JP2015502555A - Smtインライン用の自動x線検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (12)
- 被検査体を装着脱自在に支持し、平面上のX軸、Y軸移動及び回転が可能なステージユニットと、
前記ステージユニットの下側に配置されて、前記ステージユニットにセッティングされた前記被検査体に向けてX線を照射するX線真空チューブと、
前記ステージユニットの上側で片側へ旋回できるように配置され、前記被検査体を透過したX線を検出するディテクタと、を含み、
前記X線真空チューブは、前記ディテクタの旋回に対して同期旋回する一方で、前記X線真空チューブのX−ray放出面が前記ステージユニットと平行に設定され、
前記ステージユニットは中空軸を備え、前記中空軸を回転自在に支持する中空ベアリングを備え、
前記ディテクタは、前記被検査体を透過したX線がイオン化されたものを電気的信号に変換し、この変換された電気的信号を増幅してデジタル映像信号に変換し、
前記ディテクタから伝送された複数のデジタル映像信号を高速リコンストラクション(reconstruction)した後、3次元検査を行うイメージ処理部を更に含み、
前記イメージ処理部は、高速リコンストラクションを行うために、少なくとも4つのGPUコア(Graphics Processing Unit Core)を含むことを特徴とする自動X線検査装置。 - 前記ステージユニットは、電源を前記ステージユニットに伝送するためのケーブルを備え、前記ケーブルは、ケーブル間のねじれや干渉を防止することができるフラットケーブル(flat cable)であることを特徴とする請求項1に記載の自動X線検査装置。
- 前記フラットケーブルは、前記中空軸の外側に螺旋方向に巻回配置されることを特徴とする請求項2に記載の自動X線検査装置。
- 前記フラットケーブルは、前記中空軸を包み込むリング状のケーブル収容部材に収まり、前記ケーブル収容部材は、前記フラットケーブルの収まる面が平面に形成されることを特徴とする請求項3に記載の自動X線検査装置。
- 前記中空ベアリングは、クロスローラベアリングからなり、前記クロスローラベアリングの外輪はベアリングハウジングにクランピング(clamping)され、内輪は中空軸にクランピングされることを特徴とする請求項1に記載の自動X線検査装置。
- 前記外輪及び内輪は、クランピングされる地点がそれぞれ少なくとも3地点であり、前記3地点は相互同一の角度に設定されることを特徴とする請求項5に記載の自動X線検査装置。
- 前記ステージユニットは、電源を前記ステージユニットに伝送するために、前記ステージユニットと電気的に接続されて前記ステージユニットとともに回転するスリップリングと、
前記スリップリングに接触して電源を印加する給電ブラシと、を含むことを特徴とする請求項1に記載の自動X線検査装置。 - 前記ステージユニットは、被検査体のCT撮影のために、動力伝達部から駆動力が印加されて時計回りに360度回転した後、反時計回りに360度回転し、
前記ディテクタは、前記ステージユニットの時計回りへの回転時及び反時計回りへの回転時、それぞれ撮影を行うことを特徴とする請求項1に記載の自動X線検査装置。 - 前記動力伝達部は、
駆動モータと、
前記駆動モータの駆動軸に結合される駆動プーリ(pulley)と、
前記中空軸の下端に沿って結合される縦動プーリと、
前記ステージユニットの回転角度を検出するためのエンコーダと、
前記駆動プーリ、縦動プーリ及びエンコーダを連結するタイミングベルトと、を含むことを特徴とする請求項8に記載の自動X線検査装置。 - 前記駆動モータは、少なくとも180°/秒の駆動速度で駆動するサーボモータ(servo motor)であることを特徴とする請求項9に記載の自動X線検査装置。
- 前記ディテクタは、前記エンコーダによって発生する信号に応じて、少なくとも120フレーム/秒でスキャニングすることを特徴とする請求項10に記載の自動X線検査装置。
- 前記X線真空チューブは、前記ステージユニットと分離された状態を保持し、水平移動及び垂直移動することを特徴とする請求項1に記載の自動X線検査装置。
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