CN102906561B - 膜缺陷检查装置、缺陷检查方法和脱模膜 - Google Patents

膜缺陷检查装置、缺陷检查方法和脱模膜 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种膜缺陷检查装置，其是检测长膜的缺陷的检查装置，其特征在于，该检查装置具有：在上述膜的一侧表面侧照射上述膜的照明机构；设置在上述照明机构与上述膜之间的第1偏振片；设置在上述膜的另一侧表面侧的第2偏振片；设置在上述膜的另一侧表面侧、接受从上述照明机构照射并透过了上述第1偏振片、上述膜和上述第2偏振片的透过光的受光机构，并且该检查装置具有分别单独地在上述第1偏振片的面内调整上述第1偏振片的角度、在上述第2偏振片的面内调整上述第2偏振片的角度的角度调整机构。

Description

膜缺陷检查装置、缺陷检查方法和脱模膜
技术领域
本发明属于简易且容易地进行被检查膜的光学缺陷检查、特别是在偏振片制造工序所用的偏振片脱模膜的偏振片加工处理前连续进行缺陷检查的偏振片脱模膜的缺陷检查装置和缺陷检查方法的技术领域。
背景技术
近年来，与以往的显示器CRT相比具有薄型轻量化、耗电低、高画质化这些优点的液晶显示器(LCD)的需求急速扩大，特别是大画面监视器、32英寸以上这种大画面TV用途的LCD急速发展。大多数情况下伴随LCD的大画面化，通过提高背光源的亮度、或加入使亮度提高的功能性膜等，设置成在大画面下也充分确保了亮度的LCD。这种高亮度型的LCD大多数情况下由于亮度高，所以显示器中存在的小缺陷成为问题，在偏振片、相位差板这种具有光学特性的构成部件中，对于以前的LCD不成为问题的尺寸缺陷成为了问题。因此，要防止各光学部件的制造工序中产生缺陷，另一方面，对于即使产生缺陷也可确实认识到缺陷这样的检查性的提高也变得尤为重要。
偏振片的缺陷检查一般采用基于正交尼科耳法的目视检查，在用于32英寸以上这种大画面TV的偏振片中，对通过利用正交尼科耳法的自动检查器进行的检查也做了各种研究。
所述正交尼科耳法是使两片偏振片的取向主轴正交地做成暗视野，在两偏振片中间夹上膜等测定对象物，在透过光下观察的方法。通过正交尼科耳配置，假设不存在缺陷，则从摄像部输入全黑图像，而存在缺陷时，该部分不变黑。即，由于偏振片中存在异物或缺陷时作为亮点表现出来，所以可以进行缺陷检查。此处，在偏振片上通过粘合剂层贴合有作为脱模膜的经单轴或双轴拉伸的取向聚对苯二甲酸乙二醇酯膜，因而该脱模膜的光学缺陷增多时，脱模膜的亮点增多，成为缺陷检查的障碍。迄今为止，已知脱模膜中的异物和表面瑕疵会成为缺陷检查时的亮点。
然而，取向膜从薄膜化的观点考虑其制法也是有利的，但由于具有由拉伸导致的取向所引起的双折射(相位差)，所以入射的直线偏振光透过后形成椭圆偏振光，实质上没有形成正交尼科耳状态。即，仅使两片偏振片正交时，被输入摄像部的可见光的受光量会受到膜双折射的影响。
在通过拉伸制造的膜中，如专利文献1的公开所示，相对于拉伸端部，中央部被延迟拉伸，导致产生弓形(bowing)现象。这是由下述原因引起的现象：通过在握持着端部的状态下的加热拉伸，所制造的膜的中央部因自重或热收缩应力而相对于重力方向或制造工序的行进方向被拉伸而下垂，由此工序内的膜构成悬垂线(垂曲线，Catenary曲线)。因此，与专利文献1中的二色性相同，取向膜的双折射在膜宽度方向上是不同的。其结果产生如下问题：根据膜制造时的宽度方向上的位置的不同，在膜的中央部和端部存在无法以良好的精度对膜中存在的缺陷进行检查的部位。
作为解决了所述问题的膜的缺陷检测装置，已知下述专利文献2所公开的检查装置。该缺陷检查装置是这样的装置：在光源与摄像部之间的光路上具有检查用偏振片，将膜的双折射(相位差)取消，因而以被输入摄像部的可见光的受光量变为最小值的方式调整检查用偏振片的相对角度位置，从而以正交尼科耳状态检查带偏振片的膜中的缺陷。
然而，上述专利文献2中，在检查宽度方向上具有双折射偏差的膜的情况下，需要在宽度方向具有多个摄像部和偏振片。根据本发明人等的认识，此时，仅调整偏振片角度以使被输入摄像部的可见光受光量变为最小值，难以在每个摄像部位置上、即宽度方向上获得均匀的受光量，例如，在膜宽度方向上膜端部和中央部的受光量程度产生差值。因此，在检查宽度方向上具有双折射偏差的膜的情况下，无法同时以良好的精度进行缺陷检查。
进而，根据本发明人等的认识，造成大的光量变化的缺陷姑且不谈，仅造成小的光量变化的缺陷的情况下，当以正交尼科耳检查时的视野变得最暗的方式配置偏振片时，对比度差更小，难以检测。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特公昭39-029214号公报
专利文献2：日本特开2007-213016号公报
发明内容
发明要解决的课题
本发明的目的在于提供一种缺陷检查装置，其对于膜宽度方向上具有双折射偏差的膜也可以高精度地进行缺陷检查，并且缺陷部与正常部的对比度大，可高精度地进行检查。
解决课题的方法
为了达成上述目的，根据本发明，提供一种膜缺陷检查装置，其是检测具有一定宽度的长条状膜的缺陷的检查装置，其特征在于，该检查装置具有：照明机构，在所述膜的一侧表面侧照射所述膜；第1偏振片，设置在所述照明机构与所述膜之间；第2偏振片，设置在所述膜的另一侧表面侧；受光机构，设置在所述膜的另一侧表面侧，接受从所述照明机构照射并透过了所述第1偏振片、所述膜和所述第2偏振片的透过光，并且该膜缺陷检查装置具有分别单独地在所述第1偏振片的面内调整所述第1偏振片的角度、在所述第2偏振片的面内调整所述第2偏振片的角度的角度调整机构。
另外，根据本发明的优选方式，提供一种膜缺陷检查装置，其特征在于，在所述膜的宽度方向配置有多个所述第2偏振片和所述受光机构，所述第2角度调整机构分别设置在所述多个第2偏振片上。
另外，根据本发明的优选方式，提供一种膜缺陷检查装置，其特征在于，在所述第1面内调整所述第1偏振片角度的角度调整机构具有在使所述第1偏振片旋转时作为支点发挥作用的轴、和以所述第1偏振片的端部为施力点大致在旋转方向进行推拉的直动机构。
另外，根据本发明的优选方式，提供一种膜缺陷检查装置，其特征在于，以1°以下的旋转精度至少在-8°～+8°的范围对所述第1、第2偏振片的角度进行调整。
另外，根据本发明的另外的方式，提供一种膜缺陷检查方法，其是检测具有一定宽度的长条状膜的缺陷的缺陷检查方法，其特征在于，通过设置在所述膜的一侧表面侧的照明机构照射所述膜，照明机构，在所述膜的一侧表面侧照射所述膜；第1偏振片，设置在所述照明机构与所述膜之间；第2偏振片，设置在所述膜的另一侧表面侧；受光机构，设置在所述膜的另一侧表面侧，接受从所述照明机构照射并透过了所述第1偏振片、所述膜和所述第2偏振片的透过光，并且该膜缺陷检查装置具有分别单独地在所述第1偏振片的面内调整所述第1偏振片的角度、在所述第2偏振片的面内调整所述第2偏振片的角度的角度调整机构。
另外，根据本发明的优选方式，提供一种膜缺陷检查方法，其特征在于，在所述膜的宽度方向配置多个所述第2偏振片和所述受光机构，相应于配置位置而单独地调整所述第2偏振片的角度。
另外，根据本发明的优选方式，提供一种膜缺陷检查方法，其特征在于，当在所述第1面内调整所述第1偏振片的角度时，通过在使所述第1偏振片旋转时作为支点发挥作用的轴和以所述第1偏振片的端部为施力点在大致旋转方向推拉的直动机构，以1°以下的旋转精度对偏振片角度进行微调。
另外，根据本发明的优选方式，提供一种膜缺陷检查方法，其特征在于，在上述膜的待检区域中，以使所述受光机构中的受光量在256灰度下为10～30的范围的方式错开所述第1、第2偏振片的角度来进行检查。
另外，根据本发明的优选方式，提供一种膜缺陷检查方法，其特征在于，在上述膜的待检区域中，以使所述受光机构中的受光量在256灰度下为30～50的范围的方式错开所述第1、第2偏振片的角度来进行检查。
另外，根据本发明的优选方式，提供一种膜缺陷检查方法，其特征在于，在上述膜的待检区域中，在使所述第1、第2偏振片的角度相对于所述受光机构中的受光量成为最小值的状态错开1～2°的范围的状态下进行检查。
另外，根据本发明的优选方式，提供一种膜缺陷检查方法，其特征在于，对于检查对象的膜，在贴合其他的光学膜或光学部件之前的脱模膜的状态下适用缺陷检查。
另外，根据本发明的另外的方式，提供一种脱模膜，其特征在于，通过下述膜缺陷检查装置实施了缺陷检查，所述膜缺陷检查装置是检测具有一定宽度的长条膜的缺陷的检查装置，该检查装置具有：照明机构，在所述膜的一侧表面侧照射所述膜；第1偏振片，设置在所述照明机构与所述膜之间；第2偏振片，设置在所述膜的另一侧表面侧；受光机构，设置在所述膜的另一侧表面侧，接受从所述照明机构照射并透过了所述第1偏振片、所述膜和所述第2偏振片的透过光，并且该膜缺陷检查装置具有分别单独地在所述第1偏振片的面内调整所述第1偏振片的角度、在所述第2偏振片的面内调整所述第2偏振片的角度的角度调整机构。
在此偏振片是指具有仅使在特定方向振动的光透过的性质的板状或膜状物。
在此脱模膜是为了在偏振片和相位差板等光学部件的制造或检查、装运时为了保护光学部件不失去光学特性而贴上、使用时剥离的目的而使用的膜。基于该目的，可以在表面设置对于贴附所必需的粘合层，或者也可以在表面以使用时可剥离的方式设置脱模层。
在此所谓在贴合其他的光学膜或光学部件之前的脱模膜的状态是指没有贴合具有偏光特性的物质、也就是使入射的偏振光变化并透过和输出的那样的物质的状态。
发明效果
根据本发明，可以提供一种缺陷检查装置，其在膜宽度方向具有双折射偏差的膜中也可以高精度地进行缺陷检查，而且可以增大缺陷部与正常部的对比度可高精度地检查。
附图说明
图1是表示本发明的缺陷检测装置的一方式的示意性立体图。
图2是表示本发明的缺陷检测装置的一方式的另外的示意性立体图。
图3是表示本发明的缺陷检测装置的一方式的示意性截面图。
图4是表示膜宽度方向上的偏振片角度和此时的受光量分布的示意图。
图5是表示膜宽度方向上的偏振片角度和此时的受光量分布的另外的示意图。
图6是表示膜宽度方向的各受光机构的受光量分布的示意图。
图7是表示膜宽度方向上的偏振片角度和此时的受光量分布的另外的示意图。
图8是表示膜宽度方向的各受光机构的受光量分布的另外的示意图。
图9是将现有技术的缺陷检测中背景噪音与缺陷部的受光量的关系(a)、和本发明技术的缺陷检测中背景噪音与缺陷部的受光量的关系(b)进行对比的示意图。
图10是表示在本发明的缺陷检测装置中使第1偏振片旋转时的支点和施力点的一种配置形态的示意图。
图11是表示在本发明的缺陷检测装置中将第1偏振片大致在旋转方向推拉的直动机构的一种形态的示意图。
图12是表示在本发明的缺陷检测装置中使第2偏振片旋转时的支点和施力点的一种配置形态的示意图。
图13是表示在本发明的缺陷检测装置中使第2偏振片旋转的机构的一种形态的示意图(a)、和表示由此导致的第2偏振片的一种旋转形态的示意图(b)。
图14是以本发明的受光机构的受光量在256灰度下为10～30的范围来对常温下膜加工时产生的表面缺陷进行摄像得到的图像(a)和在256灰度下受光量为30～50的范围进行摄像得到的图像(a’)、以及以本发明的受光机构的受光量在256灰度下为10～30的范围来对膜制造时或加热时产生的表面缺陷进行摄像得到的图像(b)和在256灰度下受光量为30～50的范围进行摄像得到的图像(b’)。
具体实施方式
以下，利用附图进行详细说明。本发明的缺陷检查装置如图1所示，在膜面的受检区域中与膜平行地在膜的一侧表面侧配置第1偏振片、在另一侧表面侧配置第2偏振片，并且具有隔着上述第1偏振片从偏振片的外侧照射膜的照明机构、和在上述膜的另一侧表面侧接受透过第1偏振片、膜和第2偏振片的透过光的受光机构。
作为适用于本发明的缺陷检查装置的膜，可以举出可用作偏振片、相位差板这样的光学部件的脱模膜的膜，具体有聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜等塑料膜。
另外，对于第1偏振片，可以适用的偏振片只要为可以将来自对膜照射的照明机构的光完全偏光的尺寸，就没有特别限定，可以适用市售的偏振片，然而为了使来自照明机构的照射膜的光丝毫不留地充分偏光，需要是可以充分覆盖照明机构的照明范围的尺寸，优选使用与膜平行的平面的尺寸大于照明机构的尺寸的偏振片。更优选的是，在膜的宽度方向并排使用多个照明机构的情况下，通过使用与该照明机构的数目相等的数目的偏振片，可更高精度地进行正交尼科耳光学系统的调整。
另外，对于第2偏振片也相同，只要为可以将透过膜并射入受光机构的照明光完全偏光的尺寸，就没有特别限定，可以适用市售的偏振片，然而优选的是，使用与受光机构相同数目的偏振片，并且通过将各个偏振片配置在受光机构的受光部前面，可按各受光机构调整各偏振片的角度，因而可更高精度地进行正交尼科耳光学系统的调整。
另外，对于受光机构，只要可以介由偏振片接受由缺陷所致的来自照明机构的散射光、反射光，就没有特别限定，然而从成本、信号处理的容易度考虑，优选使用市售的CCD照相机或CMOS照相机。从设置空间、每一台照相机的摄像视野考虑，更优选使用作为受光元件的CCD或CMOS排列成一直线状的线传感器摄像机(linesensor camera)。另外，考虑成本、受光精度、检查范围，也优选如图2所示根据需要在宽度方向并排使用多个受光机构。
另外，对于照明机构，优选可以均匀照射膜检查范围的照明机构，例如，可以适用将发光元件排列成线状的线状LED照明进行照明、棒状的荧光灯进行照明、或使用光纤将来自金属卤化物灯等光源的光传导到棒状光导来照明的方法。特别是从照明光量大的方面考虑，优选使用光纤将来自金属卤化物灯光源的光传导到棒状光导来照明的方法。这种情况下，特别是当膜的宽度大、检查范围宽时，用1根长的光导成本增大，所以考虑成本或检查范围、和受光机构的个数，也可以将多个照明机构排列在膜的宽度方向上使用。
另外，对于膜与第1偏振片、第2偏振片、照明机构、受光机构各构成单元的位置关系，为了可以以尽可能强的强度接受由缺陷所致的来自照明机构的散射光、反射光，优选如图3所示配置成一直线状。从设置的容易度、保守性的观点出发，更优选检查对象的膜的面与上述直线垂直。
另外，对于第1偏振片与第2偏振片的关系，通过按上述正交尼科耳法的正交尼科耳状态配置，可以用与上述正交尼科耳法相同的方法进行缺陷检查。该情况下，假设不存在缺陷，则从摄像部输入全黑图像，而若存在缺陷，该部分不变黑。即，偏振片中若存在异物或缺陷，作为亮点表现出来。由受光机构得到的信号通过信号处理机构处理，进行有无缺陷的判定等的处理。
另外，优选分别单独地调整第1、第2偏振片角度。这是因为，在宽度方向上具有双折射的偏差的膜的情况下，形成正交尼科耳的第1、第2偏振片的角度在膜的宽度方向上不同，所以如图4所示，在膜的中心附近和膜端附近双折射(相位差)不同；假设第1偏振片角度和第2偏振片角度在宽度方向分别为相同的角度时，无法形成宽度方向上最佳的正交尼科耳的条件，由此导致入射到受光机构的受光量在宽度方向上产生差值。此外，在图4中L、C、R指相对膜行进方向的左、中央、右。
因此，如图5所示，通过相对于膜的宽度方向，将第1偏振片角度和第2偏振片角度分别调整为在全部受光机构中各自的受光量为最少的角度，可获得宽度方向上接近光学最佳正交尼科耳条件的状态，所以是更优选的。此处，所谓调整偏振片角度是指使第1、第2偏振片都以与膜面平行且相对膜行进方向向内侧或外侧的方式旋转。另外，所调整的角度的方向和大小根据膜的宽度方向的偏光特性而不同，例如如图4所示膜的宽度方向的偏光特性为U字型时，对应U字型，第1、第2偏振片都以中央为界，膜左侧的偏振片和膜右侧的偏振片的旋转方向倾向于相反，另外，与膜的中央相比，端部的最佳角度倾向于变大。
进一步优选在上述第1面内调整上述第1偏振片的角度的角度调整机构具有在使上述第1偏振片旋转时作为支点发挥作用的轴、和以上述第1偏振片的端部为施力点大致在旋转方向推拉的直动机构。这是由于下述缘故引起的：由于第1偏振片需要覆盖待检查的膜的整个宽度，所以对于大型LCD电视机用等的超过2m的那样的光学膜，需要采用具有比其更宽的宽度的第1偏振片。为了如图10所示使这么宽大的第1偏振片2以1°以下的旋转精度倾斜，利用基于简单的步进电机或伺服电动机的旋转机构，在旋转角的定位和再现性方面不足，而通过利用如图11所示的直动机构15将图10中具有的那样的施力点13移动，从而以支点14为轴大致在旋转方向推拉第1偏振片2的端部的方式从旋转精度的方面考虑是优选的。进而，利用伺服电动机驱动直动机构15在不仅具有停止精度、而且可通过反馈确认驱动动作的完成的方面、以及在大负荷时也确保扭矩的稳定性的方面是优选的。
进一步优选通过监控受光机构的受光量，使用电机等运转机构自动调整以形成最佳角度。此时，由于偏振片角度需要与膜宽度方向的双折射偏差的变化对应、以及偏振片的调整精度高时更接近完全的正交尼科耳状态，其结果可获得高检查精度，所以优选以1°以下的旋转精度在-8°～+8°的范围对第1、第2偏振片角度进行调整。作为调整第2偏振片角度的机构，如图12和图13中所见，优选通过以支点18为轴的杠杆状的机构，用更接近支点18的施力点17驱动第2偏振片3的端部。这是因为，与直接用步进电机、伺服电动机等旋转机构或使用它们的直动机构仅驱动第2偏振片3的端部时相比，通过使更接近支点18的施力点17驱动，利用杠杆原理用较小的力，即，即使图13中的使第2偏振片旋转的机构的驱动装置19的扭矩小，也可用较小的力使第2偏振片发生较大旋转。此外，对于形成该杠杆的部分，利用如图13中所见的棒状的部分足以进行-8°～+8°这样的非常微少的角度调整，然而与驱动侧同样使用圆盘也可得到同样的效果。
进一步优选的是，在上述膜的待检区域中，将上述第1、第2偏振片的角度错开以使上述受光机构中的受光量在256灰度下为10～30的范围，从而进行检查。由此，如图14(a)(a’)中所见，可以以更高的峰值强度鲜明地捕捉到常温下膜加工时产生的表面缺陷。
并且，进一步优选在上述膜的待检区域中，将上述第1、第2偏振片的角度错开以使上述受光机构的受光量在256灰度下为30～50的范围，从而进行检查。由此，如图14(b)(b’)中所见，可以作为宽度更大的大图像捕捉到膜制造时或加热时产生的表面缺陷。
进一步优选从正交尼科耳状态将偏振片的角度错开1～2°的范围来设置。这是因为，即使通过用上述的方法将第1、第2偏振片角度分别调整为最佳角度，从而设置成宽度方向上接近最佳正交尼科耳条件的状态时，由于在各受光机构中正交尼科耳状态不同，所以例如受光机构的个数为5个时，如图6所示，产生的受光量分布中受光量的基线在膜的中心附近和端部不同。但是，由于各受光机构已被调整为最佳的偏振片角度，因此难以例如降低膜的端部附近的受光量的基线，使其与中心附近统一。因此，如图7所示通过将配置在各受光机构前面的第2偏振片的角度错开1～2°的范围，向提高受光量基线的方向进行调整，对具有由弓形所致的双折射的曲线分布的膜，也可如图8所示使各个受光机构的受光量在宽度方向上均一化，获得直线性。
由此，可使膜宽度方向上检测灵敏度恒定，与如图9(a)所示的现有技术相比，通过本发明的技术，如图9(b)中所示将不存在缺陷的部分的受光量的基线向更明亮的方向调整，同时将由空气层所致的光散射部分等产生的背景噪音覆盖，从而噪音N可以减小为N’，提高S/N比。由此，与现有技术相比，可以使用于检测缺陷的阈值更靠近没有缺陷的部分的受光量的基线，可以确保检测由缺陷所致的超过阈值的受光量的宽度h也更宽而成为h’，因而可进行更高精度且误查更少的检查。
实施例
[实施例1]
作为被检查样品，准备东丽制造的“Lumiror”[38R64]。
在本发明的缺陷检查装置中，作为照明机构，使用250W的金属卤化物(Mejiro Precision制造的BMH-250A)，作为受光机构，将分辨率为25μm的CCD照相机(DALSA制造的P3-80-8K-40)和第2偏振片组合并配置多个，对于被检查样品对1255mm的检查宽度摄像，进行基本(base)受光量的确认。
基本受光量的评价中，调整第1偏振片、第2偏振片两者的角度，在整个检查宽度的受光量以256灰度评价时的平均值最小的状态下确认受光量的最大值和最小值的差，将该差作为受光量偏差进行评价。确认实施例的受光量偏差为20以下。
进而确认了，通过调整第1偏振片、第2偏振片两者的角度，可将基本受光量在256灰度下调整为10～30和30～50的范围。由此确认，实施例1的条件下，在膜宽度方向具有双折射偏差的膜中检查精度也均匀，可高精度地进行检查。
将实施例1的条件下具体拍摄的表面缺陷的图像示于图14。将以本发明的受光机构的受光量在256灰度下为10～30的范围对常温下PET膜加工时产生的表面缺陷进行摄像得到的图像(a)和在256灰度下受光量为30～50的范围进行摄像得到的图像(a’)比较时，离开基线的峰值强度在(a)中为40、在(a’)中为17。即，如此检测常温下膜表面产生的缺陷时，通过以本发明的受光机构的受光量在256灰度下为10～30的范围进行摄像，实现了S/N比的提高。
另外，将对PET膜制造中的加热拉伸时产生的表面缺陷以本发明的受光机构的受光量在256灰度下为10～30的范围进行摄像得到的图像(b)、和在256灰度下受光量为30～50的范围进行摄像得到的图像(b’)比较时，离开基线的峰值强度在(b)中为80、在(b’)中为70，然而检测的宽度在(b)中为760、在(b’)中为940，可见较大的差值。即，如此检测加热工序中在膜表面产生的缺陷时，通过以本发明的受光机构的受光量在256灰度下为30～50的范围进行摄像，实现了用于检测超过阈值的受光量的宽度h的提高。
[比较例1]
使用与实施例1中相同的装置、相同的膜，将设置在照相机侧的第2偏振片的角度固定一致，仅调整设置在光源侧的第1偏振片的角度，从而如专利文献2中记载的所示，仅调整偏振片的相对角度，除此以外与实施例同样地进行摄像，并进行基本受光量的确认。
在比较例1的条件下受光量偏差大于30，无法将基本受光量调整为256灰度下10～30和30～50的范围。由此可确认，比较例的条件下，对于膜宽度方向具有双折射偏差的膜，检查精度不均一，无法进行精度良好的检查。
产业上的可利用性
本发明不限于膜的缺陷检测装置，也可以应用于具有透过性的纸或片状物的缺陷检测装置等，但其应用范围并不限于这些。
符号说明

Claims (9)

1.一种膜缺陷检查装置，其是检测长条状膜的缺陷的检查装置，其特征在于，该检查装置具有：
照明机构，在所述膜的一侧表面侧照射所述膜；
第1偏振片，设置在所述照明机构与所述膜之间；
第2偏振片，设置在所述膜的另一侧表面侧；
受光机构，设置在所述膜的另一侧表面侧，接受从所述照明机构照射并透过了所述第1偏振片、所述膜和所述第2偏振片的透过光，
并且该膜缺陷检查装置具有分别单独地在所述第1偏振片的面内调整所述第1偏振片的角度、在所述第2偏振片的面内调整所述第2偏振片的角度的角度调整机构，
在所述第1偏振片的面内调整所述第1偏振片角度的角度调整机构具有在使所述第1偏振片旋转时作为支点发挥作用的轴、和以所述第1偏振片的端部为施力点大致在旋转方向进行推拉的直动机构。
2.如权利要求1所述的膜缺陷检查装置，其特征在于，在所述膜的宽度方向配置有多个所述第2偏振片和所述受光机构，在所述第2偏振片的面内调整所述第2偏振片的角度的所述角度调整机构分别设置在所述多个第2偏振片上。
3.如权利要求1或2所述的膜缺陷检查装置，其特征在于，以1°以下的旋转精度至少在-8°～+8°的范围对所述第1、第2偏振片的角度进行调整。
4.一种膜缺陷检查方法，其是检测长条状膜的缺陷的缺陷检查方法，其特征在于，通过设置在所述膜的一侧表面侧的照明机构照射所述膜，在所述照明机构与所述膜之间设置第1偏振片，在所述膜的另一侧表面侧设置第2偏振片，通过设置在所述膜的另一侧表面侧的受光机构接受从所述照明机构照射并透过了所述第1偏振片、 所述膜和所述第2偏振片的透过光，对偏振片角度分别单独进行调整，在所述第1偏振片的面内调整所述第1偏振片的角度，在所述第2偏振片的面内调整所述第2偏振片的角度，
当在所述第1偏振片的面内调整所述第1偏振片的角度时，通过在使所述第1偏振片旋转时作为支点发挥作用的轴和以所述第1偏振片的端部为施力点在大致旋转方向推拉的直动机构，以1°以下的旋转精度对偏振片角度进行微调。
5.如权利要求4所述的膜缺陷检查方法，其特征在于，在所述膜的宽度方向配置多个所述第2偏振片和所述受光机构，相应于配置位置而单独地调整所述第2偏振片的角度。
6.如权利要求4或5所述的膜缺陷检查方法，其特征在于，以使所述受光机构中的受光量在256灰度下为10～30的范围的方式错开所述第1、第2偏振片的角度来进行检查。
7.如权利要求4或5所述的膜缺陷检查方法，其特征在于，以使所述受光机构中的受光量在256灰度下为30～50的范围的方式错开所述第1、第2偏振片的角度来进行检查。
8.如权利要求4或5所述的膜缺陷检查方法，其特征在于，在使所述第1、第2偏振片的角度相对于所述受光机构中的受光量成为最小值的状态错开1o～2°的范围的状态下进行检查。
9.如权利要求4或5所述的膜缺陷检查方法，其特征在于，在贴合其他的光学膜或光学部件之前的脱模膜的状态下适用缺陷检查。
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