生した部分の位相差と、欠陥が発生していない部分の位相差との差を、非平行用位相差フィルム６１が回転されていない場合よりも、より大きくすることができる。
このように、欠陥部分がより強調されるため、より十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
このように、欠陥部分がより強調されるため、より十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
本実施形態の検査装置２０においては、
前記光源部２３が、５０ｎｍ以下の半値幅を有する前記光を射出するように構成されていてもよい。
前記光源部２３が、５０ｎｍ以下の半値幅を有する前記光を射出するように構成されていてもよい。
かかる構成によれば、光源部２３が、５０ｎｍ以下の半値幅を有する光を射出することによって、検査対象位相差フィルム４１における欠陥が発生した部分の位相差と、欠陥が発生していない部分の位相差との差を、非平行用位相差フィルム６１の配向方向と検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが平行な場合よりも、より大きくすることができる。
このように、欠陥部分がより強調されるため、より十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
このように、欠陥部分がより強調されるため、より十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
本実施形態の検査装置２０は、
前記光源部２３と前記検査対象位相差フィルム４１との間に配された偏光フィルム３１を第１の偏光フィルム３１とするとき、
前記経路Ｒに、且つ、前記検査対象位相差フィルム４１に対して前記第１の偏光フィルム３１と反対の側に第２の偏光フィルム３５をさらに備え、
前記第２の偏光フィルム３５は、該第２の偏光フィルム３５の配向方向と、前記第１の偏光フィルム３１の配向方向とがクロスニコルとなるように配されて構成されている。
前記光源部２３と前記検査対象位相差フィルム４１との間に配された偏光フィルム３１を第１の偏光フィルム３１とするとき、
前記経路Ｒに、且つ、前記検査対象位相差フィルム４１に対して前記第１の偏光フィルム３１と反対の側に第２の偏光フィルム３５をさらに備え、
前記第２の偏光フィルム３５は、該第２の偏光フィルム３５の配向方向と、前記第１の偏光フィルム３１の配向方向とがクロスニコルとなるように配されて構成されている。
かかる構成によれば、上記経路Ｒに、且つ、検査対象位相差フィルム４１に対して第１の偏光フィルム３１と反対の側に、第１の偏光フィルム３１の配向方向と第２の偏光フィルム３５の配向方向とがクロスニコルとなるように第２の偏光フィルム３５が配されることによって、検査対象位相差フィルム４１における欠陥が発生していない部分を暗部、欠陥が発生している部分を明部として検査部２５が検知できる。
これにより、検査部２５は、欠陥をより検知し易くなるため、より十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
これにより、検査部２５は、欠陥をより検知し易くなるため、より十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
本実施形態の検査装置２０は、
前記経路Ｒに、検査用位相差フィルム７１をさらに備え、
前記検査用位相差フィルム７１は、該検査用位相差フィルム７１の配向方法と、検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが直交となるように配されて構成されている。
前記経路Ｒに、検査用位相差フィルム７１をさらに備え、
前記検査用位相差フィルム７１は、該検査用位相差フィルム７１の配向方法と、検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが直交となるように配されて構成されている。
かかる構成によれば、上記経路Ｒに、検査用位相差フィルム７１の配向方向と検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが直交となるように検査対象位相差フィルム４１が配されることによって、検査対象位相差フィルム４１に欠陥が無い場合には、これら位相差フィルムの一方を光が通過して発生した位相差が、他方を通過することによって抑制されることになる（直線偏光に近づくことになる）。これに対し、検査対象位相差フィルム４１に欠陥が存在していると、位相差が抑制される程度が低くなる。よって、この位相差が抑制される程度の差によって、欠陥が発生している部分を検査部２５が検知することが可能となるため、検査部２５が、欠陥をより検知し易くなる。
本実施形態の検査方法は、
本実施形態の検査装置２０を用いて、
前記検査対象位相差フィルム４１を、該検査対象位相差フィルム４１の配向方向と前記非平行用位相差フィルム６１の配向方向とが非平行となるように配することによって、前記検査対象位相差フィルム４１の位相差と、前記非平行用位相差フィルム６１の位相差との差を発生させて、前記検査対象位相差フィルム４１の欠陥を検査する方法である。
本実施形態の検査装置２０を用いて、
前記検査対象位相差フィルム４１を、該検査対象位相差フィルム４１の配向方向と前記非平行用位相差フィルム６１の配向方向とが非平行となるように配することによって、前記検査対象位相差フィルム４１の位相差と、前記非平行用位相差フィルム６１の位相差との差を発生させて、前記検査対象位相差フィルム４１の欠陥を検査する方法である。
かかる構成によれば、非平行用位相差フィルム６１を、該非平行用位相差フィルム６１の配向方向と前記検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが非平行となるように配することによって、検査対象位相差フィルム４１の位相差と、非平行用位相差フィルム６１の位相差との差を発生させて、検査対象位相差フィルム４１の欠陥を検査することができる。
これによって、上記の通り、検査対象位相差フィルム４１における欠陥が発生している部分の位相差と、欠陥が発生していない部分の位相差との差を、非平行用位相差フィルム６１の配向方向と検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが平行な場合よりも、大きくすることができる。
このように、欠陥部分が強調されるため、十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
これによって、上記の通り、検査対象位相差フィルム４１における欠陥が発生している部分の位相差と、欠陥が発生していない部分の位相差との差を、非平行用位相差フィルム６１の配向方向と検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが平行な場合よりも、大きくすることができる。
このように、欠陥部分が強調されるため、十分に精度良く欠陥を検知することが可能となる。
本実施形態の検査装置２０及び検査方法は上記の通りであるが、本発明の検査装置及び検査方法は、上記実施形態に限定されるものではなく、適宜設計変更可能である。
例えば、上記実施形態では、図２及び図３に示されるように、光源部２３、偏光フィルム（第１の偏光フィルム）３１、検査対象位相差フィルム４１、非平行用位相差フィルム６１、検査用位相差フィルム７１、偏光フィルム（第２の偏光フィルム）３５、検査部２５の順に、これらが配される構成が採用された。
しかし、本発明では、その他、例えば図４に示されるように、光源部、検査用位相差フィルム７１、偏光フィルム（第１の偏光フィルム）３５、非平行用位相差フィルム６１、偏光フィルム（第２の偏光フィルム）３１、検査対象位相差フィルム４１、検査部２５の順に、これらが配される態様も採用され得る。
また、その他、例えば図５に示すように、光源部２３、偏光フィルム（第１の偏光フィルム）３１、検査対象位相差フィルム４１、非平行用位相差フィルム６１、検査用位相差フィルム７１、検査部２５の順に、これらが配される構成も採用され得る。すなわち、検査装置２０が、検査用位相差フィルム７１を備えていない態様も採用され得る。
また、その他、例えば図６に示すように、光源部２３、偏光フィルム（第１の偏光フィルム）３１、検査対象位相差フィルム４１、非平行用位相差フィルム６１、検査部２５の順に、これらが配される構成も採用され得る。すなわち、検査装置２０が、偏光フィルム（第２の偏光フィルム）３５及び検査用位相差フィルム７１を備えていない態様も採用され得る。
次に、実施例を示しつつ、本発明をさらに詳細に説明する。
（実験例１）
図２及び図３に示す検査装置２０を用いて、検査対象位相差フィルム４１の欠陥を検査した。
光源部２３として、青ＬＥＤ照明（ＬＮＳＰ−３００ＢＲ、ＣＣＳ社製）を用いた。
検査対象位相差フィルム４１及び第１の偏光フィルム３１として、偏光板５０（ＮＡＫＺＹＭＳＣＡ−ＳＵ０４、日東電工社製）として積層されたものを用いた。偏光板５０の検査対象位相差フィルム４１は、１／４λの位相差を発生させ得るものであった。
検査用位相差フィルム７１及び第２の偏光フィルム３５として、上記と同様の偏光板５０（ＮＡＫＺＹＭＳＣＡ−ＳＵ０４、日東電工社製）を用いた。
非平行用位相差フィルム６１として、１／４λの位相差を発生させ得る位相差フィルム（日東電工社製）を用いた。
検査部２５として、ラインカメラ（型式：ＡＶｉｉＶＡ ＳＭ２、ｅ２Ｖ社製）を用いた。
そして、非平行用位相差フィルム６１を、該非平行用位相差フィルム６１の配向方向と、検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが交差してなす交差角度が３°となるように配置した。
この状態で、欠陥を有することが予め分かっている検査対象位相差フィルム４１に、光源部２３から光を射出し、検査部２５で受光し、画像情報を取得（画像を撮像）した。
結果を図７に示す。
図２及び図３に示す検査装置２０を用いて、検査対象位相差フィルム４１の欠陥を検査した。
光源部２３として、青ＬＥＤ照明（ＬＮＳＰ−３００ＢＲ、ＣＣＳ社製）を用いた。
検査対象位相差フィルム４１及び第１の偏光フィルム３１として、偏光板５０（ＮＡＫＺＹＭＳＣＡ−ＳＵ０４、日東電工社製）として積層されたものを用いた。偏光板５０の検査対象位相差フィルム４１は、１／４λの位相差を発生させ得るものであった。
検査用位相差フィルム７１及び第２の偏光フィルム３５として、上記と同様の偏光板５０（ＮＡＫＺＹＭＳＣＡ−ＳＵ０４、日東電工社製）を用いた。
非平行用位相差フィルム６１として、１／４λの位相差を発生させ得る位相差フィルム（日東電工社製）を用いた。
検査部２５として、ラインカメラ（型式：ＡＶｉｉＶＡ ＳＭ２、ｅ２Ｖ社製）を用いた。
そして、非平行用位相差フィルム６１を、該非平行用位相差フィルム６１の配向方向と、検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが交差してなす交差角度が３°となるように配置した。
この状態で、欠陥を有することが予め分かっている検査対象位相差フィルム４１に、光源部２３から光を射出し、検査部２５で受光し、画像情報を取得（画像を撮像）した。
結果を図７に示す。
図７において、白色の点状で表されている部分は、外部環境からフィルムに付着した異物した異物である。また、円弧状の線は、欠陥が発生している部分（欠陥部分）が検知されるべき領域を示す目印として油性インクペンで描かれたものである。
この図７において、欠陥部分を示す線状の部分を、矩形状の枠で囲んで示す。この図において、欠陥部分を示す線状の部分は、１本の線状の部分として、矩形状の枠の短手方向中央部を通ってその長手方向に延びるように存在していた。すなわち、この線状の部分の存在によって、図７では、欠陥部分の位相差と欠陥が発生していない部分の位相差との差が大きく（増幅）され、これによって欠陥部分が強調されていた。
このように、実験例１では、検査対象位相差フィルム４１における欠陥部分の位相差と、他の部分との位相差との差が、非平行用位相差フィルム６１によって大きくされたため、欠陥部分が十分に検出された。また、交差角度が３°であることによって、１ｎｍ以下の位相差同士の差を発生させ得ることがわかった。
この図７において、欠陥部分を示す線状の部分を、矩形状の枠で囲んで示す。この図において、欠陥部分を示す線状の部分は、１本の線状の部分として、矩形状の枠の短手方向中央部を通ってその長手方向に延びるように存在していた。すなわち、この線状の部分の存在によって、図７では、欠陥部分の位相差と欠陥が発生していない部分の位相差との差が大きく（増幅）され、これによって欠陥部分が強調されていた。
このように、実験例１では、検査対象位相差フィルム４１における欠陥部分の位相差と、他の部分との位相差との差が、非平行用位相差フィルム６１によって大きくされたため、欠陥部分が十分に検出された。また、交差角度が３°であることによって、１ｎｍ以下の位相差同士の差を発生させ得ることがわかった。
（実験例２）
非平行用位相差フィルム６１の配向方向と、検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが平行となるように非平行用位相差フィルム６１が配されたこと、すなわち、非平行用位相差フィルム６１の配向方向と検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが交差してなす交差角度が０°となるように非平行用位相差フィルム６１が配されたこと以外は実験例１と同様にして、検査対象位相差フィルム４１の欠陥を検査し、画像情報を取得した。
結果を図８に示す。
なお、図８において、白色の点状で表されている部分は、外部環境からフィルムに付着した異物である。また、円弧状の線は、欠陥部分が検知されるべき領域を示す目印として油性インクペンで描かれたものである。
この図８において、欠陥が検知されるべき部分（図７参照）に、欠陥部分を示す線状の部分が存在していなかった。すなわち、図８では、欠陥部分の位相差と欠陥が発生していない部分の位相差との差が大きく（増幅）されておらず、よって、欠陥部分が強調されていなかった。
このように、実験例２では、検査対象位相差フィルム４１における欠陥部分の位相差と、他の部分との位相差との差が、非平行用位相差フィルム６１によって大きくされなかったため、欠陥部分が十分に検出されなかった。
非平行用位相差フィルム６１の配向方向と、検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが平行となるように非平行用位相差フィルム６１が配されたこと、すなわち、非平行用位相差フィルム６１の配向方向と検査対象位相差フィルム４１の配向方向とが交差してなす交差角度が０°となるように非平行用位相差フィルム６１が配されたこと以外は実験例１と同様にして、検査対象位相差フィルム４１の欠陥を検査し、画像情報を取得した。
結果を図８に示す。
なお、図８において、白色の点状で表されている部分は、外部環境からフィルムに付着した異物である。また、円弧状の線は、欠陥部分が検知されるべき領域を示す目印として油性インクペンで描かれたものである。
この図８において、欠陥が検知されるべき部分（図７参照）に、欠陥部分を示す線状の部分が存在していなかった。すなわち、図８では、欠陥部分の位相差と欠陥が発生していない部分の位相差との差が大きく（増幅）されておらず、よって、欠陥部分が強調されていなかった。
このように、実験例２では、検査対象位相差フィルム４１における欠陥部分の位相差と、他の部分との位相差との差が、非平行用位相差フィルム６１によって大きくされなかったため、欠陥部分が十分に検出されなかった。
（実験例３）
光源部２３として、実験例１で用いた青ＬＥＤ照明（ＬＮＳＰ−３００ＢＬ、ＣＣＳ社製）の他、緑ＬＥＤ照明（ＬＮＳＰ−３００ＧＲ、ＣＣＳ社製）、赤ＬＥＤ照明（ＬＮＳＰ−３００ＲＤ、ＣＣＳ社製）、白ＬＥＤ照明（ＬＮＳＰ−３００ＳＷ、ＣＣＳ社製）を用いて、実験例１と同様にして検査対象位相差フィルム４１を検査して、光源部２３から射出される光の波長帯域の違いが検査結果に及ぼす影響を調べた。
用いた青色光は、波長−相対分光強度分布曲線において単一のピークを有し、そのピーク波長が４７０ｎｍ、半値幅（相対分光強度が最大値の１／２となる波長の幅）が２０ｎｍであった。
用いた緑色光は、波長−相対分校強度分布曲線において単一のピークを有し、そのピーク波長が５３０ｎｍ、半値幅が３０ｎｍであった。
用いた赤色光は、波長−相対分校強度分布曲線において単一のピークを有し、そのピーク波長が６２７ｎｍ、半値幅が２０ｎｍであった。
このように、用いた青色光、緑色光及び赤色光は、半値幅が５０ｎｍ以下であるような単一のピーク、すなわち、シャープな単一のピークを有していたのに対し、用いた白色光は、波長−相対分校強度分布曲線において、半値幅が２０ｎｍ程度のシャープなピークと、半値幅が１２０ｎｍ程度のブロードなピークとを有しており、単一のシャープなピークを有していなかった。
光源部２３として、実験例１で用いた青ＬＥＤ照明（ＬＮＳＰ−３００ＢＬ、ＣＣＳ社製）の他、緑ＬＥＤ照明（ＬＮＳＰ−３００ＧＲ、ＣＣＳ社製）、赤ＬＥＤ照明（ＬＮＳＰ−３００ＲＤ、ＣＣＳ社製）、白ＬＥＤ照明（ＬＮＳＰ−３００ＳＷ、ＣＣＳ社製）を用いて、実験例１と同様にして検査対象位相差フィルム４１を検査して、光源部２３から射出される光の波長帯域の違いが検査結果に及ぼす影響を調べた。
用いた青色光は、波長−相対分光強度分布曲線において単一のピークを有し、そのピーク波長が４７０ｎｍ、半値幅（相対分光強度が最大値の１／２となる波長の幅）が２０ｎｍであった。
用いた緑色光は、波長−相対分校強度分布曲線において単一のピークを有し、そのピーク波長が５３０ｎｍ、半値幅が３０ｎｍであった。
用いた赤色光は、波長−相対分校強度分布曲線において単一のピークを有し、そのピーク波長が６２７ｎｍ、半値幅が２０ｎｍであった。
このように、用いた青色光、緑色光及び赤色光は、半値幅が５０ｎｍ以下であるような単一のピーク、すなわち、シャープな単一のピークを有していたのに対し、用いた白色光は、波長−相対分校強度分布曲線において、半値幅が２０ｎｍ程度のシャープなピークと、半値幅が１２０ｎｍ程度のブロードなピークとを有しており、単一のシャープなピークを有していなかった。
上記青色光、緑色光、赤色光、白色光を用いた検査結果を、図９〜図１２にそれぞれ示す。
図９〜図１２において、白色の点状で表されている部分は、外部環境からフィルムに付着した異物である。また、三角形状の部分は、その先端のさらに先に、欠陥部分があることを示す目印としてフィルムに貼り付けられたテープである。
この図９〜図１２において、欠陥部分を示す線状の部分を、矩形状の枠で囲んで示す。この図において、欠陥部分を示す線状の部分は、１本の線状の部分として、矩形状の枠の短手方向中央部を通ってその長手方向に延びるように存在していた。すなわち、この線状の部分の存在によって、図９〜図１２では、欠陥部分の位相差と欠陥が発生していない部分の位相差との差が大きく（増幅）され、これによって欠陥部分が強調されていた。
この図９〜図１２に示すように、複数のピークを有し、また、有するピークの波長幅が広い白色光よりも、青、緑、赤といった単色光の方が、検査対象位相差フィルム４１における欠陥部分が、他の部分よりも強調されていた。この結果、単色色の方が、白色光よりも、より十分な感度で欠陥を検査し得ることがわかった。
図９〜図１２において、白色の点状で表されている部分は、外部環境からフィルムに付着した異物である。また、三角形状の部分は、その先端のさらに先に、欠陥部分があることを示す目印としてフィルムに貼り付けられたテープである。
この図９〜図１２において、欠陥部分を示す線状の部分を、矩形状の枠で囲んで示す。この図において、欠陥部分を示す線状の部分は、１本の線状の部分として、矩形状の枠の短手方向中央部を通ってその長手方向に延びるように存在していた。すなわち、この線状の部分の存在によって、図９〜図１２では、欠陥部分の位相差と欠陥が発生していない部分の位相差との差が大きく（増幅）され、これによって欠陥部分が強調されていた。
この図９〜図１２に示すように、複数のピークを有し、また、有するピークの波長幅が広い白色光よりも、青、緑、赤といった単色光の方が、検査対象位相差フィルム４１における欠陥部分が、他の部分よりも強調されていた。この結果、単色色の方が、白色光よりも、より十分な感度で欠陥を検査し得ることがわかった。
（実験例４）
光源部２３として、実験例３で用いた白ＬＥＤ照明と、該白ＬＥＤ照明と第１の偏光フィルム３１との間に配されたバンドパスフィルター（＃８４−７９４、エドモンドオプティクス社製）とを有するものを用いた。このバンドパスフィルターを用いることによって、光源部２３から、波長−相対分光強度分布曲線において単一のピークを有し、そのピーク波長が４５０ｎｍ、半値幅２５ｎｍ以下である光が射出された。
このこと以外は、実験例１と同様にして、検査対象位相差フィルム４１を検査した。
その結果、実験例３の青色光での結果（図９）と同様の結果が得られた。
光源部２３として、実験例３で用いた白ＬＥＤ照明と、該白ＬＥＤ照明と第１の偏光フィルム３１との間に配されたバンドパスフィルター（＃８４−７９４、エドモンドオプティクス社製）とを有するものを用いた。このバンドパスフィルターを用いることによって、光源部２３から、波長−相対分光強度分布曲線において単一のピークを有し、そのピーク波長が４５０ｎｍ、半値幅２５ｎｍ以下である光が射出された。
このこと以外は、実験例１と同様にして、検査対象位相差フィルム４１を検査した。
その結果、実験例３の青色光での結果（図９）と同様の結果が得られた。
以上のように本発明の実施の形態及び実施例について説明を行なったが、各実施の形態及び実施例の特徴を適宜組み合わせることも当初から予定している。また、今回開示された実施の形態及び実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した実施の形態及び実施例ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
１：搬送装置、３：第１の繰り出し部、５：第２の繰り出し部、７：積層部、９：巻き取り部、２０：検査装置、２３：光源部、２５：検査部、２７：制御部、３１、３５：偏光フィルム、４１：検査対象位相差フィルム、５０：偏光板、６１：非平行用位相差フィルム、７１：検査用位相差フィルム
Claims (4)
- 検査対象である検査対象位相差フィルムの欠陥を検査する検査装置であって、
前記検査対象位相差フィルムに照射する光を射出する光源部と、
前記光源部と前記検査対象位相差フィルムとの間に配されて、前記光源部から射出された前記光を前記検査対象位相差フィルムへと通過させる第１の偏光フィルムと、
前記検査対象位相差フィルムを通過した前記光を受光して欠陥を検査する検査部と、
前記検査部と前記検査対象位相差フィルムとの間に配置され、且つ配向方向が前記第１の偏光フィルムの配向方向に対してクロスニコルとなるように配される第２の偏光フィルムと、
配向方向が前記検査対象位相差フィルムの配向方向に対して直交した状態で前記第２の偏光フィルムと前記検査対象位相差フィルムとの間に配される検査用位相差フィルムと、
前記光源部から射出された前記光が前記検査部に受光されるまでの経路であり、且つ前記検査用位相差フィルムと前記検査対象位相差フィルムとの間に配された非平行用位相差フィルムとを備え、
前記非平行用位相差フィルムは、該非平行用位相差フィルムの配向方向と、前記検査対象位相差フィルムの配向方向とが非平行となるように配されて、前記光の位相差を変更するように構成された、検査装置。 - 前記検査対象位相差フィルムが発生させる位相差が１／４であり、
該検査対象位相差フィルムの配向方向と、前記非平行用位相差フィルムの配向方向とが交差してなす交差角度が１°〜２０°となるように、前記非平行用位相差フィルムが配されて構成されている、請求項１に記載の検査装置。 - 前記光源部が、５０ｎｍ以下の半値幅を有する前記光を射出するように構成されている、請求項１または２に記載の検査装置。
- 請求項１〜３のいずれかに記載の検査装置を用いて、
前記非平行用位相差フィルムを、該非平行用位相差フィルムの配向方向と、前記検査対象位相差フィルムの配向方向とが非平行となるように配することによって、前記検査対象位相差フィルムの位相差と、前記非平行用位相差フィルムの位相差との差を発生させて、前記検査対象位相差フィルムの欠陥を検査する、検査方法。
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