CN105308441B - 缺陷检查系统以及膜的制造装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供缺陷检查系统以及膜的制造装置。缺陷检查系统包含：粘贴辊，其粘贴第一膜与第二膜而形成膜；输送线，其在粘贴辊的下游侧输送膜；缺陷检查装置，其被设置于输送线；以及记录装置，其被设置于比缺陷检查装置靠下游侧的输送线，并且将与通过缺陷检查装置检测出的缺陷有关的缺陷信息记录于膜，缺陷检查装置被配置于比除粘贴辊以外最初与第二膜的第一膜侧的相反侧的面接触的辊靠上游侧的输送线。

Description

缺陷检查系统以及膜的制造装置

技术领域

本发明涉及缺陷检查系统以及膜的制造装置。

本申请主张基于在2013年6月4日提出的日本国专利申请2013－117947号的优先权，并且在此引用其内容。

背景技术

作为带状的膜的缺陷检查系统，公知有专利文献1所记载的缺陷检查系统。专利文献1的缺陷检查系统在膜的输送线上具备缺陷检查装置与将缺陷信息记录于膜的记录装置。

另一方面，作为膜的制造装置，公知有专利文献2所记载的膜的制造装置。专利文献2的膜的制造装置具备：粘贴辊，其粘贴第一膜与第二膜并形成膜；输送线，其在粘贴辊的下游侧输送膜；以及缺陷检查装置，其被设置于输送线。

例如，在膜的生产线中，粘贴第一膜与第二膜并且卷绕为辊状从而制造膜的原料辊。在粘贴第一膜与第二膜时，存在在第一膜与第二膜之间产生混入气泡等的啮入异物的情况。缺陷检查装置检查在第一膜与第二膜之间有无异物缺陷等。

专利文献1：日本国特开2011－7779号公报

专利文献2：日本国特开2008－49604号公报

缺陷检查装置通常被设置于输送线的下游侧。与将缺陷检查装置设置于输送线的上游侧相比设置于输送线的下游侧能够对在输送中在膜产生的瑕疵等的缺陷进行集中检查。例如，缺陷检查装置在膜与10～20的辊接触之后检查膜有无缺陷。

另一方面，在将最终制品的第二膜从第一膜剥离的情况下，第二膜的表面的瑕疵不会成为问题。例如，即便在第二膜的表面产生瑕疵，在第一膜与第二膜之间不存在异物缺陷等的情况下，也能够将膜作为最终制品没有问题地进行使用。

然而，若在膜的输送中在第二膜的表面产生瑕疵，则存在本来不会成为问题的第二膜的表面的瑕疵被误检测为缺陷的情况。在该情况下，能够作为最终制品使用的膜被识别为缺陷品。

发明内容

本发明的方式是鉴于这种情况产生的，其目的在于提供一种能够抑制由瑕疵的检测引起的虚报缺陷的缺陷检查系统以及膜的制造装置。

为了实现上述目的，本发明的方式的缺陷检查系统以及膜的制造装置采用了以下结构。

(1)本发明的第一方式的缺陷检查系统是具有第一膜与以能够剥离的方式被层叠于上述第一膜的第二膜的带状的膜的缺陷检查系统，上述缺陷检查系统包含：粘贴辊，其粘贴上述第一膜与上述第二膜而形成上述膜；输送线，其在上述粘贴辊的下游侧输送上述膜；缺陷检查装置，其被设置于上述输送线；以及记录装置，其被设置于比上述缺陷检查装置靠下游侧的上述输送线，并且将与通过上述缺陷检查装置检测出的缺陷有关的缺陷信息记录于上述膜，上述缺陷检查装置被配置于比除上述粘贴辊以外、最初与上述第二膜的上述第一膜侧的相反侧的面接触的辊靠上游侧的上述输送线。

(2)在上述(1)所记载的缺陷检查系统中，上述缺陷检查装置也可以包含：光源，其被配置于上述膜的上述第一膜一侧，并且向上述膜照射光；拍摄装置，其被配置于上述膜的上述第二膜一侧，并且拍摄上述膜的透过光像；第一偏光滤光片，其被配置于上述光源与上述膜之间的光路上，并且具有第一吸收轴；以及第二偏光滤光片，其被配置于上述拍摄装置与上述膜之间的光路上，并且具有与上述第一吸收轴正交的第二吸收轴。

(3)在上述(1)所记载的缺陷检查系统中也可以为，上述第一膜是偏振器，上述缺陷检查装置包含：光源，其被配置于上述膜的上述偏振器一侧，并且向上述膜照射光；拍摄装置，其被配置于上述膜的上述第二膜一侧，并且拍摄上述膜的透过光像；以及偏光滤光片，其被配置于上述拍摄装置与上述膜之间的光路上，并且具有与上述偏振器的吸收轴正交的吸收轴。

(4)本发明的第二方式的膜的制造装置包含上述(1)～(3)中的任一项所记载的缺陷检查系统。

发明的效果

根据本发明的方式，能够提供能够抑制由瑕疵的检测引起的虚报缺陷的缺陷检查系统以及膜的制造装置。

附图说明

图1是表示第一实施方式的膜的制造装置的侧视图。

图2是用于说明第一偏光滤光片的第一吸收轴与第二偏光滤光片的第二吸收轴的配置关系的图。

图3是第一实施方式的缺陷检查装置的俯视图。

图4是用于说明基于比较例1的缺陷检查系统的膜的缺陷检查的图。

图5是用于说明基于第一实施方式的缺陷检查系统的膜的缺陷检查的图。

图6是表示第二实施方式的膜的制造装置的侧视图。

图7是用于说明偏振器的吸收轴与偏光滤光片的吸收轴的配置关系的图。

图8是用于说明基于比较例2的缺陷检查系统的膜的缺陷检查的图。

图9是用于说明基于第二实施方式的缺陷检查系统的膜的缺陷检查的图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明，但本发明并不限定于以下的实施方式。

此外，在以下的全部附图中，为了容易观察附图，使各构成要素的尺寸、比率等适当地不同。另外，在以下的说明以及附图中，对于相同或者相当的要素，标注相同的附图标记，并且省略重复说明。

(第一实施方式)

图1是表示本发明的第一实施方式的膜的制造装置1的侧视图。在图1中，附图标记Sf1是膜F的上表面，并且是第一膜F1侧的面。附图标记Sf2是膜F的下表面，并且是第二膜F2侧的面。

在以下的说明中，根据需要设定XYZ正交坐标系，参照该XYZ正交坐标系对各部件的位置关系进行说明。在本实施方式中，将带状的膜的输送方向设为X方向，将膜的面内的与X方向正交的方向(长条的膜的宽度方向)设为Y方向，将与X方向以及Y方向正交的方向设为Z方向。

如图1所示，膜的制造装置1具备：第一供给部7，其供给第一膜F1；第二供给部8，其供给第二膜F2；缺陷检查系统2，其检查膜F有无缺陷；多个辊(例如在本实施方式中，第一导辊10、第二导辊11以及第三导辊12)，它们形成膜F的输送路径；以及卷绕部9，其卷绕膜F。

此外，在本实施方式中，作为形成膜F的输送路径的多个辊，设置有第一导辊10、第二导辊11以及第三导辊12的三个导辊，但并不限定于此。例如，作为形成膜F的输送路径的多个辊，也可以设置四个以上导辊，除导辊之外，也可以设置夹持辊、张力调节辊。另外，除这种接触辊以外，也可以设置气动杆等的非接触辊。

膜F是具有第一膜F1与以能够剥离的方式被层叠于第一膜F1的第二膜F2的带状的膜。本实施方式中所使用的膜F例如是作为最终制品被使用的膜亦即第一膜F1的一方的面被分离膜亦即第二膜F2覆盖的构造。

作为第一膜F1，例如能够使用TAC(Triacetylcellulose：三乙酰纤维素)膜、相位差膜、提高亮度膜、可视角放大膜等膜。作为第二膜F2，例如能够使用带离型膜的粘结膜。

此外，膜F也可以在第一膜F1的另一方的面层叠有相位差膜、亮度提高膜等的多个光学膜。

另外，在将膜F的第二膜F2从第一膜F1剥离的情况下，不是将第二膜F2整体从第一膜F1剥离。例如，将膜F中的第二膜F2的一部分(离型膜)剥离，将剥离后的膜(第一膜F1以及粘结材料)从粘结材料一侧粘贴于面板等。即，在将第二膜F2的一部分剥离之后，在第一膜F1的一面配置有第二膜F2的剩余部分(粘结材料)。

第一供给部7保持卷绕有带状的第一膜F1的原料辊R1，并且沿着第一膜F1的长边方向抽出第一膜F1。第一供给部7被配置于膜F的供给路径的一侧(图1所示的+Z方向侧)。

第二供给部8保持卷绕有带状的第二膜F2的原料辊R2，并且沿着第二膜F2的长边方向抽出第二膜F2。第二供给部8被配置于膜F的供给路径的另一侧(图1所示的－Z方向侧)。

此外，第一供给部7以及第二供给部8的配置结构并不限于此。例如也可以为，第一供给部7被配置于膜F的供给路径的另一侧(图1所示的－Z方向侧)，并且第二供给部8被配置于膜F的供给路径的一侧(图1所示的+Z方向侧)。

缺陷检查系统2具备：粘贴辊3，其粘贴第一膜F1以及第二膜F2的两张膜从而形成一张膜F；输送线4，其在粘贴辊3的下游侧输送膜F；缺陷检查装置5，其被设置于输送线4；以及记录装置6，其被设置于比缺陷检查装置5靠下游侧的输送线4。

粘贴辊3具有被配置为彼此轴向平行的一对夹持辊3a、3b。在一对夹持辊3a、3b之间形成有规定的间隙，该间隙内成为第一膜F1与第二膜F2的粘贴位置。在间隙内，将第一膜F1与第二膜F2以重叠的方式导入。第一膜F1与第二膜F2被夹持辊3a、3b挟压并且被向下游侧送出。由此，在第一膜F1的一方的面粘贴有第二膜F2。

通过粘贴辊3粘贴第一膜F1与第二膜F2从而形成一张膜F。膜F被朝向缺陷检查装置5输送。

缺陷检查装置5具备：光源20，其被配置于膜F的第一膜F1一侧(图1所示的+Z方向侧)；拍摄装置22，其被配置于膜F的第二膜F2一侧(图1所示的－Z方向侧)；第一偏光滤光片21，其被配置于光源20与膜F之间的光路上；以及第二偏光滤光片23，其被配置于拍摄装置22与膜F之间的光路上。

缺陷检查装置5被配置于比除粘贴辊3以外最初与第二膜F2的第一膜F1侧的相反侧的面Sf2接触的辊靠上游侧的输送线4。本实施方式的缺陷检查装置5位于粘贴辊3的下游侧，且被配置于比第一导辊10靠上游侧的输送线4。在本实施方式中，第一导辊10是除粘贴辊3以外最初与第二膜F2的第一膜F1侧的相反侧的面Sf2接触的辊。

光源20的光射出面20a的中心与拍摄装置22的受光面22a的中心被配置于同轴(光轴CL上)上。

图2是用于说明第一偏光滤光片21的第一吸收轴V1与第二偏光滤光片23的第二吸收轴V2的配置关系的图。

如图2所示，第一偏光滤光片21具有第一吸收轴V1。第二偏光滤光片23具有与第一吸收轴V1正交的第二吸收轴V2。第一偏光滤光片21在光源20与拍摄装置22之间的光路上以第一偏光滤光片21的第一吸收轴V1与第二偏光滤光片23的第二吸收轴V2相互正交的方式被配置(正交尼科尔配置)。

在本实施方式的情况下，膜F(参照图1)成为对透过第一偏光滤光片21的光不施加相位差的膜。因此，若使第一偏光滤光片21的第一吸收轴V1与第二偏光滤光片23的第二吸收轴V2为正交尼科尔配置，则在第一偏光滤光片21与第二偏光滤光片23的重叠部分SV不透过光。因此，若通过拍摄装置22拍摄重叠部分SV，则除非在第一偏光滤光片21与第二偏光滤光片23之间配置有具有相位差的缺陷等的扰乱偏振光状态的部件，否则看到暗的视野。

此外，在膜F是对透过第一偏光滤光片21的光施加相位差的膜的情况下，也可以将抵消该相位差的相位补偿膜配置于第一偏光滤光片21与第二偏光滤光片23之间。在未配置相位补偿膜的情况下，也可以将第一偏光滤光片21的透过轴与第二偏光滤光片23的透过轴配置于从90°偏移规定角度的角度从而在没有异物缺陷等缺陷的状态下使拍摄装置22中的受光强度成为最小(暗的视野)。

图3是缺陷检查装置5的俯视图。在图3中，为了方便图示出膜F。

如图3所示，构成缺陷检查装置5的光源20的光射出面20a是长方形，沿着Y方向具有长边。在本实施方式中，光源20的光射出面20a沿着与膜F的输送方向正交的宽度方向具有长边。光源20的光射出面20a相对于膜F跨越宽度方向形成。例如，作为光源20，能够使用LED线光源。

第一偏光滤光片21被配置为与光源20的光射出面20a的外周部重叠。第一偏光滤光片21与光源20的光射出面20a相同，沿着Y方向具有长边。第一偏光滤光片21在X方向以及Y方向分别比光源20的光射出面20a长。

由此，在第一偏光滤光片21被配置于光源20与膜F之间的光路上的情况下，从光源20射出的光全部向第一偏光滤光片21入射。

拍摄装置22也与光源20的光射出面20a相同，沿着Y方向具有长边。例如，作为拍摄装置22，能够使用线阵照相机。

第二偏光滤光片23以与拍摄装置22的受光面22a的外周部重叠的方式配置。第二偏光滤光片23与拍摄装置22的受光面22a相同，沿着Y方向具有长边。第二偏光滤光片23在X方向以及Y方向分别比拍摄装置22的受光面22a长。

返回至图1，记录装置6被设置于比第三导辊12靠下游侧的输送线4。记录装置6将与通过缺陷检查装置5检测出的缺陷有关的缺陷信息记录于膜F(例如在本实施方式中为第一膜F1)。缺陷信息包含与缺陷的位置、种类有关的信息等。

记录装置6例如将缺陷信息以识别编码(一维条形码、二维条形码、QR代码(注册商标)等)的形式记录于第一膜F1的宽度方向端部。识别编码例如包含表示通过缺陷检查装置5检测出的缺陷是否存在于沿着膜宽度方向距带有条形码的位置离开多少距离的位置的信息(与缺陷的位置有关的信息)。识别编码也可以包含与检测出的缺陷的种类有关的信息。

记录装置6也可以通过在第一膜F1的缺陷位置标识包含缺陷那样的大小的点状、线状或框状的标志从而将缺陷的位置直接显示(标识)于第一膜F1上。此时，也可以通过将上述标志与表示缺陷的种类的符号、图案标识于缺陷位置，记录与缺陷的种类有关的信息。

通过记录装置6记录有缺陷信息的膜F朝向卷绕部9输送。而且，在卷绕部9被卷绕为辊状，从而制造膜F的辊状原料R。

然而，缺陷检查装置通常被设置于输送线的下游侧。与将缺陷检查装置设置于输送线的上游侧相比设置于输送线的下游侧能够对在输送中在膜产生的瑕疵等缺陷进行集中检查。例如，缺陷检查装置在膜与10～20的辊接触之后检查膜有无缺陷。

另一方面，在将最终制品的第二膜从第一膜剥离的情况下，第二膜的表面的瑕疵不会成为问题。例如，即便在第二膜的表面产生瑕疵，在第一膜与第二膜之间未存在异物缺陷等的情况下，也能够将膜作为最终制品没有问题地进行使用。

然而，若在膜的输送中在第二膜的表面产生瑕疵，则存在本来不会成为问题的第二膜的表面的瑕疵被误检测为缺陷的情况。在该情况下，能够作为最终制品使用的膜被识别为缺陷品。

因此，本发明的一个实施方式为了消除这种问题采用了以下结构。

本发明的第一实施方式的缺陷检查系统2是具有第一膜F1与以能够剥离的方式被层叠于第一膜F1的第二膜F2的带状的膜F的缺陷检查系统，上述缺陷检查系统的特征在于，包含：粘贴辊3，其粘贴第一膜F1与第二膜F2而形成膜F；输送线4，其在粘贴辊3的下游侧输送膜F；缺陷检查装置5，其被设置于输送线4；以及记录装置6，其被设置于比缺陷检查装置5靠下游侧的输送线4，并且将与通过缺陷检查装置5检测出的缺陷有关的缺陷信息记录于膜F，缺陷检查装置5被配置于比除粘贴辊3以外最初与第二膜F2的第一膜F1侧的相反侧的面Sf2接触的辊(第一导辊10)靠上游侧的输送线4。

换言之，本发明的第一实施方式的缺陷检查系统2是具有第一膜F1与以能够剥离的方式被层叠于第一膜F1的第二膜F2的带状的膜F的缺陷检查系统，上述缺陷检查系统包含：粘贴辊3，其粘贴第一膜F1与第二膜F2形成膜F；输送线4，其在粘贴辊3的下游侧输送膜F；缺陷检查装置5，其被设置于输送线4；记录装置6，其被设置于比缺陷检查装置5靠下游侧的输送线4，并且将与通过缺陷检查装置5检测出的缺陷有关的缺陷信息记录于膜F；以及多个辊(第一导辊10、第二导辊11以及第三导辊12)，它们被设置于输送线4，缺陷检查装置5被配置于比多个辊中的最初与第二膜F2的第一膜F1侧的相反侧的面Sf2接触的辊(第一导辊10)靠上游侧的输送线4。

以下，使用图4以及图5对本实施方式的缺陷检查系统2的作用效果进行说明。

图4是用于说明基于比较例1的缺陷检查系统的膜F的缺陷检查的图。

在比较例1的缺陷检查系统中，缺陷检查装置5被配置于比除粘贴辊3以外与第二膜F2的第一膜F1侧的相反侧的面Sf2接触的辊(例如多个导辊中的最后与面Sf2接触的导辊)靠下游侧的输送线4。图4是因粘贴第一膜F1与第二膜F2时的气泡等的啮入等在膜F存在有缺陷E1并且因膜F的输送中的第二膜F2与导辊的摩擦在第二膜F2的表面产生有瑕疵E2的情况下的图。

如图4所示，从光源20朝向膜F射出的光L1通过第一偏光滤光片21成为直线偏振光L2。通过第一偏光滤光片21获得的直线偏振光L2向第一膜F1入射。于是，因在第一膜F1与第二膜F2之间存在的缺陷E1扰乱直线偏振光L2的偏振光状态，偏振光状态被扰乱的光的一部分(光L3)透过第二偏光滤光片23。

另一方面，在第二膜F2的表面存在的瑕疵E2也扰乱直线偏振光L2的偏振光状态，偏振光状态被扰乱的光的一部分(光L4)透过第二偏光滤光片23。

其结果是，透过第二偏光滤光片23的光L3与光L4向拍摄装置22入射，通过拍摄装置22将缺陷E1与瑕疵E2作为亮点被明亮地拍摄。

另外，即便在第一膜F1与第二膜F2之间不存在缺陷E1，在第二膜F2的表面存在瑕疵E2的情况下，透过第二偏光滤光片23的光L4也向拍摄装置22入射，通过拍摄装置22将瑕疵E2作为亮点被明亮地拍摄。

这样，在比较例1中，若因膜F在输送中与导辊的摩擦在第二膜F2的表面产生瑕疵E2，则在将最终制品的第二膜F2从第一膜F1剥离的情况下，本来不会成为问题的第二膜F2的表面的瑕疵被误检测为缺陷。

图5是用于说明基于本实施方式的缺陷检查系统2的膜F的缺陷检查的图。

在本实施方式的缺陷检查系统2中，缺陷检查装置5被配置于比除粘贴辊3以外、最初与第二膜F2的第一膜F1侧的相反侧的面Sf2接触的辊(例如在本实施方式中为第一导辊10)靠上游侧的输送线4。图5是因粘贴第一膜F1与第二膜F2时的气泡等的啮入等在膜F存在有缺陷E1的情况下的图。此外，由于在第二膜F2带有瑕疵之前检查膜F的缺陷，所以在第二膜F2的表面未产生瑕疵。

如图5所示，从光源20朝向膜F射出的光L1通过第一偏光滤光片21成为直线偏振光L2。通过第一偏光滤光片21获得的直线偏振光L2向第一膜F1入射。于是，在第一膜F1与第二膜F2之间存在的缺陷E1将直线偏振光L2的偏振光状态扰乱，偏振光状态被扰乱的光的一部分(光L3)透过第二偏光滤光片23。其结果是，透过第二偏光滤光片23的光L3向拍摄装置22入射，通过拍摄装置22将缺陷E1作为亮点被明亮地拍摄。

另一方面，在第一膜F1与第二膜F2之间未存在有缺陷E1的情况下，直线偏振光L2无法透过第二偏光滤光片23。其结果是，由于光不向拍摄装置22入射，所以在拍摄装置22中拍摄出黑的图像。

这样，在本实施方式中，由于在第二膜F2的表面未产生瑕疵，所以不会将第二膜F2的表面的瑕疵误检测为缺陷。

如以上说明那样，根据本实施方式，由于缺陷检查装置5被配置于比除粘贴辊3以外最初与第二膜F2的第一膜F1侧的相反侧的面Sf2接触的辊(例如在本实施方式中为第一导辊10)靠上游侧的输送线4，所以在第二膜F2带有瑕疵之前检查膜F的缺陷。即，由于在膜F的输送中未产生第二膜F2与导辊的摩擦，所以在第二膜F2的表面未产生瑕疵。因此，能够抑制由瑕疵的检测引起的虚报缺陷(作为虚报的缺陷检测)。

(第二实施方式)

接下来，使用图6～图9对本发明的第二实施方式进行说明。

图6是表示本发明的第二实施方式的膜的制造装置101的侧视图。

如图6所示，本实施方式的膜的制造装置101在如下方面与第一实施方式的膜的制造装置1不同，即，第一膜F1a是偏振器，缺陷检查装置105具备：光源20，其被配置于膜Fa的偏振器F1a一侧；拍摄装置22，其被配置于膜Fa的第二膜F2一侧；以及偏光滤光片123，其被配置于拍摄装置22与膜Fa之间的光路上。对于其他与第一实施方式相同的结构，标注相同的附图标记，并且省略详细说明。

膜Fa是具有偏振器F1a与以能够剥离的方式被层叠于偏振器F1a的第二膜F2的带状的膜。本实施方式中所使用的膜F例如是由PVA(聚乙烯醇)等构成的偏振器F1a的一面被作为分离膜的第二膜F2覆盖的构造。

此外，膜Fa也可以在偏振器F1a的另一面层叠有相位差膜、提高亮度膜等的多个光学膜。

在本实施方式的情况下，虽然膜Fa为对透过偏振器F1a的光不施加相位差的膜，但在膜Fa为对透过偏振器F1a的光施加相位差的膜的情况下，也可以将抵消该相位差的相位补偿膜配置于膜Fa与偏光滤光片123之间。在未配置相位补偿膜的情况下，也可以将偏振器F1a的透过轴与偏光滤光片123的透过轴配置于从90°偏移规定角度的角度从而在没有异物缺陷等的缺陷的状态下使拍摄装置22中的受光强度成为最小(暗的视野)。

缺陷检查装置105被配置于比除粘贴辊3以外最初与第二膜F2的偏振器F1a侧的相反侧的面Sf2接触的辊靠上游侧的输送线4。本实施方式的缺陷检查装置105位于粘贴辊3的下游侧，且被配置于比第一导辊10靠上游侧的输送线4。

图7是用于说明偏振器F1a的吸收轴Va与偏光滤光片123的吸收轴V的配置关系的图。

如图7所示，偏振器F1a具有吸收轴Va。偏光滤光片123具有与吸收轴Va正交的吸收轴V。偏光滤光片123在光源20与拍摄装置22之间的光路上以偏振器F1a的吸收轴Va与偏光滤光片123的吸收轴V相互正交的方式配置(正交尼科尔配置)。

若使偏振器F1a的吸收轴Va与偏光滤光片123的吸收轴V为正交尼科尔配置，则在偏振器F1a与偏光滤光片123的重叠部分SV不透过光。因此，若通过拍摄装置22拍摄重叠部分SV，则除非在偏振器F1a与偏光滤光片123之间配置有具有相位差的缺陷等的扰乱偏振光状态的部件，否则看到暗的视野。

以下，使用图8以及图9对本实施方式的缺陷检查系统102的作用效果进行说明。

图8是用于说明基于比较例2的缺陷检查系统的膜Fa的缺陷检查的图。

在比较例2的缺陷检查系统中，缺陷检查装置105被配置于比除粘贴辊3以外与第二膜F2的偏振器F1a侧的相反侧的面Sf2接触的辊(例如多个导辊中的最后与面Sf2接触的导辊)靠下游侧的输送线4。图8是因粘贴偏振器F1a与第二膜F2时的气泡等的啮入在膜Fa存在有缺陷E1并且因膜Fa的输送中的第二膜F2与导辊的摩擦在第二膜F2的表面产生有瑕疵E2的情况下的图。

如图8所示，从光源20朝向膜Fa射出的光L1通过偏振器F1a成为直线偏振光L2。通过偏振器F1a获得的直线偏振光L2向第二膜F2入射。于是，在偏振器F1a与第二膜F2之间存在的缺陷E1扰乱直线偏振光L2的偏振光状态，偏振光状态被扰乱的光的一部分(光L3)透过偏光滤光片123。

另一方面，在第二膜F2的表面存在的瑕疵E2也扰乱直线偏振光L2的偏振光状态，偏振光状态被扰乱的光的一部分(光L4)透过偏光滤光片123。

其结果是，透过偏光滤光片123的光L3与光L4向拍摄装置22入射，通过拍摄装置22将缺陷E1与瑕疵E2作为亮点被明亮地拍摄。

另外，即便在偏振器F1a与第二膜F2之间不存在缺陷E1，在第二膜F2的表面存在瑕疵E2的情况下，透过偏光滤光片123的光L4也向拍摄装置22入射，通过拍摄装置22将瑕疵E2作为亮点被明亮地拍摄。

这样，在比较例2中，若因膜Fa的输送中的与导辊的摩擦在第二膜F2的表面产生瑕疵E2，则在将最终制品的第二膜F2从偏振器F1a剥离的情况下，本来不会成为问题的第二膜F2的表面的瑕疵被误检测为缺陷。

图9是用于说明基于本实施方式的缺陷检查系统102的膜Fa的缺陷检查的图。

在本实施方式的缺陷检查系统102中，缺陷检查装置105被配置于比除粘贴辊3以外最初与第二膜F2的偏振器F1a侧的相反侧的面Sf2接触的辊(例如在本实施方式中为第一导辊10)靠上游侧的输送线4。图9是因粘贴偏振器F1a与第二膜F2时的气泡等的啮入等在膜Fa存在有缺陷E1的情况下的图。此外，由于在第二膜F2带有瑕疵之前检查膜Fa的缺陷，所以不会在第二膜F2的表面产生瑕疵。

如图9所示，从光源20朝向膜Fa射出的光L1通过偏振器F1a成为直线偏振光L2。通过偏振器F1a获得的直线偏振光L2向第二膜F2入射。于是，在偏振器F1a与第二膜F2之间存在的缺陷E1扰乱直线偏振光L2的偏振光状态，偏振光状态被扰乱的光的一部分(光L3)透过偏光滤光片123。

其结果是，透过偏光滤光片123的光L3向拍摄装置22入射，通过拍摄装置22将缺陷E1作为亮点被明亮地拍摄。

另一方面，在偏振器F1a与第二膜F2之间不存在缺陷E1的情况下，直线偏振光L2无法透过偏光滤光片123。其结果是，由于光不向拍摄装置22入射，所以在拍摄装置22中拍摄出黑的图像。

这样，在本实施方式中，由于在第二膜F2的表面未产生瑕疵，所以第二膜F2的表面的瑕疵不会被误检测为缺陷。

如以上说明那样，根据本实施方式，由于缺陷检查装置105被配置于比除粘贴辊3以外最初与第二膜F2的偏振器F1a侧的相反侧的面Sf2接触的辊(例如在本实施方式中为第一导辊10)靠上游侧的输送线4，所以在第二膜F2带有瑕疵之前检查膜Fa的缺陷。即，由于在膜Fa的输送中，未产生第二膜F2与导辊的摩擦，所以在第二膜F2的表面不会产生瑕疵。因此，能够抑制由瑕疵的检测引起的虚报缺陷。

以上，虽然参照附图对本实施方式的优选实施方式的例子进行了说明，但是理所当然地本发明并不限定于所述的例子。在上述例子中所示的各构成部件的各种形状、组合等是一个例子，在不脱离本发明的主旨的范围内，基于设计要求等能够进行各种变更。

附图标记说明：

1…膜的制造装置；2、102…缺陷检查系统；3…粘贴辊；4…输送线；5、105…缺陷检查装置；6…记录装置；10…第一导辊(最初与第二膜的第一膜侧的相反侧的面接触的辊)；20…光源；21…第一偏光滤光片；22…拍摄装置；23…第二偏光滤光片；123…偏光滤光片；F…膜；F1…第一膜；F1a…偏振器；F2…第二膜；Sf2…第二膜的第一膜侧的相反侧的面；V1…第一吸收轴；V2…第二吸收轴；Va…偏振器的吸收轴；V…偏光滤光片的吸收轴。

Claims (4)

1.一种缺陷检查系统，其是具有第一膜和以能够剥离的方式被层叠于所述第一膜的第二膜的带状的膜的缺陷检查系统，其包括：

粘贴辊，其粘贴所述第一膜与所述第二膜而形成所述膜；

输送线，其在所述粘贴辊的下游侧输送所述膜；

缺陷检查装置，其被设置于所述输送线；以及

记录装置，其被设置于比所述缺陷检查装置靠下游侧的所述输送线，并且将与通过所述缺陷检查装置检测出的缺陷有关的缺陷信息记录于所述膜，

所述缺陷检查系统还包括：

多个辊，它们形成所述膜的输送路径；和

卷绕部，其卷绕所述膜，

所述缺陷检查装置被配置于比除所述粘贴辊以外、最初与所述第二膜的所述第一膜侧的相反侧的面接触的辊靠上游侧的所述输送线。

2.根据权利要求1所述的缺陷检查系统，其中，

所述缺陷检查装置包括：

光源，其被配置于所述膜的所述第一膜一侧，并且向所述膜照射光；

拍摄装置，其被配置于所述膜的所述第二膜一侧，并且拍摄所述膜的透过光像；

第一偏光滤光片，其被配置于所述光源与所述膜之间的光路上，并且具有第一吸收轴；以及

第二偏光滤光片，其被配置于所述拍摄装置与所述膜之间的光路上，并且具有与所述第一吸收轴正交的第二吸收轴。

3.根据权利要求1所述的缺陷检查系统，其中，

所述第一膜是偏振器，

所述缺陷检查装置包括：

光源，其被配置于所述膜的所述偏振器一侧，并且向所述膜照射光；

拍摄装置，其被配置于所述膜的所述第二膜一侧，并且拍摄所述膜的透过光像；以及

偏光滤光片，其被配置于所述拍摄装置与所述膜之间的光路上，并且具有与所述偏振器的吸收轴正交的吸收轴。

4.一种膜的制造装置，其中，

包含权利要求1～3中任一项所述的缺陷检查系统。