JPH0815466A - 直動ｚステージ装置 - Google Patents
直動ｚステージ装置Info
- Publication number
- JPH0815466A JPH0815466A JP14760394A JP14760394A JPH0815466A JP H0815466 A JPH0815466 A JP H0815466A JP 14760394 A JP14760394 A JP 14760394A JP 14760394 A JP14760394 A JP 14760394A JP H0815466 A JPH0815466 A JP H0815466A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- fixed base
- drive shaft
- movement
- plate
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 操作が容易であり、正確にＺステージを移動
させることができる直動Ｚステージ。 【構成】 固定ベース１と、固定ベース１に螺合し回転
させることによりＸ方向に移動する駆動軸３と、固定ベ
ース１に係合ガイドされてＸ方向に対し直角のＺ方向に
移動可能なＺステージ２とよりなり、固定ベース１の内
部のガイド機構部に摺動ガイドされる駆動板７が装着さ
れ、駆動板７は駆動軸３の端部にボールベアリングを介
して係合されており、Ｚステージ２には固定ベース１の
内部に向かって斜面板８を突出させて固定装着してあ
り、斜面板８の平行両面に当接する２個のローラ９ａ，
９ｂが駆動板７に取付けてある。
させることができる直動Ｚステージ。 【構成】 固定ベース１と、固定ベース１に螺合し回転
させることによりＸ方向に移動する駆動軸３と、固定ベ
ース１に係合ガイドされてＸ方向に対し直角のＺ方向に
移動可能なＺステージ２とよりなり、固定ベース１の内
部のガイド機構部に摺動ガイドされる駆動板７が装着さ
れ、駆動板７は駆動軸３の端部にボールベアリングを介
して係合されており、Ｚステージ２には固定ベース１の
内部に向かって斜面板８を突出させて固定装着してあ
り、斜面板８の平行両面に当接する２個のローラ９ａ，
９ｂが駆動板７に取付けてある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、検査対象物、加工物等
（以下、ワークという）を載置または固定する台（以
下、Ｚステージという）を固定ベースの基準面方向に対
する直角方向に、例えば水平面に固定ベースを固定しＺ
ステージを垂直方向に上下移動させて、ワークの位置決
めをする直動Ｚステージ装置に関するものである。
（以下、ワークという）を載置または固定する台（以
下、Ｚステージという）を固定ベースの基準面方向に対
する直角方向に、例えば水平面に固定ベースを固定しＺ
ステージを垂直方向に上下移動させて、ワークの位置決
めをする直動Ｚステージ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】顕微鏡等の観察装置、検査装置、あるい
は工作機器等（以下、使用装置という）において、ワー
クを所定平面に対して垂直方向に移動させ所定位置に設
定するために使用される従来のＺステージ装置は、図４
の側面図に示すように、固定ベース１と、固定ベース１
に対して摺動し垂直方向に移動可能なＺステージ２とよ
りなっている。
は工作機器等（以下、使用装置という）において、ワー
クを所定平面に対して垂直方向に移動させ所定位置に設
定するために使用される従来のＺステージ装置は、図４
の側面図に示すように、固定ベース１と、固定ベース１
に対して摺動し垂直方向に移動可能なＺステージ２とよ
りなっている。
【０００３】そして、Ｚステージ２の側面に突出させて
設けた垂直方向の駆動軸３を回転させて下向きの先端部
３ｅを固定ベース１の基板部１ｆの表面に当接押圧させ
てＺステージ２を上昇させ、また駆動軸３を逆回転させ
ることによりスプリング４の張力でＺステージ２を下降
させる構成となっている。
設けた垂直方向の駆動軸３を回転させて下向きの先端部
３ｅを固定ベース１の基板部１ｆの表面に当接押圧させ
てＺステージ２を上昇させ、また駆動軸３を逆回転させ
ることによりスプリング４の張力でＺステージ２を下降
させる構成となっている。
【０００４】なお、垂直方向の駆動軸３は固定ベース１
の側面に突出させて設け、駆動軸３を回転させて上向き
の先端部をＺステージ２のワーク載置台部２ａの下面に
当接押圧させてＺステージ２を上昇させ、また駆動軸３
を逆回転させることによりスプリング４の張力でＺステ
ージ２を下降させる構成のＺステージ装置も知られてい
る。
の側面に突出させて設け、駆動軸３を回転させて上向き
の先端部をＺステージ２のワーク載置台部２ａの下面に
当接押圧させてＺステージ２を上昇させ、また駆動軸３
を逆回転させることによりスプリング４の張力でＺステ
ージ２を下降させる構成のＺステージ装置も知られてい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のＺステージ装置は、Ｚステージの側面または固定ベ
ースの側面に設けた垂直方向の駆動軸によってＺステー
ジに載置・固定したワークを所定位置に移動させる構成
であるために、Ｚステージのワーク載置台部の陰部分に
ある駆動軸の手動操作はどうしても不便・不都合であ
り、ワークを所定位置に移動設定するのに手数と時間が
掛かるといった問題があった。
来のＺステージ装置は、Ｚステージの側面または固定ベ
ースの側面に設けた垂直方向の駆動軸によってＺステー
ジに載置・固定したワークを所定位置に移動させる構成
であるために、Ｚステージのワーク載置台部の陰部分に
ある駆動軸の手動操作はどうしても不便・不都合であ
り、ワークを所定位置に移動設定するのに手数と時間が
掛かるといった問題があった。
【０００６】また、Ｚステージは固定ベースに対してガ
タつくことなく移動させる必要があるために固定ベース
に対する摺動移動には抵抗力があり、駆動軸を逆回転さ
せ押圧を解放しスプリングの張力で下降させる従来の構
成では、駆動軸の操作に対応して正確にＺステージが下
降できず、ワークを所定位置に移動設定するのに手数と
時間が掛かる。更にワークへの作業中にＺステージが下
降するといった心配もあった。
タつくことなく移動させる必要があるために固定ベース
に対する摺動移動には抵抗力があり、駆動軸を逆回転さ
せ押圧を解放しスプリングの張力で下降させる従来の構
成では、駆動軸の操作に対応して正確にＺステージが下
降できず、ワークを所定位置に移動設定するのに手数と
時間が掛かる。更にワークへの作業中にＺステージが下
降するといった心配もあった。
【０００７】本発明は、上記従来技術の問題点を解消す
るために成されたもので、駆動軸の操作が容易であり、
正確にＺステージを移動させることができる直動Ｚステ
ージ装置を提供することを目的とするものである。
るために成されたもので、駆動軸の操作が容易であり、
正確にＺステージを移動させることができる直動Ｚステ
ージ装置を提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このため、本発明に係る
直動Ｚステージ装置は、固定ベースと、固定ベースに螺
合し把手部を回動させることにより固定ベースのＸ方向
に移動する駆動軸と、固定ベースに係合ガイドされて固
定ベースのＸ方向に対し直角のＺ方向に移動可能なＺス
テージと、前記駆動軸のＸ方向移動をＺステージのＺ方
向駆動に変換するＸ・Ｚ移動方向変換手段と、前記駆動
軸の把手部の回動とＸ方向移動を示すＺステージの移動
表示目盛りとを備えた直動Ｚステージ装置であって、前
記Ｘ・Ｚ移動方向変換手段は、駆動軸の移動に係合し固
定ベースにガイドされて回転することなくＸ方向に移動
する駆動板と、Ｚステージに固定したＸ・Ｚ方向に対し
斜めの平行両面を有する斜面板と、前記駆動板に設け斜
面板の両面に当接する複数のローラとを備えたことを特
徴とする構成によって、前記の目的を達成しようとする
ものである。
直動Ｚステージ装置は、固定ベースと、固定ベースに螺
合し把手部を回動させることにより固定ベースのＸ方向
に移動する駆動軸と、固定ベースに係合ガイドされて固
定ベースのＸ方向に対し直角のＺ方向に移動可能なＺス
テージと、前記駆動軸のＸ方向移動をＺステージのＺ方
向駆動に変換するＸ・Ｚ移動方向変換手段と、前記駆動
軸の把手部の回動とＸ方向移動を示すＺステージの移動
表示目盛りとを備えた直動Ｚステージ装置であって、前
記Ｘ・Ｚ移動方向変換手段は、駆動軸の移動に係合し固
定ベースにガイドされて回転することなくＸ方向に移動
する駆動板と、Ｚステージに固定したＸ・Ｚ方向に対し
斜めの平行両面を有する斜面板と、前記駆動板に設け斜
面板の両面に当接する複数のローラとを備えたことを特
徴とする構成によって、前記の目的を達成しようとする
ものである。
【０００９】或は、前記Ｘ・Ｚ移動方向変換手段は、駆
動軸の移動に係合し固定ベースにガイドされて回転する
ことなくＸ方向に移動する駆動板と、該駆動板に固定し
たＸ・Ｚ方向に対し斜めの平行両面を有する斜面板と、
Ｚステージに設け前記斜面板の両面に当接する複数のロ
ーラとを備えたことを特徴とする構成によって、前記の
目的を達成しようとするものである。
動軸の移動に係合し固定ベースにガイドされて回転する
ことなくＸ方向に移動する駆動板と、該駆動板に固定し
たＸ・Ｚ方向に対し斜めの平行両面を有する斜面板と、
Ｚステージに設け前記斜面板の両面に当接する複数のロ
ーラとを備えたことを特徴とする構成によって、前記の
目的を達成しようとするものである。
【００１０】
【作用】以上の構成により、固定ベースに備えた駆動軸
を回転させることによって駆動板をＸ方向に移動させる
ことができ、Ｘ・Ｚ移動方向変換手段により、Ｚステー
ジはＺ方向に移動する。
を回転させることによって駆動板をＸ方向に移動させる
ことができ、Ｘ・Ｚ移動方向変換手段により、Ｚステー
ジはＺ方向に移動する。
【００１１】そして、Ｘ・Ｚ移動方向変換手段は、駆動
軸の移動に係合し固定ベースにガイドされて回転するこ
となくＸ方向に移動する駆動板を介在させて、Ｘ・Ｚ方
向に対し斜めの平行両面を有する斜面板と斜面板の両面
に当接する複数のローラとの組み合わせによる構成であ
るので、Ｚステージをガタつかすことなく確実・精細に
移動させることができる。
軸の移動に係合し固定ベースにガイドされて回転するこ
となくＸ方向に移動する駆動板を介在させて、Ｘ・Ｚ方
向に対し斜めの平行両面を有する斜面板と斜面板の両面
に当接する複数のローラとの組み合わせによる構成であ
るので、Ｚステージをガタつかすことなく確実・精細に
移動させることができる。
【００１２】駆動軸の把手部は固定ベースからＸ方向に
突出した構造となるのでワークに邪魔されることはなく
容易に操作することができ、駆動軸を回転させることに
より、正確にＺステージを移動させることができる。そ
して、駆動軸の把手部の回動とＸ方向の移動とからＺス
テージの移動を表示する移動表示目盛りを備えたことに
より、ワークの移動寸法を正確に読み取りでき、またワ
ークを正確に所定寸法だけ移動させることができる。
突出した構造となるのでワークに邪魔されることはなく
容易に操作することができ、駆動軸を回転させることに
より、正確にＺステージを移動させることができる。そ
して、駆動軸の把手部の回動とＸ方向の移動とからＺス
テージの移動を表示する移動表示目盛りを備えたことに
より、ワークの移動寸法を正確に読み取りでき、またワ
ークを正確に所定寸法だけ移動させることができる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明に係る直動Ｚステージ装置を実
施例により説明する。
施例により説明する。
【００１４】図１は、一実施例の構成の概要を示す斜視
図であり、前記従来例と同一または相当部分は同一符号
で示してある。図２は実施例の水平断面図であり、図３
は垂直断面図である。
図であり、前記従来例と同一または相当部分は同一符号
で示してある。図２は実施例の水平断面図であり、図３
は垂直断面図である。
【００１５】１は実施例を使用個所に載置または固定す
る固定ベースであり、端面部からは駆動軸３に固定した
把手部５が突出している。なお駆動軸３は固定ベース１
のＸ方向に装着されている。なおＸ方向は本実施例では
水平方向のことを示す。
る固定ベースであり、端面部からは駆動軸３に固定した
把手部５が突出している。なお駆動軸３は固定ベース１
のＸ方向に装着されている。なおＸ方向は本実施例では
水平方向のことを示す。
【００１６】２は不図示のワークを載置・取り付けする
Ｚステージであり、固定ベースに係合ガイドされてＸ方
向に対する直角方向であるＺ方向に移動可能となってい
る。なお本実施例でのＺ方向は垂直方向である。
Ｚステージであり、固定ベースに係合ガイドされてＸ方
向に対する直角方向であるＺ方向に移動可能となってい
る。なお本実施例でのＺ方向は垂直方向である。
【００１７】図２に示すように、固定ベース１は、端面
壁の開口部に筒状の延長構成部１ａを取付け一体化して
あり、延長構成部１ａの内面には平滑なガイド内筒面部
１ｂと雌ネジ部１ｃとが形成されている。
壁の開口部に筒状の延長構成部１ａを取付け一体化して
あり、延長構成部１ａの内面には平滑なガイド内筒面部
１ｂと雌ネジ部１ｃとが形成されている。
【００１８】そして駆動軸３は、端部に把手部５が取付
け固定してあり、駆動軸３の平滑円柱部は固定ベース１
の延長構成部１ａのガイド内筒面部１ｂに嵌合してガイ
ドされ雄ネジ部３ａは雌ネジ部１ｃに螺合させてあるの
で、把手部５を回動させることにより駆動軸３は固定ベ
ース１のＸ方向に移動する。なお螺合の高精度化のため
に雌ネジ部１ｃにスリットを設け外周面部を締める等の
補助機構を付加することも可能である。
け固定してあり、駆動軸３の平滑円柱部は固定ベース１
の延長構成部１ａのガイド内筒面部１ｂに嵌合してガイ
ドされ雄ネジ部３ａは雌ネジ部１ｃに螺合させてあるの
で、把手部５を回動させることにより駆動軸３は固定ベ
ース１のＸ方向に移動する。なお螺合の高精度化のため
に雌ネジ部１ｃにスリットを設け外周面部を締める等の
補助機構を付加することも可能である。
【００１９】固定ベース１の延長構成部１ａの外周面と
同外周面に接する駆動軸３の把手部５の端面部分には、
駆動軸３の把手部５の回動とＸ方向移動を示すマイクロ
メータ状のＺステージの移動表示目盛６ａ，６ｂが刻ま
れている。
同外周面に接する駆動軸３の把手部５の端面部分には、
駆動軸３の把手部５の回動とＸ方向移動を示すマイクロ
メータ状のＺステージの移動表示目盛６ａ，６ｂが刻ま
れている。
【００２０】固定ベース１の内部のＺステージ２側には
不図示のガイド機構部が設けてあり、この部分に摺動ガ
イドされる駆動板７が装着されている。図２に示すよう
に駆動板７は駆動軸３の他端部にボールベアリングを介
して係合されているので、駆動軸３が回転しながらＸ方
向に移動すると駆動板７は回転することなくＸ方向に移
動する。
不図示のガイド機構部が設けてあり、この部分に摺動ガ
イドされる駆動板７が装着されている。図２に示すよう
に駆動板７は駆動軸３の他端部にボールベアリングを介
して係合されているので、駆動軸３が回転しながらＸ方
向に移動すると駆動板７は回転することなくＸ方向に移
動する。
【００２１】Ｚステージ２は固定ベース１の側面にガイ
ドされてＺ方向に移動できるように固定ベース１に取付
けられている。ガイドして移動のための構成は、所定の
Ｚ方向に正しくガイドし円滑に移動させるための段差部
を設けた構成、筋状のガイド溝を設けた構成、その他従
来の各種構成を選択して利用でき、また潤滑油の介在で
スムーズに摺動・移動できる構成だけでなく、図２に示
す例のように小形ボール或は小形ローラーを介在させた
構成によって、移動のための入力を軽減させて間隙ガタ
つきを防止することもできる。
ドされてＺ方向に移動できるように固定ベース１に取付
けられている。ガイドして移動のための構成は、所定の
Ｚ方向に正しくガイドし円滑に移動させるための段差部
を設けた構成、筋状のガイド溝を設けた構成、その他従
来の各種構成を選択して利用でき、また潤滑油の介在で
スムーズに摺動・移動できる構成だけでなく、図２に示
す例のように小形ボール或は小形ローラーを介在させた
構成によって、移動のための入力を軽減させて間隙ガタ
つきを防止することもできる。
【００２２】そして、Ｚステージ２には、固定ベース１
の内部に向かって斜面板８を突出させて固定装着してあ
る。斜面板８は図３に示すようにＸ・Ｚ方向に対し斜め
の平行両面８ａ，８ｂを有している。そしてこの平行両
面８ａ，８ｂに当接する２個のローラ９ａ，９ｂが駆動
板７に取付けられている。なおローラ９ａ，９ｂの片方
または両方の軸は偏心した軸端部が駆動板７の装着穴に
挿入固定されローラ９ａ，９ｂの間隔調整が可能な偏心
調節軸構成となっているので、斜面板８をギャップ無し
に適切に挟み当接・保持することができる。
の内部に向かって斜面板８を突出させて固定装着してあ
る。斜面板８は図３に示すようにＸ・Ｚ方向に対し斜め
の平行両面８ａ，８ｂを有している。そしてこの平行両
面８ａ，８ｂに当接する２個のローラ９ａ，９ｂが駆動
板７に取付けられている。なおローラ９ａ，９ｂの片方
または両方の軸は偏心した軸端部が駆動板７の装着穴に
挿入固定されローラ９ａ，９ｂの間隔調整が可能な偏心
調節軸構成となっているので、斜面板８をギャップ無し
に適切に挟み当接・保持することができる。
【００２３】上記の構成により、固定ベース１からＸ方
向に突出した駆動軸３の把手部５を回転させることによ
って駆動軸３は回転しながらＸ方向に移動し、駆動軸３
の端部にボールベアリングを介して係合された駆動板７
は固定ベース１のガイド部にガイドされて回転すること
なくＸ方向に移動する。
向に突出した駆動軸３の把手部５を回転させることによ
って駆動軸３は回転しながらＸ方向に移動し、駆動軸３
の端部にボールベアリングを介して係合された駆動板７
は固定ベース１のガイド部にガイドされて回転すること
なくＸ方向に移動する。
【００２４】駆動板７に取付けたローラ９ａ，９ｂが両
面に当接した斜面板８は、駆動軸３がＸ方向に移動して
も固定ベース１のガイドによりＸ方向には移動できず、
Ｘ・Ｚ方向に対し斜めの平行両面へのローラ９ａ，９ｂ
の片方の押圧と他方の押圧解除とにより斜面板８にはｚ
方向への駆動力が発生し、斜面板８を取付けたＺステー
ジ２は固定ベース１に対してｚ方向へ移動する。
面に当接した斜面板８は、駆動軸３がＸ方向に移動して
も固定ベース１のガイドによりＸ方向には移動できず、
Ｘ・Ｚ方向に対し斜めの平行両面へのローラ９ａ，９ｂ
の片方の押圧と他方の押圧解除とにより斜面板８にはｚ
方向への駆動力が発生し、斜面板８を取付けたＺステー
ジ２は固定ベース１に対してｚ方向へ移動する。
【００２５】なおローラ９ａ，９ｂを斜面板８の両面に
当接させた構成により、スプリングによる逆方向駆動機
構は不要であり、従来装置よりもワークを確実に移動さ
せることができる。また前記の駆動軸３の把手部５の回
動とＸ方向移動を示すマイクロメータ状のＺステージの
移動表示目盛６ａ，６ｂによってＺステージ２の移動寸
法を正確に読み取ることができる。
当接させた構成により、スプリングによる逆方向駆動機
構は不要であり、従来装置よりもワークを確実に移動さ
せることができる。また前記の駆動軸３の把手部５の回
動とＸ方向移動を示すマイクロメータ状のＺステージの
移動表示目盛６ａ，６ｂによってＺステージ２の移動寸
法を正確に読み取ることができる。
【００２６】（他の実施例）前記実施例では、駆動板７
に取付けたローラ９ａ，９ｂをＺステージ２に取付けた
斜面板８の両面に当接させて、駆動軸３のＸ方向移動に
よりＺステージ２をＺ方向に移動させる構成であった
が、他の実施例では、駆動板７に斜面板８を取付け、Ｚ
ステージ２に取付けたローラ９ａ，９ｂを斜面板８の両
面に当接させて、駆動軸３のＸ方向移動によりＺステー
ジ２をＺ方向に移動させる構成によって、前記実施例と
同様な効果を得ることができる。
に取付けたローラ９ａ，９ｂをＺステージ２に取付けた
斜面板８の両面に当接させて、駆動軸３のＸ方向移動に
よりＺステージ２をＺ方向に移動させる構成であった
が、他の実施例では、駆動板７に斜面板８を取付け、Ｚ
ステージ２に取付けたローラ９ａ，９ｂを斜面板８の両
面に当接させて、駆動軸３のＸ方向移動によりＺステー
ジ２をＺ方向に移動させる構成によって、前記実施例と
同様な効果を得ることができる。
【００２７】また、前記実施例は、固定ベース１のＸ方
向は水平方向、そしてＺ方向は垂直方向の例を説明した
が、Ｘ方向・Ｚ方向は水平方向・垂直方向に限定される
ものではなく、Ｘ方向とＺ方向とは直角であれば前記実
施例と同様に構成できる。
向は水平方向、そしてＺ方向は垂直方向の例を説明した
が、Ｘ方向・Ｚ方向は水平方向・垂直方向に限定される
ものではなく、Ｘ方向とＺ方向とは直角であれば前記実
施例と同様に構成できる。
【００２８】即ち、固定ベース１は水平底面を備えた形
状に限ることなく、設置条件等に対応させた形状とし、
そしてＺステージ２も垂直方向移動に限らずワークの位
置設定・移動に必要な方向に移動できるガイド機構を固
定ベース１に設け、Ｚベース２の移動方向に対して直角
方向に移動する駆動軸３を固定ベース１に設けた他の実
施例により、種々の操作の要求に対応したＺステージ装
置を提供することができる。
状に限ることなく、設置条件等に対応させた形状とし、
そしてＺステージ２も垂直方向移動に限らずワークの位
置設定・移動に必要な方向に移動できるガイド機構を固
定ベース１に設け、Ｚベース２の移動方向に対して直角
方向に移動する駆動軸３を固定ベース１に設けた他の実
施例により、種々の操作の要求に対応したＺステージ装
置を提供することができる。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ワークを載置、あるいは固定するＺステージをＺ方向に
正確に移動し位置決めすることができ、ワークを所定位
置に容易に移動、設定することが可能である。
ワークを載置、あるいは固定するＺステージをＺ方向に
正確に移動し位置決めすることができ、ワークを所定位
置に容易に移動、設定することが可能である。
【００３０】そして、固定ベースに備えたＸ方向の駆動
軸を回転させることによってＺステージを直角異なった
Ｚ方向に移動させるＸ・Ｚ移動方向変換手段は、駆動軸
の移動に係合し固定ベースにガイドされて回転すること
なくＸ方向に移動する駆動板を介在させて、Ｘ・Ｚ方向
に対し斜めの平行両面を有する斜面板と斜面板の両面に
当接する複数のローラとの組み合わせによる構成である
ので、Ｚベースをガタつかすことなく確実・精細に移動
させることができる。
軸を回転させることによってＺステージを直角異なった
Ｚ方向に移動させるＸ・Ｚ移動方向変換手段は、駆動軸
の移動に係合し固定ベースにガイドされて回転すること
なくＸ方向に移動する駆動板を介在させて、Ｘ・Ｚ方向
に対し斜めの平行両面を有する斜面板と斜面板の両面に
当接する複数のローラとの組み合わせによる構成である
ので、Ｚベースをガタつかすことなく確実・精細に移動
させることができる。
【００３１】駆動軸の把手部は固定ベースからＸ方向に
突出しているのでワークに邪魔されることはなく容易に
操作することができ、駆動軸を回転させることにより、
正確にＺステージを移動させることができる。そして、
駆動軸の把手部の回動とＸ方向の移動とからＺステージ
の移動を表示する移動表示目盛りを備えたことにより、
ワークの移動寸法を正確に読み取りでき、またワークを
正確に所定寸法だけ移動させることができる。
突出しているのでワークに邪魔されることはなく容易に
操作することができ、駆動軸を回転させることにより、
正確にＺステージを移動させることができる。そして、
駆動軸の把手部の回動とＸ方向の移動とからＺステージ
の移動を表示する移動表示目盛りを備えたことにより、
ワークの移動寸法を正確に読み取りでき、またワークを
正確に所定寸法だけ移動させることができる。
【図１】 一実施例の斜視図である。
【図２】 一実施例の水平断面図である。
【図３】 一実施例の垂直断面図である。
【図４】 従来のＺステージ装置の側面図である。
１ 固定ベース １ａ 固定ベースの延長構成部 １ｂ ガイド内筒面部 １ｃ 雌ネジ部 ２ Ｚステージ ３ 駆動軸 ３ａ 駆動軸の雄ネジ部 ５ 駆動軸の把手部 ７ 駆動板 ８ 斜面板 ９ａ，９ｂ ローラ
Claims (2)
- 【請求項１】 固定ベースと、固定ベースに螺合し把手
部を回動させることにより固定ベースのＸ方向に移動す
る駆動軸と、固定ベースに係合ガイドされて固定ベース
のＸ方向に対し直角のＺ方向に移動可能なＺステージ
と、前記駆動軸のＸ方向移動をＺステージのＺ方向駆動
に変換するＸ・Ｚ移動方向変換手段と、前記駆動軸の把
手部の回動とＸ方向移動を示すＺステージの移動表示目
盛りとを備えた直動Ｚステージ装置であって、 前記Ｘ・Ｚ移動方向変換手段は、駆動軸の移動に係合し
固定ベースにガイドされて回転することなくＸ方向に移
動する駆動板と、Ｚステージに固定したＸ・Ｚ方向に対
し斜めの平行両面を有する斜面板と、前記駆動板に設け
斜面板の両面に当接する複数のローラとを備えたことを
特徴とする直動Ｚステージ装置。 - 【請求項２】 固定ベースと、固定ベースに螺合し把手
部を回動させることにより固定ベースのＸ方向に移動す
る駆動軸と、固定ベースに係合ガイドされて固定ベース
のＸ方向に対し直角のＺ方向に移動可能なＺステージ
と、前記駆動軸のＸ方向移動をＺステージのＺ方向駆動
に変換するＸ・Ｚ移動方向変換手段と、前記駆動軸の把
手部の回動とＸ方向移動を示すＺステージの移動表示目
盛りとを備えた直動Ｚステージ装置であって、 前記Ｘ・Ｚ移動方向変換手段は、駆動軸の移動に係合し
固定ベースにガイドされて回転することなくＸ方向に移
動する駆動板と、該駆動板に固定したＸ・Ｚ方向に対し
斜めの平行両面を有する斜面板と、Ｚステージに設け前
記斜面板の両面に当接する複数のローラとを備えたこと
を特徴とする直動Ｚステージ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14760394A JPH0815466A (ja) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | 直動ｚステージ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14760394A JPH0815466A (ja) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | 直動ｚステージ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0815466A true JPH0815466A (ja) | 1996-01-19 |
Family
ID=15434069
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14760394A Withdrawn JPH0815466A (ja) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | 直動ｚステージ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0815466A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003012519A1 (fr) * | 2001-07-26 | 2003-02-13 | Japan Science And Technology Corporation | Mecanisme de microscope fin a deplacement vertical |
| JP4500879B1 (ja) * | 2009-05-20 | 2010-07-14 | 株式会社ミラック光学 | あおり旋回機能付き手動ステージ及びあおり旋回ステージ |
-
1994
- 1994-06-29 JP JP14760394A patent/JPH0815466A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003012519A1 (fr) * | 2001-07-26 | 2003-02-13 | Japan Science And Technology Corporation | Mecanisme de microscope fin a deplacement vertical |
| US6961173B2 (en) | 2001-07-26 | 2005-11-01 | Japan Science And Technology Corporation | Vertical fine movement mechanism of microscope |
| JP4500879B1 (ja) * | 2009-05-20 | 2010-07-14 | 株式会社ミラック光学 | あおり旋回機能付き手動ステージ及びあおり旋回ステージ |
| JP2010271098A (ja) * | 2009-05-20 | 2010-12-02 | Miruc Optical Co Ltd | あおり旋回機能付き手動ステージ及びあおり旋回ステージ |
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