JPH06235625A - 傷検査装置 - Google Patents

傷検査装置

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Publication number
JPH06235625A
JPH06235625A JP2121793A JP2121793A JPH06235625A JP H06235625 A JPH06235625 A JP H06235625A JP 2121793 A JP2121793 A JP 2121793A JP 2121793 A JP2121793 A JP 2121793A JP H06235625 A JPH06235625 A JP H06235625A
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JP
Japan
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binarized
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area
flaw
scratch
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Pending
Application number
JP2121793A
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English (en)
Inventor
Ryuichi Inoue
竜一 井上
Akira Kobayashi
彰 小林
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 面積が小さい傷を正確に判断する傷検査装置
を提供することを課題としている。 【構成】 撮像手段5と、A/D変換手段9と、濃淡画
像データの記憶手段11と、2値化処理手段12と、ラ
ベリング処理手段13と、ラベリングされた2値化連続
画像領域毎に、記憶手段11に記憶された濃淡画像デー
タと2値化処理手段12による2値化画像データとに基
づいて、複数の特徴量を求める複数特徴量算出手段14
と、前記複数特徴量について予想される多数の組合せの
夫々を入力とした場合の傷判断結果出力を予め学習し、
前記各2値化連続画像領域毎に、複数特徴量算出手段1
4が求めた複数の特徴量の各組合せを入力として、傷判
断結果を出力するニューラルネットワーク手段15とを
有することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、画像処理を用いて、精
密部品の傷の検査を行う傷検査装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】近年、シリンダ等の精密部品の外観検査
を自動的に実施する傷検査装置が広く使用されている。
【0003】この傷検査装置の従来例を図5、図6に基
づいて説明する。
【0004】図5において、位置決めテーブル1上に載
置された検査対象物2の上側方に照明手段3が設置さ
れ、検査対象物2を上側から撮像するテレビカメラ5が
テレビカメラ可動支持部4に支持されている。操作盤及
び主コントローラからの指令を判定制御手段6を介して
受け、テレビカメラ5を制御するテレビカメラ制御手段
7が、テレビカメラ5に接続されている。窓枠制御手段
8は、検査対象物2に応じて処理範囲を任意に設定する
窓枠を出力する。A/D変換手段9は、テレビカメラ5
から入力された映像信号をA/D変換して濃淡画像デー
タとする。点線で囲まれた部分の傷判断部10は、任意
の2値化レベルを閾値として、濃淡画像データを2値化
画像データに変換する2値化処理手段30と、前記2値
化画像データにおける2値化連続画像領域毎に番号を付
けるラベリング処理手段31と、ラベリング処理手段3
1により番号付けされた前記2値化連続画像領域毎に面
積を算出する面積算出手段32と、各2値化連続画像領
域毎に算出された面積を閾値処理して傷検出を行い、閾
値以上の面積を有する2値化連続画像領域を傷と判断
し、閾値未満の面積を有する2値化連続画像領域は傷で
はないと判断し、その結果を主コントローラに送出する
傷検出手段33とを有する。
【0005】図6は、従来例の動作を示すフローチャー
トである。
【0006】ステップ#11において、傷判断部10の
2値化処理手段30が、窓枠制御手段8が出力した窓枠
に基づいて、A/D変換手段9からの濃淡画像データを
2値化処理して、2値化画像データに変換し、ステップ
#12に進む。
【0007】ステップ#12において、傷判断部10の
ラベリング処理手段31が、前記2値化画像データにお
ける2値化連続画像領域毎に番号を付け、ステップ#1
3に進む。
【0008】ステップ#13において、傷判断部10の
面積算出手段32が、番号付けされた前記2値化連続画
像領域毎に面積を算出し、ステップ#14に進む。
【0009】ステップ#14において、傷検出手段33
が、ステップ#13で算出された2値化連続画像領域の
面積を閾値と比較し、その面積が閾値以上であれば傷と
判断して、ステップ#15に進み、その面積が閾値未満
であれば傷ではないと判断して終了する。
【0010】ステップ#15において、傷検出手段33
が傷との判断結果を出力する。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の従来例
では、面積を判断基準とし、閾値以上の面積があるもの
を傷と判断しているので、細長く鋭くて深い傷のよう
に、実害が大きいが面積が小さい傷を見落とすという問
題点を有する。
【0012】本発明は、上記の問題点を解決し、面積が
小さい傷を正確に判断する傷検査装置を提供することを
課題としている。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明の傷検査装置は、
上記の課題を解決するために、撮像手段により撮像され
た被検査物の映像信号をA/D変換して濃淡画像データ
とするA/D変換手段と、濃淡画像データを記憶する記
憶手段と、前記濃淡画像データを2値化画像データに変
換する2値化処理手段と、前記2値化画像データを2値
化連続画像領域毎に番号付けをするラベリング処理手段
と、前記2値化連続画像領域毎に、前記記憶手段に記憶
された濃淡画像データと前記2値化処理手段による2値
化画像データとに基づいて、複数の特徴量を求める複数
特徴量算出手段と、前記複数特徴量について予想される
多数の組合せの夫々を入力とした場合の傷判断結果出力
を予め学習し、前記各2値化連続画像領域毎に、前記複
数特徴量算出手段が求めた複数の特徴量の各組合せを入
力として、傷判断結果を出力するニューラルネットワー
ク手段とを有することを特徴とする。
【0014】又、本発明の傷検査装置は、複数特徴量算
出手段は、ラベリング手段により番号付けされた2値化
連続画像領域毎に、XY座標系の2次モーメントを算出
するXY2次モーメント算出回路と、XY座標系を、ラ
ベリング手段により番号付けされた2値化連続画像領域
の共分散が0となるUV座標系に変換する座標変換回路
と、前記ラベリング手段により番号付けされた2値化連
続画像領域毎に、UV座標系の2次モーメントを算出
し、前記2値化連続画像領域毎の幅、長さ、方向性を求
めるUV2次モーメント算出回路とを有することが好適
である。
【0015】
【作用】本発明で使用するニューラルネットワークと
は、神経作用に類似した作用を有するネットワークで、
人間の運動神経のように、学習によって、要因間に関連
性がある複数の要因に対して、それらの要因の多数の組
合せに正確に対応できるもので、本発明におけるニュー
ラルネットワークの作用は次のとおりである。
【0016】先ず、従来例のように面積のみを特徴量と
すると、細長く鋭くて深い傷の場合、その画像の面積が
小さいので、傷として検出できない場合がある。又、同
一要因で飛び飛びに付いた傷は、一つ一つの傷が小さい
ので、傷として検出できない場合がある。
【0017】しかし、傷の画像の幅、長さ、方向性、平
均濃度等には、ノイズや影等とは異なる傷独特の傾向が
あるので、傷独特の傾向を有する特徴量を組み合わせる
と、より正確な傷の判断が可能になる。即ち、傷の画像
は、一般に、平均濃度が高い、幅が狭く長さが長い、同
一要因で付いた飛び飛びの傷は方向性が揃っている等の
傾向があり、且つ、これに面積を加えた複数の特徴量に
おいて、傷の要因によって、特有の相関性がある。従っ
て、部品の加工工程において、発生する可能性がある各
種の傷要因を分類し、各要因毎に、傷の複数の特徴量の
傾向を把握すれば、各要因について、傷の画像の面積、
幅、長さ、方向性、平均濃度等の特徴量の個々の傾向
と、特徴量間の関連性とを求めることができる。
【0018】本発明の傷検査装置は、濃淡画像データと
2値化画像データとから、2値化連続画像領域毎の複数
の特徴量を求め、各2値化連続画像領域の複数の特徴量
を、前記複数の特徴量について予想される多数の組合せ
の夫々を入力とした場合の傷判断結果出力を、上記の傾
向把握に基づいて予め学習したニューラルネットワーク
に入力するので、幅、長さ、方向性、平均濃度の条件か
ら、小さな面積の傷でも、正確に傷であると判断でき
る。
【0019】
【実施例】本発明の傷検査装置の一実施例を図1〜図3
に基づいて説明する。
【0020】図1において、位置決めテーブル1上に載
置された検査対象物2の上側方に照明手段3が設置さ
れ、検査対象物2を上側から撮像するテレビカメラ5が
テレビカメラ可動支持部4に支持されている。操作盤及
び主コントローラからの指令を判定制御手段6を介して
受け、テレビカメラ5を制御するテレビカメラ制御手段
7が、テレビカメラ5に接続されている。窓枠制御手段
8は、検査対象物2に応じて処理範囲を任意に設定する
窓枠を出力する。A/D変換手段9は、テレビカメラ5
から入力された映像信号をA/D変換して濃淡画像デー
タとする。点線で囲まれた部分の傷判断部10は、濃淡
画像データを記憶する記憶手段11と、任意の2値化レ
ベルを閾値として、濃淡画像データを2値化画像データ
に変換する2値化処理手段12と、前記2値化画像デー
タにおける2値化連続画像領域毎に番号を付けるラベリ
ング処理手段13と、前記2値化連続画像領域毎に、前
記記憶手段11に記憶された濃淡画像データと前記2値
化処理手段12による2値化画像データとに基づいて、
複数の特徴量を求める複数特徴量算出手段14と、前記
複数特徴量について予想される多数の組合せの夫々を入
力とした場合の傷判断結果出力を予め学習し、前記各2
値化連続画像領域毎に、前記複数特徴量算出手段14が
求めた複数の特徴量の各組合せを入力として、傷判断結
果を出力するニューラルネットワーク手段15とを有す
る。
【0021】次に、ニューラルネットワーク手段15を
図2に基づいて説明する。
【0022】図2は、多層パーセプトロン型構造17を
したニューラルネットワーク手段15の構成を示す。ニ
ューラルネットワークとは、神経作用に類似した作用を
有するネットワークで、人間の神経が訓練によって複雑
な要因に正確に対応できるように、学習によって、要因
間に関連性がある複数の要因に対して、それらの要因の
多数の組合せに正確に対応できるものである。本実施例
では、複数の特徴量を、傷の画像の面積、幅、長さ、方
向性、平均濃度の5個としているので、5入力1出力型
である。このニューラルネットワーク手段15には、バ
ックプロパゲーション学習によって、5個の特徴量の各
種の組合せサンプルに対する一つの出力を学習させる。
この学習は下記のように行われる。
【0023】先ず、一番下のパーセプトロン型構造と下
から2つ目のパーセプトロン型構造間の学習において、
傷の画像の5個の特徴量、画像の面積、幅、長さ、方向
性、平均濃度について、これらの組合せの多数のサンプ
ルを用意し、各サンプルの5個の特徴量間の関連性をテ
ィーチングする。例えば、図2のパーセプトロン型構造
への複数特徴量の入力16の左から、面積、幅、長さ、
方向性、平均濃度を入力し、面積についての学習は、下
から2つ目のパーセプトロン型構造の面積の位置に、一
番下のパーセプトロン型構造に入力した面積のデータを
伝えると共に、幅、長さ、方向性、平均濃度のデータの
大きさによる面積への影響分のデータをティーチング
し、一番下のパーセプトロン型構造の幅、長さ、方向
性、平均濃度の位置から、前記のティーチングした影響
分のデータを伝えるようにティーチングする。幅、長
さ、方向性、平均濃度についても、面積の場合と同様の
ことをティーチングする。この結果、下から2つ目のパ
ーセプトロン型構造には、前記の5個の特徴量、画像の
面積、幅、長さ、方向性、平均濃度について、相互の関
連性を考慮して修正したデータが入力されている。
【0024】次に、下から2つ目のパーセプトロン型構
造と一番上のパーセプトロン型構造間の学習において、
前記の場合と同様のことをティーチングする。この結
果、一番上のパーセプトロン型構造には、前記の5個の
特徴量、画像の面積、幅、長さ、方向性、平均濃度につ
いて、相互の関連性を2度考慮して修正したデータが入
力されている。
【0025】最後に、一番上のパーセプトロン型構造に
入力されている前記の5個の特徴量、画像の面積、幅、
長さ、方向性、平均濃度のデータによって、傷であると
の判断「1」を出力するようにティーチングする。
【0026】又、傷では無い画像の5個の特徴量、画像
の面積、幅、長さ、方向性、平均濃度について、これら
の組合せの多数のサンプルを用意し、各サンプルの5個
の特徴量間の関連性を、上記の傷の場合と同様にしてテ
ィーチングし、一番上のパーセプトロン型構造に入力さ
れている前記の5個の特徴量、画像の面積、幅、長さ、
方向性、平均濃度のデータによって、傷では無いとの判
断「0」を出力するようにティーチングする。
【0027】実際の検査において、画像の5個の特徴
量、画像の面積、幅、長さ、方向性、平均濃度が、ニュ
ーラルネットワーク手段15に入力されると、これらの
入力が、先にティーチングした傷のサンプルの入力と同
一かこれに近い場合には、出力は、「1」又は、「1」
に近い値になり、先にティーチングした傷では無いサン
プルの入力と同一かこれに近い場合には、出力は、
「0」又は、「0」に近い値になる。即ち、出力が
「1」又は、「1」に近い値であれば、傷と判断するこ
とができ、出力が「0」又は、「0」に近い値であれ
ば、傷では無いと判断することができ、出力が「0.
5」に近い場合には、どちらとも判断できないというこ
とになる。従って、1≧閾値>0.5間の閾値を設ける
と、ティーチングしたニューラルネットワーク手段15
によって、傷の判断ができる。
【0028】次に、本実施例の動作を図3のフローチャ
ートに基づいて説明する。
【0029】ステップ#1において、テレビカメラ5か
らの映像信号がA/D変換手段9によって濃淡画像デー
タにA/D変換され、2値化処理手段11が、前記濃淡
画像データを2値化して2値化画像データにして、ステ
ップ#2に進む。この際、前記濃淡画像データは記憶手
段11に記憶されている。
【0030】ステップ#2において、ラベリング処理手
段13が、前記2値化画像データを2値化連続画像領域
毎に番号付けして、ステップ#3に進む。
【0031】ステップ#3において、番号付けされた2
値化連続画像領域毎に、複数特徴量算出手段14が、前
記2値化画像データから面積を計算し、記憶手段11の
前記濃淡画像データから平均濃度を計算し、複数特徴量
算出手段14にあるXY2次モーメント算出回路とUV
2次モーメント算出回路とが、前記2値化画像データか
ら前記2値化連続画像領域毎に画像の幅、長さ、方向性
を計算し、ステップ#4に進む。これらの計算は次のよ
うに行う。
【0032】面積は、ラベリング処理されて番号が付け
られた前記2値化連続画像領域毎の画素数で、数式で表
すと、数式(1)となる。
【0033】
【数1】
【0034】平均濃度は、ラベリング処理されて番号が
付けられた前記2値化連続画像領域毎の濃度の総和を画
素数で割ったもので、数式で表すと、数式(2)とな
る。
【0035】
【数2】
【0036】但し、Sは面積、Dは平均濃度、pは画像
濃度を表す。
【0037】幅、長さ、方向性の計算の説明は、図4に
基づいて行う。方向性はラベリング処理されて番号が付
けられた2値化連続画像領域の傾き角度を表し、幅及び
長さはラベリング処理されて番号が付けられた2値化連
続画像領域の傾き角度方向の直角座標軸を考えたときの
夫々の軸方向における領域の画素幅を表す。これらの
幅、長さ、方向性の計算は、図4に示すように、XY座
標軸系では、角度θの2値化連続画像領域19の角度が
0になるようなUV座標軸系に、XY座標軸系を変換す
ることによって行う。
【0038】XY座標系での2次モーメントVx、V
y、Cxyは夫々、
【0039】
【数3】
【0040】
【数4】
【0041】
【数5】
【0042】となる。これをUV座標系に変換する式
は、
【0043】
【数6】
【0044】
【数7】
【0045】であり、UV座標系での2次モーメントV
u、Vv、Cuvは夫々、
【0046】
【数8】
【0047】
【数9】
【0048】
【数10】
【0049】となる。ここで、図4のように、XY座標
系からUV座標系への変換条件は、UV座標系の共分散
が0になるときである。又、Vu、Vv、Cuvは、数
式(3)、数式(4)、数式(5)、数式(6)、数式
(7)を用いて表すと、
【0050】
【数11】
【0051】
【数12】
【0052】
【数13】
【0053】となる。ここで、条件式、
【0054】
【数14】
【0055】を代入して解くと、角度θは、
【0056】
【数15】
【0057】と求められる。このようにして求められた
角度θを方向性の特徴量とする。そして、UV座標系に
おいて、ラベリング処理されて番号が付けられた2値化
連続画像領域のU、V夫々の座標軸方向の画素幅を、
幅、長さの特徴量とする。但し、画素幅の大きい方を長
さ、小さい方を幅とする。
【0058】ステップ#4において、前記のようにティ
ーチングされたニューラルネットワーク手段15に、ス
テップ#3において求められた、数式(1)の面積、数
式(2)の平均濃度、数式(15)の方向性、2値化連
続画像領域のUV座標系の座標軸方向の画素幅である幅
と長さの5個の特徴量が入力され、ティーチングに基づ
いて、出力が得られ、ステップ#5に進む。
【0059】ステップ#5、#6において、ニューラル
ネットワーク手段15がの出力に基づいて、傷か否かの
判断を行うが、出力が1に近い場合は傷であり、出力が
0に近い場合は傷では無く、出力が0,5に近い場合は
傷か傷でないか判断できないということなので、0.5
を越える閾値を設定し、閾値以上の場合は、傷と判断す
る。本発明の傷検査装置は、上記の実施例に限らず種々
の態様が可能である。
【0060】例えば、特徴量は実施例の5個に限らず、
何個でも良い。出力も一つに限らず複数にすることもで
きる。
【0061】
【発明の効果】本発明の傷検査装置は、2値化連続画像
領域について、2値化画像データと濃淡画像データとか
ら複数の特徴量を求め、これらの複数の特徴量を、ニュ
ーラルネットワーク手段を使用して処理するので、従来
技術では傷と判断できない小さな傷についても、正確に
傷として判断できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の傷検査装置の一実施例の構成を示すブ
ロック図である。
【図2】ニューラルネットワーク手段の構成と動作を示
す模式図である。
【図3】図1の動作を示すフローチャートである。
【図4】画像の幅、長さ、方向性の特徴量を求めるため
の座標系の変換を示す説明図である。
【図5】従来例の傷検査装置の構成を示すブロック図で
ある。
【図6】図5の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】 5 テレビカメラ 9 A/D変換手段 11 記憶手段 12 2値化処理手段 13 ラベリング処理手段 14 複数特徴量算出手段 15 ニューラルネットワーク手段 16 複数特徴量の入力 17 多層パーセプトロン型構造 18 出力 19 2値化連続画像領域

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 撮像手段により撮像された被検査物の映
    像信号をA/D変換して濃淡画像データとするA/D変
    換手段と、濃淡画像データを記憶する記憶手段と、前記
    濃淡画像データを2値化画像データに変換する2値化処
    理手段と、前記2値化画像データを2値化連続画像領域
    毎に番号付けをするラベリング処理手段と、前記2値化
    連続画像領域毎に、前記記憶手段に記憶された濃淡画像
    データと前記2値化処理手段による2値化画像データと
    に基づいて、複数の特徴量を求める複数特徴量算出手段
    と、前記複数特徴量について予想される多数の組合せの
    夫々を入力とした場合の傷判断結果出力を予め学習し、
    前記各2値化連続画像領域毎に、前記複数特徴量算出手
    段が求めた複数の特徴量の各組合せを入力として、傷判
    断結果を出力するニューラルネットワーク手段とを有す
    ることを特徴とする傷検査装置。
  2. 【請求項2】 複数特徴量算出手段は、ラベリング手段
    により番号付けされた2値化連続画像領域毎に、XY座
    標系の2次モーメントを算出するXY2次モーメント算
    出回路と、XY座標系を、ラベリング手段により番号付
    けされた2値化連続画像領域の共分散が0となるUV座
    標系に変換する座標変換回路と、前記ラベリング手段に
    より番号付けされた2値化連続画像領域毎に、UV座標
    系の2次モーメントを算出し、前記2値化連続画像領域
    毎の幅、長さ、方向性を求めるUV2次モーメント算出
    回路とを有する請求項1に記載の傷検査装置。
JP2121793A 1993-02-09 1993-02-09 傷検査装置 Pending JPH06235625A (ja)

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JP (1) JPH06235625A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09311020A (ja) * 1996-05-23 1997-12-02 Nec Corp 突起部検査装置
US6556291B2 (en) 2000-05-31 2003-04-29 Nidek Co., Ltd. Defect inspection method and defect inspection apparatus
JP2010060528A (ja) * 2008-09-08 2010-03-18 Keyence Corp 画像計測装置及びコンピュータプログラム

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