JP2002131237A - 透孔検査装置用ワークホルダ - Google Patents
透孔検査装置用ワークホルダInfo
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95692—Patterns showing hole parts, e.g. honeycomb filtering structures
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 移動の際に金属のこすれ粉等の発生を低減
し、なおかつ操作性のよい透孔検査装置用ワークホルダ
を提供することを目的とする。また、容易かつ安価にホ
ルダの平行度の調整ができる透孔検査装置用ワークホル
ダを提供することを目的とする。 【解決手段】 透孔が穿設されたワークを保持し、ワー
ク交換作業領域と透孔検査領域との間を移動させる透孔
検査装置用ワークホルダ１８であって、ホルダ本体に転
動手段５０を取り付けて転がり移動可能とするととも
に、前記転動手段を高さ調整可能としてホルダ平行度を
調整ができるように構成した。
し、なおかつ操作性のよい透孔検査装置用ワークホルダ
を提供することを目的とする。また、容易かつ安価にホ
ルダの平行度の調整ができる透孔検査装置用ワークホル
ダを提供することを目的とする。 【解決手段】 透孔が穿設されたワークを保持し、ワー
ク交換作業領域と透孔検査領域との間を移動させる透孔
検査装置用ワークホルダ１８であって、ホルダ本体に転
動手段５０を取り付けて転がり移動可能とするととも
に、前記転動手段を高さ調整可能としてホルダ平行度を
調整ができるように構成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は透孔検査装置用ワー
クホルダに係り、特に直径の微細な透孔内の異物の有無
を検査する装置に好適なワークホルダである。
クホルダに係り、特に直径の微細な透孔内の異物の有無
を検査する装置に好適なワークホルダである。
【０００２】
【従来の技術】従来、透孔内異物検査装置において、ワ
ークを保持したワークホルダは図６に示すリニアガイド
９０によりワーク交換作業領域８０と透孔検査領域２と
の間を移動させていた。図６において、断面がコ字状の
２本のガイド９２が開口部を向かい合わせてワーク交換
作業領域８０から透孔検査領域２に亙って設置されてい
る。ワーク１０を保持するワークホルダ９８は両端部を
それぞれのガイドに支持され、ガイド９２に沿って移動
可能な状態に設置されている。ワーク１０は、ワーク交
換作業領域８０でワークホルダ１８に装着され、ガイド
９２に沿って矢印９４の方向に移動し、透孔内異物検査
装置２に供給される。また検査終了後、ガイド９２に沿
って矢印９６の方向に移動し、ワーク交換作業領域８０
でワークホルダ９８からワーク１０が取り外される。
ークを保持したワークホルダは図６に示すリニアガイド
９０によりワーク交換作業領域８０と透孔検査領域２と
の間を移動させていた。図６において、断面がコ字状の
２本のガイド９２が開口部を向かい合わせてワーク交換
作業領域８０から透孔検査領域２に亙って設置されてい
る。ワーク１０を保持するワークホルダ９８は両端部を
それぞれのガイドに支持され、ガイド９２に沿って移動
可能な状態に設置されている。ワーク１０は、ワーク交
換作業領域８０でワークホルダ１８に装着され、ガイド
９２に沿って矢印９４の方向に移動し、透孔内異物検査
装置２に供給される。また検査終了後、ガイド９２に沿
って矢印９６の方向に移動し、ワーク交換作業領域８０
でワークホルダ９８からワーク１０が取り外される。
【０００３】また微細透孔内異物検査装置においては、
直径が微細な透孔を透過してくる光を検査することか
ら、ホルダの平行度が要求され、ワークホルダ９８およ
びガイド９２を精密に加工することにより対応してい
た。
直径が微細な透孔を透過してくる光を検査することか
ら、ホルダの平行度が要求され、ワークホルダ９８およ
びガイド９２を精密に加工することにより対応してい
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のようなリニアガ
イドを用いる従来技術では、ワークホルダとガイドとは
面接触し、ワークホルダがガイドに沿って移動すれば摩
擦により金属のこすれ粉等が発生して、検査すべき透孔
内に付着してしまうおそれがある。ワークホルダの位置
決め精度を高めるためには、ワークホルダとガイドの寸
法公差を小さくする必要があるが、このようにすると発
塵が多くなるとともに、移動操作がタイトとなって作業
者にとって過大な肉体的負担となる問題がある。
イドを用いる従来技術では、ワークホルダとガイドとは
面接触し、ワークホルダがガイドに沿って移動すれば摩
擦により金属のこすれ粉等が発生して、検査すべき透孔
内に付着してしまうおそれがある。ワークホルダの位置
決め精度を高めるためには、ワークホルダとガイドの寸
法公差を小さくする必要があるが、このようにすると発
塵が多くなるとともに、移動操作がタイトとなって作業
者にとって過大な肉体的負担となる問題がある。
【０００５】また微細透孔内異物検査装置ではホルダの
平行度が要求されるところ、複数のワークを同時装着で
きるようにワークホルダを大型化させた場合は、ワーク
ホルダを精密に加工して対応することは技術的にも経済
的にも困難である。更に、従来方式では摩耗などにより
一旦平行度が崩れてしまうと、その修正作業は極めて困
難である。
平行度が要求されるところ、複数のワークを同時装着で
きるようにワークホルダを大型化させた場合は、ワーク
ホルダを精密に加工して対応することは技術的にも経済
的にも困難である。更に、従来方式では摩耗などにより
一旦平行度が崩れてしまうと、その修正作業は極めて困
難である。
【０００６】本発明は、移動の際に金属のこすれ粉等の
発生を低減し、なおかつ操作性のよい透孔検査装置用ワ
ークホルダの提供を目的とする。また、容易かつ安価に
ホルダの平行度の調整ができる透孔検査装置用ワークホ
ルダの提供を目的とする。ひいては、容易、安価であり
なおかつ正確な透孔内異物検査を実現できる透孔検査装
置用ワークホルダの提供を目的とする。
発生を低減し、なおかつ操作性のよい透孔検査装置用ワ
ークホルダの提供を目的とする。また、容易かつ安価に
ホルダの平行度の調整ができる透孔検査装置用ワークホ
ルダの提供を目的とする。ひいては、容易、安価であり
なおかつ正確な透孔内異物検査を実現できる透孔検査装
置用ワークホルダの提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る透孔検査装置用ワークホルダは、透孔
が穿設されたワークを保持し、ワーク交換作業領域と透
孔検査領域との間を移動させる透孔検査装置用ワークホ
ルダであって、ホルダ本体に転動手段を取り付けて転が
り移動可能とするとともに、前記転動手段を高さ調整可
能としてホルダ平行度を調整できるように構成した。ま
た、前記転動手段は、走行面に点接触状態で転がりがで
きるボールを備えたボールベアリングにより構成してな
ることが望ましい。さらに、前記転動手段は、その転動
支持部材をホルダ本体に螺着結合して貫通させ、貫通先
端部に回転工具装着用の摺り割を設けてなることが望ま
しい。
に、本発明に係る透孔検査装置用ワークホルダは、透孔
が穿設されたワークを保持し、ワーク交換作業領域と透
孔検査領域との間を移動させる透孔検査装置用ワークホ
ルダであって、ホルダ本体に転動手段を取り付けて転が
り移動可能とするとともに、前記転動手段を高さ調整可
能としてホルダ平行度を調整できるように構成した。ま
た、前記転動手段は、走行面に点接触状態で転がりがで
きるボールを備えたボールベアリングにより構成してな
ることが望ましい。さらに、前記転動手段は、その転動
支持部材をホルダ本体に螺着結合して貫通させ、貫通先
端部に回転工具装着用の摺り割を設けてなることが望ま
しい。
【０００８】加えて、前記透孔検査装置用ワークホルダ
は、ワークが搭載される下治具と、当該下治具との間で
ワークを押さえる上治具とから構成され、前記下治具に
は透孔検査領域への位置決め用切欠と前記上治具の位置
決め用に立設された少なくとも一対のピンとを有し、前
記上治具には前記位置決め用ピンに係合する切欠とを備
えてなることが望ましい。
は、ワークが搭載される下治具と、当該下治具との間で
ワークを押さえる上治具とから構成され、前記下治具に
は透孔検査領域への位置決め用切欠と前記上治具の位置
決め用に立設された少なくとも一対のピンとを有し、前
記上治具には前記位置決め用ピンに係合する切欠とを備
えてなることが望ましい。
【０００９】より具体的には、透孔が穿設されたワーク
を保持し、ワーク交換作業領域と透孔検査領域との間を
移動させる透孔検査装置用ワークホルダであって、ワー
クが搭載される下治具と、当該下治具との間でワークを
押さえる上治具とから構成され、前記下治具には透孔検
査領域への位置決め用切欠と前記上治具の位置決め用に
立設された少なくとも一対のピンとを有し、前記上治具
には前記位置決め用ピンに係合する切欠とを備えてなる
ホルダ本体を備え、このホルダ本体の周縁部には走行面
に点接触状態で転がりができるボールを備えたボールベ
アリングにより構成してなる転動手段を取り付け、この
転動手段の転動支持部材を前記ホルダ本体に螺着結合し
て貫通させ、貫通先端部に回転工具装着用の摺り割を設
けて高さ調整可能としてなる構成とするものである。
を保持し、ワーク交換作業領域と透孔検査領域との間を
移動させる透孔検査装置用ワークホルダであって、ワー
クが搭載される下治具と、当該下治具との間でワークを
押さえる上治具とから構成され、前記下治具には透孔検
査領域への位置決め用切欠と前記上治具の位置決め用に
立設された少なくとも一対のピンとを有し、前記上治具
には前記位置決め用ピンに係合する切欠とを備えてなる
ホルダ本体を備え、このホルダ本体の周縁部には走行面
に点接触状態で転がりができるボールを備えたボールベ
アリングにより構成してなる転動手段を取り付け、この
転動手段の転動支持部材を前記ホルダ本体に螺着結合し
て貫通させ、貫通先端部に回転工具装着用の摺り割を設
けて高さ調整可能としてなる構成とするものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、ワークの
複数の同一サイズの透孔から透過する光をラインセンサ
カメラの相対的平面移動により一括で画像データとして
取り込み、この取り込まれた複数の前記透孔に対応する
塊面積を相対比較して異物の有無を判定する透孔内異物
検査装置にワークを運搬するワークホルダとして、本発
明に係る透孔検査装置用ワークホルダを適用した場合に
つき、図面を参照して詳細に説明する。
複数の同一サイズの透孔から透過する光をラインセンサ
カメラの相対的平面移動により一括で画像データとして
取り込み、この取り込まれた複数の前記透孔に対応する
塊面積を相対比較して異物の有無を判定する透孔内異物
検査装置にワークを運搬するワークホルダとして、本発
明に係る透孔検査装置用ワークホルダを適用した場合に
つき、図面を参照して詳細に説明する。
【００１１】図２にワークの例を示す。ワーク１０は複
数の同一サイズの透孔３２すなわち貫通する穴を有して
いる。直径が微細な透孔の場合、微細な異物が透孔内に
付着すると穴を塞いでしまい、透孔本来の機能が発揮で
きなくなる。従ってワークの透孔内に異物が付着してい
ないか検査する必要があり、同時に当該検査装置におけ
る透孔への微細異物の付着を防止する必要がある。
数の同一サイズの透孔３２すなわち貫通する穴を有して
いる。直径が微細な透孔の場合、微細な異物が透孔内に
付着すると穴を塞いでしまい、透孔本来の機能が発揮で
きなくなる。従ってワークの透孔内に異物が付着してい
ないか検査する必要があり、同時に当該検査装置におけ
る透孔への微細異物の付着を防止する必要がある。
【００１２】図３に透孔内異物検査装置の構成を示す。
この検査装置では、複数の透孔を列状に配列した平板状
のワーク１０の下面部に光源１２を配置して裏面から透
孔に向けて光を照射し、一方、ワーク１０の上面部側に
複数画素を列状に配列したラインセンサカメラ１４を配
置して、当該カメラ１４により透孔からの透過光を撮像
するように構成している。この画像データは画像処理手
段２４に入力され、透孔内に異物があった場合、異物に
よって光が遮られ、貫通透孔面積値が小さくなるという
特性を利用して異物検出を行なようにしている。直径が
微細な透孔を透過してくる光を検査する装置であるた
め、ワーク１０の傾斜によって透過光の面積が著しく異
なってしまうことから、ワーク１０ひいてはワークホル
ダ１８の平行度が要求される。なお、図示の例では、３
個のワーク１０を同時に検査するようになっており、こ
のため光源１２とセンサカメラ１４が３対設けられてい
るが、同時に検査するワーク数は任意の個数とすること
ができ、その数に対応した光源とセンサカメラを有する
装置とすることができる。
この検査装置では、複数の透孔を列状に配列した平板状
のワーク１０の下面部に光源１２を配置して裏面から透
孔に向けて光を照射し、一方、ワーク１０の上面部側に
複数画素を列状に配列したラインセンサカメラ１４を配
置して、当該カメラ１４により透孔からの透過光を撮像
するように構成している。この画像データは画像処理手
段２４に入力され、透孔内に異物があった場合、異物に
よって光が遮られ、貫通透孔面積値が小さくなるという
特性を利用して異物検出を行なようにしている。直径が
微細な透孔を透過してくる光を検査する装置であるた
め、ワーク１０の傾斜によって透過光の面積が著しく異
なってしまうことから、ワーク１０ひいてはワークホル
ダ１８の平行度が要求される。なお、図示の例では、３
個のワーク１０を同時に検査するようになっており、こ
のため光源１２とセンサカメラ１４が３対設けられてい
るが、同時に検査するワーク数は任意の個数とすること
ができ、その数に対応した光源とセンサカメラを有する
装置とすることができる。
【００１３】上記のような装置を用いた透孔検査では、
ワーク１０を検査領域となるＸＹテーブル１６上の定位
置に送り込み、検査が終了したワーク１０をこの検査領
域から新規のワークに交換するためのワーク交換作業領
域に移動させる必要がある。このワーク移動のために、
ワーク１０を搭載するワークホルダ１８が用いられる。
ワーク１０を検査領域となるＸＹテーブル１６上の定位
置に送り込み、検査が終了したワーク１０をこの検査領
域から新規のワークに交換するためのワーク交換作業領
域に移動させる必要がある。このワーク移動のために、
ワーク１０を搭載するワークホルダ１８が用いられる。
【００１４】ワークホルダ１８の平面図を図１（１）
に、また正面図を図１（２）に示す。
に、また正面図を図１（２）に示す。
【００１５】ワークホルダ１８は下治具１８Ｄと上治具
１８Ｕとからなるホルダ本体と、このホルダ本体に取り
付けられ転がり移動させるための転動手段５０とから構
成されている。ホルダ本体を構成している下治具１８Ｄ
には、ワーク１０が搭載される凹部が上面部に形成され
ている。この凹部はワーク１０の外形に合わせた寸法と
され、実施形態では３枚のワーク１０を同時に搭載でき
るように凹部が３個所形成されている。一方、上治具１
８Ｕは前記凹部に嵌合装着されるように形成され、凹部
内に搭載されたワーク１０を上から押さえて固定保持さ
せるためのものである。上治具１８Ｕは３個所の凹部に
対応して一つの下治具に対して３個用いられる。
１８Ｕとからなるホルダ本体と、このホルダ本体に取り
付けられ転がり移動させるための転動手段５０とから構
成されている。ホルダ本体を構成している下治具１８Ｄ
には、ワーク１０が搭載される凹部が上面部に形成され
ている。この凹部はワーク１０の外形に合わせた寸法と
され、実施形態では３枚のワーク１０を同時に搭載でき
るように凹部が３個所形成されている。一方、上治具１
８Ｕは前記凹部に嵌合装着されるように形成され、凹部
内に搭載されたワーク１０を上から押さえて固定保持さ
せるためのものである。上治具１８Ｕは３個所の凹部に
対応して一つの下治具に対して３個用いられる。
【００１６】ワークホルダ１８は透孔検査領域でＸＹテ
ーブル１６に送られ、定位置に保持される必要がある。
このため、ＸＹテーブル１６に対する位置決めのため、
下治具１８Ｄの側縁には、Ｖ字形の切欠３６を形成して
いる。またワークの透孔検査のために、検査装置はＸＹ
テーブルの下面から照明を当て、上方位置に設定された
ラインセンサによりワーク透孔を通じて得られる透過光
を検出する。このため下治具１８Ｄの前記凹部にはワー
ク１０の下面に光を照射できるように穴が設けられてい
る。
ーブル１６に送られ、定位置に保持される必要がある。
このため、ＸＹテーブル１６に対する位置決めのため、
下治具１８Ｄの側縁には、Ｖ字形の切欠３６を形成して
いる。またワークの透孔検査のために、検査装置はＸＹ
テーブルの下面から照明を当て、上方位置に設定された
ラインセンサによりワーク透孔を通じて得られる透過光
を検出する。このため下治具１８Ｄの前記凹部にはワー
ク１０の下面に光を照射できるように穴が設けられてい
る。
【００１７】一方上治具１８Ｕは、上記のように凹部に
装着されるが、適正な位置に保持させるため、対向する
側縁にＶ字形状の切欠３２を形成しており、一方、下治
具１８Ｄの各凹部稜線部には前記切欠３２に係合する一
対のピン３４が規定位置に立設されている。したがっ
て、上治具１８Ｕは前記ピン３４にＶ形切欠３２を合わ
せて下治具１８Ｄの凹部に装着することで、簡易に位置
決めができる。なお、前記各凹部の切欠３２とピン３４
の係合位置は凹部の対角線と若干ずれた点対称位置に設
定されている。この上治具１８Ｕにはワーク１０に穿設
された透孔列に対応したスリット２０が形成されてい
る。透過光はこのスリット２０を通じてラインセンサカ
メラ１４により取り込まれる。
装着されるが、適正な位置に保持させるため、対向する
側縁にＶ字形状の切欠３２を形成しており、一方、下治
具１８Ｄの各凹部稜線部には前記切欠３２に係合する一
対のピン３４が規定位置に立設されている。したがっ
て、上治具１８Ｕは前記ピン３４にＶ形切欠３２を合わ
せて下治具１８Ｄの凹部に装着することで、簡易に位置
決めができる。なお、前記各凹部の切欠３２とピン３４
の係合位置は凹部の対角線と若干ずれた点対称位置に設
定されている。この上治具１８Ｕにはワーク１０に穿設
された透孔列に対応したスリット２０が形成されてい
る。透過光はこのスリット２０を通じてラインセンサカ
メラ１４により取り込まれる。
【００１８】ワークホルダ１８を転がり移動させるため
の転動手段５０が、下治具１８Ｄの四隅と長手方向の中
央部に設けられている。なお図示の例では合計６個の転
動手段５０を設置しているが、下治具のたわみ量および
ワークの平行度調整の便宜を考慮して、これ以外の個数
とすることもできる。この転動手段の構成を図４に示
す。この図は図１のＡ−Ａ線に沿った断面図であり、転
動手段取り付け部分の詳細図である。下治具１８Ｄの上
面側に転動手段取付プレート６０が設置され、下治具１
８Ｄにボルト６２によって固定される。転動手段取付プ
レート６０の中央部にはめねじ６４が設けられている。
の転動手段５０が、下治具１８Ｄの四隅と長手方向の中
央部に設けられている。なお図示の例では合計６個の転
動手段５０を設置しているが、下治具のたわみ量および
ワークの平行度調整の便宜を考慮して、これ以外の個数
とすることもできる。この転動手段の構成を図４に示
す。この図は図１のＡ−Ａ線に沿った断面図であり、転
動手段取り付け部分の詳細図である。下治具１８Ｄの上
面側に転動手段取付プレート６０が設置され、下治具１
８Ｄにボルト６２によって固定される。転動手段取付プ
レート６０の中央部にはめねじ６４が設けられている。
【００１９】転動手段５０は、その転動部分であるメイ
ンボール５６と転動手段取付プレート６０とを連結する
転動支持部材には、取り付け用の１個のおねじ５２が設
けられており、これをめねじ６４に螺着結合することに
より転動手段５０がホルダ本体に取り付けられ、同時に
転動手段５０によりホルダ本体が支持される。ホルダ本
体の高さ調整を可能とするために、前記転動支持部材は
転動手段取付プレート６０を貫通して取り付けられ、そ
の上端部に回転工具装着用の平行面を有する溝状の摺り
割り５４を有している。
ンボール５６と転動手段取付プレート６０とを連結する
転動支持部材には、取り付け用の１個のおねじ５２が設
けられており、これをめねじ６４に螺着結合することに
より転動手段５０がホルダ本体に取り付けられ、同時に
転動手段５０によりホルダ本体が支持される。ホルダ本
体の高さ調整を可能とするために、前記転動支持部材は
転動手段取付プレート６０を貫通して取り付けられ、そ
の上端部に回転工具装着用の平行面を有する溝状の摺り
割り５４を有している。
【００２０】一方転動手段５０の下端部には、ＸＹテー
ブル１６と点接触状態でホルダ本体を支持する、メイン
ボール５６を有している。これによりホルダ本体は、Ｘ
Ｙテーブル１６に対して垂直方向に、すきま６８の間隔
をおいて配置される。ケーシング５８内ではメインボー
ル５６との間に小ボール５７が配置されていることによ
り、ボールベアリングとしてメインボール５６は自在に
転がりができるようになり、ワークホルダ１８の転がり
移動が可能となる。なお、転動手段の転動部分としては
上記のようなボールの他に車輪等を用いてもよい。
ブル１６と点接触状態でホルダ本体を支持する、メイン
ボール５６を有している。これによりホルダ本体は、Ｘ
Ｙテーブル１６に対して垂直方向に、すきま６８の間隔
をおいて配置される。ケーシング５８内ではメインボー
ル５６との間に小ボール５７が配置されていることによ
り、ボールベアリングとしてメインボール５６は自在に
転がりができるようになり、ワークホルダ１８の転がり
移動が可能となる。なお、転動手段の転動部分としては
上記のようなボールの他に車輪等を用いてもよい。
【００２１】次に、本実施例におけるワーク１０の供給
排出動作について説明する。図５には上記透孔内異物検
査装置２とワーク交換作業領域８０の関係を示す。検査
装置２およびワーク交換作業領域８０は、クリーンルー
ム等異物などを極力排除した環境下に設置されている。
加えて透孔内異物検査装置２はワークへの微細異物の付
着を防止するためケース４によって覆われている。その
ためホルダ本体に対するワークのセットは、検査装置２
に隣接するワーク交換作業領域８０で行う。まずワーク
交換作業領域８０に下治具１８Ｄを置き、その凹部にワ
ークをセットし、さらにその上から上治具１８Ｕをセッ
トする。上治具１８Ｕは、上治具に形成された一対の切
欠部３２が下治具１８Ｄに立設された一対のピン３４に
当接することにより、下治具に対して位置決めされる
（図１参照）。本実施形態では同様にしてホルダ本体に
３個のワークをセットする。ワークがセットされた後、
ワークホルダ１８は、ケース４に形成されたすきま６を
通して矢印８２のように検査装置２のＸＹテーブル１６
上に供給される。ホルダ１８は、切欠部３６がＸＹテー
ブル１６上に立設されるピン（不図示）に当接すること
により、ＸＹテーブルに対して位置決めされる（図１参
照）。このようにワークが位置決めされることで、ワー
クが交換されても透孔が同じ場所に位置することにな
り、正確な透孔内異物検査が実現できる。逆に検査を終
了したワークとワークホルダ１８は、すきま６を通して
矢印８４のようにワーク交換作業領域８０に排出され、
ワーク交換作業領域８０上でワークはホルダ本体から取
り出される。
排出動作について説明する。図５には上記透孔内異物検
査装置２とワーク交換作業領域８０の関係を示す。検査
装置２およびワーク交換作業領域８０は、クリーンルー
ム等異物などを極力排除した環境下に設置されている。
加えて透孔内異物検査装置２はワークへの微細異物の付
着を防止するためケース４によって覆われている。その
ためホルダ本体に対するワークのセットは、検査装置２
に隣接するワーク交換作業領域８０で行う。まずワーク
交換作業領域８０に下治具１８Ｄを置き、その凹部にワ
ークをセットし、さらにその上から上治具１８Ｕをセッ
トする。上治具１８Ｕは、上治具に形成された一対の切
欠部３２が下治具１８Ｄに立設された一対のピン３４に
当接することにより、下治具に対して位置決めされる
（図１参照）。本実施形態では同様にしてホルダ本体に
３個のワークをセットする。ワークがセットされた後、
ワークホルダ１８は、ケース４に形成されたすきま６を
通して矢印８２のように検査装置２のＸＹテーブル１６
上に供給される。ホルダ１８は、切欠部３６がＸＹテー
ブル１６上に立設されるピン（不図示）に当接すること
により、ＸＹテーブルに対して位置決めされる（図１参
照）。このようにワークが位置決めされることで、ワー
クが交換されても透孔が同じ場所に位置することにな
り、正確な透孔内異物検査が実現できる。逆に検査を終
了したワークとワークホルダ１８は、すきま６を通して
矢印８４のようにワーク交換作業領域８０に排出され、
ワーク交換作業領域８０上でワークはホルダ本体から取
り出される。
【００２２】この供給および排出の際、転動手段５０を
構成するメインボール５６とワーク交換作業領域８０な
いしＸＹテーブル１６は常に点接触する。仮にワークホ
ルダ１８が直線的に移動せず千鳥状に移動したとして
も、メインボール５６がこれに追随して自在に回転す
る。その結果ボールとワーク交換作業領域８０ないしＸ
Ｙテーブル１６との間に摩擦が起こることはほとんどな
く、金属のこすれ粉等を発生させることがほとんどな
い。従ってワークの透孔内への金属のこすれ粉等の微細
異物の付着を低減できることになる。また作業者の手で
ホルダ１８の供給および排出が行われたとしても簡単に
移動させることができ操作性に優れている。さらに下治
具１８ＤのＶ形切欠３６がＸＹテーブル上のピンに当接
し、また下治具のピン３４に上治具１８ＵのＶ形切欠３
２を合わせて上治具を下治具の凹部に装着することで、
ワーク１０の正確な位置決めができ、正確な透孔内異物
検査が実現できる。
構成するメインボール５６とワーク交換作業領域８０な
いしＸＹテーブル１６は常に点接触する。仮にワークホ
ルダ１８が直線的に移動せず千鳥状に移動したとして
も、メインボール５６がこれに追随して自在に回転す
る。その結果ボールとワーク交換作業領域８０ないしＸ
Ｙテーブル１６との間に摩擦が起こることはほとんどな
く、金属のこすれ粉等を発生させることがほとんどな
い。従ってワークの透孔内への金属のこすれ粉等の微細
異物の付着を低減できることになる。また作業者の手で
ホルダ１８の供給および排出が行われたとしても簡単に
移動させることができ操作性に優れている。さらに下治
具１８ＤのＶ形切欠３６がＸＹテーブル上のピンに当接
し、また下治具のピン３４に上治具１８ＵのＶ形切欠３
２を合わせて上治具を下治具の凹部に装着することで、
ワーク１０の正確な位置決めができ、正確な透孔内異物
検査が実現できる。
【００２３】次に本実施例におけるワーク１０の平行度
調整動作について説明する。一定期間毎、例えば毎日の
作業開始前に、ワーク１０およびワークホルダ１８をＸ
Ｙテーブルに置いて、平行度調査用の装置によりワーク
の平行度をチェックする。平行度がでていない場合、そ
の原因と考えられる部分について、図４における転動手
段５０の転動支持部材を、摺り割り５４に工具等を装着
することにより回転させる。するとホルダ本体の当該部
分はＸＹテーブルに対して垂直方向に移動し、ワークの
平行度の調整が可能となる。以上の動作を何度か繰り返
すことにより、ワークの平行設置が達成される。なおワ
ークの平行設置はホルダ本体によって達成されているの
で、一度平行設置が確認されればワークが交換される度
にワークの平行度調整をする必要はない。
調整動作について説明する。一定期間毎、例えば毎日の
作業開始前に、ワーク１０およびワークホルダ１８をＸ
Ｙテーブルに置いて、平行度調査用の装置によりワーク
の平行度をチェックする。平行度がでていない場合、そ
の原因と考えられる部分について、図４における転動手
段５０の転動支持部材を、摺り割り５４に工具等を装着
することにより回転させる。するとホルダ本体の当該部
分はＸＹテーブルに対して垂直方向に移動し、ワークの
平行度の調整が可能となる。以上の動作を何度か繰り返
すことにより、ワークの平行設置が達成される。なおワ
ークの平行設置はホルダ本体によって達成されているの
で、一度平行設置が確認されればワークが交換される度
にワークの平行度調整をする必要はない。
【００２４】このように、平行度がでていない場合、そ
の原因と考えられる部分ないしその周辺の部分を支持し
ている転動手段について、その転動支持部材の取り付け
ねじを調節することによってホルダ全体の平行度の調整
ができる。従って容易にワークの平行度の調整ができる
ことになる。また転動手段の他に別個の高さ調整手段を
設ける必要がなく、ホルダ自体を精密に加工する必要も
ないので、安価にホルダの平行度の調整を行いうる。す
なわち、ワークホルダ１８は３個のワークを固定した大
型のホルダでありホルダ自体を精密に加工することは困
難であるが、本実施形態によればホルダ自体を精密に加
工する必要はなく、容易かつ安価にホルダの平行度の調
整ができる。
の原因と考えられる部分ないしその周辺の部分を支持し
ている転動手段について、その転動支持部材の取り付け
ねじを調節することによってホルダ全体の平行度の調整
ができる。従って容易にワークの平行度の調整ができる
ことになる。また転動手段の他に別個の高さ調整手段を
設ける必要がなく、ホルダ自体を精密に加工する必要も
ないので、安価にホルダの平行度の調整を行いうる。す
なわち、ワークホルダ１８は３個のワークを固定した大
型のホルダでありホルダ自体を精密に加工することは困
難であるが、本実施形態によればホルダ自体を精密に加
工する必要はなく、容易かつ安価にホルダの平行度の調
整ができる。
【００２５】上述した実施形態では、特に、転動手段
を、走行面に点接触状態で転がりができるボールを備え
たボールベアリングにより構成したので、ボールと作業
面との間に摩擦が起こることがなく、金属のこすれ粉等
の発生が低減できる。さらに前記転動手段を、その転動
支持部材をホルダ本体に螺着結合して貫通させ、貫通先
端部に回転工具装着用の摺り割を設けてなる構成とした
ので、工具を用いて転動手段の取り付けねじ１カ所のみ
を調節することにより、特に容易にホルダの平行度の調
整ができる。加えて透孔検査装置用ワークホルダは、ワ
ークが搭載される下治具と、当該下治具との間でワーク
を押さえる上治具とから構成され、前記下治具には透孔
検査領域への位置決め用切欠と前記上治具の位置決め用
に立設された少なくとも一対のピンとを有し、前記上治
具には前記位置決め用ピンに係合する切欠とを備えてな
る構成としたので、容易、安価でありなおかつ正確な透
孔内異物検査を実現できる。
を、走行面に点接触状態で転がりができるボールを備え
たボールベアリングにより構成したので、ボールと作業
面との間に摩擦が起こることがなく、金属のこすれ粉等
の発生が低減できる。さらに前記転動手段を、その転動
支持部材をホルダ本体に螺着結合して貫通させ、貫通先
端部に回転工具装着用の摺り割を設けてなる構成とした
ので、工具を用いて転動手段の取り付けねじ１カ所のみ
を調節することにより、特に容易にホルダの平行度の調
整ができる。加えて透孔検査装置用ワークホルダは、ワ
ークが搭載される下治具と、当該下治具との間でワーク
を押さえる上治具とから構成され、前記下治具には透孔
検査領域への位置決め用切欠と前記上治具の位置決め用
に立設された少なくとも一対のピンとを有し、前記上治
具には前記位置決め用ピンに係合する切欠とを備えてな
る構成としたので、容易、安価でありなおかつ正確な透
孔内異物検査を実現できる。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ホルダ本
体に転動手段を取り付けて転がり移動可能とする構成と
したので、金属のこすれ粉等の発生が少なく、ホルダを
簡単に移動させることができる操作性のよい透孔検査装
置用ワークホルダが提供できる。また前記転動手段を高
さ調整可能としてホルダ平行度を調整できるように構成
したので、容易かつ安価にホルダの平行度の調整ができ
る透孔検査装置用ワークホルダが提供できる。
体に転動手段を取り付けて転がり移動可能とする構成と
したので、金属のこすれ粉等の発生が少なく、ホルダを
簡単に移動させることができる操作性のよい透孔検査装
置用ワークホルダが提供できる。また前記転動手段を高
さ調整可能としてホルダ平行度を調整できるように構成
したので、容易かつ安価にホルダの平行度の調整ができ
る透孔検査装置用ワークホルダが提供できる。
【図１】本発明に係る透孔検査装置用ワークホルダの平
面図および正面図である。
面図および正面図である。
【図２】ワークの説明図である。
【図３】透孔内異物検査装置のブロック図である。
【図４】図１のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【図５】透孔内異物検査装置とワーク交換作業領域との
関係の説明図である。
関係の説明図である。
【図６】従来技術であるリニアガイドの説明図である。
２………透孔内異物検査装置 ４………ケース ６………すきま １０………ワーク １２………光源 １４………ラインセンサカメラ １６………ＸＹテーブル １８………ワークホルダ １８Ｄ………下治具 １８Ｕ………上治具 ２４………画像処理手段 ３２………透孔 ３３………切欠 ３４………ピン ３６………切欠 ５０………転動手段 ５２………おねじ ５４………摺り割り ５６………メインボール ５７………小ボール ５８………ケーシング ６０………転動手段取付プレート ６２………ボルト ６４………めねじ ６８………すきま ８０………ワーク交換作業領域 ８２………矢印 ８４………矢印 ９０………リニアガイド ９２………ガイド ９４………矢印 ９６………矢印 ９８………ワークホルダ
Claims (5)
- 【請求項１】 透孔が穿設されたワークを保持し、ワー
ク交換作業領域と透孔検査領域との間を移動させる透孔
検査装置用ワークホルダであって、ホルダ本体に転動手
段を取り付けて転がり移動可能とするとともに、前記転
動手段を高さ調整可能としてホルダ平行度を調整できる
ようにしたことを特徴とする透孔検査装置用ワークホル
ダ。 - 【請求項２】 前記転動手段は、走行面に点接触状態で
転がりができるボールを備えたボールベアリングにより
構成してなることを特徴とする請求項１に記載の透孔検
査装置用ワークホルダ。 - 【請求項３】 前記転動手段は、その転動支持部材をホ
ルダ本体に螺着結合して貫通させ、貫通先端部に回転工
具装着用の摺り割を設けてなることを特徴とする請求項
１または２に記載の透孔検査用ワークホルダ。 - 【請求項４】 前記透孔検査装置用ワークホルダは、ワ
ークが搭載される下治具と、当該下治具との間でワーク
を押さえる上治具とから構成され、前記下治具には透孔
検査領域への位置決め用切欠と前記上治具の位置決め用
に立設された少なくとも一対のピンとを有し、前記上治
具には前記位置決め用ピンに係合する切欠とを備えてな
ることを特徴とする請求項１に記載の透孔検査装置用ワ
ークホルダ。 - 【請求項５】 透孔が穿設されたワークを保持し、ワー
ク交換作業領域と透孔検査領域との間を移動させる透孔
検査装置用ワークホルダであって、ワークが搭載される
下治具と、当該下治具との間でワークを押さえる上治具
とから構成され、前記下治具には透孔検査領域への位置
決め用切欠と前記上治具の位置決め用に立設された少な
くとも一対のピンとを有し、前記上治具には前記位置決
め用ピンに係合する切欠とを備えてなるホルダ本体を備
え、このホルダ本体の周縁部には走行面に点接触状態で
転がりができるボールを備えたボールベアリングにより
構成してなる転動手段を取り付け、この転動手段の転動
支持部材を前記ホルダ本体に螺着結合して貫通させ、貫
通先端部に回転工具装着用の摺り割を設けて高さ調整可
能としてなることを特徴とする透孔検査装置用ワークホ
ルダ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000329362A JP3531599B2 (ja) | 2000-10-27 | 2000-10-27 | 透孔検査装置用ワークホルダ |
| US10/040,265 US6736252B2 (en) | 2000-10-27 | 2001-10-24 | Work holder for through hole examination apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000329362A JP3531599B2 (ja) | 2000-10-27 | 2000-10-27 | 透孔検査装置用ワークホルダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002131237A true JP2002131237A (ja) | 2002-05-09 |
| JP3531599B2 JP3531599B2 (ja) | 2004-05-31 |
Family
ID=18806040
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000329362A Expired - Fee Related JP3531599B2 (ja) | 2000-10-27 | 2000-10-27 | 透孔検査装置用ワークホルダ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6736252B2 (ja) |
| JP (1) | JP3531599B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108332630A (zh) * | 2018-01-25 | 2018-07-27 | 大永精机（江苏）有限公司 | 汽车保持架的相互差检测装置 |
| CN114608413A (zh) * | 2022-03-22 | 2022-06-10 | 浙江科贸智能机电股份有限公司 | 一种测试风叶高度的检具工装及其快速测试方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20040188223A1 (en) * | 2003-03-28 | 2004-09-30 | Velibor Kilibarda | Pallet conveyor with lifterless pallet-locating apparatus |
| US8757036B2 (en) * | 2009-07-31 | 2014-06-24 | Sumitomo Wiring Systems, Ltd. | Jig for measuring dimensions of workpiece |
| JPWO2019171966A1 (ja) * | 2018-03-05 | 2021-02-18 | 住友電気工業株式会社 | 集光型太陽光発電モジュールの製造方法、及び搬送治具 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2034509A (en) * | 1934-02-24 | 1936-03-17 | Havcn Otto E De | Furniture roller or coaster |
| US2110269A (en) * | 1936-10-24 | 1938-03-08 | Horvath William | Ball caster |
| US3306185A (en) * | 1965-07-08 | 1967-02-28 | Mckay Machine Co | Rolling bolster |
| US3456481A (en) * | 1968-01-11 | 1969-07-22 | Barogenics Inc | Die changing apparatus |
| US4402108A (en) * | 1981-02-17 | 1983-09-06 | Pannwitz Hans U | Reduced static castor |
| US4528903A (en) * | 1983-12-05 | 1985-07-16 | U.S. Industries, Inc. | Retractable wheel assembly for movable bolsters |
| JPS61132843A (ja) | 1984-12-01 | 1986-06-20 | Sankyo Boeki Kk | プリント板検査方法 |
| US5234205A (en) * | 1992-01-15 | 1993-08-10 | Shanley Stephen F | Quick die change clamp |
| JPH07111351A (ja) | 1993-10-12 | 1995-04-25 | Toshiba Corp | レーザー発振器 |
| JPH07119744A (ja) | 1993-10-25 | 1995-05-09 | Fuji Elelctrochem Co Ltd | 案内機構 |
-
2000
- 2000-10-27 JP JP2000329362A patent/JP3531599B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-10-24 US US10/040,265 patent/US6736252B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108332630A (zh) * | 2018-01-25 | 2018-07-27 | 大永精机（江苏）有限公司 | 汽车保持架的相互差检测装置 |
| CN108332630B (zh) * | 2018-01-25 | 2023-05-30 | 大永精机（江苏）有限公司 | 汽车保持架的相互差检测装置 |
| CN114608413A (zh) * | 2022-03-22 | 2022-06-10 | 浙江科贸智能机电股份有限公司 | 一种测试风叶高度的检具工装及其快速测试方法 |
| CN114608413B (zh) * | 2022-03-22 | 2023-10-24 | 浙江科贸智能机电股份有限公司 | 一种测试风叶高度的检具工装及其快速测试方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20020127092A1 (en) | 2002-09-12 |
| US6736252B2 (en) | 2004-05-18 |
| JP3531599B2 (ja) | 2004-05-31 |
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