JP5015721B2 - 欠陥検査装置、欠陥検査プログラム、図形描画装置および図形描画システム - Google Patents
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Description
〈1.構成〉
〈1a.図形描画システムの全体構成〉
この発明の第1の実施の形態に係る図形描画システム100について、図1を参照しながら説明する。図1は、図形描画システム100の全体構成を示す図である。
〈1b−1.ハードウェア構成〉
欠陥検査装置3のハードウェア構成について、図2を参照しながら説明する。図2は、欠陥検査装置3のハードウェア構成を示す概略図である。
欠陥検査装置3の機能的構成について、図3、図4を参照しながら説明する。図3は、欠陥検査装置3の機能的構成を示す概略図である。図4は、欠陥検査装置3において実行される欠陥検出処理において取得される各種のデータおよびその相関関係を模式的に示す図である。
〈2a.図形描画システムにおける処理動作〉
ここで、図形描画システム100が実行する処理について、図7を参照しながら説明する。図7は、入力CADデータD1を取得してから図形の描画を実行するまでの処理の流れを示す図である。
欠陥検査装置3が実行する処理(すなわち、欠陥検査処理および欠陥修復処理)について、図8を参照しながらより具体的に説明する。図8は、欠陥検査装置3において実行される欠陥検査処理および欠陥修復処理の流れを示す図である。
上記の実施の形態によると、欠陥検査装置3が、RIP処理前後のデータ、すなわち、入力CADデータD1とランレングスデータD2とを比較することによって、ランレングスデータD2の欠陥を検出するので、描画装置4がランレングスデータD2に基づく描画を実行する前に(すなわち、描画を実行しなくとも)、ランレングスデータD2に生じている欠陥を検出することができる。
〈1.構成〉
〈1a.図形描画システムの全体構成〉
この発明の第2の実施の形態に係る図形描画システムについて説明する。なお、以下においては、第1の実施の形態と相違する構成について説明し、同様の構成については説明を省略する。また、同様の構成については第1の実施の形態において用いた参照符号を適宜使用する。
欠陥検査装置5は、第1の実施の形態に係る欠陥検査装置3と同様のハードウェア構成によって実現される(図2参照)。
〈2a.図形描画システムにおける処理動作〉
第2の実施の形態に係る図形描画システムが実行する処理の全体の流れは、第1の実施の形態に係る図形描画システム100が実行する処理の流れ(図7参照)と同様である。
欠陥検査装置5が実行する処理(すなわち、欠陥検査処理および欠陥修復処理)について説明する。欠陥検査装置5が実行する処理の流れは、第1の実施の形態に係る欠陥検査装置3が実行する処理の流れ(図8参照)とほぼ同様であるので、以下においては、図8を参照しながらこれと相違する点について説明する。
〈1.構成〉
〈1a.図形描画システムの全体構成〉
この発明の第3の実施の形態に係る図形描画システムについて説明する。なお、以下においては、第1の実施の形態と相違する構成について説明し、同様の構成については説明を省略する。また、同様の構成については第1の実施の形態において用いた参照符号を適宜使用する。
欠陥検査装置6は、第1の実施の形態に係る欠陥検査装置3と同様のハードウェア構成によって実現される(図2参照)。
差異領域特定部632は、比較ランレングスデータH2に含まれるランLi(i=1,2,・・・)の始点の位置と比較CADデータH1に含まれる座標値組Mi(i=1,2,・・)の始点座標値Msiとを比較することによって、ランレングスデータH2の−X側(より具体的には、描画すべき多角形図形の−X側)に生じている差異領域を特定する。
差異領域特定部632は、比較ランレングスデータH2に含まれるランLi(i=1,2,・・・)の終点の位置と比較CADデータH1に含まれる座標値組Mi(i=1,2,・・)の終点座標値Meiとを比較することによって、ランレングスデータH2の+X側(より具体的には、描画すべき多角形図形の+X側)に生じている差異領域を特定する。
〈2a.図形描画システムにおける処理動作〉
第3の実施の形態に係る図形描画システムが実行する処理の全体の流れは、第1の実施の形態に係る図形描画システム100が実行する処理の流れ(図7参照)と同様である。
欠陥検査装置6が実行する処理(すなわち、欠陥検査処理および欠陥修復処理)について説明する。欠陥検査装置6が実行する処理の流れは、第1の実施の形態に係る欠陥検査装置3が実行する処理の流れ(図8参照)とほぼ同様であるので、以下においては、図8を参照しながらこれと相違する点について説明する。
上記の実施の形態によると、比較入力CADデータ取得部6311が、入力CADデータD1に対して「座標値化処理」を行うことによって、これを座標値の集合(より具体的には、始点座標値と終点座標値とから構成される座標値組の集合)により記述されたデータ(座標値化CADデータD11)に変換する。この座標値化CADデータD11を、ランレングスデータD2(すなわち、線分の集合として記述されたデータ)と比較することによって、ランレングスデータD2に生じている欠陥領域を特定することができる。
上記の第1の形態に係る欠陥検出部33は、余分欠陥領域特定部333、欠落欠陥領域特定部334のそれぞれが、差異領域データD3と比較ランレングスデータF2との論理積、差異領域データD3と比較CADデータF1との論理積をそれぞれ演算して、余分欠陥領域Ae、欠落欠陥領域Afをそれぞれ特定する余分欠陥領域データD3a、欠落欠陥領域データD3bと取得している(図3,図4参照)が、次の態様で各データS3a,D3bを取得してもよい。
余分欠陥領域データD3a、欠落欠陥領域データD3bは、次の態様で取得してもよい。この変形例に係る欠陥検出部9は、図20に示すように、変換処理部91と、差異領域特定部92と、第1差異差分領域特定部93と、余分欠陥領域特定部94と、第2差異差分領域特定部95と、欠落欠陥領域特定部96とを備える。変換処理部91および差異領域特定部92は、それぞれ、第1の実施の形態に係る変換処理部331および差異領域特定部332と同様である。
上記の各実施の形態においては、欠陥検査装置3,5,6を描画装置4とは独立した装置として構成しているが、欠陥検査装置3,5,6の機能構成(図3および図9参照)は、描画装置4において実現されるものとしてもよい。すなわち、描画装置4を欠陥検査装置3(もしくは欠陥検査装置5、もしくは欠陥検査装置6)と一体化された装置として構成してもよい。
2 RIP装置
3,5,6 欠陥検査装置
4,7 描画装置
31,51,61 CADデータ取得部
32,52,62 ランレングスデータ取得部
33,53,63 欠陥検出部
34,54,64 描画用ランレングスデータ取得部
100 図形描画システム
331,531,631 変換処理部
332,532,632 差異領域特定部
333 余分欠陥領域特定部
334 欠落欠陥領域特定部
341,541 欠陥修復部
3311 比較入力CADデータ取得部
3312 比較ランレングスデータ取得部
3411 余分欠陥修復部
3412 欠落欠陥修復部
D1 入力CADデータ
D2 ランレングスデータ
D3 差異領域データ
D3a 余分欠陥領域データ
D3b 欠落欠陥領域データ
D4 修復ランレングスデータ
F1,G1,H1 比較CADデータ
F2,G2,H2 比較ランレングスデータ
T 描画用ランレングスデータ
P プログラム
M 記録媒体
Claims (21)
- 図形の描画に供されるランレングスデータの欠陥を検査する欠陥検査装置であって、
描画すべき図形を記述した入力データを取得する入力データ取得手段と、
前記入力データがRIP処理されることによって取得された前記ランレングスデータを取得するランレングスデータ取得手段と、
前記入力データと前記ランレングスデータとを比較して、差異領域がある場合に当該差異領域を前記ランレングスデータの欠陥領域として検出する欠陥検出手段と、
前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合に、当該欠陥領域を修復して修復ランレングスデータを取得する修復手段と、
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1に記載の欠陥検査装置であって、
前記欠陥検出手段が、
前記入力データと前記ランレングスデータとのうちの少なくとも一方のデータに対して所定の変換処理を実行して両データを互いに比較可能なデータ形式に揃えるデータ形式変換手段、
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項2に記載の欠陥検査装置であって、
前記データ形式変換手段が、
前記ランレングスデータに図形化処理を実行して、前記ランレングスデータを図形化した図形化ランレングスデータを取得する図形化手段、
を備え、
前記欠陥検出手段が、
前記図形化ランレングスデータと前記入力データとの排他的論理和を演算することによって、前記差異領域を特定した差異領域データを取得する差異領域特定手段、
をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項3に記載の欠陥検査装置であって、
前記欠陥検出手段が、
前記差異領域データと前記図形化ランレングスデータとの論理積を演算することによって、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在しないのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されている領域である余分欠陥領域を特定する余分欠陥領域特定手段、
をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項3または4に記載の欠陥検査装置であって、
前記欠陥検出手段が、
前記差異領域データと前記入力データとの論理積を演算することによって、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在するのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されていない領域である欠落欠陥領域を特定する欠落欠陥領域特定手段、
をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項2に記載の欠陥検査装置であって、
前記データ形式変換手段が、
前記ランレングスデータに図形化処理を実行して、前記ランレングスデータを図形化した図形化ランレングスデータを取得する図形化手段、
を備え、
前記欠陥検出手段が、
前記図形化ランレングスデータにより規定される図形領域から、前記入力データにより規定される図形領域を差し引いて第1の差分領域データを取得する第1差分領域取得手段と、
前記第1の差分領域データにおける正の値の領域を抽出することによって、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在しないのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されている領域である余分欠陥領域を特定する余分欠陥領域特定手段、
をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項2に記載の欠陥検査装置であって、
前記データ形式変換手段が、
前記ランレングスデータに図形化処理を実行して、前記ランレングスデータを図形化した図形化ランレングスデータを取得する図形化手段、
を備え、
前記欠陥検出手段が、
前記入力データにより規定される図形領域から、前記図形化ランレングスデータにより規定される図形領域を差し引いて第2の差分領域データを取得する第2差分領域取得手段と、
前記第2の差分領域データにおける正の値の領域を抽出することによって、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在するのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されていない領域である欠落欠陥領域を特定する欠落欠陥領域特定手段、
をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項3に記載の欠陥検査装置であって、
前記欠陥検出手段が、
前記差異領域データにより規定される図形領域から、前記入力データにより規定される図形領域を差し引いて第1の差異差分領域データを取得する第1差異差分領域取得手段と、
前記第1の差異差分領域データにおける正の値の領域を抽出することによって、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在しないのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されている領域である余分欠陥領域を特定する余分欠陥領域特定手段、
をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項3に記載の欠陥検査装置であって、
前記欠陥検出手段が、
前記差異領域データにより規定される図形領域から、前記図形化ランレングスデータにより規定される図形領域を差し引いて第2の差異差分領域データを取得する第2差異差分領域取得手段と、
前記第2の差異差分領域データにおける正の値の領域を抽出することによって、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在するのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されていない領域である欠落欠陥領域を特定する欠落欠陥領域特定手段、
をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項2に記載の欠陥検査装置であって、
前記データ形式変換手段が、
前記ランレングスデータに第1の画像化処理を実行して、前記ランレングスデータを画像化した画像化ランレングスデータを取得するランレングスデータ画像化手段と、
前記入力データに第2の画像化処理を実行して、前記入力データを画像化した画像化入力データを取得する入力データ画像化手段と、
を備え、
前記欠陥検出手段が、
前記画像化ランレングスデータと前記画像化入力データとを画素単位で比較することによって、前記差異領域を特定する差異領域特定手段、
をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項10に記載の欠陥検査装置であって、
前記差異領域特定手段が、
前記画像化ランレングスデータと前記画像化入力データとを画素単位で比較して、前記画像化ランレングスデータにのみ画素が存在する領域を、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在しないのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されている領域である余分欠陥領域として特定することを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項10または11に記載の欠陥検査装置であって、
前記差異領域特定手段が、
前記画像化ランレングスデータと前記画像化入力データとを画素単位で比較して、前記画像化入力データにのみ画素が存在する領域を、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在するのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されていない領域である欠落欠陥領域として特定することを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項2に記載の欠陥検査装置であって、
前記データ形式変換手段が、
前記入力データに座標値化処理を実行して、前記入力データに含まれる1以上の図形のそれぞれを座標値の集合によって記述した座標値化入力データを取得する入力データ座標値化手段、
を備え、
前記欠陥検出手段が、
前記ランレングスデータに含まれる複数のランの始点および終点の位置と、前記座標値化入力データに含まれる複数の座標値のうちの所定の座標値とを比較することによって、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在しないのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されている領域である余分欠陥領域と、前記ランレングスデータにおいて前記入力データが存在するのに前記ランデータが生成されていない領域である欠落欠陥領域とをそれぞれ特定する差異領域特定手段、
をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項4、6、8、11および13のいずれかに記載の欠陥検査装置であって、
前記余分欠陥領域が特定された場合に、前記ランレングスデータにおける前記余分欠陥領域に生成されている前記ランデータを削除する余分欠陥修復手段、
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項5、7、9、12および13のいずれかに記載の欠陥検査装置であって、
前記欠落欠陥領域が特定された場合に、前記ランレングスデータにおける前記欠落欠陥領域に新たに前記ランデータを生成する欠落欠陥修復手段、
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1から15のいずれかに記載の欠陥検査装置であって、
前記入力データが基板に描画すべきパターンのCADデータであり、
前記ランレングスデータが、基板に前記パターンを描画するのに供されることを特徴とする欠陥検査装置。 - コンピュータによって実行されることにより、前記コンピュータに、
描画すべき図形を記述した入力データを取得する入力データ取得機能と、
前記入力データがRIP処理されることによって取得されたランレングスデータを取得するランレングスデータ取得機能と、
前記入力データと前記ランレングスデータとを比較して、差異領域がある場合に当該差異領域を前記ランレングスデータの欠陥領域として検出する欠陥検出機能と、
前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合に、当該欠陥領域を修復して修復ランレングスデータを取得する修復機能と、
を実現させることができる欠陥検査プログラム。 - ランレングスデータに基づいて出力媒体に対する図形の描画を行う図形描画装置であって、
描画すべき図形を記述した入力データを取得する入力データ取得手段と、
前記入力データがRIP処理されることによって取得された前記ランレングスデータを取得するランレングスデータ取得手段と、
前記入力データと前記ランレングスデータとを比較して、差異領域がある場合に当該差異領域を前記ランレングスデータの欠陥領域として検出する欠陥検出手段と、
前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合に、当該欠陥領域を修復して修復ランレングスデータを取得する修復手段と、
前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合には、前記修復ランレングスデータを描画用ランレングスデータとして取得し、前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出されなかった場合には、前記ランレングスデータをそのまま描画用ランレングスデータとして取得する描画用ランレングスデータ取得手段と、
前記描画用ランレングスデータに基づいて、前記出力媒体に図形を描画する描画手段と、
を備えることを特徴とする図形描画装置。 - 請求項18に記載の図形描画装置であって、
前記入力データが基板に描画すべきパターンのCADデータであり、
前記描画手段が、前記CADデータがRIP処理されることによって取得された前記ランレングスデータに基づいて基板に前記パターンを描画することを特徴とする図形描画装置。 - ランレングスデータに基づいて出力媒体に対する図形の描画を行う図形描画システムであって、
前記ランレングスデータの欠陥を検査する欠陥検査装置と、
前記欠陥検査装置から描画用ランレングスデータを取得し、前記描画用ランレングスデータに基づいて前記出力媒体に図形を描画する描画装置と、
を備え、
前記欠陥検査装置が、
描画すべき図形を記述した入力データを取得する入力データ取得手段と、
前記入力データがRIP処理されることによって取得された前記ランレングスデータを取得するランレングスデータ取得手段と、
前記入力データと前記ランレングスデータとを比較して、差異領域がある場合に当該差異領域を前記ランレングスデータの欠陥領域として検出する欠陥検出手段と、
前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合に、当該欠陥領域を修復して修復ランレングスデータを取得する修復手段と、
前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合には、前記修復ランレングスデータを描画用ランレングスデータとして取得し、前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出されなかった場合には、前記ランレングスデータをそのまま描画用ランレングスデータとして取得する描画用ランレングスデータ取得手段と、
前記描画用ランレングスデータを前記描画装置に送信する描画用ランレングスデータ送信手段と、
を備えることを特徴とする図形描画システム。 - 請求項20に記載の図形描画システムであって、
前記入力データが基板に描画すべきパターンのCADデータであり、
前記描画装置が、前記CADデータがRIP処理されることによって取得された前記ランレングスデータに基づいて基板に前記パターンを描画することを特徴とする図形描画システム。
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