JP2000329710A - 放射線断層撮影装置、及び、これを用いた物体検査装置 - Google Patents

放射線断層撮影装置、及び、これを用いた物体検査装置

Info

Publication number
JP2000329710A
JP2000329710A JP11135530A JP13553099A JP2000329710A JP 2000329710 A JP2000329710 A JP 2000329710A JP 11135530 A JP11135530 A JP 11135530A JP 13553099 A JP13553099 A JP 13553099A JP 2000329710 A JP2000329710 A JP 2000329710A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
radiation
test object
rotation
angle
ray
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP11135530A
Other languages
English (en)
Inventor
Shiro Oikawa
四郎 及川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP11135530A priority Critical patent/JP2000329710A/ja
Priority to US09/557,622 priority patent/US6411674B1/en
Publication of JP2000329710A publication Critical patent/JP2000329710A/ja
Priority to US10/096,679 priority patent/US6553093B2/en
Priority to US10/310,161 priority patent/US6643352B2/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B6/00Apparatus or devices for radiation diagnosis; Apparatus or devices for radiation diagnosis combined with radiation therapy equipment
    • A61B6/44Constructional features of apparatus for radiation diagnosis
    • A61B6/4429Constructional features of apparatus for radiation diagnosis related to the mounting of source units and detector units
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B6/00Apparatus or devices for radiation diagnosis; Apparatus or devices for radiation diagnosis combined with radiation therapy equipment
    • A61B6/02Arrangements for diagnosis sequentially in different planes; Stereoscopic radiation diagnosis
    • A61B6/03Computed tomography [CT]
    • A61B6/032Transmission computed tomography [CT]

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Biophysics (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Surgery (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Pulmonology (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】撮影状況に対応した的確な断層撮影態様を設定
できるようにする。 【解決手段】この発明の装置は、放射線照射軸Xaと回
転軸raの交点Maを含む撮影対象の断面MAの深さ方
向の分解能は低くても撮影範囲が広い撮影態様を望む場
合は、小さめのラミノ角α1をセットし、撮影範囲は狭
くとも深さ方向の分解能を高める撮影態様を望む場合
は、大きめのラミノ角α2をセットするというように、
ラミノ角を変更できる構成を備えている。ラミノ角を変
化させて撮影対象の深さ方向の分解能と撮影範囲との兼
ね合いを調整することができるので、撮影態様の自由度
が大きくなり、撮影状況に合った断層撮影を行うことが
できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、被検物体の放射
線断層撮影を行う非CT式タイプの放射線断層撮影装
置、及び、これを用いた物体検査装置に係り、特に撮影
態様の自由度を大きくするための技術に関する。
【0002】
【従来の技術】X線を利用して被検物体を非破壊検査す
る手法は、比較的長い歴史を持っており、被検物体にX
線を照射するとともに、X線フィルムや、イメージング
プレート又はイメージインテンシファイア(I・I管)
により透過X線像を検出して撮影を行う単純X線撮影方
式の他に、被検物体の特定断面を撮影対象として撮影を
行うX線断層撮影方式がある。後者のX線断層撮影方式
の場合、近年進歩の著しいX線CT(X線コンピュータ
・トモグラフィ)タイプの断層撮影方式ではなくて、X
線CTタイプが出現する以前に単純X線撮影方式から発
展させた非CT式タイプの断層撮影方式がある。図17
は従来の非CT式タイプX線断層撮影(以下、適宜「X
線断層撮影」と略記)における撮像系の概略構成を示す
模式図である。
【0003】従来の非CT式タイプX線断層撮影方式の
場合、被検物体Mの内でX線管RのX線照射軸(放射線
照射軸)Xaと交点Maを持つよう設定された回転軸r
aを回転中心として被検物体Mが回転させられるととも
に、被検物体Mの透過X線像を検出する面状X線検出器
Dの検出面Daが被検物体Mの回転軸raに対し垂直姿
勢に保持されていて、被検物体MへのX線照射および被
検物体Mの回転に伴って面状X線検出器52から出力さ
れる検出データに基づき次々に得られる透過X線画像を
積算することによりX線断層画像(以下、適宜「断層画
像」と略記)が得られる構成となっているのであるが、
透過X線画像を積算することにより断層画像が得られる
理由を具体的に説明する。
【0004】被検物体Mの内には、図17に示すよう
に、交点Maを含んで面状X線検出器Dの検出面Daと
平行な断面MAと、被検物体Mの内の交点Maは含まず
面状X線検出器Dの検出面Daと平行な断面MBとが存
在する。今、断面MAは図18(a)に示すようにA字
状X線遮蔽エリアを有し、断面MBは図18(b)に示
すようにB字状X線遮蔽エリアを有しているとする。し
たがって、面状X線検出器Dから出力される検出データ
に基づき次々に得られる各透過X線画像では、例えば図
18(c)に示すように、A字状像とB字状像が併存し
ている。ただ、A字状像の位置は常に画像の真ん中に固
定されており、B字状の位置は被検物体Mの被検物体M
の回転に伴ってA字状像の周りを時計の針が回るように
移動することになる。その結果、各透過X線画像を全て
積算した画像では、図18(d)に示すように、A字状
像は全て重なって明瞭になるけれど、逆にB字状像は全
体に散らばって不明瞭となる(ぼける)ので、図18
(d)の画像は断面MAを強調したX線断層画像にな
る。このように、非CT式タイプX線断層撮影方式は、
単純X線撮影の場合と余り変わらない構成で被検物体M
の内の特定断面を撮影して断層画像を得ることができ
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のX線断層撮影方式は、撮影状況に応じて的確な撮影
態様を設定することが難しいという問題がある。撮影目
的や撮影対象あるいは被検物体Mの状況によって、断面
MAを強調度合いは弱くとも(断層画像の深さ方向分解
能が低くとも)撮影範囲が広い撮影態様が好ましい場合
もあれば、撮影範囲は狭くても断面MAの強調度合いが
強い(断層画像の深さ方向分解能が高い)撮影態様が好
ましい場合もある。しかし、従来のX線断層撮影方式の
場合、設定できる撮影態様の幅は非常に狭く、撮影態様
の自由度が小さいので、撮影状況に応じて的確な撮影態
様を設定することが難しいのである。
【0006】この発明は、上記問題点に鑑み、撮影態様
の自由度が大きくて撮影状況に対応した的確な撮影態様
を設定することができる撮影態様の幅が広い放射線断層
撮影装置、及び、これを用いた物体検査装置を提供する
ことを課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項1の発明に係る放射線断層撮影装置は、被検
物体へ向けて放射線を照射する放射線照射手段と、被検
物体の透過放射線像を検出する放射線検出手段と、被検
物体の内で放射線照射軸と交点を持つよう設定された回
転軸を回転中心として被検物体を回転させる被検物体回
転手段と、放射線照射軸と回転軸とのなす角度(ラミノ
角)を変化させるラミノ角可変手段と、放射線照射手段
による被検物体への放射線照射および被検物体回転手段
による被検物体の回転に伴って放射線検出手段から出力
される検出データに基づき次々に得られる透過放射線画
像を蓄積演算して放射線断層画像を得る画像処理手段
と、画像処理手段で得られた断層画像を表示する画像表
示手段とを備えている。
【0008】また、請求項2の発明は、請求項1に記載
の放射線断層撮影装置において、ラミノ角可変手段は、
被検物体の回転軸に対する放射線照射軸の傾き角を変化
させることによりラミノ角が変わるよう構成されてい
る。
【0009】また、請求項3の発明は、請求項1に記載
の放射線断層撮影装置において、ラミノ角可変手段は、
放射線照射軸に対する被検物体の回転軸の傾き角を変化
させることによりラミノ角が変わるよう構成されてい
る。
【0010】また、請求項4の発明は、請求項1に記載
の放射線断層撮影装置において、放射線検出手段の検出
面を被検物体の回転軸に対し垂直姿勢に保持する検出面
姿勢保持手段を備えている。
【0011】また、請求項5の発明は、請求項4に記載
の放射線断層撮影装置において、放射線検出手段の検出
面を被検物体の回転軸に対し垂直姿勢に保持した状態
で、放射線照射軸が検出面と交わる点を通る、検出面に
垂直な軸を回転中心として、被検物体の回転と同期して
検出面を回転させる検出面同期回転手段を備えている。
【0012】また、請求項6の発明は、請求項1から5
までのいずれかに記載の放射線断層撮影装置において、
放射線照射軸と回転軸の交点に対する被検物体の位置を
変化させる位置変更手段を備えている。
【0013】また、請求項7の発明は、請求項1から6
までのいずれかに記載の放射線断層撮影装置において、
放射線照射軸方向における被検物体と放射線照射手段と
の距離、および/または被検物体と放射線検出手段との
距離を変化させる距離可変手段を備えている。
【0014】さらに、請求項8の発明に係る物体検査装
置は、被検物体を所定の搬送ルートに沿って次々と搬送
する物体搬送手段と、物体搬送手段により搬送されてき
た被検物体へ向けて放射線を照射する放射線照射手段
と、被検物体の透過放射線像を検出する放射線検出手段
と、被検物体の内で放射線照射軸と交差するよう設定さ
れた回転軸を回転中心として被検物体を回転させる被検
物体回転手段と、放射線検出手段の検出面を被検物体の
回転軸に対し垂直姿勢に保持する検出面姿勢保持手段
と、放射線照射軸と回転軸とのなす角度(ラミノ角)を
変化させるラミノ角可変手段と、放射線照射手段による
放射線照射および被検物体回転手段による回転に伴って
放射線検出手段から出力される検出データに基づき次々
に得られる透過放射線画像を蓄積演算して断層画像を得
る画像処理手段と、画像処理手段で得られた放射線断層
画像を表示する画像表示手段とを備えている。
【0015】また、請求項9の発明は、請求項8に記載
の物体検査装置において、放射線照射手段および放射線
検出手段が被検物体の搬送ルートに沿って上方・下方に
分かれて配置されている。
【0016】また、請求項10の発明は、請求項8また
は9に記載の物体検査装置において、物体搬送手段の途
中に被検物体回転手段と放射線照射手段および放射線検
出手段が配設されており、被検物体が被検物体回転手段
の配設位置まで搬送されて来ると搬送が一旦停止させら
れて被検物体が回転させられるとともに、放射線照射手
段による放射線照射および放射線検出手段による透過放
射線像の検出が行われるよう構成されている。
【0017】〔作用〕次に、この発明に係る装置によっ
て放射線断層画像を得る際の作用について説明する。こ
の発明の装置による断層撮影では、被検物体回転手段に
より、被検物体の内で放射線照射手段の放射線照射軸と
交点を持つよう設定された回転軸を回転中心として被検
物体が回転させられる。さらに、被検物体の回転および
被検物体へのX線照射に伴って放射線検出手段から出力
される検出データに基づき次々に得られる透過放射線画
像が画像処理手段で蓄積演算されることにより、放射線
照射軸と回転軸の交点を含んで放射線検出手段の検出面
と平行な断面(撮影対象の断面)が強調された断層画像
が作成されて、画像表示手段により表示される。
【0018】そして、この発明の装置の場合、ラミノ角
可変手段により、図1に示すように、放射線照射軸Xa
と被検物体Mの回転軸raとのなす角度、つまりラミノ
角αを撮影状況に合わせて撮影開始前にセットしてお
く。すなわち、撮影状況から見て、放射線照射軸Xaと
回転軸raの交点Maを含む撮影対象の断面MAの強調
度合いは弱くても(深さ方向の分解能が低くても)撮影
範囲が広い撮影態様を望む場合は、図1(a)に示すよ
うに、小さめのラミノ角α1をセットし、撮影範囲は狭
くとも撮影対象の断面MAの強調度合いの強い撮影態様
を望む場合は、図1(b)に示すように、大きめのラミ
ノ角α2をセットする。
【0019】小さめのラミノ角α1がセットされた場
合、図1(a)において点付きエリアで示したように、
放射線検出手段の検出面Daで撮影中ずっとデータが欠
けることなく検出される撮影範囲P1は広いけれども、
撮影対象の断面MA以外のデータが多くなるので、断面
MAの強調度合いは弱くなってしまう(深さ方向の分解
能は低くなってしまう)。大きめのラミノ角α2がセッ
トされた場合、図1(b)において点付きエリアで示し
たように、放射線検出手段の検出面Daで撮影中ずっと
データが欠けることなく検出される撮影範囲P2は狭い
けれども、撮影対象の断面MA以外のデータが少なくな
るので、断面MAの強調度合いは強くなる(深さ方向の
分解能は高まる)。
【0020】つまり、この発明の装置によれば、ラミノ
角可変手段によりラミノ角を変化させて撮影対象の断面
の強調度合いと撮影範囲の兼ね合いを調整することので
きる結果、撮影態様の自由度が大きくなり、撮影状況に
合った撮影態様を設定することができる。
【0021】請求項2の発明の装置では、ラミノ角可変
手段により、被検物体の回転軸に対する放射線照射軸の
傾き角が変わった分に応じてラミノ角が変化する。
【0022】請求項3の発明の装置では、ラミノ角可変
手段により、放射線照射軸に対する被検物体の回転軸の
傾き角が変わった分に応じてラミノ角が変化する。
【0023】請求項4の発明の装置では、検出面姿勢保
持手段により、放射線検出手段の検出面が被検物体の回
転軸に対し垂直姿勢に保持されるので、放射線検出手段
の検出面と平行な断面の断層像を得る場合に演算処理の
負担が軽減される。
【0024】請求項5の発明の装置では、検出面同期回
転手段により、放射線検出手段の検出面を垂直姿勢に保
持した状態で、放射線照射軸が検出面と交わる点を通
り、検出面に対して垂直な軸を回転中心として、被検物
体の回転と同期して検出面が回転させられる。その結
果、放射線検出手段の検出面の向きと被検物体の向きが
不変であるので、透過放射線画像の蓄積演算の際に画像
の向きを合わせる処理が不要となる。放射線検出手段の
検出面の向きと被検物体の向きが変化する場合、透過放
射線画像の蓄積演算の際に画像の向きを合わせる処理が
必要となる。
【0025】請求項6の発明の装置では、位置変更手段
により、放射線照射軸と回転軸の交点に対する被検物体
の位置が変化させられるのに伴って、交点を含む断面が
変わるので、撮影対象の断面が変更されることになる。
【0026】請求項7の発明の装置では、距離可変手段
により、放射線照射軸方向における被検物体と放射線照
射手段との距離、および/または被検物体と放射線検出
手段との距離が変化させられるのに伴って、検出面に投
影される透過放射線像の大きさが変化して透過放射線画
像の倍率が変わる結果、最終的な断層画像の倍率が変化
する。
【0027】請求項8の発明の物体検査装置では、物体
搬送手段により所定の搬送ルートに沿って次々と搬送さ
れる被検物体に対して適当なラミノ角をセットし、撮影
対象の断層画像の深さ方向分解能と撮影範囲との兼ね合
いを調整して状況に合った撮影態様で各被検物体を断層
撮影して適切な放射線断層画像を得る。
【0028】請求項9の発明の装置では、放射線照射手
段および放射線検出手段が被検物体の搬送ルートに沿っ
て上方・下方に分かれて配置されているので、放射線照
射手段および放射線検出手段が被検物体の搬送ルートを
横切るように左右両側に分かれて配置されている場合よ
り、装置の幅方向の寸法が抑えられる。
【0029】請求項10の発明の装置では、被検物体が
被検物体回転手段の配置位置まで搬送されて来ると被検
物体の搬送が一旦停止させられて被検物体回転手段によ
る被検物体の回転と、放射線照射手段による放射線照射
および放射線検出手段による透過放射線像の検出とが速
やかに始まり、被検物体の断層撮影が自動的に行われ
る。
【0030】
【発明の実施の形態】以下、この発明のX線断層撮影装
置の一実施例を図面を参照しながら説明する。図2は第
1実施例に係る非X線CTタイプのX線断層撮影装置の
全体構成を示すブロック図、図3は第1実施例装置にお
ける撮像系の要部構成を示す概略図である。
【0031】第1実施例装置の撮像系には、図2に示す
ように、被検物体Mに向けてX線を照射するX線管R
と、被検物体Mの透過X線像を検出する面状X線検出器
(X線面センサ)Dと、被検物体Mの内でX線照射軸X
aと交点Maを持つよう設定された回転軸raを回転中
心として被検物体Mを回転させる被検物体回転部1と、
面状X線検出器Dの検出面Daを被検物体Mの回転軸r
aに対し垂直姿勢に保持する検出面姿勢保持部2と、ラ
ミノ角α(X線照射軸Xaと回転軸raとのなす角度)
を変化させるラミノ角可変部3とが備えられている。ま
たX線検出器Dの検出面Da前面には散乱X線除去用の
スラントグリッドGRが一体的に取り付けられている。
【0032】一方、第1実施例装置の制御系には、透過
X線画像を蓄積演算する画像処理部4および断層画像表
示用の画像表示モニタ5が備えられている。そして、第
1実施例の装置により断層画像撮影を行う場合は、ラミ
ノ角可変部3により予めラミノ角αを適当な角度にセッ
トしておいてから撮影を開始する。そうすると、画像処
理部4では、被検物体MへのX線照射および被検物体M
の回転に伴って面状X線検出器Dから出力される検出デ
ータに基づき次々に得られる透過X線画像が蓄積演算さ
れてX線断層画像が作成されるとともに、画像表示モニ
タ5の画面に断層画像が映し出されることになる。以
下、第1実施例の装置の各部構成をより具体的に説明す
る。
【0033】被検物体回転部1は、図3に示すように、
被検物体Mを載置するテーブル1a、テーブル1aの下
側に一体的に取り付けられたプーリ1b、電動モータ1
c、電動モータ1cに一体的に取り付けられたプーリ1
d、および、両プーリ1b,1dの間に掛け渡されたエ
ンドレスベルト1eを具備し、電動モータ1cの回転が
両プーリ1b,1dとエンドレスベルト1eを介してテ
ーブル1aに伝達されると、テーブル1a及びテーブル
1aの上の被検物体Mが回転軸raを回転中心として回
転するよう構成されている。なお、テーブル1aやプー
リ1bは撮影の支障にならないようX線透過性の良い合
成樹脂等で作製される。
【0034】ラミノ角可変部3は、図3に示すように、
X線管Rと面状X線検出器Dを先端に取り付けたC字状
アーム3aと、C字状アーム3aを回転軸3bを回転中
心として回転可能に支持する支持ロッド3cを具備して
いるとともに、支持ロッド3cに同軸的に固定されてい
るプーリ3d、電動モータ3e、電動モータ3eに一体
的に取り付けられたプーリ3f、および、両プーリ3
d,3fの間に掛け渡されたエンドレスベルト3gを具
備しており、電動モータ3eの回転が両プーリ3d,3
fおよびエンドレスベルト3gを介して支持ロッド3c
に伝達されて支持ロッド3cが回転すると、C字状アー
ム3aが回転軸3bを回転中心として回転して、回転軸
raに対するX線管RのX線照射軸Xaの傾き(ラミノ
角)が変わるよう構成されている。
【0035】そして、ラミノ角可変部3ではC字状アー
ム3aの回転量に応じてラミノ角αが変化する。すなわ
ち、図4に示すように、X線管RのX線照射軸Xaが回
転軸raが一致するラミノ角α=0°であり、C字状ア
ーム3aが少し回転して回転軸raに対してX線照射軸
Xaが傾くとラミノ角α=α1になり、さらにC字状ア
ーム3aが同じ向きに回転すると回転軸raに対するX
線照射軸Xaの傾きが増してラミノ角α=α2へ増加す
る。ラミノ角可変部3によるラミノ角αの変化により撮
影対象の断層画像の深さ方向の分解能と撮影範囲との兼
ね合いが調整できることは前述した通りである。但し、
ラミノ角α=0°の場合は、深さ方向の分解能が得られ
ないので断層撮影に利用されることはない。
【0036】なお、C字状アーム3aが回転した場合、
図5に一点鎖線で示すように、面状X線検出器Dの検出
面Daは被検物体Mの回転軸raに対し垂直姿勢に保持
することが出来ず、傾斜姿勢となる。検出面Daに対し
て平行な断面の断層像を得る場合、検出面Daを回転軸
raに対し垂直姿勢に保持しておくと、断層像を得るた
めの演算処理の負担が軽くなるので、本実施例では検出
面姿勢保持部2により、面状X線検出器Dの検出面Da
を被検物体Mの回転軸raに対し傾斜姿勢から垂直姿勢
へ修正している。
【0037】すなわち、検出面姿勢保持部2は、図3に
示すように、回転軸raに対する面状X線検出器Dの検
出面Daの角度を変化させられるように面状X線検出器
Dを回転可能に軸支する回転軸2aと電動モータ2bを
具備しており、C字状アーム3aが回転して検出面Da
が傾斜姿勢となった場合、電動モータ2bが回転軸2a
をC字状アーム3aの回転量に見合った分だけ回転して
検出面Daが回転軸raに対して常に垂直姿勢になるよ
うに構成されている。
【0038】また、第1実施例の装置は、X線照射軸X
aと回転軸raの交点Maに対する被検物体Mの位置を
変化させる位置変更部6を備えている。位置変更部6
は、図2に示すように、被検物体回転部1は動かさずに
(被検物体回転部1とは独立に)被検物体Mを載置する
テーブル1aだけをX方向およびY方向に移動させる水
平移動機構6aと、被検物体回転部1ごとテーブル1a
をZ方向に移動させる垂直移動機構6bとを具備し、水
平・垂直の両移動機構により交点Maに対する被検物体
Mの位置を変化させられるようになっている。交点Ma
に対する被検物体Mの位置が変化すると、被検物体Mに
おける交点Mを含む断面が変わるので、撮影対象の断面
が変わることになる。つまり、位置変更部6により撮影
位置を変更することができるのである。
【0039】さらに、第1実施例の装置は、図3および
図6に示すように、X線管RをX線照射軸Xaに沿って
スライド移動させてX線管Rから被検物体Mまでの距離
と、被検物体Mから面状X線検出器Dまでの距離との比
を変化させる距離可変部7を備えている。本実施例では
X線管Rを移動させるようにしているが、面状X線検出
器Dを移動させたり、あるいはX線管Rと面状X線検出
器Dの両者を移動させてもよい。距離可変部7により、
X線管Rから被検物体Mまでの距離と、被検物体Mから
面状X線検出器Dまでの距離との比が変化するのに伴っ
て、検出面Daに投影される透過X線像の大きさが変化
して透過X線画像の倍率、つまりはX線断層画像の倍率
が変わる。つまり、検出面Daに投影される透過X線像
の大きさは、X線管Rから被検物体Mまでの距離と、被
検物体Mから面状X線検出器Dまでの距離との比に応じ
て決まるので、距離可変部7は画像倍率可変機能を発揮
するのである。
【0040】また、X線管R、被検物体回転部1、検出
面姿勢保持部2、ラミノ角可変部3、位置変更部6、お
よび、距離可変部7など撮影系側の各部の稼働に必要な
コントロールは、制御系側に設けられた操作卓8および
撮影制御部9により行われる。第1実施例の装置の撮影
系側の各部を稼働させる場合、操作卓8から必要な入力
操作が行われるのに伴い、撮影制御部9から入力操作に
対応した指令信号が撮影系側の各部へ送られて稼働が始
まる構成となっている。もちろん、X線管Rおよび被検
物体回転部1の稼働は撮影開始に伴って行われ、検出面
姿勢保持部2、ラミノ角可変部3、位置変更部6、およ
び、距離可変部7の稼働は撮影開始に先立って行われ
る。
【0041】一方、第1実施例装置の制御系の画像処理
部4は、図2に示すように、被検物体MへのX線照射お
よび被検物体Mの(回転軸raを回転中心とする)回転
に伴って面状X線検出器Dから出力される検出データを
透過X線画像として記憶する透過X線画像メモリ4a
と、次々と得られる透過X線画像を蓄積演算する画像演
算部4bと、蓄積演算して得られた断層画像を記憶する
画像メモリ4cとを具備している。被検物体Mが1回転
する間に得られた全透過X線画像を蓄積演算することに
よって得られた画像が最終的にX線断層画像として画像
メモリ4cに記憶されるとともに、表示モニタ5の画面
に断層画像が映し出される構成にもなっている。
【0042】第1実施例装置で用いられる面状X線検出
器Dとしてはイメージインテンシファイアや、多数個の
半導体式X線検出素子が縦横に配列されているX線面セ
ンサ(フラットパネル型X線センサ)が挙げられる。面
状X線検出器Dから出力される検出データはディジタル
信号でもアナログ信号でもよいが、アナログ信号の場合
は透過X線画像メモリ4aの前段でディジタル化される
ことになる。
【0043】第1実施例装置の画像処理部4の画像積算
による断層画像の作成過程は、従来の場合と特に異なる
ことはないが、被検物体Mの回転に伴って面状X線検出
器Dの検出面Daの向きと被検物体Mの向きが変化する
場合、画像演算部4bにおいて透過X線画像の蓄積演算
の際に画像の向きを合わせる処理が予め行われることに
なる。
【0044】続いて、以上に説明した構成を有する第1
実施例のX線断層撮影装置による断層撮影例を、図面を
参照しながら具体的に説明する。図7は第1実施例装置
の撮影実行中の撮像系の要部構成を示す模式図、図8は
第1実施例装置によるX線断層撮影の状況を経時的に示
すフローチャートである。
【0045】〔ステップST1〕図7(a)に示すよう
に、撮像系を狭いラミノ角α1にセットするとともに、
被検物体Mの中心点がX線照射軸Xaと回転軸raの交
点Maに一致するように被検物体Mをテーブル1aの上
に置く。
【0046】〔ステップST2〕撮影開始の操作によ
り、被検物体Mが回転軸raを回転中心として回転する
とともに、被検物体MにX線が照射されて透過X線画像
が得られて蓄積演算されてゆく。
【0047】〔ステップST3〕被検物体Mが1回転す
ると、表示モニタ5の画面に断面MAの断層画像が映し
出される。ラミノ角α1は狭くセットされているので、
断層画像は鮮明度は低いが撮影範囲が広く、交点Maの
右斜め上方の断面MAから少し外れた位置に特異箇所M
xが不明瞭ながら認められた。
【0048】〔ステップST4〕図7(b)に示すよう
に、撮像系を広いラミノ角α2にセットし直すととも
に、位置変更部6により、特異箇所Mxが交点Maに一
致するよう被検物体Mを移動させる。なお、このステッ
プで、必要に応じて、距離可変部7により画像倍率を高
倍率に設定する操作が行われることもある。
【0049】〔ステップST5〕撮影開始の操作によ
り、被検物体Mが回転軸raを回転中心として回転する
とともに、被検物体MにX線が照射されて透過X線画像
が得られて蓄積演算されてゆく。
【0050】〔ステップST6〕被検物体Mが1回転す
ると、表示モニタ5の画面に断面MCの断層画像が映し
出される。ラミノ角α2は広くセットされているので、
断層画像は撮影範囲が狭いが深さ方向の分解能は高く、
特異箇所Mxが明瞭に認められる。ステップST4で透
過X線画像の倍率が高倍率にセットされたのであれば、
画像に特異箇所Mxが大きく画面に映し出されることに
なる。
【0051】〔ステップST7〕被検物体Mをテーブル
1aから降ろして、断層撮影は終了となる。
【0052】続いて、この発明の物体検査装置の一実施
例を図面を参照しながら説明する。図9は第2実施例に
係る物体検査装置の断層撮影中の状態を示す要部正面
図、図10は第2実施例に係る物体検査装置の単純X線
撮影中の状態を示す要部正面図、図11は第2実施例に
係る物体検査装置の断層撮影中の状態を示す要部平面図
である。
【0053】第2実施例の装置は、図9〜図11に示す
ように、被検物体Mを所定の水平直線ライン(被検物体
の搬送ルート)に沿って次々と搬送するベルトコンベア
(物体搬送手段)10を備えるとともに、水平直線ライ
ンの途中に第1実施例と類似の構成を有するX線断層撮
影部11を備え、X線断層撮影部11で搬送されて来た
被検物体MのX線断層撮影を行って被検物体を検査する
構成になっているのであるが、以下、第1実施例と異な
る部分のみを説明し、第1実施例と共通する部分につい
ては説明を省略することとする。
【0054】第2実施例の装置のX線断層撮影部11で
は、X線管Rおよび面状X線検出器Dが被検物体搬送用
の水平直線ラインに沿って、その上方・下方に分かれて
配置されているので、X線管Rおよび面状X線検出器D
が水平直線ラインを横切るように左右両側に分かれて配
置されている場合より、装置の幅方向の寸法が抑えられ
る。第2実施例の装置において、断層撮影が行われる場
合は、図9に示すように、(第1実施例の場合と同様に
して)適当なラミノ角度αがセットされて撮影が行われ
るが、図10に示すように、被検物体Mの回転軸raと
X線照射軸Xaを一致させたままのラミノ角度αを設定
しない(α=0°の)場合は、断層撮影ではなくて通常
の単純X線撮影となる(この場合は被検物体Mは回転さ
せない)。つまり、第2実施例装置のX線断層撮影部1
1では、断層撮影のみならず単純X線撮影も選択的に行
える構成となっているのである。もちろん、ラミノ角度
αを0°以外の角度に設定して、斜めから単純X線撮影
を行うことも可能である。
【0055】第2実施例の場合、被検物体Mは載置プレ
ート12の上に置かれた状態でベルトコンベア10で撮
影位置へ運ばれてゆく。一方、ベルトコンベア10の載
置プレート12を置くところには、大穴13が開いてお
り、被検物体Mが撮影位置に達すると、ベルトコンベア
10が一旦停止して、被検物体回転部14のヘッドが大
穴13から上昇して来て被検物体Mを載置プレート12
ごと持ち上げるとともに、図11に示すように、被検物
体Mを回転軸raを回転中心として回転させるよう構成
されている。そして、第1実施例の場合と同様、被検物
体Mの回転とともにX線照射および透過X線画像の蓄積
演算によるX線断層画像の作成が行われる。したがっ
て、載置プレート12はX線吸収の少ない材料(例えば
アクリル樹脂等の合成樹脂材料)で作製される。もちろ
ん、X線断層画像は表示モニタに映し出されて画面上で
必要な検査が行われることになる。
【0056】断層撮影が終われば、被検物体回転部14
が大穴13から引っ込んで被検物体Mが載置プレート1
2ごとベルトコンベア10の上に戻されるとともに、ベ
ルトコンベア10が再び動き出して、撮影済の被検物体
Mが送り出されるとともに、未撮影の被検物体Mが撮影
位置に新たに到達し、同じことが繰り返される。
【0057】また、第2実施例装置の場合、図12に示
すように、ベルトコンベア10の側方に被検物体Mの高
さhを測定する高さ計測部15が設けられている。高さ
計測部15では、水平方向に光を出射する多数の投光素
子が上下方向に所定間隔で並べられている投光素子アレ
イ15aと、多数の受光素子が投光素子と同様の配列で
並べられている受光素子アレイ15bが、各投光素子か
らの光が対応する受光素子に入射するようにして、ベル
トコンベア10の両側に分かれて対面設置されている。
【0058】高さ計測部15の設置箇所に検物体Mが到
来すると、被検物体Mの高さより低い位置にある投光素
子への光を遮るので、光を受光できない受光素子の中で
最も上に位置する受光素子を検出し、この受光素子の位
置から被検物体Mの高さhを割り出す構成となってい
る。この高さ計測部15は、後述するように被検物体M
の大きさ(高さ)に応じて、撮像断面を決定するのに使
用される。
【0059】続いて、被検物体回転部14まわりの構成
を具体的に説明する。被検物体回転部14は、図13に
示すように、ベルトコンベア10の真下に昇降可能に配
設された支持リング体14aと、支持リング体14aの
内側に支持リング体14aの周方向に回転可能に係合し
ている回転リング体14bを備えている。支持リング体
14aは周方向の相対する二箇所のうち一方の箇所に上
下方向に向けて設けられたネジ穴14cを有するととも
に、他方の箇所に上下方向に向けて設けられた非ネジ穴
14dを有しており、ネジ穴14cは上下方向に長手方
向を向けて立設されたネジ棒14eとネジ結合し、非ネ
ジ穴14dは上下方向に長手方向を向けて立設されたガ
イド棒14fと係合している。そして、ネジ棒14eの
下端側が電動モータ14gの回転軸に結合されていて、
電動モータ14gの正転または逆転によりネジ棒14e
が回転するに伴い支持リング体14aが上昇または下降
する。
【0060】一方、回転リング体14bには外周面下縁
を周方向に巡るように突出形成された係止用凸条14h
が設けられている一方、支持リング体14aには内周面
中央を周方向に巡るように開口形成された係止用凹条1
4iが設けられている。係止用凸条14hは上下方向に
は移動不可能であって周方向のみに移動可能に係止用凹
条14iに係合している他、係止用凸条14hの先端周
面全体にギャ用歯が刻まれている。一方、支持リング体
14aには係止用凸条14hのギャ用歯と噛み合って電
動モータ14jの回転に伴って係止用凸条14hに周方
向に力を与える回転ギャ14kが配設されている。その
結果、電動モータ14jの回転により回転ギャ14kが
回るのに伴って、係止用凸条14hに周方向に力が与え
られて回転リング体14bが回転軸raを回転中心とし
て回転する。また、支持リング体14aが昇降する回転
リング体14bが連動して昇降する。
【0061】そして、電動モータ14gの回転による支
持リング体14aの上昇に伴って回転リング体14bの
上端も、図13に一点鎖線で示すように、上昇してベル
トコンベア10の大穴13から載置プレート12の係止
穴12aを係止ピン10aから離脱させながら載置プレ
ート12を持ち上げるとともに、載置プレート12を持
ち上げた状態で電動モータ14jが回転すると回転リン
グ体14bが回って載置プレート12とその上に置かれ
た被検物体Mが回転軸raを回転中心として回転するこ
とになる。被検物体Mが1回転すると、電動モータ14
gの逆回転による支持リング体14aの下降に伴って回
転リング体14bの上端も、図13に実線で示すよう
に、下降して載置プレート12の係止穴12aを係止ピ
ン10aに嵌めながら載置プレート12を元の状態に復
帰させることになる。
【0062】なお、第2実施例の装置の場合、高さ計測
部15により測定された被検物体Mの高さhに基づき、
被検物体Mの真ん中の高さ(h/2)の位置が交点Ma
に自動的に位置するよう回転リング体14bの上端の上
昇高さをコントロールできる構成にもなっている。
【0063】次に、以上に述べた構成を有する第2実施
例の物体検査装置により物体検査について説明する。通
常、図10に示すように、ラミノ角度α=0°の単純X
線撮影による単純透視画像により物体の検査を行い、要
注意物と判定した場合、ラミノ角度αを適当な角度(例
えばα1)にセットするとともに、被検物体回転部14
により被検物体Mを持ち上げて回転させるとともにX線
照射を行いX線断層画像を得る。単純X線撮影に比べて
断層撮影は時間が掛かるので、断層撮影の必要のない被
検物体Mは単純X線撮影だけで済ませるのである。
【0064】なお、第2実施例の装置のX線断層撮影部
11においても、第1実施例の場合と同様、位置変更部
6や距離可変部7をも装備することは物体検査装置とし
て有用性が増す。上記の第2実施例の装置は、航空手荷
物検査や電子部品搭載基板の接合部検査、あるいは、複
合材料の材料界面検査などに適用することができるが、
これらの検査に限定されるものではないことは言うまで
もない。また、単純X線撮影は他の装置で行い、第2実
施例の物体検査装置は、要注意物と判定された被検物体
MのX線断層撮影だけを行うシステム構成であってもよ
い。
【0065】この発明は、上記の実施例に限られるもの
ではなく、以下のように変形実施することも可能であ
る。 (1)上記実施例では、被検物体に照射される放射線が
X線管から放射されるX線であったが、被検物体に照射
される放射線は、プラズマX線源や電子ライナックから
放射されるX線、あるいは、SOR光源から放射される
単色X線であってもよいし、さらには放射性同位元素か
ら放射されるガンマ線や、また中性子線であってもよ
い。
【0066】(2)上記実施例の場合、ラミノ角αの変
更が、被検物体Mの回転軸に対するX線照射軸の傾き角
を変化させることにより行う構成であったが、ラミノ角
αの変更が、図14に示すように、逆にX線照射軸Xa
に対する被検物体Mの回転軸raの傾き角を変化させる
構成の装置が、変形例として挙げられる。この変形例の
装置では、回転軸raの傾き角を変えた場合、図14に
一点鎖線で示す面状X線検出器Dの検出面Daの傾斜姿
勢を、図14に実線で示す垂直姿勢に戻すことも必要に
なる。
【0067】(3)上記実施例の場合、画像倍率の変更
は、X線管RをX線照射軸Xaに沿ってスライド移動さ
せてX線管Rから被検物体Mまでの距離と、被検物体M
から面状X線検出器Dまでの距離との比を変化させるこ
とにより行う構成であったが、図15に示すように、被
検物体Mの方をX線照射軸Xaに沿ってスライド移動さ
せて、X線管Rから被検物体Mまでの距離と、被検物体
Mから面状X線検出器Dまでの距離との比を変化させて
画像倍率を変更するものであってもよい。
【0068】(4)上記実施例の場合、撮影中、被検物
体Mは回転させるけれども、面状X線検出器Dは不動の
ままであったが、図16に示すように、面状X線検出器
Dの検出面Daを回転軸raに対して垂直姿勢に保持し
た状態で、X線照射軸Xaが検出面Daと交わる交点M
bを通り、検出面Daに対して垂直な回転軸rbを回転
中心として、被検物体Mの回転と同期して面状X線検出
器D(すなわち、検出面Da)を回転させるよう構成し
た装置が変形例として挙げられる。この変形例の場合、
面状X線検出器Dの検出面Daの向きと被検物体Mの向
きが不変であるので、透過X線画像の蓄積演算の際に画
像の向きを合わせる処理が不要となる。
【0069】(5)上記実施例では、検出面姿勢保持部
2により、面状X線検出器Dの検出面Daを被検物体M
の回転軸raに対して垂直姿勢に保持するように構成し
たが、この発明は必ずしもこれに限定されず、例えば検
出面DaをX線照射軸Xaに対して垂直姿勢に保持する
ようにしてもよい。
【0070】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
1の発明の放射線断層撮影装置によれば、ラミノ角可変
手段によりラミノ角を変化させて、被検物体における撮
影対象の断層画像の深さ方向分解能と撮影範囲との兼ね
合いを調整することのできる構成を備えているので、撮
影態様の自由度が大きくなり、撮影状況に合った撮影態
様を設定することができる。
【0071】請求項2の発明の放射線断層撮影装置によ
れば、被検物体の回転軸に対する放射線照射軸の傾き角
を変えて、適当なラミノ角をセットすることができる。
【0072】請求項3の発明の放射線断層撮影装置によ
れば、放射線照射軸に対する被検物体の回転軸の傾き角
を変えて、適当なラミノ角をセットすることができる。
【0073】請求項4の発明の放射線断層撮影装置によ
れば、放射線検出手段の検出面が被検物体の回転軸に対
し垂直姿勢に保持されるので、放射線検出手段の検出面
と平行な断面の断層像を得る場合に演算処理の負担を軽
減することができる。
【0074】請求項5の発明の放射線断層撮影装置によ
れば、放射線検出手段の検出面の向きと被検物体の向き
が常に不変であるので、透過放射線画像の蓄積演算の際
に画像の向きを合わせる処理が不要となる。
【0075】請求項6の発明の放射線断層撮影装置によ
れば、放射線照射軸と回転軸の交点の含む断面が変わる
ので、撮影対象の断面(撮影位置)を変更することがで
きる。
【0076】請求項7の発明の放射線断層撮影装置によ
れば、放射線照射軸方向における被検物体と放射線照射
手段との距離、および/または被検物体と放射線検出手
段との距離を変化させて、放射線断層画像の倍率を変え
ることができる。
【0077】請求項8の発明の物体検査装置によれば、
物体搬送手段により所定の搬送ルートに沿って次々と搬
送される被検物体に対して適当なラミノ角をセットし、
撮影対象の断層画像の深さ方向分解能と撮影範囲との兼
ね合いを調整して状況に合った撮影態様で各被検物体を
断層撮影する構成を備えており、状況に合った撮影態様
で得られた適切な放射線断層画像に基づき的確な検査を
行うことができる。
【0078】請求項9の発明の物体検査装置によれば、
放射線照射手段および放射線検出手段が被検物体の搬送
ルートに沿って上方・下方に分かれて配置されているの
で、装置の幅方向の寸法が抑えられ、装置のコンパクト
化が図り易い。
【0079】請求項10の発明の物体検査装置によれ
ば、被検物体が被検物体回転手段の配置位置まで搬送さ
れて来ると被検物体回転手段による被検物体の回転なら
びに放射線照射手段による放射線照射および放射線検出
手段による透過放射線像の検出が速やかに始まり、被検
物体の断層撮影が自動的に行われる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明のX線断層撮影装置でのラミノ角のセ
ット状態を示す模式図である。
【図2】第1実施例の装置の全体構成を示すブロック図
である。
【図3】第1実施例装置における撮像系の要部構成を示
す概略図である。
【図4】第1実施例装置でのラミノ角の可変状況を示す
模式図である。
【図5】第1実施例装置でのラミノ角可変時の検出面の
傾き状況を示す模式図である。
【図6】第1実施例装置での画像倍率可変時の撮像系の
状況を示す模式図である。
【図7】第1実施例装置による断層撮影実行中の撮像系
の状況を示す模式図である。
【図8】第1実施例でのX線断層撮影の状況を経時的に
示すフローチャートである。
【図9】第2実施例の装置の断層撮影中の状態を示す要
部正面図である。
【図10】第2実施例の装置の単純X線撮影中の状態を
示す要部正面図である。
【図11】第2実施例の装置の断層撮影中の状態を示す
概略平面図である。
【図12】第2実施例の装置における高さ計測部を示す
概略側面図である。
【図13】第2実施例の装置の被検物体回転部の構成を
示す正面図である。
【図14】変形例の装置の撮像系の要部構成を示す模式
図である。
【図15】他の変形例の装置の撮像系の要部構成を示す
模式図である。
【図16】他の変形例の装置の撮像系の要部構成を示す
模式図である。
【図17】従来装置の撮像系の要部構成を示す模式図で
ある。
【図18】従来装置におけるX線断層撮影の作成過程を
説明する模式図である。
【符号の説明】
1,14 …被検物体回転部 2 …検出面姿勢保持部 3 …ラミノ角可変部 4 …画像処理部 5 …画像表示モニタ 6 …位置変更部 7 …距離可変部 10 …ベルトコンベア D …面状X線検出器 Da …検出面 R …X線管 ra,rb …回転軸 Xa …X線照射軸 M …被検物体 Ma …交点 GR …スラントグリッド α,α1,α2 …ラミノ角
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G001 AA01 AA02 AA04 AA07 AA10 BA11 CA01 CA07 CA10 DA02 DA03 DA09 EA09 FA06 GA05 GA08 GA13 HA07 HA13 HA14 HA20 JA01 JA06 JA08 JA09 JA11 JA20 KA03 KA05 KA06 LA10 LA11 PA11 PA14 SA10 4C093 AA04 AA11 AA18 AA29 CA15 CA29 EA02 EA05 EB30 EC16 EC24 EC29 ED06 ED07 FA15 FA32 FA55 FD01 FH02

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】被検物体へ向けて放射線を照射する放射線
    照射手段と、被検物体の透過放射線像を検出する放射線
    検出手段と、被検物体の内で放射線照射軸と交点を持つ
    よう設定された回転軸を回転中心として被検物体を回転
    させる被検物体回転手段と、放射線照射軸と回転軸との
    なす角度(ラミノ角)を変化させるラミノ角可変手段
    と、放射線照射手段による被検物体への放射線照射およ
    び被検物体回転手段による被検物体の回転に伴って放射
    線検出手段から出力される検出データに基づき次々に得
    られる透過放射線画像を蓄積演算して放射線断層画像を
    得る画像処理手段と、画像処理手段で得られた断層画像
    を表示する画像表示手段とを備えていることを特徴とす
    る放射線断層撮影装置。
  2. 【請求項2】請求項1に記載の放射線断層撮影装置にお
    いて、ラミノ角可変手段は、被検物体の回転軸に対する
    放射線照射軸の傾き角を変化させることによりラミノ角
    が変わるよう構成されている放射線断層撮影装置。
  3. 【請求項3】請求項1に記載の放射線断層撮影装置にお
    いて、ラミノ角可変手段は、放射線照射軸に対する被検
    物体の回転軸の傾き角を変化させることによりラミノ角
    が変わるよう構成されている放射線断層撮影装置。
  4. 【請求項4】請求項1に記載の放射線断層撮影装置にお
    いて、放射線検出手段の検出面を被検物体の回転軸に対
    し垂直姿勢に保持する検出面姿勢保持手段を備えている
    放射線断層撮影装置。
  5. 【請求項5】請求項4に記載の放射線断層撮影装置にお
    いて、放射線検出手段の検出面を被検物体の回転軸に対
    し垂直姿勢に保持した状態で、放射線照射軸が検出面と
    交わる点を通る、検出面に垂直な軸を回転中心として、
    被検物体の回転と同期して検出面を回転させる検出面同
    期回転手段を備えている放射線断層撮影装置。
  6. 【請求項6】請求項1から5までのいずれかに記載の放
    射線断層撮影装置において、放射線照射軸と回転軸の交
    点に対する被検物体の位置を変化させる位置変更手段を
    備えている放射線断層撮影装置。
  7. 【請求項7】請求項1から6までのいずれかに記載の放
    射線断層撮影装置において、放射線照射軸方向における
    被検物体と放射線照射手段との距離、および/または被
    検物体と放射線検出手段との距離を変化させる距離可変
    手段を備えている放射線断層撮影装置。
  8. 【請求項8】被検物体を所定の搬送ルートに沿って次々
    と搬送する物体搬送手段と、物体搬送手段により搬送さ
    れてきた被検物体へ向けて放射線を照射する放射線照射
    手段と、被検物体の透過放射線像を検出する放射線検出
    手段と、被検物体の内で放射線照射軸と交差するよう設
    定された回転軸を回転中心として被検物体を回転させる
    被検物体回転手段と、放射線検出手段の検出面を被検物
    体の回転軸に対し垂直姿勢に保持する検出面姿勢保持手
    段と、放射線照射軸と回転軸とのなす角度(ラミノ角)
    を変化させるラミノ角可変手段と、放射線照射手段によ
    る放射線照射および被検物体回転手段による回転に伴っ
    て放射線検出手段から出力される検出データに基づき次
    々に得られる透過放射線画像を蓄積演算して断層画像を
    得る画像処理手段と、画像処理手段で得られた放射線断
    層画像を表示する画像表示手段とを備えていることを特
    徴とする物体検査装置。
  9. 【請求項9】請求項8に記載の物体検査装置において、
    放射線照射手段および放射線検出手段が被検物体の搬送
    ルートに沿って上方・下方に分かれて配置されている物
    体検査装置。
  10. 【請求項10】請求項8または9に記載の物体検査装置
    において、物体搬送手段の途中に被検物体回転手段と放
    射線照射手段および放射線検出手段が配設されており、
    被検物体が被検物体回転手段の配設位置まで搬送されて
    来ると搬送が一旦停止させられて被検物体が回転させら
    れるとともに、放射線照射手段による放射線照射および
    放射線検出手段による透過放射線像の検出が行われるよ
    う構成されている物体検査装置。
JP11135530A 1999-05-17 1999-05-17 放射線断層撮影装置、及び、これを用いた物体検査装置 Withdrawn JP2000329710A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11135530A JP2000329710A (ja) 1999-05-17 1999-05-17 放射線断層撮影装置、及び、これを用いた物体検査装置
US09/557,622 US6411674B1 (en) 1999-05-17 2000-04-25 Radiation tomography device and subject examination apparatus using the same
US10/096,679 US6553093B2 (en) 1999-05-17 2002-03-14 Radiation tomography device
US10/310,161 US6643352B2 (en) 1999-05-17 2002-12-05 Radiation tomography device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11135530A JP2000329710A (ja) 1999-05-17 1999-05-17 放射線断層撮影装置、及び、これを用いた物体検査装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000329710A true JP2000329710A (ja) 2000-11-30

Family

ID=15153935

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11135530A Withdrawn JP2000329710A (ja) 1999-05-17 1999-05-17 放射線断層撮影装置、及び、これを用いた物体検査装置

Country Status (2)

Country Link
US (3) US6411674B1 (ja)
JP (1) JP2000329710A (ja)

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005066343A (ja) * 2003-08-22 2005-03-17 Ge Medical Systems Global Technology Co Llc 非対称ジオメトリを用いる放射線トモシンセシスの画像収集
WO2005043149A1 (ja) * 2003-10-30 2005-05-12 Tok Engineering Co., Ltd. ハイブリッド型異物検知装置とそのトレサビリティ用システム
JP2006055645A (ja) * 2004-08-20 2006-03-02 General Electric Co <Ge> 遺構空間情報を用いて三次元x線画像再生における金属遺構を低減する方法及び装置
JP2006258781A (ja) * 2005-02-15 2006-09-28 Takashima Giken Kk 異物検査方法及び異物検査装置
US7139363B2 (en) 2002-03-06 2006-11-21 National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology Oblique-view cone-beam CT system
JP2008122337A (ja) * 2006-11-15 2008-05-29 Comscantecno Co Ltd 多機能x線検査装置
JP2009036660A (ja) * 2007-08-02 2009-02-19 Toshiba It & Control Systems Corp 断層撮影装置
JP2009139337A (ja) * 2007-12-10 2009-06-25 Toshiba It & Control Systems Corp 断層撮影装置及び断層撮影方法
WO2009078415A1 (ja) * 2007-12-17 2009-06-25 Uni-Hite System Corporation X線検査装置および方法
JP2010172527A (ja) * 2009-01-30 2010-08-12 Fujifilm Corp 放射線画像撮影システム及び放射線画像撮影方法
JP2011027740A (ja) * 2009-07-22 2011-02-10 Xavis Co Ltd X線検査装置
JP2013171038A (ja) * 2012-02-17 2013-09-02 Huebner Gmbh 危険な内容物に関して郵便品目を検査する方法および装置
JP2014212928A (ja) * 2013-04-25 2014-11-17 株式会社島津製作所 放射線撮影装置
JP2015502555A (ja) * 2011-12-22 2015-01-22 セック カンパニー リミテッドSec Co., Ltd. Smtインライン用の自動x線検査装置
JP2021019799A (ja) * 2019-07-26 2021-02-18 富士フイルム株式会社 トモシンセシス撮影制御装置、トモシンセシス撮影制御装置の作動方法、トモシンセシス撮影制御装置の作動プログラム、並びに放射線源
CN115616008A (zh) * 2021-07-13 2023-01-17 同方威视技术股份有限公司 臂架、移动式辐射探测设备、验收系统和安检方法

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000329710A (ja) * 1999-05-17 2000-11-30 Shimadzu Corp 放射線断層撮影装置、及び、これを用いた物体検査装置
US6754364B1 (en) * 1999-10-28 2004-06-22 Microsoft Corporation Methods and systems for fingerprinting digital data
JP2001157199A (ja) * 1999-11-26 2001-06-08 Canon Inc 画像処理装置、撮影装置、画像処理システム、画像処理方法、及び記憶媒体
US7430271B2 (en) * 2000-11-13 2008-09-30 Digitome Corporation Ray tracing kernel
US7103137B2 (en) * 2002-07-24 2006-09-05 Varian Medical Systems Technology, Inc. Radiation scanning of objects for contraband
US7356115B2 (en) * 2002-12-04 2008-04-08 Varian Medical Systems Technology, Inc. Radiation scanning units including a movable platform
JP3667317B2 (ja) * 2002-11-26 2005-07-06 キヤノン株式会社 放射線断層撮影装置
US7672426B2 (en) * 2002-12-04 2010-03-02 Varian Medical Systems, Inc. Radiation scanning units with reduced detector requirements
AU2004244308B2 (en) * 2003-05-27 2008-04-24 Clean Earth Technologies, Llc Method for fast image reconstruction with compact radiation source and detector arrangement using computerized tomography
SE527976C2 (sv) * 2004-01-08 2006-07-25 Xcounter Ab Skanningsbaserad detektering av joniserande strålning för tomosyntes
US20050084147A1 (en) * 2003-10-20 2005-04-21 Groszmann Daniel E. Method and apparatus for image reconstruction with projection images acquired in a non-circular arc
WO2005084352A2 (en) * 2004-03-01 2005-09-15 Varian Medical Systems Technologies, Inc. Dual energy radiation scanning of objects
CN1786819B (zh) * 2004-12-09 2011-08-10 Ge医疗系统环球技术有限公司 X射线光阑、x射线辐照器和x射线成像设备
DE102005017491B4 (de) * 2005-04-15 2007-03-15 Siemens Ag Verfahren zum Erzeugen eines gainkorrigierten Röntgenbildes
US20060248058A1 (en) * 2005-04-28 2006-11-02 Feng Andrew A Method, apparatus, and system for unifying heterogeneous data sources for access from online applications
US7302031B2 (en) * 2005-10-27 2007-11-27 Sectra Mamea Ab Method and arrangement relating to X-ray imaging
US8137976B2 (en) * 2006-07-12 2012-03-20 Varian Medical Systems, Inc. Dual angle radiation scanning of objects
DE102006036327A1 (de) * 2006-08-03 2008-02-14 Siemens Ag Verfahren zum Bereitstellen von 3D-Bilddaten und System zum Aufnehmen von Röntgenbildern
US7929664B2 (en) * 2007-02-13 2011-04-19 Sentinel Scanning Corporation CT scanning and contraband detection
DE102007020642A1 (de) * 2007-04-30 2008-11-06 Dürr Dental GmbH & Co. KG Röntgengerät sowie Sensoreinheit für ein Röntgengerät
WO2009121932A2 (de) * 2008-04-04 2009-10-08 Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh Rotationstisch für räumlich hochauflösende computer-laminographie
US7986764B2 (en) * 2008-12-08 2011-07-26 Morpho Detection, Inc. X-ray laminography device, object imaging system, and method for operating a security system
US8340245B2 (en) * 2009-06-05 2012-12-25 Sentinel Scanning Corporation Transportation container inspection system and method
JP5437001B2 (ja) * 2009-09-28 2014-03-12 富士フイルム株式会社 放射線撮影装置
KR101671719B1 (ko) 2015-06-05 2016-11-02 주식회사코노바코리아 3d 영상 촬영용 거치대
US11992350B2 (en) * 2022-03-15 2024-05-28 Sigray, Inc. System and method for compact laminography utilizing microfocus transmission x-ray source and variable magnification x-ray detector

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5351278A (en) * 1992-03-09 1994-09-27 Hitachi, Ltd. X-ray tomography method and apparatus thereof
GB9214114D0 (en) * 1992-07-03 1992-08-12 Ibm X-ray inspection apparatus for electronic circuits
KR100188712B1 (ko) * 1996-11-28 1999-06-01 이종구 단층 영상장치 및 이를 이용한 단층영상 획득방법
JP2000329710A (ja) * 1999-05-17 2000-11-30 Shimadzu Corp 放射線断層撮影装置、及び、これを用いた物体検査装置

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7139363B2 (en) 2002-03-06 2006-11-21 National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology Oblique-view cone-beam CT system
JP4646570B2 (ja) * 2003-08-22 2011-03-09 ジーイー・メディカル・システムズ・グローバル・テクノロジー・カンパニー・エルエルシー 非対称ジオメトリを用いる放射線トモシンセシスの画像収集
JP2005066343A (ja) * 2003-08-22 2005-03-17 Ge Medical Systems Global Technology Co Llc 非対称ジオメトリを用いる放射線トモシンセシスの画像収集
WO2005043149A1 (ja) * 2003-10-30 2005-05-12 Tok Engineering Co., Ltd. ハイブリッド型異物検知装置とそのトレサビリティ用システム
JP2006055645A (ja) * 2004-08-20 2006-03-02 General Electric Co <Ge> 遺構空間情報を用いて三次元x線画像再生における金属遺構を低減する方法及び装置
JP2006258781A (ja) * 2005-02-15 2006-09-28 Takashima Giken Kk 異物検査方法及び異物検査装置
JP2008122337A (ja) * 2006-11-15 2008-05-29 Comscantecno Co Ltd 多機能x線検査装置
JP2009036660A (ja) * 2007-08-02 2009-02-19 Toshiba It & Control Systems Corp 断層撮影装置
JP2009139337A (ja) * 2007-12-10 2009-06-25 Toshiba It & Control Systems Corp 断層撮影装置及び断層撮影方法
WO2009078415A1 (ja) * 2007-12-17 2009-06-25 Uni-Hite System Corporation X線検査装置および方法
JP2010172527A (ja) * 2009-01-30 2010-08-12 Fujifilm Corp 放射線画像撮影システム及び放射線画像撮影方法
JP2011027740A (ja) * 2009-07-22 2011-02-10 Xavis Co Ltd X線検査装置
JP2015502555A (ja) * 2011-12-22 2015-01-22 セック カンパニー リミテッドSec Co., Ltd. Smtインライン用の自動x線検査装置
JP2013171038A (ja) * 2012-02-17 2013-09-02 Huebner Gmbh 危険な内容物に関して郵便品目を検査する方法および装置
JP2014212928A (ja) * 2013-04-25 2014-11-17 株式会社島津製作所 放射線撮影装置
JP2021019799A (ja) * 2019-07-26 2021-02-18 富士フイルム株式会社 トモシンセシス撮影制御装置、トモシンセシス撮影制御装置の作動方法、トモシンセシス撮影制御装置の作動プログラム、並びに放射線源
JP7169256B2 (ja) 2019-07-26 2022-11-10 富士フイルム株式会社 トモシンセシス撮影制御装置、トモシンセシス撮影制御装置の作動方法、トモシンセシス撮影制御装置の作動プログラム、並びに放射線発生装置
CN115616008A (zh) * 2021-07-13 2023-01-17 同方威视技术股份有限公司 臂架、移动式辐射探测设备、验收系统和安检方法
CN115616008B (zh) * 2021-07-13 2023-12-15 同方威视技术股份有限公司 臂架、移动式辐射探测设备、验收系统和安检方法

Also Published As

Publication number Publication date
US6643352B2 (en) 2003-11-04
US20020090051A1 (en) 2002-07-11
US6553093B2 (en) 2003-04-22
US20030081718A1 (en) 2003-05-01
US6411674B1 (en) 2002-06-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2000329710A (ja) 放射線断層撮影装置、及び、これを用いた物体検査装置
US20140064450A1 (en) Body motion detection device and method, as well as radiographic imaging apparatus and method
US5023895A (en) Three dimensional tomographic system
US20050074088A1 (en) X-ray inspection apparatus and X-ray inspection method
US9625257B2 (en) Coordinate measuring apparatus and method for measuring an object
JP4508789B2 (ja) X線撮影装置
JP2004177138A (ja) 危険物探知装置および危険物探知方法
JP4488885B2 (ja) Ct装置
US9250199B2 (en) X-ray imaging apparatus, and X-ray imaging method
CN1138975A (zh) 计算机层析x射线摄影仪
CN104487868B (zh) 放射线图像取得装置
JP2005087592A (ja) X線計測装置
JP2010127810A (ja) X線検査装置およびx線検査方法
JP2000316845A (ja) X線診断装置
JP2003294848A (ja) 放射線校正装置
US10674992B2 (en) Selectable ROI and flexible detector for X-ray imaging
JP5569061B2 (ja) X線検査方法、x線検査装置およびx線検査プログラム
US7860211B1 (en) Method of producing a laminography image with a rotating object, fixed x-ray source, and fixed detector columns
JP2009162596A (ja) 画像確認作業の支援方法およびこの方法を用いたx線利用の基板検査装置
JP2009500136A5 (ja)
WO1992006636A1 (en) Three-dimensional tomographic system
JP2007111150A (ja) 平行リンク型テーブル及び断層像撮影装置
JP2000111501A (ja) 透視検査装置
JP5562184B2 (ja) 放射線画像撮影装置、方法およびプログラム
JP2004212200A (ja) X線検査装置、及び該x線検査装置の使用方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050809

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20060829