JP2770637B2 - パターン検査装置 - Google Patents
パターン検査装置Info
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- JP2770637B2 JP2770637B2 JP4052094A JP5209492A JP2770637B2 JP 2770637 B2 JP2770637 B2 JP 2770637B2 JP 4052094 A JP4052094 A JP 4052094A JP 5209492 A JP5209492 A JP 5209492A JP 2770637 B2 JP2770637 B2 JP 2770637B2
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、パターン検査装置に関
し、特に液晶パネル上に表示されるドットマトリックス
パターンの表示状態の検査に適用しうる画像処理を応用
したパターン検査装置に関する。
し、特に液晶パネル上に表示されるドットマトリックス
パターンの表示状態の検査に適用しうる画像処理を応用
したパターン検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のパターン検査装置は、例えば、特
許願平成１年第５２３４６号に示されているようなパタ
ーン検査装置がある。
許願平成１年第５２３４６号に示されているようなパタ
ーン検査装置がある。
【０００３】図３は、従来のパターン検査装置における
検査方法を説明するための模式図である。図３（ａ）、
（ｂ）に示される全消灯パターン及び全点灯パターンは
比較され、それらの差画像が検出される。図３（ｃ）に
示されるように、全消灯パターンの欠陥ｎの位置は、画
像の濃淡レベルが低くなり、２値化した場合に“０”と
して検出される。
検査方法を説明するための模式図である。図３（ａ）、
（ｂ）に示される全消灯パターン及び全点灯パターンは
比較され、それらの差画像が検出される。図３（ｃ）に
示されるように、全消灯パターンの欠陥ｎの位置は、画
像の濃淡レベルが低くなり、２値化した場合に“０”と
して検出される。
【０００４】一方、図３（ｄ）に示す基準パターンは、
欠陥検査を行う有効エリアは点灯すべきパターンが作ら
れており、これら比較パターンと基準パターンは、比較
され、図３（ｆ）に示す有効な欠陥のみが検出される。
欠陥検査を行う有効エリアは点灯すべきパターンが作ら
れており、これら比較パターンと基準パターンは、比較
され、図３（ｆ）に示す有効な欠陥のみが検出される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この従来のパターン検
査装置では、全点灯パターンと全消灯パターンの比較を
直接行って欠陥検出をしているため、全点灯パターンと
全消灯パターンでレベルの差がある場合は検出できな
い。つまり、全点灯時に消灯し、かつ、全消灯時に点灯
する逆点灯欠陥ドットの検出が不可能であるという問題
点があった。
査装置では、全点灯パターンと全消灯パターンの比較を
直接行って欠陥検出をしているため、全点灯パターンと
全消灯パターンでレベルの差がある場合は検出できな
い。つまり、全点灯時に消灯し、かつ、全消灯時に点灯
する逆点灯欠陥ドットの検出が不可能であるという問題
点があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のパターン検査装
置は、被検査物に全点灯パターンを発生させる全点灯パ
ターン発生回路と、前記被検査物に全消灯パターンを発
生させる全消灯パターン発生回路と、前記全点灯パター
ン発生回路からの駆動信号により正常な全点灯表示パタ
ーンを発生させ記憶する基準パターンメモリ回路と、前
記被検査物に発生させたパターンを撮像するための光電
変換スキャナと、この光電変換スキャナから出力される
映像信号を入力してデジタル信号を出力するＡ／Ｄ変換
回路と、前記全点灯パターン発生回路で前記被検査物を
駆動した時の前記Ａ／Ｄ変換回路からのデジタル信号を
記憶する全点灯画像メモリ回路と、前記全消灯パターン
発生回路で前記被検査物を駆動した時の前記Ａ／Ｄ変換
回路からのＡ／Ｄ信号を記憶する全消灯画像メモリ回路
と、前記全消灯画像メモリ回路の内容を反転する反転回
路と、前記被検査物の全点灯パターンおよび全消灯パタ
ーンを比較するために前記反転回路の出力と全点灯画像
メモリ回路の内容の論理和を出力する比較回路と、この
比較結果画像の平滑化を行う平滑化回路と、この平滑化
画像を“０”と“１”の２値に変換する２値化回路と、
この２値画像からドト表示部だけ切り出しを行い欠陥を
検出し検査結果画像として出力する画像切り出し回路
と、この検査結果画像からノイズを除去し欠陥画像を出
力するノイズ除去回路と、この欠陥画像から抽出した欠
陥領域の面積と位置情報の欠陥信号を出力する領域抽出
回路とを備えている。
置は、被検査物に全点灯パターンを発生させる全点灯パ
ターン発生回路と、前記被検査物に全消灯パターンを発
生させる全消灯パターン発生回路と、前記全点灯パター
ン発生回路からの駆動信号により正常な全点灯表示パタ
ーンを発生させ記憶する基準パターンメモリ回路と、前
記被検査物に発生させたパターンを撮像するための光電
変換スキャナと、この光電変換スキャナから出力される
映像信号を入力してデジタル信号を出力するＡ／Ｄ変換
回路と、前記全点灯パターン発生回路で前記被検査物を
駆動した時の前記Ａ／Ｄ変換回路からのデジタル信号を
記憶する全点灯画像メモリ回路と、前記全消灯パターン
発生回路で前記被検査物を駆動した時の前記Ａ／Ｄ変換
回路からのＡ／Ｄ信号を記憶する全消灯画像メモリ回路
と、前記全消灯画像メモリ回路の内容を反転する反転回
路と、前記被検査物の全点灯パターンおよび全消灯パタ
ーンを比較するために前記反転回路の出力と全点灯画像
メモリ回路の内容の論理和を出力する比較回路と、この
比較結果画像の平滑化を行う平滑化回路と、この平滑化
画像を“０”と“１”の２値に変換する２値化回路と、
この２値画像からドト表示部だけ切り出しを行い欠陥を
検出し検査結果画像として出力する画像切り出し回路
と、この検査結果画像からノイズを除去し欠陥画像を出
力するノイズ除去回路と、この欠陥画像から抽出した欠
陥領域の面積と位置情報の欠陥信号を出力する領域抽出
回路とを備えている。
【０００７】
【実施例】次に、本発明の実施例について、図面を参照
して詳細に説明する。図１は、本発明の一実施例のブロ
ック図である。図２は、反転回路８及び比較回路９及び
画像切り出し回路１２の動作を説明するための図であ
る。
して詳細に説明する。図１は、本発明の一実施例のブロ
ック図である。図２は、反転回路８及び比較回路９及び
画像切り出し回路１２の動作を説明するための図であ
る。
【０００８】図１に示すパターン検査装置は、被検査物
１６に全点灯パターンを発生させる全点灯パターン発生
回路１、被検査物１６に全消灯パターンを発生させる全
消灯パターン発生回路２と、全点灯パターン発生回路１
からの駆動信号２ｂにより正常な全点灯表示パターンを
発生させ記憶する基準パターンメモリ回路３と、被検査
物１６に発生させたパターンを撮像するための光電変換
スキャナ４と、この光電変換スキャナ４から出力される
映像信号ｄを入力してデジタル信号ｅを出力するＡ／Ｄ
変換回路５と、このデジタル信号ｅを記憶するための全
点灯画像メモリ回路６及び全消灯画像メモリ回路７と、
全消灯画像メモリ回路７の内容を反転する反転回路８
と、反転回路８の出力である反転画像ｈと全点灯画像メ
モリ回路６の出力である全点灯画像ｆの比較を行う比較
回路９と、この比較回路９の出力である比較画像ｉの平
滑化を行う平滑化回路１０と、この平滑化回路１０の出
力である平滑化画像ｊを“０”と“１”の２値に変換す
る２値化回路１１と、この２値化回路１１の出力である
２値画像ｋと基準パターンメモリ回路３の出力である基
準パターンｃからドット表示部だけ切り出しを行い欠陥
を検出し検査結果画像ｌとして出力する画像切り出し回
路１２と、この検査結果画像ｌからノイズを除去し欠陥
画像ｍを出力するノイズ除去回路１３と、この欠陥画像
ｍから欠陥領域を抽出し面積と位置情報の欠陥信号ｎを
出力する領域抽出回路１４と、欠陥信号ｎを入力して面
積と位置から欠陥か欠陥でないかを判定する判定回路１
５とで構成される。
１６に全点灯パターンを発生させる全点灯パターン発生
回路１、被検査物１６に全消灯パターンを発生させる全
消灯パターン発生回路２と、全点灯パターン発生回路１
からの駆動信号２ｂにより正常な全点灯表示パターンを
発生させ記憶する基準パターンメモリ回路３と、被検査
物１６に発生させたパターンを撮像するための光電変換
スキャナ４と、この光電変換スキャナ４から出力される
映像信号ｄを入力してデジタル信号ｅを出力するＡ／Ｄ
変換回路５と、このデジタル信号ｅを記憶するための全
点灯画像メモリ回路６及び全消灯画像メモリ回路７と、
全消灯画像メモリ回路７の内容を反転する反転回路８
と、反転回路８の出力である反転画像ｈと全点灯画像メ
モリ回路６の出力である全点灯画像ｆの比較を行う比較
回路９と、この比較回路９の出力である比較画像ｉの平
滑化を行う平滑化回路１０と、この平滑化回路１０の出
力である平滑化画像ｊを“０”と“１”の２値に変換す
る２値化回路１１と、この２値化回路１１の出力である
２値画像ｋと基準パターンメモリ回路３の出力である基
準パターンｃからドット表示部だけ切り出しを行い欠陥
を検出し検査結果画像ｌとして出力する画像切り出し回
路１２と、この検査結果画像ｌからノイズを除去し欠陥
画像ｍを出力するノイズ除去回路１３と、この欠陥画像
ｍから欠陥領域を抽出し面積と位置情報の欠陥信号ｎを
出力する領域抽出回路１４と、欠陥信号ｎを入力して面
積と位置から欠陥か欠陥でないかを判定する判定回路１
５とで構成される。
【０００９】次に本実施例の動作説明を行う。駆動信号
ａを、全点灯パターン発生回路１から加えることによ
り、被検査物１６に全点灯パターンを発生させる。全点
灯パターン発生回路１からの駆動信号ｂにより正常な全
点灯表示パターンを基準パターンメモリ回路３に発生さ
せ記憶させる。全点灯パターンを光電変換スキャナ４に
より撮像し映像信号ｄに変換する。この映像信号ｄをＡ
／Ｄ変換回路５によりデジタル信号ｅに変換する。この
デジタル信号ｅを全点灯画像メモリ回路６に記憶させ
る。
ａを、全点灯パターン発生回路１から加えることによ
り、被検査物１６に全点灯パターンを発生させる。全点
灯パターン発生回路１からの駆動信号ｂにより正常な全
点灯表示パターンを基準パターンメモリ回路３に発生さ
せ記憶させる。全点灯パターンを光電変換スキャナ４に
より撮像し映像信号ｄに変換する。この映像信号ｄをＡ
／Ｄ変換回路５によりデジタル信号ｅに変換する。この
デジタル信号ｅを全点灯画像メモリ回路６に記憶させ
る。
【００１０】次に、駆動信号１ａを、全消灯パターン発
生回路２から加えることにより、被検査物に全消灯パタ
ーンを発生させる。全消灯パターンを光電変換スキャナ
４により撮像し映像信号ｄに変換する。この映像信号ｄ
をＡ／Ｄ変換回路５によりデジタル信号ｅに変換する。
このデジタル信号ｅを全消灯画像メモリ回路７に記憶さ
せる。全点灯パターンで発生する欠陥位置の濃淡値と全
消灯パターンで発生する欠陥位置の濃淡値を同レベルに
するために、全消灯画像メモリ回路７の出力である全消
灯画像ｇの内容を反転回路８で反転させる。この結果が
反転画像ｈである。
生回路２から加えることにより、被検査物に全消灯パタ
ーンを発生させる。全消灯パターンを光電変換スキャナ
４により撮像し映像信号ｄに変換する。この映像信号ｄ
をＡ／Ｄ変換回路５によりデジタル信号ｅに変換する。
このデジタル信号ｅを全消灯画像メモリ回路７に記憶さ
せる。全点灯パターンで発生する欠陥位置の濃淡値と全
消灯パターンで発生する欠陥位置の濃淡値を同レベルに
するために、全消灯画像メモリ回路７の出力である全消
灯画像ｇの内容を反転回路８で反転させる。この結果が
反転画像ｈである。
【００１１】次に、全点灯パターンで発生する欠陥と全
消灯パターンで発生する欠陥を１枚の画像に合成するた
めに、全点灯画像メモリ回路６からの出力である全点灯
画像ｆと反転画像ｈの論理和を比較回路９で作成する。
このとき、反転回路８で欠陥位置の濃淡値レベルを同じ
にしてあるため、逆点灯欠陥の検出が可能となる。平滑
化回路１０で比較回路９の出力である比較画像ｌの高周
波成分を除去するために３×３のマトリックス演算子を
使用して局所処理を画像全体に対して行う。平滑化回路
１０の出力である平滑化画像ｊを２値化回路１１で
“０”と“１”の２値画像ｋに変換する。このとき、欠
陥位置は“１”で検出される。
消灯パターンで発生する欠陥を１枚の画像に合成するた
めに、全点灯画像メモリ回路６からの出力である全点灯
画像ｆと反転画像ｈの論理和を比較回路９で作成する。
このとき、反転回路８で欠陥位置の濃淡値レベルを同じ
にしてあるため、逆点灯欠陥の検出が可能となる。平滑
化回路１０で比較回路９の出力である比較画像ｌの高周
波成分を除去するために３×３のマトリックス演算子を
使用して局所処理を画像全体に対して行う。平滑化回路
１０の出力である平滑化画像ｊを２値化回路１１で
“０”と“１”の２値画像ｋに変換する。このとき、欠
陥位置は“１”で検出される。
【００１２】ドット表示部とそれ以外の部分の分離をす
るため、基準パターンメモリ回路３の出力である基準パ
ターンｃと２値画像ｋの比較を画像切り出し回路１２で
行う。画像切り出し回路１２では、２枚の画像の論理積
を検査結果画像ｌとして検出する。基準パターンｃは表
示有効エリアがドット毎に分離されたパターンであるた
め、画像切り出し回路１２では欠陥検出と同時に隣接し
たドット同士が連結して検出された場合の分離も行うこ
とができる。これによりドット単位での正確な面積位置
による欠陥判定が可能となる。
るため、基準パターンメモリ回路３の出力である基準パ
ターンｃと２値画像ｋの比較を画像切り出し回路１２で
行う。画像切り出し回路１２では、２枚の画像の論理積
を検査結果画像ｌとして検出する。基準パターンｃは表
示有効エリアがドット毎に分離されたパターンであるた
め、画像切り出し回路１２では欠陥検出と同時に隣接し
たドット同士が連結して検出された場合の分離も行うこ
とができる。これによりドット単位での正確な面積位置
による欠陥判定が可能となる。
【００１３】画像切り出し回路１２によりドット毎に分
離された検査結果画像ｌの微小領域及び孤立点を除去す
るためにノイズ除去回路１３で検査結果画像ｌを縦横等
倍に収縮をして除去する。ノイズ除去後の画像が欠陥画
像ｍである。欠陥画像ｍから閉領域を領域抽出回路１４
で抽出し面積、位置情報である欠陥信号ｎを出力する。
面積、位置情報により欠陥であるか、ないかの判定を行
い、判定回路１５で表示部の良否の判定をする。
離された検査結果画像ｌの微小領域及び孤立点を除去す
るためにノイズ除去回路１３で検査結果画像ｌを縦横等
倍に収縮をして除去する。ノイズ除去後の画像が欠陥画
像ｍである。欠陥画像ｍから閉領域を領域抽出回路１４
で抽出し面積、位置情報である欠陥信号ｎを出力する。
面積、位置情報により欠陥であるか、ないかの判定を行
い、判定回路１５で表示部の良否の判定をする。
【００１４】図２は、図１に示した反転回路８及び比較
回路９及び画像切り出し回路１２の動作を説明するため
の図である。
回路９及び画像切り出し回路１２の動作を説明するため
の図である。
【００１５】図２（ｂ）に示される全消灯画像は、図２
（ａ）に示される全点灯画像で発生する欠陥位置の濃淡
値と図２（ｂ）の全消灯画像で発生する欠陥位置の濃淡
値を同レベルにするために反転回路８内で濃淡値を反転
され、図２（ｄ）の反転画像として出力される。図２
（ｄ）の反転画像に示されるように、全消灯画像の欠陥
位置の濃淡値レベルは、高くなる。
（ａ）に示される全点灯画像で発生する欠陥位置の濃淡
値と図２（ｂ）の全消灯画像で発生する欠陥位置の濃淡
値を同レベルにするために反転回路８内で濃淡値を反転
され、図２（ｄ）の反転画像として出力される。図２
（ｄ）の反転画像に示されるように、全消灯画像の欠陥
位置の濃淡値レベルは、高くなる。
【００１６】次に、図２（ａ）の全点灯画像での欠陥と
図２（ｄ）反転画像の欠陥を同一画像内に合成するため
に図２（ａ）に示される全点灯画像の内容と図２（ｄ）
に示される反転画像の内容を比較回路９内で論理和を行
う。図２（ｅ）に示されるように全点灯パターンでの欠
陥、全消灯パターンでの欠陥位置はレベルが高く“０”
と“１”に２値化した場合“１”で検出される。
図２（ｄ）反転画像の欠陥を同一画像内に合成するため
に図２（ａ）に示される全点灯画像の内容と図２（ｄ）
に示される反転画像の内容を比較回路９内で論理和を行
う。図２（ｅ）に示されるように全点灯パターンでの欠
陥、全消灯パターンでの欠陥位置はレベルが高く“０”
と“１”に２値化した場合“１”で検出される。
【００１７】次に、図２（ｅ）に示される比較画像と図
２（ｃ）に示される基準パターンの論理積を画像切り出
し回路１２で行い図２（ｆ）に示されるような検査結果
画像を得る。図２（ｃ）に示される基準パターンはドッ
ト表示部がレベル“１”でそれ以外はレベル“０”であ
り、また、ドット毎に分離された画像である。したがっ
て、図２（ｆ）に示されるように、ドット表示部の有効
欠陥のみがドット単位で、レベル“１”で検出される。
２（ｃ）に示される基準パターンの論理積を画像切り出
し回路１２で行い図２（ｆ）に示されるような検査結果
画像を得る。図２（ｃ）に示される基準パターンはドッ
ト表示部がレベル“１”でそれ以外はレベル“０”であ
り、また、ドット毎に分離された画像である。したがっ
て、図２（ｆ）に示されるように、ドット表示部の有効
欠陥のみがドット単位で、レベル“１”で検出される。
【００１８】
【発明の効果】本発明のパターン検査装置は、全消灯画
像メモリ回路に反転回路を加えることによって逆点灯欠
陥ドットの検出も可能になるという効果がある。
像メモリ回路に反転回路を加えることによって逆点灯欠
陥ドットの検出も可能になるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図２】図１に示す反転回路８及び比較回路９及び画像
切り出し回路１２の動作を説明するための図である。
切り出し回路１２の動作を説明するための図である。
【図３】従来のパターン検査装置での検査方法を説明す
るための模式図である。
るための模式図である。
１ 全点灯パターン発生回路 ２ 全消灯パターン発生回路 ３ 基準パターンメモリ回路 ４ 光電変換回路 ５ Ａ／Ｄ変換回路 ６ 全点灯画像メモリ回路 ７ 全消灯画像メモリ回路 ８ 反転回路 ９ 比較回路 １０ 平滑化回路 １１ ２値化回路 １２ 画像切り出し回路 １３ ノイズ除去回路 １４ 領域抽出回路 １５ 判定回路 ａ 駆動信号 ｂ 駆動信号 ｃ 基準パターン ｄ 映像信号 ｅ デジタル信号 ｆ 全点灯画像 ｇ 全消灯画像 ｈ 反転画像 ｉ 比較画像 ｊ 平滑化画像 ｋ ２値画像 ｌ 検査結果画像 ｍ 欠陥画像 ｎ 欠陥信号
Claims (1)
- 【請求項１】 被検査物に全点灯パターンを発生させる
全点灯パターン発生回路と、前記被検査物に全消灯パタ
ーンを発生させる全消灯パターン発生回路と、前記全点
灯パターン発生回路からの駆動信号により正常な全点灯
表示パターンを発生させ記憶する基準パターンメモリ回
路と、前記被検査物に発生させたパターンを撮像するた
めの光電変換スキャナと、この光電変換スキャナから出
力される映像信号を入力してデジタル信号を出力するＡ
／Ｄ変換回路と、前記全点灯パターン発生回路で前記被
検査物を駆動した時の前記Ａ／Ｄ変換回路からのデジタ
ル信号を記憶する全点灯画像メモリ回路と、前記全消灯
パターン発生回路で前記被検査物を駆動した時の前記Ａ
／Ｄ変換回路からのＡ／Ｄ信号を記憶する全消灯画像メ
モリ回路と、前記全消灯画像メモリ回路の内容を反転す
る反転回路と、前記被検査物の全点灯パターンおよび全
消灯パターンを比較するために前記反転回路の出力と全
点灯画像メモリ回路の内容の論理和を出力する比較回路
と、この比較結果画像の平滑化を行う平滑化回路と、こ
の平滑化画像を“０”と“１”の２値に変換する２値化
回路と、この２値画像からドト表示部だけ切り出しを行
い欠陥を検出し検査結果画像として出力する画像切り出
し回路と、この検査結果画像からノイズを除去し欠陥画
像を出力するノイズ除去回路と、この欠陥画像から抽出
した欠陥領域の面積と位置情報の欠陥信号を出力する領
域抽出回路とを備えることを特徴とするパターン検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4052094A JP2770637B2 (ja) | 1992-03-11 | 1992-03-11 | パターン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4052094A JP2770637B2 (ja) | 1992-03-11 | 1992-03-11 | パターン検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05302898A JPH05302898A (ja) | 1993-11-16 |
| JP2770637B2 true JP2770637B2 (ja) | 1998-07-02 |
Family
ID=12905254
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4052094A Expired - Lifetime JP2770637B2 (ja) | 1992-03-11 | 1992-03-11 | パターン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2770637B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008292241A (ja) * | 2007-05-23 | 2008-12-04 | Fujitsu Ltd | ディスプレイ試験装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3853593A4 (en) * | 2018-09-20 | 2021-11-17 | Siemens Healthcare Diagnostics, Inc. | SYSTEMS, METHODS AND TESTING APPARATUS FOR SELF-DIAGNOSIS OF OPTICAL COMPONENTS OF VISION-BASED INSPECTION SYSTEMS |
-
1992
- 1992-03-11 JP JP4052094A patent/JP2770637B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008292241A (ja) * | 2007-05-23 | 2008-12-04 | Fujitsu Ltd | ディスプレイ試験装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05302898A (ja) | 1993-11-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980317 |