KR20030013520A - 화상 처리 시스템 - Google Patents

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KR20030013520A
KR20030013520A KR10-2003-7000061A KR20037000061A KR20030013520A KR 20030013520 A KR20030013520 A KR 20030013520A KR 20037000061 A KR20037000061 A KR 20037000061A KR 20030013520 A KR20030013520 A KR 20030013520A
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닛폰 이타가라스 가부시키가이샤
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Abstract

이 화상 처리 시스템은 복수의 라인 센서 카메라(12-n)와, 각 라인 센서 카메라에 각각 접속되고, 또한, 각 라인 센서 카메라에 1대 1로 대응한 화상 입력 보드(l8)를 갖는 복수의 보드 컴퓨터(11-n)와, 복수의 보드 컴퓨터와 LAN(15)에 의해 접속된 호스트 컴퓨터(13)에 의해 구성되며, 검사 대상물의 결함을 판정하여 판정 결과를 디스플레이에 표시한다.

Description

화상 처리 시스템{Image processing system}
최근, 퍼스널 컴퓨터의 처리 능력이 향상되어 온 것과 함께, 대용량 메모리 탑재가 가능하게 되어 왔기 때문에, 검사 대상물 내에 존재하는 결함을 검출하기 위한 화상 처리 시스템에는 퍼스널 컴퓨터가 사용되도록 되어 오고 있다.
도 1은 유리 기판 등의 검사 대상물에 존재하는 결함을 검출하는 종래의 화상 처리 시스템을 도시하는 구성도이다. 도 1에 도시하는 종래의 화상 처리 시스템은 퍼스널 컴퓨터(31)와, 2000 내지 10000화소의 센서를 갖는 복수의 라인 센서 카메라(32-1 내지 32-4)와, 디스플레이(33)에 의해 구성되어 있다.
퍼스널 컴퓨터(31)는 CPU(34)와, 화상 데이터를 기억하기 위한 메모리(35)와, 화상을 처리하기 위한 전용 하드웨어인 복수의 화상 처리 보드(36-1 내지 36-4)와, 표시 제어 장치(37)를 구비하고 있다. CPU(34)와 메모리(35)와 화상 처리 보드(36-1 내지 36-4)와 표시 제어 장치(37)는 버스(예: PCI 버스)(38)에 접속되어있다.
라인 센서 카메라(32-1 내지 32-4)는 각각 화상 처리 보드(36-1 내지 36-4)에 접속되고, 디스플레이(33)는 표시 제어 장치(37)에 접속되어 있다.
또한, 라인 센서 카메라(32-1 내지 32-4)는 검사 대상물인 유리 기판(26)을 소정의 주사 라인을 따라 촬상하기 위해, 유리 기판(26)의 한쪽 면 측에 유리 기판(26)에 대향하여 배치되어 있다.
유리 기판(26)의 다른쪽 면 측에는 유리 기판(26)에 대향하여 조명 장치(예: 형광등)(28)가 배치되어 있다. 그리고, 조명 장치(28)로부터의 광은 유리 기판(26)을 투과하여 라인 센서 카메라(32-1 내지 32-4)의 수광부(센서)에 입사한다.
종래의 화상 처리 시스템은 라인 센서 카메라(32-1 내지 32-4)로부터 보내져 오는 화상 데이터에, 통상 하기의 순서로 처리를 하여 유리 기판(26)의 결함을 검출한다.
1. 라인 센서 카메라(32-1 내지 32-4)로부터 유리 기판(26)의 화상 데이터를 입력한다.
2. 입력한 화상 데이터(그레이 데이터: 8비트 데이터이면 256층조를 갖는다)에 디지털 필터 처리를 하여, 결함을 추출하기 쉬운 화상 데이터로 변환한다.
3. 변환된 화상 데이터를 소정의 슬라이스 레벨로 2치화한다. 3 내지 5치화를 하는 경우도 있다.
4. 2치화 처리에서 추출된 화상 데이터에 라벨링 처리를 하여 유리 기판(26)의 결함을 검출하여, 결함 사이즈·면적·위치 등의 데이터를 구한다.
5. 결함 사이즈·면적을 설정치와 비교하여 결함을 대소로 분류하여, 분류된 결함을 디스플레이(33)에 표시한다.
종래의 화상 처리 시스템은 상술한 처리를 퍼스널 컴퓨터로 실시간(리얼 타임) 처리하고자 하면, 화상 데이터의 데이터량이 너무 많기 때문에, 소프트웨어에 의한 처리만으로는 실시간 처리를 할 수 없다. 그 때문에, 통상은 화상 처리 전용 하드웨어를 구비하며, 그 하드웨어로 처리를 하여, 그 결과를 디스플레이에 표시하고 있다. 그러나, 화상 처리 전용 하드웨어를 구비하면, 화상 처리 시스템은 고가로 되어버린다.
또한, 일반적인 퍼스널 컴퓨터를 사용한 화상 처리 시스템은 PGI 버스 사양이라서, 접속할 수 있는 라인 센서 카메라 수에 제한이 있어, 약 4대가 한도이다.
이 발명은 화상 처리 시스템에 관한 것이며, 특히 유리 기판 등의 검사 대상물 내에 존재하는 결함을 검출하는 화상 처리 시스템에 관한 것이다.
도 1은 종래의 화상 처리 시스템을 도시하는 구성도.
도 2는 이 발명의 화상 처리 시스템의 실시예를 도시하는 구성도.
도 3은 5대의 라인 센서 카메라가 주사 라인을 따라 각각 주사할 때의 상태를 도시하는 도면.
이 발명의 목적은 라인 센서 카메라로부터 보내져 오는 화상 데이터를 화상 처리 전용 하드웨어를 사용하지 않고 실시간 처리를 하여 검사 대상물의 결함을 검출하는 화상 처리 시스템을 제공하는 것이다.
이 발명은 복수의 라인 센서 카메라와, 라인 센서 카메라에 각각 접속된 복수의 보드 컴퓨터와, 복수의 보드 컴퓨터와 LAN에 의해 접속된 호스트 컴퓨터와, 호스트 컴퓨터에 접속된 디스플레이에 의해 구성된다.
라인 센서 카메라는 검사 대상물의 화상을 입력하여 화상 데이터를 출력한다. 보드 컴퓨터는 화상 처리는 행하지 않고 화상 데이터를 입력하기 위해서만의 기능을 갖는 화상 입력 보드를 라인 센서 카메라에 1대 1로 대응하여 구비하며, 화상 입력 보드를 통해 라인 센서 카메라로부터 보내져 오는 화상 데이터의 화상 처리를 하여 검사 대상물의 결함에 관한 정보 데이터를 구하여 분류한다.
호스트 컴퓨터는 보드 컴퓨터로부터 LAN을 통해 전송되어 온, 분류된 결함에 관한 정보 데이터에 소팅 처리를 하여, 소정 크기 이상의 결함이 소정의 개수 이상인지의 여부를 판정하여, 판정 결과를 디스플레이에 표시한다.
또한, 이 발명은 복수의 라인 센서 카메라와, 라인 센서 카메라에 각각 접속된 복수의 보드 컴퓨터와, 복수의 보드 컴퓨터와 LAN에 의해 접속된 호스트 컴퓨터와, 호스트 컴퓨터에 접속된 디스플레이에 의해 구성된다.
라인 센서 카메라는 검사 대상물의 화상을 입력하여 화상 데이터를 출력한다. 보드 컴퓨터는 화상 데이터를 입력함과 동시에 일부의 화상 처리를 하는 기능을 갖는 화상 입력 보드를 라인 센서 카메라에 1대 1로 대응하여 구비하며, 화상 입력 보드를 통해 라인 센서 카메라로부터 보내져 오는 화상 데이터의 화상 처리를 하여 검사 대상물의 결함에 관한 정보 데이터를 구하여 분류한다.
호스트 컴퓨터는 보드 컴퓨터로부터 LAN을 통해 전송되어 온, 분류된 결함에 관한 정보 데이터에 소팅 처리를 하여, 소정 크기 이상의 결함이 소정의 개수 이상인지의 여부를 판정하여, 판정 결과를 디스플레이에 표시한다.
다음으로, 이 발명의 실시예에 대해서 도면을 참조하여 설명한다.
최근의 퍼스널 컴퓨터는 처리 능력 향상과 대용량 메모리 탑재에 의해, 라인 센서 카메라로부터 보내져 오는 화상 데이터 처리를 화상 처리 전용 하드웨어를 사용하지 않고 모두 컴퓨터 소프트웨어로 행할 수 있다.
그러나, 퍼스널 컴퓨터는 처리 능력이 향상되어 오고 있다고는 하여도, 현 상태의 레벨에서는 1대의 컴퓨터 시스템에서 실시간(리얼 타임) 처리를 할 수 있는 것은 10000화소의 센서를 갖는 라인 센서 카메라 1대로부터 보내져 오는 화상 데이터의 데이터량이 한도이다. 그래서, 이 발명은 복수 대의 라인 센서 카메라로부터 보내져 오는 화상 데이터를 처리할 경우에, 1대의 라인 센서 카메라에 1대의 컴퓨터를 할당하여, 복수 대의 컴퓨터로 화상 처리를 하고, 그 결과를 고속 네트워크로 결합시킨 다른 호스트 컴퓨터에 전송하여, 호스트 컴퓨터가 각 컴퓨터로부터 보내져 오는 화상 처리 결과를 받아 전체의 화상 처리 결과를 표시 수단으로 표시한다.
도 2는 이 발명의 화상 처리 시스템의 실시예를 도시하는 구성도이다.
도 2에 도시하는 화상 처리 시스템은 복수의 라인 센서 카메라(12-1 내지12-n)와, 라인 센서 카메라(12-1 내지 12-n)에 각각 접속된 보드 컴퓨터(11-1 내지 11-n)와, 보드 컴퓨터(11-1 내지 11-n)와 LAN(15)에 의해 접속된 호스트 컴퓨터(13)와, 호스트 컴퓨터(13)에 접속된 디스플레이(14)에 의해 구성되어 있다.
보드 컴퓨터(11)는 CPU(16)와, 화상 데이터를 기억하기 위한 메모리(17)와, 화상 처리는 행하지 않고, 화상 데이터를 입력하기 위해서만의 기능을 갖는 화상 입력 보드(18)와, LAN(15)에 접속하기 위한 LAN 보드(19)를 구비하고 있다. CPU(16)와 메모리(17)와 화상 입력 보드(18)와 LAN 보드(19)는 버스(20)에 접속되어 있다. 또한, 화상 입력 보드(18)는 라인 센서 카메라(12-1 내지 12-n)에 1대 1로 대응한다.
호스트 컴퓨터(13)는 CPU(21)와, 화상 데이터를 기억하기 위한 메모리(22)와, 표시 제어 장치(23)와, LAN 보드(24)를 구비하고 있다. CPU(21)와 메모리(22)와 표시 제어 장치(23)와 LAN 보드(24)는 버스(25)에 접속되어 있다.
라인 센서 카메라(12-1 내지 12-n)는 각각 보드 컴퓨터(11-1 내지 11-n) 내의 화상 입력 보드(18)에 접속되고, 디스플레이(14)는 호스트 컴퓨터(13) 내의 표시 제어 장치(23)에 접속되어 있다.
또한, 라인 센서 카메라(12-1 내지 12-n)는 유리 기판(26)을 소정의 주사 라인을 따라 촬상하기 위해, 유리 기판(26)의 한쪽 면 측에 유리 기판(26)에 대향하여 배치되어 있다. 도 3은 5대의 라인 센서 카메라가 주사 라인을 따라 각각 주사할 때의 상태를 도시하는 도면이다. 화살표는 유리 기판(26)의 반송 방향이다. 라인 센서 카메라(12-1)는 주사 라인(27)을 따라 범위(L1)의 부분을 주사하고, 라인 센서 카메라(12-2)는 주사 라인(27)을 따라 범위(L2)의 부분을 주사하며, 이하 동일하게, 라인 센서 카메라(12-3 내지 12-5)는 각각 주사 라인(27)을 따라 범위(L3 내지 L5)의 부분을 주사한다.
또한, 유리 기판(26)의 다른쪽 면 측에는 유리 기판(26)에 대향하여 조명 장치(예: 형광등)(28)가 배치되어 있다. 그리고, 조명 장치(28)로부터의 광은 유리 기판(26)을 투과하여 라인 센서 카메라(12-1 내지 12-n)의 수광부(센서)에 입사한다.
다음으로, 도 2에 도시하는 실시예의 동작을 설명한다.
보드 컴퓨터(11)는 2000화소 내지 10000화소의 센서를 갖는 라인 센서 카메라(12)로부터, 화상 입력 보드(18)를 통해 유리 기판(26)의 화상 데이터(그레이 데이터: 8비트 데이터이면 256층조를 갖는다)를 입력하여, 메모리(17)에 격납하고, 격납된 화상 데이터를 압축한다.
다음으로, 보드 컴퓨터(11)는 압축된 화상 데이터를 소정의 슬라이스 레벨로 2치화하고(3 내지 5치화를 하는 경우도 있다), 2치화 처리에서 추출된 화상 데이터에 라벨 붙이기(라벨링 처리)를 하여 결함을 검출하여, 유리 기판(26)의 결함 위치, 사이즈(x, y), 면적, 최대치, 최소치, 부피 등의 결함에 관한 정보 데이터를 구한다.
더욱이, 보드 컴퓨터(11)는 결함의 사이즈, 면적 등을 설정치와 비교하여 결함을 대소로 분류하여, 분류된 결함에 관한 정보 데이터를 호스트 컴퓨터(13)의 메모리(22)에 전송한다.
호스트 컴퓨터(13)는 각 보드 컴퓨터(11)로부터 전송되어 온 유리 기판(26)의 결함에 관한 정보 데이터에 소팅 등의 처리를 하여 큰 물건 순으로 나열하여 디스플레이(14)에 표시한다. 그리고, 호스트 컴퓨터(13)는 소정 크기 이상의 결함이 소정의 개수 이상인 경우에는 유리 기판(24)을 불량품이라 판정한다.
또한, 보드 컴퓨터(11)가 행하고 있는 검사 대상물의 결함에 관한 정보를 구하여, 결함을 분류하는 처리의 일부를 호스트 컴퓨터(13)에서 행하도록 하여도 된다. 예를 들면, 결함의 사이즈, 면적 등을 설정치와 비교하여 대소로 분류하는 처리는 호스트 컴퓨터(13)에서 행하도록 하여도 된다.
또한, 이 발명은 보드 컴퓨터(11)로부터 호스트 컴퓨터(13)에 결함 위치 주변의 화상 데이터를 전송하여 디스플레이(14)에 결함 위치 주변의 화상을 표시시키도록 하여도 된다.
또한, 상술한 실시예에서는 화상 입력 보드(18)는 화상 처리를 하지 않고, 화상 데이터를 입력하기 위해서만의 기능을 갖는 것으로 하였지만, 이 발명은 화상 입력 보드(18)에 화상 데이터를 입력함과 동시에 섀도잉 보정 등의 일부의 화상 처리를 하게 하여, 비용이 높아지지 않는 범위에서 화상 처리의 일부를 분담시키도록 하여도 된다.
더욱이, 현 상태에서는 1대의 보드 컴퓨터에서 실시간 처리를 할 수 있는 화상 데이터의 데이터량은 약 10000화소의 센서를 갖는 라인 센서 카메라 1대로부터 보내져 오는 데이터량이 한도이기 때문에, 상술한 실시예에서는 라인 센서 카메라 1대에 보드 컴퓨터 1대를 할당하고 있지만, 이 발명은 컴퓨터의 처리 속도·탑재메모리가 더욱 향상하게 되면, 복수 대의 라인 센서 카메라로부터 보내져 오는 화상 데이터를 보드 컴퓨터 1대로 처리할 수 있도록 하여도 된다.
또한, 상술한 실시예에서는 라인 센서 카메라로부터 보내져 오는 화상 데이터에 압축을 한 후에 2치화 처리 및 라벨링 처리를 하여 결함을 검출하고 있지만, 이 발명은 컴퓨터의 처리 속도·탑재 메모리가 더욱 향상되어 오면, 화상 데이터를 압축하지 않고 2치화 처리 및 라벨링 처리를 하여 결함을 검출하도록 하여도 된다.
또한, 상술한 실시예에서는 투과광을 사용하여 검사 대상물의 결함을 검출하는 경우에 대해서 설명하였지만, 이 발명은 반사광을 사용하여 검사 대상물의 결함을 검출하는 경우에도 적용할 수 있는 것이다. 또한, 유리 기판의 결함을 검출하는 경우에 대해서 설명하였지만, 이 발명은 유리 기판에 한하는 것이 아니라, 무지의 판 형상물, 예를 들면 플라스틱판, 철판, 종이, 필름의 결함을 검출하는 경우에도 적용할 수 있는 것이다.
또한, 상술한 실시예에서는 보드 컴퓨터를 사용하고 있지만, 이 발명은 보드 컴퓨터 대신 통상의 퍼스널 컴퓨터를 사용하여도 된다.
이상 설명한 바와 같이, 이 발명은 화상 처리 전용의 고가인 화상 처리 보드를 사용하지 않고, 화상 데이터를 입력하기 위해서만의 염가인 화상 입력 보드를 사용하여 검사 대상물의 결함을 검출할 수 있기 때문에, 염가인 시스템을 구축할 수 있다.
또한, 이 발명은 복수 대의 컴퓨터에 처리를 분산시켜, 이들 컴퓨터를 고속 네트워크로 결합시킴으로써, 염가인 시스템이면서 대량의 화상 데이터의 실시간 처리를 가능하게 한다.

Claims (10)

  1. 검사 대상물의 화상을 입력하여 화상 데이터를 출력하는 복수의 화상 입력 수단과,
    화상 처리는 행하지 않고 화상 데이터를 입력하기 위해서만의 기능을 갖는 화상 입력 보드를 상기 화상 입력 수단에 1대 1로 대응하여 구비하며, 상기 화상 입력 보드를 통해 상기 화상 입력 수단으로부터 보내져 오는 화상 데이터의 화상 처리를 하여 상기 검사 대상물의 결함에 관한 정보 데이터를 구하여 분류하는 복수의 컴퓨터와,
    상기 컴퓨터와 네트워크로 접속되어, 상기 컴퓨터로부터 전송되어 온, 분류된 결함에 관한 정보 데이터를 처리하는 호스트 컴퓨터와,
    상기 호스트 컴퓨터에 의한 처리 결과를 표시하는 표시 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 화상 처리 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 호스트 컴퓨터는 상기 컴퓨터로부터 전송되어 온, 분류된 결함에 관한 정보 데이터에 소팅 처리를 하여, 소정 크기 이상의 결함이 소정의 개수 이상인지의 여부를 판정하는 것을 특징으로 하는 화상 처리 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 컴퓨터에서 행하고 있는 상기 검사 대상물의 결함에 관한 정보 데이터를 구하여 분류하는 처리의 일부를 상기 호스트 컴퓨터로 행하는 것을 특징으로 하는 화상 처리 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 컴퓨터는 상기 화상 입력 보드를 복수 개 구비하며, 복수의 상기 화상 입력 수단으로부터 보내져 오는 화상 데이터의 화상 처리를 하여 상기 검사 대상물의 결함에 관한 정보 데이터를 구하는 것을 특징으로 하는 화상 처리 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 화상 처리는 소정의 슬라이스 레벨로 2치화하고, 2치화된 후에 라벨 붙이기를 하는 처리인 것을 특징으로 하는 화상 처리 시스템.
  6. 검사 대상물의 화상을 입력하여 화상 데이터를 출력하는 복수의 화상 입력 수단과,
    화상 데이터를 입력함과 함께 일부의 화상 처리를 하는 기능을 갖는 화상 입력 보드를 상기 화상 입력 수단에 1대 1로 대응하여 구비하며, 상기 화상 입력 보드를 통해 상기 화상 입력 수단으로부터 보내져 오는 화상 데이터의 화상 처리를 하여 상기 검사 대상물의 결함에 관한 정보 데이터를 구하여 분류하는 복수의 컴퓨터와,
    상기 컴퓨터와 네트워크로 접속되어, 상기 컴퓨터로부터 전송되어 온, 분류된 결함에 관한 정보 데이터를 처리하는 호스트 컴퓨터와,
    상기 호스트 컴퓨터에 의한 처리 결과를 표시하는 표시 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 화상 처리 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 호스트 컴퓨터는 상기 컴퓨터로부터 전송되어 온, 분류된 결함에 관한 정보 데이터에 소팅 처리를 하여, 소정 크기 이상의 결함이 소정의 개수 이상인지의 여부를 판정하는 것을 특징으로 하는 화상 처리 시스템.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 컴퓨터에서 행하고 있는 상기 검사 대상물의 결함에 관한 정보 데이터를 구하여 분류하는 처리의 일부를 상기 호스트 컴퓨터에서 행하는 것을 특징으로 하는 화상 처리 시스템.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 컴퓨터는 상기 화상 입력 보드를 복수 개 구비하며, 복수의 상기 화상 입력 수단으로부터 보내져 오는 화상 데이터의 화상 처리를 하여 상기 검사 대상물의 결함에 관한 정보 데이터를 구하는 것을 특징으로 하는 화상 처리 시스템.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 화상 처리는 소정의 슬라이스 레벨로 2치화하고, 2치화된 후에 라벨 붙이기를 하는 처리인 것을 특징으로 하는 화상 처리 시스템.
KR10-2003-7000061A 2000-07-04 2001-06-05 화상 처리 시스템 KR20030013520A (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000201906A JP2002024802A (ja) 2000-07-04 2000-07-04 画像処理システム
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PCT/JP2001/004722 WO2002003329A1 (fr) 2000-07-04 2001-06-05 Systeme de traitement d'images

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TW (1) TWI268452B (ko)
WO (1) WO2002003329A1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100903184B1 (ko) * 2008-06-17 2009-06-17 (주)이즈미디어 셀 방식으로 구성된 다중 카메라 장치

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050058350A1 (en) * 2003-09-15 2005-03-17 Lockheed Martin Corporation System and method for object identification
KR100525312B1 (ko) * 2003-11-28 2005-11-23 삼성코닝정밀유리 주식회사 유리기판의 파티클 측정방법
CN101581677B (zh) * 2008-05-16 2012-10-03 深超光电（深圳）有限公司 点灯测试机分类待测面板的等级之方法
JP5189570B2 (ja) * 2009-08-19 2013-04-24 株式会社キーエンス 画像処理装置及び画像処理方法
CA2866117C (en) 2012-03-02 2019-01-15 Nathan OOSTENDORP Machine-vision system and method for remote quality inspection of a product
CN102980893A (zh) * 2012-11-13 2013-03-20 上海交通大学 钢锭表面缺陷分类检测系统及方法
CN108508023B (zh) * 2018-03-30 2021-06-04 苏州阚创检测有限公司 一种铁路接触网中接触端部顶紧螺栓的缺陷检测系统
JP7270361B2 (ja) * 2018-10-12 2023-05-10 Ckd株式会社 検査装置遠隔対応システム

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6051980A (ja) * 1983-08-31 1985-03-23 Toshiba Corp オンラインパタ−ン認識装置
JPH0713838B2 (ja) * 1984-11-16 1995-02-15 三菱電機株式会社 物品の検査方法
JPH0358289A (ja) * 1989-07-27 1991-03-13 Mitsubishi Electric Corp 画像処理装置
JPH03188358A (ja) * 1989-12-19 1991-08-16 Hajime Sangyo Kk 物体の表面検査装置
US5440648A (en) * 1991-11-19 1995-08-08 Dalsa, Inc. High speed defect detection apparatus having defect detection circuits mounted in the camera housing
JPH06341960A (ja) * 1993-05-31 1994-12-13 Nippon Avionics Co Ltd パタ−ンの画像処理方法およびその装置
CA2142224A1 (en) * 1994-02-28 1995-08-29 Ronald S. Cok Real-time demand-driven imaging architecture
JPH0829357A (ja) * 1994-07-13 1996-02-02 Meidensha Corp 自動化ライン外観検査装置
JPH0944634A (ja) * 1995-07-28 1997-02-14 Canon Inc 映像入力装置
JPH09138200A (ja) * 1995-11-14 1997-05-27 Nkk Corp 帯状体の表面欠陥判定方法
JPH10293848A (ja) * 1997-04-21 1998-11-04 Fuji Electric Co Ltd 画像データの並列演算処理装置
US6020957A (en) * 1998-04-30 2000-02-01 Kla-Tencor Corporation System and method for inspecting semiconductor wafers
US6778695B1 (en) * 1999-12-23 2004-08-17 Franklin M. Schellenberg Design-based reticle defect prioritization
US6831998B1 (en) * 2000-06-22 2004-12-14 Hitachi, Ltd. Inspection system for circuit patterns and a method thereof

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100903184B1 (ko) * 2008-06-17 2009-06-17 (주)이즈미디어 셀 방식으로 구성된 다중 카메라 장치

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