WO2009078415A1 - Ｘ線検査装置および方法 - Google Patents

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Abstract

　迅速な簡易検査ができ、かつ必要に応じて即座に精密検査することが可能なＸ線検査装置を提供する。コーンビーム状に照射領域を持つＸ線源と、検査対象ワークの保持機構と、平面型撮像面を備えたＸ線カメラを有するＸ線検査装置。検査対象ワークの基準面とＸ線カメラの撮像面を互いに平行な面に配置すると共にＸ線源から照射されるＸ線の光軸が検査対象ワークの基準面を斜めにとおり撮像面に入射するよう配置し、これら三者の相互の配置関係を維持しつつ検査対象ワーク及びＸ線源のいずれか一方とＸ線カメラとを装置の中心軸線を中心に円軌道に沿って回転する機構を有するＸ線カメラの撮像面をその中心法線（撮像面中心軸）の回りに投影データの所望の取得角度に応じて回転ないし設定自在な撮像面回転機構を有する。撮像面回転機構は、前記撮像面を常時中心軸線に関し所定の方位を保持した状態において作動可能である。
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