JP2008232787A - 欠陥検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】参照画像の濃度勾配強度を算出し、その強度が一定値以上の画素のみを有効画素とするマスク画像を作成し、検査対象画像を規定角度ずつ回転させるごとに、当該検査対象画像を平行移動させつつ、マスク画像における有効画素のみを対象として二乗誤差を算出し、その値が最小となる平行移動量と二乗誤差の最小値を記憶し、検査対象画像をその二乗誤差の最小値が最小となる回転角度αopt のもとに回転させ、かつ、そのときの平行移動量m(αopt )のもとに移動させることで位置決めを行ったうえで、検査対象画像と参照画像とを比較して欠陥の有無を判定する。
【選択図】図2
Description
尾上 守夫他「パターン情報処理;残差逐次検定法による画像の重ね合わせ」(情報処理学会誌「情報処理vol.17,no.7」pp634−640,1976)
図1は本発明の実施の形態の構成図であり、機械的構成を表す模式図とシステム構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
2 テーブル
3 X線検出器
4 テーブル移動機構
11 X線コントローラ
12 画像データ取り込み回路
13 コンピュータ
14 表示器
15 操作部
W 被検査物
Claims (1)
- 被検査物にX線を照射して得られるX線透視画像を検査対象画像とし、その検査対象画像と、あらかじめ記憶している参照画像とを相互に位置決めし、両者の相違から被検査物の欠陥の有無を自動的に検査する欠陥検査装置において、
上記参照画像について、濃度勾配強度を算出し、その強度が一定値以上の画素のみを有効画素としたマスク画像を作成するマスク画像作成手段と、上記検査対象画像をあらかじめ設定されている角度ずつ回転させる画像回転手段と、その検査対象画像の各角度での回転ごとに、当該検査対象画像を平行移動させつつ、上記マスク画像における有効画素のみを対象として、当該検査対象画像と参照画像との二乗誤差を算出し、その値が最小となる平行移動量と二乗誤差の最小値を記憶する演算・記憶手段と、その記憶された二乗誤差の最小値が最小となる回転角度のもとに、かつ、そのときの平行移動量のもとに、上記検査対象画像を回転および平行移動させて当該検査対象画像を上記参照画像に対して位置決めする画像移動手段を備え、その位置決め状態で上記参照画像と検査対象画像を比較し、被検査物の欠陥の有無を判定することを特徴とする欠陥検査装置。
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2007
- 2007-03-20 JP JP2007071996A patent/JP2008232787A/ja active Pending
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