JPH08118171A - 水平移動テーブル - Google Patents
水平移動テーブルInfo
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- JPH08118171A JPH08118171A JP6255649A JP25564994A JPH08118171A JP H08118171 A JPH08118171 A JP H08118171A JP 6255649 A JP6255649 A JP 6255649A JP 25564994 A JP25564994 A JP 25564994A JP H08118171 A JPH08118171 A JP H08118171A
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- table plate
- plate
- horizontal table
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】水平移動テーブルをサイズ的に比較的偏平なス
ペースにも設置できる水平移動テーブルを実現すること
にある。 【構成】複数個の回転自在な小鋼球面若しくは潤滑樹脂
面による水平滑走部１４を備えた定盤１１と、水平滑走
部１４上に載置されてＸ−Ｙ方向及びθ方向に移動自在
な水平テーブル板１２と、該テーブル板１２のＸ方向と
Ｙ方向のうちいずれか一方向の一側端部の少なくとも２
個所及び他方向の一側端部の少なくとも１個所に当接す
るようにそれぞれ設けられた水平方向に動作するアクチ
ュエータ部１５と、該アクチュエータ部１５にテーブル
板１２の前記一側端部を常に当接させるため前記一側端
部と対向する他側端部に当接する弾力押圧部１６を設け
た。
ペースにも設置できる水平移動テーブルを実現すること
にある。 【構成】複数個の回転自在な小鋼球面若しくは潤滑樹脂
面による水平滑走部１４を備えた定盤１１と、水平滑走
部１４上に載置されてＸ−Ｙ方向及びθ方向に移動自在
な水平テーブル板１２と、該テーブル板１２のＸ方向と
Ｙ方向のうちいずれか一方向の一側端部の少なくとも２
個所及び他方向の一側端部の少なくとも１個所に当接す
るようにそれぞれ設けられた水平方向に動作するアクチ
ュエータ部１５と、該アクチュエータ部１５にテーブル
板１２の前記一側端部を常に当接させるため前記一側端
部と対向する他側端部に当接する弾力押圧部１６を設け
た。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、水平な二次元面内をＸ
−Ｙ方向、θ回転方向のいずれにも自由に移動可能な水
平移動テーブルであって、各種光学露光装置や各種検査
装置等におけるワーク（板状体やシート状体等）の位置
合わせ等に使用する水平移動テーブルに関する。
−Ｙ方向、θ回転方向のいずれにも自由に移動可能な水
平移動テーブルであって、各種光学露光装置や各種検査
装置等におけるワーク（板状体やシート状体等）の位置
合わせ等に使用する水平移動テーブルに関する。
【０００２】
【従来の技術】図４の概要正面断面図に示すように、従
来の二次元水平面内をＸ−Ｙ方向、θ方向（水平回転方
向）に自由に移動回転可能な水平移動テーブルは、テー
ブル本体支持フレームＦに、垂直軸受１ｂに軸支されて
θ方向に自由回転可能な垂直支軸１ａが設けられ、該支
軸１ａ上部先端部に水平な第１テーブル１が取り付けら
れている。
来の二次元水平面内をＸ−Ｙ方向、θ方向（水平回転方
向）に自由に移動回転可能な水平移動テーブルは、テー
ブル本体支持フレームＦに、垂直軸受１ｂに軸支されて
θ方向に自由回転可能な垂直支軸１ａが設けられ、該支
軸１ａ上部先端部に水平な第１テーブル１が取り付けら
れている。
【０００３】上記第１テーブル１上に一体的に設けられ
た直線ガイドレール２，２上には、水平な第２テーブル
３が、ガイドフォロア３ａ（ボールベアリング、ニード
ルベアリング等の滑走面）を介して水平に載置され、前
記レール２，２に沿って直線的に一方向（例えばＹ方
向）に移動自在になっている。
た直線ガイドレール２，２上には、水平な第２テーブル
３が、ガイドフォロア３ａ（ボールベアリング、ニード
ルベアリング等の滑走面）を介して水平に載置され、前
記レール２，２に沿って直線的に一方向（例えばＹ方
向）に移動自在になっている。
【０００４】第２テーブル３上に一体的に設けられた直
線ガイドレール４，４上には、水平な第３テーブル５
が、ガイドフォロア５ａ（ボールベアリング、ニードル
ベアリング等の滑走面）を介して水平に載置され、前記
レール４，４に沿って直線的に一方向（例えばＸ方向）
に移動自在になっている。
線ガイドレール４，４上には、水平な第３テーブル５
が、ガイドフォロア５ａ（ボールベアリング、ニードル
ベアリング等の滑走面）を介して水平に載置され、前記
レール４，４に沿って直線的に一方向（例えばＸ方向）
に移動自在になっている。
【０００５】また、上記水平移動テーブルは、必要に応
じて前記垂直支軸１ａの端部にはパルスモーター、サー
ボモーター等電動モーター、空圧若しくは油圧のロータ
リーシリンダー等の動力源（図示せず）を取り付け、前
記第２テーブル３にはブラケット６ａを介してＹ方向に
動力源ＭY にて駆動回転するボールスクリューシャフト
６を螺着し、第３テーブル５にはブラケット７ａを介し
てＸ方向に動力源ＭXにて駆動回転するボールスクリュ
ーシャフト７を螺着して、前記各動力源を駆動させるこ
とにより、第３テーブル５上に載置した適宜ワークＷ
を、Ｘ−Ｙ方向又はθ方向における適宜位置に移動させ
て位置決め等を行なうことができるようになってる。
じて前記垂直支軸１ａの端部にはパルスモーター、サー
ボモーター等電動モーター、空圧若しくは油圧のロータ
リーシリンダー等の動力源（図示せず）を取り付け、前
記第２テーブル３にはブラケット６ａを介してＹ方向に
動力源ＭY にて駆動回転するボールスクリューシャフト
６を螺着し、第３テーブル５にはブラケット７ａを介し
てＸ方向に動力源ＭXにて駆動回転するボールスクリュ
ーシャフト７を螺着して、前記各動力源を駆動させるこ
とにより、第３テーブル５上に載置した適宜ワークＷ
を、Ｘ−Ｙ方向又はθ方向における適宜位置に移動させ
て位置決め等を行なうことができるようになってる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の水平移動テ
ーブルは、図４に示すように、３台のテーブル（第１テ
ーブル１、第２テーブル３、第３テーブル５）をスライ
ド移動自在に上下方向に積み重ねた構造となっており、
また、水平移動テーブルの第２テーブル３及び第３テー
ブル５は、それぞれ下側テーブルの平行直線状のガイド
レール２，４によって線状に支持されている。
ーブルは、図４に示すように、３台のテーブル（第１テ
ーブル１、第２テーブル３、第３テーブル５）をスライ
ド移動自在に上下方向に積み重ねた構造となっており、
また、水平移動テーブルの第２テーブル３及び第３テー
ブル５は、それぞれ下側テーブルの平行直線状のガイド
レール２，４によって線状に支持されている。
【０００７】上記第２テーブル３又は／及び第３テーブ
ル５を適宜位置に移動させて、ワークＷを所定位置に位
置決めする際に、第２テーブル３、第３テーブル５が偏
位した位置に移動した場合は、各テーブルの荷重（ワー
クＷの荷重が大の場合はワークＷの荷重を含めて）が各
ガイドレール２，２，４，４のうちのいずれかに対して
偏重して掛かり、荷重の掛かったガイドレール２，４を
支点とするモーメント力がテーブルに発生して、テーブ
ルが煽られたり、テーブルに曲げ応力（ストレス）が発
生したり、また荷重の掛かるガイドレール２，４にも多
大の負荷やストレスが掛かるものであった。
ル５を適宜位置に移動させて、ワークＷを所定位置に位
置決めする際に、第２テーブル３、第３テーブル５が偏
位した位置に移動した場合は、各テーブルの荷重（ワー
クＷの荷重が大の場合はワークＷの荷重を含めて）が各
ガイドレール２，２，４，４のうちのいずれかに対して
偏重して掛かり、荷重の掛かったガイドレール２，４を
支点とするモーメント力がテーブルに発生して、テーブ
ルが煽られたり、テーブルに曲げ応力（ストレス）が発
生したり、また荷重の掛かるガイドレール２，４にも多
大の負荷やストレスが掛かるものであった。
【０００８】そのため、従来の上記水平移動テーブル
は、機械的な位置決め精度を得るためにも、曲げ応力に
対する変形や磨耗に対して強く、比較的厚み（重量）の
ある頑丈な金属部材で作成されており、また、θ方向の
回転支軸にも所定の厚みを必要としており、したがって
全体の構造として、偏平な構造が採用し難く、特にサイ
ズ的に上下方向の高さが高くなり、設置のための十分な
空間を必要としていた。
は、機械的な位置決め精度を得るためにも、曲げ応力に
対する変形や磨耗に対して強く、比較的厚み（重量）の
ある頑丈な金属部材で作成されており、また、θ方向の
回転支軸にも所定の厚みを必要としており、したがって
全体の構造として、偏平な構造が採用し難く、特にサイ
ズ的に上下方向の高さが高くなり、設置のための十分な
空間を必要としていた。
【０００９】本発明は、水平移動テーブルをサイズ的に
比較的偏平なスペースにも設置できる水平移動テーブル
を実現することにある。
比較的偏平なスペースにも設置できる水平移動テーブル
を実現することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数個の回転
自在な小鋼球面若しくは滑性樹脂面による水平滑走部１
４を備えた定盤１１と、水平滑走部１４上に載置されて
Ｘ−Ｙ方向及びθ方向に移動自在な水平テーブル板１２
と、該水平テーブル板１２のＸ方向とＹ方向のうちいず
れか一方向の一側端部の少なくとも２個所及び他方向の
一側端部の少なくとも１個所に当接するようにそれぞれ
設けられた水平方向に動作するアクチュエータ部１５
と、該アクチュエータ部１５に水平テーブル板１２の前
記一側端部を常に当接させるため前記一側端部と対向す
る他側端部に当接して水平方向に弾力的に押圧する弾力
押圧部１６を設けたことを特徴とする水平移動テーブル
である。
自在な小鋼球面若しくは滑性樹脂面による水平滑走部１
４を備えた定盤１１と、水平滑走部１４上に載置されて
Ｘ−Ｙ方向及びθ方向に移動自在な水平テーブル板１２
と、該水平テーブル板１２のＸ方向とＹ方向のうちいず
れか一方向の一側端部の少なくとも２個所及び他方向の
一側端部の少なくとも１個所に当接するようにそれぞれ
設けられた水平方向に動作するアクチュエータ部１５
と、該アクチュエータ部１５に水平テーブル板１２の前
記一側端部を常に当接させるため前記一側端部と対向す
る他側端部に当接して水平方向に弾力的に押圧する弾力
押圧部１６を設けたことを特徴とする水平移動テーブル
である。
【００１１】
【実施例】本発明の水平移動テーブルを、図１（ａ）の
正面図、図１（ｂ）の側面図、図１（ｃ）の平面図に示
す一実施例に従って、以下に詳細に説明する。
正面図、図１（ｂ）の側面図、図１（ｃ）の平面図に示
す一実施例に従って、以下に詳細に説明する。
【００１２】図１（ａ）〜（ｂ）に示すように、定盤１
１の上面には、複数個の小鋼球１３をその頂部が水平同
一面となるように自由回転自在に規則的等間隔に配列し
た水平滑走部１４を備えている。水平滑走部１４は、一
実施例においては、定盤１１の平坦な上面（例えば面内
精度±５μｍ程度）に、平面矩形リング状若しくは平面
円形リング状の枠体からなるホルダー１４ａを一体的に
備え、該ホルダー１４ａ内の定盤１１上面上に、複数個
の小鋼球１３を隣接する互いの小鋼球１３との間に多少
のクリアランスを以て回転可能に、ほぼ密接した状態で
配列したものである。
１の上面には、複数個の小鋼球１３をその頂部が水平同
一面となるように自由回転自在に規則的等間隔に配列し
た水平滑走部１４を備えている。水平滑走部１４は、一
実施例においては、定盤１１の平坦な上面（例えば面内
精度±５μｍ程度）に、平面矩形リング状若しくは平面
円形リング状の枠体からなるホルダー１４ａを一体的に
備え、該ホルダー１４ａ内の定盤１１上面上に、複数個
の小鋼球１３を隣接する互いの小鋼球１３との間に多少
のクリアランスを以て回転可能に、ほぼ密接した状態で
配列したものである。
【００１３】水平テーブル板１２は、その平坦な下面
（例えば面内精度±５μｍ程度）を、上記水平滑走部１
４の複数個の小鋼球１３の頂部に載置され、該水平テー
ブル板１２は、その上面を水平状態を保持されて、水平
面内のＸ−Ｙ方向、θ方向に自在に滑動する。
（例えば面内精度±５μｍ程度）を、上記水平滑走部１
４の複数個の小鋼球１３の頂部に載置され、該水平テー
ブル板１２は、その上面を水平状態を保持されて、水平
面内のＸ−Ｙ方向、θ方向に自在に滑動する。
【００１４】例えば図１（ｃ）に示すように、水平テー
ブル板１２のＸ方向とＹ方向のうちいずれか一方向の一
側端部、水平テーブル板１２のＸ方向の一側端部の少な
くとも２個所に当接して水平方向に空圧若しくは油圧の
駆動シリンダ、若しくはパルスモーターやサーボモータ
ー等の電動モーターによるボールスクリュードライブ方
式又はピエゾ素子駆動方式等の駆動源を備えて駆動動作
するアクチュエータ部１５，１５を備える。また一方、
水平テーブル板１２のＹ方向の一側端部の少なくとも１
個所に当接して水平方向に動作する上記同様に駆動源を
備えて駆動動作するアクチュエータ部１５を備える。
ブル板１２のＸ方向とＹ方向のうちいずれか一方向の一
側端部、水平テーブル板１２のＸ方向の一側端部の少な
くとも２個所に当接して水平方向に空圧若しくは油圧の
駆動シリンダ、若しくはパルスモーターやサーボモータ
ー等の電動モーターによるボールスクリュードライブ方
式又はピエゾ素子駆動方式等の駆動源を備えて駆動動作
するアクチュエータ部１５，１５を備える。また一方、
水平テーブル板１２のＹ方向の一側端部の少なくとも１
個所に当接して水平方向に動作する上記同様に駆動源を
備えて駆動動作するアクチュエータ部１５を備える。
【００１５】上記各アクチュエータ１５は、水平テーブ
ル板１２の一側端部にスライド可能に当接するように、
その先端部（例えばエアーシリンダの作動ロッド先端
部）に軸受を介して回転自在な金属ロール（ベアリング
ロール等）、あるいは図示しないがボールベアリングや
ニードルベアリングを内装するリニアスライドガイド等
のスライド部１５ａを備える。
ル板１２の一側端部にスライド可能に当接するように、
その先端部（例えばエアーシリンダの作動ロッド先端
部）に軸受を介して回転自在な金属ロール（ベアリング
ロール等）、あるいは図示しないがボールベアリングや
ニードルベアリングを内装するリニアスライドガイド等
のスライド部１５ａを備える。
【００１６】上記各アクチュエータ１５の水平方向の駆
動動作は、例えば直線的に前進（伸長）移動動作と後退
（短縮）移動動作とを行なうものであり、前進移動量・
後退移動量は、それぞれ前記アクチュエータ１５に付帯
するリニアエンコーダ、ロータリーエンコーダ等の検出
器にて検出し、その検出信号に基いて各アクチュエータ
１５の駆動源をＯＮ，ＯＦＦ（空圧調整、油圧調整、電
流量、電圧量調整）して、各アクチュエータ１５の前進
・後退・移動動作制御及び停止動作制御を行ない、水平
テーブル板１２を、水平面内のＸ−Ｙ方向、θ方向に適
宜量だけ押送移動させて、該水平テーブル板１２上に載
置固定されるワークＷの適宜位置決めを行なうものであ
る。
動動作は、例えば直線的に前進（伸長）移動動作と後退
（短縮）移動動作とを行なうものであり、前進移動量・
後退移動量は、それぞれ前記アクチュエータ１５に付帯
するリニアエンコーダ、ロータリーエンコーダ等の検出
器にて検出し、その検出信号に基いて各アクチュエータ
１５の駆動源をＯＮ，ＯＦＦ（空圧調整、油圧調整、電
流量、電圧量調整）して、各アクチュエータ１５の前進
・後退・移動動作制御及び停止動作制御を行ない、水平
テーブル板１２を、水平面内のＸ−Ｙ方向、θ方向に適
宜量だけ押送移動させて、該水平テーブル板１２上に載
置固定されるワークＷの適宜位置決めを行なうものであ
る。
【００１７】水平テーブル１２のＸ方向の前記一側端部
と対向する他側端部には、これに当接して水平方向に弾
力的に押圧する螺旋状バネや板バネ等による弾力部材を
用いた少なくとも１個乃至２個以上の弾力押圧部１６を
設け、Ｘ方向の前記一側端部に当接する２個の前記アク
チュエータ部１５と水平テーブル１２のＸ方向の前記他
側端部とが常に当接するようになっている。また一方、
水平テーブル１２のＹ方向の前記一側端部と対向する他
側端部にはこれに当接して水平方向に弾力的に押圧する
螺旋状バネや板バネ等による弾力部材を用いた少なくと
も１個乃至２個以上の弾力押圧部１６を設け、Ｙ方向の
前記一側端部に当接する１個の前記アクチュエータ部１
５と水平テーブル１２のＹ方向の前記他側端部とが常に
当接するようになっている。
と対向する他側端部には、これに当接して水平方向に弾
力的に押圧する螺旋状バネや板バネ等による弾力部材を
用いた少なくとも１個乃至２個以上の弾力押圧部１６を
設け、Ｘ方向の前記一側端部に当接する２個の前記アク
チュエータ部１５と水平テーブル１２のＸ方向の前記他
側端部とが常に当接するようになっている。また一方、
水平テーブル１２のＹ方向の前記一側端部と対向する他
側端部にはこれに当接して水平方向に弾力的に押圧する
螺旋状バネや板バネ等による弾力部材を用いた少なくと
も１個乃至２個以上の弾力押圧部１６を設け、Ｙ方向の
前記一側端部に当接する１個の前記アクチュエータ部１
５と水平テーブル１２のＹ方向の前記他側端部とが常に
当接するようになっている。
【００１８】上記各弾力押圧部１６は、水平テーブル板
１２の他側端部にスライド可能に当接するように、その
先端部（例えばエアーシリンダの作動ロッド先端部）に
軸受を介して回転自在な金属ロール（ベアリングロー
ル）、あるいは図示しないがボールベアリングやニード
ルベアリングを内装するリニアスライドガイド等のスラ
イド部１５ａを備える。
１２の他側端部にスライド可能に当接するように、その
先端部（例えばエアーシリンダの作動ロッド先端部）に
軸受を介して回転自在な金属ロール（ベアリングロー
ル）、あるいは図示しないがボールベアリングやニード
ルベアリングを内装するリニアスライドガイド等のスラ
イド部１５ａを備える。
【００１９】上記水平滑走部１４は、上記一実施例以外
に、他の実施例として、例えば複数個の小鋼球１３の１
個ずつを、その頂部球面と下部球面とが露呈するように
して回転可能にアレイ状に保持するホルダー１４ａによ
り構成されていてもよい。
に、他の実施例として、例えば複数個の小鋼球１３の１
個ずつを、その頂部球面と下部球面とが露呈するように
して回転可能にアレイ状に保持するホルダー１４ａによ
り構成されていてもよい。
【００２０】また、本発明のその他の実施例としては、
図２に示すように、水平滑走部１４を、滑性樹脂面１７
として、水平テーブル板１２の平滑な下面（例えば面内
精度±５μｍ程度）を、該滑性樹脂面１７（例えば面内
精度±５μｍ程度）上にて、水平面内のＸ−Ｙ方向、θ
方向に自在に滑動するようにしてもよい。滑性樹脂面１
７は、例えば、四フッ化エチレン系合成樹脂等の滑性樹
脂により形成されており、滑性樹脂として、例えば四フ
ッ化エチレン系合成樹脂（商品名；テフロン）が使用で
き、また、四フッ化エチレン系合成樹脂を用いた滑性樹
脂（商品名；ターカイト）が使用できる。また、滑性樹
脂面１７に必要に応じて適宜潤滑オイルを用いた油膜を
張ることにより該滑性樹脂面１７を潤滑性樹脂面として
もよい。
図２に示すように、水平滑走部１４を、滑性樹脂面１７
として、水平テーブル板１２の平滑な下面（例えば面内
精度±５μｍ程度）を、該滑性樹脂面１７（例えば面内
精度±５μｍ程度）上にて、水平面内のＸ−Ｙ方向、θ
方向に自在に滑動するようにしてもよい。滑性樹脂面１
７は、例えば、四フッ化エチレン系合成樹脂等の滑性樹
脂により形成されており、滑性樹脂として、例えば四フ
ッ化エチレン系合成樹脂（商品名；テフロン）が使用で
き、また、四フッ化エチレン系合成樹脂を用いた滑性樹
脂（商品名；ターカイト）が使用できる。また、滑性樹
脂面１７に必要に応じて適宜潤滑オイルを用いた油膜を
張ることにより該滑性樹脂面１７を潤滑性樹脂面として
もよい。
【００２１】本発明においては、図１（ａ）〜（ｃ）及
び図２に示すように、必要に応じて水平テーブル板１２
周辺側端部の下部、若しくは上部と下部とに水平に突出
する係止縁部１２ａを設けて、該係止縁部１２ａ水平上
面に前記アクチュエータ５と弾力押圧部６の下部面を摺
接係合することにより、水平テーブル板１２の上下移動
を規制して、該水平テーブル板１２を水平滑走部１４上
にて移動可能に保持する。又は水平テーブル板１２上面
の周囲にガイド板（図示せず）を被覆するように設け、
該水平テーブル板１２上面をガイド板下面に沿って摺動
させるようにしてもよい。
び図２に示すように、必要に応じて水平テーブル板１２
周辺側端部の下部、若しくは上部と下部とに水平に突出
する係止縁部１２ａを設けて、該係止縁部１２ａ水平上
面に前記アクチュエータ５と弾力押圧部６の下部面を摺
接係合することにより、水平テーブル板１２の上下移動
を規制して、該水平テーブル板１２を水平滑走部１４上
にて移動可能に保持する。又は水平テーブル板１２上面
の周囲にガイド板（図示せず）を被覆するように設け、
該水平テーブル板１２上面をガイド板下面に沿って摺動
させるようにしてもよい。
【００２２】図３は、本発明の水平移動テーブルの動作
を説明する概要平面図であり、Ｘ方向に設置した２個の
アクチュエータ１５，１５のそれぞれ後退移動量を相違
させて適宜移動量だけ後退移動動作させながら、Ｙ方向
に設置した１個のアクチュエータ１５を適宜移動量だけ
後退移動動作させることにより、対向するそれぞれ弾力
押圧部１６は、その弾力性によって水平テーブル板１２
を水平滑走部１４上面に沿って押送移動させて、座標点
Ｏ1 にある水平テーブル板１２の所定点（例えば中央
点）を座標点Ｏ2 に移動させる。これによって、水平テ
ーブル板１２に載置されたワークＷを、Ｘ−Ｙ方向に所
定量Δｘ，Δｙだけ移動させ、θ方向に所定量Δθだけ
回転移動させて、所定位置に位置決めするものである。
を説明する概要平面図であり、Ｘ方向に設置した２個の
アクチュエータ１５，１５のそれぞれ後退移動量を相違
させて適宜移動量だけ後退移動動作させながら、Ｙ方向
に設置した１個のアクチュエータ１５を適宜移動量だけ
後退移動動作させることにより、対向するそれぞれ弾力
押圧部１６は、その弾力性によって水平テーブル板１２
を水平滑走部１４上面に沿って押送移動させて、座標点
Ｏ1 にある水平テーブル板１２の所定点（例えば中央
点）を座標点Ｏ2 に移動させる。これによって、水平テ
ーブル板１２に載置されたワークＷを、Ｘ−Ｙ方向に所
定量Δｘ，Δｙだけ移動させ、θ方向に所定量Δθだけ
回転移動させて、所定位置に位置決めするものである。
【００２３】
【作用】本発明の水平移動テーブルは、水平テーブル板
１２を水平滑走部１４上に載置して、各アクチュエータ
部１５により適宜移動量だけ水平方向に移動動作させる
ことによって、水平面内のＸ−Ｙ方向及びθ方向に適宜
移動させることができ、水平テーブル板１２上に載置さ
れる適宜ワークＷを所定位置に位置決めすることができ
る。
１２を水平滑走部１４上に載置して、各アクチュエータ
部１５により適宜移動量だけ水平方向に移動動作させる
ことによって、水平面内のＸ−Ｙ方向及びθ方向に適宜
移動させることができ、水平テーブル板１２上に載置さ
れる適宜ワークＷを所定位置に位置決めすることができ
る。
【００２４】また本発明の水平移動テーブルは、従来の
ような平行直線状のガイドレールによって線状に支持さ
れた積み重ね構造の水平移動テーブルとは異なり、該テ
ーブル板１２の荷重（ワークＷの荷重が大の場合はワー
クＷの荷重を含めて）が水平滑走部１４に対して面状に
掛かるため、水平テーブル板１２が偏位した位置に移動
した場合でもテーブル板や移動ガイドに発生する曲げ応
力（ストレス）を緩和でき、水平テーブル板１２の厚さ
を比較的薄く設定することができる。
ような平行直線状のガイドレールによって線状に支持さ
れた積み重ね構造の水平移動テーブルとは異なり、該テ
ーブル板１２の荷重（ワークＷの荷重が大の場合はワー
クＷの荷重を含めて）が水平滑走部１４に対して面状に
掛かるため、水平テーブル板１２が偏位した位置に移動
した場合でもテーブル板や移動ガイドに発生する曲げ応
力（ストレス）を緩和でき、水平テーブル板１２の厚さ
を比較的薄く設定することができる。
【００２５】また、水平面内を自在移動させる水平滑走
部１４は、アレイ状にコンパクトに配置した回転自在な
小鋼球頂部面や滑性樹脂面による構成されているため、
高さ方向を低くした偏平構造を採用できる。
部１４は、アレイ状にコンパクトに配置した回転自在な
小鋼球頂部面や滑性樹脂面による構成されているため、
高さ方向を低くした偏平構造を採用できる。
【００２６】
【発明の効果】本発明の水平移動テーブルは、水平テー
ブル板を水平滑走部上に載置して、水平面内のＸ−Ｙ方
向及びθ方向に移動自在としたので、θ方向に回転させ
るための回転支軸を省略でき、特にサイズ的に上下方向
の高さを短縮した偏平なテーブル構造が採用でき、比較
的上下方向に狭いスペースにも設置できる水平移動テー
ブルとして、露光装置や各種検査装置、あるいは印刷装
置、貼り合わせ装置、切削装置等におけるワーク（板状
体やシート状体等）の位置合わせ装置に設置して使用で
きる効果がある。
ブル板を水平滑走部上に載置して、水平面内のＸ−Ｙ方
向及びθ方向に移動自在としたので、θ方向に回転させ
るための回転支軸を省略でき、特にサイズ的に上下方向
の高さを短縮した偏平なテーブル構造が採用でき、比較
的上下方向に狭いスペースにも設置できる水平移動テー
ブルとして、露光装置や各種検査装置、あるいは印刷装
置、貼り合わせ装置、切削装置等におけるワーク（板状
体やシート状体等）の位置合わせ装置に設置して使用で
きる効果がある。
【図１】（ａ）は本発明の水平移動テーブルの一実施例
を示す正面図、（ｂ）は本発明の水平移動テーブルの一
実施例を示す側面図、（ｃ）は本発明の水平移動テーブ
ルの一実施例を示す平面図である。
を示す正面図、（ｂ）は本発明の水平移動テーブルの一
実施例を示す側面図、（ｃ）は本発明の水平移動テーブ
ルの一実施例を示す平面図である。
【図２】本発明の水平移動テーブルの他の実施例を示す
正面図である。
正面図である。
【図３】本発明の水平移動テーブルの動作を説明する概
要正面図である。
要正面図である。
【図４】従来の水平移動テーブルの概要を説明する正面
断面図である。
断面図である。
１…第１テーブル １ａ…回転支軸 ２…リニアガイド
３…第２テーブル ４…リニアガイド ５…第３テーブル ６…Ｙ方向ボー
ルスクリューシャフト ７…Ｘ方向ボールスクリューシャフト １１…定盤 １２…水平テーブル板 １３…小鋼球 １
４…水平滑走部 １５…アクチュエータ １６…弾力押圧部 １７…滑性
樹脂面 Ｗ…ワーク
３…第２テーブル ４…リニアガイド ５…第３テーブル ６…Ｙ方向ボー
ルスクリューシャフト ７…Ｘ方向ボールスクリューシャフト １１…定盤 １２…水平テーブル板 １３…小鋼球 １
４…水平滑走部 １５…アクチュエータ １６…弾力押圧部 １７…滑性
樹脂面 Ｗ…ワーク
Claims (3)
- 【請求項１】複数個の回転自在な小鋼球面若しくは滑性
樹脂面による水平滑走部１４を備えた定盤１１と、水平
滑走部１４上に載置されてＸ−Ｙ方向及びθ方向に移動
自在な水平テーブル板１２と、該水平テーブル板１２の
Ｘ方向とＹ方向のうちいずれか一方向の一側端部の少な
くとも２個所及び他方向の一側端部の少なくとも１個所
に当接するようにそれぞれ設けられた水平方向に動作す
るアクチュエータ部１５と、該アクチュエータ部１５に
水平テーブル板１２の前記一側端部を常に当接させるた
め前記一側端部と対向する他側端部に当接して水平方向
に弾力的に押圧する弾力押圧部１６を設けたことを特徴
とする水平移動テーブル。 - 【請求項２】前記水平滑走部１４が、複数個の小鋼球１
３をその頂部が水平同一面となるように自由回転自在に
規則的等間隔に配列した面である請求項１記載の水平移
動テーブル。 - 【請求項３】前記水平滑走部１４が、四フッ化エチレン
系合成樹脂による滑性樹脂面１７である請求項１記載の
水平移動テーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6255649A JPH08118171A (ja) | 1994-10-20 | 1994-10-20 | 水平移動テーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6255649A JPH08118171A (ja) | 1994-10-20 | 1994-10-20 | 水平移動テーブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08118171A true JPH08118171A (ja) | 1996-05-14 |
Family
ID=17281691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6255649A Pending JPH08118171A (ja) | 1994-10-20 | 1994-10-20 | 水平移動テーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08118171A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005236165A (ja) * | 2004-02-23 | 2005-09-02 | Bondotekku:Kk | ピエゾボンディングテーブル |
| JP2007137520A (ja) * | 2005-11-14 | 2007-06-07 | Holliger Paletten Logistik Ag | パレット修理用整列および／または保持装置 |
| JP2007213342A (ja) * | 2006-02-09 | 2007-08-23 | Psc Kk | テーブル位置制御装置及びテーブル移動装置 |
| JP2010256298A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Toshiba Teli Corp | ＸＹθステージ機構および引っ張りばねの脱着装置 |
| JP2014006162A (ja) * | 2012-06-25 | 2014-01-16 | Ulvac Japan Ltd | ＸＹθステージ機構 |
| CN114043000A (zh) * | 2021-12-01 | 2022-02-15 | 湖南迅犇智能科技有限公司 | 一种用于模具加工生产中的切割加工装置 |
| CN114905470A (zh) * | 2022-07-19 | 2022-08-16 | 深圳市易天自动化设备股份有限公司 | 移动对位平台 |
-
1994
- 1994-10-20 JP JP6255649A patent/JPH08118171A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN114043000B (zh) * | 2021-12-01 | 2022-12-06 | 广东珩佳智能科技有限公司 | 一种用于模具加工生产中的切割加工装置 |
| CN114905470A (zh) * | 2022-07-19 | 2022-08-16 | 深圳市易天自动化设备股份有限公司 | 移动对位平台 |
| CN114905470B (zh) * | 2022-07-19 | 2022-11-08 | 深圳市易天自动化设备股份有限公司 | 移动对位平台 |
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