JP3608923B2 - 欠陥検査装置用蛇行追従装置及び欠陥検査装置 - Google Patents
欠陥検査装置用蛇行追従装置及び欠陥検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3608923B2 JP3608923B2 JP31227497A JP31227497A JP3608923B2 JP 3608923 B2 JP3608923 B2 JP 3608923B2 JP 31227497 A JP31227497 A JP 31227497A JP 31227497 A JP31227497 A JP 31227497A JP 3608923 B2 JP3608923 B2 JP 3608923B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- threshold
- boundary
- defect
- threshold value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ラインイメージセンサを使用して、透過率又は反射率が異なる複数領域を有する検査対象物の欠陥検査装置用蛇行追従装置に関する。検査対象物としては、金属の連続シート、フィルム、不織布、蒸着フィルム等がある。
【0002】
【従来の技術】
従来の欠陥検査装置における蛇行追従方式として特開平第8−145908号公報に開示されたものが知られている。この従来技術においては、検査対象物が蛇行した場合、検査対象物のエッジ位置を検出し、予め蛇行のない状態で検出された基準エッジ位置とのずれを求め、求められたずれ量に基づいて検査ウインドウの位置を補正することが開示されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術では、幅方向において光の透過率または反射率が異なる複数領域を有する検査対象物の場合、例えば、ストライプ状に蒸着された蒸着フィルムの場合を考慮していない。したがって、検査領域間の境界をエッジとして認識することができないため、その境界部における反射率乃至透過率の変化を欠陥と誤認しやすいという問題があった。
【0004】
本発明の目的は、幅方向において光の透過率または反射率が異なる複数領域を有する検査対象物の場合でも、その複数領域での欠陥検査を高精度で行うことが可能な欠陥検査装置用蛇行追従装置及び欠陥検査装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明では、複数領域の境界エッジを検出後、そのエッジ近傍の画像処理の態様により検査領域の閾値境界座標の補正を行うようにしている。
即ち、本発明により提供されるものは、ラインイメージセンサの出力信号をディジタル化した画像データから、非検査領域と複数の検査領域の一つとの境界を示す第1のエッジ座標と、複数の検査領域のうち隣接する領域の境界を示す第2のエッジ座標を検出するエッジ検出手段と、第1のエッジ座標を非検査領域に隣接する検査領域の側に少なくとも検査対象物の蛇行量の最大値よりも大きい所定量だけシフトさせた位置に閾値境界座標を設定し、第2のエッジ座標を、明欠陥検出用閾値についてはラインイメージセンサの出力のうち低い値を出力する領域の側に前記所定量だけシフトさせた位置に、暗欠陥検出用閾値については、ラインイメージセンサの出力のうち高い値を出力する領域の側に前記所定量だけシフトさせた位置に閾値境界座標を設定する閾値境界座標設定手段と、閾値境界座標を境にして各領域に対応する値を有する明欠陥検出用閾値及び暗欠陥検出用閾値の少なくとも一方を各ライン毎に格納する閾値メモリとを備えた、欠陥検査装置用蛇行追従装置である。
【0006】
閾値メモリとして、欠陥の濃淡を判別する濃淡検出用閾値を更に格納する閾値メモリを備えてもよい。
本発明により更に、上記蛇行追従装置と、ラインイメージセンサから得た各ラインの画像データをそれぞれ対応するラインの閾値によって二値化する二値化処理手段とを備えた欠陥検査装置が提供される。
【0007】
複数領域の各々に適した閾値を設定するので各領域において高精度な欠陥検出が実現できる。さらに、検査位置毎に閾値境界座標を蛇行量を考慮した所定量だけエッジ座標からシフトさせているので、検査対象物の検査領域が蛇行した場合でもその蛇行に追従して欠陥検査が可能になる。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態による欠陥検査装置用蛇行追従装置を詳述する。
図1は本発明の実施の形態による欠陥検査装置用蛇行追従装置を示すブロック図である。同図において、1はラインイメージセンサとして用いられるラインCCDカメラ、2は画像処理装置、12はホストコンピュータである。画像処理装置2はA/Dコンバータ3と、コンパレータ4と、ランレングス符号化回路5と、基準値メモリ6と、明欠陥検出用閾値および暗欠陥検出用閾値の書き込みと読み出しに交互に使用される第1閾値メモリ7Aおよび第2閾値メモリ7Bと、例えば64KBの容量の第1ランレングスバッファ8Aおよび第2ランレングスバッファ8Bと、ランダムアクセスメモリ(RAM)9と、中央処理装置(CPU)10と、汎用インターフェース(GP−IB)等のI/Oインターフェース11とを備えている。なお、以下説明する本発明の実施形態においては、閾値メモリが明欠陥検出用閾値及び暗欠陥検出用閾値の両者を格納しているので、これらの両者の各々を用いて二値化処理を行うことにより明欠陥、及び暗欠陥をそれぞれ検出することができる。しかし明欠陥、及び暗欠陥の両者を検出する必要がないときは、欠陥の特徴に応じて明欠陥検出用閾値又は暗欠陥検出用閾値のいずれか一方を用いればよい。
【0009】
ラインCCDカメラ1としては、例えば、三菱レイヨン(株)製のSCD型のラインCCDカメラがある。このラインCCDカメラの素子数は1024〜5000であり、駆動周波数は20MHz、走査周期が最高で0.1msのものがある。ラインCCDカメラは検査対象により適正な機種を選択する。画素配列も特に限定されず、検査の態様や対象物等により適宜決定される。RAM9、CPU10、第1閾値メモリ7Aおよび第2閾値メモリ7Bは、エッジ検出手段および閾値境界座標設定手段を構成している。本実施形態においては第1閾値メモリ7Aと第2閾値メモリ7Bとの2つの閾値メモリを用いているので、一方の閾値メモリに閾値を書き込んでいる間に、他方の閾値メモリにすでに書き込まれた閾値を検査対象物の検査に使用する、というようにして交互に書き込みと読み出しを行うことができる。第1閾値メモリ7Aおよび第2閾値メモリ7Bには、明欠陥検出用閾値、暗欠陥検出検出用閾値以外に、それぞれ欠陥の濃淡の検出のための閾値を格納してもよい。
【0010】
次に図2および図3を参照して図1の装置の動作を説明する。
図2は図1の装置における処理手順を示すフローチャートである。図2に示すように本実施態様は、ステップS1〜ステップS4までの4つの工程を有する。以下ステップS1からステップS4までの一連の工程を纏めて適宜「1サイクル」という。図3は、図1に示した装置における本発明の第一の実施形態を説明するための図である。
【0011】
図3の(a)に示すように、ラインCCDカメラ1の視野は、検査対象の蛇行を考慮して、(検査領域Aおよび検査領域Bの幅+最大蛇行量)よりも広い範囲に設定してある。
図3の(b)は、検査対象物の一例として、幅方向に光の透過率または反射率が異なるシート30に対するラインCCDカメラ1の読み取り位置を示している。なお、図中の上下方向の矢印が走行方向である。このシート30の斜線で示される周辺部が背景であり反射率または透過率は低い。以下背景は「非検査領域」という。本発明の実施形態においては図示しない光源からの反射光をラインCCDカメラで受光する構成をとっているので以下の説明では、適宜反射率についてのみ記載するが、光源からの透過光を受光する構成をとった場合の透過率についても同様に適用できる。
【0012】
斜線部に挟まれた部分が蒸着部分である検査領域である。検査領域は幅方向に反射率の低い検査領域Aおよび反射率の高い検査領域Bに分かれている。また、ラインCCDカメラ1の読み取り位置に、明欠陥ア、暗欠陥イがあるとし、本発明の装置によりこれらの欠陥を検出する。各検査領域の境界部分では反射率または透過率の変化が大きいので、検査対象物の走行方向に検査領域が図示のように蛇行していると、正常部分が欠陥と誤認されやすい。そこで、本発明の実施の形態では、後に詳細に記載するように検査領域と検査領域もしくは非検査領域との各境界部分の閾値境界座標を適宜シフトさせて、蛇行に対する耐性を向上させている。
【0013】
図2において、まずステップS1では基準データを設定する。ラインCCDカメラ1は検査対象物のラインCCDカメラ1の1つの読み取り位置(図3の(b)参照)の画像を読みとる。なお、検査対象物は、その走行方向に検査位置が移動するように図示しない移動装置により移動している。なお、検査対象物を移動させるかわりにラインCCDカメラを移動させることも可能である。撮像によって得られたアナログ信号を、A/Dコンバータ3により、例えば1画素当たり8ビットのディジタルデータに変換して、多値画像データを得る。多値画像データは基準メモリ6に1ライン分のデータとして記録され、基準データとして用いられる。基準データを得るために使用される検査対象物にも欠陥部分が含まれている可能性があるので、上記読み取り位置で複数ラインの走査をして得られた画像データについて、各画素毎に得られる複数の値を平均化処理することにより欠陥の影響を低減させるようにしてもよい。
【0014】
こうして決定された基準データはステップS4において閾値を決定するために使用される。
次にステップS2では、ステップS1で設定された基準データに基づいて検査対象物の画像の複数の領域間の境界であるエッジの座標を検出する。これは、A/Dコンバータ3の出力値の変化点を検出することにより行われ、図3の(c)に示すように、非検査領域と検査領域Aとの境界のエッジ座標はE1 、検査領域Aと検査領域Bとの境界のエッジ座標はE2 、検査領域Bと非検査領域との境界のエッジ座標はE3 である。この境界のエッジ座標はCPU10により検出されて、RAM9に格納される。
【0015】
検査対象物の各領域のエッジ座標は、RAM9およびCPU10により基準値メモリ6に格納されたディジタル化した画像データに基づいて検出される。このエッジ検出手段は2種類ある。
即ち、その1つは画像データが予め設定した値の上から下へ、あるいは値の下から上へ変化した位置をエッジとする場合であり、他方は、予め指定した距離にある画素の画像データどうしの差で検出する場合である。いずれを採用するかは、検査対象のエッジ部分の状態で選択する。
【0016】
前者は、背景および検査対象の出力レベルが安定していれば、多少ボケがあってもエッジ位置を正確に検出できるという長所がある。後者はエッジ部分の出力レベルの変化がある程度大きければ、検査対象の出力レベルが複数種類あっても適正位置を検出できるという長所がある。
エッジを検出する際には昇順(左から右の方向)と降順(右から左の方向)のいずれかの順となるように、ラインCCDカメラの画素に対応する基準データをチェックする。検査対象物の背景と検査領域との境界であるエッジの検出の場合は、背景の出力の方が検査領域の出力より安定していることが多いので、通常は背景から検査対象領域の方向に向かって行う。従って、検査対象物の左端の非検査領域とその右側にある検査領域との境界であるエッジの検出は昇順で行い、検査対象物の右端の非検査領域とその左側にある検査領域との境界であるエッジの検出は降順で行う。
【0017】
ステップS3では、閾値境界座標を設定し、閾値境界座標間の領域が検査領域であるか非検査領域であるかを判別する。本実施形態においては非検査領域は図3の(b)に示す背景に相当する部分であり、反射率または透過率が最も低い部分である。ステップS2で算出したエッジ座標を基準とした場合、図3の(c)の例では、0〜E1 の範囲とE3 〜視野右端の座標の範囲とが、非検査領域であり、E1 〜E2 が検査領域A、E2 〜E3 が検査領域Bである。これらの領域間のエッジ座標も、RAM9に格納される。
【0018】
非検査領域と検査領域との間では所定量だけ検査領域側に閾値境界座標をシフトする。検査領域間については、明欠陥検出の場合は反射率又は透過率の低い検査領域側に所定量だけエッジ座標からシフトした位置に閾値境界座標を設定し、暗欠陥検出の場合は反射率又は透過率の高い検査領域側に所定量だけエッジ座標からシフトした位置に閾値境界座標を設定する。
【0019】
なお、この所定量は、検査対象物が蛇行する量に応じて決定する。1サイクルの間の検査対象物の蛇行量の最大値よりも大きくなるように所定量を設定することが好ましく、蛇行量の最大値よりも数画素程度大きい値に設定することが更に好ましい。換言すれば検査領域間のエッジ座標を、明欠陥検出用閾値についてはラインイメージセンサの出力のうち高い値を出力する領域の側に所定量だけシフトさせ、暗欠陥検出用閾値についてはラインイメージセンサの出力のうち低い値を出力する領域の側に所定量だけシフトさせる。これにより、検査対象物の検査領域が蛇行しても、エッジ近傍の誤検出は防止される。
【0020】
この境界座標のシフトを具体的に図によって説明する。
明欠陥検出用閾値境界座標については、非検査領域と検査領域の間の閾値境界座標E’1 及びE’3 はそれぞれ、ラインCCDカメラ1の出力波形のエッジ座標E1 及びE3 よりc画素分内側にシフトさせた位置、即ちE’1 =E1 +c及びE’3 =E3 −cにしている。これは暗欠陥検出用の閾値境界座標E''1 及びE''3 についても同様である即ち、E''1 =E1 +c及びE''3 =E3 −cである。また、検査領域Aと検査領域Bとの間の境界部分については、境界部を欠陥と誤認しないように、E’2 =E2 −cとしている。ここで、cは検査領域の蛇行の程度を考慮して決定される数値である。
【0021】
暗欠陥検出用閾値境界座標を用いる場合、検査領域Aと検査領域Bとの間の境界部分については、境界部を欠陥と誤認しないように、E’’2 =E2 +cとしている。
次にこのようにして定めた閾値境界座標間がどのような領域であるかを判別する。例えばRAM9に各領域が並ぶ順序を記憶させておき、例えば左から順に各領域が検査領域であるか非検査領域であるかを判定する。
【0022】
ステップS4では例えば閾値メモリ7Aに格納する閾値を設定する。明欠陥検出用閾値は、明欠陥検出の場合に、閾値より大きい出力レベルを有する領域についてのコンパレータ4の出力が“1”となるような閾値が設定される。暗欠陥検出用閾値は、暗欠陥検出の場合に、閾値未満の出力レベルを有する領域についてのコンパレータ4からの出力が“1”となるような閾値が設定される。ステップS1で設定された基準データに基づき、各画素毎の基準データと、各検査領域毎に予め設定された比率、例えば、明欠陥検査領域Aでは150%、暗欠陥検査領域Bでは50%、との積を計算して、この積を新たな閾値として記憶する。この計算は、各画素の基準データに基づき、RAM9に記録されている閾値決定プログラムによって行われ、新たな閾値が決定されると、例えば第1の閾値メモリ7Aに記録される。閾値は、各検査領域毎に所定の固定値を採用してもよい。また、閾値は、非検査領域と検査領域Aと検査領域Bとで異なる。
【0023】
非検査領域の閾値は、どのような画像データであっても検出しないための閾値であり、明欠陥検出の場合は255、暗欠陥検出の場合は0に設定される。
こうして第1の閾値メモリ7Aに暗欠陥検出用閾値および明欠陥検出用閾値が格納された後に、再びステップS1に戻り、次の閾値設定の対象となるラインについて同様に閾値を設定し、第2の閾値メモリ7Bに格納する。この間に第1の閾値メモリ7Aの閾値とA/Dコンバータ3の出力をコンパレータ4で比較して、欠陥の有無を検出する。
【0024】
次のサイクルで、再びステップS1に戻り、ステップS4までの工程を経て閾値を設定して、第1の閾値メモリ7Aに上書きし、その間に第2の閾値メモリ7Bに格納されている閾値を用いて欠陥の有無を検出する。
閾値メモリ7Aおよび7Bはそれぞれ、8ビット/画素のメモリである。閾値メモリが一つだけの場合、1サイクルの中で、取り込んだ多値画像データを閾値の設定及び欠陥検査の対象となるデータとして用いなければならない。ところがこの場合、1ラインの検査を行う度に閾値の設定が終わるのを待たなければならず、迅速な検査を行うことができない。本実施形態においては上記のように一方のメモリに閾値を書き込んでいる間に他方のメモリでは2値化処理を行うという動作を交互に行うことにより、連続的かつ迅速な検査を行うことができる。なお、閾値メモリを二つ用いる場合、各ラインの画像データに対応する閾値は読み込みが行われたサイクルで閾値メモリに書き込まれ、次のサイクルで読み出される。従って、各ラインの画像データを二値化処理する際には、次のサイクルで読み出される閾値を用いる。また、必ずしもラインCCDカメラのスキャンごとに1サイクルの工程を行うわけではなく、数回のスキャンにつき1サイクルの工程を行えばよい。
【0025】
図3の(d)は次のサイクルで読み出される閾値メモリ7Aの明欠陥検出用閾値とA/Dコンバータ3の出力とをコンパレータ4により比較して得られたデータを示している。明欠陥アに対応するA/Dコンバータ3の出力値は閾値メモリ7Aに格納されている閾値よりも大きいので、コンパレータ4の出力は“1”レベルとなり、明欠陥ア以外の検査領域ではコンパレータ4の出力は“0”レベルとなる。なお次のサイクルでは、閾値メモリ7Bに新たな明欠陥検出用閾値が格納される。
【0026】
図3の(e)は同じく次のサイクルで読み出される閾値メモリ7Aの暗欠陥検出用閾値とA/Dコンバータ3の出力とをコンパレータ4により比較して得られたデータを示している。暗欠陥イに対応するA/Dコンバータ3の出力値は閾値メモリ7Aに格納されている閾値よりも小さいので、コンパレータ4の出力は“1”レベルとなり、暗欠陥イ以外の検査領域ではコンパレータ4の出力は“0”レベルとなる。なお次のサイクルでは、閾値メモリ7Bに新たな暗欠陥検出用閾値が格納される。
【0027】
A/Dコンバータ3から出力されるディジタルデータは、ラインCCDカメラ1の素子毎に、コンパレータ4において、第1閾値メモリ7A又は第2閾値メモリ7Bに格納されている閾値と比較されて、2値化データとしてコンパレータ4から出力される。画素単位で閾値を決定しているので、コンパレータ4は、ラインCCDカメラ1の素子間のバラツキや照明ムラやレンズの歪みを吸収した、各素子毎の出力信号を2値化することができる。
【0028】
コンパレータ4から出力された2値化データは、“0”から“1”あるいは“1”から“0”への変化点アドレスを得るためのランレングス符号化回路5によりランレングス符号化され、第1および第2のランレングスバッファ8Aおよび8Bに記憶される。各ランレングスバッファ8Aおよび8Bに記憶されたランレングス符号は、交互にCPU10により連結性処理を実行する。ここで、連結性処理とは、複数の連続する走査ラインにおけるデータをライン間で比較しつつ処理することをいう。この連結性処理を行うことによって、検査対象物の欠陥を認識し、形態的特徴を測定できる。
【0029】
検査条件や検査結果などのデータは入出力インターフェース(I/O)11を経由してホストコンピュータ12に転送される。ホストコンピュータ12では、検査条件が設定されたり、検査結果が表示される。
閾値メモリ7Aおよび7Bには、上記明欠陥検出用閾値および暗欠陥検出用閾値に加えて、図3の(c)に示すように、明欠陥検出における濃淡を判別する明欠陥濃淡検出用閾値および暗欠陥検出における濃淡を判別する暗欠陥濃淡検出用閾値を格納してもよい。
【0030】
なお、濃淡検出用閾値は、欠陥検出用閾値よりも大きい値又は小さい値に設定する。例えば明欠陥であって、濃い欠陥(明るい欠陥)を検出する場合には、濃淡検出用閾値として明欠陥検出用閾値よりも大きい値を用いる。
図4は本発明の第二の実施の形態を説明するための図である。
図4(a)は検査対象物とラインCCDカメラの読み取り位置を示す。検査対象物としては、検査領域である蒸着部分が幅方向に交互に複数存在しており、反射率が低い領域A1 及びA2 と反射率が高い領域B1 及びB2 とが交互にそれぞれ複数存在する蒸着フィルムの例が示されている。ラインCCDカメラ1の視野は、図3と同様に検査対象物の蛇行を考慮して、(検査対象領域A1 、B1 、A2 及びB2 の幅の合計+最大蛇行量)よりも広い範囲に設定している。また、ラインCCDカメラ1の読み取り位置は図示のように検査対象物の幅方向に平行な位置RA およびRB である。
【0031】
図4の(b)は図4の(a)における読み取り位置RA で読み取ったときの1行分のラインCCDカメラ1の出力をA/Dコンバータ4により変換したディジタル信号波形と、閾値メモリ7A又は7Bに格納されている閾値とを示している。
図示のように、ラインCCDカメラ1の出力は、検査領域A1 (又はA2 )からの出力<非検査領域からの出力<検査領域B1 (又はB2 )からの出力、となっている。
【0032】
第1の実施形態と同様に、第1の閾値メモリ7Aと第2の閾値メモリ7Bが交互に閾値格納と閾値読み出し用に使用される。
非検査領域と検査領域A1 との境界のエッジ座標はE1 であり、検査領域A1 とB1 との境界のエッジ座標はE2 であり、検査領域B1 とA2 の境界のエッジ座標はE3 であり、検査領域A2 とB2 の境界のエッジ座標はE4 であり、検査領域B2 と非検査領域の境界のエッジ座標はE5 である。
【0033】
閾値境界座標は図示のようにE’1 〜E’4 となっていてエッジ座標E1 〜E4 からシフトされており、第2の閾値メモリ7Bに格納される閾値境界座標も図示のようにE’’1 〜E’’4 となっていてエッジ座標E1 〜E4 からシフトされている。なおエッジ座標から閾値境界座標を算出する方法は第一の実施形態において説明した方法と同様である。
【0034】
図4の(c)は、図4の(a)のラインCCDカメラ1の読み取り位置RB で読み取ったときの1行分のラインCCDカメラ1の波形と、閾値メモリ7A又は7Bに格納される閾値を示している。
図4の(a)のラインCCDカメラ1の読み取り位置がRA からRB に蛇行した分、あるいは、検査領域の幅が変動した分、閾値メモリ7Aおよび7Bのエッジ座標を変化させている。
【0035】
図4の場合においても、図3と同様に明欠陥濃淡検出用閾値および暗欠陥濃淡検出用閾値を採用してもよい。
【0036】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の欠陥検査装置用蛇行追従装置は、検査対象物が幅方向に複数の検査領域に分割され、かつ複数の検査領域が異なる反射率あるいは透過率を有していても、検査対象物の蛇行に自動追従して検査範囲を調整することが可能である。さらに、複数の検査領域の幅が変動しても、自動追従して検査範囲を調整することが可能である。本発明の欠陥検査装置は上記のような検査対象であっても高精度な欠陥検査が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態による欠陥検査装置用蛇行追従装置を示すブロック図である。
【図2】図1に示した装置における処理手順を示すフローチャートである。
【図3】図1に示した装置における本発明の第一の実施形態を説明するための図である。
【図4】図1に示した装置における本発明の第二の実施形態を説明するための図である。
【符号の説明】
1…ラインCCDカメラ
2…画像処理装置
3…A/Dコンバータ
4…コンパレータ
5…ランレングス符号化回路
6…基準値メモリ
7A…第1閾値メモリ
7B…第2閾値メモリ
8A…第1ランレングスバッファ
8B…第2ランレングスバッファ
9…RAM
10…CPU
11…I/Oインターフェース
12…ホストコンピュータ
Claims (3)
- 幅方向において光の透過率または反射率が異なる複数の検査領域を有する検査対象物の幅方向にラインごとの画像データを得るラインイメージセンサと、
前記ラインイメージセンサの検査対象物上における検査範囲が検査対象物の走行方向に移動するように、検査対象物とラインイメージセンサの相対的位置関係を変更する移動装置と、
前記ラインイメージセンサの出力信号をディジタル化した画像データから、非検査領域と前記複数の検査領域の一つとの境界を示す第1のエッジ座標と、前記複数の検査領域のうち隣接する領域の境界を示す第2のエッジ座標を検出するエッジ検出手段と、
前記第1のエッジ座標を前記非検査領域に隣接する検査領域の側に少なくとも前記検査対象物の蛇行量の最大値よりも大きい所定量だけシフトさせた位置に閾値境界座標を設定し、前記第2のエッジ座標を、明欠陥検出用閾値については前記ラインイメージセンサの出力のうち低い値を出力する領域の側に前記所定量だけシフトさせた位置に、暗欠陥検出用閾値については、前記ラインイメージセンサの出力のうち高い値を出力する領域の側に前記所定量だけシフトさせた位置に閾値境界座標を設定する閾値境界座標設定手段と、
閾値境界座標を境にして各領域に対応する値を有する明欠陥検出用閾値及び暗欠陥検出用閾値の少なくとも一方を各ライン毎に格納する閾値メモリとを備えた、欠陥検査装置用蛇行追従装置。 - 前記閾値メモリとして、欠陥の濃淡を判別する濃淡検出用閾値を更に格納する閾値メモリを備えた請求項1記載の欠陥検査装置用蛇行追従装置。
- 請求項1又は請求項2に記載の蛇行追従装置と、ラインイメージセンサから得た各ラインの画像データをそれぞれ対応するラインの閾値によって二値化する二値化処理手段とを備えた欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31227497A JP3608923B2 (ja) | 1997-11-13 | 1997-11-13 | 欠陥検査装置用蛇行追従装置及び欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31227497A JP3608923B2 (ja) | 1997-11-13 | 1997-11-13 | 欠陥検査装置用蛇行追従装置及び欠陥検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11142348A JPH11142348A (ja) | 1999-05-28 |
JP3608923B2 true JP3608923B2 (ja) | 2005-01-12 |
Family
ID=18027274
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31227497A Expired - Fee Related JP3608923B2 (ja) | 1997-11-13 | 1997-11-13 | 欠陥検査装置用蛇行追従装置及び欠陥検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3608923B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4733808B2 (ja) * | 2000-05-02 | 2011-07-27 | 株式会社メック | 欠陥検査装置 |
JP4538135B2 (ja) * | 2000-05-30 | 2010-09-08 | 株式会社メック | 欠陥検査装置 |
JP2004012201A (ja) * | 2002-06-04 | 2004-01-15 | Toshiba Solutions Corp | 欠陥検査装置及び欠陥検査プログラム |
CN108152292B (zh) * | 2017-12-07 | 2021-03-09 | 北京首钢股份有限公司 | 一种热轧表面质量检测系统边部干涉的检测方法 |
-
1997
- 1997-11-13 JP JP31227497A patent/JP3608923B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11142348A (ja) | 1999-05-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5373147A (en) | Apparatus and method for detecting line segment direction | |
JPH0869534A (ja) | 画像品質の検知方法及び装置 | |
JPH06100555B2 (ja) | 透明物体の欠陥検査方法とその装置 | |
US10109045B2 (en) | Defect inspection apparatus for inspecting sheet-like inspection object, computer-implemented method for inspecting sheet-like inspection object, and defect inspection system for inspecting sheet-like inspection object | |
US6456318B1 (en) | Defect inspection apparatus and method by comparing two pairs of areas adjacent to one another | |
JP3322958B2 (ja) | 印刷物検査装置 | |
JP3608923B2 (ja) | 欠陥検査装置用蛇行追従装置及び欠陥検査装置 | |
JP4104213B2 (ja) | 欠陥検出方法 | |
US6614918B1 (en) | Apparatus for inspecting light-and-shade portions and method thereof | |
JP4197768B2 (ja) | 情報読取システム | |
JP2005265467A (ja) | 欠陥検出装置 | |
JP2011076208A (ja) | スタック型バーコード情報読取方法及びスタック型バーコード情報読取装置 | |
JP2003156451A (ja) | 欠陥検出装置 | |
JP5136277B2 (ja) | 網入りまたは線入りガラスの欠陥検出方法 | |
JP2007081513A (ja) | 固体撮像素子のシミ欠陥検査方法 | |
JP4403036B2 (ja) | 疵検出方法及び装置 | |
JPH11132966A (ja) | 欠陥検査装置用蛇行追従装置 | |
JP2001099625A (ja) | パターン検査装置およびパターン検査方法 | |
JPH0769276B2 (ja) | 容器内面検査装置 | |
JP3119581B2 (ja) | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
JP3039704B2 (ja) | 印字評価方法及び印字評価装置 | |
JP2715897B2 (ja) | Icの異物検査装置及び方法 | |
JP3202330B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP2000206052A (ja) | 欠陥検査装置、欠陥検査方法および記憶媒体 | |
JP2710685B2 (ja) | 外観検査による欠陥検出方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040315 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040330 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040512 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040615 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20040706 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040806 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040914 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20041012 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071022 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081022 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091022 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091022 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101022 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111022 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111022 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121022 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121022 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131022 Year of fee payment: 9 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |