JP2006184267A - X線検査装置、x線検査方法およびx線検査プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 X線によって検査対象を検査するにあたり、固定的に配置されたX線源から所定の立体角の範囲にX線を出力し、上記X線の出力範囲内で平面的に検査対象品を移動させ、上記立体角に含まれる位置であるとともに上記検査対象品の移動平面に対して垂直な軸を中心にした複数の回転位置において、上記軸に対して傾斜した検出面でX線を検出し、同検出されたX線に基づいて上記検査対象品の検査を行う。
【選択図】 図1
Description
本発明は、上記課題に鑑みてなされたもので、多数の検査対象品を高速に検査することが可能なX線検査装置、X線検査方法およびX線検査プログラムの提供を目的とする。
また、検出器の移動を全く伴わないX線検査装置を提供し、非常に高速な検査を可能にしたり、単純な制御によって高速に移動動作を完了することが可能なX線検査装置を提供することができる。
さらに、撮影するX線検出器に対応した形状のX線通過穴をX線遮蔽部材に設けることによって、効果的にX線被曝による影響を軽減させることができる。
さらに、高速に検査を実施可能な構成を採用しているため、工場等の検査ラインにおいてインラインで検査を実施可能である。
さらに、正確な位置に検査対象品を配置することによって正確な検査を実施可能である。
(1)本発明の構成:
(2)X線検査処理:
(3)他の実施形態:
図1は本発明にかかるX線検査装置10の概略ブロック図である。同図において、このX線検査装置10は、X線発生器11とX−Yステージ12とX線検出器13a〜13dと搬送装置14とを備えており、各部をCPU25によって制御する。すなわち、X線検査装置10はCPU25を含む制御系としてX線制御機構21とステージ制御機構22と画像取得機構23と搬送機構24とCPU25と入力部26と出力部27とメモリ28と高さセンサ制御機構29とを備えている。この構成において、CPU25は、メモリ28に記録された図示しないプログラムを実行し、各部を制御し、また所定の演算処理を実施することができる。
本実施形態においては、上述の構成において図2に示すフローチャートに従って検査対象品の良否判定を行う。本実施形態においては、多数の基板12aを搬送装置14によって搬送し、逐次X−Yステージ12上で基板12aのバンプを検査する。このため、検査に際しては、まずステップS100にて搬送制御部25aが搬送機構24に指示を出し、搬送装置14によって検査対象の基板12aをX−Yステージ12上に搬送する。
xoin=xi+ΔL・sinθ …(1)
yoin=yi+ΔL・cosθ …(2)
ΔL=FODα・sinα …(3)
FODα=FOD/cosα …(4)
ここで、座標(xoin,yoin)は、i番目のバンプを変数nに対応するX線検出器13a〜13dの視野中心に移動させるための座標である。また、θは図4に示すように原点(0,0)と座標(xi1,yi1)とを結ぶ直線に対して時計回りに設定される角度であり、本実施形態では、座標(xi1,yi1)〜(xi4,yi4)のそれぞれに対して、0度、90度、180度、270度となる。
本発明においては、固定的に配置したX線源からのX線に基づいて複数の回転位置におけるX線画像を取得することができれば良く、上記実施形態の他、種々の構成を採用可能である。例えば、複数の回転位置におけるX線画像を取得するため、X線検出器を回転させる回転機構を設ける構成を採用しても良い。図5は、このような回転機構を備えるX線検査装置100の概略構成図である。
11…X線発生器
12…X−Yステージ
12a…基板
13a〜13d…X線検出器
14…搬送装置
15…高さセンサ
21…X線制御機構
22…ステージ制御機構
23…画像取得機構
24…搬送機構
25…CPU
25a…搬送制御部
25b…X線制御部
25c…ステージ制御部
25d…画像取得部
25e…良否判定部
25f…高さセンサ制御部
26…入力部
27…出力部
28…メモリ
28a…検査位置データ
28b…撮像条件データ
29…高さセンサ制御機構
Claims (10)
- 固定的に配置されたX線源から所定の立体角の範囲にX線を出力するX線出力手段と、
上記X線の出力範囲内で平面的に検査対象品を移動させる平面移動手段と、
上記立体角に含まれる位置であるとともに上記検査対象品の移動平面に対して垂直な軸を中心にした複数の回転位置において、上記軸に対して傾斜した検出面でX線を検出するX線検出手段と、
同検出されたX線に基づいて上記検査対象品の検査を行う対象品検査手段とを備えることを特徴とするX線検査装置。 - 上記X線検出手段は、上記検出面を持つ複数の検出器を備えていることを特徴とする上記請求項1に記載のX線検査装置。
- 上記X線出力手段と平面移動手段との間に配設されるとともに、上記複数の検出器の各検出面に入射する方向と異なる方向に出力されているX線を遮蔽する遮蔽部材を備えることを特徴とする上記請求項2に記載のX線検査装置。
- 上記X線検出手段は、上記検出面を持つ検出器を上記軸に対して回転させる回転機構を備えることを特徴とする上記請求項1〜請求項3のいずれかに記載のX線検査装置。
- 上記X線出力手段と平面移動手段との間に配設されるとともに、上記X線出力手段から出力されたX線の一部を通過させて上記検出器の検出面に到達させるための通過穴を備える遮蔽部材と、
上記回転機構による検出器の回転と同期させながら上記遮蔽部材を回転させて、上記通過穴を通過するX線を上記検出面に到達させる遮蔽部材回転機構とを備えることを特徴とする上記請求項4に記載のX線検査装置。 - 上記対象品検査手段は、上記検査対象品の透過像と断層像とのいずれかまたは双方に基づいて検査対象品の検査を行うことを特徴とする上記請求項1〜請求項5のいずれかに記載のX線検査装置。
- 上記平面移動手段は、複数の検査対象品をX線の出力範囲に逐次搬送する搬送機構を備えることを特徴とする上記請求項1〜請求項6のいずれかに記載のX線検査装置。
- 上記X線出力手段における焦点と上記検査対象品との相対的な位置関係を検出する位置センサを備え、上記平面移動手段は当該位置センサの検出結果を参照し、上記焦点と上記検出面の所定位置とを結ぶ直線上に上記検査対象品を移動させることを特徴とする上記請求項1〜請求項7のいずれかに記載のX線検査装置。
- X線によって検査対象を検査するX線検査方法であって、
固定的に配置されたX線源から所定の立体角の範囲にX線を出力するX線出力工程と、
上記X線の出力範囲内で平面的に検査対象品を移動させる平面移動工程と、
上記立体角に含まれる位置であるとともに上記検査対象品の移動平面に対して垂直な軸を中心にした複数の回転位置において、上記軸に対して傾斜した検出面でX線を検出するX線検出工程と、
同検出されたX線に基づいて上記検査対象品の検査を行う対象品検査工程とを備えることを特徴とするX線検査方法。 - X線によって検査対象を検査するX線検査プログラムであって、
固定的に配置されたX線源を制御して所定の立体角の範囲にX線を出力させるX線出力機能と、
上記X線の出力範囲内で平面的に検査対象品を移動させる平面移動機構を制御する平面移動制御機能と、
上記立体角に含まれる位置であるとともに上記検査対象品の移動平面に対して垂直な軸を中心にした複数の回転位置において、上記軸に対して傾斜した検出面を備える検出器によってX線を検出するX線検出機能と、
同検出されたX線に基づいて上記検査対象品の検査を行う対象品検査機能とをコンピュータに実現させることを特徴とするX線検査プログラム。
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