JP4518835B2 - 欠陥検出装置、配線領域抽出装置、欠陥検出方法および配線領域抽出方法 - Google Patents
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Description
3 撮像部
9 基板
42 前処理部
43 2値画像生成部
44 収縮・膨張部
45 配線領域取得部
46 検出感度設定部
47 欠陥検出部
48 特定配線領域抽出部
61 参照2値画像
62 収縮画像
63,64 収縮・膨張画像
65,65a,65b,66,68,68a 配線画像
67 被検査2値画像
92,92a,93 配線
94 スルーホール
611,671 注目領域
651,652,681 配線領域
S11,S14〜S18,S21 ステップ
Claims (15)
- 基板上に形成された幾何学的なパターンの欠陥を検出する欠陥検出装置であって、
基板を撮像する撮像部と、
前記撮像部にて取得された被検査画像に基づく被検査2値画像および参照2値画像のうちの一方の対象画像中の特定の画素値を有する注目領域に収縮処理を施して収縮画像を取得し、前記収縮画像中に残存する前記注目領域に前記収縮処理と同程度の膨張処理を施して収縮・膨張画像を取得する収縮・膨張部と、
前記収縮・膨張画像と前記対象画像との差分画像を微細パターン領域を示す微細パターン画像として生成する微細パターン領域取得部と、
前記収縮・膨張部および前記微細パターン領域取得部により、前記対象画像から2つの微細パターン画像が収縮および膨張処理の度合いを変更して生成され、前記2つの微細パターン画像に対して、差分画像を生成することにより特定の微細パターン領域を取得する特定微細パターン領域抽出部と、
前記特定の微細パターン領域と他の領域とに異なる欠陥検出感度を設定する検出感度設定部と、
前記欠陥検出感度に従いつつ前記被検査画像中の欠陥を検出する欠陥検出部と、
を備えることを特徴とする欠陥検出装置。 - 請求項1に記載の欠陥検出装置であって、
前記対象画像が前記被検査2値画像であり、
前記微細パターン領域取得部が、膨張処理が施された前記参照2値画像で前記微細パターン画像をマスクすることにより修正することを特徴とする欠陥検出装置。 - 基板上に形成された幾何学的なパターンの欠陥を検出する欠陥検出装置であって、
基板を撮像する撮像部と、
前記撮像部にて取得された被検査画像に基づく被検査2値画像を対象画像として、前記対象画像中の特定の画素値を有する注目領域に収縮処理を施して収縮画像を取得し、前記収縮画像中に残存する前記注目領域に前記収縮処理と同程度の膨張処理を施して収縮・膨張画像を取得する収縮・膨張部と、
前記収縮・膨張画像と前記対象画像との差分画像を微細パターン領域を示す微細パターン画像として生成するとともに、膨張処理が施された参照2値画像で前記微細パターン画像をマスクすることにより修正する微細パターン領域取得部と、
前記微細パターン領域と他の領域とに異なる欠陥検出感度を設定する検出感度設定部と、
前記欠陥検出感度に従いつつ前記被検査画像中の欠陥を検出する欠陥検出部と、
を備えることを特徴とする欠陥検出装置。 - 請求項3に記載の欠陥検出装置であって、
前記収縮・膨張部および前記微細パターン領域取得部により、前記対象画像から2つの微細パターン画像が収縮および膨張処理の度合いを変更して生成され、
前記欠陥検出装置が、前記2つの微細パターン画像に対して、差分画像を生成することにより前記検出感度設定部にて利用される特定の微細パターン領域を取得する特定微細パターン領域抽出部をさらに備えることを特徴とする欠陥検出装置。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の欠陥検出装置であって、
前記基板が配線基板であり、前記注目領域が前記被検査2値画像において配線領域に対応する画素値と同じ画素値を有する領域であることを特徴とする欠陥検出装置。 - 請求項5に記載の欠陥検出装置であって、
前記撮像部にて取得されるカラー画像または参照用のカラー画像から前記基板上のスルーホールに対応するスルーホール領域を取得するスルーホール領域取得部をさらに備え、
前記微細パターン領域取得部が、前記スルーホール領域に基づいて、前記基板上の前記スルーホール用のランド部および前記スルーホールに対応する領域を実質的に非配線領域として取り扱うことを特徴とする欠陥検出装置。 - 請求項5に記載の欠陥検出装置であって、
前記撮像部にて取得されるカラー画像または参照用のカラー画像から前記基板上のレジストが付与された領域に対応するレジスト領域を取得するレジスト領域取得部と、
前記レジスト領域のみを示す2値画像および非レジスト領域のみを示す2値画像のそれぞれを前記対象画像として生成する2値画像生成部と、
をさらに備えることを特徴とする欠陥検出装置。 - 基板上に形成された配線を含む幾何学的なパターンを示す対象画像から配線領域を抽出する配線領域抽出装置であって、
2値画像である対象画像において配線領域に対応する画素値と同じ画素値を有する注目領域に収縮処理を施して収縮画像を取得し、前記収縮画像中に残存する前記注目領域に前記収縮処理と同程度の膨張処理を施して収縮・膨張画像を取得する収縮・膨張部と、
前記収縮・膨張画像と前記対象画像との差分画像を配線領域を示す配線画像として生成する配線領域取得部と、
前記収縮・膨張部および前記配線領域取得部により、前記対象画像から2つの配線画像が収縮および膨張処理の度合いを変更して生成され、前記2つの配線画像に対して、差分画像を生成することにより特定の配線領域を取得する特定配線領域抽出部と、
を備えることを特徴とする配線領域抽出装置。 - 請求項8に記載の配線領域抽出装置であって、
基板を撮像して取得されるカラー画像または参照用のカラー画像から前記基板上のスルーホールに対応するスルーホール領域を取得するスルーホール領域取得部をさらに備え、
前記配線領域取得部が、前記スルーホール領域に基づいて、前記基板上の前記スルーホール用のランド部および前記スルーホールに対応する領域を実質的に非配線領域として取り扱うことを特徴とする配線領域抽出装置。 - 請求項8に記載の配線領域抽出装置であって、
基板を撮像して取得されるカラー画像または参照用のカラー画像から前記基板上のレジストが付与された領域に対応するレジスト領域を取得するレジスト領域取得部と、
前記レジスト領域のみを示す2値画像および非レジスト領域のみを示す2値画像のそれぞれを前記対象画像として生成する2値対象画像生成部と、
をさらに備えることを特徴とする配線領域抽出装置。 - 基板上に形成された幾何学的なパターンの欠陥を検出する欠陥検出方法であって、
a)基板を撮像する工程と、
b)撮像により取得された被検査画像に基づく被検査2値画像および参照2値画像のうちの一方の対象画像中の特定の画素値を有する注目領域に収縮処理を施して収縮画像を取得する工程と、
c)前記収縮画像中に残存する前記注目領域に前記収縮処理と同程度の膨張処理を施して収縮・膨張画像を取得する工程と、
d)前記収縮・膨張画像と前記対象画像との差分画像を微細パターン領域を示す微細パターン画像として生成する工程と、
e)前記b)工程ないし前記d)工程において、前記対象画像から2つの微細パターン画像が収縮および膨張処理の度合いを変更して生成され、前記2つの微細パターン画像に対して、差分画像を生成することにより特定の微細パターン領域を取得する工程と、
f)前記特定の微細パターン領域と他の領域とに異なる欠陥検出感度を設定する工程と、
g)前記欠陥検出感度に従いつつ前記被検査画像中の欠陥を検出する工程と、
を備えることを特徴とする欠陥検出方法。 - 請求項11に記載の欠陥検出方法であって、
前記対象画像が前記被検査2値画像であり、
前記d)工程において、膨張処理が施された前記参照2値画像でマスクされることにより前記微細パターン画像が修正されることを特徴とする欠陥検出方法。 - 基板上に形成された幾何学的なパターンの欠陥を検出する欠陥検出方法であって、
a)基板を撮像する工程と、
b)撮像により取得された被検査画像に基づく被検査2値画像を対象画像として、前記対象画像中の特定の画素値を有する注目領域に収縮処理を施して収縮画像を取得する工程と、
c)前記収縮画像中に残存する前記注目領域に前記収縮処理と同程度の膨張処理を施して収縮・膨張画像を取得する工程と、
d)前記収縮・膨張画像と前記対象画像との差分画像を微細パターン領域を示す微細パターン画像として生成するとともに、膨張処理が施された参照2値画像で前記微細パターン画像をマスクすることにより修正する工程と、
e)前記微細パターン領域と他の領域とに異なる欠陥検出感度を設定する工程と、
f)前記欠陥検出感度に従いつつ前記被検査画像中の欠陥を検出する工程と、
を備えることを特徴とする欠陥検出方法。 - 請求項13に記載の欠陥検出方法であって、
前記b)工程ないし前記d)工程において、前記対象画像から2つの微細パターン画像が収縮および膨張処理の度合いを変更して生成され、
前記欠陥検出方法が、g)前記2つの微細パターン画像に対して、差分画像を生成することにより前記e)工程にて利用される特定の微細パターン領域を取得する工程をさらに備えることを特徴とする欠陥検出方法。 - 基板上に形成された配線を含む幾何学的なパターンを示す対象画像から配線領域を抽出する配線領域抽出方法であって、
a)2値画像である対象画像において配線領域に対応する画素値と同じ画素値を有する注目領域に収縮処理を施して収縮画像を取得する工程と、
b)前記収縮画像中に残存する前記注目領域に前記収縮処理と同程度の膨張処理を施して収縮・膨張画像を取得する工程と、
c)前記収縮・膨張画像と前記対象画像との差分画像を配線領域を示す配線画像として生成する工程と、
d)前記a)工程ないし前記c)工程において、前記対象画像から2つの配線画像が収縮および膨張処理の度合いを変更して生成され、前記2つの配線画像に対して、差分画像を生成することにより特定の配線領域を取得する工程と、
を備えることを特徴とする配線領域抽出方法。
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