JP2004212200A - Ｘ線検査装置、及び該ｘ線検査装置の使用方法 - Google Patents

Abstract

【課題】小型・高密度化するＢＧＡやＣＳＰなどの電子部品の基板への実装状態を総合的に判断することのできるＸ線検査装置を提供すること。
【解決手段】試料Ｓを挟んで、Ｘ線を放射するＸ線源ａ１とＸ線を検出するＸ線検出器１２とが対向して配置され、Ｘ線源ａ１から放射され、試料Ｓを透過したＸ線がＸ線検出器１２にて検出されるように構成されたＸ線検査装置において、Ｘ線検出器１２のＸ線受光面ｂ１を、Ｘ線受光面ｂ１を含む所定の面（面Ｔ１と平行な面）上に維持させたまま、なおかつＸ線受光面ｂ１上のある２点を結ぶ直線の向きを一定方向に保たせたまま、Ｘ線検出器１２を面Ｔ１と直交する直線Ｌ１を中心として円形に運動させる円形運動手段２１と、Ｘ線源ａ１を直線Ｌ１を中心として、Ｘ線検出器１２に同期させて円形に運動させる円形運動手段１８とを装備する。
【選択図】 図１４

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はＸ線検査装置、及び該Ｘ線検査装置の使用方法に関し、より詳細には、小型・高密度化するＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ ）や、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ Ｓｃａｌｅ Ｐａｃｋａｇｅ）などの電子部品の基板（実装基板）への実装状態をＸ線を用いて検査するためのＸ線検査装置、及び該Ｘ線検査装置の使用方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＰＣ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｃｏｍｐｕｔｅｒ ）や、携帯電話、映像・音声機器などにおける、その高性能化には目覚ましいものがある。そして、その核となり、推進力となっているのが、これら機器のコア部分である実装基板の高密度化である。特に、最近ではＢＧＡやＣＳＰなどの多端子化に優れたパッケージが採用されてきている。
【０００３】
ところが、ＢＧＡやＣＳＰなどのパッケージは多端子化に非常に優れているが、その構造上、プリント基板に実装した場合に、パッケージ本体によりパッケージとプリント基板との接合部が隠れてしまうので、人間による目視検査はもちろんのこと、光学式の外観検査では接合状態の良否の確認が難しいといった問題がある。
【０００４】
図２３は、ＢＧＡ１の一例を模式的に示した斜視図であり、図２４は、図２３に示したＢＧＡ１が実装された状態のプリント基板２を模式的に示した斜視図である。図２４から明らかなように、最外周以外の部分に配設されているはんだボール１ａとプリント基板２との接合状態の良否を外観で判断することは難しい。
【０００５】
そこで注目されているのが、物体を透過する性質の強いＸ線による検査装置である。Ｘ線による検査装置としては、被検対象となる物体にＸ線を投射し、前記物体を透過したＸ線を検知することによって、前記物体の透視画像を得るＸ線透視装置や、プリント基板の主面に対して平行な面でスライスしたような断層画像を得るＸ線断層撮影装置などがある。
【０００６】
Ｘ線透視装置（例えば、下記の特許文献１参照）を用いると、外側からでは観察することのできない内部形状を透視画像として観察することができ、Ｘ線透視装置は、はんだブリッジ（ショート）や、はんだボイド（はんだ接合部の内部に包含される気泡）の有無、はんだクズの有無などの比較的単純な不良要因の検出に効果がある。
【０００７】
しかしながら、Ｘ線透視装置では、図２５に示したような、使用者が最も検出したい不良要因の一つである、はんだボール部のオープン（浮き上がり不良）や、はんだの過少・過多などの不良要因を検出することが難しいといった問題がある。
【０００８】
次に、Ｘ線を使って断層撮影画像（ラミノグラフィ：Ｌａｍｉｎｏ ｇｒａｐｈｙ ）を取得する原理について、図２６を使って説明する。ある被写体の特定の深さの層域を被検対象（被検対象面Ｔ）とし、被検対象となる部分を基準として、Ｘ線を照射するＸ線源ａとＸ線を検出する撮像管ｂとの幾何学的関係を一定に保たせたまま、Ｘ線源ａと撮像管ｂとを互いに運動させると、運動の基準部分（すなわち、被検対象となる部分）は一応不動と看做し得る関係状態となり、それ以外の部分については、前記基準部分から遠くなるほど、像の変形が大きくなり、結果的には像がボケてしまって、視認の対象とならなくなる。
【０００９】
上記したように、前記被検対象となる部分を基準とし、点Ｏを中心として、Ｘ線源ａと撮像管ｂとの幾何学的関係を一定に保たせたまま（すなわち、被検対象面Ｔと、撮像管ｂのＸ線入射面との平行関係を維持させたまま）、Ｘ線源ａと撮像管ｂとを互いに運動させると、図２６に示したように、被検対象面Ｔ上に存在する（すなわち、被検対象に含まれる）点Ｏ、点Ｐの撮像管ｂ上における撮像位置は、Ｘ線源ａがａ_１ 〜ａ_３ へと動いたとしても（そのとき、撮像管ｂもｂ_１ 〜ｂ_３ へと動いている）、点Ｏ_１ 〜Ｏ_３ 、点Ｐ_１ 〜Ｐ_３ と前記運動に関係なく、絶えず同じ位置となる。
【００１０】
運動の中心となる点ＯとＸ線源ａとの距離をＲとし、点Ｏと撮像管ｂとの距離をｒとし、さらに、撮像管ｂのＸ線入射面と被検対象面Ｔとが常に平行に保たれているとすると、△ａ_１ Ｏ_１ Ｐ_１ と、△ａ_２ Ｏ_２ Ｐ_２ と、△ａ_３ Ｏ_３ Ｐ_３ とにおいては、下記の数式が成立する。
Ｏ_１ Ｐ_１ ＝ＯＰ（Ｒ＋ｒ／Ｒ）＝Ｏ_２ Ｐ_２ ＝Ｏ_３ Ｐ_３
因に、この場合の幾何学的拡大率は、Ｒ＋ｒ／Ｒとなる。
【００１１】
これに対し、被検対象面Ｔ上に存在しない（例えば、別の面Ｔ’上に存在する）点Ｑの撮像管ｂ上における撮像位置は、Ｘ線源ａがａ_１ 〜ａ_３ へと移動するにつれて、点Ｑ_１ 〜Ｑ_３ へと変化していく。従って、点Ｑの像の変形が大きくなり、像がボケてしまい、視認の対象とならなくなる。
【００１２】
なお、上記したような、断層撮影画像を取得する原理が採用された、Ｘ線断層撮影装置では、はんだボール部のオープンや、はんだブリッジ、はんだの過少・過多などの不良要因の検出に効果があることが知られている。
【００１３】
【特許文献１】
特開平１０−２３９２５３号公報
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
上記したように、Ｘ線断層撮影装置は、はんだボール部のオープンや、はんだブリッジ、はんだの過少・過多の不良要因の検出には適しているが、はんだボイドの有無や、はんだクズの有無などの比較的単純な不良要因の検出にはあまり適さないといった問題がある。
と言うのは、断層画像の撮影は、透視画像の撮影と比べて時間がかかり、比較的単純な不良要因（すなわち、Ｘ線透視装置でも検出可能な不良要因）を検出するには効率が悪くなるからである。
【００１５】
もちろん、Ｘ線断層撮影装置を使って、被検対象となる物体の透視画像を観察することも可能であるが、図２６に示したように、Ｘ線断層撮影装置では、撮像管ｂのＸ線入射面と、被検対象面Ｔとの平行関係を維持させておく必要があるため、透視による観察には大きな制限があった。そのため、Ｘ線断層撮影装置を使って透視画像を観察したとしても、はんだボイドの有無や、はんだクズの有無などの比較的単純な不良要因の検出を効率良く行うことはできない。
【００１６】
また、Ｘ線を使った検査装置では、Ｘ線透視装置やＸ線断層撮影装置以外のものとして、Ｘ線ＣＴ装置があるが、Ｘ線ＣＴ装置では被検対象となる物体の透視画像を得るために、前記被検対象となる物体を回転させる必要がある。従って、前記被検対象となる物体のサイズに大きな制約（最大５０ｍｍ程度）があるため、実装基盤の検査にはあまり適していない。
【００１７】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであって、小型・高密度化するＢＧＡやＣＳＰなどの電子部品の基板への実装状態を総合的に判断することのできるＸ線検査装置、及び該Ｘ線検査装置の使用方法を提供することを目的としている。
【００１８】
【課題を解決するための手段及びその効果】
上記目的を達成するために本発明に係るＸ線検査装置（１）は、試料を挟んで、Ｘ線を放射するＸ線源とＸ線を検出するＸ線検出器とが対向して配置され、前記Ｘ線源から放射され、前記試料を透過したＸ線が前記Ｘ線検出器にて検出されるように構成されたＸ線検査装置において、前記Ｘ線検出器のＸ線受光面を、該Ｘ線受光面を含む所定の面上に維持させたまま、なおかつ前記Ｘ線受光面上のある２点を結ぶ直線の向きを一定方向に保たせたまま、前記Ｘ線検出器を前記所定の面と直交する第１の直線を中心として円形に運動させる第１の運動手段と、前記Ｘ線源を前記第１の直線を中心として、前記Ｘ線検出器に同期させて円形に運動させる第２の運動手段とを備えていることを特徴としている。
【００１９】
上記Ｘ線検査装置（１）によれば、被検対象となる前記試料を挟んで、前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出器とが対向して配置され、前記Ｘ線検出器のＸ線受光面を、該Ｘ線受光面を含む前記所定の面（断層画像による前記試料の検査を行う場合の被検対象面と平行関係になる面）上に維持させたまま、なおかつ前記Ｘ線受光面上のある２点を結ぶ直線を一定方向に保たせたまま、前記Ｘ線検出器を前記所定の面と直交する前記第１の直線を中心として円形に運動させる一方、前記Ｘ線源を前記第１の直線を中心として、前記Ｘ線検出器に同期させて円形に運動させながら、前記Ｘ線源からＸ線を前記試料に放射させ、該試料を透過したＸ線を前記Ｘ線検出器で検出することができる。
【００２０】
前記Ｘ線受光面、及び前記Ｘ線源の動きを図１〜図４に示した模式図を使って説明する。図１は斜視図を示し、図２は正面図を示し、図３は側面図を示し、図４は平面図を示している。Ｘ線検出器のＸ線受光面ｂ１は前記所定の面上を維持したまま、なおかつＸ線受光面ｂ１上のある２点を結ぶ直線の向き（例えば、点Ａと点Ｂとを結ぶ直線Ｌ_ＡＢの向き（図１、図４参照））を一定方向に保たせたまま、直線Ｌ１を中心としてｂ１_１ 〜ｂ１_３ へと円形に動くようになっている。
【００２１】
すなわち、Ｘ線受光面ｂ１は、直線Ｌ１を中心としてｂ１_１ 〜ｂ１_３ へと純粋に回転運動するようにはなっていない。図５は、Ｘ線受光面ｂ１を直線Ｌ１を中心として回転させた状態を示した模式的平面図である。図５から明らかなように、Ｘ線受光面ｂ１を直線Ｌ１を中心としてｂ１_１ ’〜ｂ１_３ ’へと回転させた場合、Ｘ線受光面ｂ１上の点Ａ、点Ｂも同じように、直線Ｌ１を中心として回転するため、点Ａと点Ｂとを結ぶ直線Ｌ_ＡＢの向きは一定とならない。
【００２２】
一方、Ｘ線源ａ１は、図１〜図４に示したように、直線Ｌ１を中心として、Ｘ線受光面ｂ１の動きに対して１８０°遅らせた同期でａ１_１ 〜ａ１_３ へと円形に動くようになっている。また、図中Ｔ１（図１〜図３参照）は、前記所定の面と平行であり、Ｘ線源ａ１から放射されるＸ線の光軸ＯＡと、円形運動の中心となる直線Ｌ１との交点Ｏ１を含む面を示している。
【００２３】
Ｘ線受光面ｂ１及びＸ線源ａ１を上記したように運動させると、面Ｔ１上に存在する点Ｏ１、点Ｐ１のＸ線受光面ｂ１上における検出位置は、Ｘ線源ａ１がａ１_１ 〜ａ１_３ へと動いたとしても（そのとき、Ｘ線受光面ｂ１もｂ１_１ 〜ｂ１_３ へと動いている）、点Ｏ１_１ 〜Ｏ１_３ 、点Ｐ１_１ 〜Ｐ１_３ とは前記運動に関係なく、絶えず同じ位置となる。これは、点Ｏ１を基準として、Ｘ線源ａ１とＸ線受光面ｂ１との幾何学的関係が一定に保たれているからである。
【００２４】
この原理は、「従来の技術」の項目でも説明したが、（前記所定の面と平行であり、Ｘ線源ａ１から放射されるＸ線の光軸ＯＡと、円形運動の中心となる直線Ｌ１との交点となる）点Ｏ１とＸ線源ａ１との距離をＲ１とし、点Ｏ１とＸ線受光面ｂ１との距離をｒ１とすると、△ａ１_１ Ｏ１_１ Ｐ１_１ と、△ａ１_２ Ｏ１_２ Ｐ１_２ と、△ａ１_３ Ｏ１_３ Ｐ１_３ とにおいては、下記の数式が成立する。
Ｏ１_１ Ｐ１_１ ＝Ｏ１Ｐ１（Ｒ１＋ｒ１／Ｒ１）＝Ｏ１_２ Ｐ１_２ ＝Ｏ１_３ Ｐ１_３ 因に、この場合の幾何学的拡大率は、Ｒ１＋ｒ１／Ｒ１となる。
【００２５】
これに対し、面Ｔ１上に存在しない、例えば、別の面Ｔ１’（図１、図２参照）上に存在する点Ｑ１のＸ線受光面ｂ１上における検出位置は、Ｘ線源ａ１がａ１_１ 〜ａ１_３ へと移動するにつれて、点Ｑ１_１ 〜Ｑ１_３ へと変化していく。従って、点Ｑ１の像の変形が大きくなり、像がボケてしまい、視認の対象とならなくなる。
【００２６】
よって、Ｘ線受光面ｂ１及びＸ線源ａ１を上記したように運動させた場合、面Ｔ１上に存在する点（点Ｏ１、点Ｐ１）のＸ線受光面ｂ１上における検出位置は、Ｘ線源ａ１が円形に移動したとしても、該移動に関係なく、絶えず同じ位置となる一方、面Ｔ１上に存在しない点（例えば、点Ｑ１）のＸ線受光面ｂ１上における検出位置は、Ｘ線源ａ１が円形に移動するにつれて変化していく。
【００２７】
すなわち、Ｘ線受光面ｂ１及びＸ線源ａ１を上記したように運動させた場合、面Ｔ１（前記所定の面と平行であり、Ｘ線源ａ１から放射されるＸ線の光軸ＯＡと、円形運動の中心軸となる直線Ｌ１との交点Ｏ１を含む面）上に存在する像の断層画像を取得することができる。
従って、上記Ｘ線検査装置（１）を用いることによって、前記試料の断層画像を取得することができるので、はんだボール部のオープンや、はんだブリッジ、はんだの過少・過多などの不良原因を的確に検出することができる。
【００２８】
また、上記Ｘ線検査装置（１）によれば、前記試料の断層画像ではなく、単なる透視画像についても当然、取得可能であり、また、前記Ｘ線受光面や前記Ｘ線源を移動させることによって、様々な角度からの前記試料の透視画像を取得することができる。従って、様々な角度から前記試料を観察することができる。
【００２９】
また、本発明に係るＸ線検査装置（２）は、上記Ｘ線検査装置（１）において、前記所定の面と平行であり、前記Ｘ線源から放射されるＸ線の光軸と前記第１の直線との交点を含む第１の面上の第２の直線を中心として、前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出器とを一体的に回動させる第１の回動手段を備えていることを特徴としている。
【００３０】
上記したように、前記所定の面と平行であり、前記Ｘ線源から放射されるＸ線の光軸と前記第１の直線（すなわち、円形運動の中心となる直線）との交点を含む前記第１の面は、断層画像による前記試料の検査の場合に前記試料の被検対象面となる。
【００３１】
すなわち、上記Ｘ線検査装置（２）によれば、前記被検対象面となる前記第１の面上の前記第２の直線を中心として、前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出器（すなわち、前記Ｘ線受光面）とを一体的に回動させることができる。前記第２の直線を中心として前記Ｘ線源と前記Ｘ線受光面とが一体的に回動する動きの一例を、図６、図７に示した模式図を使って説明する。図６は平面図を示し、図７は側面図を示している。
【００３２】
Ｘ線源ａ１とＸ線受光面ｂ１とは、被検対象面となる面Ｔ１（前記第１の面に対応）上の直線Ｌ２（前記第２の直線に対応）を中心として、前方／後方へ傾斜するように回動することができるようになっており、図７（ｂ）に示したＸ線源ａ１とＸ線受光面ｂ１との配置状態は、図６、図７（ａ）に示した配置状態から、直線Ｌ２を中心としてＸ線源ａ１とＸ線受光面ｂ１とを一体的に後方へ角度θ_１ 回動させた後の配置状態である。
【００３３】
図６、図７（ａ）に示した配置状態は、図１〜図４に示した場合と同様に、試料Ｓを水平方向にスライスした断層画像（横断層画像）を取得することができる状態であり、他方、図７（ｂ）に示した配置状態は、斜め方向にスライスした断層画像（傾斜断層画像）を取得することができる状態である。
【００３４】
従って、上記Ｘ線検査装置（２）を用いることによって、水平方向にスライスした横断層画像だけでなく、斜め方向にスライスした傾斜断層画像を取得することができるので、はんだボール部のオープンや、はんだブリッジ、はんだの過少・過多などの不良原因をより一層的確に検出することができる。また、透視による観察についても多方向から行うことができる。
【００３５】
なお、ここでは前記回動の中心として、前方／後方へ傾斜するように回動させる直線Ｌ２を具体例として挙げたが、前記回動の中心は直線Ｌ２に限定されるものではなく、右方／左方へ傾斜するように回動させる直線であっても良く、もちろんその間となる斜め方向へ傾斜するように回動させる直線であっても良い。図８、図９に示した模式図を使って、前記Ｘ線源と前記Ｘ線受光面とを一体的に右方／左方へ回動させる場合について説明する。図８は平面図を示し、図９は側面図を示している。
【００３６】
Ｘ線源ａ１とＸ線受光面ｂ１とは、被検対象面となる面Ｔ１（前記第１の面に対応）上の直線Ｌ３（前記第２の直線に対応）を中心として、右方／左方へ傾斜するように回動することができるようになっており、図９（ｂ）に示したＸ線源ａ１とＸ線受光面ｂ１との配置状態は、図８、図９（ａ）に示した配置状態から、直線Ｌ３を回転軸としてＸ線源ａ１とＸ線受光面ｂ１とを一体的に右方へ角度θ_２ 回動させた後の配置状態である。
【００３７】
図８、図９（ａ）に示した配置状態は、図１〜図４に示した場合と同様に、試料Ｓを水平方向にスライスした断層画像（横断層画像）を取得することができる状態であり、他方、図９（ｂ）に示した配置状態は、斜め方向にスライスした断層画像（傾斜断層画像）を取得することができる状態である。
【００３８】
また、本発明に係るＸ線検査装置（３）は、上記Ｘ線検査装置（２）において、前記第２の直線と直交する、前記第１の面上の第３の直線を中心として、前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出器とを一体的に回動させる第２の回動手段を備えていることを特徴としている。
【００３９】
上記Ｘ線検査装置（３）によれば、前記被検対象面となる前記第１の面上の前記第２の直線と直交する、前記第１の面上の前記第３の直線を中心として、前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出器（すなわち、前記Ｘ線受光面）とを一体的に回動させることができる。
【００４０】
前記第２の直線としては、例えば、Ｘ線源ａ１とＸ線受光面ｂ１とを前方／後方へ回動させるための直線Ｌ２（図６、図７参照）を挙げることができる。直線Ｌ２が前記第２の直線となる場合、直線Ｌ３（図８、図９参照）が前記第３の直線となる。図８、図９に示したように、直線Ｌ３はＸ線源ａ１とＸ線受光面ｂ１とを右方／左方へ回動させるための中心となる。
【００４１】
従って、上記Ｘ線検査装置（３）を用いることによって、あらゆる方向からの傾斜断層画像を取得することができ、また、透視による観察についてもあらゆる方向から行うことができるため、非常に検査能力の高い装置を実現することができる。
【００４２】
また、本発明に係るＸ線検査装置（４）は、上記Ｘ線検査装置（１）〜（３）のいずれかにおいて、前記Ｘ線受光面上の第４の直線を中心として、前記Ｘ線検出器を回動させる第３の回動手段を備えていることを特徴としている。
【００４３】
上記してきたように、断層画像を取得するためには、前記Ｘ線検出器の前記Ｘ線受光面を、該Ｘ線受光面を含む前記所定の面上に維持させておく必要があるが、この配置が維持されたままでは、前記Ｘ線源から放射されるＸ線の光軸と前記Ｘ線受光面とが直交しないため（図１参照）、透視画像の取得において、下記のｉ、ｉｉに示すような問題がある。
ｉ．一度に観察できる範囲が狭くなる。
ｉｉ．斜め方向からの透視画像（傾斜透視画像）の取得は可能であるが、前記試料を真上から見た透視画像（垂直透視画像）を取得することができない。
【００４４】
上記Ｘ線検査装置（４）によれば、前記Ｘ線受光面上の前記第４の直線を中心として、前記Ｘ線検出器（すなわち、前記Ｘ線受光面）を回動させることができる。前記第４の直線を中心として前記Ｘ線受光面が回動する動きを、図１０、図１１に示した模式図を使って説明する。図１０は平面図を示し、図１１は側面図を示している。
【００４５】
Ｘ線受光面ｂ１は、Ｘ線受光面ｂ１上の直線Ｌ４（前記第４の直線に対応）を中心として、回動することができるようになっており、図１１（ｂ）に示したＸ線受光面ｂ１の状態は、図１０、図１１（ａ）に示した状態から、直線Ｌ４を中心として後方へ角度θ_３ （直線Ｌ１とＸ線源ａ１から放射されるＸ線の光軸ＯＡとのなす角度）回動させた後の状態である。
【００４６】
図１０、図１１（ａ）に示した状態では、Ｘ線源ａ１から放射されるＸ線の光軸とＸ線受光面ｂ１とが直交しないため、一度に観察できる範囲が狭くなるが、図１１（ｂ）に示した状態では、Ｘ線源ａ１から放射されるＸ線の光軸とＸ線受光面ｂ１とが直交するため、一度に観察できる範囲が広くなる。
【００４７】
また、上記したように、前記所定の面と平行であり、Ｘ線源ａ１から放射されるＸ線の光軸ＯＡと円形運動の中心となる直線Ｌ１との交点Ｏ１を含む面Ｔ１上の直線Ｌ２（図６、図７参照）や、直線Ｌ３（図８、図９参照）を回転軸として、Ｘ線源ａ１とＸ線受光面ｂ１とを一体的に回動させることができるように構成されていれば、透視による観察を多方向から行うことができる。
【００４８】
図１２（ａ）に示したＸ線源ａ１とＸ線受光面ｂ１との配置は、図１１（ｂ）に示した配置と同じであり、図１２（ｂ）に示したＸ線源ａ１とＸ線受光面ｂ１との配置は、図１２（ａ）に示した配置から、直線Ｌ２を中心としてＸ線源ａ１とＸ線受光面ｂ１とを一体的に前方へ角度θ_３ 回動させた配置であり、Ｘ線受光面ｂ１が試料Ｓの真上に位置しており、垂直透視画像の取得が可能となっている。
【００４９】
従って、上記Ｘ線検査装置（４）を用いることによって、透視画像取得の際に一度に観察できる範囲が狭くなるといった問題や、前記試料を真上から見た垂直透視画像を取得することができないといった問題を解決することができる。これにより、断層画像による検査にはあまり適しなかった、はんだボイドの有無や、はんだクズの有無などの不良要因についても的確に検出することができる。
【００５０】
また、本発明に係るＸ線検査装置（５）は、上記Ｘ線検査装置（１）〜（４）のいずれかにおいて、前記第２の運動手段が、前記Ｘ線源を含んで構成されたＸ線放射器を前記第１の直線を中心として、前記Ｘ線検出器に同期させて円形に運動させることによって、前記Ｘ線源の円形運動を実現するものであることを特徴としている。
【００５１】
前記Ｘ線源を円形運動させる方法の一つとして、例えば、前記Ｘ線源を含んで構成された前記Ｘ線放射器を固定させ、Ｘ線を放出するフィラメントそのものを回転させるといった方法が挙げられるが、フィラメントを回転させるＸ線放射器は寿命が短い（１００時間程度）といった問題がある。
【００５２】
上記Ｘ線検査装置（５）によれば、前記Ｘ線放射器を前記第１の直線を中心として、前記Ｘ線検出器に同期させて円形に運動させることによって、前記Ｘ線源の円形運動が実現される。従って、寿命の短いフィラメントを回転させるＸ線放射器を使用しなくても、上記装置を実現することができる。因に、フィラメントが固定されるＸ線放射器の寿命は、約１万時間である。
【００５３】
また、本発明に係るＸ線検査装置（６）は、上記Ｘ線検査装置（５）において、前記第２の運動手段が、前記所定の面と直交する、前記Ｘ線放射器の断面の向きを一定方向に保たせたまま、前記Ｘ線放射器を円形に運動させるものであることを特徴としている。
【００５４】
上記してきたように、断層画像を取得する場合には、前記Ｘ線受光面を、該Ｘ線受光面上のある２点を結ぶ直線の向きを一定方向に保たせたまま、円形運動させる必要があるが（すなわち、前記所定の面上における前記Ｘ線受光面の姿勢を保たせる必要がある）、前記Ｘ線源に関してはＸ線を放射するだけであるため、基本的には、姿勢を一定に保たせる必要はない。
【００５５】
しかしながら、前記Ｘ線源を含んで構成されるＸ線放射器には、出力制御用や電力供給用のケーブルなどが接続される場合があるため、前記Ｘ線放射器の円形運動時に何らかの運動制御を行わないと、これらケーブルが前記円形運動によって捻じれてしまう虞がある。
【００５６】
上記Ｘ線検査装置（６）によれば、前記所定の面と直交する、前記Ｘ線放射器の断面の向きを一定方向に保たせたまま、前記Ｘ線放射器が円形に運動させられるので、もし仮に、前記Ｘ線放射器に出力制御用や電力供給用のケーブルなどが接続されていたとしても、前記断面の向きが変わらないため、これらケーブルが前記円形運動によって捻じれることはない。これにより、上記装置には様々な種類のＸ線放射器を採用することが可能となるため、コストの低減を図ることができる。
【００５７】
また、本発明に係るＸ線検査装置の使用方法（１）は、上記Ｘ線検査装置（１）〜（６）のいずれかの使用方法であって、断層画像による前記試料の検査を行う場合には、前記所定の面と平行であり、前記Ｘ線源から放射されるＸ線の光軸と前記第１の直線との交点を含む第１の面と、前記試料の被検希望面とが一致するように前記試料を配置するステップと、前記Ｘ線受光面を前記所定の面上に維持させたまま、なおかつ前記Ｘ線受光面上のある２点を結ぶ直線の向きを一定方向に保たせたまま、前記Ｘ線検出器を前記第１の直線を中心として円形に運動させると共に、前記Ｘ線源を前記第１の直線を中心として、前記Ｘ線検出器に同期させて円形に運動させるステップとを含んでいることを特徴としている。
【００５８】
上記したように、前記所定の面と平行であり、前記Ｘ線源から放射されるＸ線の光軸と前記第１の直線（すなわち、円形運動の中心となる直線）との交点を含む前記第１の面は、断層画像による前記試料の検査の場合に前記試料の被検対象面となる。
【００５９】
上記Ｘ線検査装置の使用方法（１）によれば、断層画像による前記試料の検査を行う場合には、前記第１の面（すなわち、前記被検対象面）と、前記試料の被検希望面とが一致するように前記試料を配置するステップを含んでいるので、被検を希望する面の断層画像を的確に取得することができる。
【００６０】
また、本発明に係るＸ線検査装置の使用方法（２）は、上記Ｘ線検査装置（４）の使用方法であって、断層画像による前記試料の検査を行う場合には、前記Ｘ線検出器を前記第４の直線を中心として回動させることによって、前記Ｘ線受光面を含む前記所定の面が前記第１の直線と直交する第１の配置状態を実現させるステップを含み、他方、透視画像による前記試料の検査を行う場合には、前記第４の直線と平行な直線に対して、前記Ｘ線源から放射されるＸ線の光軸を直交させるステップと、前記Ｘ線検出器を前記第４の直線を中心として回動させることによって、前記Ｘ線受光面に対して、前記Ｘ線源から放射されるＸ線の光軸が直交するようになる第２の配置状態を実現させるステップとを含んでいることを特徴としている。
【００６１】
図１０、図１１に示したように、上記Ｘ線検査装置（４）を用いれば、面Ｔ１と平行な関係にあるＸ線受光面ｂ１を、Ｘ線受光面ｂ１上の直線Ｌ４（前記第４の直線に対応）を中心として、Ｘ線受光面ｂ１を回動させて、Ｘ線源ａ１から放射されるＸ線の光軸ＯＡとＸ線受光面ｂ１とを直交させることができる。
【００６２】
Ｘ線源ａ１から放射されるＸ線の光軸ＯＡとＸ線受光面ｂ１とが直交する状態は、透視画像による前記試料の検査に非常に有効であるが、この状態では断層画像を取得することはできない。そのため、断層画像による前記試料の検査を行う場合には、直線Ｌ４を中心として、Ｘ線受光面ｂ１を回動させて、Ｘ線受光面ｂ１を含む前記所定の面を、直線Ｌ１（前記第１の直線に対応）と直交させるようにすることが必要である。
【００６３】
上記Ｘ線検査方法の使用方法（２）によれば、断層画像による前記試料の検査を行う場合には、前記Ｘ線検出器を前記第４の直線を中心として回動させることによって、前記Ｘ線受光面を含む前記所定の面が前記第１の直線と直交する前記第１の配置状態を実現させるステップを含んでいるので、断層画像による前記試料の検査を適切に行うことができる。
【００６４】
また、上記Ｘ線検査装置（４）によれば、前記Ｘ線受光面を前記第１の直線を中心として、円形に運動させることができるため、様々な角度からの透視による前記試料の観察を行うことができる。なお、前記Ｘ線受光面を前記第１の直線を中心として、円形運動させる場合、前記Ｘ線受光面上のある２点を結ぶ直線の向きを一定方向に保たせるようになっている。従って、前記Ｘ線受光面は前記第１の直線を中心として、純粋に回転運動をするようにはなっていない。
【００６５】
図１３は、前記Ｘ線受光面を前記第１の直線を中心として、面上における前記Ｘ線受光面の姿勢を一定に保たせたまま、円形に運動させた状態を示した模式的平面図である。図１３から明らかなように、Ｘ線受光面ｂ１上の点Ａと点Ｂとを結ぶ直線Ｌ_ＡＢの向きを一定に保たせたまま、Ｘ線受光面ｂ１を直線Ｌ１を中心としてｂ１_１ 〜ｂ１_３ へと円形に運動させた場合、純粋な回転運動ではないので、直線Ｌ４の向きは一定に保たれたままとなる。
【００６６】
ところで、図１０、図１１に示したように、Ｘ線源ａ１がａ１_２ の位置に配置され、Ｘ線受光面ｂ１がｂ１_２ の位置に配置された状態で、Ｘ線受光面ｂ１を直線Ｌ４を中心として、後方へ角度θ_３ 回動させると、Ｘ線源ａ１から放射されるＸ線の光軸ＯＡとＸ線受光面ｂ１とを直交させることができる。
【００６７】
これに対し、図１３に示したように、Ｘ線源ａ１がａ１_１ （ａ１_３ ）の位置に配置され、Ｘ線受光面ｂ１がｂ１_１ （ｂ１_３ ）の位置に配置された状態で、Ｘ線受光面ｂ１を直線Ｌ４を中心として、回動させたとしても、Ｘ線源ａ１から放射されるＸ線の光軸ＯＡとＸ線受光面ｂ１とを直交させることはできない。
【００６８】
これは、Ｘ線源ａ１がａ１_１ （ａ１_３ ）の位置に配置され、Ｘ線受光面ｂ１がｂ１_１ （ｂ１_３ ）の位置に配置された状態では、Ｘ線源ａ１から放射されるＸ線の光軸ＯＡに対して、直線Ｌ４（又は直線Ｌ４と平行な直線）が直交しないからである。
【００６９】
上記Ｘ線検査方法の使用方法（２）によれば、透視画像による前記試料の検査を行う場合には、前記第４の直線と平行な直線に対して、前記Ｘ線源から放射されるＸ線の光軸を直交させるステップ（例えば、Ｘ線源ａ１をａ１_２ へ、Ｘ線受光面ｂ１をｂ１_２ へ移動させるステップ）と、前記Ｘ線検出器（すなわち、前記Ｘ線受光面）を前記第４の直線を中心として回動させる（例えば、Ｘ線受光面ｂ１を直線Ｌ４を中心として、後方へ角度θ_４ 回動させる）ことによって、前記Ｘ
線受光面に対して、前記Ｘ線源から放射されるＸ線の光軸が直交するようになる前記第２の配置状態を実現させるステップとを含んでいるので、透視画像による前記試料の検査をより一層効果的に行うことができる。
【００７０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るＸ線検査装置、及び該Ｘ線検査装置の使用方法の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１４は、実施の形態（１）に係るＸ線検査装置の要部を示した概略図である。
【００７１】
図中Ｓは被検対象となる試料を示しており、試料Ｓは中央部にＸ線を透過する透過板１４が形成された試料台１３に載置されるようになっている。試料台１３を挟んで、Ｘ線源ａ１を含んで構成されたＸ線放射器１１と、Ｘ線受光面ｂ１を有したＸ線検出器１２とが対向して配置され、Ｘ線源ａ１からＸ線が放射され、透過板１４及び試料Ｓを透過したＸ線が、Ｘ線検出器１２のＸ線受光面ｂ１で検出されるようになっている。また、図中Ｔ１はＸ線源ａ１から放射されるＸ線の光軸ＯＡと、Ｘ線放射器１１及びＸ線検出器１２の円形運動の中心となる直線Ｌ１との交点Ｏ１を含む面を示している。
【００７２】
Ｘ線検出器１２は画像処理部１５に接続されており、Ｘ線検出器１２で検出されたＸ線に応じた画像データ（映像信号）が画像処理手段１５へ出力されるようになっている。画像処理部１５は、画質を改善するなどの信号処理を行い、信号処理した画像データを表示部（図示せず）へ出力したり、マイコン１６へ出力したりするようになっている。
【００７３】
Ｘ線放射器１１、Ｘ線検出器１２は、モータ１７の回転力を受けて駆動する円形運動手段１８、モータ２０の回転力を受けて駆動する円形運動手段２１にそれぞれ連結されており、Ｘ線放射器１１は円形運動手段１８の動きに合わせて、面Ｔ１と直交する直線Ｌ１（モータ１７、２０の回転軸と一致する直線）を中心として、円形に運動し、他方、Ｘ線検出器１２は円形運動手段２１の動きに合わせて、Ｘ線受光面ｂ１と面Ｔ１とを平行にしたまま、直線Ｌ１を中心として、Ｘ線放射器１１の動きに対して１８０°遅らせた同期で円形に運動するようになっている（図１〜図４参照）。なお、Ｘ線放射器１１は、Ｘ線源ａ１から放射されるＸ線の光軸ＯＡと直線Ｌ１とのなす角度がθ_３ （例えば、２０°）を維持するように円形に運動するようになっている。
【００７４】
また、円形運動手段１８は、面Ｔ１と直交する、Ｘ線放射器１１の断面の向きを一定方向に保たせるための方向維持手段１９を含んで構成されているため、面Ｔ１と直交する、Ｘ線放射器１１の断面の向きが一定方向に保たれたまま、Ｘ線源ａ１がａ１_１ 〜ａ１_３ へと円形に運動するようになっている。
【００７５】
円形運動手段２１は、Ｘ線受光面ｂ１上のある２点を結ぶ直線の向きを一定方向に保たせる（すなわち、Ｘ線受光面ｂ１を含む所定の面上におけるＸ線受光面ｂ１の姿勢を一定に保たせる）ための姿勢手段２２を含んで構成されているため、図１、図４に示したように、Ｘ線受光面ｂ１上の点Ａと点Ｂとを結ぶ直線Ｌ_ＡＢの向きが一定に保たれたまま、Ｘ線受光面ｂ１が直線Ｌ１を中心としてｂ１_１ 〜ｂ１_３ へと円形に運動するようになっている。
【００７６】
また、Ｘ線検出器１２は、モータ２３の回転力を受けて駆動する回動手段２４に連結されており、回動手段２４の動きに合わせて、図１０、図１１に示したように、Ｘ線受光面ｂ１上の直線Ｌ４を回転軸として、円形運動の中心となる直線Ｌ１から離れる方向へ最大で角度θ_３ 回動するようになっている。
【００７７】
円形運動手段１８を駆動させるモータ１７、円形運動手段２１を駆動させるモータ２０、及び回動手段２４を駆動させるモータ２３はいずれもマイコン１６に接続されており、マイコン１６によってモータ１７、２０、２３は制御されるようになっている。従って、Ｘ線放射器１１、及びＸ線検出器１２の駆動についても、マイコン１６で制御されるようになっている。また、マイコン１６には操作部２５が接続されており、使用者の所望するままに自由に試料Ｓを検査することができるようになっている。
【００７８】
上記実施の形態（１）に係るＸ線検査装置によれば、被検対象となる試料Ｓを挟んで、Ｘ線源ａ１を含んで構成されたＸ線放射器１１と、Ｘ線受光面ｂ１を有したＸ線検出器１２とが対向して配置され、Ｘ線放射器１１を面Ｔ１（断層画像による試料Ｓの検査を行う場合に被検対象となる面）と直交する直線Ｌ１を中心として円形に運動させる一方、Ｘ線受光面ｂ１と面Ｔ１とを平行にしたまま、なおかつ面上におけるＸ線受光面ｂ１の姿勢を一定に保たせたまま、Ｘ線検出器１２を面Ｔ１と直交する直線Ｌ１を中心として、Ｘ線放射器１１に同期させて円形に運動させることができる。
【００７９】
Ｘ線放射器１１及びＸ線検出器１２に対して、上記したような運動をさせながら、Ｘ線源ａ１からＸ線を試料Ｓに放射させた場合、「課題を解決するための手段及びその効果」の項目で、図１〜図４に示した模式図を使って説明したように、面Ｔ１上に存在する点Ｏ１、点Ｐ１のＸ線受光面ｂ１上における検出位置は、Ｘ線源ａ１がａ１_１ 〜ａ１_３ へと動いたとしても（そのとき、Ｘ線受光面ｂ１もｂ１_１ 〜ｂ１_３ へと動いている）、点Ｏ１_１ 〜Ｏ１_３ 、点Ｐ１_１ 〜Ｐ１_３ とは前記運動に関係なく、絶えず同じ位置となる。
【００８０】
これに対し、面Ｔ１上に存在しない、例えば、別の面Ｔ１’上に存在する点Ｑ１のＸ線受光面ｂ１における検出位置は、Ｘ線源ａ１がａ１_１ 〜ａ１_３ へと移動するにつれて、点Ｑ１_１ 〜Ｑ１_３ へと変化していく。従って、点Ｑ１の像の変形が大きくなり、像がボケてしまい、視認の対象とならなくなる。
【００８１】
従って、上記実施の形態（１）に係るＸ線検査装置を利用することで、試料Ｓの断層画像を取得することができるので、外側からでは観察することの難しいはんだボール部のオープンや、はんだブリッジ、はんだの過少・過多などの不良原因を的確に検出することができる。また、試料Ｓの断層画像を取得することのできる面は面Ｔ１となるため、試料Ｓの被検希望面を面Ｔ１と一致するように試料Ｓを配置すれば、被検を希望する面の断層画像を取得することができる。
【００８２】
また、上記実施の形態（１）に係るＸ線検査装置では、Ｘ線放射器１１を直線Ｌ１を中心として、Ｘ線検出器１２に同期させて円形に運動させることによって、Ｘ線源ａ１の円形運動が実現されるているので、Ｘ線放射器１１としては、寿命の短いフィラメントを回転させるＸ線放射器ではなく、寿命の長いＸ線放射器を採用することができる。
【００８３】
また、上記実施の形態（１）に係るＸ線検査装置によれば、図１０、図１１に示したように、Ｘ線検出器１２を、Ｘ線受光面ｂ１上の直線Ｌ４を中心として、円形運動の中心となる直線Ｌ１から離れる方向へ最大で角度θ_３ （Ｘ線源ａ１から放射されるＸ線の光軸ＯＡと直線Ｌ１とのなす角度と同じ大きさ）回動させることができる。
【００８４】
従って、Ｘ線源ａ１がａ１_２ の位置にあり、Ｘ線受光面ｂ１がｂ１_２ の位置にあるときに、Ｘ線検出器１２を直線Ｌ４を中心として、直線Ｌ１から離れる方向へ角度θ_３ 回動させることによって（図１１参照）、Ｘ線源ａ１から放射されるＸ線の光軸ＯＡとＸ線受光面ｂ１とを直交させることができる。これにより、一度に透視による観察できる範囲を広くすることができる。
【００８５】
また、上記実施の形態（１）に係るＸ線検査装置によれば、面Ｔ１と直交するＸ線放射器１１の断面の向きを一定方向に保たせたまま、Ｘ線放射器１１を直線Ｌ１を中心として円形に運動させることができる。
従って、もし仮に、Ｘ線放射器１１に出力制御用や電力供給用のケーブルなどが接続されていたとしても、前記断面の向きが変わらないため、これらケーブルが前記円形運動によって捻じれることはない。これにより、Ｘ線放射器１１としては、様々な種類のＸ線放射器を採用することが可能となるため、コストの低減を図ることができる。
【００８６】
また、別の実施の形態に係るＸ線検査装置では、図１５に示したように、Ｘ線放射器１１とＸ線検出器１２とを支持する支持部材３１に、モータ３２の回転力を受けて駆動する回動手段３３に連結させて、回動手段３３の動きに合わせて、図７に示したように、Ｘ線放射器１１（Ｘ線源ａ１）とＸ線検出器１２（Ｘ線受光面ｂ１）とを一体的に、面Ｔ１上の直線Ｌ２（図６参照）を中心として、前方／後方へ傾斜させるように回動させるようにしても良い。
【００８７】
さらに、別の実施の形態に係るＸ線検査装置では、図１６に示したように、Ｘ線放射器１１とＸ線検出器１２とを支持する支持部材３４に、モータ３５の回転力を受けて駆動する回動手段３６に連結させて、回動手段３６の動きに合わせて、図９に示したように、Ｘ線放射器１１（Ｘ線源ａ１）とＸ線検出器１２（Ｘ線受光面ｂ１）とを一体的に、直線Ｌ２と直交する、面Ｔ１上の別の直線Ｌ３（図８参照）を中心として、右方／左方へ傾斜させるように回動させるようにしても良い。
【００８８】
これにより、垂直断層画像だけでなく、あらゆる方向からの傾斜断層画像を取得することができ、また、透視による観察についてもあらゆる方向から行うことができるため（例えば、図１２（ｂ）に示したように、垂直透視画像の取得も可能となる）、非常に検査能力の高い装置を実現することができる。
【００８９】
上記したように、本発明に係るＸ線検査装置では、垂直断層画像だけでなく、あらゆる方向からの傾斜断層画像を取得することができるため、外側からでは観察することの難しいはんだボール部のオープンや、はんだブリッジ、はんだの過少・過多などの不良要因を的確に検出することができる。また、透視による検査についてもあらゆる方向から行うことができるため、断層画像による検査にはあまり適しなかった、はんだボイドの有無や、はんだクズの有無などの不良要因についても的確に検出することができる。
【００９０】
このように、本発明に係るＸ線検査装置では、はんだボール部のオープンや、はんだブリッジ、はんだの過少・過多、はんだボイドの有無や、はんだクズの有無などの不良要因の検出を１台の装置で総合的に行うことができる。これにより、従来の（部分的な検査しかできなかった）Ｘ線検査装置では実現が難しかった実装状態の検査の自動化を実現することができる。
【００９１】
【実施例】
図１７は、実施例１に係るＸ線検査装置の上側の要部を示した部分的断面図である。モータ２０の回転軸２０ａに接続され、モータ２０が回転すると、直線Ｌ１を中心として回転する回転軸４１が、ベアリング４２、及び保持部４３によってコラム４４に保持されている。なお、モータ２０はコラム４４に固定されている。また、回転軸４１には回転アーム４５が接合されており、回転アーム４５もまたモータ２０が回転すると、直線Ｌ１を中心として回転するようになっている。
【００９２】
Ｘ線検出器１２と接合されている、直線Ｌ５を中心として回転する回転軸４６は、ベアリング４７を介して、回転アーム４５に接続されている。また、回転軸４６の上部には、ベアリング軸４８が配設されている。ベアリング軸４８は、ベアリング４９を介して、偏心アーム５０に接続されている。また、偏心アーム５０は、ベアリング５１を介して、保持部４３に固定されている偏心軸５２に接続されている。
【００９３】
回転軸４６の中心（直線Ｌ５）は、回転軸４６が回転アーム４５に接続されているため、モータ２０が回転すると、直線Ｌ１を中心として、半径ｒ２の円を描くように回転するようになっている。
他方、ベアリング軸４８の中心（直線Ｌ６）は、ベアリング軸４８が偏心アーム５０に接続されているため、モータ２０が回転すると、その回転に応じて回転するようになっているが、偏心軸５２によって、回転の中心が偏心されているため、直線Ｌ１ではなく、直線Ｌ１’を中心として、半径ｒ２の円を描くように回転するようになっている。なお、直線Ｌ１’は、ベアリング５１（偏心軸５２）の中心を通る直線である。
【００９４】
図１８は、モータ２０を回転させた場合の、回転軸４６とベアリング軸４８との動きを示した模式的平面図である。図１８に示したように、モータ２０が回転した場合、回転軸４６の中心４６ａ（直線Ｌ５）が、直線Ｌ１を中心として、半径ｒ２の円を描くように回転する一方、ベアリング軸４８の中心４８ａ（直線Ｌ６）は、直線Ｌ１’を中心として、半径ｒ２の円を描くように回転する。
【００９５】
従って、図１８から明らかなように、モータ２０を回転させて、回転軸４６、及びベアリング軸４８を円形に運動させたとしても、回転軸４６の中心４６ａとベアリング軸４８の中心４８ａとを結ぶ直線の向きは一定に保たれることとなる。すなわち、回転軸４６の軸方向と直交する面上における、回転軸４６の姿勢は一定に保たれることとなる。
【００９６】
このように、上記実施例１に係るＸ線検査装置によれば、モータ２０を回転させて、回転軸４６を円形に運動させたとしても、回転軸４６の軸方向と直交する面上における、回転軸４６の姿勢は一定に保たれることとなる。そのため、回転軸４６に接合されているＸ線検出器１２の面上における姿勢を一定に保たせたまま、直線Ｌ１を中心として円形に運動させることができる。図１９に、Ｘ線検出器１２を直線Ｌ１を中心として１８０°円形に移動させた後の状態を一点破線で示す。
【００９７】
図２０は、実施例１に係るＸ線検査装置の下側の要部を示した部分的断面図である。モータ１７の回転軸１７ａに接続され、モータ１７が回転すると、直線Ｌ１を中心として回転する回転軸６１が、ベアリング６２、及び保持部６３によってコラム６４に保持されている。なお、モータ１７はコラム６４に固定されている。また、回転軸６１には回転アーム６５が接合されており、回転アーム６５もまたモータ１７が回転すると、直線Ｌ１を中心として回転するようになっている。
【００９８】
Ｘ線放射器１１と接合されている、直線Ｌ７を中心として回転する回転軸６６は、ベアリング６７を介して、回転アーム６５に接続されている。また、回転軸６６の下部には、クロスジョイント部６８を介して、ベアリング軸６９が配設されている。ベアリング軸６９は、ベアリング７０を介して、偏心アーム７１に接続されている。また、偏心アーム７１は、ベアリング７２を介して、保持部６３に固定されている偏心軸７３に接続されている。
【００９９】
回転軸６６の中心（直線Ｌ７）は、回転軸６６が回転アーム６５に接続されているため、モータ１７が回転すると、直線Ｌ１を中心として、回転するようになっている。従って、回転軸６６の中心の延長線上に配置されている、クロスジョイント部の中心もまた、直線Ｌ１を中心として、回転するようになっている。なお、クロスジョイント部の中心は、図２０に示したように、モータ１７が回転すると、直線Ｌ１を中心として、半径ｒ３の円を描くように回転する。
【０１００】
ベアリング軸６９の中心（直線Ｌ８）は、ベアリング軸６９が偏心アーム７１に接続されているため、モータ１７が回転すると、その回転に応じて回転するようになっているが、偏心軸７３によって、回転の中心が偏心されているため、直線Ｌ１ではなく、直線Ｌ１’を中心として、半径ｒ３の円を描くように回転するようになっている。なお、直線Ｌ１’は、ベアリング７２（偏心軸７３）の中心を通る直線である。
【０１０１】
図２１は、モータ１７を回転させた場合の、クロスジョイント部６８とベアリング軸６９との動きを示した模式的平面図である。図２１に示したように、モータ１７が回転した場合、クロスジョイント部６８の中心６８ａは、直線Ｌ１を中心として、半径ｒ３の円を描くように回転し、ベアリング軸６９の中心６９ａ（直線Ｌ８）は、直線Ｌ１’を中心として、半径ｒ３の円を描くように回転する。
【０１０２】
従って、図２１から明らかなように、モータ１７を回転させて、クロスジョイント部６８、及びベアリング軸６９を円形に運動させたとしても、クロスジョイント部６８の中心６８ａとベアリング軸６９の中心６９ａとを結ぶ直線の向きは一定に保たれることとなる。すなわち、円形運動する面と直交する、回転軸６６の断面の向きが一定に保たれることとなる。
【０１０３】
このように、上記実施例１に係るＸ線検査装置によれば、モータ１７を回転させて、回転軸６６を円形に運動させたとしても、円形運動する面と直交する、回転軸６６の断面の向きが一定に保たれることとなる。そのため、円形運動する面と直交する、回転軸６６に接合されているＸ線放射器１１の断面の向きを一定方向に保たせたまま、直線Ｌ１を中心として円形に運動させることができる。図２２に、Ｘ線放射器１１を直線Ｌ１を中心として１８０°円形に移動させた後の状態を一点破線で示す。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るＸ線検査装置（１）におけるＸ線受光面、及びＸ線源の動きを説明するための説明図である。
【図２】本発明に係るＸ線検査装置（１）におけるＸ線受光面、及びＸ線源の動きを説明するための説明図である。
【図３】本発明に係るＸ線検査装置（１）におけるＸ線受光面、及びＸ線源の動きを説明するための説明図である。
【図４】本発明に係るＸ線検査装置（１）におけるＸ線受光面、及びＸ線源の動きを説明するための説明図である。
【図５】Ｘ線受光面を回転運動させた状態を示した模式的平面図である。
【図６】本発明に係るＸ線検査装置（２）におけるＸ線受光面、及びＸ線源の動きを説明するための説明図である。
【図７】本発明に係るＸ線検査装置（２）におけるＸ線受光面、及びＸ線源の動きを説明するための説明図である。
【図８】本発明に係るＸ線検査装置（２）におけるＸ線受光面、及びＸ線源の動きを説明するための説明図である。
【図９】本発明に係るＸ線検査装置（２）におけるＸ線受光面、及びＸ線源の動きを説明するための説明図である。
【図１０】本発明に係るＸ線検査装置（４）におけるＸ線受光面、及びＸ線源の動きを説明するための説明図である。
【図１１】本発明に係るＸ線検査装置（４）におけるＸ線受光面、及びＸ線源の動きを説明するための説明図である。
【図１２】本発明に係るＸ線検査装置（４）におけるＸ線受光面、及びＸ線源の動きを説明するための説明図である。
【図１３】本発明に係るＸ線検査装置（４）におけるＸ線受光面、及びＸ線源の動きを説明するための説明図である。
【図１４】本発明における実施の形態（１）に係るＸ線検査装置の要部を示した概略図である。
【図１５】別の実施の形態に係るＸ線検査装置の要部を模式的に示した側面図である。
【図１６】別の実施の形態に係るＸ線検査装置の要部を模式的に示した正面図である。
【図１７】実施例１に係るＸ線検査装置の上側の要部を示した部分的断面図である。
【図１８】実施例１に係るＸ線検査装置におけるＸ線検出器と接合された回転軸、及びベアリング軸の動きを説明するための説明図である。
【図１９】実施例１に係るＸ線検査装置の上側の要部を示した部分的断面図である。
【図２０】実施例１に係るＸ線検査装置の下側の要部を示した部分的断面図である。
【図２１】実施例１に係るＸ線検査装置におけるクロスジョイント部、及びベアリング軸の動きを説明するための説明図である。
【図２２】実施例１に係るＸ線検査装置の下側の要部を示した部分的断面図である。
【図２３】ＢＧＡの一例を模式的に示した斜視図である。
【図２４】ＢＧＡが実装された状態のプリント基板を模式的に示した斜視図である。
【図２５】はんだボールの浮き上がり不良の状態を示した模式図である。
【図２６】断層撮影画像を取得する原理を説明するための説明図である。
【符号の説明】
１１ Ｘ線放射器
１２ Ｘ線検出器
１６ マイコン
１７、２０、２３ モータ
１８、２１ 円形運動手段
１９ 方向維持手段
２２ 姿勢手段
２４ 回動手段
ａ１ Ｘ線源
ｂ１ Ｘ線受光面

Claims (8)

1. 試料を挟んで、Ｘ線を放射するＸ線源とＸ線を検出するＸ線検出器とが対向して配置され、前記Ｘ線源から放射され、前記試料を透過したＸ線が前記Ｘ線検出器にて検出されるように構成されたＸ線検査装置において、
   前記Ｘ線検出器のＸ線受光面を、該Ｘ線受光面を含む所定の面上に維持させたまま、なおかつ前記Ｘ線受光面上のある２点を結ぶ直線の向きを一定方向に保たせたまま、前記Ｘ線検出器を前記所定の面と直交する第１の直線を中心として円形に運動させる第１の運動手段と、
   前記Ｘ線源を前記第１の直線を中心として、前記Ｘ線検出器に同期させて円形に運動させる第２の運動手段とを備えていることを特徴とするＸ線検査装置。
2. 前記所定の面と平行であり、前記Ｘ線源から放射されるＸ線の光軸と前記第１の直線との交点を含む第１の面上の第２の直線を中心として、前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出器とを一体的に回動させる第１の回動手段を備えていることを特徴とする請求項１記載のＸ線検査装置。
3. 前記第２の直線と直交する、前記第１の面上の第３の直線を中心として、前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出器とを一体的に回動させる第２の回動手段を備えていることを特徴とする請求項２記載のＸ線検査装置。
4. 前記Ｘ線受光面上の第４の直線を中心として、前記Ｘ線検出器を回動させる第３の回動手段を備えていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかの項に記載のＸ線検査装置。
5. 前記第２の運動手段が、前記Ｘ線源を含んで構成されたＸ線放射器を前記第１の直線を中心として、前記Ｘ線検出器に同期させて円形に運動させることによって、前記Ｘ線源の円形運動を実現するものであることを特徴とする請求項１〜４のいずれかの項に記載のＸ線検査装置。
6. 前記第２の運動手段が、前記所定の面と直交する、前記Ｘ線放射器の断面の向きを一定方向に保たせたまま、前記Ｘ線放射器を円形に運動させるものであることを特徴とする請求項５記載のＸ線検査装置。
7. 断層画像による前記試料の検査を行う場合には、前記所定の面と平行であり、前記Ｘ線源から放射されるＸ線の光軸と前記第１の直線との交点を含む第１の面と、前記試料の被検希望面とが一致するように前記試料を配置するステップと、
   前記Ｘ線受光面を前記所定の面上に維持させたまま、なおかつ前記Ｘ線受光面上のある２点を結ぶ直線の向きを一定方向に保たせたまま、前記Ｘ線検出器を前記第１の直線を中心として円形に運動させると共に、前記Ｘ線源を前記第１の直線を中心として、前記Ｘ線検出器に同期させて円形に運動させるステップとを含んでいることを特徴とする請求項１〜６のいずれかの項に記載のＸ線検査装置の使用方法。
8. 断層画像による前記試料の検査を行う場合には、前記Ｘ線検出器を前記第４の直線を中心として回動させることによって、前記Ｘ線受光面を含む前記所定の面が前記第１の直線と直交する第１の配置状態を実現させるステップを含み、
   他方、透視画像による前記試料の検査を行う場合には、前記第４の直線と平行な直線に対して、前記Ｘ線源から放射されるＸ線の光軸を直交させるステップと、
   前記Ｘ線検出器を前記第４の直線を中心として回動させることによって、前記Ｘ線受光面に対して、前記Ｘ線源から放射されるＸ線の光軸が直交するようになる第２の配置状態を実現させるステップとを含んでいることを特徴とする請求項４記載のＸ線検査装置の使用方法。

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