JPH08327563A - ラミノグラフ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、ピント面のみによくピントが合う
ラミノグラフを提供することにある。 【構成】 Ｘ線管１３で放射線を発生して被検体１７に
向けて放出し、被検体１７を透過した放射線を撮像管１
９の検出面２１上で実質的に２次元の空間分解能をもっ
て検出する。ここで、回転機構２５で被検体１７に回転
運動を与え、撮像管コントローラ２９で出力画像を回転
運動と同期して電子的に画像回転させ、この回転運転の
間にデータ収集処理装置２７で出力画像を複数の透過画
像として収集して各画像を加算した後に、被検体内のピ
ント面上に焦点の合った透過画像であるラミノ画像を得
るようにしている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被検体を透過した放射
線を検出し、被検体の断層像を得る断層撮影装置である
ラミノグラフに関し、更に詳しくは、例えば多層配線基
板等の被検体を内部を非破壊で検査するラミノグラフに
関する。

【０００２】

【従来の技術】この種のラミノグラフは、多層配線基板
等の内部の層のパターンを検査するために使用し得るも
のとして、最近注目され始めているものであり、基本的
には医療用として普及している断層写真装置と同様であ
るが、断層写真がＸ線用フィルムを用いて１つの面にピ
ントの合った透過像である断層像を得るのに対して、ラ
ミノグラフは面センサ出力をディジタル画像化し、画像
処理を用いて断層像を作成する点が異なっている。

【０００３】図２０は従来のラミノグラフを示す図であ
り、特開平２−５０１４１１号公報に記載されている。
同図においては、焦点走査型Ｘ線管２０１によって円形
に焦点が走査される。２次元面センサである回転Ｘ線検
出器２０７は焦点に同期して回転し、この回転中に収集
された被検体２０３を透過した多数の透過像はディジタ
ル処理により加算され、１つの断層像が作成される。断
層像は焦点の回転半径と回転Ｘ線検出器２０７の回転半
径で決まる１つの焦点面２０５にピントの合った画像と
なる。

【０００４】図２１は、「Industry’s New Vision」Bi
o-Imageing Research, Inc発行第６頁に記載されている
従来のラミノグラフを示す図である。同図においては、
Ｘ線管２０９から放射されるピラミッド型Ｘ線ビーム２
１１の中に被検体２１３を設け、その後方に２次元Ｘ線
検出器２１５が設けられる。この検出器２１５に平行な
１つの回転軸Ｏに対して被検体２１３を矢印のように往
復回転させ、この間に透過像データを収集する。多数の
透過データから伸縮処理および加算処理により１つの焦
点面Ｅにピントの合った断面像が作成される。また、収
集された同じ透過像群から伸縮処理のパラメータを変え
ることにより、任意の他のピント面Ｆにピントの合った
断面像も作成することができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述した図２０に示す
従来のラミノグラフでは、焦点走査型Ｘ線管を用いてい
るため、焦点の位置が決められて軌道から狂い易く、画
像が不鮮明になることが多いとともに、高価になるとい
う問題がある。

【０００６】また、焦点走査の直径もＸ線管の制約から
あまり大きくできないため、断層写真のピント深度が浅
くできず、ピント面外のパターンが十分にぼけないとい
う問題がある。

【０００７】図２１に示す別の従来のラミノグラフで
は、ピント面からはずれた面にあるパターンぼけが一方
向であるため、回転軸に直交する直線状のパターンはぼ
やけず、ピント面パターンと混同され易いという問題が
ある。

【０００８】本発明は、上記に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、ピント面のみによくピントが
合うラミノグラフを提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明は、放射線を発生し、被検体に
向けて放出する放射線源と、被検体を透過した放射線を
その検出面上で実質的に２次元の空間分解能をもって検
出する放射線検出器と、前記被検体に回転運動を与える
回転手段と、前記放射線検出器の出力画像を前記回転運
動と同期して電子的に画像回転させる検出器制御手段
と、前記回転運動の間に前記放射線検出器の出力を複数
の透過画像として収集して各画像を加算した後に、被検
体内のピント面上に焦点の合った透過画像であるラミノ
画像を得る画像処理手段と、を有することを要旨とす
る。

【００１０】請求項２記載の発明は、前記放射線検出器
は、電子ビームをＸ，Ｙ方向に走査させて検出面を走査
する一方、前記検出器制御手段は、前記電子ビームの走
査を電子的に回転させることで出力画像を回転させるこ
とを要旨とする。

【００１１】請求項３記載の発明は、放射線を発生し、
被検体に向けて放出する放射線源と、被検体を透過した
放射線の検出面上で強度分布している透過像を光像に変
換する光変換手段と、光像を撮像して透過画像を検出す
る光検出器と、被検体に回転運動を与える回転手段と、
少なくとも前記光検出器を前記回転運動と同期して回転
させる検出器回転手段と、前記回転運動の間に前記光検
出器の出力を複数の透過画像として収集して各画像を加
算した後に、被検体内のピント面上に焦点の合った透過
画像であるラミノ画像を得る画像処理手段と、を有する
ことを要旨とする。

【００１２】請求項４記載の発明は、放射線を発生し、
被検体に向けて放出する放射線源と、被検体を透過した
放射線をその検出面上で検出する蓄積性螢光体と、被検
体と蓄積性螢光体を互いに平行なそれぞれの回転軸に対
してそれぞれを同期して同一方向に回転運動を与える回
転手段と、前記回転運動の間に前記蓄積性螢光体に蓄積
された放射線を読み取る読取手段と、被検体内のピント
面上に焦点の合った透過画像であるラミノ画像を得る画
像処理手段と、を有することを要旨とする。

【００１３】請求項５記載の発明は、前記蓄積性螢光体
あるいは被検体を前記回転軸方向に移動させるピント機
構を有することを要旨とする。

【００１４】請求項６記載の発明は、前記蓄積性螢光体
あるいは被検体を前記回転軸に対して傾斜させる傾斜手
段を有することを要旨とする。

【００１５】請求項７記載の発明は、放射線を発生し、
被検体に向けて放出する放射線源と、被検体を透過した
放射線をその検出面上で検出する蓄積性螢光体と、被検
体を２軸（θ，β）に対して回転運動を与える第１の回
転手段と、前記蓄積性螢光体を前記２軸とそれぞれ平行
な別の２軸（θ′，β′）に対して回転運動を与える第
２の回転手段と、前記２軸（θ，β）を前記別の２軸
（θ′，β′）と同期させて回転運動を制御する回転制
御手段と、前記回転運動の間に前記蓄積性螢光体に蓄積
された放射線を読み取る読取手段と、被検体内のピント
面上に焦点の合った透過画像であるラミノ画像を得る画
像処理手段と、を有することを要旨とする。

【００１６】請求項８記載の発明は、放射線を発生し、
被検体に向けて放出する放射線源と、被検体を透過した
放射線をその検出面上で検出する蓄積性螢光体と、被検
体と蓄積性螢光体をそれぞれ同一方向に異なる速度で搬
送する搬送手段と、前記搬送の間に前記蓄積性螢光体に
蓄積された放射線を読み取る読取手段と、被検体内のピ
ント面上に焦点の合った透過画像であるラミノ画像を得
る画像処理手段と、を有することを要旨とする。

【００１７】

【作用】請求項１記載の発明にあっては、放射線を発生
して被検体に向けて放出し、被検体を透過した放射線を
検出面上で実質的に２次元の空間分解能をもって検出す
る。ここで、被検体に回転運動を与え、出力画像を回転
運動と同期して電子的に画像回転させ、この回転運動の
間に出力画像を複数の透過画像として収集して各画像を
加算した後に、被検体内のピント面上に焦点の合った透
過画像であるラミノ画像を得ることで、ピント面のみに
よくピントが合うラミノ画像を得るようにしている。

【００１８】請求項２記載の発明にあっては、電子ビー
ムをＸ，Ｙ方向に走査させて検出面を走査する一方、こ
の電子ビームの走査を電子的に回転させることで出力画
像を回転させることで、ピント面のみによくピントが合
うラミノ画像を得るようにしている。

【００１９】請求項３記載の発明にあっては、放射線を
発生して被検体に向けて放出し、被検体を透過した放射
線の検出面上で強度分布している透過像を光像に変換
し、次に、この光像を撮像して透過画像を検出する。こ
こで、被検体に回転運動を与え、少なくとも光像の検出
を回転運動と同期して回転させ、この回転運動の間に出
力画像を複数の透過画像として収集して各画像を加算し
た後に、被検体内のピント面上に焦点の合った透過画像
であるラミノ画像を得ることで、ピント面のみによくピ
ントが合うラミノ画像を得るようにしている。

【００２０】請求項４記載の発明にあっては、放射線を
発生して被検体に向けて放出し、被検体を透過した放射
線を蓄積性螢光体の検出面上で検出する。ここで、被検
体と蓄積性螢光体を互いに平行なそれぞれの回転軸に対
してそれぞれを同期して同一方向に回転運動を与え、こ
の回転運動の間に蓄積性螢光体に蓄積された放射線を読
み取り、被検体内のピント面上に焦点の合った透過画像
であるラミノ画像を得ることで、ピント面のみによくピ
ントが合うラミノ画像を得るようにしている。

【００２１】請求項５記載の発明にあっては、蓄積性螢
光体あるいは被検体を回転軸方向に移動させることで、
ピント面のみによくピントが合うラミノ画像を得るよう
にしている。

【００２２】請求項６記載の発明にあっては、蓄積性螢
光体あるいは被検体を回転軸に対して傾斜させること
で、ピント面のみによくピントが合うラミノ画像を得る
ようにしている。

【００２３】請求項７記載の発明にあっては、放射線を
発生して被検体に向けて放出し、被検体を透過した放射
線を蓄積性螢光体の検出面上で検出する。ここで、被検
体を２軸（θ，β）に対して回転運動を与え、蓄積性螢
光体をこの２軸とそれぞれ平行な別の２軸（θ′，
β′）に対して回転運動を与え、さらに、２軸（θ，
β）を別の２軸（θ′，β′）と同期させて回転運動を
制御する。この回転運動の間に、蓄積性螢光体に蓄積さ
れた放射線を読み取り、被検体内のピント面上に焦点の
合った透過画像であるラミノ画像を得ることで、ピント
面のみによくピントが合うラミノ画像を得るようにして
いる。

【００２４】請求項８記載の発明にあっては、放射線を
発生して被検体に向けて放出し、被検体を透過した放射
線を蓄積性螢光体の検出面上で検出する。ここで、被検
体と蓄積性螢光体をそれぞれ同一方向に異なる速度で搬
送し、この搬送の間に蓄積性螢光体に蓄積された放射線
を読み取り、被検体内のピント面上に焦点の合った透過
画像であるラミノ画像を得ることで、ピント面のみによ
くピントが合うラミノ画像を得るようにしている。

【００２５】

【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。

【００２６】最初に、実施例を説明する前に、図１を参
照して、本発明のラミノグラフの原理作用について説明
する。

【００２７】図１においては、放射線源１ａと２次元放
射線検出器３ａ（放射線源１ｂと２次元放射線検出器３
ｂ）の組がそれぞれ図示のように被検体５を通るＺ軸に
対して角度αの傾きを保ちながら放射線源用軌道７ａお
よび検出器中心軌道９ａを描いて回転するようになって
いる。なお、図１において、座標ＸＹＺは被検体５に対
して固定した座標であり、Ｚ軸は回転軸に一致させてあ
る。

【００２８】被検体３内に設定されたピント面５ａ上の
１点ｑに着目すると、回転角０°の場合には、ｑ点の透
過像（すなわち、測定面１１ａ）への射影点はｑ0 とな
る。

【００２９】この射影点ｑ0 は幾何学的に計算すること
ができる。同様に、回転角１８０°の場合には、射影点
はｑ180 となる。

【００３０】このように各回転角での射影点を計算し、
その点での画像データを加算して平均することにより、
射影点ｑ0 を頂点とし、放射線源の軌道７ａで形成され
る円錐ビームに対する透過データが計算され、射影点ｑ
以外のパターンはぼやける。

【００３１】同様に、ピント面５ａ上に網の目状に配置
した多数の点について計算することにより、ピント面５
ａにピントの合った透過像であるミラー像が得られる。

【００３２】図１において、ピント面５ａ上にある文字
Ｂははっきり残り、上下の層にそれぞれある文字Ａ，Ｃ
はぼやける。これにより上下層に邪魔されることなく、
ピント面５ａを観察することができるものである。

【００３３】図２は、本発明の第１の実施例に係わるミ
ラーグラフの構成を示す図である。

【００３４】図２に示すように、回転テーブル２３はテ
ーブル回転軸３７を中心にして回転可能にフロアーから
支持されている。回転機構２５は回転テーブル２３を回
転させる。

【００３５】撮像管１９はその検出面２１がテーブル回
転軸３７に対して垂直になるように設定されている。

【００３６】Ｘ線管１３はそのＸ線焦点Ｓが検出面２１
の中心Ｐとテーブル回転軸３７が作る平面に乗るように
フロアーから支持される。ＳとＰとを結ぶ線はテーブル
回転軸３７と角度αをなし、例えばαは約４５°であ
る。

【００３７】被検体１７は回転テーブル２３上に設置さ
れ、被検体１７を通ったＸ線ビーム１５が検出面２１で
検出される。

【００３８】撮像管１９は検出面２１上での透過画像を
撮像管コントローラ２９によりラスタースキャンして検
出しアナログ信号としてデータ収集処理装置２７へ送
る。

【００３９】回転制御装置３３は回転機構２５から回転
位置信号としてのエンコーダ出力を受けてフィードバッ
クして低速回転するよう回転機構２５を制御するととも
に、この回転位置信号を撮像管コントローラ２９へ送
る。

【００４０】撮像管コントローラ２９は、撮像管１９の
Ｘ軸，Ｙ軸コイルの電流を制御することで撮像管１９の
検出面２１をラスタースキャンしてＸ線を検出してい
る。回転位置信号を受けてテーブルの回転角θに合せて
Ｘ軸，Ｙ軸のコイルの電流配分を、

【数１】

【数２】 のように変形することで、ラスタースキャンの角度検出
面２１の中心Ｐに対してθだけ回転させる。これにより
撮像管１９の出力信号は撮像管１９を回転テーブル２３
と同期して回転させた場合と同様の信号になる。なお、
このような画像の回転方法自体は特公昭５６−２４４３
４号公報において知られているものである。

【００４１】データ収集処理装置２７は撮像管１９から
出力されたアナログ信号をデジタルデータに変換して画
像加算してラミノ画像を作りＣＲＴ３１に表示する。ま
た撮像管１９のアナログ信号はモニタＣＲＴ３５に接続
されデジタル処理以前の透過画像がモニタできる。

【００４２】撮像管１９はピント機構３９を介してフロ
アーより支持されている。ピント機構３９は撮像管１９
をテーブル回転軸３７方向へ移動させる機構である。Ｓ
と検出面２１の中心Ｐを結ぶ線とテーブル回転軸３７の
交点Ｑを通り検出面２１と平行な面がピント面４１とな
る。ピント機構３９はピント面４１をテーブル回転軸３
７方向に移動させる働きをする。

【００４３】なお、以上のような構成において、ピント
機構３９は回転テーブル２３を軸方向に動かしてもよ
く、またＸ線管１３を軸方向に動かしてもよい。また、
Ｘ線管１３にはＸ線制御装置が接続されているが図では
省略されている。さらに、回転テーブル２３は中空のプ
ラスチック円柱よりなるものである。さらにまた、前記
Ｘ線の検出を行うものは撮像管１９に限られるものでは
なく、例えば、Ｘ線Ｉ．Ｉ．とレンズおよび撮像管を組
み合わせてＸ線の検出を行えるものである。

【００４４】ここで、Ｘ線管１３は放射線源を構成し、
撮像管１９は放射線検出器を構成し、回転機構２５およ
び回転制御装置３３は回転手段を構成し、撮像管コント
ローラ２９は検出器制御手段を構成し、データ収集処理
装置２７は画像処理手段を構成するものである。

【００４５】次に、実使用時の作用を図３を参照して説
明する。

【００４６】実使用時には、操作者はまず被検体１７を
回転テーブル２３に載置し、データ収集処理装置２７の
操作パネルからピント面位置（例えば、Ｘ＝１ｍｍ）を
入力し、データ収集を開始させる。この結果、データ収
集処理装置２７は図３に示すフローチャートに従ってラ
ミノ画像を作成する。

【００４７】以下、図３のフローチャートに従って説明
する。図３において、まず、Ｘ線管１３がオンされ、回
転が開始する（ステップＳ１１０，Ｓ１２０）。次で、
２次元透過像が続けて収集されていくが、１画面の収集
時間は回転ぶれが無視できる短い時間である。

【００４８】１画面の収集が終了すると（ステップＳ１
３０）、前処理として歪補正およびセンタリング補正が
施され、生画像としての前処理済みの透過像が作成され
てファイルされる（ステップＳ１４０，Ｓ１５０）。生
画像は１画像毎に後述するラミノ画像処理を施され、ラ
ミノ画像が作成される（ステップＳ１６０）。次の画面
も同様に処理され、前画面のラミノ画像上に結果が足し
込まれ、平均画像が作成される。

【００４９】３６０°または任意の設定角度分の画面が
処理され、ラミノ画像が完成すると、ラミノ画像が表示
される（ステップＳ１８０，Ｓ１９０）。そして、回転
が停止し、Ｘ線管１３がオフになり終了する（ステップ
Ｓ２００，Ｓ２１０）。なお、回転は一方向の回転でな
く、部分的な角度監視の往復回転でもよい。

【００５０】また、収集画像のうち、Ｘ線通路が被検体
１７の長手方向に沿った方向になる画像（θ ９０°，
２７０°）は吸収が強くなり、画像が不鮮明になるの
で、処理には使用されない。

【００５１】次に、図４のフローチャートを参照して、
図３のステップＳ１６０におけるラミノ画像処理につい
て説明する。なお、この処理では、図５および図６を参
照して説明を行う。

【００５２】計算処理の座標系を図５（ａ）に示す。同
図において、ｘ，ｙ，ｚは測定系（Ｘ線管，検出器）に
固定された座標系であり、検出面２１は検出器の面であ
り、ｘｙ平面内にある。ＳはＸ線焦点である。Ｘ，Ｙ，
Ｚは被検体１７に固定した座標系であり、回転角θ＝０
°のとき、座標Ｘ’，Ｙ’，Ｚ’に一致する。Ｘ’，
Ｚ’軸はｘｚ平面内になるように設定されている。

【００５３】図５（ｂ）は被検体１７内に設定されたピ
ント面４１を示しており、ピント面４１は式Ｘ＝Ｘ0 と
して表される。また、図５（ｃ）はピント面４１の格子
点（ｉ，ｊ）と座標Ｙ，Ｚの関係を示している。さら
に、図６は生画像の格子点（ｄ，ｍ）と座標ｘ，ｙの関
係を示している。

【００５４】次に、図４を参照して、ラミノ画像処理に
ついて説明する。

【００５５】図４では、まず、ピント面上の始点位置ｉ
＝０，ｊ＝０でのラミノ画像値の計算から開始する（ス
テップＳ１６２）。次に、ピント点ｉ，ｊの値から次に
示す式に従って生画像上への射影点ｄ，ｍを計算する
（ステップＳ１６４）。

【００５６】まず、ｉ，ｊ→Ｘ，Ｙ，Ｚの変換は次式に
より行う。

【００５７】

【数３】 次に、Ｘ，Ｙ，Ｚ→ｘ，ｙ，ｚの変換は次式により行
う。

【００５８】

【数４】 図５を参照して、ピント点ｑ（ｘ，ｙ，ｚ）から射影点
Ｑ（ｘp ，ｙp ）を計算する。幾何計算により次式が求
まる。

【００５９】

【数５】 次に、ｘ0 ，ｙ0 →ｄ，ｍの変換を行う。

【００６０】

【数６】 以上により射影点ｄ，ｍが計算される。なお、ｄ，ｍは
一般に整数とならない。

【００６１】次に、図４のステップＳ１６６に戻って、
生画像上で点（ｄ，ｍ）の近傍の４点の画像値を順次補
間して画像値Ｌ（ｄ，ｍ）を求める。それから、ラミノ
画像上の点（ｉ，ｊ）の位置に求めた画像値Ｌ（ｄ，
ｍ）を足し込む（ステップＳ１６８）。そして、図５
（ｃ）に示す全ｉ，ｊについて計算を行い、ラミノ画像
処理が終了する（ステップＳ１７０，Ｓ１７２）。

【００６２】なお、上記実施例において、データ収集は
行わずに、前に終了した生画像ファイルを用いて、ラミ
ノ画像の計算のみを行うことができる。これによりデー
タ収集なしに、ピント面の設定（Ｘ＝Ｘ0 ）の値を変え
て、ラミノ画像を何度でも計算し直すことができる。

【００６３】図７はこの処理を示すフローチャートであ
る。すなわち、図７では、まず生画像ファイルを読み出
して（ステップＳ３１０）、図４に示したラミノ画像処
理と同じ処理を行い（ステップＳ３２０）、これを全生
画像について行い（ステップＳ３３０）、これによりラ
ミノ画像が表示されファイルされる（ステップＳ３４
０）。

【００６４】特に、本実施例のような構成において、Ｘ
線管１３で放射線を発生して被検体１７に向けて放出
し、被検体１７を透過した放射線を撮像管１９の検出面
２１上で実質的に２次元の空間分解能をもって検出す
る。ここで、回転機構２５で被検体１７に回転運動を与
え、撮像管コントローラ２９で出力画像を回転運動と同
期して電子的に画像回転させ、この回転運転の間にデー
タ収集処理装置２７で出力画像を複数の透過画像として
収集して各画像を加算した後に、被検体内のピント面上
に焦点の合った透過画像であるラミノ画像を得るように
している。

【００６５】従って、第１の実施例では、従来の焦点走
査型Ｘ線管を使用していないので、焦点位置が狂うこと
がなく、高品質のラミノ像が得られ、装置も安価であ
る。また、従来の焦点走査型Ｘ線管と比べて、ぼけを大
きくすることができるため、ピントのシャープなラミノ
像が得られる。

【００６６】また、回転走査でラミノ像が得られるの
で、機構が単純で安価となり、精度も向上し、良好なラ
ミノ像が得られる。

【００６７】さらに、ピント面からはずれた面にあるパ
ターンのぼけ方向が一方向でなく、楕円型であり、直線
状のパターンもよくぼけ、ピントのシャープなラミノ像
が得られる。また、一度収集した画像からピント面を変
えて何度でもラミノ像を作り直すことができる。さら
に、透過像収集と平行して、ラミノ画像処理を行うの
で、収集後、短時間でラミノ像を得ることができる。

【００６８】さらにまた、グリッドを用いて、歪補正を
おこなうので、計算精度が向上し、高品質なラミノ像が
得られる。ピンファントムを用いて、センタリング補正
を行うので、精密な幾何調整を行うことなく、高品質な
ラミノ像が得られる。

【００６９】また、隣接して平行する複数のラミノ像を
作成しておくことにより、画像切り換えを行うことで、
層のめくり（奥側へり切り換え）およびかぶせ（手前側
への切り換え）ができ、層状態をよく把握することがで
きる。

【００７０】次に、図８は、本発明の第２の実施例に係
わるラミノグラフ構成を示す図である。

【００７１】まず、本実施例の構成上の特徴を説明す
る。

【００７２】図８に示すように、回転テーブル２３がテ
ーブル回転軸３７を中心に回転可能にフロアーから支持
されている。回転機構２５は回転テーブル２３を回転さ
せる。

【００７３】Ｘ線Ｉ．Ｉ．４５はその検出面２１がテー
ブル回転軸３７に対して垂直になるように設定されてお
り、検出面２１上のＸ線透過像を可視光像へ変換する。

【００７４】ＴＶカメラ４９はＸ線Ｉ．Ｉ．４５の中心
軸５３と同軸に設置され、Ｘ線Ｉ．Ｉ．４５の出力面４
７の可視光像を撮像して出力する。このＴＶカメラ４９
は上記テーブル回転軸３７と平行であり、Ｘ線Ｉ．Ｉ．
４５の中心軸と一致するそれ自体の軸に対してカメラ回
転機構５１により回転されることで、Ｘ線Ｉ．Ｉ．４５
の出力面４７の可視光像はＴＶカメラ４９の出力では回
転するものである。

【００７５】被検体１７は回転テーブル２３上に設置さ
れ、被検体１７を通ったＸ線ビーム１５が検出面２１で
検出される。

【００７６】回転制御装置３３は回転テーブル２３とＴ
Ｖカメラ４９を同期して回転させる。

【００７７】データ収集処理装置２７はＴＶカメラ４９
のアナログ出力信号とデジタルデータに変換して画像加
算してラミノ画像を作りＣＲＴ３１に表示する。

【００７８】Ｘ線管４３はそのＸ線焦点Ｓがテーブル回
転軸３７とＸ線Ｉ．Ｉ．４５の中心軸５３が作る平面上
に設置されている。

【００７９】ピント面４１は、図８に示すように、検出
面２１の中心Ｐ（中心軸５３上にある）とＸ線焦点Ｓを
結ぶ線とテーブル回転軸３７との交点Ｑを通り検出面２
１と平行な面である。

【００８０】回転テーブル２３は中空のプラスチック円
柱よりなる。

【００８１】ここで、Ｘ線管１３は放射線源を構成し、
Ｘ線Ｉ．Ｉ．４５は光変換手段を構成し、ＴＶカメラ４
９は光検出器を構成し、回転機構２５は回転手段を構成
し、カメラ回転機構５１は検出器回転手段を構成し、デ
ータ収集処理装置２７は画像処理手段を構成するもので
ある。

【００８２】特に、本実施例のような構成において、Ｘ
線管１３は放射線を発生し、回転テーブル２３上に設置
された被検体１７に向けてＸ線ビーム１５を放出し、被
検体１７を通ったＸ線ビーム１５が検出面２１で検出さ
れる。次に、Ｘ線Ｉ．Ｉ．４５はその検出面２１上のＸ
線透過像を可視光像へ変換し、ＴＶカメラ４９はＸ線
Ｉ．Ｉ．４５の出力面４７の可視光像を撮像して出力す
る。この際に、回転テーブル２３を回転機構２５により
回転させることで、被検体１７を回転させる。また、Ｔ
Ｖカメラ４９はＸ線Ｉ．Ｉ．４５の中心軸と一致するそ
れ自体の軸に対してカメラ回転機構５１により回転され
ることで、Ｘ線Ｉ．Ｉ．４５の出力面４７の可視光像は
ＴＶカメラ４９の出力では回転するものである。回転テ
ーブル２３とＴＶカメラ４９は回転制御装置３３により
同期して回転させる。データ収集処理装置２７でＴＶカ
メラ４９のアナログ出力信号とデジタルデータに変換し
て画像加算してラミノ画像を作りＣＲＴ３１に表示す
る。

【００８３】従って、特に、本実施例では、第１の実施
例の効果に加え、Ｘ線Ｉ．Ｉ．とＴＶカメラの両方でな
くＴＶカメラのみ、あるいは２次元光センサのみの回転
ですむので、回転させる部分が小さく軽くてすみ回転機
構が小型ですみ回転精度を上げることができる。

【００８４】なお、以上のような構成において、放射線
の検出は放射線光の変換がＸ線Ｉ．Ｉ．４５で行なわれ
光検出器としてＴＶカメラ４９を用い、ＴＶカメラ４９
のみ回転させる場合について述べたが、これに限られる
ことなく、例えばＸ線Ｉ．Ｉ．４５の代わりに螢光板を
用いてもよい。またＴＶカメラ４９は光学レンズとＣＣ
Ｄや撮像管等の２次元光センサから構成されているが、
光学レンズを固定し２次元光センサのみを回転させても
よい。

【００８５】次に、図９は、本発明の第３の実施例に係
わるラミノグラフの構成を示す図である。

【００８６】まず、本実施例の構成上の特徴を説明す
る。

【００８７】図９に示すように、回転テーブル２３とイ
メージングプレート６１が互いに平行なそれぞれの回転
軸３７，６５について回転可能にフロアーから支持され
ている。回転機構５７はモータ５５，ギヤ５７ａ，５７
ｂ，５７ｃより成り、回転テーブル２３とイメージング
プレート６１を同期して同一方向に回転させる。

【００８８】Ｘ線管１３はそのＸ線の焦点Ｓが２つの回
転軸３７，６５の作る面上に乗るようにフロアーから支
持される。

【００８９】焦点Ｓとイメージングプレート６１の検出
面５９の中心Ｐを結ぶ線は回転軸３７，６５と角度αを
なし、α＝約４５°である。この線とテーブル回転軸３
７との交点Ｑを通り検出面５９に平行な面がピント面４
１となる。

【００９０】被検体１７は回転テーブル上に設置され、
被検体１７を通ったＸ線ビーム１５が検出面５９で検出
される。イメージングプレート６１はＸ線が照射されて
いる間、検出面５９上の透過像を積分して潜像として記
憶する。

【００９１】イメージングプレート６１の潜像は読取装
置６３により読み取られる。読取装置６３はレーザ光を
イメージングプレート６１に当てて発生する螢光を光セ
ンサで検出することで読み取るものであり、読取装置６
３自体は特開平３−２７６２６５号公報において知られ
ている。

【００９２】読取装置６３の出力はデータ収集処理装置
２７でデジタルデータに変換された後に、ＣＲＴ３１に
表示される。出力された画像はピント面４１にピントの
合った透過画像としてのラミノ画像である。

【００９３】ここで、Ｘ線管１３は放射線源を構成し、
イメージングプレート６１は蓄積性螢光体を構成し、回
転機構５７は回転手段を構成し、読取装置６３は読取手
段を構成し、データ収集処理装置２７は画像処理手段を
構成するものである。

【００９４】次に、本実施例の作用を説明する。

【００９５】操作者は、まず、被検体１７を回転テーブ
ル２３上に設置し、ピント制御器４３のパネルからピン
ト位置を設定する。

【００９６】次に、回転制御装置３３をＯＮし、Ｘ線管
１３をＯＮし、約１回転の後に、Ｘ線管１３をＯＦＦす
る。この間に、被検体１７の透過像がイメージングプレ
ート６１の検出面５９上に積分され潜像として記憶され
る。この像は被検体１７のピント面４１にピントの合っ
た透過像としてのラミノ画像である。

【００９７】次に、読取装置６３をＯＮさせ、上記の潜
像を読み取って電気信号として出力させる。この出力は
データ収集処理装置２７に取り込まれ、デジタルデータ
として記憶されるとともに、ＣＲＴ３１に表示される。

【００９８】従って、特に、本実施例では、第２の実施
例の効果に加え、さらに、画像加算がいらなくなるの
で、さらに、高速な処理ができる。また、イメージング
プレート６５には出力用のケーブルがないので、回転の
ケーブルさばきがいらなくなり、回転が一方向に無制限
に連続してでき、機構が単純化して精度も上げられる利
点がある。

【００９９】なお、上記実施例において、ピント機構３
９は回転テーブル２３を回転軸３７方向に移動させ被検
体１７に対して相対的にピント面４１を移動させる。な
お、ピント機構３９は回転テーブルの代わりにイメージ
ングプレート６１あるいはＸ線管１３を回転軸方向に移
動するようにしてもよい。

【０１００】さらに、図９では、被検体１７に対してピ
ント面４１を相対的に傾斜させるために、被検体１７を
回転軸３７に対して傾斜させる図示されていない傾斜機
構がある。また、被検体１７を傾斜させる代わりにイメ
ージングプレート６１をイメージングプレート回転軸６
３に対して傾斜させてピント面４１を傾斜させてもよ
い。

【０１０１】図１０にイメージングプレートはその検出
面５９が回転軸６５に対して直交するよう設定されてい
るが、これに限ることなく傾斜させて設定してもよい。
図１１に示すように角度βをもって設定した場合、ピン
ト面４１が角度βで傾斜するだけである。

【０１０２】次に、図１２は、本発明の第４の実施例に
係わるラミノグラフの構成を示す図である。

【０１０３】まず、本実施例の構成上の特徴を説明す
る。

【０１０４】図１２において、被検体１７は、２軸
（θ，β）に対し回転するθ回転機構６５、β回転機構
６７上に設置される。β回転機構６７はθ回転機構６５
上に乗っているがこの逆でもよい。

【０１０５】イメージングプレート６１は上記の２軸と
それぞれ平行な２軸（θ′，β′）に対し回転するθ′
回転機構６９、β′回転機構７１上に設置される。

【０１０６】各回転機構は軸受およびパルスモータ等か
ら構成される。回転制御装置３３はパルス発生器、パル
スモータドライバ等から構成され上記２軸と上記他の２
軸の対応する軸について同期して回転機構を回転させ
る。

【０１０７】他に、図示されていないイメージングプレ
ート６１の読取装置、データ収集処理装置、ＣＲＴ等か
ら構成される。

【０１０８】図１２において、Ｐ点はθ′軸，β′軸の
交点、Ｑ点はθ軸，β軸の交点である。Ｘ線管１３はそ
のＸ線の焦点Ｓが直線ＰＱ上に乗るようにフロアーから
支持されている。イメージングプレート６１はその検出
面５９がＰ点を通るように回転機構上に設置される。図
１２では、β′軸を含むように設置されているが、例え
ばβ′軸と角度γをなすように設置してもよい。また、
ピント面４１はＱ点を通って検出面５９と平行な面とな
る。

【０１０９】各回転機構が回転制御装置３３により定め
られたシークェンスで回転されるとき、被検体１７上の
ピント面４１と検出面５９は常に平行に保たれている。

【０１１０】ここで、Ｘ線管１３は放射線源を構成し、
イメージングプレート６１は蓄積性螢光体を構成し、θ
回転機構６５およびβ回転機構６７は第１の回転手段を
構成し、θ′回転機構６９およびβ′回転機構７１は第
２の回転手段を構成し、回転制御装置３３は回転制御手
段を構成し、図示されていない読取装置６３は読取手段
を構成し、図示されていないデータ収集処理装置２７は
画像処理手段を構成するものである。

【０１１１】次に、本実施例の作用を説明する。

【０１１２】各回転機構は回転制御装置３３により定め
られたシークェンスで回転される。この間に、Ｘ線が照
射され被検体１７の透過画像がイメージングプレート６
１の検出面５９上に積分され潜像として記憶される。こ
の像は被検体１７のピント面４１にピントの合った透過
像としてのラミノ画像である。

【０１１３】次に、図示されていない読取装置６３をＯ
Ｎさせ上記の潜像を読み取って電気信号として出力させ
る。

【０１１４】この出力は、図示されていないデータ収集
処理装置２７に取り込まれ、デジタルデータとして記憶
されるとともに、図示されていないＣＲＴ３１に表示さ
れる。

【０１１５】従って、特に、本実施例では、第４の実施
例の効果に加え、さらに、２軸走査になっているので、
ピント面からはずれた面にあるパターンのボケが多重同
型のボケ、すなわち、面ボケになるので、直線状や円形
のパターンもよくボケピントのシャープなラミノ画像が
得られる。

【０１１６】なお、上記実施例において、図１２に示す
２軸の回転機構の組合せ方はこれに限定されるものでは
ななく、例えば図１３に示すような組合せも可能であ
る。要は、２軸の自由度をって回転できればよい。

【０１１７】また、イメージングプレート６１の代わり
に他の２次元放射線検出器として、例えばシンチレータ
＋ＣＣＤ光センサ、撮像管、Ｘ線Ｉ．Ｉ．＋ＴＶカメ
ラ、二次元半導体Ｘ線センサ等を使うこともできる。

【０１１８】次に、図１４は、本発明の第５の実施例に
係わるラミノグラフの構成を示す図である。

【０１１９】まず、本実施例の構成上の特徴を説明す
る。

【０１２０】図１４においてＸ線管８１はフロアーから
支持されている。

【０１２１】被検体８５を設置する搬送テーブル９７
は、速度ｖ1 でプレート被検体搬送機構９９により搬送
される。イメージングプレート１０１は、被検体８５と
同一方向へ速度ｖ2 でプレート搬送機構１０５により搬
送される。

【０１２２】イメージングプレート１０１の検出面１０
３は搬送方向にそって設置されている。まず最初に、イ
メージングプレート１０１はリセット装置９５でリセッ
トされる。次に、搬送の間に被検体８５を透過したＸ線
ビーム８３は、検出面１０７ａ上で透過像として積分さ
れて潜像として記憶され、読取装置９３を通って搬送さ
れるときに読み取られる。リセット装置９５はレーザビ
ームをあてて潜像をリセットするもので読取装置と同様
の構造である。なお、読取装置９３自体は第３の実施例
において説明したように公知技術である。

【０１２３】ここで、検出面１０３とＸ線焦点Ｓの距離
をｌ2 、ピント面８７とＳとの距離をｌ1 とすると、

【数７】 の関係がある。

【０１２４】ピント面８７上にあるパターンは搬送の間
に検出面１０３上でずれることはないが、その上下にあ
るパターンは搬送の間にずれていき積分された潜像上で
はボケてしまう。このようにピント面８７にピントの合
った透過画像としてのラミノ画像が得られる。

【０１２５】数３よりｖ1 とｖ2 の比率を変えること
で、ピント面８７の位置を変えることができることがわ
かる。

【０１２６】また、図１５を参照すると搬送方向から検
出面１０３を傾斜させるとピント面８７が同一角度だけ
傾斜することがわかる。これは三角形ＳＡＯとＳＡ′
Ｏ′相似関係が送り量によらず保たれることから、ピン
ト面８７上の任意の点はそれぞれ検出面１０３上の送り
量によらない同一の点へ射影される。すなわち、ピント
面８７上のパターンは検出面１０３上でずれることがな
い。

【０１２７】図１６は搬送方向から見た図であり、図１
６を参照すると、傾斜させる方向を変えても上述のこと
がなりたつことがわかる。

【０１２８】ここで、Ｘ線管８１放射線源を構成し、イ
メージングプレート１０１蓄積性螢光体を構成し、プレ
ート被検体搬送機構９９およびプレート搬送機構１０５
は搬送手段を構成し、読取装置９３は読取手段を構成
し、データ収集装置８９は画像処理手段を構成するもの
である。

【０１２９】次に、本実施例の作用を説明する。

【０１３０】まず、搬送テーブル９７とイメージングプ
レート１０１がスタート位置に設定され、被検体８５が
設置される。Ｘ線管８１がＯＮされ、搬送を開始する。

【０１３１】イメージングプレート１０１は、リセット
装置９５のリセット端を通過するときリセットされ潜像
が消去される。搬送の間に透過画像がイメージングプレ
ート１０１の検出面１０３上に積分され潜像として記憶
される。次に、潜像は読取装置９３の読取端を通過する
とき読み取られる。読み取られた潜像はピント面８７に
ピントの合った透過画像としてのラミノ画像であり、デ
ータ収集装置８９へ送られデジタルデータに変換されて
記憶されるとともにＣＲＴ９１に表示される。

【０１３２】なお、ｖ1 とｖ2 の比を変えることで数３
に対応するようにピント面８７の位置を変えることがで
きる。

【０１３３】従って、特に、本実施例では、焦点走査型
Ｘ線管を用いないので、焦点位置がくるうことがなく、
高品質なラミノ画像が得られ装置も安価になる。また、
走査型Ｘ線管と比べぼけを大きくできるため、ピントの
シャープなラミノ画像が得られる。

【０１３４】送り走査のみでラミノ像が得られるので、
機構が単純化できるとともに精度も向上し、その結果、
安価で良好なラミノ像が得られる。また、イメージング
プレートを用いることで、画像の加算処理を行う画像処
理装置が不用になる。

【０１３５】さらに、イメージングプレートを用いるこ
とで、可動部のケーブルさばきが不用になり、機構が単
純化できるとともに精度も向上できる。また、速度比を
変えるだけでピント位置を変えることができる等の利点
がある。

【０１３６】次に、図１７は本発明の第６の実施例に係
わるラミノグラフの構成を示す図である。

【０１３７】その特徴とするところは、第５の実施例の
構成に加えて、被検体８５とイメージングプレート１０
９の搬送機構にベルトコンベア１０７，１１１を用いた
点である。

【０１３８】このような構成によって、検査のたびに搬
送位置をスタート位置に戻す必要がなくなり連続して被
検体８５やイメージングプレート１０９を搬送するとが
できる。

【０１３９】従って、特に、本実施例では、第５の実施
例の効果に加えて、検査の走査が連続して行なえるの
で、検査速度を向上することができるという効果があ
る。

【０１４０】次に、図１８は、本発明の第７の実施例に
係わるラミノグラフの構成を示す図である。

【０１４１】その特徴とするところは、第６の実施例の
構成要件として用いられているように、イメージングプ
レートの搬送を行なう代わりにベルトコンベア１０７の
ベルトにイメージングプレートを含入されたイメージン
グシート１１３とし、これをシート搬送ベルトコンベア
１１５で搬送している点である。

【０１４２】このような構成によって、第６の実施例と
同様の作用を生じるものである。

【０１４３】従って、第６の実施例の効果に加え、検出
器側の送り機構であるベルトコンベア１０２が単純化す
るとともに、精度を向上することができ、かつ、コンパ
クト化できるのでコストも安価なるという利点がある。

【０１４４】次に、本発明の第８の実施例に係わるラミ
ノグラフの構成および作用、効果を説明する。

【０１４５】その特徴とするところは、第１〜第７の実
施例において述べられた構成に用いられた被検体として
実装された基板に対して適用するものである。

【０１４６】図１９に実装基板の例を示す。

【０１４７】この例においては、基板の電気的接続部が
表に見えず、また、単なる透過画像では他の部品や基板
のパターンと重なってしまうので、検査が行ない難いも
のである。

【０１４８】図１９において、裏返し実装されるような
フリップチップ１１７は、約０．５ｍｍピッチで格子状
に並んだハンダバンプ１２１によってパッケージ基板１
２９に接続されてパッケージ１３２が形成され、パッケ
ージ１２３は約１．５ｍｍピッチで格子状に並んだＢＧ
Ａ（ボールグリッドアレー）と称するボール状のハンダ
で基板１２５に接合されている。

【０１４９】このような被検体に対し、それぞれの接続
部にピントの合ったラミノ像を得ることで、他の接続部
や部品や基板のパターンに影響されずに接続部の検査を
行うことができるので、接続部の欠陥として、例えば、
半田の量不足１２１ａや半田位置のかたより１２１ｃや
半田のハクリ１２１ａ，１２１ｂやボイド１２７ａ等の
ラミノ像が得られる。

【０１５０】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、放射線を
発生して被検体に向けて放出し、被検体を透過した放射
線を検出面上で実質的に２次元の空間分解能をもって検
出する。ここで、被検体に回転運動を与え、出力画像を
回転運動と同期して電子的に画像回転させ、この回転運
動の間に出力画像を複数の透過画像として収集して各画
像を加算した後に、被検体内のピント面上に焦点の合っ
た透過画像であるラミノ画像を得ることで、ピント面の
みによくピントが合うラミノ画像を得ることができる。

【０１５１】請求項３記載の発明によれば、放射線を発
生して被検体に向けて放出し、被検体を透過した放射線
の検出面上で強度分布している透過像を光像に変換し、
次に、この光像を撮像して透過画像を検出する。ここ
で、被検体に回転運動を与え、少なくとも光像の検出を
回転運動と同期して回転させ、この回転運動の間に出力
画像を複数の透過画像として収集して各画像を加算した
後に、被検体内のピント面上に焦点の合った透過画像で
あるラミノ画像を得ることで、ピント面のみによくピン
トが合うラミノ画像を得ることができる。

【０１５２】請求項４記載の発明によれば、放射線を発
生して被検体に向けて放出し、被検体を透過した放射線
を蓄積性螢光体の検出面上で検出する。ここで、被検体
と蓄積性螢光体を互いに平行なそれぞれの回転軸に対し
てそれぞれを同期して同一方向に回転運動を与え、この
回転運動の間に蓄積性螢光体に蓄積された放射線を読み
取り、被検体内のピント面上に焦点の合った透過画像で
あるラミノ画像を得ることで、ピント面のみによくピン
トが合うラミノ画像を得ることができる。

【０１５３】請求項７記載の発明によれば、放射線を発
生して被検体に向けて放出し、被検体を透過した放射線
を蓄積性螢光体の検出面上で検出する。ここで、被検体
を２軸（θ，β）に対して回転運動を与え、蓄積性螢光
体をこの２軸とそれぞれ平行な別の２軸（θ′，β′）
に対して回転運動を与え、さらに、２軸（θ，β）を別
の２軸（θ′，β′）と同期させて回転運動を制御す
る。この回転運動の間に、蓄積性螢光体に蓄積された放
射線を読み取り、被検体内のピント面上に焦点の合った
透過画像であるラミノ画像を得ることで、ピント面のみ
によくピントが合うラミノ画像を得ることができる。

【０１５４】請求項８記載の発明によれば、放射線を発
生して被検体に向けて放出し、被検体を透過した放射線
を蓄積性螢光体の検出面上で検出する。ここで、被検体
と蓄積性螢光体をそれぞれ同一方向に異なる速度で搬送
し、この搬送の間に蓄積性螢光体に蓄積された放射線を
読み取り、被検体内のピント面上に焦点の合った透過画
像であるラミノ画像を得ることで、ピント面のみによく
ピントが合うラミノ画像を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るラミノグラフの原理作用を説明す
るための図である。

【図２】本発明の第１の実施例に係わるミラーグラフの
構成を示す図である。

【図３】第１の実施例を説明するためのフローチャート
である。

【図４】第１の実施例を説明するためのフローチャート
である。

【図５】第１の実施例を説明するための計算処理の座標
系を示す図である。

【図６】第１の実施例を説明するための生画像の格子点
（ｄ，ｍ）と座標（ｘ，ｙ）の関係を示す図である。

【図７】第１の実施例を説明するためのフローチャート
である。

【図８】本発明の第２の実施例に係わるラミノグラフ構
成を示す図である。

【図９】本発明の第３の実施例に係わるラミノグラフ構
成を示す図である。

【図１０】第３の実施例を説明するためのピント機構３
９とテーブル回転軸３７との関係を示す図である。

【図１１】第３の実施例を説明するための回転軸と角度
との関係を示す図である。

【図１２】本発明の第４の実施例に係わるラミノグラフ
の構成を示す図である。

【図１３】第４の実施例に係わるラミノグラフの別の構
成を示す図である。

【図１４】本発明の第５の実施例に係わるラミノグラフ
の構成を示す図である。

【図１５】第５の実施例の検出面を搬送方向に傾斜させ
たことを示す図である。

【図１６】第５の実施例の検出面を水平方向に対してに
傾斜させたことを示す図である。

【図１７】本発明の第６の実施例に係わるラミノグラフ
の構成を示す図である。

【図１８】本発明の第７の実施例に係わるラミノグラフ
の構成を示す図である。

【図１９】本発明の第１から第７の実施例において被検
体として適応できる実装基板の例を示す図である。

【図２０】従来のラミノグラフを示す図である。

【図２１】従来の別のラミノグラフを示す図である。

【符号の説明】

１３ Ｘ線管 １９ 撮像管 ２５ 回転機構 ２７ データ収集処理装置 ２９ 撮像管コントローラ ３３ 回転制御装置

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 放射線を発生し、被検体に向けて放出す
   る放射線源と、 被検体を透過した放射線をその検出面上で実質的に２次
   元の空間分解能をもって検出する放射線検出器と、 前記被検体に回転運動を与える回転手段と、 前記放射線検出器の出力画像を前記回転運動と同期して
   電子的に画像回転させる検出器制御手段と、 前記回転運動の間に前記放射線検出器の出力を複数の透
   過画像として収集して各画像を加算した後に、被検体内
   のピント面上に焦点の合った透過画像であるラミノ画像
   を得る画像処理手段と、を有することを特徴とするラミ
   ノグラフ。
2. 【請求項２】 前記放射線検出器は、 電子ビームをＸ，Ｙ方向に走査させて検出面を走査する
   一方、 前記検出器制御手段は、 前記電子ビームの走査を電子的に回転させることで出力
   画像を回転させることを特徴とする請求項１記載のラミ
   ノグラフ。
3. 【請求項３】 放射線を発生し、被検体に向けて放出す
   る放射線源と、 被検体を透過した放射線の検出面上で強度分布している
   透過像を光像に変換する光変換手段と、 光像を撮像して透過画像を検出する光検出器と、 被検体に回転運動を与える回転手段と、 少なくとも前記光検出器を前記回転運動と同期して回転
   させる検出器回転手段と、 前記回転運動の間に前記光検出器の出力を複数の透過画
   像として収集して各画像を加算した後に、被検体内のピ
   ント面上に焦点の合った透過画像であるラミノ画像を得
   る画像処理手段と、を有することを特徴とするラミノグ
   ラフ。
4. 【請求項４】 放射線を発生し、被検体に向けて放出す
   る放射線源と、 被検体を透過した放射線をその検出面上で検出する蓄積
   性螢光体と、 被検体と蓄積性螢光体を互いに平行なそれぞれの回転軸
   に対してそれぞれを同期して同一方向に回転運動を与え
   る回転手段と、 前記回転運動の間に前記蓄積性螢光体に蓄積された放射
   線を読み取る読取手段と、 被検体内のピント面上に焦点の合った透過画像であるラ
   ミノ画像を得る画像処理手段と、を有することを特徴と
   するラミノグラフ。
5. 【請求項５】 前記蓄積性螢光体あるいは被検体を前記
   回転軸方向に移動させるピント機構を有することを特徴
   とする請求項４記載のラミノグラフ。
6. 【請求項６】 前記蓄積性螢光体あるいは被検体を前記
   回転軸に対して傾斜させる傾斜手段を有することを特徴
   とする請求項４記載のラミノグラフ。
7. 【請求項７】 放射線を発生し、被検体に向けて放出す
   る放射線源と、 被検体を透過した放射線をその検出面上で検出する蓄積
   性螢光体と、 被検体を２軸（θ，β）に対して回転運動を与える第１
   の回転手段と、 前記蓄積性螢光体を前記２軸とそれぞれ平行な別の２軸
   （θ′，β′）に対して回転運動を与える第２の回転手
   段と、 前記２軸（θ，β）を前記別の２軸（θ′，β′）と同
   期させて回転運動を制御する回転制御手段と、 前記回転運動の間に前記蓄積性螢光体に蓄積された放射
   線を読み取る読取手段と、 被検体内のピント面上に焦点の合った透過画像であるラ
   ミノ画像を得る画像処理手段と、を有することを特徴と
   するラミノグラフ。
8. 【請求項８】 放射線を発生し、被検体に向けて放出す
   る放射線源と、 被検体を透過した放射線をその検出面上で検出する蓄積
   性螢光体と、 被検体と蓄積性螢光体をそれぞれ同一方向に異なる速度
   で搬送する搬送手段と、 前記搬送の間に前記蓄積性螢光体に蓄積された放射線を
   読み取る読取手段と、 被検体内のピント面上に焦点の合った透過画像であるラ
   ミノ画像を得る画像処理手段と、を有することを特徴と
   するラミノグラフ。