JP2001153819A - Ｘ線撮像装置 - Google Patents
Ｘ線撮像装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｘ線断層像の観察と、任意な角度からのＸ線
透視像とを一台の検査装置でできるようにする。 【解決手段】 透過形Ｘ線源の下方で被測定物を回転さ
せる中空回転軸と、この回転軸上で被測定物を水平方向
にＸＹ位置決めするＸＹステージと、中空回転軸を鉛直
方向に移動させるＺステージと、Ｘ線源の斜下に水平に
配設されたＸ線検出面を有し、検出したＸ線像を被測定
物と同期して回転させて断層像を得るラミノグラフ撮像
部と、Ｘ線源のＸ線出射点からの鉛直線を対称軸として
Ｘ線ラミノグラフ撮像部と対称な方向にＸ線透視撮像部
を設け、このＸ線透視撮像部を水平方向に移動可能にす
ると同時に、この水平移動に合わせて透視撮像用Ｘ線検
出部が常にＸ線源の方を向くようにし、さらに、透視撮
像用Ｘ線検出部とＸ線出射点を結ぶＸ線光軸上に被測定
点が移動させるようにした。
透視像とを一台の検査装置でできるようにする。 【解決手段】 透過形Ｘ線源の下方で被測定物を回転さ
せる中空回転軸と、この回転軸上で被測定物を水平方向
にＸＹ位置決めするＸＹステージと、中空回転軸を鉛直
方向に移動させるＺステージと、Ｘ線源の斜下に水平に
配設されたＸ線検出面を有し、検出したＸ線像を被測定
物と同期して回転させて断層像を得るラミノグラフ撮像
部と、Ｘ線源のＸ線出射点からの鉛直線を対称軸として
Ｘ線ラミノグラフ撮像部と対称な方向にＸ線透視撮像部
を設け、このＸ線透視撮像部を水平方向に移動可能にす
ると同時に、この水平移動に合わせて透視撮像用Ｘ線検
出部が常にＸ線源の方を向くようにし、さらに、透視撮
像用Ｘ線検出部とＸ線出射点を結ぶＸ線光軸上に被測定
点が移動させるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はＸ線による断層像及
び透過像撮像装置に関するものである。
び透過像撮像装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来Ｘ線により断層像を得る方法として
例えば特開平５−３１２７３５に示すようにＸ線光軸に
対して傾斜した回転軸を持つ回転ステージ上のＸＹステ
ージに被測定物を搭載し、被測定物回転ステージの回転
軸に直交するＸ線検出面で検出したＸ線像を被測定物の
回転と同期して回転させることにより、Ｘ線源とＸ線検
出面と結ぶ線と回転軸中心線とが交る回転面の断層像を
得る方法があった。Ｘ線ラミノグラフと呼ばれるこの方
法によって被測定物のＸ線透視像を見ながら所望の観察
部分に位置決めし、所望の部分の断層像を得ることがで
き、プリント基板の検査、観察に大変有効なものであ
る。
例えば特開平５−３１２７３５に示すようにＸ線光軸に
対して傾斜した回転軸を持つ回転ステージ上のＸＹステ
ージに被測定物を搭載し、被測定物回転ステージの回転
軸に直交するＸ線検出面で検出したＸ線像を被測定物の
回転と同期して回転させることにより、Ｘ線源とＸ線検
出面と結ぶ線と回転軸中心線とが交る回転面の断層像を
得る方法があった。Ｘ線ラミノグラフと呼ばれるこの方
法によって被測定物のＸ線透視像を見ながら所望の観察
部分に位置決めし、所望の部分の断層像を得ることがで
き、プリント基板の検査、観察に大変有効なものであ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一方、最近測定の必要
が高まって来た高密度実装プリント基板の接合部のよう
に、不良解析時に前述のような断層像の観察に加えて、
視角を変えて、接合部を観察する必要のある場合には、
従来の装置では任意の視野角からの斜透視観察はできな
い。本発明は、被測定物の透視画像を見ながら所望の観
察部分に位置決めしてＸ線断層像を観察し、次に所望の
斜視角から透視像を観察することができるＸ線断層像及
び可変斜視角透過撮像装置を提供することである。
が高まって来た高密度実装プリント基板の接合部のよう
に、不良解析時に前述のような断層像の観察に加えて、
視角を変えて、接合部を観察する必要のある場合には、
従来の装置では任意の視野角からの斜透視観察はできな
い。本発明は、被測定物の透視画像を見ながら所望の観
察部分に位置決めしてＸ線断層像を観察し、次に所望の
斜視角から透視像を観察することができるＸ線断層像及
び可変斜視角透過撮像装置を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成する為に、被測定物に対しＸ線を放射する透過形Ｘ線
源と、該Ｘ線源によって前記被測定物のＸ線断層像を得
る為の第１のＸ線撮像手段と、前記Ｘ線源によって前記
被測定物の可変斜視角透視像を得る第２のＸ線撮像手段
とにより、Ｘ線撮像装置を構成したものである。
成する為に、被測定物に対しＸ線を放射する透過形Ｘ線
源と、該Ｘ線源によって前記被測定物のＸ線断層像を得
る為の第１のＸ線撮像手段と、前記Ｘ線源によって前記
被測定物の可変斜視角透視像を得る第２のＸ線撮像手段
とにより、Ｘ線撮像装置を構成したものである。
【０００５】より詳しくは、透過形Ｘ線源の下方で被測
定物を回転させる中空回転軸と、この回転軸上で被測定
物をＸＹ位置決めするＸＹステージと、中空回転軸を鉛
直方向に移動させＸ線像の倍率を変えるＺステージと、
Ｘ線源の斜下に上記中空回転軸方向に直交して配設され
たＸ線検出面を有し、この検出したＸ線像を被測定物と
同期して回転させて断層像を得るＸ線ラミノグラフ撮像
部と、Ｘ線出射点からの鉛直線を対称軸としてＸ線ラミ
ノグラフ撮像部に対称な方向に、透視像検出用の第２の
Ｘ線検出部を設け、この透視像検出用Ｘ線検出部を水平
方向に移動可能にして、この水平移動に合わせて第２の
Ｘ線検出面は常にＸ線源の方を向くようにし、また同時
に被測定物を回転軸ごと水平方向に移動させることによ
り、所望の斜視角からの透視画像を得るようにしたもの
である。
定物を回転させる中空回転軸と、この回転軸上で被測定
物をＸＹ位置決めするＸＹステージと、中空回転軸を鉛
直方向に移動させＸ線像の倍率を変えるＺステージと、
Ｘ線源の斜下に上記中空回転軸方向に直交して配設され
たＸ線検出面を有し、この検出したＸ線像を被測定物と
同期して回転させて断層像を得るＸ線ラミノグラフ撮像
部と、Ｘ線出射点からの鉛直線を対称軸としてＸ線ラミ
ノグラフ撮像部に対称な方向に、透視像検出用の第２の
Ｘ線検出部を設け、この透視像検出用Ｘ線検出部を水平
方向に移動可能にして、この水平移動に合わせて第２の
Ｘ線検出面は常にＸ線源の方を向くようにし、また同時
に被測定物を回転軸ごと水平方向に移動させることによ
り、所望の斜視角からの透視画像を得るようにしたもの
である。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下本発明の一実施例を図１、図
２、図３によって説明する。図１は本発明の一実施例の
正面図（一部断面）、図２は図１の側面図、図３は図１
の平面図である。図１〜図３において、１は透過形のＸ
線源であり、この透過形Ｘ線源１の下部には被測定物で
あるプリント基板２がある。３はプリント基板２を位置
決めするＸＹステージで、Ｘ軸駆動機構２３、Ｙ軸駆動
機構２４を有する。この部分の構造をより詳細に示した
のが図４と図５である。図４は測定時におけるＸＹステ
ージ３の状態を示し、図５はＸＹの位置決め時における
ＸＹステージ３の状態を示す。同図において、３２１は
ＸＹステージベース、３２２はＸＹステージガイド、３
２５はＸステージテーブル、３２７はＸステージ駆動ネ
ジに取り付けられた傘歯車、２４２８は必要に応じて傘
歯車３２７に噛み合う傘歯車、２４２９は傘歯車２４２
８を取り付けたＸ軸駆動モータ、３３２はＹ軸ステージ
駆動ネジ、３３３はＹ軸ステージ駆動ネジ軸受、３３４
はトップテーブル、３３５はＹ軸テーブル駆動ネジナッ
トのＹ方法の移動をトップテーブル３３４に伝えるＹ軸
ステージ駆動ネジナットホルダ、３３６はＹ軸ステージ
駆動ネジ３３２に取り付けられた傘歯車、３３７はこの
傘歯車３３６に噛み合う傘歯車、２３４５はＸ軸駆動用
モータ、２４２９はＹ軸駆動用モータである。このよう
な、ＸＹステージの構造により、観察、測定時にはＸ軸
駆動用モータ２３４５とＹ軸駆動用モータ２４２９はＸ
Ｙステージから切り離される。位置決め調整の時には、
これら駆動用モータの傘歯車２４２８、２３４４と、ス
テージ側傘歯車３２７、３３７がそれぞれ噛み合い、ｘ
方向、ｙ方向それぞれに位置決めがなされる。さらに、
このＸＹステージ３にはその鉛直方向の中空回転軸４を
有する回転ステージ５が配設されている。この中空回転
軸４はＸ線源１からプリント基板２を透過したＸ線２
１、２２、２６を撮像側に通すように中心部が中空にな
っている。５は回転ステージで、中空回転軸により、回
転するとともに鉛直方向ｚに上下移動するＺステージ６
に組付けられている。７は上記Ｚステージ６全体を水平
方向（ｘ、ｙ方向）に移動するステージで、Ｚステージ
６はこの水平移動ステージ７に取付けられている。ＸＹ
ステージ３及び回転ステージ５の斜下方には平面のＸ線
検出面８が水平になるよう組付けられたラミノグラフ用
Ｘ線イメージインテンシファイア（ラミノグラフ用ＩＩ
管）９、像回転プリズム１０、プリズム回転機構１１、
高感度テレビカメラ１２で構成されるラミノグラフ撮像
部１３が配設されている。このラミノグラフ撮像部１３
は固定されており可動しない。また、Ｘ線ラミノグラフ
撮像部１３の隣には、透視用のＸ線イメージインテンシ
ファイア（Ｘ線ＩＩ管）１４が配設され、このＸ線ＩＩ
管１４は水平方向ｈに移動するＩＩ管移動ステージ１５
上に配設されたＩＩ管傾斜機構１６上に取付けられてい
る。ＩＩ管移動ステージ１５はテーブル１５１を水平方
向に案内する２本のリニアモーションガイド１５２と、
モータ１５３によって駆動され、テーブル１５１を位置
決めするボールネジ１５４によって構成されている。ま
た、ＩＩ管の傾斜機構１６はＩＩ管１４を取り付けたＩ
Ｉ管ホルダ１６１とＩＩ管ホルダ１６１を回転支持する
支持軸１６２と、支持軸１６２を回転支持する支持軸受
１６３と、支持軸１６２に取り付けられ、ＩＩ管傾斜モ
ータ１６５によって駆動されてＩＩ管１４を傾斜位置決
めするウオーム歯車１６４によって構成されている。
２、図３によって説明する。図１は本発明の一実施例の
正面図（一部断面）、図２は図１の側面図、図３は図１
の平面図である。図１〜図３において、１は透過形のＸ
線源であり、この透過形Ｘ線源１の下部には被測定物で
あるプリント基板２がある。３はプリント基板２を位置
決めするＸＹステージで、Ｘ軸駆動機構２３、Ｙ軸駆動
機構２４を有する。この部分の構造をより詳細に示した
のが図４と図５である。図４は測定時におけるＸＹステ
ージ３の状態を示し、図５はＸＹの位置決め時における
ＸＹステージ３の状態を示す。同図において、３２１は
ＸＹステージベース、３２２はＸＹステージガイド、３
２５はＸステージテーブル、３２７はＸステージ駆動ネ
ジに取り付けられた傘歯車、２４２８は必要に応じて傘
歯車３２７に噛み合う傘歯車、２４２９は傘歯車２４２
８を取り付けたＸ軸駆動モータ、３３２はＹ軸ステージ
駆動ネジ、３３３はＹ軸ステージ駆動ネジ軸受、３３４
はトップテーブル、３３５はＹ軸テーブル駆動ネジナッ
トのＹ方法の移動をトップテーブル３３４に伝えるＹ軸
ステージ駆動ネジナットホルダ、３３６はＹ軸ステージ
駆動ネジ３３２に取り付けられた傘歯車、３３７はこの
傘歯車３３６に噛み合う傘歯車、２３４５はＸ軸駆動用
モータ、２４２９はＹ軸駆動用モータである。このよう
な、ＸＹステージの構造により、観察、測定時にはＸ軸
駆動用モータ２３４５とＹ軸駆動用モータ２４２９はＸ
Ｙステージから切り離される。位置決め調整の時には、
これら駆動用モータの傘歯車２４２８、２３４４と、ス
テージ側傘歯車３２７、３３７がそれぞれ噛み合い、ｘ
方向、ｙ方向それぞれに位置決めがなされる。さらに、
このＸＹステージ３にはその鉛直方向の中空回転軸４を
有する回転ステージ５が配設されている。この中空回転
軸４はＸ線源１からプリント基板２を透過したＸ線２
１、２２、２６を撮像側に通すように中心部が中空にな
っている。５は回転ステージで、中空回転軸により、回
転するとともに鉛直方向ｚに上下移動するＺステージ６
に組付けられている。７は上記Ｚステージ６全体を水平
方向（ｘ、ｙ方向）に移動するステージで、Ｚステージ
６はこの水平移動ステージ７に取付けられている。ＸＹ
ステージ３及び回転ステージ５の斜下方には平面のＸ線
検出面８が水平になるよう組付けられたラミノグラフ用
Ｘ線イメージインテンシファイア（ラミノグラフ用ＩＩ
管）９、像回転プリズム１０、プリズム回転機構１１、
高感度テレビカメラ１２で構成されるラミノグラフ撮像
部１３が配設されている。このラミノグラフ撮像部１３
は固定されており可動しない。また、Ｘ線ラミノグラフ
撮像部１３の隣には、透視用のＸ線イメージインテンシ
ファイア（Ｘ線ＩＩ管）１４が配設され、このＸ線ＩＩ
管１４は水平方向ｈに移動するＩＩ管移動ステージ１５
上に配設されたＩＩ管傾斜機構１６上に取付けられてい
る。ＩＩ管移動ステージ１５はテーブル１５１を水平方
向に案内する２本のリニアモーションガイド１５２と、
モータ１５３によって駆動され、テーブル１５１を位置
決めするボールネジ１５４によって構成されている。ま
た、ＩＩ管の傾斜機構１６はＩＩ管１４を取り付けたＩ
Ｉ管ホルダ１６１とＩＩ管ホルダ１６１を回転支持する
支持軸１６２と、支持軸１６２を回転支持する支持軸受
１６３と、支持軸１６２に取り付けられ、ＩＩ管傾斜モ
ータ１６５によって駆動されてＩＩ管１４を傾斜位置決
めするウオーム歯車１６４によって構成されている。
【０００７】初めに、ラミノグラフ装置の動作について
説明する。なお、Ｘ線ラミノグラフにつては前記特許公
開公報の例のように周知の技術であるのでここでの詳細
な原理説明は省略する。この動作は図示しない制御装置
からの制御によって透過形Ｘ線源１からＸ線が約１３０
°の広がりを持って放射されている。この状態でＸＹス
テージ３上に固定されたプリント基板２が回転ステージ
駆動機構２０によって回転している。ラミノグラフ用Ｉ
Ｉ管９は回転するプリント基板２のＸ線透視画像を光学
像に変換し、この光学像を像回転プリズム１０とプリズ
ム回転機構１１でプリント基板２と同期して回転させ、
この像を高感度カメラ１２で撮像し、この映像信号を図
示しない画像積分装置で積分することによってＸ線源１
のＸ線出射点とＸ線検出面８の中心を結ぶＸ線光軸２１
と中空回転軸４の回転中心軸２２との交点を含む、プリ
ント基板２の回転中心軸２２に直交する面の断層像を得
ることができる。
説明する。なお、Ｘ線ラミノグラフにつては前記特許公
開公報の例のように周知の技術であるのでここでの詳細
な原理説明は省略する。この動作は図示しない制御装置
からの制御によって透過形Ｘ線源１からＸ線が約１３０
°の広がりを持って放射されている。この状態でＸＹス
テージ３上に固定されたプリント基板２が回転ステージ
駆動機構２０によって回転している。ラミノグラフ用Ｉ
Ｉ管９は回転するプリント基板２のＸ線透視画像を光学
像に変換し、この光学像を像回転プリズム１０とプリズ
ム回転機構１１でプリント基板２と同期して回転させ、
この像を高感度カメラ１２で撮像し、この映像信号を図
示しない画像積分装置で積分することによってＸ線源１
のＸ線出射点とＸ線検出面８の中心を結ぶＸ線光軸２１
と中空回転軸４の回転中心軸２２との交点を含む、プリ
ント基板２の回転中心軸２２に直交する面の断層像を得
ることができる。
【０００８】このようなラミノグラフによる断層像の観
察によってプリント基板２の問題のある部分が判明し、
さらにこの部分を斜め方向から詳しく観察したい場合に
は、斜め透視画像による観測を行う。
察によってプリント基板２の問題のある部分が判明し、
さらにこの部分を斜め方向から詳しく観察したい場合に
は、斜め透視画像による観測を行う。
【０００９】次に斜め透視画像の観測における詳細な動
作説明を行う。回転ステージ５の回転を止めＸＹステー
ジ駆動機構２３及び２４によってＸ線源１のＸ線出射点
の鉛直線２５の下に位置決めしＸ線ＩＩ管１４及びテレ
ビカメラ１７によってＸ線透視像を撮像する。さらに斜
め方向から透視観察したい場合には、ＩＩ管移動ステー
ジ１５によってＸ線ＩＩ管１４をラミノグラフ撮像部１
３から離れる方向へ移動させ、このとき、Ｘ線ＩＩ管１
４のＸ線検出面がＸ線源１のＸ線出射点に向くようＩＩ
管傾斜機構１６でＸ線ＩＩ管１４を傾斜させ、同時にＸ
線源１のＸ線出射点とＸ線ＩＩ管１４のＸ線検出面の中
心を結ぶ透視Ｘ線光軸２６上にプリント基板２の被測定
点が来るようにＸＹステージを駆動して、プリント基板
２を位置決めする。
作説明を行う。回転ステージ５の回転を止めＸＹステー
ジ駆動機構２３及び２４によってＸ線源１のＸ線出射点
の鉛直線２５の下に位置決めしＸ線ＩＩ管１４及びテレ
ビカメラ１７によってＸ線透視像を撮像する。さらに斜
め方向から透視観察したい場合には、ＩＩ管移動ステー
ジ１５によってＸ線ＩＩ管１４をラミノグラフ撮像部１
３から離れる方向へ移動させ、このとき、Ｘ線ＩＩ管１
４のＸ線検出面がＸ線源１のＸ線出射点に向くようＩＩ
管傾斜機構１６でＸ線ＩＩ管１４を傾斜させ、同時にＸ
線源１のＸ線出射点とＸ線ＩＩ管１４のＸ線検出面の中
心を結ぶ透視Ｘ線光軸２６上にプリント基板２の被測定
点が来るようにＸＹステージを駆動して、プリント基板
２を位置決めする。
【００１０】このような動作の繰返しによって任意の点
の被測定部分の断層像と斜視透視像を得ることができ
る。また斜視角を変えたい場合にはＩＩ管移動ステージ
１５の位置を変え、これに応じてＩＩ管１４の傾斜及び
ＸＹステージ３の位置を変えれば良い。一方、断層位置
を変えたい場合にはＺステージの位置を変えることによ
りＸ線光軸２１と回転中心軸２２の交点を変えれば良
い。Ｘ線倍率を変えるにはＺステージの位置を大きく変
えＸ線源と被測定物及びＸ線源とＸ線検出面間の距離を
変えた後上記同様の動作によって断層像及び透視像を得
ることができる。
の被測定部分の断層像と斜視透視像を得ることができ
る。また斜視角を変えたい場合にはＩＩ管移動ステージ
１５の位置を変え、これに応じてＩＩ管１４の傾斜及び
ＸＹステージ３の位置を変えれば良い。一方、断層位置
を変えたい場合にはＺステージの位置を変えることによ
りＸ線光軸２１と回転中心軸２２の交点を変えれば良
い。Ｘ線倍率を変えるにはＺステージの位置を大きく変
えＸ線源と被測定物及びＸ線源とＸ線検出面間の距離を
変えた後上記同様の動作によって断層像及び透視像を得
ることができる。
【００１１】例えば、図６に断面図を示すような、プリ
ント基板２０１にＬＳＩチップ２００をバンプ２０２〜
２０５で接合すべきプリント基板実装部の接合不良解析
を説明する場合、まず、ラミノグラフ撮像部でＡＡ断面
を観察すると図７に示すように、バンプ２０３の部分の
断層像が認められず、この部分の接合不良であることが
分かる。そこで、次に、バンプ接合部を斜視、観察する
と図８のような斜視透視画像が得られ、バンプ２０３の
形状が偏平になっており、バンプ２０３の形状不良が原
因であることが分かる。この一例からも理解できるよう
に、本発明によれば実装プリント基板の解析能力を著し
く向上することができる。
ント基板２０１にＬＳＩチップ２００をバンプ２０２〜
２０５で接合すべきプリント基板実装部の接合不良解析
を説明する場合、まず、ラミノグラフ撮像部でＡＡ断面
を観察すると図７に示すように、バンプ２０３の部分の
断層像が認められず、この部分の接合不良であることが
分かる。そこで、次に、バンプ接合部を斜視、観察する
と図８のような斜視透視画像が得られ、バンプ２０３の
形状が偏平になっており、バンプ２０３の形状不良が原
因であることが分かる。この一例からも理解できるよう
に、本発明によれば実装プリント基板の解析能力を著し
く向上することができる。
【００１２】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば一台のＸ
線検査装置のみで被測定物の任意の部分の断層像と、任
意の視角からの斜視透視観察ができ、被測定物の検査能
力、解析能力を大幅に向上できる。また透過形Ｘ線源の
Ｘ線出射角が大きいことと、Ｘ線ラミノグラフ撮像装置
が被測定物回転軸に対して傾斜した方向に配設される特
性を利用して、このＸ線ラミノグラフ撮像装置と対称位
置にＸ線透視撮像装置を配設することにより小形で多機
能なＸ線検査装置を構成できる。
線検査装置のみで被測定物の任意の部分の断層像と、任
意の視角からの斜視透視観察ができ、被測定物の検査能
力、解析能力を大幅に向上できる。また透過形Ｘ線源の
Ｘ線出射角が大きいことと、Ｘ線ラミノグラフ撮像装置
が被測定物回転軸に対して傾斜した方向に配設される特
性を利用して、このＸ線ラミノグラフ撮像装置と対称位
置にＸ線透視撮像装置を配設することにより小形で多機
能なＸ線検査装置を構成できる。
【図１】本発明の一実施例の正面一部断面図
【図２】本発明の一実施例の側面図
【図３】本発明の一実施例の平面図
【図４】本発明の一実施例の部分拡大正面図
【図５】本発明の一実施例の部分拡大正面図
【図６】本発明の一実施例の説明図
【図７】本発明の一実施例の説明図
【図８】本発明の一実施例の説明図
１：Ｘ線源、２：被測定物、３：ＸＹステージ、５；回
転ステージ、６：Ｚステージ、７：水平移動ステージ、
９：ラミノグラフ用イメージインテンシティ、１０：回
転プリズム、１２：高感度テレビカメラ、１４：透視撮
像用イメージインテンシティ、１６：ＩＩ管傾斜機構、
１７：テレビカメラ。
転ステージ、６：Ｚステージ、７：水平移動ステージ、
９：ラミノグラフ用イメージインテンシティ、１０：回
転プリズム、１２：高感度テレビカメラ、１４：透視撮
像用イメージインテンシティ、１６：ＩＩ管傾斜機構、
１７：テレビカメラ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G001 AA01 BA11 CA01 DA02 GA04 GA08 GA13 HA12 HA13 HA14 HA20 JA08 JA11 JA20 KA03 LA11 MA05 PA11 PA12
Claims (6)
- 【請求項１】 被測定物に対しＸ線を放射する透過形Ｘ
線源と、該Ｘ線源によって前記被測定物のＸ線断層像を
得る為の第１のＸ線撮像手段と、前記Ｘ線源によって前
記被測定物の可変斜視角透視像を得る第２のＸ線撮像手
段とを有することを特徴とするＸ線撮像装置。 - 【請求項２】 被測定物に対しＸ線を放射するＸ線源
と、前記被測定物を載置するステージと、前記Ｘ線源に
よって該ステージ上の前記被測定物のＸ線断層像を得る
為の第１のＸ線撮像手段と、前記Ｘ線源によって前記ス
テージ上の前記被測定物の可変斜視角透視像を得る第２
のＸ線撮像手段と、該第２の撮像手段の移動機構とを有
することを特徴とするＸ線撮像装置。 - 【請求項３】 前記請求項２において、前記被測定物を
載置するステージはＸ線の放射方向に対して傾斜した軸
を中心に被測定物を回転させる手段を有し、前記第１の
Ｘ線撮像手段は該被測定物回転手段の回転軸の軸方向に
直交するＸ線検出面を持つＸ線−光学像変換手段と、該
Ｘ線−光学像変換手段で生成した光学像を前記被測定物
の回転と同期して回転させる回転プリズムと、該回転プ
リズムにより回転する光学像を電気信号に変換する光学
像−電気信号変換手段とを有することを特徴とするＸ線
撮像装置。 - 【請求項４】 前記請求項２において、前記第２のＸ線
撮像手段は前記Ｘ線源のＸ線出射点を通る鉛直線から遠
近方向に水平移動させる移動手段を有し、かつ、該水平
移動手段による第２のＸ線撮像手段の水平移動に伴って
第２Ｘ線撮像部のＸ線検出面が前記Ｘ線出射点に常に向
くよう傾斜させるＸ線検出面傾斜手段とを有し、前記被
測定物を載置するステージは前記第２Ｘ線撮像部水平移
動手段の水平移動に伴って被測定物を水平移動させる被
測定物水平移動手段を有することを特徴とするＸ線撮像
装置。 - 【請求項５】 前記請求項２において、前記被測定物を
載置するステージは前記Ｘ線源の下方で被測定物を回転
させる中空回転軸と、該回転軸上で被測定物をＸＹ位置
決めするＸＹステージ部と、前記中空回転軸を鉛直方向
に移動させＸ線像の倍率を変えるＺステージ部とを有す
ることを特徴とするＸ線撮像装置。 - 【請求項６】 Ｘ線を放射する透過形Ｘ線源と、このＸ
線源の下方に配設され、被測定物を水平平面内で回転さ
せる被測定物回転手段と、この被測定物回転手段上で被
測定物を水平面内でＸＹ方向に位置決めするＸＹ位置決
め手段と、このＸＹ位置決め手段と被測定物回転手段と
を鉛直方向に位置決めするＺ位置決め手段と、前記Ｘ線
源のＸ線出射点から鉛直線に対し傾斜した方向に配設さ
れ、かつ前記回転手段の回転軸に直交するＸ線検出面を
持つＸ線−光学像変換手段と、このＸ線−光学像変換手
段で生成した光学像を映像信号に変換する光学像−映像
信号変換手段と、この光学像を被測定物と同期させて回
転する光学像回転手段で構成される第１のＸ線撮像手段
と、前記Ｘ線出射点を通る鉛直線を対称軸として前記第
１のＸ線撮像手段と対称な方向に配設された第２のＸ線
撮像手段と、この第２のＸ線撮像手段を前記Ｘ線出射点
を通る鉛直線から遠近方向に水平移動させる第２Ｘ線撮
像部水平移動手段と、この水平移動に伴って第２Ｘ線撮
像部のＸ線検出面をＸ線出射点に向くよう傾斜させるＸ
線検出面傾斜手段と、前記第２Ｘ線撮像部水平移動手段
の水平移動に伴って前記回転手段及び前記ＸＹ位置決め
手段を水平移動させる被測定物水平移動手段を具備する
ことを特徴とするＸ線撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33569599A JP2001153819A (ja) | 1999-11-26 | 1999-11-26 | Ｘ線撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33569599A JP2001153819A (ja) | 1999-11-26 | 1999-11-26 | Ｘ線撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001153819A true JP2001153819A (ja) | 2001-06-08 |
Family
ID=18291464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33569599A Pending JP2001153819A (ja) | 1999-11-26 | 1999-11-26 | Ｘ線撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001153819A (ja) |
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- 1999-11-26 JP JP33569599A patent/JP2001153819A/ja active Pending
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|
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