JP2002207996A - パターン欠陥検出方法および装置 - Google Patents
パターン欠陥検出方法および装置Info
- Publication number
- JP2002207996A JP2002207996A JP2001002495A JP2001002495A JP2002207996A JP 2002207996 A JP2002207996 A JP 2002207996A JP 2001002495 A JP2001002495 A JP 2001002495A JP 2001002495 A JP2001002495 A JP 2001002495A JP 2002207996 A JP2002207996 A JP 2002207996A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- pattern
- master
- contour
- unevenness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 検査パターンの向きによらずに欠陥を確実に
検出できるようにする。 【解決手段】 欠陥検出装置１０は、ラインセンサ１２
が検査対象１４を撮像し、２値化回路１８がラインセン
サ１２の映像信号に基づいて２値画像データを作成す
る。輪郭抽出部２２は、２値画像から検査対象１４に形
成されている検査パターンの検査輪郭線を求めてサンプ
ルデータ記憶手段２６のサンプル輪郭線記憶部２８に書
き込む。凹凸抽出部２４は、検査輪郭線の凹凸部を抽出
してサンプル凹凸記憶部に書き込む。比較判定部４０の
比較部４２は、サンプル凹凸記憶部３０に記憶させた検
査凹凸部を読み出し、この検査凹凸部に対応したマスタ
輪郭線をマスタデータ記憶手段３２のマスタ輪郭線記憶
部３４から読み出し、両者を比較する。判定部４４は、
比較部４２の比較結果に基づいて、検査凹凸部が欠陥で
あるか否かを判定する。
検出できるようにする。 【解決手段】 欠陥検出装置１０は、ラインセンサ１２
が検査対象１４を撮像し、２値化回路１８がラインセン
サ１２の映像信号に基づいて２値画像データを作成す
る。輪郭抽出部２２は、２値画像から検査対象１４に形
成されている検査パターンの検査輪郭線を求めてサンプ
ルデータ記憶手段２６のサンプル輪郭線記憶部２８に書
き込む。凹凸抽出部２４は、検査輪郭線の凹凸部を抽出
してサンプル凹凸記憶部に書き込む。比較判定部４０の
比較部４２は、サンプル凹凸記憶部３０に記憶させた検
査凹凸部を読み出し、この検査凹凸部に対応したマスタ
輪郭線をマスタデータ記憶手段３２のマスタ輪郭線記憶
部３４から読み出し、両者を比較する。判定部４４は、
比較部４２の比較結果に基づいて、検査凹凸部が欠陥で
あるか否かを判定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハに形
成したパターンや半導体チップを搭載する基板などに形
成したパターンの欠陥を検出する方法に係り、特に検査
対象に形成した検査パターンとマスタパターンとをパタ
ーンを比較し、検査パターンの欠陥を検出するパターン
欠陥検出方法および装置に関する。
成したパターンや半導体チップを搭載する基板などに形
成したパターンの欠陥を検出する方法に係り、特に検査
対象に形成した検査パターンとマスタパターンとをパタ
ーンを比較し、検査パターンの欠陥を検出するパターン
欠陥検出方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置を製造するウエハや、半導体
チップを搭載する基板などにおいては、銅薄膜などによ
る複雑で微細なパターンが形成される。これらの微細な
パターンを形成した場合、本来離れているべきパターン
同士が接続されてしまったり、本来繋がっているべきパ
ターンが途中で切れていたり、パータンに突起や欠けな
どの欠陥が形成されることがある。このため、パターン
を形成した場合、上記のようなパターンの欠陥を検出し
て不良品を除去する必要がある。
チップを搭載する基板などにおいては、銅薄膜などによ
る複雑で微細なパターンが形成される。これらの微細な
パターンを形成した場合、本来離れているべきパターン
同士が接続されてしまったり、本来繋がっているべきパ
ターンが途中で切れていたり、パータンに突起や欠けな
どの欠陥が形成されることがある。このため、パターン
を形成した場合、上記のようなパターンの欠陥を検出し
て不良品を除去する必要がある。
【０００３】従来、パターンの欠陥を検出する方法とし
て、パターンマッチングがしばしば用いられている。こ
のパターンマッチングは、例えばＣＣＤからなるライン
センサによって検査対象を撮像し、ラインセンサの出力
する映像信号から２値画像を得、検査対象の検査パター
ン（サンプルパターン）と標準パターン（マスタパター
ン）とを比較するもので、両パターンを重ね合わせ、両
者の不一致となった部分の収縮処理、膨張処理などを施
し、残っている部分を欠陥と判断する。
て、パターンマッチングがしばしば用いられている。こ
のパターンマッチングは、例えばＣＣＤからなるライン
センサによって検査対象を撮像し、ラインセンサの出力
する映像信号から２値画像を得、検査対象の検査パター
ン（サンプルパターン）と標準パターン（マスタパター
ン）とを比較するもので、両パターンを重ね合わせ、両
者の不一致となった部分の収縮処理、膨張処理などを施
し、残っている部分を欠陥と判断する。
【０００４】また、別の欠陥検出方法として、検査対象
をラスタ方向に走査して撮像し、画像データから１ライ
ンずつのランレグスを求め、このランレグスを用いてサ
ンプルパターンのエッジ（縁）からエッジまでの水平距
離、垂直距離を使ってパターンの幅や間隔などを求め、
求めたパターン幅やパターン間隔をパスタパターンと比
較して欠陥を有するか否か判定する方法もある。
をラスタ方向に走査して撮像し、画像データから１ライ
ンずつのランレグスを求め、このランレグスを用いてサ
ンプルパターンのエッジ（縁）からエッジまでの水平距
離、垂直距離を使ってパターンの幅や間隔などを求め、
求めたパターン幅やパターン間隔をパスタパターンと比
較して欠陥を有するか否か判定する方法もある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記したパタ
ーンマッチングにおいては、微妙なエッジの変形（欠
陥）を検出することが困難である。しかも、サンプルパ
ターンとマスタパターンとの位置ずれがあると、欠陥の
検出を行なうことができず、位置合わせが容易でない。
そして、パターンマッチングをする場合、画素ごとにサ
ンプルパターンとマスタパターンとを比較をするため、
多くの時間を要す得る。
ーンマッチングにおいては、微妙なエッジの変形（欠
陥）を検出することが困難である。しかも、サンプルパ
ターンとマスタパターンとの位置ずれがあると、欠陥の
検出を行なうことができず、位置合わせが容易でない。
そして、パターンマッチングをする場合、画素ごとにサ
ンプルパターンとマスタパターンとを比較をするため、
多くの時間を要す得る。
【０００６】また、ランレグスを用いる欠陥検出方法に
おいても、微妙なエッジ変形を検出することが困難であ
るとともに、図５のようにパターン１が水平の走査方向
（Ｘ方向）、垂直の走査方向（Ｙ方向）に対して傾斜し
ている場合、パターン１の欠け２、３ような欠陥があっ
ても検出することができない。すなわち、欠け２、３の
間隔ｄが良品としての許容範囲から外れている場合であ
っても、欠け２に対する水平方向のエッジ間距離ＸA お
よび垂直方向のエッジ間距離ＹA 、並びに欠け３対する
水平方向のエッジ間距離ＸB および垂直方向のエッジ間
距離ＹB は、許容範囲内となり、欠け２、３欠陥として
検出することができない。また、ランレグスによるパタ
ーン欠陥の検出は、画素の水平方向または垂直方向の１
ラインずつ比較していくため、欠陥の検出に多くの時間
を要するとともに、サンプルパターンとマスタパターン
の位置ずれがないようにしなければならない。さらに、
ランレグスによる方法は、ランレグスデータを平行移動
させたり、回転させたりして位置補正を行なうためにデ
ータ自身の劣化を招き、欠陥の検出精度が低下する。
おいても、微妙なエッジ変形を検出することが困難であ
るとともに、図５のようにパターン１が水平の走査方向
（Ｘ方向）、垂直の走査方向（Ｙ方向）に対して傾斜し
ている場合、パターン１の欠け２、３ような欠陥があっ
ても検出することができない。すなわち、欠け２、３の
間隔ｄが良品としての許容範囲から外れている場合であ
っても、欠け２に対する水平方向のエッジ間距離ＸA お
よび垂直方向のエッジ間距離ＹA 、並びに欠け３対する
水平方向のエッジ間距離ＸB および垂直方向のエッジ間
距離ＹB は、許容範囲内となり、欠け２、３欠陥として
検出することができない。また、ランレグスによるパタ
ーン欠陥の検出は、画素の水平方向または垂直方向の１
ラインずつ比較していくため、欠陥の検出に多くの時間
を要するとともに、サンプルパターンとマスタパターン
の位置ずれがないようにしなければならない。さらに、
ランレグスによる方法は、ランレグスデータを平行移動
させたり、回転させたりして位置補正を行なうためにデ
ータ自身の劣化を招き、欠陥の検出精度が低下する。
【０００７】本発明は、前記従来技術の欠点を解消する
ためになされたもので、検査パターンの向きによらずに
欠陥を確実に検出できるようにすることを目的としてい
る。また、本発明は、検査パターンとサンプルパターン
との厳密な位置合わせをせずに欠陥を容易に検出できる
ようにすることを目的としている。そして、本発明は、
データ自身の劣化などが生じないようにすることなどを
目的としている。
ためになされたもので、検査パターンの向きによらずに
欠陥を確実に検出できるようにすることを目的としてい
る。また、本発明は、検査パターンとサンプルパターン
との厳密な位置合わせをせずに欠陥を容易に検出できる
ようにすることを目的としている。そして、本発明は、
データ自身の劣化などが生じないようにすることなどを
目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明に係るパターン欠陥検出方法は、検査パタ
ーンを有する検査対象の画像データから、前記検査パタ
ーンの検査輪郭線を求めたのち、前記検査輪郭線の検査
凹凸部を抽出し、予め求めてあるマスタパターンのマス
タ輪郭線の対応部と比較して前記検査パターンの欠陥を
検出することを特徴としている。
めに、本発明に係るパターン欠陥検出方法は、検査パタ
ーンを有する検査対象の画像データから、前記検査パタ
ーンの検査輪郭線を求めたのち、前記検査輪郭線の検査
凹凸部を抽出し、予め求めてあるマスタパターンのマス
タ輪郭線の対応部と比較して前記検査パターンの欠陥を
検出することを特徴としている。
【０００９】検査凹凸部の抽出は、検査輪郭線上の２点
を結ぶ直線に、２点間に存在する検査輪郭線から下した
垂線の長さが、予め定めた値以上の部分を求めて行なう
ようにできる。また、マスタパターンの予め求めたマス
タ凹凸部を検査対象の検査輪郭線の対応部と比較するこ
とが望ましい。
を結ぶ直線に、２点間に存在する検査輪郭線から下した
垂線の長さが、予め定めた値以上の部分を求めて行なう
ようにできる。また、マスタパターンの予め求めたマス
タ凹凸部を検査対象の検査輪郭線の対応部と比較するこ
とが望ましい。
【００１０】そして、上記のパターン欠陥検出方法を実
施するためにパターン欠陥検出装置は、検査対象を撮像
して映像信号を出力する撮像手段と、この撮像手段の出
力する映像信号に基づいて、前記検査対象に形成した検
査パターンの検査輪郭線を求める輪郭線抽出手段と、こ
の輪郭線抽出手段の求めた前記検査輪郭線の検査凹凸部
を抽出する凹凸抽出手段と、この凹凸抽出部が抽出した
検査凹凸部を位置データとともに記憶するサンプルデー
タ記憶手段と、前記検査パターンと比較するマスタパタ
ーンのマスタ輪郭線を格納したマスタデータ記憶手段
と、前記サンプルデータ記憶手段に格納した前記検査凹
凸部と、前記マスタデータ記憶手段に格納した前記マス
タ輪郭線の、前記検査凹凸部と対応した部分とを読み出
して比較し、前記検査凹凸部が欠陥であるか否かを判断
する比較判定手段と、を有することを特徴としている。
施するためにパターン欠陥検出装置は、検査対象を撮像
して映像信号を出力する撮像手段と、この撮像手段の出
力する映像信号に基づいて、前記検査対象に形成した検
査パターンの検査輪郭線を求める輪郭線抽出手段と、こ
の輪郭線抽出手段の求めた前記検査輪郭線の検査凹凸部
を抽出する凹凸抽出手段と、この凹凸抽出部が抽出した
検査凹凸部を位置データとともに記憶するサンプルデー
タ記憶手段と、前記検査パターンと比較するマスタパタ
ーンのマスタ輪郭線を格納したマスタデータ記憶手段
と、前記サンプルデータ記憶手段に格納した前記検査凹
凸部と、前記マスタデータ記憶手段に格納した前記マス
タ輪郭線の、前記検査凹凸部と対応した部分とを読み出
して比較し、前記検査凹凸部が欠陥であるか否かを判断
する比較判定手段と、を有することを特徴としている。
【００１１】サンプルデータ記憶手段には、検査対象の
検査輪郭線のデータを格納するサンプル輪郭線記憶部を
設け、マスタデータ記憶手段には、マスタ輪郭線の予め
求めたマスタ凹凸部を位置データとともに記憶したマス
タ凹凸記憶部を設け、比較判定部は、マスタ凹凸記憶部
に記憶させたマスタ凹凸部と、サンプル輪郭線記憶部に
記憶させた検査輪郭線のマスタ凹凸部と対応した部分と
を読み出して比較し、検査パターンの欠陥の有無を判定
するように構成することができる。
検査輪郭線のデータを格納するサンプル輪郭線記憶部を
設け、マスタデータ記憶手段には、マスタ輪郭線の予め
求めたマスタ凹凸部を位置データとともに記憶したマス
タ凹凸記憶部を設け、比較判定部は、マスタ凹凸記憶部
に記憶させたマスタ凹凸部と、サンプル輪郭線記憶部に
記憶させた検査輪郭線のマスタ凹凸部と対応した部分と
を読み出して比較し、検査パターンの欠陥の有無を判定
するように構成することができる。
【００１２】
【作用】上記のごとく構成した本発明は、検査パターン
の検査輪郭線から凹凸部（検査凹凸部）を抽出し、この
検査凹凸部をマスタパターンの輪郭線（マスタ輪郭線）
の対応する部分と比較するようにしているため、検査パ
ターンの向きによる影響を受けることなく欠陥を検出可
能であって、検査パターンのエッジに微妙な変形を与え
る小さな欠陥であっても容易に検出することができる。
そして、本発明は、検査凹凸部を抽出して比較するよう
にしているため、比較すべきパターンデータの量を大幅
に少なくすることが可能で、欠陥の検出に要する時間を
削減することができる。また、抽出した凹凸部をマスタ
輪郭線の対応部と比較するようにしているため、検査パ
ターンとマスタパターンとの位置合わせの精度によら
ず、パターン欠陥の検出を安定して容易に行なうことが
できる。さらに、本発明においては、パターンデータの
平行移動や回転などを行なう必要がないため、パターン
データの劣化を防止でき、欠陥の検出精度を高めること
ができる。
の検査輪郭線から凹凸部（検査凹凸部）を抽出し、この
検査凹凸部をマスタパターンの輪郭線（マスタ輪郭線）
の対応する部分と比較するようにしているため、検査パ
ターンの向きによる影響を受けることなく欠陥を検出可
能であって、検査パターンのエッジに微妙な変形を与え
る小さな欠陥であっても容易に検出することができる。
そして、本発明は、検査凹凸部を抽出して比較するよう
にしているため、比較すべきパターンデータの量を大幅
に少なくすることが可能で、欠陥の検出に要する時間を
削減することができる。また、抽出した凹凸部をマスタ
輪郭線の対応部と比較するようにしているため、検査パ
ターンとマスタパターンとの位置合わせの精度によら
ず、パターン欠陥の検出を安定して容易に行なうことが
できる。さらに、本発明においては、パターンデータの
平行移動や回転などを行なう必要がないため、パターン
データの劣化を防止でき、欠陥の検出精度を高めること
ができる。
【００１３】検査凹凸部の抽出を、検査輪郭線上の２点
を結ぶ直線に、２点間に存在する検査輪郭線から下した
垂線の長さが、予め定めた値以上の部分を求めて行なう
ようすると、検査凹凸部の抽出を容易、確実に短時間で
行なうことができる。また、マスタパターンの予め求め
たマスタ凹凸部を、検査対象の検査輪郭線の対応部と比
較すると、検査パターンの角部（コーナー部）の欠けな
どを確実に検出することができる。
を結ぶ直線に、２点間に存在する検査輪郭線から下した
垂線の長さが、予め定めた値以上の部分を求めて行なう
ようすると、検査凹凸部の抽出を容易、確実に短時間で
行なうことができる。また、マスタパターンの予め求め
たマスタ凹凸部を、検査対象の検査輪郭線の対応部と比
較すると、検査パターンの角部（コーナー部）の欠けな
どを確実に検出することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明に係るパターン欠陥検出方
法および装置の好ましい実施の形態を、添付図面に従っ
て詳細に説明する。図１は、本発明の実施の形態に係る
パターン欠陥検出装置のブロック図である。欠陥検査装
置１０は、撮像手段であるラインセンサ１２を有してい
る。ラインセンサ１２は、例えばＣＣＤから構成してあ
って、半導体ウエハやＣＳＰ（Ｃｈｉｐ Ｓｉｚｅ Ｐ
ａｃｋａｇｅ）用テープやリードフレームなどのパタン
を有する検査対象（サンプル）１２を撮像し、アナログ
の映像信号をアナログ・ディジタル変換器（Ａ／Ｄ変換
器）１６に出力する。Ａ／Ｄ変換器１６の出力側には、
２値化回路１８が設けてあって、Ａ／Ｄ変換器１６の出
力したディジタル画像データを設定された閾値によって
２値化し、２値画像メモリ２０に格納する。
法および装置の好ましい実施の形態を、添付図面に従っ
て詳細に説明する。図１は、本発明の実施の形態に係る
パターン欠陥検出装置のブロック図である。欠陥検査装
置１０は、撮像手段であるラインセンサ１２を有してい
る。ラインセンサ１２は、例えばＣＣＤから構成してあ
って、半導体ウエハやＣＳＰ（Ｃｈｉｐ Ｓｉｚｅ Ｐ
ａｃｋａｇｅ）用テープやリードフレームなどのパタン
を有する検査対象（サンプル）１２を撮像し、アナログ
の映像信号をアナログ・ディジタル変換器（Ａ／Ｄ変換
器）１６に出力する。Ａ／Ｄ変換器１６の出力側には、
２値化回路１８が設けてあって、Ａ／Ｄ変換器１６の出
力したディジタル画像データを設定された閾値によって
２値化し、２値画像メモリ２０に格納する。
【００１５】２値画像メモリ２０には、輪郭線抽出部
（輪郭線抽出手段）２２が接続してあって、２値画像メ
モリに格納してある２値画像データから検査対象１４に
形成してある検査パターン（サンプルパターン）の輪郭
線を検査輪郭線として求め、サンプルデータ記憶手段２
６のサンプル輪郭線記憶部２８に書き込む。また、サン
プル輪郭線記憶部２８には、凹凸抽出部（凹凸抽出手
段）２４が接続してある。凹凸抽出部２４は、詳細を後
述するように、サンプルパターンの検査輪郭線の凹凸部
（検査凹凸部）を抽出する。凹凸抽出部２４の求めた検
査凹凸部は、サンプルデータ記憶手段２６のサンプル凹
凸記憶部３０に検査凹凸部の位置データとともに記憶さ
れる。
（輪郭線抽出手段）２２が接続してあって、２値画像メ
モリに格納してある２値画像データから検査対象１４に
形成してある検査パターン（サンプルパターン）の輪郭
線を検査輪郭線として求め、サンプルデータ記憶手段２
６のサンプル輪郭線記憶部２８に書き込む。また、サン
プル輪郭線記憶部２８には、凹凸抽出部（凹凸抽出手
段）２４が接続してある。凹凸抽出部２４は、詳細を後
述するように、サンプルパターンの検査輪郭線の凹凸部
（検査凹凸部）を抽出する。凹凸抽出部２４の求めた検
査凹凸部は、サンプルデータ記憶手段２６のサンプル凹
凸記憶部３０に検査凹凸部の位置データとともに記憶さ
れる。
【００１６】さらに、欠陥検出装置１０は、マスタデー
タ記憶手段３２を有する。このマスタデータ記憶手段３
２には、マスタ輪郭線記憶部３４とマスタ凹凸記憶部３
６とが設けてあり、サンプルパターンと比較するマスタ
パターンの、予め求めた輪郭線（マスタ輪郭線）とこの
マスタ輪郭線の凹凸部であるマスタ凹凸部とが記憶させ
てある。そして、マスタデータ記憶手段３２とサンプル
データ記憶手段２６とには、比較判定手段４０が接続し
てあって、これらの記憶手段２６、３２に記憶させてあ
るマスタパターンのデータとサンプルパターンのデータ
とを読み出して比較し、サンプルパターンに欠陥が存在
するか否かを判定する。すなわち、比較判定手段４０に
は、マスタデータとサンプルデータとを比較する比較部
４２と、比較部４２の出力側に接続した判定部４４とが
設けてあって、判定部４４が比較部４２の比較結果に基
づいて、サンプルパターンの欠陥の有無を判定する。
タ記憶手段３２を有する。このマスタデータ記憶手段３
２には、マスタ輪郭線記憶部３４とマスタ凹凸記憶部３
６とが設けてあり、サンプルパターンと比較するマスタ
パターンの、予め求めた輪郭線（マスタ輪郭線）とこの
マスタ輪郭線の凹凸部であるマスタ凹凸部とが記憶させ
てある。そして、マスタデータ記憶手段３２とサンプル
データ記憶手段２６とには、比較判定手段４０が接続し
てあって、これらの記憶手段２６、３２に記憶させてあ
るマスタパターンのデータとサンプルパターンのデータ
とを読み出して比較し、サンプルパターンに欠陥が存在
するか否かを判定する。すなわち、比較判定手段４０に
は、マスタデータとサンプルデータとを比較する比較部
４２と、比較部４２の出力側に接続した判定部４４とが
設けてあって、判定部４４が比較部４２の比較結果に基
づいて、サンプルパターンの欠陥の有無を判定する。
【００１７】上記のごとくなっている実施形態の作用
は、次の通りである。マスタデータ記憶手段３２のマス
タ輪郭線記憶部３４とマスタ凹凸記憶部３６とには、予
め求めたマスタパターンについてのマスタ輪郭線と、こ
のマスタ輪郭線の凹凸部（マスタ凹凸部）とが位置デー
タとともに記憶させておく。そして、ラインセンサ１２
と検査対象１４とを相対移動させてラインセンサ１２を
ラスタ方向に走査し、ラインセンサ１２によって検査対
象１４を撮像する。
は、次の通りである。マスタデータ記憶手段３２のマス
タ輪郭線記憶部３４とマスタ凹凸記憶部３６とには、予
め求めたマスタパターンについてのマスタ輪郭線と、こ
のマスタ輪郭線の凹凸部（マスタ凹凸部）とが位置デー
タとともに記憶させておく。そして、ラインセンサ１２
と検査対象１４とを相対移動させてラインセンサ１２を
ラスタ方向に走査し、ラインセンサ１２によって検査対
象１４を撮像する。
【００１８】ラインセンサ１２は、検査対象１４を撮像
してアナログの映像信号をＡ／Ｄ変換器１６に出力す
る。Ａ／Ｄ変換器１６は、入力するアナログ映像信号を
ディジタル画像データに変換して２値化回路１８に与え
る。２値化回路１８は、Ａ／Ｄ変換器１６の出力する多
値画像データを設定された閾値によって２値化し、２値
画像データを作成して２値画像メモリ２０に書き込む。
輪郭抽出部２は、２値画像メモリ２０に書き込まれた検
査対象の２値画像を読み出し、例えば境界追跡法などに
よって検査対象１４に形成した検査パターン（サンプル
パターン）の境界線を検査輪郭線として抽出し、サンプ
ルデータ記憶手段２６サンプル輪郭線記憶部２８に書き
込む。また、凹凸抽出部２４は、サンプル輪郭線記憶部
２８に書き込まれたサンプルパターンの検査輪郭線を読
み出し、この輪郭線の検査凹凸部を抽出する。凹凸抽出
部２４による輪郭線の凹凸部の抽出は、実施形態の場
合、次の「３点フィルタ」処理によって行なう。
してアナログの映像信号をＡ／Ｄ変換器１６に出力す
る。Ａ／Ｄ変換器１６は、入力するアナログ映像信号を
ディジタル画像データに変換して２値化回路１８に与え
る。２値化回路１８は、Ａ／Ｄ変換器１６の出力する多
値画像データを設定された閾値によって２値化し、２値
画像データを作成して２値画像メモリ２０に書き込む。
輪郭抽出部２は、２値画像メモリ２０に書き込まれた検
査対象の２値画像を読み出し、例えば境界追跡法などに
よって検査対象１４に形成した検査パターン（サンプル
パターン）の境界線を検査輪郭線として抽出し、サンプ
ルデータ記憶手段２６サンプル輪郭線記憶部２８に書き
込む。また、凹凸抽出部２４は、サンプル輪郭線記憶部
２８に書き込まれたサンプルパターンの検査輪郭線を読
み出し、この輪郭線の検査凹凸部を抽出する。凹凸抽出
部２４による輪郭線の凹凸部の抽出は、実施形態の場
合、次の「３点フィルタ」処理によって行なう。
【００１９】図２は、サンプルパターンの凹凸を３点フ
ィルタによって抽出方法を説明する図であって、（１）
は凸部の抽出方法を説明する図であり、（２）は凹部を
抽出する図である。なお、図２においては、説明の便宜
上、サンプルパターンの輪郭線を破線で示してある。
ィルタによって抽出方法を説明する図であって、（１）
は凸部の抽出方法を説明する図であり、（２）は凹部を
抽出する図である。なお、図２においては、説明の便宜
上、サンプルパターンの輪郭線を破線で示してある。
【００２０】この３点フィルタ処理は、まず、サンプル
パターンの輪郭線（検査輪郭線）５０上の、任意の点Ａ
から検査輪郭線５０に沿って点Ｂまで距離Ｌを求める。
次に、点Ａと点Ｂとを結ぶ直線Ｃを求める。その後、点
Ａ、点Ｂ間の検査輪郭線５０ａの各点から直線Ｃに垂線
Ｐａを下し、垂線Ｐａの長さｈを求める。そして、垂線
Ｐａの長さｈを基準値（閾値）と比較し、長さｈが基準
値以上である場合、検査輪郭線５０ａに凸部が存在して
いつものとし、その凸部を検査輪郭線の位置情報ととも
にサンプル凹凸記憶部３０に格納する。
パターンの輪郭線（検査輪郭線）５０上の、任意の点Ａ
から検査輪郭線５０に沿って点Ｂまで距離Ｌを求める。
次に、点Ａと点Ｂとを結ぶ直線Ｃを求める。その後、点
Ａ、点Ｂ間の検査輪郭線５０ａの各点から直線Ｃに垂線
Ｐａを下し、垂線Ｐａの長さｈを求める。そして、垂線
Ｐａの長さｈを基準値（閾値）と比較し、長さｈが基準
値以上である場合、検査輪郭線５０ａに凸部が存在して
いつものとし、その凸部を検査輪郭線の位置情報ととも
にサンプル凹凸記憶部３０に格納する。
【００２１】凹部の検出も同様にして行なうことができ
る。すなわち、図２（２）に示したように、検査輪郭線
５０上の点Ｄから検査輪郭線５０に沿って距離Ｌだけ離
れた検査輪郭線５０上の点Ｅを求める。そして、点Ｄ、
Ｅを結ぶ直線Ｆを求めたのち、点Ｄ、Ｅ間の検査輪郭線
５０ｂから直線Ｆに垂線Ｐｂを下し、垂線Ｐｂの長さｈ
を基準値と比較することにより、凹部を検出することが
できる。このようにして検査輪郭線５０の出発点を順次
移動させながら検査輪郭線５０の全体にわたって凹凸部
を抽出することにより、欠陥の検出のために必要とする
パターンのエッジデータの量を大幅に少なくすることが
可能で、あとの欠陥検出処理の時間を削減することがで
き、欠陥検出に要する時間を短縮することができる。
る。すなわち、図２（２）に示したように、検査輪郭線
５０上の点Ｄから検査輪郭線５０に沿って距離Ｌだけ離
れた検査輪郭線５０上の点Ｅを求める。そして、点Ｄ、
Ｅを結ぶ直線Ｆを求めたのち、点Ｄ、Ｅ間の検査輪郭線
５０ｂから直線Ｆに垂線Ｐｂを下し、垂線Ｐｂの長さｈ
を基準値と比較することにより、凹部を検出することが
できる。このようにして検査輪郭線５０の出発点を順次
移動させながら検査輪郭線５０の全体にわたって凹凸部
を抽出することにより、欠陥の検出のために必要とする
パターンのエッジデータの量を大幅に少なくすることが
可能で、あとの欠陥検出処理の時間を削減することがで
き、欠陥検出に要する時間を短縮することができる。
【００２２】なお、前記実施形態においては、例えば点
Ａ、Ｂ間の直線Ｃを求めたのち、直ちに検査輪郭線５０
ａから直線Ｃに垂線Ｐａを下す場合について説明した
が、直線Ｃの長さと、点Ａ、Ｂ間の検査輪郭線５０ａの
長さとを比較し、検査輪郭線５０ａの長さが直線Ｃに対
して所定の値以上長いときに、検査輪郭線５０ａから直
線Ｃに垂線Ｐａを下すようにしてもよい。そして、マス
タ輪郭線記憶部３４とマスタ凹凸記憶部３６とに記憶さ
せてあるマスタ輪郭線やマスタ凹凸部も、上記と同様に
して求められる。
Ａ、Ｂ間の直線Ｃを求めたのち、直ちに検査輪郭線５０
ａから直線Ｃに垂線Ｐａを下す場合について説明した
が、直線Ｃの長さと、点Ａ、Ｂ間の検査輪郭線５０ａの
長さとを比較し、検査輪郭線５０ａの長さが直線Ｃに対
して所定の値以上長いときに、検査輪郭線５０ａから直
線Ｃに垂線Ｐａを下すようにしてもよい。そして、マス
タ輪郭線記憶部３４とマスタ凹凸記憶部３６とに記憶さ
せてあるマスタ輪郭線やマスタ凹凸部も、上記と同様に
して求められる。
【００２３】上記のようにして凹凸抽出部２４が検査対
象１４に形成されたすべての検査パターンについて、検
査輪郭線と検査凹凸部とを求めたならば、比較判定手段
４０の比較部４２は、サンプルデータ記憶手段２６のサ
ンプル凹凸記憶部３０に格納した検査凹凸部のデータを
順次読み出すとともに、マスタデータ記憶手段３２のマ
スタ輪郭線記憶部３４に記憶させてあるマスタパターン
のマスタ輪郭線の、サンプル凹凸記憶部３０から読み出
した検査凹凸部に対応した部分を読み出す。そして、比
較部４２は、検査輪郭線５０の検査凹凸部の凹凸程度、
すなわち垂線Ｐの長さｈからマスタ輪郭線の凹凸の程度
を引き去り、残った値に対応した信号を比較結果として
判定部４４に送出する。判定部４４は、比較部４２が求
めた値が予め定めた値以上であるとその検査凹凸部をパ
ターン欠陥と判定し、判定結果を図示しない表示装置や
判定記憶部などに出力する。
象１４に形成されたすべての検査パターンについて、検
査輪郭線と検査凹凸部とを求めたならば、比較判定手段
４０の比較部４２は、サンプルデータ記憶手段２６のサ
ンプル凹凸記憶部３０に格納した検査凹凸部のデータを
順次読み出すとともに、マスタデータ記憶手段３２のマ
スタ輪郭線記憶部３４に記憶させてあるマスタパターン
のマスタ輪郭線の、サンプル凹凸記憶部３０から読み出
した検査凹凸部に対応した部分を読み出す。そして、比
較部４２は、検査輪郭線５０の検査凹凸部の凹凸程度、
すなわち垂線Ｐの長さｈからマスタ輪郭線の凹凸の程度
を引き去り、残った値に対応した信号を比較結果として
判定部４４に送出する。判定部４４は、比較部４２が求
めた値が予め定めた値以上であるとその検査凹凸部をパ
ターン欠陥と判定し、判定結果を図示しない表示装置や
判定記憶部などに出力する。
【００２４】すなわち、比較判定手段４０は、図３
（１）に示したように、検査輪郭線５０上の点Ｇ、Ｈを
結ぶ直線５４に、これらの点Ｇ、Ｈ間の検査輪郭線５０
上の点Ｉから下した垂線Ｐの長さｈが長く、凹凸の程度
が大きい場合であっても、同図（２）に示したように、
これと比較するマスタ輪郭線６０の対応する部分の垂線
Ｐの長さｈが長く、マスタ輪郭線６０の凹凸の程度が検
査輪郭線５０と同程度である場合、欠陥とはみなされな
い。
（１）に示したように、検査輪郭線５０上の点Ｇ、Ｈを
結ぶ直線５４に、これらの点Ｇ、Ｈ間の検査輪郭線５０
上の点Ｉから下した垂線Ｐの長さｈが長く、凹凸の程度
が大きい場合であっても、同図（２）に示したように、
これと比較するマスタ輪郭線６０の対応する部分の垂線
Ｐの長さｈが長く、マスタ輪郭線６０の凹凸の程度が検
査輪郭線５０と同程度である場合、欠陥とはみなされな
い。
【００２５】比較判定手段４０は、上記のようにして検
査輪郭線５０から抽出したすべての検査凹凸部につい
て、マスタ輪郭線６０との比較を終了すると、比較部４
２がマスタ凹凸記憶部３６に格納してあるマスタ輪郭線
６０のマスタ凹凸部を順次読み出す。この際、比較部４
２は、マスタ凹凸部のうち、既に検査輪郭線５０の検査
凹凸部と比較したものは除外し、まだ検査凹凸部と比較
していないマスタ凹凸部のみを読み出す。また、比較部
４２は、読み出したマスタ凹凸部と対応した部分の、検
査輪郭線５０をサンプル輪郭線記憶部２８から読み出
し、前記と同様に両者の凹凸の程度（垂線Ｐの長さｈ）
を比較して両者の差を求め、比較結果を判定部４４に出
力する。判定部４４は、前記と同ようにして両者の差が
予め定めた設定値以上である場合、パターン欠陥と判定
して判定結果を図示しない表示装置や判定結果記憶部に
出力する。
査輪郭線５０から抽出したすべての検査凹凸部につい
て、マスタ輪郭線６０との比較を終了すると、比較部４
２がマスタ凹凸記憶部３６に格納してあるマスタ輪郭線
６０のマスタ凹凸部を順次読み出す。この際、比較部４
２は、マスタ凹凸部のうち、既に検査輪郭線５０の検査
凹凸部と比較したものは除外し、まだ検査凹凸部と比較
していないマスタ凹凸部のみを読み出す。また、比較部
４２は、読み出したマスタ凹凸部と対応した部分の、検
査輪郭線５０をサンプル輪郭線記憶部２８から読み出
し、前記と同様に両者の凹凸の程度（垂線Ｐの長さｈ）
を比較して両者の差を求め、比較結果を判定部４４に出
力する。判定部４４は、前記と同ようにして両者の差が
予め定めた設定値以上である場合、パターン欠陥と判定
して判定結果を図示しない表示装置や判定結果記憶部に
出力する。
【００２６】すなわち、比較部４２がマスタ凹凸記憶部
４４から読み出したマスタ輪郭線６０のマスタ凹凸部
は、図４（２）に示したように、マスタ輪郭線６０上の
２点Ｑ、Ｒを結ぶ直線６４に、点Ｑ、Ｒ間のマスタ輪郭
線６０上の点Ｓから下した垂線Ｐの長さｈが、これと比
較する検査輪郭線５０の垂線Ｐの長さｈに対して閾値以
上に長い場合、サンプルパターンに欠けが生じていると
判断し、パターン欠陥と判定する。従って、サンプルパ
ターンの角部などにおける欠けなどの欠陥を容易、確実
に検出することができる。
４４から読み出したマスタ輪郭線６０のマスタ凹凸部
は、図４（２）に示したように、マスタ輪郭線６０上の
２点Ｑ、Ｒを結ぶ直線６４に、点Ｑ、Ｒ間のマスタ輪郭
線６０上の点Ｓから下した垂線Ｐの長さｈが、これと比
較する検査輪郭線５０の垂線Ｐの長さｈに対して閾値以
上に長い場合、サンプルパターンに欠けが生じていると
判断し、パターン欠陥と判定する。従って、サンプルパ
ターンの角部などにおける欠けなどの欠陥を容易、確実
に検出することができる。
【００２７】このように実施の形態においては、検査輪
郭線５０の検査凹凸部を抽出し、この凹凸部をマスタ輪
郭線６０の対応する部分と比較するようにしたことによ
り、検査パターンの向きによらずに微細なパターン欠陥
を容易、確実に検出することができ、欠陥検出精度の向
上が図れる。しかも、検査凹凸部を抽出して比較のデー
タとするため、比較するパターンのエッジデータの量を
大幅に削減することができ、パターン欠陥検出処理の時
間を短縮することができる。また、実施の形態において
は、検査凹凸部を抽出して位置データとともに記憶させ
てあるため、検査パターンとマスタパターンとの位置合
わせの性能によらず、パターン欠陥の検出を安定して容
易、迅速に行なうことができる。そして、実施の形態に
おいては、パターンデータを平行移動させたり、回転さ
せたりするような位置補正を行なう必要がなく、パター
ンデータの劣化が防止できて欠陥の検出精度を高めるこ
とができる。また、従来は、例えば検査機器と検査対象
との位置関係などによって、照明などによる影響のため
に、パターン幅が若干異なって見え、パターン欠陥と判
定されるような場合であっても、実施形態においては輪
郭線の凹凸部を抽出して比較しているため、パターン幅
の見え方の違いによる影響を確実になくすことができ
る。
郭線５０の検査凹凸部を抽出し、この凹凸部をマスタ輪
郭線６０の対応する部分と比較するようにしたことによ
り、検査パターンの向きによらずに微細なパターン欠陥
を容易、確実に検出することができ、欠陥検出精度の向
上が図れる。しかも、検査凹凸部を抽出して比較のデー
タとするため、比較するパターンのエッジデータの量を
大幅に削減することができ、パターン欠陥検出処理の時
間を短縮することができる。また、実施の形態において
は、検査凹凸部を抽出して位置データとともに記憶させ
てあるため、検査パターンとマスタパターンとの位置合
わせの性能によらず、パターン欠陥の検出を安定して容
易、迅速に行なうことができる。そして、実施の形態に
おいては、パターンデータを平行移動させたり、回転さ
せたりするような位置補正を行なう必要がなく、パター
ンデータの劣化が防止できて欠陥の検出精度を高めるこ
とができる。また、従来は、例えば検査機器と検査対象
との位置関係などによって、照明などによる影響のため
に、パターン幅が若干異なって見え、パターン欠陥と判
定されるような場合であっても、実施形態においては輪
郭線の凹凸部を抽出して比較しているため、パターン幅
の見え方の違いによる影響を確実になくすことができ
る。
【００２８】なお、前記実施形態においては、輪郭線か
ら凹凸部の抽出を、輪郭線上の点を輪郭線に沿って順次
移動させて行なう場合について説明したが、凹凸部の抽
出は、ルックアップテーブルなどを用いて行なってもよ
い。そして、本発明は、上記に説明した内容に限定され
るものでないことはもちろんである。
ら凹凸部の抽出を、輪郭線上の点を輪郭線に沿って順次
移動させて行なう場合について説明したが、凹凸部の抽
出は、ルックアップテーブルなどを用いて行なってもよ
い。そして、本発明は、上記に説明した内容に限定され
るものでないことはもちろんである。
【００２９】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、検査パターンの検査輪郭線から検査凹凸部を抽出
し、この検査凹凸部をマスタパターンのマスタ輪郭線の
対応する部分と比較するようにしているため、検査パタ
ーンの向きによる影響を受けることなく欠陥を検出可能
であって、検査パターンのエッジに微妙な変形を与える
小さな欠陥であっても容易に検出することができる。そ
して、本発明は、検査凹凸部を抽出して比較するように
しているため、比較すべきパターンデータの量を大幅に
少なくすることが可能で、欠陥の検出に要する時間を削
減することができる。また、抽出した凹凸部をマスタ輪
郭線の対応部と比較するようにしているため、検査パタ
ーンとマスタパターンとの位置合わせの精度によらず、
パターン欠陥の検出を安定して容易に行なうことができ
る。さらに、本発明においては、パターンデータの平行
移動や回転などを行なう必要がないため、パターンデー
タの劣化を防止でき、欠陥の検出精度を高めることがで
きる。
ば、検査パターンの検査輪郭線から検査凹凸部を抽出
し、この検査凹凸部をマスタパターンのマスタ輪郭線の
対応する部分と比較するようにしているため、検査パタ
ーンの向きによる影響を受けることなく欠陥を検出可能
であって、検査パターンのエッジに微妙な変形を与える
小さな欠陥であっても容易に検出することができる。そ
して、本発明は、検査凹凸部を抽出して比較するように
しているため、比較すべきパターンデータの量を大幅に
少なくすることが可能で、欠陥の検出に要する時間を削
減することができる。また、抽出した凹凸部をマスタ輪
郭線の対応部と比較するようにしているため、検査パタ
ーンとマスタパターンとの位置合わせの精度によらず、
パターン欠陥の検出を安定して容易に行なうことができ
る。さらに、本発明においては、パターンデータの平行
移動や回転などを行なう必要がないため、パターンデー
タの劣化を防止でき、欠陥の検出精度を高めることがで
きる。
【図１】本発明の実施の形態に係るパターン欠陥検出装
置のブロック図である。
置のブロック図である。
【図２】実施の形態に係るパターン輪郭線の凹凸部の抽
出方法を説明する図である。
出方法を説明する図である。
【図３】実施の形態に係るパターン欠陥検出装置による
パターン欠陥検出方法の説明図である。
パターン欠陥検出方法の説明図である。
【図４】実施の形態に係るパターン欠陥検出装置による
検査パターンの角部の欠けを検出する方法の説明図であ
る。
検査パターンの角部の欠けを検出する方法の説明図であ
る。
【図５】従来のランレグスを用いたパターン欠陥検出方
法を説明する図である。
法を説明する図である。
１０……パターン欠陥検出装置（欠陥検出装置）、１２
……撮像手段（ラインセンサ）、１４……検査対象、２
２……輪郭線抽出手段（輪郭線抽出部）、２４……凹凸
抽出手段（凹凸抽出部）、２６……サンプルデータ記憶
手段、２８……サンプル輪郭線記憶部、３０……サンプ
ル凹凸記憶部、３２……マスタデータ記憶手段、３４…
…マスタ輪郭線記憶部、３６……マスタ凹凸部記憶部、
４０……比較判定手段、４２……比較部、４４……判定
部、５０……検査輪郭線、６０……マスタ輪郭線。
……撮像手段（ラインセンサ）、１４……検査対象、２
２……輪郭線抽出手段（輪郭線抽出部）、２４……凹凸
抽出手段（凹凸抽出部）、２６……サンプルデータ記憶
手段、２８……サンプル輪郭線記憶部、３０……サンプ
ル凹凸記憶部、３２……マスタデータ記憶手段、３４…
…マスタ輪郭線記憶部、３６……マスタ凹凸部記憶部、
４０……比較判定手段、４２……比較部、４４……判定
部、５０……検査輪郭線、６０……マスタ輪郭線。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０６Ｔ 7/60 １５０ Ｇ０６Ｔ 7/60 １５０Ｕ ３００ ３００Ａ Ｆターム(参考） 2F065 AA49 AA54 CC19 DD06 FF42 HH02 JJ02 JJ25 QQ04 QQ21 QQ23 QQ25 QQ38 QQ39 2G051 AA51 AA65 AB02 AC21 CA03 EA11 EA14 EB01 EB02 ED04 5B057 AA03 CA08 CA12 CA16 CB08 CB12 CB16 CE12 DA03 DC03 DC16 DC30 DC32 5L096 BA03 CA16 EA43 FA06 FA08 FA17 FA64 HA07
Claims (5)
- 【請求項１】 検査パターンを有する検査対象の画像デ
ータから、前記検査パターンの検査輪郭線を求めたの
ち、前記検査輪郭線の検査凹凸部を抽出し、予め求めて
あるマスタパターンのマスタ輪郭線の対応部と比較して
前記検査パターンの欠陥を検出することを特徴とするパ
ターン欠陥検出方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載のパターン欠陥検出方法
において、前記検査凹凸部の抽出は、前記検査輪郭線上
の２点を結ぶ直線に、前記２点間に存在する前記検査輪
郭線から下した垂線の長さが、予め定めた値以上の部分
を求めて行なうことを特徴とするパターン欠陥検出方
法。 - 【請求項３】 請求項１または２に記載のパターン欠陥
検出方法において、前記マスタパターンの予め求めたマ
スタ凹凸部を前記検査対象の検査輪郭線の対応部と比較
することを特徴とするパターン欠陥検出方法。 - 【請求項４】 検査対象を撮像して映像信号を出力する
撮像手段と、 この撮像手段の出力する映像信号に基づいて、前記検査
対象に形成した検査パターンの検査輪郭線を求める輪郭
線抽出手段と、 この輪郭線抽出手段の求めた前記検査輪郭線の検査凹凸
部を抽出する凹凸抽出手段と、 この凹凸抽出部が抽出した検査凹凸部を位置データとと
もに記憶するサンプルデータ記憶手段と、 前記検査パターンと比較するマスタパターンのマスタ輪
郭線を格納したマスタデータ記憶手段と、 前記サンプルデータ記憶手段に格納した前記検査凹凸部
と、前記マスタデータ記憶手段に格納した前記マスタ輪
郭線の、前記検査凹凸部と対応した部分とを読み出して
比較し、前記検査凹凸部が欠陥であるか否かを判断する
比較判定手段と、 を有することを特徴とするパターン欠陥検出装置。 - 【請求項５】 請求項４に記載のパターン欠陥検出装置
において、 前記サンプルデータ記憶手段は、前記検査対象の検査輪
郭線のデータを格納するサンプル輪郭線記憶部を有し、 前記マスタデータ記憶手段は、前記マスタ輪郭線の予め
求めたマスタ凹凸部を位置データとともに記憶したマス
タ凹凸記憶部を有し、 前記比較判定部は、前記マスタ凹凸記憶部に記憶させた
マスタ凹凸部と、前記サンプル輪郭線記憶部に記憶させ
た前記検査輪郭線の前記マスタ凹凸部と対応した部分と
を読み出して比較し、前記検査パターンの欠陥の有無を
判定する、 ことを特徴とするパタン欠陥検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001002495A JP4669940B2 (ja) | 2001-01-10 | 2001-01-10 | パターン欠陥検出方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001002495A JP4669940B2 (ja) | 2001-01-10 | 2001-01-10 | パターン欠陥検出方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002207996A true JP2002207996A (ja) | 2002-07-26 |
| JP4669940B2 JP4669940B2 (ja) | 2011-04-13 |
Family
ID=18870990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001002495A Expired - Lifetime JP4669940B2 (ja) | 2001-01-10 | 2001-01-10 | パターン欠陥検出方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4669940B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005326226A (ja) * | 2004-05-13 | 2005-11-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 欠陥検出装置、配線領域抽出装置、欠陥検出方法および配線領域抽出方法 |
| JP2008232787A (ja) * | 2007-03-20 | 2008-10-02 | Shimadzu Corp | 欠陥検査装置 |
| JP2009236550A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Aisin Seiki Co Ltd | 欠陥検出方法 |
| JP2010256053A (ja) * | 2009-04-22 | 2010-11-11 | Visco Technologies Corp | 形状欠損検査装置、形状モデリング装置および形状欠損検査プログラム |
| JP2012038939A (ja) * | 2010-08-06 | 2012-02-23 | Canon Inc | 評価方法、決定方法及びプログラム |
| JP2013012117A (ja) * | 2011-06-30 | 2013-01-17 | Fujitsu Ltd | 画像認識装置、画像認識方法及び画像認識用コンピュータプログラム |
| CN103674965A (zh) * | 2013-12-06 | 2014-03-26 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 一种晶圆外观缺陷的分类以及检测方法 |
| CN103940379A (zh) * | 2014-03-31 | 2014-07-23 | 七海测量技术（深圳）有限公司 | 一种哈哈镜原理测量玻璃平面度的方法 |
| JP2015001432A (ja) * | 2013-06-14 | 2015-01-05 | 中村留精密工業株式会社 | 板材の周縁加工装置並びに加工精度の計測及び補正方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105447851B (zh) * | 2015-11-12 | 2018-02-02 | 刘新辉 | 一种玻璃面板的音孔缺陷检测方法及系统 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62148838A (ja) * | 1985-12-24 | 1987-07-02 | Oki Electric Ind Co Ltd | 欠陥認識方法 |
| JPH10141930A (ja) * | 1996-11-14 | 1998-05-29 | Nippon Avionics Co Ltd | パターン検査方法及びパターン検査装置 |
-
2001
- 2001-01-10 JP JP2001002495A patent/JP4669940B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62148838A (ja) * | 1985-12-24 | 1987-07-02 | Oki Electric Ind Co Ltd | 欠陥認識方法 |
| JPH10141930A (ja) * | 1996-11-14 | 1998-05-29 | Nippon Avionics Co Ltd | パターン検査方法及びパターン検査装置 |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005326226A (ja) * | 2004-05-13 | 2005-11-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 欠陥検出装置、配線領域抽出装置、欠陥検出方法および配線領域抽出方法 |
| JP4518835B2 (ja) * | 2004-05-13 | 2010-08-04 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 欠陥検出装置、配線領域抽出装置、欠陥検出方法および配線領域抽出方法 |
| JP2008232787A (ja) * | 2007-03-20 | 2008-10-02 | Shimadzu Corp | 欠陥検査装置 |
| JP2009236550A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Aisin Seiki Co Ltd | 欠陥検出方法 |
| JP2010256053A (ja) * | 2009-04-22 | 2010-11-11 | Visco Technologies Corp | 形状欠損検査装置、形状モデリング装置および形状欠損検査プログラム |
| JP2012038939A (ja) * | 2010-08-06 | 2012-02-23 | Canon Inc | 評価方法、決定方法及びプログラム |
| TWI450050B (zh) * | 2010-08-06 | 2014-08-21 | Canon Kk | 評估方法、決定方法與儲存媒體 |
| JP2013012117A (ja) * | 2011-06-30 | 2013-01-17 | Fujitsu Ltd | 画像認識装置、画像認識方法及び画像認識用コンピュータプログラム |
| JP2015001432A (ja) * | 2013-06-14 | 2015-01-05 | 中村留精密工業株式会社 | 板材の周縁加工装置並びに加工精度の計測及び補正方法 |
| CN103674965A (zh) * | 2013-12-06 | 2014-03-26 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 一种晶圆外观缺陷的分类以及检测方法 |
| CN103940379A (zh) * | 2014-03-31 | 2014-07-23 | 七海测量技术（深圳）有限公司 | 一种哈哈镜原理测量玻璃平面度的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4669940B2 (ja) | 2011-04-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4669940B2 (ja) | パターン欠陥検出方法および装置 | |
| JP2000163579A (ja) | 外観検査方法およびその装置 | |
| JP3164003B2 (ja) | 実装部品検査装置 | |
| JP3187252B2 (ja) | パターン外形検査装置 | |
| JPH1114317A (ja) | 外観検査方法及びその装置 | |
| JP2000321038A (ja) | パターン欠陥検出方法 | |
| JP3260425B2 (ja) | パターンのエッジライン推定方式及びパターン検査装置 | |
| JP3665587B2 (ja) | 半導体素子の検査方法並びに半導体素子の検査プログラムおよびその半導体素子の検査プログラムが記録された記録媒体 | |
| JPH09229642A (ja) | 電子部品の外観検査方法 | |
| JPH08234226A (ja) | 液晶基板製造用画像処理装置 | |
| JPH10141925A (ja) | 外観検査装置 | |
| JPH09161056A (ja) | 円形容器内面検査方法 | |
| JP3218875B2 (ja) | 立体物の形状検査装置 | |
| JP2776234B2 (ja) | 押し込み型硬度測定装置 | |
| JPH063541B2 (ja) | パターン検査装置 | |
| JP2517570B2 (ja) | パタ−ン検出方法 | |
| JPH05272945A (ja) | リードの曲がり検査装置 | |
| JP2745763B2 (ja) | 配線パターン検査装置 | |
| JPH0690144B2 (ja) | 画像処理方法 | |
| JPH0367567B2 (ja) | ||
| JPH01150987A (ja) | 形状認識方法 | |
| JP2000221514A (ja) | リブ付カラーフィルター基板のリブ欠落の検査方法 | |
| JP2836580B2 (ja) | 半導体集積回路装置の突起部検査装置 | |
| JPH08166355A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPH07280746A (ja) | 金属板表面疵抽出装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071214 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100819 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100909 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101105 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101206 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101210 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4669940 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140128 Year of fee payment: 3 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |