CN114813761B - 一种基于双光频闪的薄膜针孔和亮斑缺陷识别系统及方法 - Google Patents

一种基于双光频闪的薄膜针孔和亮斑缺陷识别系统及方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种基于双光频闪的薄膜针孔和亮斑缺陷识别系统及方法,系统包括第一透射光源、第二透射光源、光源控制器、图像采集装置、图像处理装置以及光源标志物;第一透射光源和第二透射光源用于为待测薄膜打光,光源控制器用于控制第一透射光源和第二透射光源按照预设频率交替发射光束,图像采集装置用于在第一透射光源和第二透射光源交替发射光束过程中采集待测薄膜图像并发送至图像处理装置,图像处理装置用于对待测薄膜图像进行图像数据提取、重组以及运算获得相交子图,根据相交子图进行针孔和亮斑的识别;光源标志物用于区分具体为某束光源成像;该系统能够区分薄膜针孔和亮斑缺陷类型,识别的精度和效率较高。

Description

一种基于双光频闪的薄膜针孔和亮斑缺陷识别系统及方法
技术领域
本发明涉及图像识别技术领域,尤其涉及一种基于双光频闪的薄膜针孔和亮斑缺陷识别系统及方法。
背景技术
塑料薄膜生产制程中,针孔检测至关重要。塑料薄膜广泛应用于食品、医药等领域,若将带有针孔缺陷的薄膜用于包装产品,容易导致被包装产品受到外界污染而变质,存在安全隐患。
目前,针对薄膜类片材的针孔检测方法主要采用基于透光法的机器视觉检测,即通过将光源置于被检测区域下方,然后将工业相机置于被检测区域上方采集图像,最后根据被测的瑕疵区域与正常区域呈现的灰度变化来判断是否存在针孔。但这个方法中存在一个最为关键的问题是在单一透射光源下,由于针孔和亮斑缺陷类型成像一致无法区分,从而导致误判率高和稳定性差。
例如,专利文献CN108414531A公开了一种基于机器视觉的柔性薄膜缺陷检测装置及其检测方法,由在线检测端和PC控制端组成,在线检测端包括铝合金支架、底座、主动滚轮、从动滚轮、同动带、线性光源、高速工业CCD相机,底座内部装有传动系统以及控制线性光源亮度的控制系统,铝合金支架固定安装在底座上,线性光源安装在底座上方。定义了图像内像素之间距离、集合之间距离和集合之间连通性,并给出了相应的计算公式,设计了逐行处理线阵相机输出数据的柔性薄膜缺陷快速识别方法。
专利文献CN210876345U公开了一种片材缺陷检测设备,包括依次设置的片材送样台、片材缓冲台和片材输送台,所述片材送样台、片材缓冲台和片材输送台上均设置有传送带,所述片材送样台上设置有片材压片器,所述片材送样台和片材缓冲台之间设置有检测架、所述检测架上设置有工业相机,所述片材缓冲台外侧设置有条形光源,所述条形光源位于工业相机正下方,所述片材缓冲台和片材输送台之间还设置有分料装置,所述分料装置与片材输送台连接,所述片材输送台上设置有控制器,所述控制器控制分料装置。工业相机从上方获取待测片材的图像,并通过图像分析软件对缺陷进行分析判断。
上述检测方法及检测设备能够对产品的缺陷进行识别,但是,上述设备仅采用单个光源对薄膜进行缺陷检测,并且上述方法仅能通过图像像素间距及灰度进行有无缺陷的判别,无法进一步区分针孔缺陷和亮斑缺陷,检测精度不高,检测效率较低。
发明内容
本发明提供了一种基于双光频闪的薄膜针孔和亮斑缺陷识别系统及方法,通过交替频闪的双光源产生光束透过待测薄膜进行成像,并对图像进行处理,能够区分薄膜缺陷类型,缺陷识别的精度和效率较高。
一种基于双光频闪的薄膜针孔和亮斑缺陷识别系统,包括第一透射光源、第二透射光源、光源控制器、图像采集装置、图像处理装置以及光源标志物;
所述第一透射光源和第二透射光源用于为待测薄膜打光,所述光源控制器用于控制所述第一透射光源和第二透射光源按照预设频率交替发射光束,所述图像采集装置用于在第一透射光源和第二透射光源交替发射光束过程中采集待测薄膜图像并发送至所述图像处理装置,所述图像处理装置用于对所述待测薄膜图像进行图像数据提取、重组以及运算获得相交子图,根据所述相交子图进行针孔和亮斑的识别,所述光源标志物用于区分第一透射光源和第二透射光源的成像。
进一步地,所述第一透射光源和第二透射光源的设置角度不同。
进一步地,所述第一透射光源和第二透射光源设置于所述待测薄膜的一侧,所述图像采集装置设置于所述待测薄膜的另一侧。
进一步地,所述第一透射光源设置于所述待测薄膜的一侧,所述图像采集装置和所述第二透射光源设置于所述待测薄膜的另一侧。
进一步地,所述第一透射光源的出射光路与所述待测薄膜所在平面垂直;所述第二透射光源的出射光路与所述待测薄膜所在平面呈45度夹角。
进一步地,所述图像采集装置为工业线阵相机,所述工业线阵相机的焦平面与所述待测薄膜所在平面共面。
进一步地,所述光源标志物设置在第一透射光源处;所述图像处理装置用于对所述待测薄膜图像进行奇数行和偶数行的像素提取,并进行数据重组获得两幅图像,判断所述两幅图像上是否存在连续贯穿整幅图像的光源标志物成像,将存在连续贯穿整幅图像的光源标志物成像的图像确定为第一透射光源下的第一图像,将另一幅图像确定为第二透射光源下的第二图像,对所述第一图像和第二图像进行二值化处理之后进行图像按位与运算,获得所述相交子图。
进一步地,所述图像处理装置还用于判断所述相交子图是否为空,若所述相交子图为空,则确定缺陷为亮斑,若所述相交子图不为空,则确定缺陷为针孔。
一种采用上述系统的基于双光频闪的薄膜针孔和亮斑缺陷识别方法,包括:
光源控制器控制所述第一透射光源和第二透射光源按照预设频率交替发射光束,并设置光源标志物;
图像采集装置在第一透射光源和第二透射光源交替发射光束过程中采集待测薄膜图像并发送至图像处理装置;
图像处理装置对所述待测薄膜图像进行图像数据提取、重组以及运算获得相交子图,根据所述相交子图进行针孔和亮斑的识别。
进一步地,所述光源标志物设置在第一透射光源处;图像处理装置对所述待测薄膜图像进行奇数行和偶数行的像素提取,并进行数据重组获得两幅图像,判断所述两幅图像上是否存在连续贯穿整幅图像的光源标志物成像,将存在连续贯穿整幅图像的光源标志物成像的图像确定为第一透射光源下的第一图像,将另一幅图像确定为第二透射光源下的第二图像,对所述第一图像和第二图像进行二值化处理之后进行图像与运算,获得所述相交子图,判断所述相交子图是否为空,若所述相交子图为空,则确定缺陷为亮斑,若所述相交子图不为空,则确定缺陷为针孔。
本发明提供的基于双光频闪的薄膜针孔和亮斑缺陷识别系统及方法,至少包括如下有益效果:
(1)采用两个交替频闪的透射光源对待测薄膜的缺陷区域进行光路设计,结合图像处理技术,有效避免待测薄膜表面可能存在的亮斑缺陷对针孔缺陷判定造成影响,进一步提升了检测精度,检测稳定性高。
(2)在交替频闪的透射光源上设置标志物,利用成像上的区别可以轻易区分分离得到的两张图具体为某个光源成像,简化了相机或上位机解码过程,降低硬件成本;
(3)采用两个透射光源设计的两道光路,一道为直射光,而另一道为斜射光,使第一道光路对针孔和亮斑缺陷均能产生透射,而第二道光路对亮斑缺陷主要产生反射,并产生微弱透射,从而利用两个光源的成像可以区分缺陷类型,简化后续图像处理的步骤,缺陷识别效率高。
(4)对两个透射光源得到的两张图像进行二值化处理和按位与运算,通过得到的运算后的图像的空与非空判断待测薄膜的缺陷类型,缺陷判定更加直观,提升了缺陷识别的效率和精确度。
附图说明
图1为本发明提供的基于双光频闪的薄膜针孔和亮斑缺陷识别系统一种实施例的结构示意图。
图2为本发明提供的基于双光频闪的薄膜针孔和亮斑缺陷识别系统另一种实施例的结构示意图。
图3为本发明提供的基于双光频闪的薄膜针孔和亮斑缺陷识别系统中投射光源第一种设置方式及亮斑成像情况的示意图。
图4为本发明提供的基于双光频闪的薄膜针孔和亮斑缺陷识别系统中投射光源第二种设置方式及亮斑成像情况的示意图。
图5为本发明提供的基于双光频闪的薄膜针孔和亮斑缺陷识别系统中投射光源第一种设置方式及针孔成像情况的示意图。
图6为本发明提供的基于双光频闪的薄膜针孔和亮斑缺陷识别系统中图像按位与运算的示意图。
图7为本发明提供的基于双光频闪的薄膜针孔和亮斑缺陷识别系统中针孔缺陷图像按位与运算的示意图。
图8为本发明提供的基于双光频闪的薄膜针孔和亮斑缺陷识别系统中亮斑缺陷图像按位与运算的示意图。
图9为本发明提供的基于双光频闪的薄膜针孔和亮斑缺陷识别方法一种实施例的流程图。
图10为本发明提供的基于双光频闪的薄膜针孔和亮斑缺陷识别方法中图像数据处理一种实施例的流程图。
附图标记:1-第一透射光源,2-第二透射光源,3-光源控制器,4-图像采集装置,5-图像处理装置,6-光源标志物,a-图像采集装置输出图像,b-第一透射光源的第一种成像,c-第二透射光源的第一种成像,d-第一透射光源的第二种成像,e-第二透射光源的第二种成像,f-第一透射光源的第三种成像,g-第二透射光源的第三种成像。
具体实施方式
为了更好的理解上述技术方案,下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案做详细的说明。
参考图1和图2,在一些实施例中,提供一种基于双光频闪的薄膜针孔和亮斑缺陷识别系统,包括第一透射光源1、第二透射光源2、光源控制器3、图像采集装置4、图像处理装置5以及光源标志物6。其中,所述第一透射光源1和第二透射光源2用于为待测薄膜打光,所述光源控制器3用于控制所述第一透射光源1和第二透射光源2按照预设频率交替发射光束,所述图像采集装置4用于在第一透射光源1和第二透射光源2交替发射光束过程中采集待测薄膜图像并发送至所述图像处理装置5,所述图像处理装置5用于对所述待测薄膜图像进行图像数据提取、重组以及运算获得相交子图,根据所述相交子图进行针孔和亮斑的识别,光源标志物6用于区分第一透射光源1和第二透射光源2的成像。图2示出了相机在双光频闪下的成像。其中,所述第一透射光源1和第二透射光源2的设置角度不同。
光源标志物6设置在第一透射光源1处。
在一些实施例中,所述图像处理装置5为上位机。
在一些实施例中,基于双光频闪的薄膜针孔和亮斑缺陷识别系统还包括用于承载待测薄膜的滚轴,待测薄膜在滚轴的带动下移动,使得待测薄膜的全部区域均能进入图像采集装置4的采集区域,以便图像采集装置4对待测薄膜的成像信息进行全面的采集。
参考图3,在一些实施例中,所述第一透射光源1和第二透射光源2设置于所述待测薄膜的一侧,第一透射光源1的出射光路与待测薄膜所在平面垂直,第二透射光源2的出射光路与待测薄膜所在平面呈45°夹角。所述图像采集装置4设置于所述待测薄膜的另一侧。图3示出了待测薄膜的亮斑在第一透射光源1的成像b及在第二透射光源2成像c。
参考图4,在一些实施例中,所述第一透射光源1设置于所述待测薄膜的一侧,第一透射光源1的出射光路与待测薄膜所在的平面垂直,所述图像采集装置4和所述第二透射光源2设置于所述待测薄膜的另一侧,第二透射光源2的出射光路与待测薄膜所在的平面呈45°夹角。图4示出了待测薄膜的亮斑在第一透射光源1下的成像d及在第二透射光源2下的成像e。
参考图5,在一些实施例中,所述第一透射光源1和第二透射光源2设置于所述待测薄膜的一侧,第一透射光源1的出射光路与待测薄膜所在平面垂直,第二透射光源2的出射光路与待测薄膜所在平面呈45°夹角。所述图像采集装置4设置于所述待测薄膜的另一侧。图5示出了待测薄膜的针孔在第一透射光源1的成像f及在第二透射光源的成像g。
作为一种较优的实施方式,所述第一透射光源1的出射光路与所述待测薄膜所在平面垂直;所述第二透射光源2的出射光路与所述待测薄膜所在平面呈45度夹角。参考图3至图5,由于待测薄膜的材质特性,透射光源采用上述设置方式时,第一透射光源1对针孔和亮斑缺陷均会产生透射,第二透射光源2对亮斑缺陷会产生反射和微弱透射,从而两道光对同一缺陷在相机成像上会产生明显的差异,可以简化后续图像处理方法,提高该检测方法的效率。若第二透射光源2产生的光为非斜射光,那么相机在缺陷区域正上方的成像将与第一透射光源1的成像一致,进而导致无法区分针孔和亮斑。
作为一种较优的实施方式,所述图像采集装置4为工业线阵相机,所述工业线阵相机的焦平面与所述待测薄膜所在平面共面。工业线阵相机的焦平面与所述待测薄膜所在平面共面,能够保证采集到的图片成像清晰。
所述图像处理装置5用于对所述待测薄膜图像进行奇数行和偶数行的像素提取,并进行数据重组,根据光源标志物可以区分并获得第一透射光源1下的第一图像和第二透射光源2下的第二图像。
具体地,图像处理装置5对所述待测薄膜图像进行奇数行和偶数行的像素提取,并进行数据重组,具体包括:
提取待测薄膜图像中的奇数行的像素并将其进行组合,提取待测薄膜图像中偶数行的像素并将其进行组合,由此获得两幅图像,判断所述两幅图像上是否存在连续贯穿整幅图像的光源标志物成像,将存在连续贯穿整幅图像的光源标志物成像的图像确定为第一透射光源1下的第一图像,将另一幅图像确定为第二透射光源2下的第二图像。如图2中的图像a所示,在奇数行或者偶数行会形成光源标志物的成像,由此区分两个透射光源的成像,无需再经过上位机解码区分两幅图像,降低硬件成本。
获得第一透射光源1下的第一图像和第二透射光源2下的第二图像之后,对其进行二值化处理,具体为:
将第一图像和第二图像的像素的灰度值设置为0或255,也就是将整个图像呈现出明显的黑白效果的过程。
图像的二值化能够使得图像中的数据大为减少,从而能够凸显出目标的轮廓。
对所述第一图像和第二图像进行二值化处理之后进行图像按位与运算,获得所述相交子图。
需要说明的是,图像运算指以图像为单位进行的操作,该运算对图像中的所有像素同样进行,运算的结果是一张灰度分布与原来参与运算的图像灰度分布不同的新图像。具体的运算主要包括算术和逻辑运算,它们通过改变像素的值来得到图像增强的效果。逻辑运算包括四种方法:按位与运算、按位或运算、按位非运算、按位异或运算,其计算方法是对图像的像素点值的按位逻辑运算,运算效率高、速度快。具体地,将待计算图像中每一个像素表示为矩阵中的一个元素,并将像素值转变为二进制值;将待计算图像中对应位置的像素二进制数值进行按位与运算;将得到的矩阵再转化为图像像素十进制值的形式,得到按位与运算后的图像。
图像按位与运算通过如下公式表示:
Figure 808545DEST_PATH_IMAGE001
其中,
Figure 911017DEST_PATH_IMAGE002
(x,y)表示相交子图,
Figure 251869DEST_PATH_IMAGE003
表示二值化后的第一图像,
Figure 727849DEST_PATH_IMAGE004
表示 二值化后的第二图像,
Figure 408230DEST_PATH_IMAGE005
表示相交子图的像素坐标,(x1,y1)表示第一图像的像素坐标, (x2,y2)表示第二图像的像素坐标。
所述图像处理装置5还用于判断所述相交子图是否为空,若所述相交子图为空,则确定缺陷为亮斑,若所述相交子图不为空,则确定缺陷为针孔。
具体地,相交子图为空,即相交子图中的像素既不属于第一图像,也不属于第二图像。
参考图6,图6示出图像按位与运算的基本原理;图7示出了当待测薄膜存在针孔缺陷时,第一透射光源1和第二透射光源2的成像及经过二值化运算和按位与运算后的图像;图8示出了当待测薄膜存在亮斑缺陷时,第一透射光源1和第二透射光源2的成像及经过二值化运算和按位与运算后的图像。因此,采用双光源频闪的方式得到两张图像后,再经二值化运算和按位与运算,得到运算后的针孔缺陷的图像为非空,而亮斑缺陷的图像为空,由此可以判断待测薄膜存在缺陷的类型,实现更加精准的缺陷识别。
上述实施例提供的系统,采用两个交替频闪的透射光源对待测薄膜的缺陷区域进行光路设计,结合图像处理技术,有效避免待测薄膜表面可能存在的亮斑缺陷对针孔缺陷判定造成影响,进一步提升了检测精度,检测稳定性高;在交替频闪的透射光源上设置标志物,利用成像上的区别可以轻易区分分离得到的两张图具体为某个光源成像,简化了相机或上位机解码过程;采用两个透射光源设计的两道光路,一道为直射光,而另一道为斜射光,使第一道光路对针孔和亮斑缺陷均能产生透射,而第二道光路对亮斑缺陷主要产生反射,并产生微弱透射,从而利用两个光源的成像可以区分缺陷类型,简化后续图像处理的步骤,缺陷识别效率高;对两个透射光源得到的两张图像进行二值化处理和按位与运算,通过得到的运算后的图像的空与非空判断待测薄膜的缺陷类型,缺陷判定更加直观,提升了缺陷识别的效率和精确度。
参考图9,在一些实施例中,提供一种采用上述系统的基于双光频闪的薄膜针孔和亮斑缺陷识别方法,包括:
S1、光源控制器控制所述第一透射光源和第二透射光源按照预设频率交替发射光束,并设置光源标志物;
S2、图像采集装置在第一透射光源和第二透射光源交替发射光束过程中采集待测薄膜图像并发送至图像处理装置;
S3、图像处理装置对所述待测薄膜图像进行图像数据提取、重组以及运算获得相交子图,根据所述相交子图进行针孔和亮斑的识别。
具体地,步骤S1中,所述第一透射光源和第二透射光源的设置角度不同。
在一些实施例中,所述第一透射光源和第二透射光源设置于所述待测薄膜的一侧,所述图像采集装置设置于所述待测薄膜的另一侧。
在一些实施例中,所述第一透射光源设置于所述待测薄膜的一侧,所述图像采集装置和所述第二透射光源设置于所述待测薄膜的另一侧。
在一些实施例中,所述第一透射光源的出射光路与所述待测薄膜所在平面垂直;所述第二透射光源的出射光路与所述待测薄膜所在平面呈45度夹角。
在一些实施例中,所述光源标志物设置于第一透射光源处。
步骤S2中,所述图像采集装置为工业线阵相机,所述工业线阵相机的焦平面与所述待测薄膜所在平面共面。
步骤S3中,图像处理装置为上位机。
参考图10,步骤S3具体包括:
S31、对所述待测薄膜图像进行奇数行和偶数行的像素提取,并进行数据重组获得两幅图像,判断所述两幅图像上是否存在连续贯穿整幅图像的光源标志物成像,将存在连续贯穿整幅图像的光源标志物成像的图像确定为第一透射光源下的第一图像,将另一幅图像确定为第二透射光源下的第二图像;
S32、对所述第一图像和第二图像进行二值化处理之后进行图像与运算,获得所述相交子图;
S33、判断所述相交子图是否为空,若所述相交子图为空,则确定缺陷为亮斑,若所述相交子图不为空,则确定缺陷为针孔。
其中,步骤S31中,提取待测薄膜图像中的奇数行的像素并将其进行组合,提取待测薄膜图像中偶数行的像素并将其进行组合,由此获得两幅图像,判断所述两幅图像上是否存在连续贯穿整幅图像的光源标志物成像,将存在连续贯穿整幅图像的光源标志物成像的图像确定为第一透射光源下的第一图像,将另一幅图像确定为第二透射光源下的第二图像。
进一步地,步骤S32中,获得第一透射光源下的第一图像和第二透射光源下的第二图像之后,对其进行二值化处理,具体为:将第一图像和第二图像的像素的灰度值设置为0或255,也就是将整个图像呈现出明显的黑白效果的过程。图像的二值化能够使得图像中的数据大为减少,从而能够凸显出目标的轮廓。
图像按位与运算通过如下公式表示:
Figure 6570DEST_PATH_IMAGE001
其中,
Figure 103226DEST_PATH_IMAGE002
(x,y)表示相交子图,
Figure 914057DEST_PATH_IMAGE003
表示二值化后的第一图像,
Figure 42418DEST_PATH_IMAGE004
表示 二值化后的第二图像,
Figure 952606DEST_PATH_IMAGE005
表示相交子图的像素坐标,
Figure 739821DEST_PATH_IMAGE006
表示第一图像的像素坐 标,
Figure 760866DEST_PATH_IMAGE007
表示第二图像的像素坐标。
步骤S33中,相交子图为空,即相交子图中的像素既不属于第一图像,也不属于第二图像。
本实施例提供的基于双光频闪的薄膜针孔和亮斑缺陷识别方法,采用两个交替频闪的透射光源对待测薄膜的缺陷区域进行光路设计,结合图像处理技术,有效避免待测薄膜表面可能存在的亮斑缺陷对针孔缺陷判定造成影响,进一步提升了检测精度,检测稳定性高;在交替频闪的透射光源上设置标志物,利用成像上的区别可以轻易区分分离得到的两张图具体为某个光源成像,简化了相机或上位机解码过程;采用两个透射光源设计的两道光路,一道为直射光,而另一道为斜射光,使第一道光路对针孔和亮斑缺陷均能产生透射,而第二道光路对亮斑缺陷主要产生反射,并产生微弱透射,从而利用两个光源的成像可以区分缺陷类型,简化后续图像处理的步骤,缺陷识别效率高;对两个透射光源得到的两张图像进行二值化处理和按位与运算,通过得到的运算后的图像的空与非空判断待测薄膜的缺陷类型,缺陷判定更加直观,提升了缺陷识别的效率和精确度。
尽管已描述了本发明的优选实施例,但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念,则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以,所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。显然,本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样,倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内,则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (5)

1.一种基于双光频闪的薄膜针孔和亮斑缺陷识别系统,其特征在于,包括第一透射光源、第二透射光源、光源控制器、图像采集装置、图像处理装置以及光源标志物;
所述第一透射光源和第二透射光源用于为待测薄膜打光,所述光源控制器用于控制所述第一透射光源和第二透射光源按照预设频率交替发射光束,所述图像采集装置用于在第一透射光源和第二透射光源交替发射光束过程中采集待测薄膜图像并发送至所述图像处理装置,所述图像处理装置用于对所述待测薄膜图像进行图像数据提取、重组以及运算获得相交子图,根据所述相交子图进行针孔和亮斑的识别,所述光源标志物用于区分第一透射光源和第二透射光源的成像;
所述第一透射光源的出射光路与所述待测薄膜所在平面垂直;所述第二透射光源的出射光路与所述待测薄膜所在平面呈45度夹角;
所述光源标志物设置在第一透射光源处;
所述图像处理装置用于对所述待测薄膜图像进行奇数行和偶数行的像素提取,并进行数据重组获得两幅图像,判断所述两幅图像上是否存在连续贯穿整幅图像的光源标志物成像,将存在连续贯穿整幅图像的光源标志物成像的图像确定为第一透射光源下的第一图像,将另一幅图像确定为第二透射光源下的第二图像,对所述第一图像和第二图像进行二值化处理之后进行图像按位与运算,获得所述相交子图;
所述图像处理装置还用于判断所述相交子图是否为空,若所述相交子图为空,则确定缺陷为亮斑,若所述相交子图不为空,则确定缺陷为针孔。
2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述第一透射光源和第二透射光源设置于所述待测薄膜的一侧,所述图像采集装置设置于所述待测薄膜的另一侧。
3.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述图像采集装置为工业线阵相机,所述工业线阵相机的焦平面与所述待测薄膜所在平面共面。
4.一种采用如权利要求1-3任一所述系统的基于双光频闪的薄膜针孔和亮斑缺陷识别方法,其特征在于,包括:
光源控制器控制所述第一透射光源和第二透射光源按照预设频率交替发射光束,并设置光源标志物;
图像采集装置在第一透射光源和第二透射光源交替发射光束过程中采集待测薄膜图像并发送至图像处理装置;
图像处理装置对所述待测薄膜图像进行图像数据提取、重组以及运算获得相交子图,根据所述相交子图进行针孔和亮斑的识别。
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述光源标志物设置在第一透射光源处;
图像处理装置对所述待测薄膜图像进行奇数行和偶数行的像素提取,并进行数据重组获得两幅图像,判断所述两幅图像上是否存在连续贯穿整幅图像的光源标志物成像,将存在连续贯穿整幅图像的光源标志物成像的图像确定为第一透射光源下的第一图像,将另一幅图像确定为第二透射光源下的第二图像,对所述第一图像和第二图像进行二值化处理之后进行图像与运算,获得所述相交子图,判断所述相交子图是否为空,若所述相交子图为空,则确定缺陷为亮斑,若所述相交子图不为空,则确定缺陷为针孔。
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