CN115349060A - X射线检查装置用的旋转机构、x射线检查装置以及x射线检查装置用的旋转机构的调整方法 - Google Patents

X射线检查装置用的旋转机构、x射线检查装置以及x射线检查装置用的旋转机构的调整方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供能够使旋转的被检查体的旋转轨迹接近于正圆的X射线检查装置用的旋转机构；在该X射线检查装置用的旋转机构中，用于使轴承(12)的外圈(15)变形以调整外圈(15)的形状的多个调整部件(17)沿轴承(12)的周向排列；调整部件(17)能够相对于调整部件保持部(11c)在轴承(12)的径向上移动，且能够与外圈(15)的外周面接触；在轴承(12)的径向上的外圈(15)的外周面与调整部件保持部(11c)之间，形成有用于使外圈(15)变形的间隙(S)。

Description

X射线检查装置用的旋转机构、X射线检查装置以及X射线检查 装置用的旋转机构的调整方法
技术领域
本发明涉及用于以非破坏方式检查工业产品等的被检查体的X射线检查装置中使用的X射线检查装置用的旋转机构。另外，本发明涉及具备该X射线检查装置用的旋转机构的X射线检查装置。进而，本发明涉及X射线检查装置中使用的X射线检查装置用的旋转机构的调整方法。
背景技术
目前，已知有一种用于检查平板状的基板的检查装置(例如参照专利文献1)。专利文献1中记载的检查装置具备向基板照射X射线等的放射线的放射线发生器、保持基板的基板保持部、以及拍摄基板的图像的检测器。基板例如以基板的厚度方向与上下方向一致的方式被保持于基板保持部。放射线发生器配置于基板保持部的上侧，检测器配置于基板保持部的下侧。另外，专利文献1中记载的检查装置具备基板保持部驱动部。基板保持部驱动部具备使基板保持部平行移动的平行移动机构和使基板保持部旋转的旋转机构。
另外，目前作为用于如专利文献1中记载的检查装置那样检查平板状基板的检查装置，例如也使用如图5所示具备保持基板101的基板保持部102、使基板保持部102向水平方向的两个方向移动的XY工作台103、以及搭载XY工作台103的旋转机构104的检查装置。在该检查装置中，放射线发生器配置于基板保持部102的上侧，检测器配置于旋转机构104的下侧。
旋转机构104使XY工作台103以上下方向为旋转的轴向进行旋转。基板保持部102、XY工作台103以及旋转机构104上形成有沿上下方向贯通的贯通孔，从放射线发生器射出的放射线通过该贯通孔。旋转机构104例如具备固定有XY工作台103的工作台105、可旋转地保持工作台105的工作台保持部件106、以及使工作台105旋转的驱动机构。
在工作台105与工作台保持部件106之间，配置有内径较大的滚动轴承107。滚动轴承107的外圈固定于工作台保持部件106上，滚动轴承107的内圈固定于工作台105上。工作台保持部件106上例如形成有圆筒状的外圈固定部106a，滚动轴承107的外圈被压入固定于外圈固定部106a的内周侧。该情况下，能够高精度地将滚动轴承107的外圈固定于工作台保持部件106上。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利特开2019-60808号公报
发明内容
如图5所示，在滚动轴承107的外圈被压入固定于外圈固定部106a的内周侧的情况下，存在滚动轴承107的外圈与外圈固定部106a的内周面的形状相应地变形的可能。若滚动轴承107的外圈发生变形，则存在沿着滚动轴承107的外圈旋转的滚动轴承107的内圈及工作台105的旋转轨迹变为与正圆相距甚远的轨迹的可能。即，若滚动轴承107的外圈发生变形，则存在基板101的旋转轨迹变为与正圆相距甚远的轨迹的可能。另外，若基板101的旋转轨迹变为与正圆相距甚远的轨迹，则存在根据利用检测器获得的基板101的多张图像重构的重构图像的精度降低的可能。
因此，本发明的课题在于，提供一种X射线检查装置中使用的X射线检查装置用的旋转机构，能够使旋转的被检查体的旋转轨迹接近于正圆。另外，本发明的课题在于，提供一种具备该X射线检查装置用的旋转机构的X射线检查装置。进而，本发明的课题在于，提供一种X射线检查装置中使用的X射线检查装置用的旋转机构的调整方法，能够使旋转的被检查体的旋转轨迹接近于正圆。
为了解决上述问题，本发明的X射线检查装置用的旋转机构使用于具有X射线发生器和X射线检测器的X射线检查装置，该X射线检测器配置为将被检查体夹在其与X射线发生器之间，该X射线检查装置用的旋转机构的特征在于，具备：工作台；工作台保持部件，可旋转地保持工作台；滚动轴承，具有圆环状的内圈和圆环状的外圈，内圈固定于工作台及工作台保持部件的任意一方上，外圈固定于工作台及工作台保持部件的任意另一方上；以及三个以上的多个调整部件，用于使外圈变形以调整外圈的形状；多个调整部件沿滚动轴承的周向排列；固定外圈的工作台或工作台保持部件具备调整部件保持部，该调整部件保持部可移动地保持调整部件且配置于外圈的外周侧；调整部件能够相对于调整部件保持部在滚动轴承的径向上移动，且能够与外圈的外周面接触；在滚动轴承的径向上的外圈的外周面与调整部件保持部之间，形成有用于使外圈变形的间隙。在本发明中，外圈例如被固定于工作台保持部件上。
在本发明的X射线检查装置用的旋转机构中，用于使外圈变形以调整外圈的形状的三个以上的多个调整部件沿滚动轴承的周向排列。另外，在本发明中，调整部件能够相对于调整部件保持部在滚动轴承的径向上移动，且能够与外圈的外周面接触。进而，在本发明中，在滚动轴承的径向上的外圈的外周面与调整部件保持部之间，形成有用于使外圈变形的间隙。因此，在本发明中，能够在使用调整部件调整了外圈的形状使得通过X射线检查装置用的旋转机构旋转的被检查体的旋转轨迹接近于正圆的状态下，将外圈固定于工作台或工作台保持部件上。因此，在本发明中，能够使通过X射线检查装置用的旋转机构旋转的被检查体的旋转轨迹接近于正圆。
在本发明中，优选调整部件是由螺钉构成的调整用螺钉，调整部件保持部上形成有螺纹孔，该螺纹孔与调整用螺钉卡合并沿滚动轴承的径向贯通。在这样构成的情况下，能够与调整用螺钉的旋转量相应地使外圈变形。因此，能够容易地调整外圈的形状。
在本发明中，优选X射线检查装置用的旋转机构具备用于防止调整用螺钉松动的防松用螺钉，防松用螺钉从滚动轴承的径向上的调整用螺钉的外侧与螺纹孔卡合。在这样构成的情况下，通过使防松用螺钉与调整用螺钉所卡合的螺纹孔卡合，从而能够防止调整用螺钉松动。因此，能够通过简易的构成防止调整用螺钉松动。
在本发明中，滚动轴承例如是交叉滚子轴承。该情况下，能够提高通过X射线检查装置用的旋转机构旋转的被检查体的旋转精度。另外，在本发明中，例如X射线检查装置具备上述X射线检查装置用的旋转机构。
另外，为了解决上述问题，本发明的X射线检查装置用的旋转机构的调整方法是使用于X射线检查装置的X射线检查装置用的旋转机构的调整方法，该X射线检查装置具有以将被检查体夹住的方式配置的X射线发生器和X射线检测器，X射线检查装置用的旋转机构具备：工作台；工作台保持部件，可旋转地保持工作台；以及滚动轴承，具有圆环状的内圈和圆环状的外圈，内圈固定于工作台及工作台保持部件的任意一方上，外圈固定于工作台及工作台保持部件的任意另一方上；该X射线检查装置用的旋转机构的调整方法的特征在于，在使多个调整部件与外圈的外周面接触而调整了外圈的形状的状态下，将外圈固定于工作台或工作台保持部件上，多个调整部件用于使外圈变形以调整外圈的形状，并沿滚动轴承的周向排列。
在本发明的X射线检查装置用的旋转机构的调整方法中，在使多个调整部件与外圈的外周面接触而调整了外圈的形状的状态下，将外圈固定于工作台或工作台保持部件上，多个调整部件用于使外圈变形以调整外圈的形状，并沿滚动轴承的周向排列。因此，在本发明中，能够在使用调整部件调整了外圈的形状使得通过X射线检查装置用的旋转机构旋转的被检查体的旋转轨迹接近于正圆的状态下，将外圈固定于工作台或工作台保持部件上。因此，若利用本发明的X射线检查装置用的旋转机构的调整方法进行调整，则能够使通过X射线检查装置用的旋转机构旋转的被检查体的旋转轨迹接近于正圆。
(发明效果)
如以上所述，在本发明的X射线检查装置用的旋转机构中，能够使旋转的被检查体的旋转轨迹接近于正圆。另外，若利用本发明的X射线检查装置用的旋转机构的调整方法进行调整，则能够使旋转的被检查体的旋转轨迹接近于正圆。
附图说明
图1是用于说明本发明的实施方式涉及的X射线检查装置的概略构成的图。
图2中(A)是图1所示的工作台保持部件的俯视图，(B)是(A)的E部的放大图。
图3是用于说明图1的F部的构成的放大图。
图4是用于说明本发明的其他实施方式涉及的工作台保持部件及滚动轴承的构成的图。
图5是用于说明现有技术涉及的检查装置用的旋转机构的构成的图。
(符号说明)
1：X射线检查装置
2：基板(被检查体)
3：X射线发生器
4：X射线检测器
7：旋转机构(X射线检查装置用的旋转机构)
10：工作台
11：工作台保持部件
11c：螺钉保持部(调整部件保持部)
11d：螺纹孔
12：轴承(滚动轴承)
14：内圈
15：外圈
17：调整用螺钉(调整部件)
18：防松用螺钉
S：间隙
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
(X射线检查装置的构成)
图1是用于说明本发明的实施方式涉及的X射线检查装置1的概略构成的图。
本实施方式的X射线检查装置1是用于以非破坏方式检查工业产品等的被检查体2的装置。本实施方式的被检查体2是形成为平板状的玻璃环氧基板等的基板(电路基板)。因此，以下将被检查体2称为“基板2”。基板2上安装有IC芯片等的电子部件。在X射线检查装置1中，通过所谓的倾斜CT进行基板2与电子部件的接合部分的检查。因此，在利用X射线检查装置1的检查中，例如要求具有微米单位的高检查精度。
X射线检查装置1具备：向基板2照射X射线的X射线发生器3、以与X射线发生器3将基板2夹在中间的方式配置并获取基板2的X射线图像的X射线检测器4、载置基板2的载置台5、安装载置台5的XY工作台6、以及搭载XY工作台6的旋转机构(X射线检查装置用的旋转机构)7。基板2以基板2的厚度方向与上下方向一致的方式载置于载置台5上。
X射线发生器3向基板2射出圆锥状的X射线。X射线检测器4是二维的X射线检测器(面传感器)。X射线检测器4以X射线检测器4的受光面朝向X射线发生器3侧的方式配置，X射线检测器4中映照出基板2的透视图像。X射线发生器3与X射线检测器4配置为在上下方向上夹住基板2。基板2的一部分被夹在X射线发生器3与X射线检测器4之间。载置台5可拆装地安装于XY工作台6的上端部。XY工作台6安装于旋转机构7的上端，并配置于旋转机构7的上侧。X射线发生器3配置于比基板2更靠上侧的位置。X射线检测器4配置于比旋转机构7更靠下侧的位置。
XY工作台6具备：安装载置台5的第一移动工作台、使第一移动工作台在与上下方向正交的X方向上移动的第一工作台驱动机构、搭载第一移动工作台及第一工作台驱动机构的第二移动工作台、使第二移动工作台在与上下方向和X方向正交的Y方向上移动的第二工作台驱动机构、以及搭载第二移动工作台及第二工作台驱动机构的固定工作台。在载置台5、第一移动工作台、第二移动工作台以及固定工作台上，形成有用于使从X射线发生器3射出的X射线通过的贯通孔。
旋转机构7具备：安装XY工作台6的固定工作台的工作台10、可旋转地保持工作台10的工作台保持部件11、以及配置于工作台10与工作台保持部件11之间的滚动轴承12。旋转机构7使XY工作台6以上下方向为旋转轴向进行旋转。即，旋转机构7使载置于载置台5的基板2以上下方向为旋转轴向进行旋转。旋转机构7的具体构成如下所述。
在利用X射线检查装置1检查基板2时，X射线发生器3向通过旋转机构7等速旋转的基板2照射X射线。X射线检测器4依次获取多张映照出基板2的透视图像的二维的X射线图像。具体而言，基板2每旋转一定角度，X射线检测器4便连续获取X射线图像。例如，X射线检测器4获得的多张X射线图像被取入PC(个人计算机)中。PC根据多张X射线图像进行规定的演算处理，从而生成基板2的CT图像。此外，在利用X射线检查装置1检查基板2时，也可以在360°的等分位置处使工作台10暂时停止，同时由X射线检测器4依次获取映照出基板2的透视图像的二维的X射线图像。
(旋转机构的构成)
图2中(A)是图1所示的工作台保持部件11的俯视图，图2中(B)是(A)的E部的放大图。图3是用于说明图1的F部的构成的放大图。
旋转机构7除了上述工作台10、工作台保持部件11以及滚动轴承12以外，还具备使工作台10旋转的驱动机构(省略图示)。驱动机构例如具备作为驱动源的电动机、以及将电动机的动力传递至工作台10的动力传递机构。电动机固定于工作台保持部件11。动力传递机构例如具备固定于电动机的输出轴上的驱动齿轮和固定于工作台10的圆环状且大径的从动齿轮。
滚动轴承12(以下称为“轴承12”)是交叉滚子轴承。轴承12具备：固定于工作台10的圆环状的内圈14、固定于工作台保持部件11的圆环状的外圈15、以及配置于内圈14与外圈15之间的多个滚轮(滚子)16。轴承12是比较大型的轴承，内圈14的内径例如为500mm。外圈15由沿上下方向被分割的两个外圈部件构成。两个外圈部件通过省略图示的螺钉相互固定。此外，外圈15也可以不被分割为两个外圈部件。即，外圈15也可以由一个部件构成。该情况下，内圈14也可以由沿上下方向被分割的两个内圈部件构成。
另外，旋转机构7具备三个以上的多个调整部件17，该调整部件17用于在组装旋转机构7时使外圈15变形以调整外圈15的形状。本实施方式的调整部件17是由螺钉构成的调整用螺钉。因此，以下将调整部件17称为“调整用螺钉17”。本实施方式的旋转机构7例如具备12根调整用螺钉17。进而，旋转机构7具备用于防止调整用螺钉17松动的防松用螺钉18。旋转机构7具备与调整用螺钉17相同数量的防松用螺钉18。即，旋转机构7具备12根防松用螺钉18。
工作台10配置于内圈14的内周侧。工作台10由圆环状的第一工作台部件19和圆环状的第二工作台部件20构成，内圈14固定于第一工作台部件19，第一工作台部件19固定于第二工作台部件20，而且XY工作台6的固定工作台固定于第二工作台部件20。从X射线发生器3射出的X射线从形成为圆环状的第一工作台部件19及第二工作台部件20的内周侧通过。内圈14通过固定用螺钉(省略图示)固定于第一工作台部件19。第一工作台部件19通过固定用螺钉(省略图示)固定于第二工作台部件20。XY工作台6的固定工作台通过固定用螺钉(图示省略)固定于第二工作台部件20。
工作台保持部件11形成为圆环状。从X射线发生器3射出的X射线从形成为圆环状的工作台保持部件11的内周侧通过。工作台保持部件11上形成有载置外圈15的载置面11a。载置面11a形成为以形成为圆环状的工作台保持部件11的中心为曲率中心的圆环状。另外，载置面11a是与上下方向正交的平面。载置于载置面11a的外圈15通过排列于轴承12的周向上的多个固定用螺钉23固定于工作台保持部件11。
外圈15例如通过12根固定用螺钉23固定于工作台保持部件11。12根固定用螺钉23在轴承12的周向上以一定的间距排列。即，12根固定用螺钉23相对于工作台保持部件11的中心呈等角度间距(30°间距)地排列。工作台保持部件11上形成有供形成于固定用螺钉23的轴部的阳螺纹卡合的螺纹孔11b。螺纹孔11b从载置面11a向下侧凹陷。
外圈15上形成有供固定用螺钉23的轴部插通的插通孔15a。插通孔15a是沿上下方向贯通外圈15的圆孔。在本实施方式中，插通孔15a的内径比固定用螺钉23的軸部的外径大，以便能够通过调整用螺钉17使外圈15变形。即，插通孔15a是所谓的松孔。固定用螺钉23的轴部从外圈15的上侧插通于插通孔15a中，固定用螺钉23的头部配置于外圈15的上侧。
工作台保持部件11的载置面11a的外周侧形成有作为调整部件保持部的螺钉保持部11c，该螺钉保持部11c可移动地保持调整用螺钉17。即，工作台保持部件11具备配置于外圈15的外周侧的螺钉保持部11c。螺钉保持部11c形成为较之载置面11a更向上侧突出的圆筒状。另外，螺钉保持部11c形成为以工作台保持部件11的中心为轴心的圆筒状。此外，本实施方式的螺钉保持部11c与形成有载置面11a的工作台保持部件11的主体部呈一体地形成，但是，也可以将与工作台保持部件11的主体部分开形成的螺钉保持部11c固定于工作台保持部件11的主体部。
螺钉保持部11c上形成有供调整用螺钉17卡合的螺纹孔11d。在本实施方式中，螺钉保持部11c上形成有12个螺纹孔11d。螺纹孔11d沿螺钉保持部11c的径向贯通螺钉保持部11c。即，螺纹孔11d沿轴承12的径向贯通螺钉保持部11c。12个螺纹孔11d在轴承12的周向上以一定的间距排列。即，12个螺纹孔11d相对于工作台保持部件11的中心呈等角度间距(30°间距)地排列。螺纹孔11d在轴承12的周向上形成于与螺纹孔11b稍微错开的位置，在轴承12的周向上形成于螺纹孔11b的附近。
如图3所示，在轴承12的径向上的外圈15与螺钉保持部11c之间，形成有用于使外圈15变形的间隙S。即，在轴承12的径向上的外圈15的外周面与螺钉保持部11c的内周面之间，形成有用于使外圈15变形的间隙S。间隙S形成于轴承12的周向的全域中。例如，间隙S是小于1mm的间隙。
例如，调整用螺钉17是不具有头部的带六角孔固定螺钉。调整用螺钉17与螺纹孔11d卡合，并配置于外圈15的外周侧。12根调整用螺钉17沿轴承12的周向排列。具体而言，12根调整用螺钉17在轴承12的周向上以一定的间距排列，并相对于工作台保持部件11的中心呈等角度间距(30°间距)地排列。另外，调整用螺钉17能够相对于螺钉保持部11c在轴承12的径向上移动。即，12根调整用螺钉17相对于工作台保持部件11的中心呈放射状配置。调整用螺钉17的一端能够与外圈15的外周面接触。
防松用螺钉18与调整用螺钉17同样是带六角孔固定螺钉。防松用螺钉18与螺纹孔11d卡合。具体而言，防松用螺钉18从轴承12的径向上的调整用螺钉17的外侧与螺纹孔11d卡合。防松用螺钉18通过以规定的接触圧力与调整用螺钉17的另一端接触，从而防止调整用螺钉17松动。
(旋转机构的调整方法)
在X射线检查装置1中，为了使通过旋转机构7旋转的基板2的旋转轨迹接近于正圆，在组装旋转机构7时，在使调整用螺钉17与外圈15的外周面接触而调整了外圈15的形状的状态下将外圈15固定于工作台保持部件11上。具体而言，首先，将载置圆筒直尺的载置台固定于第二工作台部件20的上表面，并在载置台上载置圆筒直尺。在该状态下使工作台10进行旋转，同时利用千分表等检测圆筒直尺的外周面的位移，并根据圆筒直尺的外周面的位移的检测结果调整载置于载置台的圆筒直尺的位置，以使工作台10的旋转中心与圆筒直尺的轴心大致一致。此时，调整用螺钉17不接触外圈15的外周面。另外，防松用螺钉18被拆除。
然后，一边使工作台10旋转一边检测圆筒直尺的外周面的位移，并根据圆筒直尺的外周面的位移的检测结果使外圈15变形以调整外圈15的形状，以使圆筒直尺的旋转轨迹接近于正圆。具体而言，根据圆筒直尺的外周面的位移的检测结果，拧松最靠近外圈15的欲变形部位的固定用螺钉23，并转动最靠近该固定用螺钉23的调整用螺钉17，使调整用螺钉17朝向轴承12的径向内侧移动，将调整用螺钉17压在外圈15的外周面上。由于外圈15的外周面与螺钉保持部11c的内周面之间形成有间隙S，因此，外圈15与调整用螺钉17的旋转量相应地变形。
然后，在将拧松的固定用螺钉23拧紧之后，一边使工作台10旋转，一边再次检测圆筒直尺的外周面的位移。另外，根据圆筒直尺的外周面的位移的检测结果，拧松最靠近外圈15的欲变形部位的固定用螺钉23，并转动最靠近该固定用螺钉23的调整用螺钉17，将调整用螺钉17压在外圈15的外周面上。然后，将拧松的固定用螺钉23拧紧。
反复进行这些作业，调整外圈15的形状以使圆筒直尺的旋转轨迹接近于正圆。在调整外圈15的形状时，有时也根据圆筒直尺的外周面的位移的检测结果而转动调整用螺钉17，以使与外圈15的外周面接触的调整用螺钉17朝向轴承12的径向外侧移动。当外圈15的形状的调整完成时，安装防松用螺钉18，以防止调整用螺钉17松动。另外，当外圈15的形状的调整完成时，将所有固定用螺钉23牢牢地拧紧，通过固定用螺钉23将外圈15正式固定于工作台保持部件11上。
当调整了外圈15的形状使得圆筒直尺的旋转轨迹接近于正圆时，通过旋转机构7旋转的基板2的旋转轨迹也接近于正圆。此外，当外圈15的形状的调整完成时，有时也存在未与外圈15的外周面接触的调整用螺钉17。该情况下，在安装防松用螺钉18之前，轻轻地使未与外圈15的外周面接触的调整用螺钉17也与外圈15的外周面接触。
(本实施方式的主要効果)
如以上所说明，在本实施方式中，12根调整用螺钉17沿轴承12的周向排列，并能够从外圈15的外周侧与外圈15的外周面接触。另外，在本实施方式中，在外圈15的外周面与螺钉保持部11c的内周面之间，形成有用于使外圈15变形的间隙S。因此，在本实施方式中，如上所述，能够在使用调整用螺钉17调整了外圈15的形状使得通过旋转机构7旋转的基板2的旋转轨迹接近于正圆的状态下，将外圈15固定于工作台保持部件11。因此，在本实施方式中，能够使通过旋转机构7旋转的基板2的旋转轨迹接近于正圆。
在本实施方式中，通过调整用螺钉17调整外圈15的形状，外圈15与调整用螺钉17的旋转量相应地变形。因此，在本实施方式中，能够容易地调整外圈15的形状。另外，在本实施方式中，通过使防松用螺钉18与调整用螺钉17所卡合的螺纹孔11d卡合而防止调整用螺钉17松动，因此，能够以简易的构成防止调整用螺钉17松动。
(工作台保持部件及滚动轴承的变形例)
图4是用于说明本发明的其他实施方式涉及的工作台保持部件11及轴承12的构成的图。此外，在图4中，对于与上述实施方式相同的构成赋予相同符号。
在上述实施方式中，如图4所示，工作台保持部件11也可以通过圆环状的第一保持部件25和圆环状的第二保持部件26这两个部件构成。在该变形例中，在第一保持部件25上形成载置面11a。在载置面11a的外周侧，形成有较之载置面11a更向上侧突出的圆筒状的圆筒部25a。第一保持部件25和第二保持部件26通过固定用螺钉27相互固定。例如，第一保持部件25和第二保持部件26通过在轴承12的周向上以一定的间距排列的12根固定用螺钉27相互固定。
在该变形例中，外圈15通过与外圈15的上端面接触的固定用螺钉28固定于工作台保持部件11上。具体而言，通过利用固定用螺钉28将外圈15按压于载置面11a而将外圈15固定于工作台保持部件11上。例如，外圈15通过在轴承12的周向上以一定的间距排列的12根固定用螺钉28固定于工作台保持部件11上。固定用螺钉28在轴承12的径向上配置于较之固定用螺钉27更靠内侧的位置。另外，固定用螺钉28例如在轴承12的周向上配置于与固定用螺钉27相同的位置。在该变形例中，外圈15上未形成插通孔15a，外圈15的外径比上述实施方式的外圈15的外径小。
例如，固定用螺钉28是带六角孔固定螺钉。第二保持部件26上形成有供固定用螺钉28卡合的螺纹孔26a。另外，第二保持部件26上形成有供调整用螺钉17及防松用螺钉18卡合的螺纹孔11d。螺纹孔26a在轴承12的周向上形成于螺纹孔11b的附近。第二保持部件26由形成有螺纹孔11d的圆筒状的圆筒部26b和形成有螺纹孔26a的圆环状的圆环部26c构成。圆环部26c从圆筒部26b的上端部向圆筒部26b的内周侧突出。圆筒部26b的下端面与圆筒部25a的上端面接触。
在该变形例中，通过圆筒部25a和圆筒部26b构成作为调整部件保持部的螺钉保持部11c，该螺钉保持部11c可移动地保持调整用螺钉17且配置于外圈15的外周侧。在该变形例中，也在轴承12的径向上的外圈15与螺钉保持部11c之间形成有用于使外圈15变形的间隙S。即，在轴承12的径向上的外圈15的外周面与圆筒部25a、26b的内周面之间，形成有用于使外圈15变形的间隙S。间隙S形成于轴承12的周向的全域中。
在该变形例中，在使外圈15变形以调整外圈15的形状时，拧松最靠近外圈15的欲变形部位的固定用螺钉28，并转动最靠近该固定用螺钉28的调整用螺钉17，将调整用螺钉17按压在外圈15的外周面上。然后，将拧松的固定用螺钉28拧紧。在该变形例中，也能够得到与上述实施方式相同的効果。
(其他的实施方式)
在上述实施方式中，防松用螺钉18也可以从与调整用螺钉17的轴向正交的方向与调整用螺钉17的外周面接触，从而防止调整用螺钉17松动。该情况下，除了螺纹孔11d之外，还在螺钉保持部11c上形成有供防松用螺钉18卡合的螺纹孔。另外，该情况下，调整用螺钉17也可以为具有头部的带头螺钉。另外，旋转机构7也可以不具备防松用螺钉18。该情况下，例如也可以通过在调整了外圈15的形状之后注入螺纹孔11d的粘接剂防止调整用螺钉17松动。
在上述实施方式中，旋转机构7所具有的调整用螺钉17的根数也可以为3根以上且11根以下，也可以为13根以上。例如，旋转机构7所具有的调整用螺钉17的根数也可以为24根。在旋转机构7所具有的调整用螺钉17的根数较少的情况下，螺钉保持部11c也可以不形成为圆筒状。例如，螺钉保持部11c也可以为形成有一个螺纹孔11d的圆弧状的弯曲板。该情况下，多个螺钉保持部11c在轴承12的周向上以一定的间距配置。另外，该情况下，多个螺钉保持部11c既可以与形成有载置面11a的工作台保持部件11的主体部呈一体地形成，也可以将与工作台保持部件11的主体部分开形成的多个螺钉保持部11c固定于工作台保持部件11的主体部上。
在上述实施方式中，也可以在工作台保持部件11上形成供固定用螺钉23的轴部插通的插通孔，在外圈15上形成供形成于固定用螺钉23的轴部的阳螺纹卡合的螺纹孔。另外，在上述实施方式中，也可以将内圈14固定于工作台保持部件11上，将外圈15固定于工作台10上。该情况下，工作台10具备相当于螺钉保持部11c的螺钉保持部，并在该螺钉保持部上形成螺纹孔11d。
在上述实施方式中，用于使外圈15变形以调整外圈15的形状的调整部件17也可以为调整用螺钉以外的棒状或筒状等的部件。例如，调整部件17也可以为液压缸的杆。该情况下，工作台保持部件11具备固定液压缸的主体部的缸保持部。该缸保持部是可移动地保持作为调整部件17的液压缸的杆的调整部件保持部。
另外，在上述实施方式中，调整部件17也可以为偏心凸轮。该情况下，工作台保持部件11具备作为可转动地保持偏心凸轮的调整部件保持部的凸轮保持部。偏心凸轮能够相对于凸轮保持部在轴承12的径向上移动。具体而言，从上下方向观察时，偏心凸轮的外周面能够相对于凸轮保持部在轴承12的径向上移动。
在上述实施方式中，只要能够维持形状调整后的外圈15的形状，则也可以在调整了外圈15的形状之后拆除调整用螺钉17。例如，只要能够通过向间隙S注入粘接剂而维持形状调整后的外圈15的形状，则也可以在调整了外圈15的形状的状态下向间隙S中注入粘接剂，然后从螺纹孔11d拆除调整用螺钉17。即，完成后的旋转机构7也可以不具备调整用螺钉17。
在上述实施方式中，轴承12也可以为交叉滚子轴承以外的滚子轴承(滚轮轴承)，也可以为滚珠轴承(球轴承)。另外，在上述实施方式中，X射线检查装置1也可以不具备XY工作台6。该情况下，载置台5安装于旋转机构7上。进而，在上述实施方式中，利用X射线检查装置1进行检查的被检查体也可以为基板2以外的物体。

Claims (7)

1.一种X射线检查装置用的旋转机构，使用于具有X射线发生器和X射线检测器的X射线检查装置，所述X射线检测器配置为将被检查体夹在其与所述X射线发生器之间；
所述X射线检查装置用的旋转机构的特征在于，具备：
工作台；
工作台保持部件，可旋转地保持所述工作台；
滚动轴承，具有圆环状的内圈和圆环状的外圈，所述内圈固定于所述工作台及所述工作台保持部件的任意一方上，所述外圈固定于所述工作台及所述工作台保持部件的任意另一方上；以及
三个以上的多个调整部件，用于使所述外圈变形以调整所述外圈的形状；
多个所述调整部件沿所述滚动轴承的周向排列；
固定所述外圈的所述工作台或所述工作台保持部件具备调整部件保持部，所述调整部件保持部可移动地保持所述调整部件且配置于所述外圈的外周侧；
所述调整部件能够相对于所述调整部件保持部在所述滚动轴承的径向上移动，且能够与所述外圈的外周面接触；
在所述滚动轴承的径向上的所述外圈的外周面与所述调整部件保持部之间，形成有用于使所述外圈变形的间隙。
2.根据权利要求1所述的X射线检查装置用的旋转机构，其特征在于，
所述外圈固定于所述工作台保持部件上。
3.根据权利要求1所述的X射线检查装置用的旋转机构，其特征在于，
所述调整部件是由螺钉构成的调整用螺钉；
所述调整部件保持部上形成有螺纹孔，所述螺纹孔与所述调整用螺钉卡合并沿所述滚动轴承的径向贯通。
4.根据权利要求3所述的X射线检查装置用的旋转机构，其特征在于，
具备用于防止所述调整用螺钉松动的防松用螺钉；
所述防松用螺钉从所述滚动轴承的径向上的所述调整用螺钉的外侧与所述螺纹孔卡合。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的X射线检查装置用的旋转机构，其特征在于，
所述滚动轴承是交叉滚子轴承。
6.一种X射线检查装置，其特征在于，具备权利要求1至4中任一项所述的X射线检查装置用的旋转机构。
7.一种X射线检查装置用的旋转机构的调整方法，所述X射线检查装置用的旋转机构使用于X射线检查装置，所述X射线检查装置具有以将被检查体夹住的方式配置的X射线发生器和X射线检测器；
所述X射线检查装置用的旋转机构具备：
工作台；
工作台保持部件，可旋转地保持所述工作台；以及
滚动轴承，具有圆环状的内圈和圆环状的外圈，所述内圈固定于所述工作台及所述工作台保持部件的任意一方上，所述外圈固定于所述工作台及所述工作台保持部件的任意另一方上；
所述X射线检查装置用的旋转机构的调整方法的特征在于，
在使多个调整部件与所述外圈的外周面接触而调整了所述外圈的形状的状态下，将所述外圈固定于所述工作台或所述工作台保持部件上，多个所述调整部件用于使所述外圈变形以调整所述外圈的形状，并沿所述滚动轴承的周向排列。
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