JP4538135B2 - 欠陥検査装置 - Google Patents
欠陥検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4538135B2 JP4538135B2 JP2000160895A JP2000160895A JP4538135B2 JP 4538135 B2 JP4538135 B2 JP 4538135B2 JP 2000160895 A JP2000160895 A JP 2000160895A JP 2000160895 A JP2000160895 A JP 2000160895A JP 4538135 B2 JP4538135 B2 JP 4538135B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defect
- value
- line
- inspection object
- register
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ラインセンサを用いて検査対象物上に存在する欠陥を検出し、検出した欠陥の大きさや濃度等から欠陥の種別を判定する欠陥検査装置および欠陥検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のラインセンサを用いた欠陥検査装置で、濃度の異なる欠陥を区別して検出する場合には、センサの出力を各画素毎に複数の閾値を用いて2値化していた。
【0003】
また、検出した欠陥の濃度を測定するには、欠陥を検出する処理と同時に、欠陥を有する検査対象物全体の画像をフレームメモリ等に記録し、検出された欠陥の位置情報をたよりにフレームメモリ等の内部を検索し、検査対象物全体の画像中の該当箇所から欠陥の濃度データを取得していた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記の従来技術では、濃度の異なる欠陥を区別するために各画素毎に複数の閾値が必要になるので、これらの閾値を記憶する記憶装置や、これらの閾値を用いて2値化を行う2値化回路が大型化し、従って欠陥検査装置全体も大型化するという問題がある。
【0005】
また、このように複数の閾値を用いると、濃度の薄い大きな欠陥の中に、濃度の濃い小さな欠陥が存在する場合に、それぞれが独立した欠陥として検出さてしまうという問題もある。
【0006】
さらに、検出する欠陥の濃度を細かく分類しようとすると、分類する数だけ閾値が必要となり、これらの閾値を記憶する記憶装置や、これらの閾値を用いて2値化を行う2値化回路がさらに大型化し、従って欠陥検出装置全体もさらに大型化するという問題がある。
【0007】
また、検出された欠陥の濃度を測定するために、欠陥の位置情報をたよりにフレームメモリ等の内部を検索し、検査対象物全体の画像中の該当箇所を参照すると、検査対象物全体の画像中から該当箇所を検索する処理に時間がかかり、その結果、この処理を含む検査工程全体のスループットが上がらないという問題がある。
【0008】
本発明は、上記の問題を解決するためになされたもので、装置を小型化でき、また検査を高速化できる欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供するものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の要旨は、検査対象物上の各点の濃度レベルを検出するセンサエレメントが一直線上に並べられ、前記検査対象物上の1ライン分の領域における濃度レベルを検出し、出力するラインセンサと、このラインセンサまたは前記検査対象物を、前記ラインセンサのセンサエレメントが並べられた方向と交差する方向に移動させる移動装置と、各画素毎に一つの閾値を記憶する閾値記憶装置と、この閾値記憶装置が記憶する閾値を用いて、前記ラインセンサが出力する濃度レベルを2値化し、2値データを出力する2値化回路と、この2値化回路が出力する2値データが所定の値である場合にのみ、前記ラインセンサが出力する濃度レベルを保持し、保持した濃度レベルから、前記検査対象物上の1ライン分の領域に存在する欠陥の情報である1次元欠陥情報を生成するランレングス化装置と、このランレングス化装置が生成する各1次元欠陥情報を連結し、前記検査対象物上の2次元方向に広がる欠陥の情報である2次元欠陥情報を生成する連結処理装置とを有することを特徴とする欠陥検査装置である。
【0010】
また、本発明の要旨は、前記連結処理装置が生成する2次元欠陥情報に基づいて、前記検査対象物上に存在する欠陥の種別を判定する判定処理装置を有することを特徴とする欠陥検査装置である。
【0011】
また、本発明の要旨は、前記ラインセンサは濃度レベルをアナログデータとして出力し、前記ラインセンサと2値化回路との間に、前記ラインセンサが出力するアナログデータを多値のデジタルデータに変換し、変換したデジタルデータを前記2値化回路へ送るラインセンサインタフェースを有することを特徴とする欠陥検査装置である。
【0012】
また、本発明の要旨は、前記検査対象物を照明する照明装置を有することを特徴とする欠陥検査装置である。
【0013】
また、本発明の要旨は、前記ランレングス化装置は、前記検査対象物上の1ライン分の領域に存在する欠陥の始点位置を記憶する始点レジスタと、前記検査対象物上の1ライン分の領域に存在する欠陥の終点位置を記憶する終点レジスタと、前記検査対象物上の1ライン分の領域に存在する欠陥領域の各画素の濃度レベルの積算値を記憶する積算レジスタと、前記検査対象物上の1ライン分の領域に存在する欠陥領域の各画素の濃度レベルのピーク値を記憶するピークレジスタとを有し、前記ランレングス化装置が生成する1次元欠陥情報は、前記始点レジスタが記憶する欠陥の始点位置と、前記終点レジスタが記憶する欠陥の終点位置と、前記積算レジスタが記憶する濃度レベルの積算値と、前記ピークレジスタが記憶する濃度レベルのピーク値とを含むことを特徴とする欠陥検査装置である。
【0014】
また、本発明の要旨は、前記連結処理装置が生成する2次元欠陥情報は、前記検査対象物の2次元方向に広がる各欠陥の位置、幅、高さおよび面積と、各欠陥領域の各画素の濃度レベルの積算値およびピーク値と、前記濃度レベルの積算値を欠陥の面積で割った各欠陥における濃度レベルの平均値とを含むことを特徴とする欠陥検査装置である。
【0015】
また、本発明の要旨は、前記閾値記憶装置は、前記検査対象物上の各点に対して個別に定められた閾値を記憶することを特徴とする欠陥検査装置である。
【0016】
また、本発明の要旨は、検査対象物上の1ライン分の領域における濃度レベルを検出し、検出を行う領域を前記ラインと交差する方向に移動させ、各画素毎に一つの閾値を用いて、前記濃度レベルを2値化して2値データとし、この2値データが所定の値である場合にのみ、前記濃度レベルを保持し、保持した濃度レベルから、前記検査対象物上の1ライン分の領域に存在する欠陥の情報である1次元欠陥情報を生成し、生成した各1次元欠陥情報を連結し、前記検査対象物上の2次元方向に広がる欠陥の情報である2次元欠陥情報を生成することを特徴とする欠陥検査方法である。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態における欠陥検査装置の構成を図1を参照して説明する。符号1は、本発明の欠陥検査装置によって欠陥が検査される検査対象物である。検査対象物1の下には、この検査対象物1を下側から照明する照明装置2が配置されている。なお、本発明においては、本実施形態のように透過光を用いる他、反射光、散乱光等を用いたものでもよい。また、複数個の照明装置を用いることもできる。
【0018】
検査対象物1の上側には、この検査対象物1の画像を撮像するカメラ3が配置されている。カメラ3の内部には、撮像された画像を画像信号に変換するラインセンサ4が内蔵されている。このラインセンサ4は、画像の各画素における明るさ、すなわち濃度レベルを検出するセンサエレメントを一直線上に並べたものである。ラインセンサ4は、一回の撮像で検査対象物1上の1ライン分の領域における濃度レベルを検出し、検出結果を画像信号として出力する。このラインセンサ4が出力する画像信号は、アナログ信号であるものとする。なお、別の実施形態として、画像信号をデジタル信号の形式で出力するラインセンサを用いてもよい。
【0019】
検査対象物1は、図示しない移動装置によって、カメラ3内のラインセンサ4の長手方向、すなわちセンサエレメントが並べられた方向と直交する方向に移動可能となっている。この移動装置を用いて、検査対象物1を移動させながら検査対象物1の撮像を1ラインづつ行うことによって、検査対象物1の全面を撮像する。なお、本発明においては、検査対象物1に代えてカメラ3を移動するようにしてもよいし、双方を移動するようにしてもよい。
【0020】
前記ラインセンサ4が出力する画像信号は、ラインセンサインタフェース5に入力される。ラインセンサインタフェース5は、ラインセンサ4から入力されたアナログ信号である画像信号をA/D変換して多値のデジタル信号である多値データに変換し、変換した多値データを出力する。この多値データは、ラインセンサ4の各センサエレメントから得られる、各画素における濃度レベル毎に出力される。ラインセンサインタフェース5が出力する多値データは、2値化回路6およびランレングス化装置7に入力される。
【0021】
閾値記憶装置8には、検査対象物1の検査に先だって、各画素毎に予め定めた一つの閾値が記憶される。検査対象物1上の各画素のうち、この閾値を超える濃度データが得られる画素に相当する箇所は、欠陥と認識される。閾値記憶装置8は、記憶された所定の閾値を2値化回路6へ送る。
【0022】
2値化回路6は、ラインセンサインタフェース5から入力された、ラインセンサ4の各センサエレメントから得られる濃度データに基づく、各画素の多値データを、閾値記憶装置8から送られた閾値と比較し、各画素の多値データが閾値を超えていれば1を出力し、各画素の多値データが閾値以下であれば0を出力することによって、ラインセンサインタフェース5から送られた多値データを2値データに変換する。ここで、閾値記憶装置8から送られる閾値は、全画素に共通の一定値であっても、画素毎に異なる値であってもよい。また、2値データは、多値データが閾値未満であれば1、閾値以上であれば0としてもよい。
【0023】
ランレングス化装置7は、2値化回路6から送られる2値データに基づいて、この2値データが0から1へ変化する位置、すなわち検査対象物1上の欠陥の始点位置、および、2値データが1から0へ変化する位置、すなわち検査対象物1上の欠陥の終点位置を検出する。
【0024】
これと同時に、ランレングス化装置7は、2値データが1である間、すなわち欠陥が存在する位置で、ラインセンサインタフェース5が出力する多値データに基づいて、2値データが1である間の多値データのピーク値を検出し、また、2値データが1である間の多値データの積算値を算出する。
【0025】
そして、ランレングス化装置7は、1つのライン上で、2値データが0から1へ変化する位置すなわち欠陥の始点位置を記録する終点レジスタ、1から0へ変化する位置すなわち欠陥の終点位置を記録する終点レジスタ、欠陥内の多値データのピーク値を記録するピークレジスタ、欠陥内の多値データの積算値を記録する積算レジスタを含み、これら各データを含むランレングスデータを出力する。このランレングスデータは、1ライン分のデータを1単位とする。このとき、多値データから生成する最大値および積算値を、多値データと閾値との差分の最大値および積算値としてもよい。ランレングス化装置7が出力するランレングスデータは、連結処理装置9に入力される。
【0026】
連結処理装置9は、ランレングス化装置7が出力する各ランレングスデータ(1ライン分の欠陥データ)を入力し、入力した各ランレングスデータに基づいて、検査対象物1上に存在する欠陥が、ラインセンサ4の長手方向と直交する方向に広がっているか否かを判断し、広がっているのであれば、ランレングスデータどうしを同一の欠陥に関する情報として連結し、検査対象物1の2次元方向に広がる1つの欠陥に関する情報として2次元欠陥情報を出力する。
【0027】
すなわち、連結処理装置9は、検査対象物1の2次元方向に広がる1つの欠陥に含まれる全画素の多値データの総積算値を算出する。具体的には、各ランレングスデータに含まれる、1ライン毎の積算値を総合計する。また、各ランレングスデータに含まれる多値データのピーク値どうしを比較し、ピーク値の最大値を抽出し、2次元方向に広がる1つの欠陥に含まれる全画素の濃度データのピーク値を抽出する。
【0028】
また、連結処理装置9は、各ランレングスデータに含まれる欠陥の始点位置および終点位置から、検査対象物1の2次元方向における欠陥の位置、幅、高さおよび面積を算出する。ここで、欠陥の位置とは、1つの欠陥の中心位置である。また、欠陥の幅とは、ラインセンサ4の長手方向における、1つの欠陥の長さである。また、欠陥の高さとは、ラインセンサ4の長手方向と直交する方向における、1つの欠陥の長さである。
【0029】
また、連結処理装置9は、前記多値データの総積算値を欠陥の面積で割り、1つの欠陥における多値データの平均値を算出する。そして、連結処理装置9は、欠陥の位置、幅、高さ、面積および多値データの最大値、積算値、平均値を含む2次元欠陥情報を出力する。
【0030】
判定処理装置10は、前記連結処理装置9が出力する2次元欠陥情報に含まれる個々の欠陥の大きさおよび濃度から、個々の欠陥の種別を判定し、この判定結果に基づいて適切な処理を行う。
【0031】
【実施例】
本発明の実施例を図2を参照して説明する。検査対象物1は、照明装置2によって照明される。カメラ3は、検査対象物1の画像を撮像する。カメラ3内のラインセンサ4は、50MHzで駆動される。すなわち、ラインセンサ4は、50MHzの周波数でラインセンサ4中の各センサエレメントの検出値(アナログ値)を順次出力する。これらの検出値の列が画像信号である。
【0032】
検査対象物1は、移動装置によって、カメラ3内のラインセンサ4の長手方向と直交する方向に移動され、カメラ3によって1ラインづつの画像が撮像される。これにより、カメラ3内のラインセンサ4は、検査対象物1の全面の画像を撮像する。
【0033】
ラインセンサ4が出力するアナログ信号である画像信号は、A/D変換器5aへ送られ、ここでラインセンサ4の駆動周波数である50MHzに同期してA/D変換され、1画素当たり8ビットの多値データとされる。
【0034】
2値化回路6も、ラインセンサ4の駆動周波数である50MHzに同期して、各画素の多値データを、あらかじめ閾値メモリ8aに記憶されていた各画素の閾値と比較し、多値データが閾値を超えていれば1を出力し、多値データが閾値以下であれば0を出力することによって、多値データを2値データに変換する。
【0035】
閾値メモリ8aは、各画素毎に一つの閾値を記憶している。この閾値は、検査に先立って、各画素毎にあらかじめ定められ、閾値メモリ8aに記憶される。閾値メモリ8aに記憶される閾値は、1ライン中の各画素に共通の一定値であっても、各画素毎に異なる値であってもよい。
【0036】
ランレングス化装置7は、AND回路7aと、ランレングス化回路7bとを内蔵している。AND回路7aは、A/D変換器5aが出力する多値データと、2値化回路6が出力する2値データとの論理積をとり、2値データを用いて多値データをマスクする。すなわち、AND回路7aが出力するマスクデータ内には、2値化回路6で閾値を超えると判定された画素の多値データのみが残っており、閾値以下と判定された画素の多値データは0とされる。すなわち、欠陥が検出された画素の多値データのみが残り、欠陥が検出されなかった画素の多値データは廃棄される。AND回路7aが出力するマスクデータは、前記ランレングス化回路7bに入力される。
【0037】
ランレングス化回路7bは、図示していない画素カウンタ、始点レジスタ、積算レジスタ、ピークレジスタを内蔵している。
【0038】
画素カウンタは、16ビットのアップカウンタであり、処理中の画素位置を特定するためのものである。この画素カウンタの値は、検査対象物1の走査開始時に1に初期化され、ラインセンサ4の駆動周波数である50MHzをクロックとして1づつカウントアップされる。
【0039】
始点レジスタは、16ビットのレジスタであり、1つの欠陥の先頭画素位置より一つ前の画素の画素カウンタ値を保持する。この始点レジスタ値は、マスクデータが0であれば、その時点での画素カウンタの値に更新され、マスクデータが0でなければ、以前から保持していた値のままとされる。
【0040】
積算レジスタは、24ビットのレジスタであり、1つの欠陥内の多値データを順次加算した積算値を保持する。この積算レジスタ値は、マスクデータが0であれば0とされ、マスクデータが0でなければ、その時点での積算値にマスクデータの値を加算した値とされる。
【0041】
ピークレジスタは、8ビットのレジスタであり、1つの欠陥内の多値データのピーク値を保持する。このピークレジスタ値は、マスクデータが0であれば0とされ、マスクデータが0でなければ、その時点でのピークレジスタ値とマスクデータ値とが比較され、その時点でのピークレジスタ値がマスクデータ値未満であれば、マスクデータの値に更新され、その時点でのピークレジスタ値がマスクデータ値以上であれば、以前から保持していた値のままとされる。
【0042】
ランレングス化回路7bは、マスクデータが0ではない状態から0へ変化したとき、すなわち欠陥の終点位置で、マスクデータが0へ変化した直後の画素カウンタ値(欠陥の終点位置)と、マスクデータが0へ変化する直前の始点レジスタ値、積算レジスタ値、ピークレジスタの値とを、ランレングスデータとして出力する。画素カウンタは16ビット、始点レジスタは16ビット、積算レジスタは24ビット、ピークレジスタは8ビットなので、ランレングスデータは合計で64ビットとなる。
【0043】
図3に、ランレングスデータ生成の一例を示す。この場合、ランレングス化回路7bは、画素カウンタ値が7になったとき、ランレングスデータを出力する。このランレングスデータにおける画素カウンタ値は7、始点レジスタ値は3、積算レジスタ値は353、ピークレジスタ値は132である。
【0044】
連結処理装置9は、各ランレングスデータに含まれる、欠陥の始点位置および終点位置に関する情報を基に、欠陥が、ラインセンサ4の長手方向と直交する方向に続いているか否かを判断する。そして、2次元方向に連続する1つの欠陥の情報を1つの2次元欠陥情報として出力する。この2次元欠陥情報は、欠陥の位置、幅、高さ、面積、欠陥に含まれる画素の濃度レベルの積算値、平均値、最大値を含む。ここで、欠陥の位置とは、ラインセンサ4の長手方向および長手方と直交する方向における、1つの欠陥の中心位置である。また、欠陥の幅とは、ラインセンサ4の長手方向における、1つの欠陥の長さである。また、欠陥の高さとは、ラインセンサ4の長手方向と直交する方向における、1つの欠陥の長さである。
【0045】
図4に、連結処理装置9が出力する2次元欠陥情報の一例を示す。x軸方向位置とは、1つの欠陥の、ラインセンサ4の長手方向での中心位置、すなわち連結された個々のランレングスデータにおける、欠陥の始点位置(始点座標)の最小値(始点レジスタ値の最小値)と終点位置(終点座標)の最大値(画素カウンタ値の最大値)との中間である。y軸方向位置とは、1つの欠陥の、ラインセンサ4の長手方向と直交する方向での中心位置、すなわちランレングスデータが出力されるラインの中心位置である。
【0046】
幅とは、1つの欠陥のx軸方向での長さ、すなわち連結された個々のランレングスデータにおける、欠陥の終点位置(画素カウンタ値)の最大値と始点位置(始点レジスタ値)の最小値との差から1を引いた値である。高さとは、1つの欠陥のy軸方向での長さ、すなわち連続してランレングスデータが出力されるライン数である。
【0047】
面積とは、1つの欠陥の面積、すなわち連結された個々のランレングスデータにおける、欠陥の終点位置(画素カウンタ値)と始点位置(始点レジスタ値)との差から1を引いた値を積算した値である。
【0048】
濃度レベルの積算値とは、1つの欠陥に含まれる全画素の多値データを積算した値である。具体的には、各ラインにおけるランレングスデータに含まれる積算レジスタ値を総合計した値である。濃度レベルの平均値とは、濃度レベルの積算値を欠陥の面積、すなわち1つの欠陥に含まれる全画素数で割った値である。濃度レベルの最大値とは、一つの欠陥に含まれる全画素のなかでの最大の多値データである。具体的には、各ラインにおけるランレングスデータのピーク値の中で最も大きいものである。
このような連結処理装置9から出力される2次元欠陥情報に基づいて、判定処理装置によって個々の欠陥の種別を判定する。
【0049】
【発明の効果】
本発明によれば、各画素に対して1つの閾値のみを用いて2値化を行うので、閾値を記憶する記憶装置や、閾値を用いて2値化を行う2値化回路を小型化することができ、従って欠陥検査装置全体を小型化することができる。
【0050】
また、本発明によれば、検出された欠陥の濃度を測定する際に、欠陥部のみの濃度データ中から該当箇所を検索すればよいので、該当箇所を高速で検索することができ、その結果、この検索処理を含む検査工程全体を高速化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態における欠陥検査装置の構成図。
【図2】 本発明の実施例における欠陥検査装置の構成図。
【図3】 ランレングスデータ生成の一例を示す図。
【図4】 連結処理装置9が出力する2次元欠陥情報の一例を示す図。
【符号の説明】
1 検査対象物 2 照明装置
3 カメラ
4 ラインセンサ 5 ラインセンサインタフェース
5a A/D変換器 6 2値化回路
7 ランレングス化装置 7a AND回路
7b ランレングス化回路 8 閾値記憶装置
8a 閾値メモリ 9 連結処理装置
10 判定処理装置
Claims (1)
- 検査対象物上の各点の濃度レベルを検出する画素が一直線上に並べられ、前記検査対象物上の1ライン分の領域における濃度レベルを検出し、出力するラインセンサと、
前記ラインセンサまたは前記検査対象物を、前記ラインセンサの画素が並べられた方向と交差する方向に移動させる移動装置と、
各画素毎に一つの閾値を記憶する閾値記憶装置と、
前記閾値記憶装置が記憶する閾値を用いて、前記ラインセンサの各画素から出力する濃度レベルを2値化し、2値データを出力する2値化回路と、
前記2値化回路が出力する2値データが所定の値である場合にのみ、前記ラインセンサが出力する濃度レベルを保持し、保持した濃度レベルから、前記検査対象物上の1ライン分の領域に存在する欠陥の情報である1次元欠陥情報を生成するランレングス化装置と、
前記ランレングス化装置が生成する各1次元欠陥情報を連結し、前記検査対象物上の2次元方向に広がる欠陥の情報である2次元欠陥情報を生成する連結処理装置とを有し、
前記ランレングス化装置は、
前記検査対象物上の1ライン分の領域に存在する欠陥の始点位置を記憶する始点レジスタと、
前記検査対象物上の1ライン分の領域に存在する欠陥の終点位置を記憶する終点レジスタと、
前記検査対象物上の1ライン分の領域に存在する欠陥領域の各画素の濃度レベルの積算値を記憶する積算レジスタと、
前記検査対象物上の1ライン分の領域に存在する欠陥領域の各画素の濃度レベルのピーク値を記憶するピークレジスタとを有し、
前記ランレングス化装置が生成する1次元欠陥情報は、前記始点レジスタが記憶する欠陥の始点位置と、前記終点レジスタが記憶する欠陥の終点位置と、前記積算レジスタが記憶する濃度レベルの積算値と、前記ピークレジスタが記憶する濃度レベルのピーク値とを含むことを特徴とする欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000160895A JP4538135B2 (ja) | 2000-05-30 | 2000-05-30 | 欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000160895A JP4538135B2 (ja) | 2000-05-30 | 2000-05-30 | 欠陥検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001337041A JP2001337041A (ja) | 2001-12-07 |
JP4538135B2 true JP4538135B2 (ja) | 2010-09-08 |
Family
ID=18665018
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000160895A Expired - Lifetime JP4538135B2 (ja) | 2000-05-30 | 2000-05-30 | 欠陥検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4538135B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8300918B2 (en) | 2007-03-30 | 2012-10-30 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Defect inspection apparatus, defect inspection program, recording medium storing defect inspection program, figure drawing apparatus and figure drawing system |
JP5015721B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2012-08-29 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 欠陥検査装置、欠陥検査プログラム、図形描画装置および図形描画システム |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05130989A (ja) * | 1991-11-11 | 1993-05-28 | Hitachi Medical Corp | Ct画像の処理装置 |
JPH11142348A (ja) * | 1997-11-13 | 1999-05-28 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 欠陥検査装置用蛇行追従装置及び欠陥検査装置 |
JP2000065755A (ja) * | 1998-08-24 | 2000-03-03 | Nkk Corp | 表面検査装置 |
JP2001307068A (ja) * | 2000-04-21 | 2001-11-02 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 分割画像データ連結処理装置及び方法、並びにその記録媒体 |
-
2000
- 2000-05-30 JP JP2000160895A patent/JP4538135B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05130989A (ja) * | 1991-11-11 | 1993-05-28 | Hitachi Medical Corp | Ct画像の処理装置 |
JPH11142348A (ja) * | 1997-11-13 | 1999-05-28 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 欠陥検査装置用蛇行追従装置及び欠陥検査装置 |
JP2000065755A (ja) * | 1998-08-24 | 2000-03-03 | Nkk Corp | 表面検査装置 |
JP2001307068A (ja) * | 2000-04-21 | 2001-11-02 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 分割画像データ連結処理装置及び方法、並びにその記録媒体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001337041A (ja) | 2001-12-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4538135B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP2710527B2 (ja) | 周期性パターンの検査装置 | |
JPH04147045A (ja) | 表面検査装置 | |
JP3039704B2 (ja) | 印字評価方法及び印字評価装置 | |
JP2715897B2 (ja) | Icの異物検査装置及び方法 | |
JP2006035505A (ja) | 印刷物の検査方法及び装置 | |
JPH1114317A (ja) | 外観検査方法及びその装置 | |
JPS61205811A (ja) | 欠陥検出方法 | |
JP2710685B2 (ja) | 外観検査による欠陥検出方法 | |
JP3119376B2 (ja) | 印字評価方法及び印字評価装置 | |
JP3119375B2 (ja) | 印字評価方法及び印字評価装置 | |
JP3072787B2 (ja) | 印字評価方法及び印字評価装置 | |
JP2770637B2 (ja) | パターン検査装置 | |
JPS62297981A (ja) | 画像の2値化方式 | |
JP3144067B2 (ja) | プリント配線基板の検査装置 | |
JP3072788B2 (ja) | 印字評価方法及び印字評価装置 | |
JP3029142B2 (ja) | 印字評価方法及び印字評価装置 | |
JP2003161702A (ja) | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 | |
JP2787851B2 (ja) | パターン特徴抽出装置 | |
JPH0991435A (ja) | 画像処理方法及び画像処理装置 | |
JPH0589224A (ja) | 広い対象領域に散在する微小対象物を検出する方法 | |
JP2000306093A (ja) | 外観検査方法及び装置 | |
JPH0617781B2 (ja) | 面積測定装置 | |
JP2666707B2 (ja) | 画面検査装置 | |
JP2000223017A (ja) | 微細パタ−ンの欠陥検出方法及び装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20040720 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070305 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090824 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091020 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091210 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100601 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100621 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130625 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4538135 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |