JP5153583B2 - 駆動装置 - Google Patents
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Description
上記目的を達成するために、本発明の駆動装置は、ベース部材と、前記ベース部材に配置されるテーブル部材と、回転駆動力を発生するモータを備える駆動装置において、前記テーブル部材に設けられたねじ構造部に嵌合するねじ部と前記モータの回転軸に連結される連結部とを有し、前記モータで発生した回転駆動力により回転することで前記テーブル部材を前記ベース部材に対し相対移動させるねじ軸と、前記ねじ軸を回転しないように加圧して固定する加圧部材と、前記ベース部材と前記テーブル部材との間に前記ねじ軸の配設方向に沿って掛け渡されたバネを有する加圧機構と、を備え、前記加圧機構は、前記ベース部材における一方の側面部と前記テーブル部材における一方の側面部との間に前記ねじ軸の配設方向に沿って掛け渡された第1のバネと、前記ベース部材における他方の側面部と前記テーブル部材における他方の側面部との間に前記ねじ軸の配設方向に沿って掛け渡されると共に、前記第1のバネの加圧力とは異なる加圧力に設定された第2のバネを備えることを特徴とする。
上記目的を達成するために、本発明の駆動装置は、ベース部材と、前記ベース部材に配置されるテーブル部材と、回転駆動力を発生する振動波モータを備える駆動装置において、前記テーブル部材に設けられたねじ構造部に嵌合するねじ部と前記振動波モータの回転軸に連結される連結部とを有し、前記モータで発生した回転駆動力により回転することで前記テーブル部材を前記ベース部材に対し相対移動させるねじ軸と、前記ベース部材と前記テーブル部材との間に前記ねじ軸の配設方向に沿って掛け渡されたバネを有する加圧機構と、を備え、前記加圧機構は、前記ベース部材における一方の側面部と前記テーブル部材における一方の側面部との間に前記ねじ軸の配設方向に沿って掛け渡された第1のバネと、前記ベース部材における他方の側面部と前記テーブル部材における他方の側面部との間に前記ねじ軸の配設方向に沿って掛け渡されると共に、前記ベース部材と前記テーブル部材の前記一方の側面部から前記他方の側面部への透視方向において前記第1のバネに対して交差する位置関係に配置された第2のバネを備えることを特徴とする。
上記目的を達成するために、本発明の駆動装置は、ベース部材と、前記ベース部材に配置されるテーブル部材と、回転駆動力を発生する振動波モータを備える駆動装置において、前記テーブル部材に設けられたねじ構造部に嵌合するねじ部と前記振動波モータの回転軸に連結される連結部とを有し、前記モータで発生した回転駆動力により回転することで前記テーブル部材を前記ベース部材に対し相対移動させるねじ軸と、前記ベース部材と前記テーブル部材との間に前記ねじ軸の配設方向に沿って掛け渡されたバネを有する加圧機構と、を備え、前記加圧機構は、前記ベース部材における一方の側面部と前記テーブル部材における一方の側面部との間に前記ねじ軸の配設方向に沿って掛け渡された第1のバネと、前記ベース部材における他方の側面部と前記テーブル部材における他方の側面部との間に前記ねじ軸の配設方向に沿って掛け渡されると共に、前記第1のバネの加圧力とは異なる加圧力に設定された第2のバネを備えることを特徴とする。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る駆動装置としての小型駆動装置の構成を示す断面図である。図2は、小型駆動装置のボールねじの構成を示す断面図である。
図4は、本発明の第2の実施の形態に係る駆動装置としての小型駆動装置の構成を示す部分断面図である。
図5は、本発明の第3の実施の形態に係る駆動装置としての小型駆動装置の構成を示す断面図である。
図6は、本発明の第4の実施の形態に係る駆動装置としての小型駆動装置の構成を示す断面図である。
第1乃至第4の実施の形態では、本発明の駆動装置としての小型駆動装置の各種の構成例を説明したが、本発明の駆動装置は半導体製造装置・電子線加工装置・電子顕微鏡・検査装置等、様々な技術分野の各種装置において広範に使用することができる。
2、22、42 ベース
3、23、43 ナット
4、14、24、44 モータ
5、25、45 ねじ軸
6、26、46 カップリング
8 加圧部材
9 バネ
11、31、51 コントローラ
12、28、48 鋼球
15a、15b バネ
30a、30b バネ
50a、50b 一定荷重バネ
Claims (5)
- ベース部材と、前記ベース部材に配置されるテーブル部材と、回転駆動力を発生するモータを備える駆動装置において、
前記テーブル部材に設けられたねじ構造部に嵌合するねじ部と前記モータの回転軸に連結される連結部とを有し、前記モータで発生した回転駆動力により回転することで前記テーブル部材を前記ベース部材に対し相対移動させるねじ軸と、
前記ねじ軸を回転しないように加圧して固定する加圧部材と、
前記ベース部材と前記テーブル部材との間に前記ねじ軸の配設方向に沿って掛け渡されたバネを有する加圧機構と、を備え、
前記加圧機構は、
前記ベース部材における一方の側面部と前記テーブル部材における一方の側面部との間に前記ねじ軸の配設方向に沿って掛け渡された第1のバネと、
前記ベース部材における他方の側面部と前記テーブル部材における他方の側面部との間に前記ねじ軸の配設方向に沿って掛け渡されると共に、前記ベース部材と前記テーブル部材の前記一方の側面部から前記他方の側面部への透視方向において前記第1のバネに対して交差する位置関係に配置された第2のバネを備えることを特徴とする駆動装置。 - ベース部材と、前記ベース部材に配置されるテーブル部材と、回転駆動力を発生するモータを備える駆動装置において、
前記テーブル部材に設けられたねじ構造部に嵌合するねじ部と前記モータの回転軸に連結される連結部とを有し、前記モータで発生した回転駆動力により回転することで前記テーブル部材を前記ベース部材に対し相対移動させるねじ軸と、
前記ねじ軸を回転しないように加圧して固定する加圧部材と、
前記ベース部材と前記テーブル部材との間に前記ねじ軸の配設方向に沿って掛け渡されたバネを有する加圧機構と、を備え、
前記加圧機構は、
前記ベース部材における一方の側面部と前記テーブル部材における一方の側面部との間に前記ねじ軸の配設方向に沿って掛け渡された第1のバネと、
前記ベース部材における他方の側面部と前記テーブル部材における他方の側面部との間に前記ねじ軸の配設方向に沿って掛け渡されると共に、前記第1のバネの加圧力とは異なる加圧力に設定された第2のバネを備えることを特徴とする駆動装置。 - 前記ねじ軸の駆動時に、前記テーブル部材における移動目標位置からのずれ量を補正するための補正量を見込んで前記モータを制御する制御手段、を更に備えることを特徴とする請求項1または2に記載の駆動装置。
- ベース部材と、前記ベース部材に配置されるテーブル部材と、回転駆動力を発生する振動波モータを備える駆動装置において、
前記テーブル部材に設けられたねじ構造部に嵌合するねじ部と前記振動波モータの回転軸に連結される連結部とを有し、前記モータで発生した回転駆動力により回転することで前記テーブル部材を前記ベース部材に対し相対移動させるねじ軸と、
前記ベース部材と前記テーブル部材との間に前記ねじ軸の配設方向に沿って掛け渡されたバネを有する加圧機構と、を備え、
前記加圧機構は、
前記ベース部材における一方の側面部と前記テーブル部材における一方の側面部との間に前記ねじ軸の配設方向に沿って掛け渡された第1のバネと、
前記ベース部材における他方の側面部と前記テーブル部材における他方の側面部との間に前記ねじ軸の配設方向に沿って掛け渡されると共に、前記ベース部材と前記テーブル部材の前記一方の側面部から前記他方の側面部への透視方向において前記第1のバネに対して交差する位置関係に配置された第2のバネを備えることを特徴とする駆動装置。 - ベース部材と、前記ベース部材に配置されるテーブル部材と、回転駆動力を発生する振動波モータを備える駆動装置において、
前記テーブル部材に設けられたねじ構造部に嵌合するねじ部と前記振動波モータの回転軸に連結される連結部とを有し、前記モータで発生した回転駆動力により回転することで前記テーブル部材を前記ベース部材に対し相対移動させるねじ軸と、
前記ベース部材と前記テーブル部材との間に前記ねじ軸の配設方向に沿って掛け渡されたバネを有する加圧機構と、を備え、
前記加圧機構は、
前記ベース部材における一方の側面部と前記テーブル部材における一方の側面部との間に前記ねじ軸の配設方向に沿って掛け渡された第1のバネと、
前記ベース部材における他方の側面部と前記テーブル部材における他方の側面部との間に前記ねじ軸の配設方向に沿って掛け渡されると共に、前記第1のバネの加圧力とは異なる加圧力に設定された第2のバネを備えることを特徴とする駆動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008286639A JP5153583B2 (ja) | 2008-11-07 | 2008-11-07 | 駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008286639A JP5153583B2 (ja) | 2008-11-07 | 2008-11-07 | 駆動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010112501A JP2010112501A (ja) | 2010-05-20 |
JP5153583B2 true JP5153583B2 (ja) | 2013-02-27 |
Family
ID=42301202
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008286639A Active JP5153583B2 (ja) | 2008-11-07 | 2008-11-07 | 駆動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5153583B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Family Cites Families (5)
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JP3778757B2 (ja) * | 2000-01-28 | 2006-05-24 | 東芝機械株式会社 | 直動装置およびその駆動制御方法 |
JP4323733B2 (ja) * | 2001-07-17 | 2009-09-02 | キヤノン株式会社 | 位置制御方法および位置制御装置 |
JP2003042257A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-02-13 | Canon Inc | 移動体駆動装置 |
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-
2008
- 2008-11-07 JP JP2008286639A patent/JP5153583B2/ja active Active
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