CN107643612B - 检查装置以及检查方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种检查装置以及检查方法。检查装置具备：光源部，其射出对作为检查对象的检查对象相位差膜照射的光；偏光膜，其配置在所述光源部与所述检查对象相位差膜之间，用于使从所述光源部射出的所述光通过所述检查对象相位差膜；检查部，其接收通过了所述检查对象相位差膜的所述光来检查缺陷；以及非平行用相位差膜，其配置在至从所述光源部射出的所述光被所述检查部接收为止的路径上。

Description

检查装置以及检查方法

技术领域

本发明涉及一种检查装置以及检查方法。

背景技术

近年来，在液晶显示器中，为了改善视角特性、颜色特性而使用了具有相位差特性等光学特性的相位差膜。作为使用了这种相位差膜的光学膜，能够例举具备偏光膜以及层叠于该偏光膜的相位差膜的偏光板。

关于这种偏光板，有时在其制造工序中因漏光、不均匀之类的局部的外观不良而产生缺陷，并且这成为问题。该缺陷部分的产生是因相位差膜中的局部的、相位相对于所期望的相位发生了变动的部分引起的，该相位的变动以漏光、不均匀的形式呈现。

作为检查这种缺陷的技术，例如提出了如下一种技术：使用按光源部、第一偏光膜、检查用的相位差膜、检查对象的相位差膜、第二偏光膜以及检查部的顺序配置的检查装置来检查缺陷。在该技术中，通过使第一偏光膜的取向方向和第二偏光膜的取向方向相对于检查对象的相位差膜的取向方向以不同的两个角度(±45°)旋转来获取两个图像，通过将所获取到的图像合成并探测缺陷来检查相位差膜(参照专利文献1)。

另外，提出了如下一种技术：使用具备光源部以及两个检查部并且利用这些检查部对检查对象的相位差膜进行检查的检查装置来检查缺陷。在该技术中，关于两个检查部中的第一检查部，按光源部、第一偏光板、检查对象的相位差膜、第二偏光板以及第一检查部的顺序配置，关于第二检查部，按光源部、第三偏光板、第二检查对象的相位差膜、第四偏光板以及第二检查部的顺序配置。而且，将第一偏光板与检查对象的相位差膜之间所形成的取向角度设定为45°、将第二偏光板与检查对象的相位差膜之间所形成的取向角度设定为90°来在各检查部中分别获取图像，通过探测所获取到的两个图像之间的差来探测相位差膜的缺陷(参照专利文献2)。

专利文献1：日本特开2013-50381号公报

专利文献2：日本特开2013-210245号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，在上述的技术中，都是将两个图像进行比较来探测缺陷的，因此有可能因图像噪声之差、两个检查部之间的个体差之类的问题而导致检查的灵敏度降低。另外，需要进行复杂的同步控制，因此有可能因该控制动作而导致检查的灵敏度降低。这样，在这些技术中，难以灵敏度十分良好地探测缺陷。

鉴于上述情形，本发明的课题在于提供一种能够灵敏度十分良好地探测缺陷的相位差膜的检查装置以及检查方法。

用于解决问题的方案

本发明所涉及的检查装置检查作为检查对象的检查对象相位差膜的缺陷，所述检查装置具备：光源部，其射出对所述检查对象相位差膜照射的光；第一偏光膜，其配置在所述光源部与所述检查对象相位差膜之间，用于使从所述光源部射出的所述光通过所述检查对象相位差膜；检查部，其接收通过了所述检查对象相位差膜的所述光来检查缺陷；以及非平行用相位差膜，其配置在至从所述光源部射出的所述光被所述检查部接收为止的路径上，其中，所述非平行用相位差膜以该非平行用相位差膜的取向方向与所述检查对象相位差膜的取向方向不平行的方式配置。

在上述结构的检查装置中，也可以是，所述检查对象相位差膜所产生的相位差为1/4波长，所述非平行用相位差膜以使该检查对象相位差膜的取向方向与所述非平行用相位差膜的取向方向交叉所形成的交叉角度为1°～20°的方式配置。

在上述结构的检查装置中，也可以是，从所述光源部射出的所述光具有50nm以下的半值宽度。

在上述结构的检查装置中，也可以是，在所述路径上且相对于所述检查对象相位差膜与所述第一偏光膜相反的一侧还具备第二偏光膜，所述第二偏光膜以该第二偏光膜的取向方向与所述第一偏光膜的取向方向正交的方式配置。

在上述结构的检查装置中，也可以是，在所述路径上还具备检查用相位差膜，所述检查用相位差膜以该检查用相位差膜的取向方向与所述检查对象相位差膜的取向方向正交的方式配置。

在本发明的检查方法中，使用所述检查装置，通过将所述非平行用相位差膜以该非平行用相位差膜的取向方向与所述检查对象相位差膜的取向方向不平行的方式配置，产生所述检查对象相位差膜的相位差与所述非平行用相位差膜的相位差之差，来检查所述检查对象相位差膜的缺陷。

附图说明

图1是示出具备本发明的实施方式的相位差膜的检查装置的片材搬送装置的概要侧视图。

图2是示出图1的检查装置周边的概要立体图。

图3是示出图1的检查装置周边的概要侧视图。

图4是示出本发明的一个实施方式的检查装置的概要立体图。

图5是示出本发明的一个实施方式的检查装置的概要立体图。

图6是示出本发明的一个实施方式的检查装置的概要立体图。

图7是示出实验例1的检查结果的图。

图8是示出实验例2的检查结果的图。

图9是示出实验例3的使用白色光所得到的结果的图。

图10是示出实验例3的使用蓝色光所得到的结果的图。

图11是示出实验例3的使用绿色光所得到的结果的图。

图12是示出实验例3的使用红色光所得到的结果的图。

附图标记说明

1：搬送装置；3：第一拉拔部；5：第二拉拔部；7：层叠部；9：卷取部；20：检查装置；23：光源部；25：检查部；27：控制部；31、35：偏光膜；41：检查对象相位差膜；50：偏光板；61：非平行用相位差膜；71：检查用相位差膜。

具体实施方式

以下，参照附图来说明本发明的实施方式所涉及的检查装置以及检查方法。此外，在图1中，用空心箭头表示相位差膜的搬送方向。

首先，对本实施方式的具备检查装置的光学膜的搬送装置进行说明。

本实施方式的光学膜的搬送装置1具备：第一拉拔部3，其从卷绕有构成偏光板50的作为光学膜的带状的偏光膜31而形成的偏光膜卷筒体33将偏光膜31拉拔出；第二拉拔部5，其从卷绕有构成偏光板50的作为光学膜的带状的相位差膜(检查对象相位差膜)41而形成的相位差膜卷筒体43将相位差膜41拉拔出；层叠部7，其将从第一拉拔部3拉拔出的偏光膜31与从第二拉拔部5拉拔出的相位差膜41层叠来形成作为层叠体的带状的偏光板50；卷取部9，其卷取偏光板50来将偏光板50回收成偏光板卷筒体51；以及检查装置20，其能够检查相位差膜41的缺陷。

在该搬送装置1中，从第一拉拔部3拉拔出的偏光膜31与从第二拉拔部5拉拔出的相位差膜41在层叠部7被层叠而形成偏光板50，所形成的偏光板50被卷取部9卷取。

在本实施方式中，在偏光板50移动时，由检查装置20检查偏光板50的相位差膜41。

另外，构成偏光板50的相位差膜41相当于检查对象相位差膜41，构成偏光板50的偏光膜31相当于第一偏光膜31。

如图2和图3所示，本实施方式的检查装置20检查作为检查对象的检查对象相位差膜41的缺陷，检查装置20具备：光源部23，其射出对所述检查对象相位差膜41照射的光；偏光膜(设为第一偏光膜。)31，其配置在所述光源部23与所述检查对象相位差膜41之间，用于使从所述光源部23射出的所述光通过所述检查对象相位差膜41；检查部25，其接收通过了所述检查对象相位差膜41的所述光来检查缺陷；以及非平行用相位差膜61，其配置在至从所述光源部23射出的所述光被所述检查部25接收为止的路径R上，其中，所述非平行用相位差膜61以该非平行用相位差膜61的取向方向与所述检查对象相位差膜41的取向方向不平行的方式配置。另外，所述非平行用相位差膜61通过以该非平行用相位差膜61的取向方向与所述检查对象相位差膜41的取向方向不平行的方式配置，来变更所述光的相位差。

另外，本实施方式的检查装置20在所述路径R上且相对于所述检查对象相位差膜41与所述第一偏光膜31相反的一侧还具备第二偏光膜35，所述第二偏光膜35以具有使该第二偏光膜35的取向方向与所述第一偏光膜31的取向方向正交那样的取向方向的方式配置。

另外，本实施方式的检查装置20在所述路径R上还具备检查用相位差膜71，所述检查用相位差膜71以该检查用相位差膜71的取向方向与所述检查对象相位差膜41的取向方向正交的方式配置。

在本实施方式中，检查用相位差膜71配置在非平行用相位差膜61与检查部25之间，更具体地说，是配置在非平行用相位差膜61与第二偏光膜35之间。另外，第二偏光膜35配置在检查用相位差膜71与检查部25之间。

另外，本实施方式的检查装置20还具备控制部27，该控制部27与检查部25电连接，用于获取来自检查部25的检查结果。

这样，本实施方式的检查装置20中按光源部23、第一偏光膜31、检查对象相位差膜41、非平行用相位差膜61、检查用相位差膜71、第二偏光膜35、以及检查部25的顺序配置。由此，从光源部23射出的光在依次通过第一偏光膜31、检查对象相位差膜41、非平行用相位差膜61、检查用相位差膜71以及第二偏光膜35之后被检查部25接收。

光源部23射出光并使所射出的光向检查对象相位差膜41照射，并且能够使该照射出的光到达检查部25。这样，光源部23只要能够对检查对象相位差膜41照射光并使所照射出的光到达检查部25即可，没有特别的限定。例如，作为光源部23，能够例举LED照明。

从光源部23射出的光的波长没有特别的限定，能够适当地设定。

例如，优选的是，从光源部23射出的光优选具有50nm以下的半值宽度，更优选具有40nm以下的半值宽度。即，优选的是，光源部23射出具有优选为50nm以下、更优选为40nm以下的半值宽度的光。

通过光源部射出具有50nm以下的半值宽度的光，能够使检查对象相位差膜41中的产生了缺陷的部分的相位差与没有产生缺陷的部分的相位差之差比非平行用相位差膜61没有进行旋转的情况下的上述差更大。

这样，缺陷部分进一步得到强调，因此能够更加精度十分良好地探测缺陷。

作为具有50nm以下的半值宽度的光，能够例举单色光，作为单色光，能够例举蓝色光、绿色光、红色光等。

另一方面，除上述以外，还优选的是，从光源部23射出的光具有10nm以上的半值宽度。即，优选的是，光源部23射出具有10nm以上的半值宽度的光。

另外，除上述以外，更优选的是，所射出的光的90％以上包含在100nm以下的波长宽度内。通过从光源部23射出具有这种波长宽度(峰值宽度)的光，能够使检查对象相位差膜41中的产生了缺陷的部分的相位差与没有产生缺陷的部分的相位差之差比非平行用相位差膜61没有进行旋转的情况下的所述差更大。

另外，作为从上述光源部23射出的光，能够例举在波长400nm～700nm的范围内具有峰值的光。由于折射率根据所射出的光的波长范围不同而不同，因此能够根据检查对象相位差膜41、第一偏光膜31、第二偏光膜35、检查用相位差膜71、非平行用相位差膜61的各光特性来设定所射出的光的波长范围，根据它们的光特性，例如上述的那样，作为所射出的光，能够采用蓝色光、绿色光、红色光等在波长-相对光谱强度分布曲线上具有单一峰值的单色光。

另外，除了单色光之外，也可以从光源部23射出峰值宽度比单色光的峰值宽度宽的白色光。作为射出该白色光的光源部23，能够例举白色LED照明、卤光照明、金属卤化物光照明等。

关于从这些照明射出的白色光，具有所射出的光的90％以上的波长范围在400nm～700nm内。在从光源部23射出具有这种波长范围的光时，检查装置20还能够采用具备将光阻止(吸收)以成为半值宽度为25nm以下且其阻止率OD(光学浓度)为4以上的带通滤波器的方式。在采用该方式的情况下，能够采用将通过了带通滤波器的光经由第一偏光膜31向检查对象相位差膜41照射的结构。

检查对象相位差膜41是被设为检查的对象的相位差膜，使通过它的光产生相位差。

在本实施方式中，检查对象相位差膜41是与第一偏光膜31层叠而作为偏光板50使用的相位差膜，作为构成偏光板50的相位差膜，是能够产生所期望的相位差的相位差膜。

在这样层叠的状态下由检查装置20检查检查对象相位差膜41。

作为该检查对象相位差膜41，能够采用现有公知的相位差膜。例如，能够采用能够产生使光的波长(λ)的相位偏移1/4的相位差的1/4波长板(λ/4板)等。

第一偏光膜31使通过它的光产生偏振光。

在本实施方式中，第一偏光膜31是在上面层叠检查对象相位差膜41来作为偏光板50使用的偏光膜。

作为该第一偏光膜31，能够采用现有公知的偏光膜。

作为第一偏光膜31与检查对象相位差膜41层叠而成的偏光板50，例如能够采用市场销售品，作为该市场销售品，例如能够例举日东电工公司制造的NPF(透过率为44.5％、偏振度为95.8％)等。

非平行用相位差膜61是以与检查对象相位差膜41之间取向方向彼此不平行的方式配置的相位差膜，使通过它的光产生相位差。

另外，非平行用相位差膜61以该非平行用相位差膜61的取向方向与检查对象相位差膜41的取向方向不平行的方式配置，即，非平行用相位差膜61以该非平行用相位差膜61的取向方向与检查对象相位差膜41的取向方向交叉的方式配置。通过这样配置非平行用相位差膜61，能够变更通过该非平行用相位差膜61的光的相位差。

具体地说，在本实施方式中，通过使非平行用相位差膜61从被配置为该非平行用相位差膜61的取向方向与检查对象相位差膜41的取向方向平行的状态起以与该非平行用相位差膜61的面方向垂直的旋转轴线为中心进行旋转，非平行用相位差膜61被配置为该非平行用相位差膜61的取向方向与检查对象相位差膜41的取向方向不平行。

另外，非平行用相位差膜61通过现有公知的旋转机构而进行旋转。

作为非平行用相位差膜61，能够采用现有公知的相位差膜。例如，能够采用能够产生使光的波长(λ)的相位偏移1/4的相位差的1/4波长板(λ/4板)等。另外，作为非平行用相位差膜61，能够采用与检查对象相位差膜41相同的相位差膜。

非平行用相位差膜61只要以该非平行用相位差膜61的取向方向与检查对象相位差膜41的取向方向以超过0°的交叉角度交叉的方式配置即可。即，该交叉角度只要超过0°即可，没有特别的限定。

该交叉角度例如根据检查部25的检查精度、检查对象相位差膜41的移动速度等适当地设定即可。

例如，在检查对象相位差膜41产生的相位差为1/4波长时，能够采用如下结构：非平行用相位差膜61以使该检查对象相位差膜41的取向方向与非平行用相位差膜61的取向方向交叉所形成的交叉角度为1°～20°的方式配置。

通过这样配置非平行用相位差膜61，能够使检查对象相位差膜41中的产生了缺陷的部分的相位差与没有产生缺陷的部分的相位差之差比非平行用相位差膜61的取向方向与检查对象相位差膜41的取向方向平行的情况下的所述差更大。

这样，缺陷部分进一步得到强调，因此能够更加精度十分良好地探测缺陷。

另外，更具体地说，在从光源部23射出了半值宽度为50nm以下的光的情况下，上述交叉角度优选被设为1°～20°，更优选被设为1°～10°，更优选被设为1°～5°，进一步优选被设为1°～3°。

检查用相位差膜71是以该检查用相位差膜71的取向方向与检查对象相位差膜41的取向方向正交的方式配置的相位差膜，使通过它的光产生相位差。

作为该检查用相位差膜71，能够采用现有公知的相位差膜。例如，能够采用能够产生使光的波长(λ)的相位偏移1/4的相位差的1/4波长板(λ/4板)等。另外，能够采用能够产生与检查对象相位差膜41相同的相位差的相位差膜。

通过检查装置20具备检查用相位差膜71，在检查对象相位差膜41中不存在缺陷的情况下，光通过这些检查用相位差膜71和检查对象相位差膜41中的一方而产生的相位差通过这些检查用相位差膜71和检查对象相位差膜41中的另一方而得到抑制(接近直线偏振光)。与此相对，当检查对象相位差膜41中存在缺陷时，相位差被抑制的程度变低。由此，检查部25能够利用该相位差被抑制的程度之差来探测产生了缺陷的部分，因此检查部25更易于探测缺陷。

特别是在将与检查对象相位差膜41相同的相位差膜用作检查用相位差膜71的情况下，通过上述一方的相位差膜(在此为检查对象相位差膜41)而被转换为圆偏振光的光通过上述另一方的相位差膜(在此为检查用相位差膜71)被变换为直线偏振光，因此更加易于探测缺陷。

并且，通过这样变换为直线偏振光，易于利用后述的第二偏光膜35进行检查。

第二偏光膜35是使通过它的光产生偏振光的偏光膜，以该第二偏光膜35的取向方向与第一偏光膜31的取向方向正交的方式配置。

作为该第二偏光膜35，能够采用现有公知的偏光膜。

通过检查装置20还具备第二偏光膜35，检查部25能够将检查对象相位差膜41中的没有产生缺陷的部分视作暗部、并将产生了缺陷的部分视为亮部来进行探测。

由此，检查部25更易于探测缺陷，因此能够更加精度十分良好地探测缺陷。

此外，第一偏光膜31、第二偏光膜35、非平行用相位差膜61以及检查用相位差膜71使用预先通过其他途径进行检查而没有产生缺陷的膜。

检查部25接收光并能够将所接收到的光以图像输出。

检查部25没有特别的限定，但是例如作为检查部25，能够例举摄像装置，作为该摄像装置，能够例举线型摄像机、区域型摄像机等。

在检查部25中，将检查部25完全接收不到从光源部23射出的光的情况设为黑色(最暗)，以光的受光量越多则越接近白色(越明亮)的方式进行黑白二值化，并且将最黑的情况设为0、将最白的情况设为255来以0～255的数值表示受光量，由此生成图像信息，并将所生成的图像信息输出到控制部27。

在本实施方式中，通过具备第一偏光膜31和第二偏光膜35，在检查对象相位差膜41中存在缺陷的情况下，基于该缺陷部分与其它部分之间的相位差的偏移，将该缺陷部分以比该其它部分白(受光量大)的方式显示。

控制部27中保存有受光量的阈值，控制部27将从检查部25输出的图像信息与上述阈值进行比较来判定有无缺陷。

作为该控制部27，能够例举具有中央运算装置(CPU)的计算机。

另外，例如，控制部27能够构成为，对根据从检查部25输出的图像信息得到的总受光量进行累积，将所得到的总累积受光量与预先设定的阈值进行比较，在所得到的总累积受光量超过该阈值的情况下，判定为存在缺陷部分。另外，例如，控制部27能够构成为，将从检查部25输出的图像信息分成规定面积的区域，对各区域的根据图像信息得到的受光量进行累积，将所得到的各累积受光量与预先设定的阈值进行比较，在超过该阈值的情况下，判定为在该区域中存在缺陷部分。

这种基于图像信息对缺陷进行的判定能够使用现有公知的程序来执行。

接着，对检查装置20中的非平行用相位差膜61的配置(检查对象相位差膜41与非平行用相位差膜61交叉所形成的交叉角度)的设定进行说明。

在本实施方式中，非平行用相位差膜61的配置通过下面的预备实验设定。

首先，使用预先已获知具有缺陷的检查对象相位差膜41，检查装置20被设置为按光源部23、第一偏光膜31、检查对象相位差膜41、非平行用相位差膜61、检查用相位差膜71、第二偏光膜35以及检查部25的顺序配置。

另外，第一偏光膜31和第二偏光膜35以它们的取向方向正交的方式配置，检查对象相位差膜41和检查用相位差膜71以它们的取向方向正交的方式配置。通过这样配置这些第一偏光膜31、第二偏光膜35、检查对象相位差膜41以及检查用相位差膜71，在没有配置非平行用相位差膜61的状态下，对于从光源部23射出的光，检查部25接收受光量比较小的光。更具体地说，几乎接收不到光。在该状态下，难以区分缺陷部分与其它部分。

在该状态下，将非平行用相位差膜61插入到检查对象相位差膜41与检查用相位差膜71之间。在这样插入了非平行用相位差膜61的状态下，在从光源部23射出光的同时使非平行用相位差膜61进行旋转，当变为最暗的状态时(即，在检查部25的受光量最小而显示得最黑时)，检查对象相位差膜41的取向方向与非平行用相位差膜61的取向方向平行。即，两个取向方向的交叉角度为0°。非平行用相位差膜61从该状态起进行旋转，当检查对象相位差膜41的缺陷部分变为最亮的状态时(即，在检查部25的受光量最大而变为显示得最白的状态时)，旋转停止，在该状态下，固定非平行用相位差膜61的配置。在该状态下，非平行用相位差膜61的取向方向与检查对象相位差膜41的取向方向不平行。另外，在该状态下，变为检查对象相位差膜41的相位差与非平行用相位差膜61的相位差最大幅度地偏移的状态。

这样，在非平行用相位差膜61已被固定的状态下，在使具有检查对象相位差膜41的偏光板50移动的同时，从光源部23向检查对象相位差膜41照射光，由检查部25接收所照射出的光来检测检查对象相位差膜41。

如上所述，本实施方式的检查装置20检查作为检查对象的检查对象相位差膜41的缺陷，检查装置20具备：光源部23，其射出向所述检查对象相位差膜41照射的光；第一偏光膜31，其配置在所述光源部23与所述检查对象相位差膜41之间，用于使从所述光源部23射出的所述光通过所述检查对象相位差膜41；检查部25，其接收通过了所述检查对象相位差膜41的所述光来检查缺陷；以及非平行用相位差膜61，其配置在至从所述光源部23射出的所述光被所述检查部25接收为止的路径R上，其中，所述非平行用相位差膜61以该非平行用相位差膜61的取向方向与所述检查对象相位差膜41的取向方向不平行的方式配置。

根据该结构，从光源部23射出的光在第一偏光膜31成为偏振光后向检查对象相位差膜41照射，由检查部25接收通过了检查对象相位差膜41而产生了相位差的光，从而能够检查检查对象相位差膜41的缺陷。

此时，通过在至从光源部23射出的光被检查部25接收为止的路径R上将非平行用相位差膜61以使检查对象相位差膜41的取向方向与非平行用相位差膜61的取向方向不平行的方式配置，能够使检查对象相位差膜41中的产生了缺陷的部分的相位差与没有产生缺陷的部分的相位差之差比非平行用相位差膜61的取向方向与检查对象相位差膜41的取向方向平行的情况下的所述差更大(放大)。

这样，缺陷部分得到强调，因此能够精度十分良好地探测缺陷。

在本实施方式的检查装置20中，也可以是，所述检查对象相位差膜41产生的相位差为1/4波长，所述非平行用相位差膜61以使该检查对象相位差膜41的取向方向与所述非平行用相位差膜61交叉所形成的交叉角度为1°～20°的方式配置。

根据该结构，能够使检查对象相位差膜41中的产生了缺陷的部分的相位差与没有产生缺陷的部分的相位差之差比非平行用相位差膜61没有进行旋转的情况下的所述差更大。

这样，缺陷部分进一步得到强调，因此能够更加精度十分良好地探测缺陷。

在本实施方式的检查装置20中，也可以是，从所述光源部23射出的所述光具有50nm以下的半值宽度。

根据该结构，通过从光源部23射出的光具有50nm以下的半值宽度，能够使检查对象相位差膜41中的产生了缺陷的部分的相位差与没有产生缺陷的部分的相位差之差比非平行用相位差膜61的取向方向与检查对象相位差膜41的取向方向平行的情况下的所述差更大。

这样，缺陷部分进一步得到强调，因此能够更加精度十分良好地探测缺陷。

本实施方式的检查装置20在所述路径R上且相对于所述检查对象相位差膜41与所述第一偏光膜31相反的一侧还具备第二偏光膜35，所述第二偏光膜35以该第二偏光膜35的取向方向与所述第一偏光膜31的取向方向正交的方式配置。

根据该结构，通过在上述路径R上且相对于检查对象相位差膜41与第一偏光膜31相反的一侧以使第一偏光膜31的取向方向与第二偏光膜35的取向方向正交的方式配置第二偏光膜35，检查部25能够将检查对象相位差膜41中的没有产生缺陷的部分视作暗部、将产生了缺陷的部分视作亮部来进行探测。

由此，检查部25更易于探测缺陷，因此能够更加精度十分良好地探测缺陷。

本实施方式的检查装置20在所述路径R上还具备检查用相位差膜71，所述检查用相位差膜71以该检查用相位差膜71的取向方向与检查对象相位差膜41的取向方向正交的方式配置。

根据该结构，通过在上述路径R上以检查用相位差膜71的取向方向与检查对象相位差膜41的取向方向正交的方式配置检查对象相位差膜41，在检查对象相位差膜41中不存在缺陷的情况下，光通过这些相位差膜的一方而产生的相位差通过这些相位差膜的另一方而得到抑制(接近直线偏振光)。与此相对，当检查对象相位差膜41中存在缺陷时，相位差被抑制的程度变低。由此，检查部25能够利用该相位差被抑制的程度之差来探测产生了缺陷的部分，因此检查部25更易于探测缺陷。

本实施方式的检查方法使用本实施方式的检查装置20，通过将所述检查对象相位差膜41以该检查对象相位差膜41的取向方向与所述非平行用相位差膜61的取向方向不平行的方式配置，产生所述检查对象相位差膜41的相位差与所述非平行用相位差膜61的相位差之差，来检查所述检查对象相位差膜41的缺陷。

根据该结构，通过将非平行用相位差膜61以该非平行用相位差膜61的取向方向与所述检查对象相位差膜41的取向方向不平行的方式配置，能够产生检查对象相位差膜41的相位差与非平行用相位差膜61的相位差之差，从而能够检查检查对象相位差膜41的缺陷。

由此，如上所述，能够使检查对象相位差膜41中的产生了缺陷的部分的相位差与没有产生缺陷的部分的相位差之差比非平行用相位差膜61的取向方向与检查对象相位差膜41的取向方向平行的情况下的所述差更大。

这样，缺陷部分得到强调，因此能够精度十分良好地探测缺陷。

如上所述，根据本实施方式，提供一种能够灵敏度十分良好地探测缺陷的相位差膜的检查装置20以及检查方法。

本实施方式的检查装置20以及检查方法如以上所述，但是本发明的检查装置以及检查方法不限定于上述实施方式，能够适当地进行设计变更。

例如，在上述实施方式中，如图2和图3所示，采用了按光源部23、偏光膜(第一偏光膜)31、检查对象相位差膜41、非平行用相位差膜61、检查用相位差膜71、偏光膜(第二偏光膜)35以及检查部25的顺序配置的结构。

但是，在本发明中，除此之外，例如还能够采用图4所示那样按光源部23、检查用相位差膜71、偏光膜(第一偏光膜)35、非平行用相位差膜61、偏光膜(第二偏光膜)31、检查对象相位差膜41以及检查部25的顺序配置的方式。

另外，除此之外，例如还能够采用如图5所示那样按光源部23、第一偏光膜31、检查对象相位差膜41、非平行用相位差膜61、第二偏光膜35以及检查部25的顺序配置的结构。即，检查装置20还能够采用不具备检查用相位差膜71的方式。

另外，除此之外，例如还能够采用图6所示那样按光源部23、第一偏光膜31、检查对象相位差膜41、非平行用相位差膜61以及检查部25的顺序配置的结构。即，检查装置20还能够采用不具备第二偏光膜35以及检查用相位差膜71的方式。

接着，示出实施例并进一步详细地说明本发明。

【实施例】

(实验例1)

使用图2和图3所示的检查装置20来对检查对象相位差膜41的缺陷进行了检查。

作为光源部23，使用了蓝色LED照明(LNSP-300BR、CCS公司制造)。

作为检查对象相位差膜41和第一偏光膜31，使用了被层叠为偏光板50(NAKZYMSCA-SU04、日东电工公司制造)的膜。偏光板50的检查对象相位差膜41是能够产生1/4λ(波长)的相位差的相位差膜。

作为检查用相位差膜71和第二偏光膜35，使用了与上述同样的偏光板50(NAKZYMSCA-SU04、日东电工公司制造)。

作为非平行用相位差膜61，使用了能够产生1/4λ的相位差的相位差膜(日东电工公司制造)。

作为检查部25，使用了线型摄像机(型号：AViiVA SM2、e2V公司制造)。

而且，将非平行用相位差膜61以该非平行用相位差膜61的取向方向与检查对象相位差膜41的取向方向交叉所形成的交叉角度为3°的方式配置。

在该状态下，从光源部23向预先已获知具有缺陷的检查对象相位差膜41射出光，由检查部25接收该光来获取到图像信息(拍摄图像)。

图7中示出结果。

在图7中，圆弧状的线是作为表示要探测产生了缺陷的部分(缺陷部分)的区域的标记而用油性笔绘制出的线。

在该图7中，用矩形形状的白色的框包围来示出表示缺陷部分的线状的部分。在该图中，表示缺陷部分的线状的部分作为1个线状的部分，以通过矩形形状的框的短边方向中央部而在该矩形形状的框的长边方向上延伸的方式存在。即，通过该线状的部分的存在，在图7中，缺陷部分的相位差与没有产生缺陷的部分的相位差之差变大(放大)，由此缺陷部分得到强调。

这样，在实验例1中，检查对象相位差膜41中的缺陷部分的相位差与其它部分的相位差之差通过非平行用相位差膜61而变大，因此充分检测出缺陷部分。另外，可知通过使交叉角度为3°能够产生1nm以下的相位差之间的差。

(实验例2)

非平行用相位差膜61以非平行用相位差膜61的取向方向与检查对象相位差膜41的取向方向平行的方式配置，即，非平行用相位差膜61以非平行用相位差膜61的取向方向与检查对象相位差膜41的取向方向交叉所形成的交叉角度为0°的方式配置，除此之外，以与实验例1同样的方式检查检查对象相位差膜41的缺陷并获取到图像信息。

图8中示出结果。

此外，在图8中，圆弧状的线是作为表示要探测缺陷部分的区域的标记而用油性笔绘制出的线。

在该图8中，在要探测缺陷的部分(参照图7)不存在表示缺陷部分的线状的部分。即，在图8中，缺陷部分的相位差与没有产生缺陷的部分的相位差之差没有变大(放大)，由此，缺陷部分没有被强调。

这样，在实验例2中，检查对象相位差膜41中的缺陷部分的相位差与其它部分的相位差之差没有通过非平行用相位差膜61而变大，因此没有充分检测出缺陷部分。

(实验例3)

作为光源部23，除了使用在实验例1中使用的蓝色LED照明(LNSP-300BL、CCS公司制造)以外，还使用绿色LED照明(LNSP-300GR、CCS公司制造)、红色LED照明(LNSP-300RD、CCS公司制造)、白色LED照明(LNSP-300SW、CCS公司制造)，以与实验例1同样的方式检查检查对象相位差膜41，并调查了从光源部23射出的光的波长范围的不同对检查结果产生的影响。

关于所使用的蓝色光，在波长-相对光谱强度分布曲线上具有单一的峰值，该峰值波长为470nm，半值宽度(相对光谱强度为最大值的1/2的波长的宽度)为20nm。

关于所使用的绿色光，在波长-相对光谱强度分布曲线上具有单一的峰值，该峰值波长为530nm，半值宽度为30nm。

关于所使用的红色光，在波长-相对光谱强度分布曲线上具有单一的峰值，该峰值波长为627nm，半值宽度为20nm。

这样，所使用的蓝色光、绿色光以及红色光具有半值宽度为50nm以下那样的单一的峰值、即尖锐的单一的峰值，与此相对，所使用的白色光在波长-相对光谱强度分布曲线上具有半值宽度为20nm左右的尖锐的峰值以及半值宽度为120nm左右的宽的峰值，而不具有单一的尖锐的峰值。

在图9至图12中分别示出使用了上述白色光、蓝色光、绿色光、红色光所得到的检查结果。

在图9～图12中，用白色的点状表示的部分是从外部环境附着到膜上的异物。另外，三角形形状的部分是作为表示在比其前端更靠前的位置存在缺陷部分的标记而粘贴在膜上的胶带。

在该图9～图12中，用矩形形状的框包围来示出表示缺陷部分的线状的部分。在该图中，表示缺陷部分的线状的部分为1个线状的部分，以通过矩形形状的框的短边方向中央部而在该矩形形状的框的长边方向上延伸的方式存在。即，通过该线状的部分的存在，在图9～图12中，缺陷部分的相位差与没有产生缺陷的部分的相位差之差变大(放大)，由此缺陷部分得到强调。

如该图9～图12所示，与具有多个峰值并且所具有的峰值的波长宽度宽的白色光相比，在蓝色光、绿色光、红色光之类的单色光的情况下，更能够使检查对象相位差膜41中的缺陷部分相比于其它部分更加被强调。其结果可知，与白色光相比，单色光能够以更加充分的灵敏度检查缺陷。

(实验例4)

作为光源部23，使用了具有实验例3中使用的白色LED照明以及配置在该白色LED照明与第一偏光膜31之间的带通滤波器(#84-794、エドモンドオプティクス(EdmundOptics)公司制造)的光源部。通过使用该带通滤波器，从光源部23射出了在波长-相对光谱强度分布曲线上具有单一的峰值且该峰值波长为450nm、半值宽度为25nm以下的光。

除此以外以与实验例1同样的方式检查检查对象相位差膜41。

其结果，得到了与实验例3的使用蓝色光的结果(图9)同样的结果。

如以上那样对本发明的实施方式及实施例进行了说明，但是最初还预定了将各实施方式及实施例的特征适当地组合的情形。另外，应当认为本次所公开的实施方式及实施例在所有方面都是例示性的而非制限性的。本发明的范围并不是通过上述的实施方式及实施例示出，而是通过权利要求书示出，意图包含与权利要求书等同的意义和范围内的所有变更。

Claims (5)

1.一种检查装置，检查作为检查对象的检查对象相位差膜的缺陷，该检查装置的特征在于，具备：

光源部，其射出对所述检查对象相位差膜照射的光；

第一偏光膜，其配置在所述光源部与所述检查对象相位差膜之间，用于使从所述光源部射出的所述光通过所述检查对象相位差膜；

检查部，其接收通过了所述检查对象相位差膜的所述光来检查缺陷；

第二偏光膜，其配置于所述检查部与所述检查对象相位差膜之间，并且所述第二偏光膜以该第二偏光膜的取向方向与所述第一偏光膜的取向方向正交的方式配置；

检查用相位差膜，其以该检查用相位差膜的取向方向与所述检查对象相位差膜的取向方向正交的状态配置在所述第二偏光膜与所述检查对象相位差膜之间；以及

非平行用相位差膜，其配置在至从所述光源部射出的所述光被所述检查部接收为止的路径上，并且配置于所述检查用相位差膜与所述检查对象相位差膜之间，

其中，所述非平行用相位差膜以该非平行用相位差膜的取向方向与所述检查对象相位差膜的取向方向不平行的方式配置。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述检查对象相位差膜所产生的相位差为1/4波长，

所述非平行用相位差膜以使该检查对象相位差膜的取向方向与所述非平行用相位差膜的取向方向交叉所形成的交叉角度为1°～20°的方式配置。

3.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

从所述光源部射出的所述光具有50nm以下的半值宽度。

4.根据权利要求2所述的检查装置，其特征在于，

从所述光源部射出的所述光具有50nm以下的半值宽度。

5.一种检查方法，

使用根据权利要求1～4中的任一项所述的检查装置，

通过将所述非平行用相位差膜以该非平行用相位差膜的取向方向与所述检查对象相位差膜的取向方向不平行的方式配置，产生所述检查对象相位差膜的相位差与所述非平行用相位差膜的相位差之差，来检查所述检查对象相位差膜的缺陷。

Images