JP4636500B2 - X線検査装置、x線検査方法およびx線検査プログラム - Google Patents
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Description
本発明は、上記課題に鑑みてなされたもので、少ない撮影回数で高画質の再構成画像を作成し、また、多数の検査対象品を高速に検査することが可能なX線検査装置、X線検査方法およびX線検査プログラムの提供を目的とする。
(1)本発明の構成:
(2)X線検査処理:
(3)他の実施形態:
図1は本発明にかかるX線検査装置10の概略ブロック図である。同図において、このX線検査装置10は、X線発生器11とX−Yステージ12とX線検出器13aと搬送装置14とを備えており、各部をCPU25によって制御する。すなわち、X線検査装置10はCPU25を含む制御系としてX線制御機構21とステージ制御機構22と画像取得機構23と搬送機構24とCPU25と入力部26と出力部27とメモリ28とを備えている。この構成において、CPU25は、メモリ28に記録された図示しないプログラムを実行し、各部を制御し、また所定の演算処理を実施することができる。
本実施形態においては、上述の構成において図2に示すフローチャートに従って検査対象品の良否判定を行う。本実施形態においては、多数の基板12aを搬送装置14によって搬送し、逐次X−Yステージ12上で基板12a上のバンプを検査する。このため、検査に際しては、まずステップS100にて搬送制御部25aが搬送機構24に指示を出し、搬送装置14によって検査対象の基板12aをX−Yステージ12上に搬送する。
本発明においては、複数の回転位置にてX線画像を取得し、一枚のX線画像から複数のバンプを取得して再構成演算を実施することができれば良く、上記実施形態の他、種々の構成を採用可能である。例えば、高精度の再構成演算を実施できる程度の枚数でX線画像を取得する構成を採用可能である。すなわち、各X線画像から透過像を抽出して、補間演算を実施することなく再構成演算を実施する。この構成においては、複数のバンプについての透過像を抽出するにあたり、バンプ毎に撮影を行う必要がなく、一枚の画像から複数のバンプの透過像を取得することができるので、バンプ毎に撮影を行う場合と比較して少ない撮影回数で良否判定を行うことが可能である。
11…X線発生器
12…X−Yステージ
12a…基板
13a…X線検出器
13b…回転機構
14…搬送装置
21…X線制御機構
22…ステージ制御機構
23…画像取得機構
23a…θ制御部
24…搬送機構
25a…搬送制御部
25b…X線制御部
25c…ステージ制御部
25d…画像取得部
25d1…補間演算部
25e…良否判定部
26…入力部
27…出力部
28…メモリ
28a…検査位置データ
28b…撮像条件データ
28c…X線画像データ
28d…透過像データ
Claims (5)
- X線を複数の検査対象品に照射して異なる位置に配設した検出器によって撮影した複数のX線画像を取得するX線画像取得手段と、
上記複数のX線画像によって複数の検査対象品の再構成演算を行うことによって撮影時における上記複数の検査対象品の配置を取得し、当該配置に基づいて、上記複数のX線画像のそれぞれに含まれる複数の検査対象品の透過像から同じ検査対象品の透過像を抽出する透過像抽出手段と、
抽出した透過像に基づいて検査対象品の再構成演算を実行し、検査対象品の検査を行う対象品検査手段とを備えることを特徴とするX線検査装置。 - 上記複数のX線画像はX線源の焦点とX線照射範囲の中心とを結ぶ直線を軸とし、当該軸を中心にした所定の半径の円周上の複数の回転位置にて複数の検査対象品を撮影した画像であり、上記対象品検査手段の再構成演算においては、上記複数のX線画像に含まれる透過像から、上記複数の回転位置と異なる回転位置における透過像を補間演算によって算出することを特徴とする上記請求項1に記載のX線検査装置。
- 上記対象品検査手段は、ある検査対象品とX線画像を検出する検出器の検出面との相対的な位置関係が上記複数の回転位置毎に異なることに起因して生じる透過像の大きさの変動を補正して再構成演算を行うことを特徴とする上記請求項2に記載のX線検査装置。
- X線によって検査対象を検査するX線検査方法であって、
X線を複数の検査対象品に照射して異なる位置に配設した検出器によって撮影した複数のX線画像を取得するX線画像取得工程と、
上記複数のX線画像によって複数の検査対象品の再構成演算を行うことによって撮影時における上記複数の検査対象品の配置を取得し、当該配置に基づいて、上記複数のX線画像のそれぞれに含まれる複数の検査対象品の透過像から同じ検査対象品の透過像を抽出する透過像抽出工程と、
抽出した透過像に基づいて検査対象品の再構成演算を実行し、検査対象品の検査を行う対象品検査工程とを備えることを特徴とするX線検査方法。 - X線によって検査対象を検査するX線検査プログラムであって、
X線を複数の検査対象品に照射して異なる位置に配設した検出器によって撮影した複数のX線画像を取得するX線画像取得機能と、
上記複数のX線画像によって複数の検査対象品の再構成演算を行うことによって撮影時における上記複数の検査対象品の配置を取得し、当該配置に基づいて、上記複数のX線画像のそれぞれに含まれる複数の検査対象品の透過像から同じ検査対象品の透過像を抽出する透過像抽出機能と、
抽出した透過像に基づいて検査対象品の再構成演算を実行し、検査対象品の検査を行う対象品検査機能とをコンピュータに実現させることを特徴とするX線検査プログラム。
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