JP2003262593A - 欠陥検出装置及び欠陥検出方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 製造段階におけるシート状の被検査物上に発
生した欠陥の時系列確認を容易に行うことができる欠陥
検出装置を提供する。 【解決手段】 二つの製造工程段階において搬送中の被
検査物Ｓをそれぞれ撮像する第一及び第二撮像部１及び
２と、撮像された撮像データに基づいて被検査物Ｓの欠
陥を撮像部ごとに検出する第一及び第二検出部３１及び
４１と、一方の撮像データの欠陥が検出されたデータ部
分に対応する、他方の撮像データの対応データ部分を特
定する第一及び第二認識部３２及び４２と、撮像部ごと
に撮像データを記憶する第一及び第二メモリ５及び６
と、検出された欠陥どうしが被検査物上の同一箇所の欠
陥であるか否かを判断する欠陥判断部７と、同一箇所の
欠陥であると判断された欠陥部分を含む撮像データを撮
像部別に表示する表示部８とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、欠陥検出装置及び
欠陥検出方法に係り、特に、長手方向に移動するシート
状の被検査物の欠陥を検出する欠陥検査装置及び欠陥検
査方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の欠陥検出装置の一例が、特開平４
−１２９１３０号公報に開示されている。この従来技術
による欠陥検出装置は、製造ライン上の対象物を撮像
し、撮像した画像から対象物の良否を判定し、不良品の
画像のみを記憶する記憶手段を備えている。これによ
り、不良品の画像のみを解析することができ、対策をタ
イムリーに考慮することができる。

【０００３】

【発明の解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術によれば、製造ライン上の一箇所で対象物が撮像
されている。このため、その撮像段階での欠陥の有無は
判断できるものの、複数の製造工程段階における欠陥の
様子をリアルタイムに時系列で確認することは困難であ
った。例えば、欠陥の検出された製造工程段階よりも前
の段階における欠陥の様子を確認して、欠陥の発生した
製造工程を即座に特定することは困難であった。また、
いったん検出された欠陥が後の製造工程で修復され得る
場合においても、欠陥の修復の有無を即時に確認するこ
とは困難であった。

【０００４】そこで、本発明は、シート状の被検査物上
に発生した欠陥の時系列確認を容易に行うことができる
欠陥検出装置及び欠陥検出方法を提供することを目的と
している。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の目的の達成するた
め、本発明の欠陥検出装置は、長手方向に移動するシー
ト状の被検査物の欠陥を検出する欠陥検出装置であっ
て、長手方向の所定位置に配置され被検査物を撮像して
第一撮像データを生成する第一撮像手段と、長手方向に
おいて所定位置から一定移動経路長だけ移動した位置に
配置され被検査物を撮像して第二撮像データを生成する
第二撮像手段と、これらの第一及び第二撮像データのう
ち少なくとも一つの撮像データについて被検査物の欠陥
の有無を検出する欠陥検出手段と、一方の撮像データに
ついて欠陥が検出された場合に、当該撮像データにおけ
る当該欠陥の検出データ部分に相当する被検査物上の位
置と同位置に相当する、他方の撮像データにおける対応
データ部分を特定する相対位置関係認識手段と、を有す
ることを特徴としている。

【０００６】このように構成された本発明の欠陥検出装
置によれば、複数の位置で被検査物を撮像することによ
り欠陥が検出され、かつ、一方の撮像データの欠陥が検
出されたデータ部分に対応する、他方の撮像データの対
応データ部分を特定することにより、撮像データどうし
の相対位置関係が認識される。これにより、被検査物上
の欠陥位置にそれぞれ相当する第一及び第二撮像データ
の部分どうしを容易に比較することができ、欠陥の時系
列確認を容易に行うことができる。

【０００７】また、本発明において、好ましくは、相対
位置関係認識手段は、検出データ部分と略同時に撮像さ
れた他方の撮像データのデータ部分から、被検査物上で
上記一定移動経路長分だけ移動した位置に相当するデー
タ部分を、対応データ部分として特定する。これによ
り、シート状の被検査物上に発生した欠陥の時系列確認
を一層容易に行うことができる。なお、一方の撮像デー
タを撮像した撮像装置の位置が、他方の撮像データを撮
像した撮像装置の位置よりも上流側であるときは、一定
移動経路長分だけ戻した位置を対応データ部分とすると
よい。また、一方の撮像データを撮像した撮像装置の位
置が、他方の撮像データを撮像した撮像装置の位置より
も下流側であるときは、一定移動経路長分だけ進めた位
置を対応データ部分とするとよい。

【０００８】また、本発明において、好ましくは、撮像
データのデータ部分に相当する被検査物上の長手方向の
位置を、当該データ部分の、基準時点からの画像取込ラ
イン数と、画像取込ライン間隔である長手方向分解能と
の積により表す。これにより、製造段階における紙、フ
ィルム等の長尺のシート状の被検査物上の欠陥について
も、その長尺方向における位置を容易に特定することが
できる。

【０００９】また、本発明において、好ましくは、撮像
データのデータ部分に相当する被検査物上の幅方向の位
置を、当該データ部分の画像取込ライン上の、被測定物
の側端に対応する画素から数えた画素数と幅方向の分解
能の積により表す。これにより、被検査物上の欠陥の幅
方向における位置を容易に特定することができる。

【００１０】また、本発明において、好ましくは、第一
及び第二の撮像手段は、それぞれ、シート状の被検査物
を横断する線上の画像を連続的に撮像するラインセンサ
を備えている。このように、撮像手段がラインセンサを
備えれば、撮像された撮像データと被検査物上の位置と
を容易に対応づけることができる。

【００１１】また、本発明において、好ましくは、更
に、第一及び第二撮像データを、それぞれ被検査物上の
位置と対応付けて記憶する記憶手段を有する。このよう
に、撮像データと被検査物上の位置とを対応づけて記憶
すれば、被検査物上の任意の位置に相当する撮像データ
部分を容易に読み出すことができる。

【００１２】また、本発明において、好ましくは、更
に、一方の撮像データの検出データ部分を含む画像、及
び、他方の撮像データの対応データ部分を含む画像を撮
像データごとに表示する表示手段を有する。このよう
に、表示手段とを設ければ、欠陥の時系列確認を一層容
易に行うことができる。

【００１３】また、本発明において、好ましくは、更
に、欠陥検出手段により、第一及び第二撮像データそれ
ぞれについて欠陥が検出された場合に、これら欠陥どう
しが被検査物上の同一位置の欠陥であるか否かを判断す
る欠陥判断手段を有する。このように、欠陥判断手段を
設ければ、互いに異なる製造工程で検出された欠陥どう
しが被検査物上で同一箇所のものであるか否かが判断さ
れる。これにより、シート状の被検査物上に発生した欠
陥の時系列確認を一層容易に行うことができる。

【００１４】また、本発明において、好ましくは、欠陥
判断手段は、判断にあたり、一方の撮像データにおける
検出データ部分に対する、他方の撮像データにおける対
応データ部分に相当する被検査物上の位置と、他方の撮
像データにおける検出データ部分に相当する被検査物上
の位置とが、所定の許容範囲内で一致した場合に、これ
ら欠陥どうしを同一位置の欠陥であると判断する。これ
により、欠陥どうしが被検査物上の同一位置であるか否
かを容易に判断することができる。

【００１５】また、本発明の欠陥検出方法によれば、長
手方向に移動するシート状の被検査物の欠陥を検出する
欠陥検出方法であって、長手方向の所定位置で被検査物
を撮像して撮像データを生成する第一撮像工程と、長手
方向において所定位置から一定移動経路長だけ移動した
位置に配置され被検査物を撮像して第二撮像データを生
成する第二撮像工程と、これらの第一及び第二撮像デー
タのうち少なくとも一つの撮像データについて被検査物
の欠陥の有無を検出する欠陥検出工程と、一方の撮像デ
ータについて欠陥が検出された場合に、当該撮像データ
における当該欠陥の検出データ部分に相当する被検査物
上の位置と同位置に相当する、他方の撮像データにおけ
る対応データ部分を特定する相対位置関係認識工程と、
を有することを特徴とする。

【００１６】このように、本発明の欠陥検出方法によれ
ば、欠陥の時系列確認を容易に行うことができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、添付の図面を参照して、本
発明の欠陥検出装置欠陥検出方法の実施形態を説明す
る。まず、図１を参照して、第一実施形態の欠陥検出装
置について説明する。図１は、第一実施形態の欠陥検出
装置を説明するためのブロック図である。

【００１８】第一実施形態の欠陥検出装置は、長尺方向
に搬送されながら複数の製造工程を経て製造されるシー
ト状の被検査物を検査する。そのために、この欠陥検出
装置は、図１に示すように、互いに異なる複数の製造工
程段階において被検査物Ｓをそれぞれ撮像して第一及び
第二撮像データを生成する第一及び第二撮像部１及び２
と、第一及び第二撮像データに基づいて被検査物Ｓの欠
陥の有無を撮像データ毎に検出する第一及び第二検出部
３１及び４１と、一方の撮像データの欠陥が検出された
データ部分に対応する、他方の撮像データの対応データ
部分を特定する第一及び第二認識部３２及び４２と、撮
像部ごとに撮像データを記憶する第一及び第二メモリ５
及び６と、第一及び第二検出部３１及び４１により検出
された欠陥が被検査物Ｓ上の同一の欠陥であるか否かを
判断する欠陥判断部７と、第一及び第二検出部３１及び
４１により検出された欠陥を含む画像をそれぞれ表示す
る表示部８とを備えている。

【００１９】なお、本実施形態では、第一及び第二検出
部３１及び３２と、第一及び第二認識部３２及び４２と
により、それぞれ第一及び第二画像処理部３及び４を構
成している。以下、各構成部分ついて説明する。

【００２０】第一撮影部１は、被検査物Ｓを挟むように
配置された第一光源１１と第一ラインセンサ１２とによ
り構成されている。第一光源１１は、直管型蛍光灯によ
り構成されている。直管型蛍光灯は、被検査物Ｓの搬送
方向と直交する方向に延在し、被検査物と平行に５０ｍ
ｍ離して配置されている。また、第一ラインセンサ１２
は、第一光源１１から照射されて被検査物を透過した光
を受光するラインＣＣＤにより構成されている。そし
て、第一ラインセンサ１２は、シート状の被検査物Ｓを
横断する線上の画像を連続的に撮像する。

【００２１】また、第二撮像部２は、予め設定された一
定移動経路長Ｙだけ、第一撮像部１から搬送方向の下流
側へ移動した位置に配置されている。そして、第二撮像
部２も、第一撮像部１と同様に、被検査物Ｓを挟むよう
に配置された第二光源２１と第二ラインセンサ２２とに
より構成されている。第二光源２１も、第一光源１１と
同様に配置された直管型蛍光灯により構成されている。
また、第二ラインセンサ２２も、第一ラインセンサ１２
と同様に、第二光源２１から照射されて被検査物Ｓを透
過した光を受光するラインＣＣＤにより構成されてい
る。本実施形態では、第一及び第二ラインセンサ１２及
び２２として、三菱レイヨン社製ＳＣＤ−５０００Ａ
（商品名）を使用する。

【００２２】そして、第一ラインセンサ１２により撮像
された第一撮像データは、第一検出部３１と第一メモリ
５へ送られる。一方、第二ラインセンサ２２により撮像
された第二撮像データは、第二検出部４１と第二メモリ
６へ送られる。

【００２３】第一及び第二メモリ５及び６は、それぞれ
第一及び第二画像処理部３及び４によって管理されてお
り、第一及び第二撮像データを記憶する。ただし、各撮
像データのメモリアドレスは、それぞれ被検査物上の位
置と対応付けて記憶される。このように撮像データと被
検査物上の位置とを対応づけて記憶すれば、被検査物上
の任意の位置に相当する撮像データ部分を容易に読み出
すことができる。

【００２４】具体的には、第一及び第二撮像データのメ
モリアドレスごとのデータ部分に相当する被検査物Ｓ上
の長手方向の位置は、当該データ部分の基準時点からの
画像取込ライン数と、画像取込ライン間隔である長手方
向分解能との積により表される。これにより、製造段階
における紙、フィルム等の長尺のシート状の被検査物上
の欠陥についても、その長尺方向における位置を容易に
特定することができる。

【００２５】なお、ラインセンサ１２及び２２は、スキ
ャンごとにスキャンデータを出力するが、画像処理部３
及び４においては、常に全てのスキャンごとにスキャン
データを処理するわけではなく、被検査物Ｓの搬送速度
に応じて、スキャンデータを間引いて処理することもあ
る。したがって、画像取込ライン数は、スキャン回数と
一致する場合もあるが、一致しない場合もある。また、
搬送速度は、生産ラインから送られてくる速度信号によ
り画像処理部に取得されるので、画像処理部で画像取込
ライン間隔を容易に求めることができる。

【００２６】また、第一及び第二撮像データのメモリア
ドレスごとのデータ部分に相当する被検査物上の幅方向
の位置は、当該データ部分の画像取込ライン上の、被測
定物の一方の側端に対応する画素から数えた画素数とラ
インセンサの幅方向分解能の積により表わされる。これ
により、被検査物上の欠陥の幅方向における位置を容易
に特定することができる。

【００２７】また、第一及び第二メモリ５及び６は、例
えば、ハードディスクで構成してもよい。また、リング
バッファメモリを利用し、連続して入力されてくる撮像
データを、被検査物Ｓの長尺方向に必要な長さ分だけ一
時的に保存するようにしてもよい。本実施形態では、第
一及び第二メモリ５及び６として、三菱レイヨン社製画
像表示装置Ｖｅｒ３（商品名）を使用する。

【００２８】第一検出部３１は、第一撮像データに基づ
いて被検査物Ｓの欠陥を検出する。欠陥の検出にあたっ
ては、例えば、予め被検査物Ｓの透過光強度の閾値を設
定しておき、第一撮像データの各画素の透過光強度と閾
値とを比較して、透過光強度が閾値よりも高い場合に欠
陥として検出するとよい。これにより、被検査物Ｓの穴
や破れ、更には、厚さが規定値よりも薄くなっている部
分といった欠陥を容易に検出することができる。また、
例えば、被検査物Ｓ表面の付着物等により厚さが規定値
よりも厚くなっている部分といった欠陥を検出するに
は、透過高強度が適当な閾値よりも低い場合に欠陥とし
て検出するとよい。

【００２９】また、第二検出部４１も、第二撮像データ
に基づいて第一検出部３１と同様にして、被検査物Ｓの
欠陥を検出する。第一及び第二検出部３１及び４１は、
例えば、画素ごとのＣＣＤカメラの出力電圧としての撮
像データをアナログ／デジタル変換するＡ／Ｄ変換器
や、閾値とデジタル変換されたデータとを比較するコン
ピュータ等により構成するとよい。本実施形態では、第
一及び第二検出部３１及び４１として、三菱レイヨン社
製ＬＳＣ−３００（商品名）を使用する。

【００３０】また、第一認識部３２は、第一検出部３１
により第一撮像データについて欠陥が検出された場合
に、当該撮像データにおける当該欠陥の検出データ部分
に相当する、上記被検査物Ｓ上の位置と同位置に相当す
る、第二撮像データにおける対応データ部分を特定す
る。すなわち、第一認識部３２は、第一撮像データの検
出データ部分と略同時に撮像された第二撮像データのデ
ータ部分から、被検査物Ｓ上で一定移動経路長Ｙ分だ
け、搬送方向の上流側へ戻した位置に相当するデータ部
分を、上記対応データ部分として特定する。

【００３１】なお、撮像データのデータ部分に相当する
被検査物Ｓ上の長手方向の位置は、当該データ部分の、
基準時点からの画像取込ライン数と、画像取込ライン間
隔である長手方向分解能との積により表わされる。これ
により、製造段階における紙、フィルム等の長尺のシー
ト状の被検査物Ｓ上の欠陥についても、その長尺方向に
おける位置を容易に特定することができる。

【００３２】さらに、一定移動経路長Ｙも、画像取込ラ
イン数と、画像取込ライン間隔である長手方向分解能と
の積により表すことができる。そして、第二撮像データ
における一定移動経路長Ｙ分だけ戻した位置は、この一
定移動経路長Ｙと被測定物Ｓの搬送速度に基づいて求め
られる。また、撮像データのデータ部分に相当する被検
査物Ｓ上の幅方向の位置は、当該データ部分の画像取込
ライン上の、上記被測定物の側端に対応する画素から数
えた画素数とラインセンサの幅方向分解能の積により表
わされる。

【００３３】また、第二認識部４２は、第二検出部４１
により第二撮像データについて欠陥が検出された場合
に、当該撮像データにおける当該欠陥の検出データ部分
に相当する、被検査物Ｓ上の位置と同位置に相当する、
第一撮像データにおける対応データ部分を特定する。す
なわち、第二認識部４２は、第二撮像データの検出デー
タ部分と略同時に撮像された第一撮像データのデータ部
分から、被検査物Ｓ上で一定移動経路長Ｙ分だけ、搬送
方向の下流側へ進めた位置に相当するデータ部分を、対
応データ部分として特定する。

【００３４】そして、第一及び第二検出部３及び４にお
いて検出された欠陥の情報は、欠陥判断部７へ送られ
る。欠陥判断部７は、第一及び第二撮像部１及び２によ
る撮像データからそれぞれ検出された欠陥どうしが、被
検査物Ｓ上の同一箇所の欠陥であるか否かを判断する。

【００３５】判断にあたっては、第一撮像データにおけ
る検出データ部分に対する、第二撮像データにおける対
応データ部分に相当する被検査物Ｓ上の位置と、第二撮
像データにおける検出データ部分に相当する被検査物Ｓ
上の位置とが、所定の許容範囲内で一致した場合に、第
一撮像データの検出データ部分と、第二撮像データの検
出データ部分とが、被検査物Ｓ上で同一位置の欠陥であ
ると判断するとよい。または、第二撮像データにおける
検出データ部分に対する、第二位置撮像データにおける
対応データ部分に相当する被検査物Ｓ上の位置と、第一
撮像データにおける検出データ部分に相当する被検査物
末の位置とが、所定の許容範囲内で一致した場合に、こ
れら欠陥どうしの被検査物Ｓ上で同一箇所の欠陥である
と判断してもよい。

【００３６】なお、同一箇所の欠陥どうしの位置は、分
解能単位で厳密に一致することが理想的であるが、実際
には、搬送速度が変動することがあり、また、第一及び
第二撮像装置における画像取込の分解能が正確に一致し
ない場合もある。このため、一定の許容範囲内で一致す
る場合も同一と判断することが、実用上望ましい。

【００３７】そして、所定の許容範囲内での一致の有無
は、被検査物Ｓの長手方向の位置と、幅方向における欠
陥の位置とについて、合わせて判断するとよい。撮像デ
ータのデータ部分に相当する被検査物Ｓ上の長手方向の
位置どうしの一致は、当該データ部分の、基準時点から
の画像取込ライン数と、画像取込ライン間隔である長手
方向分解能との積により表わされる位置が、所定の許容
範囲内、例えば、前後数本の取込ライン数の間で一致す
るか否かにより、判断するとよい。

【００３８】また、撮像データのデータ部分に相当する
被検査物Ｓ上の幅方向の位置どうしの一致は、当該デー
タ部分の画像取込ライン上の、被測定物の側端に対応す
る画素から数えた画素数とラインセンサの幅方向分解能
の積により表わされる位置が、所定の許容範囲内、例え
ば、前後数個の画素数の間で一致するか否かにより、判
断するとよい。

【００３９】そして、欠陥どうしが同一箇所のものであ
ると判断された場合、その情報は、第一及び第二画像処
理部３及び４にそれぞれ送られる。第一及び第二画像処
理部３及び４は、その情報に基づいて、第一及び第二撮
像データのうちの欠陥を含むデータ部分を、それぞれ第
一及び第二メモリ５及び６から読み出し、表示部８へ送
出させる。

【００４０】表示部８は、第一表示部８１と第二表示部
８２とにより構成されている。第一表示部８１は、第一
メモリ５から読み出された撮像データを表示する。ま
た、第二表示部８２は、第二メモリ６から読み出された
撮像データを表示する。

【００４１】これにより、二つの工程段階でそれぞれ検
出された、被検査物Ｓ上で同一箇所の欠陥を並べて表示
することができる。その結果、オペレータは、被検査物
Ｓ上に発生した欠陥の様子をリアルタイムに時系列で容
易に確認することができる。

【００４２】また、複数の製造工程段階における欠陥の
状態を容易に時系列確認することができるので、後の製
造工程段階における欠陥の状態を推測することも可能と
なる。例えば、第一及び第二表示部８１及び８２に、被
検査物Ｓの同一箇所の欠陥として側端部分の破れが表示
されている場合、第一表示部８１に表示された破れ部分
の大きさ対して、第二表示部８２に表示された破れ部分
が拡大しているときには、オペレータは後の製造工程段
階でこの破れ部分が更に拡大する可能性を推測すること
ができる。

【００４３】次に、図２を参照して、本発明の第二実施
形態について説明する。図２は、第二実施形態の欠陥検
出装置を説明するためのブロック図である。

【００４４】図２に示すように、第二実施形態の欠陥検
出装置においては、上述の第一実施形態の欠陥検出装置
における欠陥判断部７を設けておらず、また、第一及び
第二画像処理部３及び４の代わりに画像処理部９を設け
ている。そして、画像処理部９は、第一メモリ５及び第
二メモリ６の両方を管理する。第二実施形態の欠陥検出
装置は、これ以外の点では、上述した第一実施形態と同
一の構成である。このため、第二実施形態では、第一実
施形態と同一の構成部分には同一符号を付し、それらの
説明は省略する。

【００４５】画像処理部９は、欠陥検出部９１及び位置
関係認識部９２から構成されている。この欠陥検出部９
１には、第一ラインセンサ１２で撮像された第一画像デ
ータのみが入力される。すなわち、第二ラインセンサ２
２で撮像された第二画像データは、欠陥検出部９１には
入力されず、第二メモリ６にのみ入力される。

【００４６】画像処理部９の欠陥検出部９１は、第一画
像データについてのみ、欠陥の検出を行う。そして、欠
陥検出部９１により、第一撮像データについて欠陥が検
出された場合、位置関係認識部９２は、この第一撮像デ
ータにおける当該欠陥の検出データ部分に相当する被検
査物Ｓ上の位置と同位置に相当する、第二撮像データに
おける対応データ部分を特定する。

【００４７】なお、本実施形態では、上流側の第一ライ
ンセンサ１２で撮像された第一画像データについてのみ
欠陥の検出を行う例について説明するが、下流側の第二
ラインセンサ２２で撮像された第二画像データについて
のみ欠陥の検出を行ってもよい。

【００４８】さらに、画像処理部９は、第一メモリ５か
ら、第一画像データのうちの欠陥の検出データ部分を含
む画像を第一表示部８１に表示させるとともに、第二メ
モリ６から、第二画像データのうちの特定された対応デ
ータ部分を含む画像を第二表示部８２に表示させる。

【００４９】そして、第一及び第二表示部８１及び８２
に表示された画像をオペレータが確認することによっ
て、欠陥が検出された製造工程段階の画像と、例えば、
欠陥修復以降の製造工程段階の対応する画像とを容易に
比較して、時系列確認を行うことができる。その結果、
いったん検出された欠陥が、その後の製造工程で修復さ
れ得る場合に、欠陥修復の有無についてオペレータによ
る即時確認の実現を図ることができる。

【００５０】また、第二実施形態において、欠陥検出部
９１において、第二画像データ中の欠陥のみを検出する
ようにすれば、欠陥が検出された製造工程段階の画像
と、欠陥修復以降の製造工程段階の対応する画像とを容
易に比較して、時系列確認を行うことができる。その結
果、オペレータは、欠陥の検出された製造工程段階より
も前の段階における欠陥の様子を確認して、欠陥の発生
した製造工程の迅速な特定を図ることができる。例え
ば、製造工程のうち塗布コーティング工程の処理後に撮
像された撮像データから欠陥が検出され、塗布コーティ
ング工程の前工程において撮像した撮像データでは欠陥
が検出されなかった場合、この塗布コーティング工程に
おいて欠陥が発生したことがわかる。

【００５１】上述した各実施形態においては、本発明を
特定の条件で構成した例について説明したが、本発明は
種々の変更及び組み合わせを行うことができ、これに限
定されるものではない。例えば、上述した実施形態にお
いては、被検査物を二箇所で撮像し、二つの欠陥検出系
統を設けた例について説明したが、本発明では、撮像箇
所は二箇所に限定されない。例えば、三箇所以上の箇所
で被検査物を撮像して、それぞれ欠陥を検出してもよ
い。特に、各製造工程段階ごとに被検査物を撮像すれ
ば、製造工程別に欠陥を容易に時系列確認し、欠陥状態
を容易に把握することができる。また、一つの製造工程
段階について複数の撮像手段を設置してもよい。

【００５２】また、上述した実施形態においては、撮像
部が透過光を撮像した例について説明したが、本発明で
は、撮像方法はこれに限定されない。撮像にあたって
は、検出対象とする欠陥の特性に適した光学状態とする
ことが望ましい。例えば、光源とラインセンサとを被検
査物に対して同じ側に配置し、反射光を撮像してもよ
い。また、撮像は可視光線像に限定されない。例えば、
赤外線像、紫外線像又はＸ線像を撮像してもよい。ま
た、上述した実施形態においては、撮像手段としてライ
ンセンサを使用した例について説明したが、本発明で
は、撮像手段はラインセンサに限定されない。

【００５３】また、上述した実施形態では、第一メモリ
５と第二メモリ６とを分離して示した例について説明し
たが、本発明では、第一メモリと第二メモリを一つの記
憶装置内に設けてもよい。

【００５４】また、上述した実施形態においては、表示
部において、第一画像の欠陥部分と第二画像の欠陥部分
とを同時に並べて表示した例について説明したが、本発
明では、表示方法はこれに限定されず、例えば、第一画
像と第二画像とを交互に表示してもよい。また、例え
ば、複数の製造工程段階の画像を、一台のＣＲＴ等の表
示装置で表示画面を分割して表示してもよい。

【００５５】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、欠陥の時系列確認を容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一実施形態における欠陥検出装置を
説明するためのブロック図である。

【図２】本発明の第二実施形態における欠陥検出装置を
説明するためのブロック図である。

【符号の説明】

１ 第一撮像部 ２ 第二撮像部 ３ 第一画像処理部 ４ 第二画像処理部 ５ 第一メモリ ６ 第二メモリ ７ 欠陥判断部 ８ 表示部 ９ 画像処理部 １１ 第一光源 １２ 第一ラインセンサ ２１ 第二光源 ２２ 第二ラインセンサ ３１ 第一検出部 ３２ 第一認識部 ４１ 第二検出部 ４２ 第二認識部 ８１ 第一表示部 ８２ 第二表示部 ９１ 欠陥検出部 ９２ 位置関係認識部

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA49 BB13 CC02 FF04 GG03 GG16 HH13 JJ02 JJ05 JJ09 JJ25 MM03 QQ03 QQ24 QQ31 2G051 AA41 AB02 AC01 BA01 BA20 CA03 CA07 DA06 EA12 EA14 ED08 ED11 ED30 5B057 AA04 BA13 CA11 CH01 CH11 DA03 DA16 DB01

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 長手方向に移動するシート状の被検査物
   の欠陥を検出する欠陥検出装置であって、 長手方向の所定位置に配置され上記被検査物を撮像して
   第一撮像データを生成する第一撮像手段と、 長手方向において上記所定位置から一定移動経路長だけ
   移動した位置に配置され上記被検査物を撮像して第二撮
   像データを生成する第二撮像手段と、 これらの第一及び第二撮像データのうち少なくとも一つ
   の撮像データについて上記被検査物の欠陥の有無を検出
   する欠陥検出手段と、 一方の撮像データについて欠陥が検出された場合に、当
   該撮像データにおける当該欠陥の検出データ部分に相当
   する上記被検査物上の位置と同位置に相当する、他方の
   撮像データにおける対応データ部分を特定する相対位置
   関係認識手段と、 を有することを特徴とする欠陥検出装置。
2. 【請求項２】 上記相対位置関係認識手段は、上記検出
   データ部分と略同時に撮像された他方の撮像データのデ
   ータ部分から、上記被検査物上で上記一定移動経路長分
   だけ移動した位置に相当するデータ部分を、上記対応デ
   ータ部分として特定する請求項１記載の欠陥検出装置。
3. 【請求項３】 撮像データのデータ部分に相当する上記
   被検査物上の長手方向の位置を、当該データ部分の、基
   準時点からの画像取込ライン数と、画像取込ライン間隔
   である長手方向分解能との積により表す請求項１又は２
   記載の欠陥検出装置。
4. 【請求項４】 撮像データのデータ部分に相当する上記
   被検査物上の幅方向の位置を、当該データ部分の画像取
   込ライン上の、上記被測定物の側端に対応する画素から
   数えた画素数と幅方向分解能の積により表す請求項１、
   ２又は３記載の欠陥検出装置。
5. 【請求項５】 上記第一及び第二の撮像手段は、それぞ
   れ、上記シート状の被検査物を横断する線上の画像を連
   続的に撮像するラインセンサを備えている請求項１乃至
   ４のいずれか一項に記載の欠陥検出装置。
6. 【請求項６】 更に、上記第一及び第二撮像データを、
   それぞれ上記被検査物上の位置と対応付けて記憶する記
   憶手段を有する請求項１乃至５のいずれか一項に記載の
   欠陥検出装置。
7. 【請求項７】 更に、一方の撮像データの上記検出デー
   タ部分を含む画像、及び、他方の撮像データの上記対応
   データ部分を含む画像を撮像データごとに表示する表示
   手段を有する請求項１乃至６のいずれか一項に記載の欠
   陥検出装置。
8. 【請求項８】 更に、上記欠陥検出手段により、上記第
   一及び第二撮像データそれぞれについて欠陥が検出され
   た場合に、これら欠陥どうしが被検査物上の同一位置の
   欠陥であるか否かを判断する欠陥判断手段を有する請求
   項１乃至７のいずれか一項に記載の欠陥検出装置。
9. 【請求項９】 上記欠陥判断手段は、一方の撮像データ
   における検出データ部分に対する、他方の撮像データに
   おける対応データ部分に相当する上記被検査物上の位置
   と、他方の撮像データにおける検出データ部分に相当す
   る上記被検査物上の位置とが、所定の許容範囲内で一致
   した場合に、これら欠陥どうしを同一位置の欠陥である
   と判断する請求項１乃至９の何れか一項に記載の欠陥検
   出装置。
10. 【請求項１０】 長手方向に移動するシート状の被検査
    物の欠陥を検出する欠陥検出方法であって、 長手方向の所定位置で上記被検査物を撮像して撮像デー
    タを生成する第一撮像工程と、 長手方向において上記所定位置から一定移動経路長だけ
    移動した位置に配置され上記被検査物を撮像して第二撮
    像データを生成する第二撮像工程と、 これらの第一及び第二撮像データのうち少なくとも一つ
    の撮像データについて上記被検査物の欠陥の有無を検出
    する欠陥検出工程と、 一方の撮像データについて欠陥が検出された場合に、当
    該撮像データにおける当該欠陥の検出データ部分に相当
    する上記被検査物上の位置と同位置に相当する、他方の
    撮像データにおける対応データ部分を特定する相対位置
    関係認識工程と、 を有することを特徴とする欠陥検出方法。