JP2006198721A - 位置決めテーブル - Google Patents
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Abstract
【課題】 位置決めをして固定をする際にテーブルの変位がなく、テーブルを移動させる際にごみの発生しない位置決めテーブルを提供する。
【解決手段】 位置決めテーブル1Aは、ベース部材6と、テーブル部材2と、板ばね3と、挟持部材5とを備えている。テーブル部材2は、ベース部材6に対して少なくとも一方向に移動可能なものである。板ばね3は、ベース部材6およびテーブル部材2のいずれか一方に固定されるものである。挟持部材5は、ベース部材6およびテーブル部材2のいずれか他方に固定され、かつ、板ばね3を両側から挟み込むものである。
【選択図】 図1
【解決手段】 位置決めテーブル1Aは、ベース部材6と、テーブル部材2と、板ばね3と、挟持部材5とを備えている。テーブル部材2は、ベース部材6に対して少なくとも一方向に移動可能なものである。板ばね3は、ベース部材6およびテーブル部材2のいずれか一方に固定されるものである。挟持部材5は、ベース部材6およびテーブル部材2のいずれか他方に固定され、かつ、板ばね3を両側から挟み込むものである。
【選択図】 図1
Description
本発明は位置決めテーブルに関するものであり、詳しくは、組み立て機、加工機、露光機等に使用される、ブレーキ機構付き位置決めテーブルに関するものである。
従来より、組み立て機等を組み立てる際やワークに対して孔あけ加工等を施す際に、XY方向に自由に位置決めできるテーブルが用いられている。このようなXYテーブルは、たとえば、特開平06−079564号公報(特許文献1)に開示されている。
図10は、上記の文献に開示されたXYテーブルを示す平面図である。図10を参照して、このXYテーブル100は、ベース101と、2対のリニアレール102、104と、テーブル103と、4つのスライドブロック105と、2つのねじ軸107、112と、ブレーキ装置とを備えている。
図11は、図10のXYテーブル100をXI−XI線に沿った断面図である。図11を参照して、XYテーブル100のブレーキ装置120a、120bは、挟持板121とディスクブレーキ122とからなっている。具体的には、ブレーキ装置120aは、スライドブロック105に取り付けられている挟持板121と、ベース101に取り付けられているディスクブレーキ122とからなっている。ブレーキ装置120bは、テーブル103の下面に取り付けられている挟持板121と、スライドブロック105に支持板を介して取り付けられているブレーキ装置120bからなっている。
XYテーブル100における移動動作については、ねじ軸107を回転させることによりテーブル103をベース101に対してY軸方向に、ねじ軸112を回転させることによりテーブル103をベース101に対してX軸方向に移動させることができる。
2組のブレーキ装置120a、120bは、位置決め後にXYテーブル100がX軸方向およびY軸方向に移動するのを防止するために設けられている。例えば、ブレーキ装置120aの挟持板121をディスクブレーキ122の両端で挟み込むことにより、ベース101とスライドブロック105とをロックできるため、位置決め後のテーブル103がY軸方向に移動するのを防止することができる。
特開平06−079564号公報
しかしながら、上記文献に開示されたXYテーブル100では、挟持板121は剛性の大きい材料からなる。そのため、挟持板121の挟持される面に対して垂直方向の力でディスクブレーキ122により挟持すると、ブレーキ動作時の反力によって挟持板121が垂直方向に変位し、それに伴いテーブル103まで垂直方向に変位する。その結果、位置決め後の目標位置に対し、実際のテーブル103との間に誤差を生じ、所期の加工結果が得られない。
また、上述したテーブル103のブレーキ動作による垂直方向の変位を抑えるためには、挟持板121とディスクブレーキ122との間隔を狭くする必要がある。しかし、挟持板121とディスクブレーキ122との間隔を狭くすると、位置決めのためにテーブル103を移動させた場合に、挟持板121がディスクブレーキ122に擦れ易くなり、摩擦粉などのごみが発生してしまう。
さらに、XYテーブル100は、一方向の移動を1つのブレーキ装置120aまたは120bで防止している。そのため、テーブル103を位置決めした後、テーブル103の重心から離れた位置でテーブルの移動方向に平行な向きの荷重が加わると、テーブル103が傾いて、目標位置に対する誤差が大きくなる。そのため、所期の加工結果が得られない。
さらには、挟持板121の長手方向の両端部の各々が2つのスライドブロック105のそれぞれに支持されている。そのため、挟持板121はその長手方向の両端部で支持されるのみで、長手方向の中央部ではスライドブロック105に支持されておらず、必ずしも強固に支持されているとはいえない。
本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の一の目的は、位置決めをして固定をする際にテーブルの変位がなく、位置決めのためにテーブルを移動させる際にごみの発生しない位置決めテーブルを提供することである。
本発明の他の目的は、荷重がかけられても位置決め後の目標位置に対し、実際のテーブル部材との間に誤差を生じない位置決めテーブルを提供することである。
本発明のさらに他の目的は、ブレーキ機構を構成する部材が強固に支持された位置決めテーブルを提供することである。
本発明の位置決めテーブルは、ベース部材と、テーブル部材と、板ばねと、挟持部材とを備えている。テーブル部材は、ベース部材に対して少なくとも一方向に移動可能なものである。板ばねは、ベース部材およびテーブル部材のいずれか一方に固定されるものである。挟持部材は、ベース部材およびテーブル部材のいずれか他方に固定され、かつ、板ばねを両側から挟み込むものである。
本発明の位置決めテーブルによれば、板ばねが可撓性を有しているため、板ばねの挟持される面に対して垂直方向の力に対して柔軟に変形できるので、テーブル部材の位置決め後に挟持部材で板ばねを挟持してもテーブル部材の変位は生じないで、テーブル部材を固定できる。また、可撓性を有している板ばねを使用することで、テーブル部材の静止時の位置決め精度が良いため、位置決め後の目標位置に対し実際のテーブル部材との間に誤差を生じにくい。さらに、板ばねと挟持部材との間隔を狭くする必要がないので、テーブル部材を移動させても板ばねと挟持部材との接触を避けることができ、摩擦粉などのごみの発生を防止することができる。
上記の位置決めテーブルにおいて好ましくは、挟持部材が直動アクチュエータと当て板とを有する。
これにより、位置決めテーブルの挟持部材は、直動アクチュエータが伸びて、固定されている当て板との間で板ばねを挟持する。
上記の位置決めテーブルにおいて好ましくは、板ばねと挟持部材とを有するブレーキ機構が複数個設けられており、複数個のブレーキ機構はテーブル部材の対辺をなす一辺側と他辺側とに分けて配置されている。
これにより、位置決め後の目標位置に対し、実際のテーブル部材は、移動方向の位置のずれのみならず、テーブル部材の傾きを抑制することができる。
上記位置決めテーブルにおいて好ましくは、一辺側に配置されたブレーキ機構と他辺側に配置されたブレーキ機構とは、テーブル部材の移動方向に沿った中心線に対して左右対称に配置されている。
これにより、ブレーキ機構は、テーブル部材の移動方向の位置のずれのみならず、テーブル部材の傾きをより強固に抑制することができる。
上記位置決めテーブルにおいて好ましくは、板ばねの長手方向の全体が、テーブル部材およびベース部材のいずれか一方に支持されている。
これにより、板ばねをテーブル部材およびベース部材のいずれか一方に強固に支持することができる。また、板ばねとテーブル部材およびベース部材のいずれか一方と強固に固定されているので、ブレーキ機構としてテーブル部材とベース部材を固定する力も強くなる。
上記位置決めテーブルにおいて好ましくは、板ばねと挟持部材とを有するブレーキ機構が4個設けられており、4個のブレーキ機構の各々がテーブル部材の移動方向から見て、テーブル部材の重心に対して点対称になるように配置されている。
これにより、位置決め後の目標位置に対し、実際のテーブル部材は、移動方向の位置のずれのみならず、テーブル部材の傾きをより一層抑制することができる。
上記位置決めテーブルにおいて好ましくは、板ばねの挟持部材と接触する部分および、挟持部材の板ばねと接触する部分の少なくともいずれかに、硬化処理層および耐摩耗性被膜のいずれか一方を有する。
なお、上記位置決めテーブルにおいて好ましくは、板ばねの挟持部材と接触する部分および、挟持部材の板ばねと接触する部分の少なくともいずれかに、耐摩耗性を与えるための熱処理や、めっき、アルマイト、セラミックコーティングなどの被膜処理を行う。
これにより、板ばねの耐久性が向上し、たとえ板ばねが挟持部材と接触したとしても、板ばねの劣化が生じにくくなる。
上記位置決めテーブルにおいて好ましくは、ベース部材の表面に沿う方向に移動可能な第1のくさび部材と、テーブル部材に固定され、第1のくさび部材と斜面で互いに摺動可能に接し、第1のくさび部材の移動によりベース部材の表面に対して垂直に移動可能な第2のくさび部材をさらに設けている。
これにより、テーブル部材がベース部材に対して垂直方向に移動が可能となる。よって、上記構成を加えることにより、3次元に自由に位置決め可能となる。
なお、上記板ばねの材質としては、ステンレス、リン青銅、樹脂を用いることが好ましい。
上記板ばねは、ブレーキ機構を動作させる時に板ばねに発生する応力が弾性限界を超えないことが好ましい。板ばねが塑性変形を起こすのを防止するためである。
板ばねの材質、厚さ、テーブル部材の端面と直動アクチュエータの押圧面との距離で定まる板ばねの剛性が、テーブル部材を移動させる部材の剛性よりも小さいことが好ましい。ブレーキ機構の動作により影響を受けないためである。
以上説明したように、本発明の位置決めテーブルによれば、可撓性のある板ばねを用いているため、ブレーキ機構を動作させても、位置決め後の目標位置に対し実際のテーブル部材との間に誤差を生じず、強固に固定される。また、位置決めのためにテーブルを移動させてもごみが発生しないことが可能となる
以下、本発明の実施の形態について図に基づいて説明する。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1における位置決めテーブル1Aを示す平面図である。図2は、図1の矢印A1方向から見た側面図である。図1および図2を参照して、位置決めテーブル1Aは、たとえば、テーブル部材2と、板ばね3と、板ばね固定板4と、挟持部材5と、ベース部材6と、直動案内7と、モータ8と、ボールねじ9とを有している。
図1は、本発明の実施の形態1における位置決めテーブル1Aを示す平面図である。図2は、図1の矢印A1方向から見た側面図である。図1および図2を参照して、位置決めテーブル1Aは、たとえば、テーブル部材2と、板ばね3と、板ばね固定板4と、挟持部材5と、ベース部材6と、直動案内7と、モータ8と、ボールねじ9とを有している。
ベース部材6にはX方向に並走する2つの直動案内7が設けられている。この2つの直動案内7の間にはボールねじ9が配置されている。このボールねじ9に回転駆動力を与えるために、ボールねじ9にはモータ8が連結されている。
2つの直動案内7に沿って、ベース部材6に対してX方向に移動可能なようにテーブル部材2が配置されている。このテーブル部材2は、ボールねじ9に噛み合うナットを下面に有している。テーブル部材2の対辺をなす一辺側と対辺側との各々には、ブレーキ機構が配置されている。このブレーキ機構は、板ばね3と挟持部材5とを有している。板ばね3は、テーブル部材2の対辺をなす一辺と他辺との各々に取り付けられている。また、挟持部材5は、テーブル部材2の対辺をなす一辺側と他辺側との各々に配置されており、ベース部材6に固定されている。
図3(A)および図3(B)を参照して、板ばね3は、テーブル部材2と板ばね固定板4とで挟み込まれ、板ばね固定板4の下面からボルト10で締め付けることにより、テーブル部材2に固定されている。
挟持部材5は、たとえば直動アクチュエータ5aと当て板5bとを有している。直動アクチュエータ5aは、当て板5b側に伸びる押圧部5a1と、その押圧部5a1を駆動するための駆動部5a2と、その駆動部5a2をベース部材6に支持するための支持部5a3とを有している。当て板5bはベース部材6に固定されている。
図4を参照して、板ばね3は、その長手方向の全体において板ばね固定板4とテーブル部材2とに挟まれている。これにより、板ばね3は、その長手方向の全体においてテーブル部材2に支持されている。
図1を参照して、板ばね3と挟持部材5とからなる複数のブレーキ機構は、上述のように、テーブル部材2の対辺をなす一辺側と他辺側とに分けて配置されていることが好ましい。また、一辺側に配置されたブレーキ機構と他辺側に配置されたブレーキ機構とは、テーブル部材2のX方向に沿った中心線C−Cに対して左右対称に配置されていることがさらに好ましい。
なお、直動アクチュエータ5aは、エアシリンダ、電動シリンダ、圧電アクチュエータ、電磁ソレノイド等であっても良い。また、直動案内7は、転がり直動案内、すべり案内、静圧案内等であっても良い。モータ8とボールねじ9は、リニアモータ、超音波モータ等の駆動源と、リニアスケール、レーザ測長機等の位置センサーを組み合わせた位置決め駆動系であってもよい。
次に、位置決めテーブル1Aの位置決め動作について図1〜図3を用いて説明する。
図1を参照して、モータ8によって駆動力が与えられることにより、ボールねじ9が回転する。これにより、ボールねじ9と噛み合うナットがボールねじ9の軸方向に移動する。このナットはテーブル部材2に固定されているため、テーブル部材2もボールねじ9の軸方向であるX方向に直動案内7に沿って移動し、目標の位置へ到達する。目標の位置へ到達した板ばね2はブレーキ機構により、その位置で固定される。ブレーキ機構によるブレーキ動作は以下のように行われる。
図3(B)を参照して、テーブル部材2の移動時には、板ばね3と挟持部材5との間には隙間がある。具体的には、板ばね3と直動アクチュエータ5aとの間、および板ばね3と当て板5bとの間には隙間がある。これにより、板ばね3はテーブル部材2の移動時に直動アクチュエータ5aや当て板5bに接触することはない。
テーブル部材2が目標の位置へ到達した時点でテーブル部材2の移動は停止し、駆動部5a2の駆動力により押圧部5a1が当て板5bに向けて伸びる。これにより、図3(A)に示すように、板ばね3は押圧部5a1と当て板5bとに挟まれて固定され、テーブル部材2は目標の位置においてベース部材6に固定される。この際、板ばね3は可撓性を有しているため、弾性変形により容易にたわむ。
このブレーキ状態を解除する際には、直動アクチュエータ5aの押圧部5a1が駆動部5a2により当て板5bから離れる方向へ移動する。これにより、板ばね3は押圧部5a1および当て板5bと離れて、弾性変形により中立位置へ復帰する。
板ばね3には、たとえば、厚さ0.5mm、ヤング率200GPaのステンレス(SUS304)板が用いられている。直動アクチュエータ5aの押圧部5a1の下面と当て板5bの上面の間隔は、たとえば1.5mmである。よって、直動アクチュエータ5aと板ばね3とにできる隙間および、板ばね3と当て板5bとにできる隙間は、たとえば0.5mmとなる。そのため、図3(B)を参照して、挟持部材5を動作する前の状態で、直動アクチュエータ5aと板ばね3とにできる隙間および、板ばね3と当て板5bとにできる隙間は、各部品の取付け誤差や寸法誤差等を考慮しても、板ばね3と直動アクチュエータ5aまたは当て板5bとの接触を生じない程度に大きい。よって、テーブル部材2を移動させても摩擦粉等のごみは生じない。
また、図3(A)を参照して、押圧部5a1と当て板5bとで板ばね3を挟み込んで変形させた状態において、板ばね3に発生する応力が板ばね3の弾性限界を超えない。よって、板ばね3は塑性変形を生じないので、押圧部5a1と当て板5bとによる板ばね3の固定を解除すれば、板ばね3は固定前の中立状態に戻る。
さらに、板ばね3のヤング率などの材質、厚さ、およびテーブル部材2の端面2aと押圧部5a1との距離で定まる剛性が、直動案内7の剛性よりも小さい。よって、テーブル部材2は、直動案内7により自由に位置決めできる一方、挟持部材5の動作により直動案内7が影響を受けない。
以上、説明したように、板ばね3の厚みが薄く、かつ、可撓性を有しているため、板ばね3が柔軟にたわむ。そのため、直動アクチュエータ5aと板ばね3および、板ばね3と当て板5bとの接触をしない間隔で、板ばねを設けることができると共に、挟持部材5の動作によるテーブル部材2の変位を防止することが可能となる。
また、挟持部材5を2つ設けており、テーブル部材2の移動方向であるX方向から見て、テーブル部材2の重心に対して互いに点対称になるように配置されているため、X方向およびY方向の力に対してもテーブル部材2は変位を生じない。
さらに、板ばね3のX方向の全体に渡りテーブル部材2に均一に固定されるため、挟持部材5によりテーブル部材2を固定する力が強くなり、板ばね3とテーブル部材2が強固に固定される。
なお、本実施の形態はX方向に移動可能な位置決めテーブル1Aとしたが、移動方向はY方向でも良い。また、位置決めテーブルを2台積み重ねることにより、XY方向の位置決めテーブルにも同様に適用ができる。
(実施の形態2)
図5は、本発明の実施の形態2における位置決めテーブル1Bを示す平面図である。図6は、図5の矢印A2方向から見た側面図である。
図5は、本発明の実施の形態2における位置決めテーブル1Bを示す平面図である。図6は、図5の矢印A2方向から見た側面図である。
図5および図6を参照して、本実施の形態の構成は、実施の形態1の構成と比較して、テーブル部材2に直動アクチュエータ5aと当て板5bとを配置し、ベース部材6に板ばね3を配置する点において異なる。
直動アクチュエータ5aは、当て板5b側に伸びる押圧部5a1と、その押圧部5a1を駆動するための駆動部5a2と、その駆動部5a2をテーブル部材2に支持するための支持部5a3とを有している。本実施の形態では、支持部5a3と当て板5bとが一体化されている。
なお、これ以外の構成については上述した実施の形態1の構成とほぼ同じであるため、同一の構成要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
これにより、板ばね3は、実施の形態1と比較して、板ばね3のX方向の長さをテーブル部材2のX方向の長さよりも長くできる。
なお、本実施の形態はX方向に移動可能な位置決めテーブル1Bとしたが、移動方向はY方向でも良い。また、位置決めテーブルを2台積み重ねることにより、XY方向の位置決めテーブルにも同様に適用ができる。
(実施の形態3)
図7(A)は、本発明の実施の形態3における位置決めテーブル1Cを示す平面図である。ただし、位置決めテーブル1Cの作業台であるテーブル部材2は、内部の構造の理解を容易にするために図示を省略している。図7(B)は、図7(A)の矢印B方向から見た側面図である。ただし、テーブル部材2などの一部の図示を省略している。
図7(A)は、本発明の実施の形態3における位置決めテーブル1Cを示す平面図である。ただし、位置決めテーブル1Cの作業台であるテーブル部材2は、内部の構造の理解を容易にするために図示を省略している。図7(B)は、図7(A)の矢印B方向から見た側面図である。ただし、テーブル部材2などの一部の図示を省略している。
図7(A)および図7(B)を参照して、本実施の形態の構成はZ方向に自由に位置決め可能な位置決めテーブル1Cであるため、実施の形態1の構成と比較して、くさび部材21〜24と、直動案内25〜27とを備えている点において異なる。また、本実施の形態では、ブレーキ機構をテーブル部材2の4箇所の角部に設けている点においても異なる。
ベース部材6の表面に、X方向に並走する2つの直動案内25が設けられている。この直動案内25に沿ってX方向にスライド可能になるように2つのくさび部材21、22が配置されている。このくさび部材21、22の各々には斜面が形成されており、各斜面にはX方向に並走する2つの直動案内26が設けられている。このくさび部材21、22の各々は、ボールねじ9に噛み合うナットを有している。
ボールねじ9は、図7(B)を参照して、くさび部材21を駆動するねじ9aと、くさび部材22を駆動するねじ9bを有している。ねじ9aとねじ9bは、ねじの向きは逆とし、ねじピッチは等しくされている。たとえば、ねじ9aは右ねじ、ねじ9bは左ねじとしている。
一方、テーブル部材2の下面には2つのくさび部材23、24が固定されている。このくさび部材23は、くさび部材21の直動案内26に沿って斜面上を摺動可能であり、くさび部材24はくさび部材22の直動案内26に沿って斜面上を摺動可能である。
図8は、位置決めテーブル1Cの上部の概略斜視図である。図8を参照して、テーブル部材2の対辺をなす一辺側および他辺側の双方の下面の各々には、支持板28が取り付けられている。1つの支持板28のX方向の両端部の各々には、板ばね3が取り付けられている。板ばね3の取付けは、支持板28と板ばね固定板4とで挟んだ状態でボルト10により締め付けることにより行われている。また、支持板28には、直動案内27が設けられている。
すなわち、直動案内25は、ベース部材6に対してくさび部材21、22のそれぞれを相対的に案内するものである。直動案内26は、くさび部材23、24に対してくさび部材21、22をそれぞれ相対的に案内するものである。直動案内27は、ベース部材6に対してテーブル部材2を案内するものである。
図7(A)を参照して、板ばね3を両側から挟み込んで固定するための直動アクチュエータ5aと当て板5bとがベース部材6に固定されている。この直動アクチュエータ5aと当て板5bよりなる挟持部材5と、板ばね3とを有するブレーキ機構は、たとえば4つ設けられている。また、4個のブレーキ機構の各々がテーブル部材2の移動方向から見て、テーブル部材2の重心Gに対して互いに点対称となるように配置されている。
なお、これ以外の構成については上述した実施の形態1の構成とほぼ同じであるため、同一の構成要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
次に、位置決めテーブル1Cの位置決め動作について図7〜図9を用いて説明する。
図7を参照して、モータ8によって駆動力が与えられることにより、ボールねじ9が回転する。これにより、ボールねじ9と噛み合うナットがボールねじ9の軸方向に移動する。このナットはくさび部材21、22にそれぞれ固定されているため、くさび部材21、22もボールねじ9の軸方向に直動案内25に沿って、この際、くさび部材21、22は互いに逆方向へ同等の量だけ移動する。つまり、くさび部材21、22のいずれか一方が図中右側に移動するときにはいずれか他方は図中左側に移動する。同時に、くさび部材21、22の移動に伴い、くさび部材23、24は、くさび部材21、22の直動案内26に沿って斜面上を移動する。このとき、くさび21とくさび22とが互いに近づくように移動するときは、くさび部材23とくさび部材24とはZ方向に沿って図中上側へ移動し、くさび部材21とくさび部材22とが互いに離れるように移動するときには、くさび部材23とくさび部材24とはZ方向に沿って図中下側へ移動する。これにより、テーブル部材2はベース部材6の表面に対して垂直な方向であるZ方向に移動する。このようにして、図9(A)に示すようにZ方向について、テーブル部材2は目標の位置に到達する。
次に、目標の位置にテーブル部材2を位置決めすると、図8に示すように、上述した実施の形態1と同様に、4つのブレーキ機構において、板ばね3を直動アクチュエータ5aと当て板5bで挟持して固定し、ブレーキを動作させる。
以上、説明したように、ベース部材6の表面に沿う方向に移動可能なくさび部材21、22と、テーブル部材2に固定されているくさび部材23、24とが、斜面で互いに摺動可能に直動案内26を介して接することにより、ベース部材6の表面に対して垂直に移動が可能となる。その目標の位置で板ばね3と挟持部材5とからなる本発明のブレーキ機構を用いることで、板ばね3を挟持してもテーブル部材2は変位を生じない。また、本実施の形態では2組のくさび部材を相対移動させているので、位置決めテーブル1Cをコンパクト化できる。なお、1組の摺動可能なくさび部材でも、Z方向の移動は可能であり、自由に位置決めできる。
また、4個のブレーキ機構の各々が重心Gに対して点対称となるように配置されているので、位置決め後の目標位置に対し、実際のテーブル部材は、移動方向の位置のずれのみならず、テーブル部材の傾きをより一層抑制することができる。
なお、本実施の形態3はZ方向に移動可能な位置決めテーブル1Cとしたが、上述した位置決めテーブル1Aおよび1Bのうちのいずれか2台あるいは3台積み重ねることにより、XYZ方向の位置決めテーブルにも同様に適用ができる。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 位置決めテーブル、2 テーブル部材、3 板ばね、4 板ばね固定板、5 挟持部材、6 ベース部材、7 直動案内、8 モータ、9 ボールねじ、10 ボルト、21〜24 くさび部材、25〜27 直動案内。
Claims (8)
- ベース部材と、
前記ベース部材に対して少なくとも一方向に移動可能なテーブル部材と、
前記ベース部材および前記テーブル部材のいずれか一方に固定された板ばねと、
前記ベース部材および前記テーブル部材のいずれか他方に固定され、かつ、前記板ばねを両側から挟み込む挟持部材とを備えた、位置決めテーブル。 - 前記挟持部材が直動アクチュエータと当て板とを有することを特徴とする、請求項1に記載の位置決めテーブル。
- 前記板ばねと前記挟持部材とを有するブレーキ機構が複数個設けられており、複数個の前記ブレーキ機構は前記テーブル部材の対辺をなす一辺側と他辺側とに分けて配置されている、請求項1または請求項2に記載の位置決めテーブル。
- 前記一辺側に配置された前記ブレーキ機構と前記他辺側に配置された前記ブレーキ機構とは、前記テーブル部材の移動方向に沿った中心線に対して左右対称に配置されている、請求項3に記載の位置決めテーブル。
- 前記板ばねの長手方向の全体が、前記テーブル部材および前記ベース部材のいずれか一方に支持されている、請求項1〜4のいずれかに記載の位置決めテーブル。
- 前記板ばねと前記挟持部材とを有するブレーキ機構が4個設けられており、
前記4個のブレーキ機構の各々が前記テーブル部材の移動方向から見て、前記テーブル部材の重心に対して互いに点対称となるように配置されている、請求項1〜5のいずれかに記載の位置決めテーブル。 - 前記板ばねの前記挟持部材と接触する部分および、前記挟持部材の前記板ばねと接触する部分の少なくともいずれかは、硬化処理層および耐摩耗性被膜のいずれか一方を有する、請求項1〜6のいずれかに記載の位置決めテーブル。
- 前記ベース部材の表面に沿う方向に移動可能な第1のくさび部材と、
前記テーブル部材に固定され、前記第1のくさび部材と斜面で互いに摺動可能に接し、前記第1のくさび部材の移動により前記ベース部材の表面に対して垂直に移動可能な第2のくさび部材とをさらに備えた、請求項1〜7のいずれかに記載の位置決めテーブル。
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JP2005012868A JP2006198721A (ja) | 2005-01-20 | 2005-01-20 | 位置決めテーブル |
Publications (1)
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JP (1) | JP2006198721A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102350679A (zh) * | 2011-09-30 | 2012-02-15 | 东港安全印刷股份有限公司 | 防伪特种号码机专用拆卸工具 |
-
2005
- 2005-01-20 JP JP2005012868A patent/JP2006198721A/ja not_active Withdrawn
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN102350679A (zh) * | 2011-09-30 | 2012-02-15 | 东港安全印刷股份有限公司 | 防伪特种号码机专用拆卸工具 |
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