JPH0560537A - スルーホール検査装置 - Google Patents
スルーホール検査装置Info
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- JPH0560537A JPH0560537A JP3225918A JP22591891A JPH0560537A JP H0560537 A JPH0560537 A JP H0560537A JP 3225918 A JP3225918 A JP 3225918A JP 22591891 A JP22591891 A JP 22591891A JP H0560537 A JPH0560537 A JP H0560537A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 プリント基板のスルーホール検査装置に関す
るもので、スルーホール画像の歪やスルーホールの穴数
だけで検出できなかった欠陥を検出するとともに、かつ
高速で精度良く検出できるスルーホール検査装置を提供
する。 【構成】 透過照明手段１０２によりプリント基板１０
１に形成されたスルーホールを照明し、スルーホールを
通過した光を拡散板１０３を介して撮像した濃淡画像を
２値化手段１０５により２値画像に変換する。２値化さ
れたスルーホール画像をラベリング手段１０６でスルー
ホール毎に画素単位に番号付けをし、番号付けされた画
素を積算手段１０７により積算しスルーホール画像の面
積と座標を求め、面積と座標により判定手段１０８で良
否判定を行うことで、高速で精度の良い欠陥検出ができ
る。
るもので、スルーホール画像の歪やスルーホールの穴数
だけで検出できなかった欠陥を検出するとともに、かつ
高速で精度良く検出できるスルーホール検査装置を提供
する。 【構成】 透過照明手段１０２によりプリント基板１０
１に形成されたスルーホールを照明し、スルーホールを
通過した光を拡散板１０３を介して撮像した濃淡画像を
２値化手段１０５により２値画像に変換する。２値化さ
れたスルーホール画像をラベリング手段１０６でスルー
ホール毎に画素単位に番号付けをし、番号付けされた画
素を積算手段１０７により積算しスルーホール画像の面
積と座標を求め、面積と座標により判定手段１０８で良
否判定を行うことで、高速で精度の良い欠陥検出ができ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板等におけ
るスルーホールの穴詰まり等の不良を検査するためのス
ルーホール検査装置に関するものである。
るスルーホールの穴詰まり等の不良を検査するためのス
ルーホール検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、プリント基板等の不良の検査は人
間による目視検査に頼っていた。ところが、製品の小型
化や軽量化が進むに連れ、配線パターンやスルーホール
の細密化や複雑化がより一層進んでいる。このような状
況の中で、人間が高い検査精度を保ちつつ非常に細密な
配線パターンをしかも長時間続ける事が難しくなってお
り、検査の自動化が強く望まれている。
間による目視検査に頼っていた。ところが、製品の小型
化や軽量化が進むに連れ、配線パターンやスルーホール
の細密化や複雑化がより一層進んでいる。このような状
況の中で、人間が高い検査精度を保ちつつ非常に細密な
配線パターンをしかも長時間続ける事が難しくなってお
り、検査の自動化が強く望まれている。
【０００３】プリント基板等におけるスルーホールの検
査の方法として、実開平２−１０５１５６号公報にある
ようにスルーホールの穴の数をカウントし基準の数と一
致するかどうかで穴詰まりの有無を判定する方法で、図
６にその構成を示す。
査の方法として、実開平２−１０５１５６号公報にある
ようにスルーホールの穴の数をカウントし基準の数と一
致するかどうかで穴詰まりの有無を判定する方法で、図
６にその構成を示す。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
スルーホールの穴の数をカウントする方法は、構成が容
易で実用的な方法と言える。しかし、この方法では、穴
が完全にふさがっていないと穴詰まりとして検出できな
いという問題がある。
スルーホールの穴の数をカウントする方法は、構成が容
易で実用的な方法と言える。しかし、この方法では、穴
が完全にふさがっていないと穴詰まりとして検出できな
いという問題がある。
【０００５】本発明は、上記従来技術の課題を鑑み簡単
な構成で、スルーホールの穴径および中心座標とでスル
ーホールの穴詰まりなどの検査のできるスルーホール検
査装置を提供することを目的とする。
な構成で、スルーホールの穴径および中心座標とでスル
ーホールの穴詰まりなどの検査のできるスルーホール検
査装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、透過照明によりプリント基板に形成された
スルーホールを照明する照明手段と、スルーホールを通
過した光を拡散板を介して撮像する画像入力手段と、前
記画像入力手段からの濃淡画像を２値画像に変換する２
値化手段と、スルーホール画像をスルーホール毎に画素
単位に番号付けをするラベリング手段と、前記ラベリン
グ手段によって番号付けされた画素を積算しスルーホー
ル画像の面積と座標を求める積算手段と、面積と座標に
より良否判定を行う判定手段と構成を有している。
に本発明は、透過照明によりプリント基板に形成された
スルーホールを照明する照明手段と、スルーホールを通
過した光を拡散板を介して撮像する画像入力手段と、前
記画像入力手段からの濃淡画像を２値画像に変換する２
値化手段と、スルーホール画像をスルーホール毎に画素
単位に番号付けをするラベリング手段と、前記ラベリン
グ手段によって番号付けされた画素を積算しスルーホー
ル画像の面積と座標を求める積算手段と、面積と座標に
より良否判定を行う判定手段と構成を有している。
【０００７】
【作用】本発明は上記構成によって、拡散板に写し出さ
せれスルーホール画像を撮像することにより歪のないス
ルーホールを得ると共に、スルーホール毎にラベリング
し分離しラベリングされた画素を積算し、スルーホール
の大きさおよび中心座標を求め比較判定することにより
穴詰まり等の欠陥を検出することができる。
せれスルーホール画像を撮像することにより歪のないス
ルーホールを得ると共に、スルーホール毎にラベリング
し分離しラベリングされた画素を積算し、スルーホール
の大きさおよび中心座標を求め比較判定することにより
穴詰まり等の欠陥を検出することができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例について、図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
【０００９】図１は本発明の一実施例におけるスルーホ
ール検査装置のブロック構成図である。図１において、
１０１はプリント基板、１０２は透過照明、１０３は拡
散板、１０４はＣＣＤカメラなどの画像入力手段、１０
５は濃淡画像を２値画像に変換する２値化手段、１０６
はスルーホール毎に画素単位に番号付けするラベリング
手段、１０７はラベリングされた画素毎に積算し面積と
中心座標を求める積算手段、１０８は面積と座標から良
否判定を行う判定手段である。
ール検査装置のブロック構成図である。図１において、
１０１はプリント基板、１０２は透過照明、１０３は拡
散板、１０４はＣＣＤカメラなどの画像入力手段、１０
５は濃淡画像を２値画像に変換する２値化手段、１０６
はスルーホール毎に画素単位に番号付けするラベリング
手段、１０７はラベリングされた画素毎に積算し面積と
中心座標を求める積算手段、１０８は面積と座標から良
否判定を行う判定手段である。
【００１０】以上のように構成されたスルーホール検査
装置について、その動作を説明する。透過光により照明
する透過照明手段１０２で、プリント基板１０１に形成
されたスルーホールを照明し、スルーホールを通過した
光を拡散板１０３を介してＣＣＤカメラ（一次元または
二次元）などの画像入力手段１０４で濃淡画像として得
る。本実施例では、ラスタスキャンのイメージで以後説
明するものとし、撮像装置として一次元のＣＣＤカメラ
を用いた例を示す。透過照明手段１０２は、ＣＣＤカメ
ラに合わせライン状のライトガイドや発光ダイオードを
ライン状に配列したものなど平行光の方が望ましい。ま
た、拡散板０１３を介して画像入力手段１０４に取り込
むのは、撮像エリアの周辺の歪を取り除くためである。
装置について、その動作を説明する。透過光により照明
する透過照明手段１０２で、プリント基板１０１に形成
されたスルーホールを照明し、スルーホールを通過した
光を拡散板１０３を介してＣＣＤカメラ（一次元または
二次元）などの画像入力手段１０４で濃淡画像として得
る。本実施例では、ラスタスキャンのイメージで以後説
明するものとし、撮像装置として一次元のＣＣＤカメラ
を用いた例を示す。透過照明手段１０２は、ＣＣＤカメ
ラに合わせライン状のライトガイドや発光ダイオードを
ライン状に配列したものなど平行光の方が望ましい。ま
た、拡散板０１３を介して画像入力手段１０４に取り込
むのは、撮像エリアの周辺の歪を取り除くためである。
【００１１】画像入力手段１０４で得られた濃淡画像か
らスルーホール画像を分離するために、２値化手段１０
５で任意の閾値と比較し２値画像に変換する。本実施例
では、スルーホールの検査に限定するために、背景を”
０”スルーホールを”１”に２値化するものとする。ラ
ベリング手段１０６は、２値化手段１０５で得られた２
値画像を、各々の連結成分に対して異なったラベルを割
り当てるラベリング処理を行う。積算手段１０７は、ラ
ベリング手段１０６でラベリング処理された画像データ
を入力し、連結成分毎に画素数を総和演算するとともに
アドレスを積算後平均演算する。
らスルーホール画像を分離するために、２値化手段１０
５で任意の閾値と比較し２値画像に変換する。本実施例
では、スルーホールの検査に限定するために、背景を”
０”スルーホールを”１”に２値化するものとする。ラ
ベリング手段１０６は、２値化手段１０５で得られた２
値画像を、各々の連結成分に対して異なったラベルを割
り当てるラベリング処理を行う。積算手段１０７は、ラ
ベリング手段１０６でラベリング処理された画像データ
を入力し、連結成分毎に画素数を総和演算するとともに
アドレスを積算後平均演算する。
【００１２】判定手段１０８は、積算手段１０７で積算
された画素数の積算値つまりスルーホールの面積と平均
アドレスから、基準の面積および座標と比較され欠陥で
あるかどうか判定される。
された画素数の積算値つまりスルーホールの面積と平均
アドレスから、基準の面積および座標と比較され欠陥で
あるかどうか判定される。
【００１３】以上の動作を繰り返し、順次行うことによ
りプリント基板１０１の全面について検査することがで
きる。また、この一連の動作は、ライン同期信号等適当
な信号により同期して行うものである。
りプリント基板１０１の全面について検査することがで
きる。また、この一連の動作は、ライン同期信号等適当
な信号により同期して行うものである。
【００１４】次に、ラベリング手段１０６、積算手段１
０７および判定手段１０８についてさらに詳しく説明す
る。
０７および判定手段１０８についてさらに詳しく説明す
る。
【００１５】図２に、ラベリング手段１０６の詳細ブロ
ック図を示し、以下に説明する。図２において、２０２
は注目画素、２０３は注目画素２０２の隣接画素領域を
示すレジスタ、２０５はラベル判定部、２０４はライン
メモリから構成される。
ック図を示し、以下に説明する。図２において、２０２
は注目画素、２０３は注目画素２０２の隣接画素領域を
示すレジスタ、２０５はラベル判定部、２０４はライン
メモリから構成される。
【００１６】ラベル判定部２０５は、２値化手段１０５
からの２値画像２０１が入力され、注目画素２０２が”
１”の時、隣接画素領域２０３の４画素がまだ何もラベ
ルがついていなければ新しいラベルをつけて２０６に出
力し、隣接画素領域２０３の４画素にラベルがついてい
れば同じラベルをつけて２０６に出力するものである。
注目画素２０２が”０”の場合は、本実施例では”０”
のラベルをつけるものとする。また、今回は隣接画素の
取りかたを８連結で行ったが、隣接画素領域２０３の
Ａ、Ｃ画素を参照するようにすれば４連結となる。
からの２値画像２０１が入力され、注目画素２０２が”
１”の時、隣接画素領域２０３の４画素がまだ何もラベ
ルがついていなければ新しいラベルをつけて２０６に出
力し、隣接画素領域２０３の４画素にラベルがついてい
れば同じラベルをつけて２０６に出力するものである。
注目画素２０２が”０”の場合は、本実施例では”０”
のラベルをつけるものとする。また、今回は隣接画素の
取りかたを８連結で行ったが、隣接画素領域２０３の
Ａ、Ｃ画素を参照するようにすれば４連結となる。
【００１７】図３に、積算手段１０７の詳細ブロック図
を示し、以下に説明する。図３において、３０１はラベ
リング手段１０６からのラベリング画像の入力端子、３
０２〜３０５はラインメモリ、３０６〜３０９は画素カ
ウンタユニット、３２０は画素総和演算回路、３２１は
中心座標演算回路である。積算手段１０７は、スルーホ
ールのサイズ分（＃１〜＃ｎ）ラインメモリ３０２〜３
０５および画素カウンタユニット３０６〜３０９を設
け、画素総和演算３２０および中心座標演算３２１をハ
ードウエアで構成している。
を示し、以下に説明する。図３において、３０１はラベ
リング手段１０６からのラベリング画像の入力端子、３
０２〜３０５はラインメモリ、３０６〜３０９は画素カ
ウンタユニット、３２０は画素総和演算回路、３２１は
中心座標演算回路である。積算手段１０７は、スルーホ
ールのサイズ分（＃１〜＃ｎ）ラインメモリ３０２〜３
０５および画素カウンタユニット３０６〜３０９を設
け、画素総和演算３２０および中心座標演算３２１をハ
ードウエアで構成している。
【００１８】ラベリング手段１０６でラベリング付けさ
れたラベリング画像３０１を、ラインメモリ３０２〜３
０５に入力しスルーホールのサイズ分ｎ段順次遅延さ
せ、画素カウンタ３０６〜３０９にそれぞれ出力する。
画素カウンタは、２段のレジスタ３１０、３１１にラベ
リング画像を入力し、隣接画素と比較器３１２で比較さ
れラベリング画像のエッジを検出し、画素カウンタ３１
３はエッジからエッジまでの画素をカウントする。さら
に、先頭アドレス３１４は、最初のエッジ検出信号で先
頭アドレスを記憶し、後のエッジ検出信号で（１）式に
示すライン毎の平均アドレスを演算する。（ただし、
（Ｘｉ，Ｙｉ）：ライン毎の平均アドドレス、Ａｓｔ
ａ：先頭アドレス、Ｃｐｉｘ：画素カウント値を示
す。）
れたラベリング画像３０１を、ラインメモリ３０２〜３
０５に入力しスルーホールのサイズ分ｎ段順次遅延さ
せ、画素カウンタ３０６〜３０９にそれぞれ出力する。
画素カウンタは、２段のレジスタ３１０、３１１にラベ
リング画像を入力し、隣接画素と比較器３１２で比較さ
れラベリング画像のエッジを検出し、画素カウンタ３１
３はエッジからエッジまでの画素をカウントする。さら
に、先頭アドレス３１４は、最初のエッジ検出信号で先
頭アドレスを記憶し、後のエッジ検出信号で（１）式に
示すライン毎の平均アドレスを演算する。（ただし、
（Ｘｉ，Ｙｉ）：ライン毎の平均アドドレス、Ａｓｔ
ａ：先頭アドレス、Ｃｐｉｘ：画素カウント値を示
す。）
【００１９】
【数１】
【００２０】また、画素総和演算回路３２０は、各画素
カウンタユニットからのライン毎の画素カウント値の総
和を演算するもので（２）式に演算式を示す。（ただ
し、Ｓ：面積、Ｃｐｉｘｉ：各ラインの画素カウント値
を示す。）
カウンタユニットからのライン毎の画素カウント値の総
和を演算するもので（２）式に演算式を示す。（ただ
し、Ｓ：面積、Ｃｐｉｘｉ：各ラインの画素カウント値
を示す。）
【００２１】
【数２】
【００２２】中心座標演算回路３２１は、各画素カウン
タユニットからのライン毎の平均アドレスの中心座標値
を演算するもので（３）式にその演算式を示す。（ただ
し、（Ｘｇ，Ｙｇ）：中心座標、Ｘｉ，Ｙｉ：各ライン
毎の平均アドレス、ｎ：ライン数を示す。）
タユニットからのライン毎の平均アドレスの中心座標値
を演算するもので（３）式にその演算式を示す。（ただ
し、（Ｘｇ，Ｙｇ）：中心座標、Ｘｉ，Ｙｉ：各ライン
毎の平均アドレス、ｎ：ライン数を示す。）
【００２３】
【数３】
【００２４】次に、図４（ａ）および図４（ｂ）を用い
て、判定手段１０８について説明する。判定手段１０８
は、図４（ａ）に示すように、ＣＰＵ１１０・メモリ１
１１・Ｉ／Ｆ１０９およびＩ／Ｆ１１２でコンピュータ
・システムを構成している。図４（ｂ）に判定手段の処
理フローを示し示し以下に説明する。
て、判定手段１０８について説明する。判定手段１０８
は、図４（ａ）に示すように、ＣＰＵ１１０・メモリ１
１１・Ｉ／Ｆ１０９およびＩ／Ｆ１１２でコンピュータ
・システムを構成している。図４（ｂ）に判定手段の処
理フローを示し示し以下に説明する。
【００２５】判定手段１０８では、積算手段１０７で演
算されたスルーホールの面積および中心座標値を、Ｉ／
Ｆ１０９を介して通知され図４（ｂ）に示す処理フロー
に従ってソフトウエア処理される。
算されたスルーホールの面積および中心座標値を、Ｉ／
Ｆ１０９を介して通知され図４（ｂ）に示す処理フロー
に従ってソフトウエア処理される。
【００２６】第１ステップとして４０１では、Ｉ／Ｆ１
０９を介して通知されるスルーホールの面積および中心
座標を入力する。
０９を介して通知されるスルーホールの面積および中心
座標を入力する。
【００２７】第２ステップとして４０２では、面積が最
大かどうかをチェックし、最大であれば次の処理へ進
み、最大でない場合は最大になるまで待つ。これは、あ
るスルーホールの全エリアが画素カウンタユニットに収
まり演算処理が終了したことを示すものである。
大かどうかをチェックし、最大であれば次の処理へ進
み、最大でない場合は最大になるまで待つ。これは、あ
るスルーホールの全エリアが画素カウンタユニットに収
まり演算処理が終了したことを示すものである。
【００２８】第３ステップとして４０３では、予め収集
してある基準データと面積および中心座標値を比較し一
致か不一致を判定する。
してある基準データと面積および中心座標値を比較し一
致か不一致を判定する。
【００２９】そして第４ステップとして４０４では、一
致の場合は、良品として次のスルーホールの検査へ進
む。不一致の場合は、不良として中心座標および面積を
欠陥登録し次のスルーホールの検査に進むものである。
致の場合は、良品として次のスルーホールの検査へ進
む。不一致の場合は、不良として中心座標および面積を
欠陥登録し次のスルーホールの検査に進むものである。
【００３０】スルーホール検査が終了した際、欠陥登録
されたデータをＩ／Ｆ１１２を介して作業者または次の
工程に通知される。
されたデータをＩ／Ｆ１１２を介して作業者または次の
工程に通知される。
【００３１】図５はその処理を示すもので、（ａ）およ
び（ｂ）は良品を示し、（ｃ）は一部欠け面積が小さく
なっている様子を示す。また、（ｄ）は、スルーホール
が分割されたものを示すもので、面積及び中心座標で欠
陥と判定される。
び（ｂ）は良品を示し、（ｃ）は一部欠け面積が小さく
なっている様子を示す。また、（ｄ）は、スルーホール
が分割されたものを示すもので、面積及び中心座標で欠
陥と判定される。
【００３２】なお、本実施例では積算手段１０７におい
て、画素カウンタユニットをスルーホールのサイズ分だ
け設け、画素総和演算および中心座標演算をハードウエ
アで構成するものを示したが、画素カウンタユニットを
１チャンネル分を設けソフトウエアで画素総和演算およ
び中心座標演算を行ってもよい。
て、画素カウンタユニットをスルーホールのサイズ分だ
け設け、画素総和演算および中心座標演算をハードウエ
アで構成するものを示したが、画素カウンタユニットを
１チャンネル分を設けソフトウエアで画素総和演算およ
び中心座標演算を行ってもよい。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、拡散板に
写し出させれスルーホール画像を撮像することにより歪
のないスルーホールを得ると共に、スルーホール毎にラ
ベリングし分離しラベリングされた画素を積算し、スル
ーホールの大きさおよび中心座標を求め比較判定するこ
とにより穴詰まり等の欠陥を検出することができる。ま
た、２値化・ラベリングおよび面積・中心座標演算等を
ハードウエアで実現するために、高速に検査できる。
写し出させれスルーホール画像を撮像することにより歪
のないスルーホールを得ると共に、スルーホール毎にラ
ベリングし分離しラベリングされた画素を積算し、スル
ーホールの大きさおよび中心座標を求め比較判定するこ
とにより穴詰まり等の欠陥を検出することができる。ま
た、２値化・ラベリングおよび面積・中心座標演算等を
ハードウエアで実現するために、高速に検査できる。
【図１】本発明の一実施例におけるスルーホール検査装
置のブロック結線図
置のブロック結線図
【図２】同実施例におけるスルーホール検査装置の要部
であるラベリング手段のブロック結線図
であるラベリング手段のブロック結線図
【図３】同実施例におけるスルーホール検査装置の要部
である積算手段の構成を示す結線ブロック図
である積算手段の構成を示す結線ブロック図
【図４】（ａ）同実施例におけるスルーホール検査装置
の要部である判定手段のブロック結線図 （ｂ）同判定手段の処理を示すフローチャート
の要部である判定手段のブロック結線図 （ｂ）同判定手段の処理を示すフローチャート
【図５】同実施例におけるスルーホール検査装置の欠陥
検出の実施例を示す概念図
検出の実施例を示す概念図
【図６】従来のスルーホール検査装置のブロック結線図
１０１ プリント基板 １０２ 透過照明手段 １０３ 拡散板 １０４ 画像入力手段 １０５ ２値化手段 １０６ ラベリング手段 １０７ 積算手段 １０８ 判定手段 １０９ Ｉ／Ｆ １１０ ＣＰＵ １１１ メモリ １１２ Ｉ／Ｆ ２０１ ２値画像 ２０２ 注目画像 ２０３ 隣接画素領域 ２０４ ラインメモリ ２０５ ラベル判定 ２０６ ラベリング画像 ３０１ ラベリング画像 ３０２〜３０５ ラインメモリ ３０６〜３０９ 画素カウンタユニット ３１０〜３１１ レジスタ ３１２ 比較器 ３１３ 画素カウンタ ３１４ 先頭アドレス ３１５〜３１６ レジスタ ３１７ 比較器 ３１８ 画素カウンタ ３１９ 先頭アドレス ３２０ 画素総和演算 ３２１ 中心座標演算 ４０１ 処理第１ステップ ４０２ 処理第２ステップ ４０３ 処理第３ステップ ４０４ 処理第４ステップ ５０１ スルーホール画像 ６０１ 穴数検出用光電センサ ６０２ 光量検出センサ ６０３ 基板 ６０４ ローラ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｋ 3/00 Ｑ 6921−4Ｅ (72)発明者 川上 秀彦 神奈川県川崎市多摩区東三田３丁目10番１ 号 松下技研株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 透過照明によりプリント基板に形成され
たスルーホールを照明する照明手段と、スルーホールを
通過した光を拡散板を介して撮像する画像入力手段と、
前記画像入力手段からの濃淡画像を２値画像に変換する
２値化手段と、スルーホール画像をスルーホール毎に画
素単位に番号付けをするラベリング手段と、前記ラベリ
ング手段によって番号付けされた画素を積算しスルーホ
ール画像の面積と座標を求める積算手段と、面積と座標
により良否判定を行う判定手段とを具備するスルーホー
ル検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3225918A JPH0560537A (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | スルーホール検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3225918A JPH0560537A (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | スルーホール検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0560537A true JPH0560537A (ja) | 1993-03-09 |
Family
ID=16836929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3225918A Pending JPH0560537A (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | スルーホール検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0560537A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07241731A (ja) * | 1994-03-04 | 1995-09-19 | Sakae Denshi Kogyo Kk | 基板材料の小径穴加工方法及び装置 |
| WO2001075801A1 (fr) * | 2000-03-30 | 2001-10-11 | Kokusai Gijutsu Kaihatsu Kabushiki Kaisha | Dispositif d'inspection d'orifice de brasure |
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