JP5006551B2 - 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 - Google Patents
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- シート状成形体の被検査体を所定の搬送方向に連続して搬送する搬送手段と、
上記被検査体の幅方向に線状照明を照射する照明手段と、
1台あたりのエリアセンサが上記被検査体の同一領域を複数回撮像し、上記線状照明像が上記被検査体の幅方向に表示された2次元画像を複数取得する1又は複数の撮像手段と、
上記撮像手段で撮像された各2次元画像を2値化画像に変換し、白領域及び黒領域から上記線状照明像を抽出し、2次元画像毎に欠陥を検出する欠陥検出手段と、
上記欠陥検出手段で検出された欠陥の上記2次元画像上の座標位置を上記被検査体上の座標位置に変換する座標変換手段と
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 上記座標変換手段は、上記2次元画像の画素座標と上記撮像手段が上記2次元画像を取り込む区間に上記被検査体が搬送される距離とに基づいて上記2次元画像上の座標位置を上記被検査体上の座標位置に変換することを特徴とする請求項1に記載の欠陥検査装置。
- 上記座標変換手段で変換された上記被検査体上の座標位置に基づいて上記被検査体の欠陥マップを作成する欠陥マップ作成手段を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の欠陥検査装置。
- 上記複数の撮像手段で撮像された2次元画像間の相対位置に基づいて上記被検査体の幅方向の全領域を含む全幅画像を合成する合成手段を備え、
上記欠陥検出手段は、上記合成手段で合成された全幅画像の欠陥を検出することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の欠陥検査装置。 - シート状成形体の被検査体を所定の搬送方向に連続して搬送する搬送工程と、
上記被検査体の幅方向に線状照明を照射する照明工程と、
1台あたりのエリアセンサが上記被検査体の同一領域を複数回撮像し、上記線状照明像が上記被検査体の幅方向に表示された2次元画像を複数取得する撮像工程と、
上記撮像工程で撮像された各2次元画像を2値化画像に変換し、白領域及び黒領域から上記線状照明像を抽出し、2次元画像毎に欠陥を検出する欠陥検出工程と、
上記欠陥検出工程で検出された欠陥の上記2次元画像上の座標位置を上記被検査体上の座標位置に変換する座標変換工程と
を有することを特徴とする欠陥検査方法。
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