JP4926734B2 - 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム - Google Patents
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そして、このような検出器を回転軌道上を回転させる従来の放射線検査装置においては、検出素子を正方格子状に配置した放射線検出器の外周の上下の二辺が検査対象を配置したステージに対して平行となるように配置され、3次元CT画像を再構成するための透過画像が複数の回転位置において撮像される。
本発明は、前記課題に鑑みてなされたもので、放射線によるCT解析を高精度に実施するために十分な解像度の画像を高速に取得することが可能な放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラムの提供を目的とする。
自転回転させることによって斜め45°配置を実現することができるとともに他の向きに放射線検出器を向けることができる。従って、斜め45°配置での撮影に加え、他の角度に放射線検出器を設定した状態での撮影やラミノグラフィも実施可能であり、放射線検出装置の汎用性が高くなる。
(1)本発明の構成:
(2)X線検査処理:
(3)他の実施形態:
図1は本発明の実施形態であるX線検査装置10の概略ブロック図である。同図1に示すように、X線検査装置10は、X線発生器11とX−Yステージ12とX線取得機構13と搬送装置14とを備えており、各部をCPU25によって制御する。すなわち、X線検査装置10は制御系としてX線制御機構21とステージ制御機構22と画像取得機構23と搬送機構24とCPU25と入力部26と出力部27とメモリ28とを備えている。この構成において、CPU25は、メモリ28に記録された図示しないプログラムを実行し、各部を制御し、また所定の演算処理を実施することができる。
本実施形態においては、上述の構成において図3に示すフローチャートに従って検査対象の良否判定を行う。本実施形態においては、多数の基板を搬送装置14によって搬送し、逐次X−Yステージ12上で基板上の検査対象を検査する。このため、検査に際しては、まずステップS100にて搬送制御部25aが搬送機構24に指示を出し、搬送装置14によって検査対象の基板をX−Yステージ12上に搬送する。
イス画像をできるだけ正確に得るためには対角線D2方向の情報が極めて重要である。そこで、本実施形態においては、対角線D2方向に隣接する検出素子の間の透過X線強度を対角線D1方向に隣接する検出素子の間の透過X線強度に基づいて補間することとし、画像取得部25fはバッファO(l,m)に記憶された検出値を対角線D1方向に補間して角度θnにおける透過X線画像Pθnを取得する(ステップS145)。
本発明においては、X線検出器を斜め45°配置とし、回転軌道の回転半径に平行な方向に隣接する検出素子の検出値に基づいて補間を実施できる限りにおいて、他にも種々の実施形態を採用可能である。例えば、X線検出器13aの検出面はX−Yステージ12におけるX−Y平面に対して平行でなくても良い。
なお、自転回転機構13cを備える場合においては、X線検出器13aを所定の回転位置座標に移動可能なX−Yステージを軌道回転機構13bに設けることも可能である。
11…X線発生器
12…X−Yステージ
12a…基板
12b…検出対象
13…X線取得機構
13a…X線検出器
13a1…検出素子
13b…軌道回転機構
13c…自転回転機構
14…搬送装置
21…X線制御機構
22…ステージ制御機構
23…画像取得機構
24…搬送機構
25a…搬送制御部
25b…X線制御部
25c…ステージ制御部
25d…自転回転制御部
25e…軌道回転制御部
25f…画像取得部
25g…良否判定部
25…CPU
26…入力部
27…出力部
28…メモリ
28a…検査対象データ
28b…撮像条件データ
28c…X線画像データ
Claims (5)
- 放射線発生器によって放射線を検査対象に照射する放射線照射手段と、
前記放射線の照射範囲内において前記検査対象を所定平面内で移動させる検査対象移動手段と、
前記放射線発生器の焦点を通る直線を回転軸とした回転軌道上を回転可能な放射線検出器であって、検出素子が正方格子の格子点上に配置しているとともに前記正方格子における対角線の一方の前記所定平面に対する投影線が前記回転軌道の半径方向に平行である放射線検出器によって放射線の強度を取得する放射線強度取得手段と、
前記対角線の他方の方向に隣接する前記検出素子の間の補間対象位置における放射線の強度を、前記対角線の一方の方向において前記補間対象位置に隣接するとともに前記補間対象位置を挟む2個の前記検出素子における放射線の強度に基づく補間演算によって取得する補間手段とを備えることを特徴とする放射線検査装置。 - 前記放射線検出器は、前記正方格子が形成された検出面に垂直な直線を自転回転軸として自転回転可能であることを特徴とする請求項1に記載の放射線検査装置。
- 前記放射線発生器からみた前記回転軸と前記放射線検出器の中心との角度は45°以上、90°以下であることを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載の放射線検査装置。
- 放射線発生器によって放射線を検査対象に照射する放射線照射工程と、
前記放射線の照射範囲内において前記検査対象を所定平面内で移動させる検査対象移動工程と、
前記放射線発生器の焦点を通る直線を回転軸とした回転軌道上を回転可能な放射線検出器であって、検出素子が正方格子の格子点上に配置しているとともに前記正方格子における対角線の一方の前記所定平面に対する投影線が前記回転軌道の半径方向に平行である放射線検出器によって放射線の強度を取得する放射線強度取得工程と、
前記対角線の他方の方向に隣接する前記検出素子の間の補間対象位置における放射線の強度を、前記対角線の一方の方向において前記補間対象位置に隣接するとともに前記補間対象位置を挟む2個の前記検出素子における放射線の強度に基づく補間演算によって取得する補間工程とを含むことを特徴とする放射線検査方法。 - 放射線発生器によって放射線を検査対象に照射する放射線照射機能と、
前記放射線の照射範囲内において前記検査対象を所定平面内で移動させる検査対象移動機能と、
前記放射線発生器の焦点を通る直線を回転軸とした回転軌道上を回転可能な放射線検出器であって、検出素子が正方格子の格子点上に配置しているとともに前記正方格子における対角線の一方の前記所定平面に対する投影線が前記回転軌道の半径方向に平行である放射線検出器によって放射線の強度を取得する放射線強度取得機能と、
前記対角線の他方の方向に隣接する前記検出素子の間の補間対象位置における放射線の強度を、前記対角線の一方の方向において前記補間対象位置に隣接するとともに前記補間対象位置を挟む2個の前記検出素子における放射線の強度に基づく補間演算によって取得する補間機能とをコンピュータに実現させることを特徴とする放射線検査プログラム。
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