JPH1114317A - 外観検査方法及びその装置 - Google Patents

外観検査方法及びその装置

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JPH1114317A
JPH1114317A JP9162664A JP16266497A JPH1114317A JP H1114317 A JPH1114317 A JP H1114317A JP 9162664 A JP9162664 A JP 9162664A JP 16266497 A JP16266497 A JP 16266497A JP H1114317 A JPH1114317 A JP H1114317A
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JP9162664A
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Tetsushi Imi
哲志 伊美
Tomoyo Ogawa
智代 小川
Katsuhiro Ishii
勝博 石井
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、ＩＣパッケージの端にあるごみやバ
リなどに影響されずに正確にＩＣパッケージの外観検査
を行う。 【解決手段】ＩＴＶカメラ３でＩＣパッケージ１を撮像
し、画像データ処理装置１０のエリア設定部１１により
画像データに対してＩＣパッケージ１の周辺部に走査開
始エリアＲを設定して走査を行い、位置データ検出部１
２によりＩＣパッケージ１の端の位置データ群ｐを検出
し、この位置データ群ｐに基づいて検査対象領域設定部
１３により画像データに対して検査対象領域Ｑを設定
し、判定部１４により画像処理を行ってＩＣパッケージ
１の良品又は不良品を判定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばＩＣパッケ
ージのモールド表面の白い汚れや傷、欠けや微小な未充
填などの外観検査を行う外観検査方法及びその装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】図１１はＩＣパッケージの外観検査装置
の一般的な構成図である。ＩＣパッケージ１の上方に
は、リング状の照明装置２及びＴＶカメラ３が配置さ
れ、ＩＣパッケージ１を上方から照明することで、欠け
や微小な未充填の欠陥部分をＩＣパッケージ１の明るさ
よりも暗く見えるようにＴＶカメラ３により撮像する。
【０００３】このＴＶカメラ３から出力される映像信号
は、ディジタル化されて画像データとして画像メモリ４
に格納され、画像データ処理装置５の画像データに対す
る画像処理で欠陥抽出を行い、ＩＣパッケージ１の良品
又は不良品を判定する。
【０００４】このような装置での外観検査を図１２に示
す外観検査フローチャートに従って説明すると、ＴＶカ
メラ３は、ＩＣパッケージ１を撮像してその映像信号を
出力する。この映像信号は、ステップ＃１において、図
１３(a) に示すようなディジタル化されて画像データと
して画像メモリ４に格納される。
【０００５】次に画像データ処理装置５は、ステップ＃
２において、図１３(b) に示すようなＩＣパッケージ１
の各コーナ部分の各画像データＣ1 、Ｃ2 を用いたマッ
チング処理を行い、ＩＣパッケージ１の２箇所以上のコ
ーナの各座標を検出する。
【０００６】次に画像データ処理装置５は、ステップ＃
３において、図１３(c) に示すように品種等を表示した
マーク部分を除き、検査対象領域Ｑを設定する。次に画
像データ処理装置５は、ステップ＃４において、検査対
象領域Ｑ内の明るさ（明度）の平均を求め、次式 （ＩＣパッケージ部分の平均明るさ）×（しきい値設定％） …(1) の演算により２値化のしきい値を決め、このしきい値を
用いて画像データを２値か処理する。
【０００７】ここで、（しきい値設定％）は、例えばＩ
Ｃパッケージ１の良品部が明るさ「０」、暗く写ってい
る欠陥部分が明るさ「１」となるように予め決めてあ
る。このようにして求めたしきい値は、照明強度などの
変化に追従するので安定した処理ができる。
【０００８】次に画像データ処理装置５は、ステップ＃
５において、図１３(d) に示すような２値化した画像デ
ータの欠陥部分と分類された画素数を求め、この画素数
が予め設定された値以上であれば、ＩＣパッケージ１を
不良品と判定する。
【０００９】しかしながら、上記装置では、ＩＣパッケ
ージ１の各コーナ部分の各画像データＣ1 、Ｃ2 を用い
てコーナの座標を求めているので、コーナ部分の画像デ
ータ上に例えばごみやバリなどがあると、正確にコーナ
座標を求められない場合がある。
【００１０】このような場合、検査対象領域ＱがＩＣパ
ッケージ１の外側にはみ出ることが多く、良品のＩＣパ
ッケージ１であっても不良品として誤って判定されてし
まう。このため、検査対象領域Ｑは、図１４に示すよう
に、多少の位置ずれがあってもよいように、ＩＣパッケ
ージ１の外周端よりも少し内側に設定している。
【００１１】ところが、検査対象領域ＱをＩＣパッケー
ジ１の外周端よりも少し内側に設定すると、ＩＣパッケ
ージ１の端のみにある欠陥６、７を検出することは不可
能となる。
【００１２】一方、ＩＣパッケージ１の検査対象領域Ｑ
内の明るさの平均を求めるときには、明るさ（濃度）に
対する画素数のヒストグラムが用いられるが、このヒス
トグラムは、通常図１５(a) に示すような平均明るさ
（明度）を持っている。
【００１３】しかしながら、ＩＣパッケージ１に大きな
白汚れ欠陥がある場合、ヒストグラムは、同図(b) に示
すように明るさの平均が大きくなってしまう。又、明る
さの平均は、画像取り込み時の照明条件の違いによる画
像全体の明るさにも左右される。
【００１４】すなわち、２値化しきい値は、上記式(1)
の演算によって決められるので、明るさの平均が大きく
なればしきい値も大きくなり、２値化による本来の欠陥
部分の抽出ができなくなる。
【００１５】又、２値化した画像データの欠陥部分と分
類された画素数が予め設定された値以上であれば、ＩＣ
パッケージ１を不良品と判定するので、例えば図１６
(a) に示すように人間であれば良品と判定するであろう
小さな点８がＩＣパッケージ１全面に亘って点在してい
るのを不良品と判定したり、又は逆に同図(b) に示すよ
うに人間であれば不良品として判定するであろう特に白
い鋭い傷や汚れ９を良品と判定してしまい、人間と装置
との間で判定のずれが生じてしまう。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】以上のようにＩＣパッ
ケージ１を外観検査するときの検査対象領域ＱをＩＣパ
ッケージ１の外周端よりも少し内側に設定すると、ＩＣ
パッケージ１の端のみにある欠陥を検出することは不可
能となる。
【００１７】一方、ＩＣパッケージ１に大きな白汚れ欠
陥があって明るさの平均が大きくなると、２値化しきい
値も大きくなり、２値化による本来の欠陥部分の抽出が
できなくなる。
【００１８】又、２値化した画像データの欠陥部分と分
類された画素数が予め設定された値以上であれば、ＩＣ
パッケージ１を不良品と判定するので、人間であれば良
品と判定するところを不良品と判定したり、又は逆に人
間であれば不良品として判定するところを良品と判定し
てしまう。
【００１９】そこで本発明は、ごみやバリなどに影響さ
れずに正確に被検査体の部分を検出して外観検査ができ
る外観検査方法及びその装置を提供することを目的とす
る。又、本発明は、汚れなどに影響されずに被検査体の
外観検査を人間の判定に近いすることができる外観検査
方法及びその装置を提供することを目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】請求項１によれば、被検
査体の画像を取り込んで被検査体の外観検査を行う外観
検査方法において、被検査体の画像データに対して被検
査体の周辺部に走査開始エリアを設定する第１の工程
と、この第１の工程で設定された走査開始エリア内を走
査して被検査体の端の位置データ群を検出する第２の工
程と、この第２の工程で検出された被検査体の端の位置
データ群に基づいて画像データに対して検査対象領域を
設定する第３の工程と、この第３の工程で設定された検
査対象領域内の画像データを画像処理して被検査体の良
品又は不良品を判断する第４の工程と、を有する外観検
査方法である。
【００２１】請求項２によれば、被検査体の画像を取り
込んで被検査体の外観検査を行う外観検査方法におい
て、被検査体の画像データから所定の暗い部分と明るい
部分とを除いた画像データに基づいて明るさの平均値を
求める第１の工程と、この第１の工程により求められた
明るさの平均値に基づいてしきい値を求め、このしきい
値により画像データを２値化する第２の工程と、この第
２の工程による２値化後の画像データ上から孤立点を除
去する第３の工程と、この第３の工程で孤立点の除去さ
れた画像データに対して予め設定された面積判定しきい
値を用いて被検査体の良品又は不良品を判断する第４の
工程と、を有する外観検査方法である。
【００２２】請求項３によれば、被検査体の画像を取り
込んで被検査体の外観検査を行う外観検査方法におい
て、被検査体の画像データに対して被検査体の周辺部に
走査開始エリアを設定する第１の工程と、この第１の工
程で設定された走査開始エリア内を走査して被検査体の
端の位置データ群を検出する第２の工程と、この第２の
工程で検出された被検査体の端の位置データ群に基づい
て画像データに対して検査対象領域を設定する第３の工
程と、この第３の工程で設定された検査対象領域内の画
像データから所定の暗い部分と明るい部分とを除いた画
像データに基づいて明るさの平均値を求める第４の工程
と、この第４の工程により求められた明るさの平均値に
基づいてしきい値を求め、このしきい値により画像デー
タを２値化する第５の工程と、この第５の工程による２
値化後の画像データ上から孤立点を除去する第６の工程
と、この第６の工程で孤立点の除去された画像データに
対して予め設定された面積判定しきい値を用いて被検査
体の良品又は不良品を判断する第７の工程と、を有する
外観検査方法である。
【００２３】請求項４によれば、請求項１又は３記載の
外観検査方法において、走査開始エリア内において被検
査体の端に向かって複数箇所で走査を行い、これら走査
された明るさに基づいて被検査体の端の位置データ群を
検出し、かつこの位置データ群を用いて被検査体の各辺
に対する各回帰直線を求め、これら回帰直線から検査対
象領域を設定する。
【００２４】請求項５によれば、請求項２又は３記載の
外観検査方法において、良品と判断された被検査体の画
像データを所定のしきい値により２値化する第１の工程
と、この第１の工程による２値化後の画像データ上から
孤立点を除去する第２の工程と、この第２の工程で孤立
点の除去された画像データに対して予め設定された面積
判定しきい値を用いて被検査体の良品又は不良品を判断
する第３の工程と、を付加した。
【００２５】請求項６によれば、被検査体を撮像する撮
像手段と、この撮像手段により得られる被検査体の画像
データに対して被検査体の周辺部に走査開始エリアを設
定するエリア設定手段と、このエリア設定手段で設定さ
れた走査開始エリア内を走査して被検査体の端の位置デ
ータ群を検出する位置データ検出手段と、この位置デー
タ検出手段で検出された被検査体の端の位置データ群に
基づいて画像データに対して検査対象領域を設定する検
査対象領域設定手段と、この検査対象領域設定手段で設
定された検査対象領域内の画像データを画像処理して被
検査体の良品又は不良品を判断する判定手段と、を備え
た外観検査装置である。
【００２６】請求項７によれば、被検査体を撮像する撮
像手段と、この撮像手段により得られる被検査体の画像
データから所定の暗い部分と明るい部分とを除いた被検
査体の画像データに基づいて明るさの平均値を求める平
均値算出手段と、この平均値算出手段で求められた明る
さの平均値に基づいてしきい値を求め、このしきい値に
より画像データを２値化する２値化手段と、この２値化
手段による２値化後の画像データ上から孤立点を除去す
る孤立点除去手段と、この孤立点除去手段で孤立点の除
去された画像データに対して予め設定された面積判定し
きい値を用いて被検査体の良品又は不良品を判断する判
定手段と、を備えた外観検査装置である。
【００２７】請求項８によれば、被検査体を撮像する撮
像手段と、この撮像手段により得られる被検査体の画像
データに対して被検査体の周辺部に走査開始エリアを設
定するエリア設定手段と、このエリア設定手段で設定さ
れた走査開始エリア内を走査して被検査体の端の位置デ
ータ群を検出する位置データ検出手段と、この位置デー
タ検出手段で検出された被検査体の端の位置データ群に
基づいて画像データに対して検査対象領域を設定する検
査対象領域設定手段と、この検査対象領域設定手段で設
定された検査対象領域内の画像データから所定の暗い部
分と明るい部分とを除いた画像データに基づいて明るさ
の平均値を求める平均値算出手段と、この平均値算出手
段で求められた明るさの平均値に基づいてしきい値を求
め、このしきい値により画像データを２値化する２値化
手段と、この２値化手段による２値化後の画像データ上
から孤立点を除去する孤立点除去手段と、この孤立点除
去手段で孤立点の除去された画像データに対して予め設
定された面積判定しきい値を用いて被検査体の良品又は
不良品を判断する判定手段と、を備えた外観検査装置で
ある。
【００２８】請求項９によれば、請求項６又は８記載の
外観検査装置において、位置データ検出手段は、走査開
始エリア内において被検査体の端に向かって複数箇所で
走査を行い、これら走査された明るさに基づいて被検査
体の端の位置データ群を検出する機能を有し、かつ検査
対象領域設定手段は、位置データ群を用いて被検査体の
各辺に対する各回帰直線を求め、これら回帰直線から検
査対象領域を設定する機能を有する。
【００２９】請求項１０によれば、請求項７又は８記載
の外観検査装置において、判定手段で良品と判断された
被検査体の画像データを所定のしきい値により２値化す
る２値化手段と、この２値化手段による２値化後の画像
データ上から孤立点を除去する孤立点除去手段と、この
孤立点除去手段で孤立点の除去された画像データに対し
て予め設定された面積判定しきい値を用いて被検査体の
良品又は不良品を判断する判定手段と、を付加した。
【００３０】請求項１１において、請求項７又は８記載
の外観検査装置において、平均値算出手段は、画像デー
タの明るさに対する画素数のヒストグラムに対して予め
設定された固定範囲の明るさから平均値を求める、又は
ヒストグラムのピークの明るさの画素数に対して所定の
割合の画素を持つ明るさの範囲から平均値を求める、又
はヒストグラムのピークの明るさを中心として所定範囲
の明るさから平均値を求める機能を有する。
【００３１】請求項１２によれば、請求項７又は８記載
の外観検査装置において、孤立点除去手段は、２値化後
の画像データに対して膨脹収縮処理及び収縮膨脹処理を
行って画像データ上の孤立点を除去する機能を有する。
【００３２】
【発明の実施の形態】
(1) 以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参
照して説明する。なお、図１１と同一部分には同一符号
を付してその詳しい説明は省略する。図１はＩＣパッケ
ージの外観検査装置の構成図である。
【００３３】ＴＶカメラ３の画像出力端子には、画像メ
モリ４が接続され、かつこの画像メモリ４に対して画像
データ処理装置１０が読み出し自在となっている。この
画像データ処理装置１０は、画像データに対してＩＣパ
ッケージ１の周辺部に走査開始エリアを設定して走査を
行い、ＩＣパッケージ１の端の位置データ群を検出し、
この位置データ群に基づいて画像データに対して検査対
象領域Ｑを設定し、画像処理を行ってＩＣパッケージ１
の良品又は不良品を判定するもので、具体的には、エリ
ア設定部１１、位置データ検出部１２、検査対象領域設
定部１３及び判定部１４の各機能を有している。
【００３４】このうちエリア設定部１１は、ＴＶカメラ
３により撮像されて画像メモリ４に格納されているＩＣ
パッケージ１の画像データに対して図２に示すようにＩ
Ｃパッケージ１の周辺部に走査開始エリアＲを設定する
機能を有している。
【００３５】位置データ検出部１２は、エリア設定部１
１で設定された走査開始エリアＲ内を走査してＩＣパッ
ケージ１の端の位置データ群を検出する機能を有してい
る。具体的に位置データ検出部１２は、図２に示すよう
に走査開始エリアＲ内においてＩＣパッケージ１の端に
向かって複数箇所で走査を行い、これら走査された明る
さに基づいてＩＣパッケージ１の端の位置データ群を検
出する機能を有している。この場合、走査開始エリアＲ
内の各走査間隔は、例えば各リード１５の配線間隔に一
致し、かつ各リード１５の間を走査するように設定され
ている。
【００３６】検査対象領域設定部１３は、位置データ検
出部１２で検出されたＩＣパッケージ１の端の位置デー
タ群を用いてＩＣパッケージ１の各辺に対する各回帰直
線を求め、これら回帰直線から検査対象領域Ｑを設定す
る機能を有している。
【００３７】判定部１４は、検査対象領域設定部１３で
設定された検査対象領域Ｑ内の画像データを画像処理し
てＩＣパッケージ１の良品又は不良品を判断する機能を
有している。
【００３８】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて図３に示す外観検査フローチャートに従って説明す
る。ＴＶカメラ３は、ＩＣパッケージ１を撮像してその
映像信号を出力する。この映像信号は、ステップ＃１０
において、図４(a) に示すようなディジタル化されて画
像データとして画像メモリ４に格納される。
【００３９】次に画像データ処理装置１０は、ステップ
＃１１において、画像メモリ４に格納された画像データ
に対し、図４(b) に示すようなＩＣパッケージ１の各コ
ーナ部分の各画像データＣ1 、Ｃ2 を用いたマッチング
処理を行い、ＩＣパッケージ１の２箇所以上のコーナの
各座標を検出する。
【００４０】次に画像データ処理装置１０のエリア設定
部１１は、ステップ＃１２において、ＩＣパッケージ１
の各コーナの座標に基づいて、画像メモリ４に格納され
ている画像データに対し、図４(c) に示すようにＩＣパ
ッケージ１の周辺部でかつＩＣパッケージ１よりも内側
に走査開始エリアＲを設定する。
【００４１】次に画像データ処理装置１０は、ステップ
＃１３において、画像メモリ４に格納されている画像デ
ータのＩＣパッケージ１の部分から明るさに対するヒス
トグラムを求め、このヒストグラムから明るさの平均を
求める。
【００４２】次に位置データ検出部１２は、図２に示す
ように走査開始エリアＲ内においてＩＣパッケージ１の
端に向かって複数箇所で走査を行い、これら走査された
明るさに基づいてＩＣパッケージ１の端の位置データ群
を検出する。
【００４３】すなわち、位置データ検出部１２は、図２
に示すように図面上、ＩＣパッケージ１の上辺の走査開
始エリアＲの左端ｓからＩＣパッケージ１の外側に向か
って走査し、１画素づつ明るさを検出し、この明るさと
先のステップ＃１３で求めた明るさの平均とを比較し、
その差が予め設定された範囲内であるかを調べる。
【００４４】この比較の結果、１画素の明るさと明るさ
の平均との差が予め設定された範囲内であれば、位置デ
ータ検出部１２は、走査方向に向かって１つ外側の１画
素の明るさを検出し、この明るさと明るさの平均とを再
び比較し、その差が予め設定された範囲内であるかを調
べることを繰り返す。
【００４５】ところが、１画素の明るさと明るさの平均
との差が予め設定された範囲外であれば、位置データ検
出部１２は、ＩＣパッケージ１の端であると判断し、こ
の端の座標を求めて記憶し、図４(d) に示すようにＩＣ
パッケージ１の端の位置データ群ｐを作成していく。
【００４６】ここで、ＩＣパッケージ１の端であるか否
かを判断するとき、確認のための処理を行ってもよい。
例えば、注目している画素の明るさがＩＣパッケージ１
の部分の明るさの平均との差が予め設定された範囲外で
あった場合、注目している画素の回り例えば８画素を加
えた９点の画素で明るさの平均を算出し、再度ＩＣパッ
ケージ１の部分の明るさの平均との差が予め設定された
範囲外であるか否かを判断する。このような処理をする
ことで微小なノイズによる間違った判断を低減できる。
【００４７】次に位置データ検出部１２は、走査開始エ
リアＲ内で、設定画素だけ右側の走査位置に移動し、こ
こで再び走査を行って１画素づつ明るさを検出し、この
明るさと明るさの平均とを比較し、その差が予め設定さ
れた範囲内であるかを調べることを繰り返す。
【００４８】なお、走査開始エリアＲ内の各走査間隔
は、例えば各リード１５の配線間隔に一致し、かつ各リ
ード１５の間を走査する。このように位置データ検出部
１２は、ＩＣパッケージ１の上辺の走査開始エリアＲの
左端ｓからＩＣパッケージ１の外側に向かって各走査
し、上辺の走査開始エリアＲの右端ｅまで達すると、こ
れら走査によって検出したＩＣパッケージ１の上辺にお
ける各端の位置データ群ｐを得る。
【００４９】以下同様に、位置データ検出部１２は、Ｉ
Ｃパッケージ１の右辺、下辺、左辺についても走査を行
い、ＩＣパッケージ１の右辺、下辺、左辺の各端の位置
データ群ｐを得る。
【００５０】次に検査対象領域設定部１３は、ステップ
＃１５において、位置データ検出部１２により求めたＩ
Ｃパッケージ１の上辺の位置データ群ｐを受け取り、こ
の位置データ群ｐを用いて上辺の回帰直線ｈ1 を求め、
これをＩＣパッケージ１の上辺のエッジとする。
【００５１】なお、ＩＣパッケージ１の位置データ群ｐ
の中には、欠けや未充填、又はごみやバリなどによりＩ
Ｃパッケージ１の端が本来の位置と異なった位置で求め
られた位置データもあるが、一辺につき２０個程度以上
のＩＣパッケージ１の端の位置データを検出すれば、欠
けや未充填、又はごみやバリなどの影響を受けずに正確
にＩＣパッケージ１の部分を得られることが実験的に確
かめられている。
【００５２】以上と同様の手順で、検査対象領域設定部
１３は、位置データ検出部１２によりＩＣパッケージ１
の右辺、下辺、左辺の各端の位置データ群ｐを得る毎
に、右辺の回帰直線ｈ2 、下辺の回帰直線ｈ3 、左辺の
回帰直線ｈ4 を求め、これらをＩＣパッケージ１の右
辺、下辺、左辺の各エッジとする。
【００５３】次に検査対象領域設定部１３は、ＩＣパッ
ケージ１の上辺の回帰直線ｈ1 、右辺の回帰直線ｈ2 、
下辺の回帰直線ｈ3 、左辺の回帰直線ｈ4 、及び品種な
どを表示したマークの位置設計データに基づき、図４
(e) に示すようにＩＣパッケージ１の画像データに対し
て検査対象領域Ｑを設定する。
【００５４】次に判定部１４は、ステップ＃１６におい
て、検査対象領域Ｑ内の明るさの平均を求め、上記式
(1) の通り、 （ＩＣパッケージ部分の平均明るさ）×（しきい値設定
％） の演算により２値化のしきい値を決め、このしきい値を
用いて画像データを２値化処理する。
【００５５】ここで、（しきい値設定％）は、上記同様
に、例えばＩＣパッケージ１の良品部が明るさ「０」、
暗く写っている欠陥部分が明るさ「１」となるように予
め決めてある。
【００５６】次に判定部１４は、ステップ＃１７におい
て、図４(f) に示すような２値化した画像データの欠陥
部分と分類された画素数を求め、この画素数が予め設定
された値以上であれば、ＩＣパッケージ１を不良品と判
定する。
【００５７】このように上記第１の実施の形態において
は、画像データに対してＩＣパッケージ１の周辺部に走
査開始エリアＲを設定して走査を行い、ＩＣパッケージ
１の端の位置データ群ｐを検出し、この位置データ群ｐ
に基づいて画像データに対して検査対象領域Ｑを設定
し、画像処理を行ってＩＣパッケージ１の良品又は不良
品を判定するので、ＩＣパッケージ１の端からＩＣパッ
ケージ１の寸法と略同等の大きさの検査対象領域Ｑを設
定でき、ＩＣパッケージ１の端のみにある欠けや未充填
欠陥を見逃すことなく、かつＩＣパッケージ１の端をご
みやバリなどに影響されずに高精度に検査でき、欠けや
未充填欠陥の見逃しを大幅に減少できる。 (2) 次に本発明の第２の実施の形態について説明する。
なお、図１１と同一部分には同一符号を付してその詳し
い説明は省略する。
【００５８】図５はＩＣパッケージの外観検査装置の構
成図である。ＴＶカメラ３の画像出力端子には、画像メ
モリ４が接続され、かつこの画像メモリ４に対して画像
データ処理装置２０が読み出し自在となっている。
【００５９】この画像データ処理装置２０は、ＩＣパッ
ケージ１の画像データから所定の暗い部分と明るい部分
とを除いた画像データに基づいて明るさの平均値を求
め、この明るさの平均値に基づいてしきい値を求めて画
像データを２値化し、この２値化後の画像データ上から
孤立点を除去してその画像データに対して予め設定され
た面積判定しきい値を用いてＩＣパッケージ１の良品又
は不良品を判断する機能を有している。
【００６０】又、画像データ処理装置２０は、良品と判
断されたＩＣパッケージ１の画像データを所定のしきい
値により２値化し、この２値化後の画像データ上から孤
立点を除去し、再びその画像データに対して予め設定さ
れた面積判定しきい値を用いてＩＣパッケージ１の良品
又は不良品を判断する機能を有している。
【００６１】具体的に画像データ処理装置２０は、平均
値算出部２１、２値化部２２、孤立点除去部２３、判定
部２４の各機能を有している。このうち平均値算出部２
１は、ＴＶカメラ３により撮像されて画像メモリ４に格
納されているＩＣパッケージ１の画像データから所定の
暗い部分と明るい部分とを除いた画像データに基づいて
明るさの平均値を求める機能を有している。
【００６２】この平均値算出部２１は、明るさの平均値
を求める際に、図６に示すように明るさに対する画素数
のヒストグラムを求めるが、このヒストグラムの範囲の
設定方法としては次の手法のいずれかが用いられる。
【００６３】第１の手法は、図６(a) に示すようにヒス
トグラムに対して予め設定された固定範囲の明るさ、例
えば明るさ４０〜７０の範囲の明るさから平均値を求め
る。第２の手法は、同図(b) に示すようにヒストグラム
のピークの明るさすなわち同じ明るさの点の画素数が一
番多い明るさの画素数に対して所定の割合、例えばＡ％
にあたる画素を持つ明るさの範囲から平均値を求める。
【００６４】第３の手法は、同図(c) に示すようにヒス
トグラムのピークの明るさを中心として所定範囲、例え
ば±Ｂの明るさから平均値を求めるものである。２値化
部２２は、平均値算出部２１で求められた明るさの平均
値に基づいて上記式(1) に示す （ＩＣパッケージ部分の平均明るさ）×（しきい値設定
％） を演算してしきい値α1 を求め、このしきい値α1 によ
り画像データを２値化する機能を有している。なお、
（しきい値設定％）は、上記同様に例えばＩＣパッケー
ジ１の良品部が明るさ「０」、暗く写っている欠陥部分
が明るさ「１」となるように予め決めてある。
【００６５】又、この２値化部２２は、後述する判定部
２４で良品と判定されＩＣパッケージ１の画像データに
ついて、再び明るさの平均値に基づいて上記式(1) を演
算してしきい値α2 を求め、このしきい値α2 により良
品と判定されＩＣパッケージ１の画像データを２値化す
る機能を有している。ここで、（しきい値設定％）は、
しきい値α1 を求めたときよりも大きい値のものを用い
る。
【００６６】孤立点除去部２３は、２値化部２２による
２値化後の画像データ上から孤立点を除去する機能を有
するもので、具体的には２値化後の画像データに対して
膨脹収縮処理及び収縮膨脹処理を行って画像データ上の
孤立点を除去する機能を有している。
【００６７】又、孤立点除去部２３は、後述する判定部
２４で良品と判定されＩＣパッケージ１の画像データが
再度２値化処理された後の画像データに対しても膨脹収
縮処理及び収縮膨脹処理を行って画像データ上の孤立点
を除去する機能を有している。
【００６８】判定部２４は、孤立点除去部２３で孤立点
の除去された画像データの欠陥部分と分類された画素数
（例えば明るさ「１」の点）を求め、この画素数と予め
設定された面積判定しきい値β1 を用いてＩＣパッケー
ジ１の良品又は不良品を判定する機能を有している。
【００６９】又、判定部２４は、後述する判定部２４で
良品と判定されＩＣパッケージ１の画像データが再度２
値化処理され、孤立点を除去された後の画像データの欠
陥部分と分類された画素数（例えば明るさ「１」の点）
を求め、この画素数と予め設定された面積判定しきい値
β2 を用いてＩＣパッケージ１の良品又は不良品を判定
する機能を有している。なお、面積判定しきい値β2
は、面積判定しきい値β1 のよりも小さい値となってい
る。
【００７０】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて図７に示す外観検査フローチャートに従って説明す
る。ＴＶカメラ３は、ＩＣパッケージ１を撮像してその
映像信号を出力する。この映像信号は、ステップ＃２０
において、ディジタル化されて画像データとして画像メ
モリ４に格納される。
【００７１】次に画像データ処理装置２０は、ステップ
＃２１において、ＩＣパッケージ１の各コーナ部分の各
画像データＣ1 、Ｃ2 を用いたマッチング処理を行い、
ＩＣパッケージ１の２箇所以上のコーナの各座標を検出
し、かつ品種等を表示したマーク部分を除き、検査対象
領域Ｑを設定する。
【００７２】次に画像データ処理装置２０の平均値算出
部２１は、ステップ＃２２において、画像メモリ４に格
納されているＩＣパッケージ１の画像データから上記第
１、第２又は第３の手法のうちいずれかの手法を用いて
所定の暗い部分と明るい部分とを除いた画像データに基
づいて明るさの平均値を求める。例えば、第１の手法を
用いれば、図６(a) に示すようにヒストグラムに対して
予め設定された固定範囲の明るさ、例えば明るさ４０〜
７０の範囲の明るさから平均値を求める。
【００７３】次に２値化部２２は、ステップ＃２３にお
いて、平均値算出部２１で求められた明るさの平均値に
基づいて上記式(1) を演算してしきい値α1 を求め、こ
のしきい値α1 により画像データを２値化する。
【００７４】次に孤立点除去部２３は、ステップ＃２４
において、２値化部２２による２値化後の画像データに
対して膨脹収縮処理及び収縮膨脹処理を行って画像デー
タ上の孤立点を除去する。
【００７５】すなわち、先ず、図８に示すように初めに
明るさ「１」になっている部分の周辺を１画素づつ膨脹
させ、この膨脹処理を設定回数だけ繰り返し実行する。
次に、１画素づつ周辺を収縮し、この収縮処理を設定回
数だけ繰り返し実行する。
【００７６】このような膨脹収縮処理により明るさ
「１」例えば汚れ部分に細かい明るさ「０」の点が含ま
れているときに、その明るさ「０」の点を明るさ「１」
に変換できる。
【００７７】逆に、明るさ「１」になっている部分の周
辺を１画素づつ収縮させ、この収縮処理を設定回数だけ
繰り返し実行する。次に、１画素づつ周辺を膨脹させ、
この膨脹処理をを設定回数だけ繰り返し実行する。
【００７８】このような収縮膨脹処理により良品部分の
明るさ「０」に細かい明るさ「１」の点が含まれている
ときに、その明るさ「１」の点を明るさ「０」に変換で
きる。
【００７９】このような膨脹収縮処理及び収縮膨脹処理
を行うことによって、明るさ「１」「０」の領域に関し
ての孤立点が除去される。この孤立点の除去は実験的に
確かめられている。
【００８０】次に判定部２４は、ステップ＃２５におい
て、孤立点除去部２３で孤立点の除去された画像データ
の欠陥部分と分類された画素数を求め、この画素数と予
め設定された面積判定しきい値β1 とを比較し、画素数
が面積判定しきい値β1 以下であればＩＣパッケージ１
を良品と判定し、画素数が面積判定しきい値β1 以上で
あればＩＣパッケージ１を不良品と判定する。
【００８１】次に平均値算出部２１は、ステップ＃２６
において、判定部２４で良品と判定されＩＣパッケージ
１の画像データから上記第１、第２又は第３の手法のう
ちいずれかの手法を用いて所定の暗い部分と明るい部分
とを除いた画像データに基づいて明るさの平均値を求め
る。
【００８２】次に２値化部２２は、ステップ＃２７にお
いて、良品と判定されＩＣパッケージ１の画像データに
ついて、再度平均値算出部２１により求められた明るさ
の平均値に基づいて上記式(1) を演算してしきい値α2
を求め、このしきい値α2 により良品と判定されＩＣパ
ッケージ１の画像データを２値化する。
【００８３】次に孤立点除去部２３は、ステップ＃２８
において、良品と判定されＩＣパッケージ１の２値化画
像データに対して上記同様の膨脹収縮処理及び収縮膨脹
処理を行って画像データ上の孤立点を除去する。
【００８４】次に判定部２４は、ステップ＃２９におい
て、良品と判定されＩＣパッケージ１の孤立点を除去さ
れた後の画像データの欠陥部分と分類された画素数を求
め、この画素数と予め設定された面積判定しきい値β2
とを比較し、画素数が面積判定しきい値β2 以下であれ
ばＩＣパッケージ１を良品と判定し、画素数が面積判定
しきい値β2 以上であればＩＣパッケージ１を不良品と
判定する。
【００８５】このように上記第２の実施の形態において
は、ＩＣパッケージ１の画像データから所定の暗い部分
と明るい部分とを除いた画像データの明るさの平均値に
基づいてしきい値α1 を求めて画像データを２値化し、
この２値化後の画像データ上から孤立点を除去し、この
孤立点の除去された画像データに対して予め設定された
面積判定しきい値β1 を用いてＩＣパッケージ１の良品
又は不良品を判定し、さらに良品と判定されたＩＣパッ
ケージ１の画像データの明るさの平均値に基づいてしき
い値α2 を求めて画像データを２値化し、この２値化後
の画像データ上から孤立点を除去し、この孤立点の除去
された画像データに対して予め設定された面積判定しき
い値β2 を用いてＩＣパッケージ１の良品又は不良品を
判定するので、ＩＣパッケージ１に大きな白汚れ欠陥等
があってもこれに影響されずに２値化のしきい値を設定
できる。
【００８６】又、膨脹・収縮処理を行って画像データを
人間の目に見える状態に近付け、かつ各面積判定しきい
値β1 、β2 を用いたＩＣパッケージ１の良品又は不良
品の判定を２段階で行うことにより、白汚れ欠陥等の欠
陥に見逃しを大幅に減少できる。 (3) 次に本発明の第３の実施の形態について説明する。
なお、図１及び図５と同一部分には同一符号を付してそ
の詳しい説明は省略する。
【００８７】図１０はＩＣパッケージの外観検査装置の
構成図である。この外観検査装置は、上記第１と第２の
実施の形態の各機能を組み合わせたもので、画像データ
処理装置３０には、エリア設定部１１、位置データ検出
部１２、検査対象領域設定部１３、平均値算出部２１、
２値化部２２、孤立点除去部２３、判定部２４の各機能
が備えられている。
【００８８】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて説明する。ＴＶカメラ３は、ＩＣパッケージ１を撮
像してその映像信号を出力する。この映像信号は、例え
ば上記図４(a) に示すようなディジタル化されて画像デ
ータとして画像メモリ４に格納される。
【００８９】次に画像データ処理装置１０は、画像メモ
リ４に格納された画像データに対し、図４(b) に示すよ
うなＩＣパッケージ１の各コーナ部分の各画像データＣ
1 、Ｃ2 を用いたマッチング処理を行い、ＩＣパッケー
ジ１の２箇所以上のコーナの各座標を検出する。
【００９０】次に画像データ処理装置１０のエリア設定
部１１は、ＩＣパッケージ１の各コーナの座標に基づい
て、画像メモリ４に格納されている画像データに対し、
図４(c) に示すようにＩＣパッケージ１の周辺部でかつ
ＩＣパッケージ１よりも内側に走査開始エリアＲを設定
する。
【００９１】次に画像データ処理装置１０は、画像メモ
リ４に格納されている画像データのＩＣパッケージ１の
部分から明るさに対するヒストグラムを求め、このヒス
トグラムから明るさの平均を求める。
【００９２】次に位置データ検出部１２は、上記図２に
示すように図面上、ＩＣパッケージ１の上辺の走査開始
エリアＲの左端ｓからＩＣパッケージ１の外側に向かっ
て走査し、１画素づつ明るさを検出し、この明るさと先
に求めた明るさの平均とを比較し、その差が予め設定さ
れた範囲内であるかを調べる。
【００９３】この比較の結果、１画素の明るさと明るさ
の平均との差が予め設定された範囲内であれば、位置デ
ータ検出部１２は、走査方向に向かって１つ外側の１画
素の明るさを検出し、この明るさと明るさの平均とを再
び比較し、その差が予め設定された範囲内であるかを調
べることを繰り返す。
【００９４】ところが、１画素の明るさと明るさの平均
との差が予め設定された範囲外であれば、位置データ検
出部１２は、ＩＣパッケージ１の端であると判断し、こ
の端の座標を求めて記憶し、図４(d) に示すようにＩＣ
パッケージ１の端の位置データ群ｐを作成していく。
【００９５】次に位置データ検出部１２は、走査開始エ
リアＲ内で、設定画素だけ右側の走査位置に移動し、こ
こで再び走査を行って１画素づつ明るさを検出し、この
明るさと明るさの平均とを比較し、その差が予め設定さ
れた範囲内であるかを調べることを繰り返す。
【００９６】このように位置データ検出部１２は、ＩＣ
パッケージ１の上辺の走査開始エリアＲの左端ｓからＩ
Ｃパッケージ１の外側に向かって各走査し、上辺の走査
開始エリアＲの右端ｅまで達すると、これら走査によっ
て検出したＩＣパッケージ１の上辺における各端の位置
データ群ｐを得る。
【００９７】以下同様に、位置データ検出部１２は、Ｉ
Ｃパッケージ１の右辺、下辺、左辺についても走査を行
い、ＩＣパッケージ１の右辺、下辺、左辺の各端の位置
データ群ｐを得る。
【００９８】次に検査対象領域設定部１３は、位置デー
タ検出部１２により求めたＩＣパッケージ１の上辺の位
置データ群ｐを受け取り、この位置データ群ｐを用いて
上辺の回帰直線ｈ1 を求め、これをＩＣパッケージ１の
上辺のエッジとする。
【００９９】以上と同様の手順で、検査対象領域設定部
１３は、位置データ検出部１２によりＩＣパッケージ１
の右辺、下辺、左辺の各端の位置データ群ｐを得る毎
に、右辺の回帰直線ｈ2 、下辺の回帰直線ｈ3 、左辺の
回帰直線ｈ4 を求め、これらをＩＣパッケージ１の右
辺、下辺、左辺の各エッジとする。
【０１００】次に検査対象領域設定部１３は、ＩＣパッ
ケージ１の上辺の回帰直線ｈ1 、右辺の回帰直線ｈ2 、
下辺の回帰直線ｈ3 、左辺の回帰直線ｈ4 、及び品種な
どを表示したマークの位置設計データに基づき、図４
(e) に示すようにＩＣパッケージ１の画像データに対し
て検査対象領域Ｑを設定する。
【０１０１】次に平均値算出部２１は、ＩＣパッケージ
１の画像データの検査対象領域Ｑ内において、例えば上
記図６(a) に示すようにヒストグラムに対して予め設定
された固定範囲の明るさ、例えば明るさ４０〜７０の範
囲の明るさから平均値を求める。
【０１０２】次に２値化部２２は、平均値算出部２１で
求められた明るさの平均値に基づいて上記式(1) を演算
してしきい値α1 を求め、このしきい値α1 により画像
データを２値化する。
【０１０３】次に孤立点除去部２３は、２値化部２２に
よる２値化後の画像データに対して上記同様に膨脹収縮
処理及び収縮膨脹処理を行って画像データ上の孤立点を
除去する。すなわち、膨脹収縮処理により明るさ「１」
例えば汚れ部分に細かい明るさ「０」の点が含まれてい
るときに、その明るさ「０」の点を明るさ「１」に変換
できる。
【０１０４】又、収縮膨脹処理により良品部分の明るさ
「０」に細かい明るさ「１」の点が含まれているとき
に、その明るさ「１」の点を明るさ「０」に変換でき
る。次に判定部２４は、孤立点除去部２３で孤立点の除
去された画像データの欠陥部分と分類された画素数を求
め、この画素数と予め設定された面積判定しきい値β1
とを比較し、画素数が面積判定しきい値β1 以下であれ
ばＩＣパッケージ１を良品と判定し、画素数が面積判定
しきい値β1 以上であればＩＣパッケージ１を不良品と
判定する。
【０１０５】次に平均値算出部２１は、判定部２４で良
品と判定されＩＣパッケージ１の画像データから再び上
記第１、第２又は第３の手法のうちいずれかの手法を用
いて所定の暗い部分と明るい部分とを除いた画像データ
に基づいて明るさの平均値を求める。
【０１０６】次に２値化部２２は、良品と判定されＩＣ
パッケージ１の画像データについて、再度平均値算出部
２１により求められた明るさの平均値に基づいて上記式
(1)を演算してしきい値α2 を求め、このしきい値α2
により良品と判定されＩＣパッケージ１の画像データを
２値化する。
【０１０７】次に孤立点除去部２３は、良品と判定され
ＩＣパッケージ１の２値化画像データに対して上記同様
の膨脹収縮処理及び収縮膨脹処理を行って画像データ上
の孤立点を除去する。
【０１０８】次に判定部２４は、良品と判定されＩＣパ
ッケージ１の孤立点を除去された後の画像データの欠陥
部分と分類された画素数を求め、この画素数と予め設定
された面積判定しきい値β2 とを比較し、画素数が面積
判定しきい値β2 以下であればＩＣパッケージ１を良品
と判定し、画素数が面積判定しきい値β2 以上であれば
ＩＣパッケージ１を不良品と判定する。
【０１０９】このように上記第３の実施の形態において
は、画像データに対してＩＣパッケージ１の周辺部に走
査開始エリアＲを設定して走査を行い、ＩＣパッケージ
１の端の位置データ群ｐを検出し、この位置データ群ｐ
に基づいて画像データに対して検査対象領域Ｑを設定
し、この検査対象領域Ｑ内で明るさの平均値に基づいて
しきい値α1 を求めて画像データを２値化し、この２値
化後の画像データ上から孤立点を除去して面積判定しき
い値β1 を用いてＩＣパッケージ１の良品又は不良品を
判定し、さらに良品と判定されたＩＣパッケージ１の画
像データを２値化し、この２値化後の画像データ上から
孤立点を除去して面積判定しきい値β2 を用いてＩＣパ
ッケージ１の良品又は不良品を判定するので、ＩＣパッ
ケージ１の端からＩＣパッケージ１の寸法と略同等の大
きさの検査対象領域Ｑを設定でき、ＩＣパッケージ１の
端のみにある欠けや未充填欠陥を見逃すことなく、かつ
ＩＣパッケージ１の端をごみやバリなどに影響されずに
高精度に検査でき、欠けや未充填欠陥の見逃しを大幅に
減少できる。
【０１１０】又、ＩＣパッケージ１に大きな白汚れ欠陥
等があってもこれに影響されずに２値化のしきい値を設
定できる。又、膨脹・収縮処理を行って画像データを人
間の目に見える状態に近付け、かつ各面積判定しきい値
β1 、β2 を用いたＩＣパッケージ１の良品又は不良品
の判定を２段階で行うことにより、白汚れ欠陥等の欠陥
に見逃しを大幅に減少できる。なお、本発明は、上記第
１及び第２の実施の形態に限定されるものでなく種々変
形してよい。
【０１１１】
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、ご
みやバリなどに影響されずに正確に被検査体の部分を検
出して外観検査ができる外観検査方法及びその装置を提
供できる。
【０１１２】又、本発明によれば、汚れなどに影響され
ずに被検査体の外観検査を人間の判定に近くすることが
できる外観検査方法及びその装置を提供できる。又、本
発明によれば、ごみやバリなどに影響されずに正確に被
検査体の部分を検出し、かつ汚れなどに影響されずに被
検査体の外観検査を人間の判定に近くすることができる
外観検査方法及びその装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わるＩＣパッケージの外観検査装置
の第１の実施の形態を示す構成図。
【図２】同装置のＩＣパッケージの端の位置データ群の
検出作用を示す模式図。
【図３】同装置の外観検査フローチャート。
【図４】同装置におけるＩＣパッケージの外観検査を示
す画像データの模式図。
【図５】本発明に係わるＩＣパッケージの外観検査装置
の第２の実施の形態を示す構成図。
【図６】明るさに対する画素数のヒストグラムから明る
さの平均値を求める手法を示す図。
【図７】同装置の外観検査フローチャート。
【図８】孤立点除去のための画像データに対する膨脹収
縮処理を示す図。
【図９】孤立点除去のための画像データに対する収縮膨
脹処理を示す図。
【図１０】本発明に係わるＩＣパッケージの外観検査装
置の第３の実施の形態を示す構成図。
【図１１】従来のＩＣパッケージの外観検査装置の一般
的な構成図。
【図１２】同装置の外観検査フローチャート。
【図１３】ＩＣパッケージの外観検査を示す画像データ
の模式図。
【図１４】検査対象領域をＩＣパッケージよりも内側に
設定したときの欠陥の不検出を示す図。
【図１５】明るさのヒストグラムに対する２値化しきい
値の変化を示す図。
【図１６】ＩＣパッケージの良品又は不良品の誤判定の
例を示す図。
【符号の説明】
１…ＩＣパッケージ、 ２…照明装置、 ３…ＴＶカメラ、 ４…画像メモリ、 １０，２０，３０…画像データ処理装置、 １１…エリア設定部、 １２…位置データ検出部、 １３…検査対象領域設定部、 １４…判定部、 ２１…平均値算出部、 ２２…２値化部、 ２３…孤立点除去部、 ２４…判定部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０５Ｋ 13/08 Ｈ０５Ｋ 13/08 Ｄ

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 被検査体の画像を取り込んで前記被検査
    体の外観検査を行う外観検査方法において、 前記被検査体の画像データに対して前記被検査体の周辺
    部に走査開始エリアを設定する第１の工程と、 この第１の工程で設定された前記走査開始エリア内を走
    査して前記被検査体の端の位置データ群を検出する第２
    の工程と、 この第２の工程で検出された前記被検査体の端の位置デ
    ータ群に基づいて前記画像データに対して検査対象領域
    を設定する第３の工程と、 この第３の工程で設定された検査対象領域内の前記画像
    データを画像処理して前記被検査体の良品又は不良品を
    判断する第４の工程と、を有することを特徴とする外観
    検査方法。
  2. 【請求項２】 被検査体の画像を取り込んで前記被検査
    体の外観検査を行う外観検査方法において、 前記被検査体の画像データから所定の暗い部分と明るい
    部分とを除いた画像データに基づいて明るさの平均値を
    求める第１の工程と、 この第１の工程により求められた明るさの平均値に基づ
    いてしきい値を求め、このしきい値により前記画像デー
    タを２値化する第２の工程と、 この第２の工程による２値化後の画像データ上から孤立
    点を除去する第３の工程と、 この第３の工程で前記孤立点の除去された画像データに
    対して予め設定された面積判定しきい値を用いて前記被
    検査体の良品又は不良品を判断する第４の工程と、を有
    することを特徴とする外観検査方法。
  3. 【請求項３】 被検査体の画像を取り込んで前記被検査
    体の外観検査を行う外観検査方法において、 前記被検査体の画像データに対して前記被検査体の周辺
    部に走査開始エリアを設定する第１の工程と、 この第１の工程で設定された前記走査開始エリア内を走
    査して前記被検査体の端の位置データ群を検出する第２
    の工程と、 この第２の工程で検出された前記被検査体の端の位置デ
    ータ群に基づいて前記画像データに対して検査対象領域
    を設定する第３の工程と、 この第３の工程で設定された前記検査対象領域内の前記
    画像データから所定の暗い部分と明るい部分とを除いた
    画像データに基づいて明るさの平均値を求める第４の工
    程と、 この第４の工程により求められた明るさの平均値に基づ
    いてしきい値を求め、このしきい値により前記画像デー
    タを２値化する第５の工程と、 この第５の工程による２値化後の画像データ上から孤立
    点を除去する第６の工程と、 この第６の工程で前記孤立点の除去された画像データに
    対して予め設定された面積判定しきい値を用いて前記被
    検査体の良品又は不良品を判断する第７の工程と、を有
    することを特徴とする外観検査方法。
  4. 【請求項４】 前記走査開始エリア内において前記被検
    査体の端に向かって複数箇所で走査を行い、これら走査
    された明るさに基づいて前記被検査体の端の位置データ
    群を検出し、かつこの位置データ群を用いて前記被検査
    体の各辺に対する各回帰直線を求め、これら回帰直線か
    ら前記検査対象領域を設定することを特徴とする請求項
    １又は３記載の外観検査方法。
  5. 【請求項５】 良品と判断された前記被検査体の画像デ
    ータを所定のしきい値により２値化する第１の工程と、 この第１の工程による２値化後の画像データ上から孤立
    点を除去する第２の工程と、 この第２の工程で前記孤立点の除去された画像データに
    対して予め設定された面積判定しきい値を用いて前記被
    検査体の良品又は不良品を判断する第３の工程と、を付
    加したことを特徴とする請求項２又は３記載の外観検査
    方法。
  6. 【請求項６】 被検査体を撮像する撮像手段と、 この撮像手段により得られる前記被検査体の画像データ
    に対して前記被検査体の周辺部に走査開始エリアを設定
    するエリア設定手段と、 このエリア設定手段で設定された前記走査開始エリア内
    を走査して前記被検査体の端の位置データ群を検出する
    位置データ検出手段と、 この位置データ検出手段で検出された前記被検査体の端
    の位置データ群に基づいて前記画像データに対して検査
    対象領域を設定する検査対象領域設定手段と、 この検査対象領域設定手段で設定された前記検査対象領
    域内の前記画像データを画像処理して前記被検査体の良
    品又は不良品を判断する判定手段と、を具備したことを
    特徴とする外観検査装置。
  7. 【請求項７】 被検査体を撮像する撮像手段と、 この撮像手段により得られる前記被検査体の画像データ
    から所定の暗い部分と明るい部分とを除いた前記被検査
    体の画像データに基づいて明るさの平均値を求める平均
    値算出手段と、 この平均値算出手段で求められた明るさの平均値に基づ
    いてしきい値を求め、このしきい値により前記画像デー
    タを２値化する２値化手段と、 この２値化手段による２値化後の画像データ上から孤立
    点を除去する孤立点除去手段と、 この孤立点除去手段で前記孤立点の除去された画像デー
    タに対して予め設定された面積判定しきい値を用いて前
    記被検査体の良品又は不良品を判断する判定手段と、を
    具備したことを特徴とする外観検査装置。
  8. 【請求項８】 被検査体を撮像する撮像手段と、 この撮像手段により得られる前記被検査体の画像データ
    に対して前記被検査体の周辺部に走査開始エリアを設定
    するエリア設定手段と、 このエリア設定手段で設定された前記走査開始エリア内
    を走査して前記被検査体の端の位置データ群を検出する
    位置データ検出手段と、 この位置データ検出手段で検出された前記被検査体の端
    の位置データ群に基づいて前記画像データに対して検査
    対象領域を設定する検査対象領域設定手段と、 この検査対象領域設定手段で設定された前記検査対象領
    域内の画像データから所定の暗い部分と明るい部分とを
    除いた画像データに基づいて明るさの平均値を求める平
    均値算出手段と、 この平均値算出手段で求められた明るさの平均値に基づ
    いてしきい値を求め、このしきい値により前記画像デー
    タを２値化する２値化手段と、 この２値化手段による２値化後の画像データ上から孤立
    点を除去する孤立点除去手段と、 この孤立点除去手段で前記孤立点の除去された画像デー
    タに対して予め設定された面積判定しきい値を用いて前
    記被検査体の良品又は不良品を判断する判定手段と、を
    具備したことを特徴とする外観検査装置。
  9. 【請求項９】 前記位置データ検出手段は、前記走査開
    始エリア内において前記被検査体の端に向かって複数箇
    所で走査を行い、これら走査された明るさに基づいて前
    記被検査体の端の位置データ群を検出する機能を有し、
    かつ前記検査対象領域設定手段は、前記位置データ群を
    用いて前記被検査体の各辺に対する各回帰直線を求め、
    これら回帰直線から前記検査対象領域を設定する機能を
    有することを特徴とする請求項６又は８記載の外観検査
    装置。
  10. 【請求項１０】 前記判定手段で良品と判断された前記
    被検査体の画像データを所定のしきい値により２値化す
    る２値化手段と、 この２値化手段による２値化後の画像データ上から孤立
    点を除去する孤立点除去手段と、 この孤立点除去手段で前記孤立点の除去された画像デー
    タに対して予め設定された面積判定しきい値を用いて前
    記被検査体の良品又は不良品を判断する判定手段と、を
    付加したことを特徴とする請求項７又は８記載の外観検
    査装置。
  11. 【請求項１１】 前記平均値算出手段は、前記画像デー
    タの明るさに対する画素数のヒストグラムに対して予め
    設定された固定範囲の明るさから平均値を求める、又は
    前記ヒストグラムのピークの明るさの画素数に対して所
    定の割合の画素を持つ明るさの範囲から平均値を求め
    る、又は前記ヒストグラムのピークの明るさを中心とし
    て所定範囲の明るさから平均値を求める機能を有するこ
    とを特徴とする請求項７又は８記載の外観検査装置。
  12. 【請求項１２】 前記孤立点除去手段は、２値化後の前
    記画像データに対して膨脹収縮処理及び収縮膨脹処理を
    行って前記画像データ上の前記孤立点を除去する機能を
    有することを特徴とする請求項７又は８記載の外観検査
    装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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