JP2022084112A - Ｘ線検査装置用の回転機構、ｘ線検査装置およびｘ線検査装置用の回転機構の調整方法 - Google Patents

Abstract

【課題】回転する被検査体の回転軌跡を真円に近づけることが可能なＸ線検査装置用の回転機構を提供する。【解決手段】このＸ線検査装置用の回転機構では、軸受１２の外輪１５を変形させて外輪１５の形状を調整するための複数の調整部材１７が軸受１２の周方向に配列されている。調整部材１７は、調整部材保持部１１ｃに対して軸受１２の径方向に移動可能になっているとともに、外輪１５の外周面に接触可能になっている。軸受１２の径方向における外輪１５の外周面と調整部材保持部１１ｃとの間には、外輪１５を変形させるための隙間Ｓが形成されている。【選択図】図３

Description

本発明は、工業製品等の被検査体を非破壊で検査するためのＸ線検査装置で使用されるＸ線検査装置用の回転機構に関する。また、本発明は、このＸ線検査装置用の回転機構を備えるＸ線検査装置に関する。さらに、本発明は、Ｘ線検査装置で使用されるＸ線検査装置用の回転機構の調整方法に関する。

従来、平板状の基板を検査するための検査装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の検査装置は、Ｘ線等の放射線を基板に照射する放射線発生器と、基板を保持する基板保持部と、基板の画像を撮影する検出器とを備えている。基板は、たとえば、基板の厚さ方向と上下方向とが一致するように基板保持部に保持されている。放射線発生器は、基板保持部の上側に配置され、検出器は、基板保持部の下側に配置されている。また、特許文献１に記載の検査装置は、基板保持部駆動部を備えている。基板保持部駆動部は、基板保持部を平行移動させる平行移動機構と、基板保持部を回転させる回転機構とを備えている。

また、従来、特許文献１に記載の検査装置のように平板状の基板を検査するための検査装置として、たとえば、図５に示すように、基板１０１を保持する基板保持部１０２と、基板保持部１０２を水平方向の２方向へ移動させるＸＹテーブル１０３と、ＸＹテーブル１０３が搭載される回転機構１０４とを備える検査装置も使用されている。この検査装置では、基板保持部１０２の上側に放射線発生器が配置され、回転機構１０４の下側に検出器が配置されている。

回転機構１０４は、上下方向を回転の軸方向としてＸＹテーブル１０３を回転させる。基板保持部１０２、ＸＹテーブル１０３および回転機構１０４には、上下方向で貫通する貫通穴が形成されており、放射線発生器から射出された放射線は、この貫通穴を通過する。回転機構１０４は、たとえば、ＸＹテーブル１０３が固定されるテーブル１０５と、テーブル１０５を回転可能に保持するテーブル保持部材１０６と、テーブル１０５を回転させる駆動機構とを備えている。

テーブル１０５とテーブル保持部材１０６との間には、比較的内径の大きい転がり軸受け１０７が配置されている。転がり軸受け１０７の外輪は、テーブル保持部材１０６に固定され、転がり軸受け１０７の内輪は、テーブル１０５に固定されている。テーブル保持部材１０６には、たとえば、円筒状の外輪固定部１０６ａが形成されており、転がり軸受け１０７の外輪は、外輪固定部１０６ａの内周側に圧入されて固定されている。この場合には、転がり軸受け１０７の外輪をテーブル保持部材１０６に精度良く固定することが可能になる。

特開２０１９－６０８０８号公報

図５に示すように、転がり軸受け１０７の外輪が外輪固定部１０６ａの内周側に圧入されて固定されている場合には、外輪固定部１０６ａの内周面の形状に応じて転がり軸受け１０７の外輪が変形するおそれがある。転がり軸受け１０７の外輪が変形すると、転がり軸受け１０７の外輪に沿って回転する転がり軸受け１０７の内輪およびテーブル１０５の回転軌跡が真円からかけ離れた軌跡になるおそれがある。すなわち、転がり軸受け１０７の外輪が変形すると、基板１０１の回転軌跡が真円からかけ離れた軌跡になるおそれがある。また、基板１０１の回転軌跡が真円からかけ離れた軌跡になると、検出器で取得された基板１０１の複数枚の画像に基づいて再構成される再構成画像の精度が低下するおそれがある。

そこで、本発明の課題は、Ｘ線検査装置で使用されるＸ線検査装置用の回転機構において、回転する被検査体の回転軌跡を真円に近づけることが可能なＸ線検査装置用の回転機構を提供することにある。また、本発明の課題は、このＸ線検査装置用の回転機構を備えるＸ線検査装置を提供することにある。さらに、本発明の課題は、Ｘ線検査装置で使用されるＸ線検査装置用の回転機構の調整方法において、回転する被検査体の回転軌跡を真円に近づけることが可能となるＸ線検査装置用の回転機構の調整方法を提供することにある。

上記の課題を解決するため、本発明のＸ線検査装置用の回転機構は、Ｘ線発生器と、Ｘ線発生器との間で被検査体を挟むように配置されるＸ線検出器とを有するＸ線検査装置で使用されるＸ線検査装置用の回転機構であって、テーブルと、テーブルを回転可能に保持するテーブル保持部材と、テーブルおよびテーブル保持部材のいずれか一方に固定される円環状の内輪とテーブルおよびテーブル保持部材のいずれか他方に固定される円環状の外輪とを有する転がり軸受と、外輪を変形させて外輪の形状を調整するための３個以上の複数の調整部材とを備え、複数の調整部材は、転がり軸受の周方向に配列され、外輪が固定されるテーブルまたはテーブル保持部材は、調整部材を移動可能に保持するとともに外輪の外周側に配置される調整部材保持部を備え、調整部材は、調整部材保持部に対して転がり軸受の径方向に移動可能になっているとともに、外輪の外周面に接触可能になっており、転がり軸受の径方向における外輪の外周面と調整部材保持部との間には、外輪を変形させるための隙間が形成されていることを特徴とする。本発明において、外輪は、たとえば、テーブル保持部材に固定されている。

本発明のＸ線検査装置用の回転機構では、外輪を変形させて外輪の形状を調整するための３個以上の複数の調整部材が、転がり軸受の周方向に配列されている。また、本発明では、調整部材は、調整部材保持部に対して転がり軸受の径方向に移動可能になっているとともに、外輪の外周面に接触可能になっている。さらに、本発明では、転がり軸受の径方向における外輪の外周面と調整部材保持部との間には、外輪を変形させるための隙間が形成されている。そのため、本発明では、Ｘ線検査装置用の回転機構によって回転する被検査体の回転軌跡が真円に近づくように、調整部材を用いて外輪の形状を調整した状態でテーブルまたはテーブル保持部材に外輪を固定することが可能になる。したがって、本発明では、Ｘ線検査装置用の回転機構によって回転する被検査体の回転軌跡を真円に近づけることが可能になる。

本発明において、調整部材は、ネジからなる調整用ネジであり、調整部材保持部には、調整用ネジが係合するとともに転がり軸受の径方向で貫通するネジ穴が形成されていることが好ましい。このように構成すると、調整用ネジの回転量に応じて外輪を変形させることが可能になる。したがって、外輪の形状を容易に調整することが可能になる。

本発明において、Ｘ線検査装置用の回転機構は、調整用ネジの緩みを防止するための緩み防止用ネジを備え、緩み防止用ネジは、転がり軸受の径方向における調整用ネジの外側からネジ穴に係合していることが好ましい。このように構成すると、調整用ネジが係合するネジ穴に緩み防止用ネジを係合させることで、調整用ネジの緩みを防止することが可能になるため、簡易な構成で調整用ネジの緩みを防止することが可能になる。

本発明において、転がり軸受は、たとえば、クロスローラ軸受である。この場合には、Ｘ線検査装置用の回転機構によって回転する被検査体の回転精度を高めることが可能になる。また、本発明において、たとえば、Ｘ線検査装置は、上述のＸ線検査装置用の回転機構を備えている。

また、上記の課題を解決するため、本発明のＸ線検査装置用の回転機構の調整方法は、テーブルと、テーブルを回転可能に保持するテーブル保持部材と、テーブルおよびテーブル保持部材のいずれか一方に固定される円環状の内輪とテーブルおよびテーブル保持部材のいずれか他方に固定される円環状の外輪とを有する転がり軸受とを備え、被検査体を挟むように配置されるＸ線発生器およびＸ線検出器を有するＸ線検査装置で使用されるＸ線検査装置用の回転機構の調整方法であって、外輪を変形させて外輪の形状を調整するための調整部材を外輪の外周面に接触させて、外輪の形状を調整した状態で、外輪をテーブルまたはテーブル保持部材に固定することを特徴とする。

本発明のＸ線検査装置用の回転機構の調整方法では、外輪を変形させて外輪の形状を調整するための調整部材を外輪の外周面に接触させて、外輪の形状を調整した状態で、外輪をテーブルまたはテーブル保持部材に固定している。そのため、本発明では、Ｘ線検査装置用の回転機構によって回転する被検査体の回転軌跡が真円に近づくように、調整部材を用いて外輪の形状を調整した状態でテーブルまたはテーブル保持部材に外輪を固定することが可能になる。したがって、本発明のＸ線検査装置用の回転機構の調整方法で調整を行えば、Ｘ線検査装置用の回転機構によって回転する被検査体の回転軌跡を真円に近づけることが可能になる。

以上のように、本発明のＸ線検査装置用の回転機構では、回転する被検査体の回転軌跡を真円に近づけることが可能になる。また、本発明のＸ線検査装置用の回転機構の調整方法で調整を行えば、回転する被検査体の回転軌跡を真円に近づけることが可能になる。

本発明の実施の形態にかかるＸ線検査装置の概略構成を説明するための図である。 （Ａ）は、図１に示すテーブル保持部材の平面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＥ部の拡大図である。 図１のＦ部の構成を説明するための拡大図である。 本発明の他の実施の形態にかかるテーブル保持部材および転がり軸受の構成を説明するための図である。 従来技術にかかる検査装置用の回転機構の構成を説明するための図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

（Ｘ線検査装置の構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかるＸ線検査装置１の概略構成を説明するための図である。

本形態のＸ線検査装置１は、工業製品等の被検査体２を非破壊で検査するための装置である。本形態の被検査体２は、平板状に形成されるガラスエポキシ基板等の基板（回路基板）である。したがって、以下では、被検査体２を「基板２」とする。基板２には、ＩＣチップ等の電子部品が実装されており、Ｘ線検査装置１では、いわゆる斜めＣＴによって、基板２と電子部品との接合部分の検査が行われる。そのため、Ｘ線検査装置１での検査では、たとえば、ミクロン単位の高い検査精度が要求される。

Ｘ線検査装置１は、基板２にＸ線を照射するＸ線発生器３と、Ｘ線発生器３との間で基板２を挟むように配置されるとともに基板２のＸ線画像を取得するＸ線検出器４と、基板２が載置される載置台５と、載置台５が取り付けられるＸＹテーブル６と、ＸＹテーブル６が搭載される回転機構（Ｘ線検査装置用の回転機構）７とを備えている。基板２は、基板２の厚さ方向と上下方向とが一致するように載置台５に載置される。

Ｘ線発生器３は、基板２に向かって円錐状のＸ線を射出する。Ｘ線検出器４は、二次元のＸ線検出器（エリアセンサ）である。Ｘ線検出器４は、Ｘ線検出器４の受光面がＸ線発生器３側を向くように配置されており、Ｘ線検出器４には、基板２の透視像が写し出される。Ｘ線発生器３とＸ線検出器４とは、上下方向において基板２を挟むように配置されている。Ｘ線発生器３とＸ線検出器４との間には、基板２の一部分が挟まれている。載置台５は、ＸＹテーブル６の上端部に着脱可能に取り付けられている。ＸＹテーブル６は、回転機構７の上端に取り付けられており、回転機構７の上側に配置されている。Ｘ線発生器３は、基板２よりも上側に配置されている。Ｘ線検出器４は、回転機構７よりも下側に配置されている。

ＸＹテーブル６は、載置台５が取り付けられる第１移動テーブルと、上下方向に直交するＸ方向に第１移動テーブルを移動させる第１テーブル駆動機構と、第１移動テーブルおよび第１テーブル駆動機構が搭載される第２移動テーブルと、上下方向とＸ方向とに直交するＹ方向に第２移動テーブルを移動させる第２テーブル駆動機構と、第２移動テーブルおよび第２テーブル駆動機構が搭載される固定テーブルとを備えている。載置台５、第１移動テーブル、第２移動テーブルおよび固定テーブルには、Ｘ線発生器３から射出されるＸ線を通過させるための貫通穴が形成されている。

回転機構７は、ＸＹテーブル６の固定テーブルが取り付けられるテーブル１０と、テーブル１０を回転可能に保持するテーブル保持部材１１と、テーブル１０とテーブル保持部材１１との間に配置される転がり軸受１２とを備えている。回転機構７は、上下方向を回転の軸方向として、ＸＹテーブル６を回転させる。すなわち、回転機構７は、上下方向を回転の軸方向として、載置台５に載置される基板２を回転させる。回転機構７の具体的な構成については後述する。

Ｘ線検査装置１で基板２の検査を行うときには、回転機構７が等速で回転させている基板２に、Ｘ線発生器３がＸ線を照射する。Ｘ線検出器４は、基板２の透視像が写る二次元のＸ線画像を順次、複数枚取得する。具体的には、Ｘ線検出器４は、基板２が一定角度回転するごとに、Ｘ線画像を連続的に取得する。Ｘ線検出器４で取得された複数枚のＸ線画像は、たとえば、ＰＣ（パーソナルコンピュータ）に取り込まれる。ＰＣは、複数枚のＸ線画像に基づいて所定の演算処理を行って基板２のＣＴ画像を生成する。なお、Ｘ線検査装置１で基板２の検査を行うときに、３６０°の等分割位置においてテーブル１０を一時停止させながら、順次、Ｘ線検出器４が、基板２の透視像が写る二次元のＸ線画像を取得しても良い。

（回転機構の構成）
図２（Ａ）は、図１に示すテーブル保持部材１１の平面図であり、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）のＥ部の拡大図である。図３は、図１のＦ部の構成を説明するための拡大図である。

回転機構７は、上述のテーブル１０、テーブル保持部材１１および転がり軸受１２に加えて、テーブル１０を回転させる駆動機構（図示省略）を備えている。駆動機構は、たとえば、駆動源としてのモータと、モータの動力をテーブル１０に伝達する動力伝達機構とを備えている。モータは、テーブル保持部材１１に固定されている。動力伝達機構は、たとえば、モータの出力軸に固定される駆動歯車と、テーブル１０に固定される円環状かつ大径の従動歯車とを備えている。

転がり軸受１２（以下「軸受１２」とする。）は、クロスローラ軸受である。軸受１２は、テーブル１０に固定される円環状の内輪１４と、テーブル保持部材１１に固定される円環状の外輪１５と、内輪１４と外輪１５との間に配置される複数のローラ（ころ）１６とを備えている。軸受１２は、比較的大型の軸受であり、内輪１４の内径は、たとえば、５００ｍｍとなっている。外輪１５は、上下方向に分割される２個の外輪部材によって構成されている。２個の外輪部材は、図示を省略するネジによって互いに固定されている。なお、外輪１５は、２個の外輪部材に分割されていなくても良い。すなわち、外輪１５は、１個の部材によって構成されていても良い。この場合には、内輪１４が、上下方向に分割される２個の内輪部材によって構成されていても良い。

また、回転機構７は、回転機構７の組立時に外輪１５を変形させて外輪１５の形状を調整するための３個以上の複数の調整部材１７を備えている。本形態の調整部材１７は、ネジからなる調整用ネジである。したがって、以下では、調整部材１７を「調整用ネジ１７」とする。本形態の回転機構７は、たとえば、１２本の調整用ネジ１７を備えている。さらに、回転機構７は、調整用ネジ１７の緩みを防止するための緩み防止用ネジ１８を備えている。回転機構７は、調整用ネジ１７と同数の緩み防止用ネジ１８を備えている。すなわち、回転機構７は、１２本の緩み防止用ネジ１８を備えている。

テーブル１０は、内輪１４の内周側に配置されている。テーブル１０は、内輪１４が固定される円環状の第１テーブル部材１９と、第１テーブル部材１９が固定されるとともにＸＹテーブル６の固定テーブルが固定される円環状の第２テーブル部材２０とから構成されている。Ｘ線発生器３から射出されるＸ線は、円環状に形成される第１テーブル部材１９および第２テーブル部材２０の内周側を通過する。内輪１４は、固定用ネジ（図示省略）によって第１テーブル部材１９に固定されている。第１テーブル部材１９は、固定用ネジ（図示省略）によって第２テーブル部材２０に固定されている。ＸＹテーブル６の固定テーブルは、固定用ネジ（図示省略）によって第２テーブル部材２０に固定される。

テーブル保持部材１１は、円環状に形成されている。Ｘ線発生器３から射出されるＸ線は、円環状に形成されるテーブル保持部材１１の内周側を通過する。テーブル保持部材１１には、外輪１５が載置される載置面１１ａが形成されている。載置面１１ａは、円環状に形成されるテーブル保持部材１１の中心を曲率中心とする円環状に形成されている。また、載置面１１ａは、上下方向に直交する平面である。載置面１１ａに載置される外輪１５は、軸受１２の周方向に配列される複数の固定用ネジ２３によってテーブル保持部材１１に固定されている。

外輪１５は、たとえば、１２本の固定用ネジ２３によってテーブル保持部材１１に固定されている。１２本の固定用ネジ２３は、軸受１２の周方向において一定のピッチで配列されている。すなわち、１２本の固定用ネジ２３は、テーブル保持部材１１の中心に対して等角度ピッチ（３０°ピッチ）で配列されている。テーブル保持部材１１には、固定用ネジ２３の軸部に形成されるオネジが係合するネジ穴１１ｂが形成されている。ネジ穴１１ｂは、載置面１１ａから下側に向かって窪んでいる。

外輪１５には、固定用ネジ２３の軸部が挿通される挿通穴１５ａが形成されている。挿通穴１５ａは、上下方向で外輪１５を貫通する丸穴である。本形態では、調整用ネジ１７による外輪１５の変形が可能となるように、挿通穴１５ａの内径は、固定用ネジ２３の軸部の外径よりも大きくなっている。すなわち、挿通穴１５ａは、いわゆるばか穴である。固定用ネジ２３の軸部は、外輪１５の上側から挿通穴１５ａに挿通されており、固定用ネジ２３の頭部は、外輪１５の上側に配置されている。

テーブル保持部材１１の、載置面１１ａの外周側には、調整用ネジ１７を移動可能に保持する調整部材保持部としてのネジ保持部１１ｃが形成されている。すなわち、テーブル保持部材１１は、外輪１５の外周側に配置されるネジ保持部１１ｃを備えている。ネジ保持部１１ｃは、載置面１１ａよりも上側に突出する円筒状に形成されている。また、ネジ保持部１１ｃは、テーブル保持部材１１の中心を軸心とする円筒状に形成されている。なお、本形態のネジ保持部１１ｃは、載置面１１ａが形成されるテーブル保持部材１１の本体部と一体で形成されているが、テーブル保持部材１１の本体部と別体で形成されたネジ保持部１１ｃがテーブル保持部材１１の本体部に固定されていても良い。

ネジ保持部１１ｃには、調整用ネジ１７が係合するネジ穴１１ｄが形成されている。本形態では、１２個のネジ穴１１ｄがネジ保持部１１ｃに形成されている。ネジ穴１１ｄは、ネジ保持部１１ｃの径方向においてネジ保持部１１ｃを貫通している。すなわち、ネジ穴１１ｄは、軸受１２の径方向においてネジ保持部１１ｃを貫通している。１２個のネジ穴１１ｄは、軸受１２の周方向において一定のピッチで配列されている。すなわち、１２個のネジ穴１１ｄは、テーブル保持部材１１の中心に対して等角度ピッチ（３０°ピッチ）で配列されている。ネジ穴１１ｄは、軸受１２の周方向においてネジ穴１１ｂからわずかにずれた位置に形成されており、軸受１２の周方向においてネジ穴１１ｂの近傍に形成されている。

図３に示すように、軸受１２の径方向における外輪１５とネジ保持部１１ｃとの間には、外輪１５を変形させるための隙間Ｓが形成されている。すなわち、軸受１２の径方向における外輪１５の外周面とネジ保持部１１ｃの内周面との間には、外輪１５を変形させるための隙間Ｓが形成されている。隙間Ｓは、軸受１２の周方向における全域に形成されている。隙間Ｓは、たとえば、１ｍｍ未満の隙間である。

調整用ネジ１７は、たとえば、頭部を有しない六角穴付き止めネジである。調整用ネジ１７は、ネジ穴１１ｄに係合しており、外輪１５の外周側に配置されている。１２本の調整用ネジ１７は、軸受１２の周方向に配列されている。具体的には、１２本の調整用ネジ１７は、軸受１２の周方向において一定のピッチで配列されており、テーブル保持部材１１の中心に対して等角度ピッチ（３０°ピッチ）で配列されている。また、調整用ネジ１７は、ネジ保持部１１ｃに対して軸受１２の径方向に移動可能となっている。すなわち、１２本の調整用ネジ１７は、テーブル保持部材１１の中心に対して放射状に配置されている。調整用ネジ１７の一端は、外輪１５の外周面に接触可能となっている。

緩み防止用ネジ１８は、調整用ネジ１７と同様に、六角穴付き止めネジである。緩み防止用ネジ１８は、ネジ穴１１ｄに係合している。具体的には、緩み防止用ネジ１８は、軸受１２の径方向における調整用ネジ１７の外側からネジ穴１１ｄに係合している。緩み防止用ネジ１８は、調整用ネジ１７の他端に所定の接触圧で接触することで、調整用ネジ１７の緩みを防止している。

（回転機構の調整方法）
Ｘ線検査装置１では、回転機構７によって回転する基板２の回転軌跡を真円に近づけるため、回転機構７の組立時に、調整用ネジ１７を外輪１５の外周面に接触させて外輪１５の形状を調整した状態で外輪１５をテーブル保持部材１１に固定する。具体的には、まず、円筒スコヤが載置される載置台を第２テーブル部材２０の上面に固定して、載置台に円筒スコヤを載置する。その状態でテーブル１０を回転させながら、円筒スコヤの外周面の変位をダイヤルゲージ等で検出するとともに、円筒スコヤの外周面の変位の検出結果に基づいて、テーブル１０の回転中心と円筒スコヤの軸心とがほぼ一致するように、載置台に載置される円筒スコヤの位置を調整する。このときには、調整用ネジ１７は、外輪１５の外周面に接触していない。また、緩み防止用ネジ１８は、取り外されている。

その後、テーブル１０を回転させながら、円筒スコヤの外周面の変位を検出するとともに、円筒スコヤの外周面の変位の検出結果に基づいて、円筒スコヤの回転軌跡が真円に近づくように、外輪１５を変形させて外輪１５の形状を調整する。具体的には、円筒スコヤの外周面の変位の検出結果に基づいて、外輪１５の変形させたい箇所に最も近い固定用ネジ２３を緩めるとともに、この固定用ネジ２３に最も近い調整用ネジ１７を回し、軸受１２の径方向の内側に向かって調整用ネジ１７を移動させて、外輪１５の外周面に調整用ネジ１７を押し付ける。外輪１５の外周面とネジ保持部１１ｃの内周面との間には隙間Ｓが形成されているため、調整用ネジ１７の回転量に応じて外輪１５が変形する。

その後、緩めてあった固定用ネジ２３を絞めた後、テーブル１０を回転させながら、再び、円筒スコヤの外周面の変位を検出する。また、円筒スコヤの外周面の変位の検出結果に基づいて、外輪１５の変形させたい箇所に最も近い固定用ネジ２３を緩めるとともに、この固定用ネジ２３に最も近い調整用ネジ１７を回して、外輪１５の外周面に調整用ネジ１７を押し付ける。その後、緩めてあった固定用ネジ２３を絞める。

これらの作業を繰り返して、円筒スコヤの回転軌跡が真円に近づくように、外輪１５の形状を調整する。外輪１５の形状を調整する際には、円筒スコヤの外周面の変位の検出結果に基づいて、外輪１５の外周面に接触している調整用ネジ１７が軸受１２の径方向の外側に向かって移動するように、調整用ネジ１７を回すこともある。外輪１５の形状の調整が終わると、緩み防止用ネジ１８を取り付けて、調整用ネジ１７の緩みを防止する。また、外輪１５の形状の調整が終わると、全ての固定用ネジ２３をしっかり締めて、固定用ネジ２３によって外輪１５をテーブル保持部材１１に本固定する。

円筒スコヤの回転軌跡が真円に近づくように外輪１５の形状が調整されると、回転機構７によって回転する基板２の回転軌跡も真円に近づく。なお、外輪１５の形状の調整が終わったときに、外輪１５の外周面に接触していない調整用ネジ１７が存在する場合もある。この場合には、緩み防止用ネジ１８を取り付ける前に、外輪１５の外周面に接触していない調整用ネジ１７も外輪１５の外周面に軽く接触させる。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、１２本の調整用ネジ１７が、軸受１２の周方向に配列されており、外輪１５の外周側から外輪１５の外周面に接触可能になっている。また、本形態では、外輪１５の外周面とネジ保持部１１ｃの内周面との間に、外輪１５を変形させるための隙間Ｓが形成されている。そのため、本形態では、上述のように、回転機構７によって回転する基板２の回転軌跡が真円に近づくように、調整用ネジ１７を用いて外輪１５の形状を調整した状態で、テーブル保持部材１１に外輪１５を固定することが可能になる。したがって、本形態では、回転機構７によって回転する基板２の回転軌跡を真円に近づけることが可能になる。

本形態では、調整用ネジ１７によって外輪１５の形状が調整されており、調整用ネジ１７の回転量に応じて外輪１５が変形する。そのため、本形態では、外輪１５の形状を容易に調整することが可能になる。また、本形態では、調整用ネジ１７が係合するネジ穴１１ｄに緩み防止用ネジ１８を係合させることで、調整用ネジ１７の緩みが防止されているため、簡易な構成で調整用ネジ１７の緩みを防止することが可能になる。

（テーブル保持部材および転がり軸受の変形例）
図４は、本発明の他の実施の形態にかかるテーブル保持部材１１および軸受１２の構成を説明するための図である。なお、図４では、上述した形態と同様の構成には同一の符号を付している。

上述した形態において、テーブル保持部材１１は、図４に示すように、円環状の第１保持部材２５と円環状の第２保持部材２６との２個の部材によって構成されていても良い。この変形例では、第１保持部材２５に載置面１１ａが形成されている。載置面１１ａの外周側には、載置面１１ａよりも上側に突出する円筒状の円筒部２５ａが形成されている。第１保持部材２５と第２保持部材２６とは、固定用ネジ２７によって互いに固定されている。たとえば、第１保持部材２５と第２保持部材２６とは、軸受１２の周方向において一定のピッチで配列される１２本の固定用ネジ２７によって互いに固定されている。

この変形例では、外輪１５は、外輪１５の上端面に接触する固定用ネジ２８によってテーブル保持部材１１に固定されている。具体的には、外輪１５が固定用ネジ２８によって載置面１１ａに押し付けられることで外輪１５がテーブル保持部材１１に固定されている。外輪１５は、たとえば、軸受１２の周方向において一定のピッチで配列される１２本の固定用ネジ２８によってテーブル保持部材１１に固定されている。固定用ネジ２８は、軸受１２の径方向において固定用ネジ２７よりも内側に配置されている。また、固定用ネジ２８は、たとえば、軸受１２の周方向において固定用ネジ２７と同じ位置に配置されている。この変形例では、外輪１５に挿通穴１５ａが形成されておらず、外輪１５の外径は、上述した形態の外輪１５の外径よりも小さくなっている。

固定用ネジ２８は、たとえば、六角穴付き止めネジである。第２保持部材２６には、固定用ネジ２８が係合するネジ穴２６ａが形成されている。また、第２保持部材２６には、調整用ネジ１７および緩み防止用ネジ１８が係合するネジ穴１１ｄが形成されている。ネジ穴２６ａは、軸受１２の周方向においてネジ穴１１ｂの近傍に形成されている。第２保持部材２６は、ネジ穴１１ｄが形成される円筒状の円筒部２６ｂと、ネジ穴２６ａが形成される円環状の円環部２６ｃとから構成されている。円環部２６ｃは、円筒部２６ｂの上端部から円筒部２６ｂの内周側に突出している。円筒部２６ｂの下端面は、円筒部２５ａの上端面に接触している。

この変形例では、円筒部２５ａと円筒部２６ｂとによって、調整用ネジ１７を移動可能に保持するとともに外輪１５の外周側に配置される調整部材保持部としてのネジ保持部１１ｃが構成されている。この変形例でも、軸受１２の径方向における外輪１５とネジ保持部１１ｃとの間には、外輪１５を変形させるための隙間Ｓが形成されている。すなわち、軸受１２の径方向における外輪１５の外周面と円筒部２５ａ、２６ｂの内周面との間には、外輪１５を変形させるための隙間Ｓが形成されている。隙間Ｓは、軸受１２の周方向における全域に形成されている。

この変形例では、外輪１５を変形させて外輪１５の形状を調整する際に、外輪１５の変形させたい箇所に最も近い固定用ネジ２８を緩めるとともに、この固定用ネジ２８に最も近い調整用ネジ１７を回して、外輪１５の外周面に調整用ネジ１７を押し付ける。その後、緩めてあった固定用ネジ２８を絞める。この変形例でも、上述した形態と同様の効果を得ることができる。

（他の実施の形態）
上述した形態において、緩み防止用ネジ１８は、調整用ネジ１７の軸方向に直交する方向から調整用ネジ１７の外周面に接触することで、調整用ネジ１７の緩みを防止しても良い。この場合には、ネジ穴１１ｄに加えて、緩み防止用ネジ１８が係合するネジ穴がネジ保持部１１ｃに形成されている。また、この場合には、調整用ネジ１７は、頭部を有する頭付のネジであっても良い。また、回転機構７は、緩み防止用ネジ１８を備えていなくても良い。この場合には、たとえば、外輪１５の形状を調整した後にネジ穴１１ｄに注入される接着剤によって調整用ネジ１７の緩みが防止されても良い。

上述した形態において、回転機構７が有する調整用ネジ１７の本数は、３本以上１１本以下であっても良いし、１３本以上であっても良い。たとえば、回転機構７が有する調整用ネジ１７の本数は、２４本であっても良い。回転機構７が有する調整用ネジ１７の本数が比較的少ない場合には、ネジ保持部１１ｃは、円筒状に形成されていなくても良い。たとえば、ネジ保持部１１ｃは、１個のネジ穴１１ｄが形成される円弧状の曲板であっても良い。この場合には、複数のネジ保持部１１ｃが軸受１２の周方向において一定のピッチで配置されている。また、この場合には、複数のネジ保持部１１ｃは、載置面１１ａが形成されるテーブル保持部材１１の本体部と一体で形成されていても良いし、テーブル保持部材１１の本体部と別体で形成された複数のネジ保持部１１ｃがテーブル保持部材１１の本体部に固定されていても良い。

上述した形態において、テーブル保持部材１１に、固定用ネジ２３の軸部が挿通される挿通穴が形成され、外輪１５に、固定用ネジ２３の軸部に形成されるオネジが係合するネジ穴が形成されていても良い。また、上述した形態において、内輪１４がテーブル保持部材１１に固定され、外輪１５がテーブル１０に固定されていても良い。この場合には、テーブル１０が、ネジ保持部１１ｃに相当するネジ保持部を備えており、このネジ保持部には、ネジ穴１１ｄが形成されている。

上述した形態において、外輪１５を変形させて外輪１５の形状を調整するための調整部材１７は、調整用ネジ以外の、棒状または筒状等の部材であっても良い。たとえば、調整部材１７は、油圧シリンダのロッドであっても良い。この場合には、テーブル保持部材１１は、油圧シリンダの本体部が固定されるシリンダ保持部を備えている。このシリンダ保持部は、調整部材１７である油圧シリンダのロッドを移動可能に保持する移動部材保持部である。

また、上述した形態において、調整部材１７は、偏心カムであっても良い。この場合には、テーブル保持部材１１は、偏心カムを回動可能に保持する移動部材保持部としてのカム保持部を備えている。偏心カムは、カム保持部に対して軸受１２の径方向に移動可能となっている。具体的には、上下方向から見たときに、偏心カムの外周面がカム保持部に対して軸受１２の径方向に移動可能となっている。

上述した形態において、形状調整後の外輪１５の形状を維持することができるのであれば、外輪１５の形状を調整した後に調整用ネジ１７を取り外しても良い。たとえば、隙間Ｓに接着剤を注入することで、形状調整後の外輪１５の形状を維持することができるのであれば、外輪１５の形状を調整した状態で隙間Ｓに接着剤を注入するとともに、その後、ネジ穴１１ｄから調整用ネジ１７を取り外しても良い。すなわち、完成後の回転機構７は、調整用ネジ１７を備えていなくても良い。

上述した形態において、軸受１２は、クロスローラ軸受以外のころ軸受（ローラ軸受）であっても良いし、玉軸受（ボール軸受）であっても良い。また、上述した形態において、Ｘ線検査装置１は、ＸＹテーブル６を備えていなくても良い。この場合には、回転機構７に載置台５が取り付けられる。さらに、上述した形態において、Ｘ線検査装置１で検査が行われる被検査体は、基板２以外のものであっても良い。

１ Ｘ線検査装置
２ 基板（被検査体）
３ Ｘ線発生器
４ Ｘ線検出器
７ 回転機構（Ｘ線検査装置用の回転機構）
１０ テーブル
１１ テーブル保持部材
１１ｃ ネジ保持部（調整部材保持部）
１１ｄ ネジ穴
１２ 軸受（転がり軸受）
１４ 内輪
１５ 外輪
１７ 調整用ネジ（調整部材）
１８ 緩み防止用ネジ
Ｓ 隙間

また、上記の課題を解決するため、本発明のＸ線検査装置用の回転機構の調整方法は、テーブルと、テーブルを回転可能に保持するテーブル保持部材と、テーブルおよびテーブル保持部材のいずれか一方に固定される円環状の内輪とテーブルおよびテーブル保持部材のいずれか他方に固定される円環状の外輪とを有する転がり軸受とを備え、被検査体を挟むように配置されるＸ線発生器およびＸ線検出器を有するＸ線検査装置で使用されるＸ線検査装置用の回転機構の調整方法であって、外輪を変形させて外輪の形状を調整するための調整部材であって転がり軸受の周方向に配列される複数の調整部材を外輪の外周面に接触させて、外輪の形状を調整した状態で、外輪をテーブルまたはテーブル保持部材に固定することを特徴とする。

Claims (7)

1. Ｘ線発生器と、前記Ｘ線発生器との間で被検査体を挟むように配置されるＸ線検出器とを有するＸ線検査装置で使用されるＸ線検査装置用の回転機構であって、
   テーブルと、前記テーブルを回転可能に保持するテーブル保持部材と、前記テーブルおよび前記テーブル保持部材のいずれか一方に固定される円環状の内輪と前記テーブルおよび前記テーブル保持部材のいずれか他方に固定される円環状の外輪とを有する転がり軸受と、前記外輪を変形させて前記外輪の形状を調整するための３個以上の複数の調整部材とを備え、
   複数の前記調整部材は、前記転がり軸受の周方向に配列され、
   前記外輪が固定される前記テーブルまたは前記テーブル保持部材は、前記調整部材を移動可能に保持するとともに前記外輪の外周側に配置される調整部材保持部を備え、
   前記調整部材は、前記調整部材保持部に対して前記転がり軸受の径方向に移動可能になっているとともに、前記外輪の外周面に接触可能になっており、
   前記転がり軸受の径方向における前記外輪の外周面と前記調整部材保持部との間には、前記外輪を変形させるための隙間が形成されていることを特徴とするＸ線検査装置用の回転機構。
2. 前記外輪は、前記テーブル保持部材に固定されていることを特徴とする請求項１記載のＸ線検査装置用の回転機構。
3. 前記調整部材は、ネジからなる調整用ネジであり、
   前記調整部材保持部には、前記調整用ネジが係合するとともに前記転がり軸受の径方向で貫通するネジ穴が形成されていることを特徴とする請求項１または２記載のＸ線検査装置用の回転機構。
4. 前記調整用ネジの緩みを防止するための緩み防止用ネジを備え、
   前記緩み防止用ネジは、前記転がり軸受の径方向における前記調整用ネジの外側から前記ネジ穴に係合していることを特徴とする請求項３記載のＸ線検査装置用の回転機構。
5. 前記転がり軸受は、クロスローラ軸受であることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のＸ線検査装置用の回転機構。
6. 請求項１から５のいずれかに記載のＸ線検査装置用の回転機構を備えることを特徴とするＸ線検査装置。
7. テーブルと、前記テーブルを回転可能に保持するテーブル保持部材と、前記テーブルおよび前記テーブル保持部材のいずれか一方に固定される円環状の内輪と前記テーブルおよび前記テーブル保持部材のいずれか他方に固定される円環状の外輪とを有する転がり軸受とを備え、被検査体を挟むように配置されるＸ線発生器およびＸ線検出器を有するＸ線検査装置で使用されるＸ線検査装置用の回転機構の調整方法であって、
   前記外輪を変形させて前記外輪の形状を調整するための調整部材を前記外輪の外周面に接触させて、前記外輪の形状を調整した状態で、前記外輪を前記テーブルまたは前記テーブル保持部材に固定することを特徴とするＸ線検査装置用の回転機構の調整方法。

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