JP2007213342A - テーブル位置制御装置及びテーブル移動装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】テーブル移動装置10は、テーブル移動機構100と、制御回路20とを含んで構成される。制御回路20は、指令取得部22と、指令データにx位置等をフィードバックするための減算器24と、指令データについて制御された出力である移動指令値等に変換する制御アルゴリズム部26と、x移動、y移動、θ回転の間の相互干渉を除去する処理を行う補正部28と、補正された移動指令値等を個々の気体圧制御アクチュエータの電流駆動指令に変換してテーブル移動機構100に供給する駆動信号変換部30と、テーブル移動機構100からの各センサのデータをx座標、y座標、回転角度θに変換して減算器24に入力する位置情報変換部32を含む。
【選択図】図1
Description
Claims (8)
- 複数の気体圧制御アクチュエータを用いて、テーブルをxy平面内の任意の位置に移動させ、またはz軸周りの任意の角度でθ回転させる制御を行なうテーブル位置制御装置であって、
テーブルのx軸移動に対し、y軸移動指令及びθ回転指令のそれぞれによって生じるx軸移動の擾乱を相殺し、
テーブルのy軸移動に対し、x軸移動指令及びθ回転指令のそれぞれによって生じるy軸移動の擾乱を相殺し、
テーブルのθ回転に対し、x軸移動指令及びy軸移動指令のそれぞれによって生じるθ回転の擾乱を相殺して、
テーブルの移動及び回転を補正する補正手段を備えることを特徴とするテーブル位置制御装置。 - 気体圧制御アクチュエータを用いて、テーブルをxy平面内の任意の位置に移動させ、またはz軸周りの任意の角度でθ回転させる制御を行なうテーブル位置制御装置であって、
テーブルのx軸移動指令に対し、y軸移動指令及びθ回転指令のそれぞれによって生じるx軸移動の擾乱をフィードバックし、
テーブルのy軸移動指令に対し、x軸移動指令及びθ回転指令のそれぞれによって生じるy軸移動の擾乱をフィードバックし、
テーブルのθ回転指令に対し、x軸移動指令及びy軸移動指令のそれぞれによって生じるθ回転の擾乱をフィードバックし、
各擾乱成分を相殺するように、x軸移動指令とy軸移動指令とθ回転指令とを補正する補正手段を備えることを特徴とするテーブル位置制御装置。 - 請求項2に記載のテーブル位置制御装置において、
テーブルのx軸移動指令に対してテーブルに生じるy軸移動の擾乱を表すxy伝達関数と、
テーブルのx軸移動指令に対してテーブルに生じるθ回転の擾乱を表すxθ伝達関数と、
テーブルのy軸移動指令に対してテーブルに生じるx軸移動の擾乱を表すyx伝達関数と、
テーブルのy軸移動指令に対してテーブルに生じるθ回転の擾乱を表すyθ伝達関数と、
テーブルのθ回転指令に対してテーブルに生じるx軸移動の擾乱を表すθx伝達関数と、
テーブルのθ回転指令に対してテーブルに生じるy軸移動の擾乱を表すθy伝達関数と、
を予め求めてそれぞれ記憶する記憶部を備え、
補正手段は、
テーブルのx軸移動指令に対し、記憶部に記憶されているyx伝達関数とθx伝達関数とに基づいてx軸移動指令を補正し、
テーブルのy軸移動指令に対し、記憶部に記憶されているxy伝達関数とθy伝達関数とに基づいてy軸移動指令を補正し、
テーブルのθ回転指令に対し、記憶部に記憶されているxθ伝達関数とyθ伝達関数とに基づいてθ回転指令を補正することを特徴とするテーブル位置制御装置。 - 請求項2又は請求項3に記載のテーブル制御装置において、
補正手段は、
テーブルを移動及び回転駆動する複数の気体圧制御アクチュエータの各駆動電流指令に対し補正を行うことを特徴とするテーブル制御装置。 - x軸に垂直なx駆動辺とy軸に垂直なy駆動辺とを有するテーブルと、
x駆動辺においてy方向に離間して配置され、x駆動辺を協働して駆動する少なくとも2つのx駆動用気体圧制御アクチュエータと、
y駆動辺を駆動する少なくとも1つのy駆動用気体圧制御アクチュエータと、
各気体圧制御アクチュエータを制御し、テーブルをxy平面内の任意の位置に移動させ、またはz軸周りの任意の角度でθ回転させる制御を行なう制御部と、
を備え、
制御部は、
テーブルのx軸移動指令に対し、y軸移動指令及びθ回転指令のそれぞれによって生じるx軸移動の擾乱をフィードバックし、
テーブルのy軸移動指令に対し、x軸移動指令及びθ回転指令のそれぞれによって生じるy軸移動の擾乱をフィードバックし、
テーブルのθ回転指令に対し、x軸移動指令及びy軸移動指令のそれぞれによって生じるθ回転の擾乱をフィードバックし、
各擾乱成分を相殺するように、x軸移動指令とy軸移動指令とθ回転指令とを補正する補正手段を備えることを特徴とするテーブル移動装置。 - x軸に垂直なx駆動辺とy軸に垂直なy駆動辺とを有するテーブルと、
x駆動辺においてy方向に離間して配置され、x駆動辺を協働して駆動する少なくとも2つのx駆動用気体圧制御アクチュエータと、
y駆動辺を駆動する少なくとも1つのy駆動用気体圧制御アクチュエータと、
テーブルの中心部である代表位置から離れた周辺部に配置され、テーブルの移動及び回転を検出する複数のセンサと、
複数のセンサの検出値に基づいて各気体圧制御アクチュエータを制御し、テーブルの代表位置をxy平面内の任意の位置に移動させ、またはz軸周りの任意の角度でθ回転させる制御を行なう制御部と、
を備え、
制御部は、
テーブルの代表位置についてのx軸移動指令に対し、y軸移動指令及びθ回転指令のそれぞれによって生じるx軸移動の擾乱をフィードバックし、
テーブルの代表位置についてのy軸移動指令に対し、x軸移動指令及びθ回転指令のそれぞれによって生じるy軸移動の擾乱をフィードバックし、
テーブルの代表位置についてのθ回転指令に対し、x軸移動指令及びy軸移動指令のそれぞれによって生じるθ回転の擾乱をフィードバックし、
各擾乱成分を相殺するように、x軸移動指令とy軸移動指令とθ回転指令とを補正する補正手段を備えることを特徴とするテーブル移動装置。 - 請求項6に記載のテーブル移動装置において、
制御部は、
テーブルの代表位置についての補正後のx軸移動指令と、補正後のθ回転指令とに基づいて、x駆動用の各気体圧制御アクチュエータに対する電流駆動指令を生成することを特徴とするテーブル移動装置。 - 請求項6に記載のテーブル移動装置において、
複数のセンサは、x駆動辺においてy軸方向に離間して配置され、その離間した位置におけるテーブルのx方向の変位を検出する2つのx変位センサを含み、
制御部は、2つのx変位センサの検出値に基づいて、テーブルの代表位置についてのx方向の移動量と、z軸周りのθ回転量とを求め、それぞれテーブルの代表位置についてのx軸移動指令及びθ回転指令にそれぞれフィードバックすることを特徴とするテーブル移動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006032916A JP2007213342A (ja) | 2006-02-09 | 2006-02-09 | テーブル位置制御装置及びテーブル移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006032916A JP2007213342A (ja) | 2006-02-09 | 2006-02-09 | テーブル位置制御装置及びテーブル移動装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007213342A true JP2007213342A (ja) | 2007-08-23 |
Family
ID=38491716
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2006032916A Pending JP2007213342A (ja) | 2006-02-09 | 2006-02-09 | テーブル位置制御装置及びテーブル移動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007213342A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR200473588Y1 (ko) | 2012-08-27 | 2014-07-15 | 루 융-쿠이 | 이동 상태 중에 오차를 즉시 보정할 수 있는 이동 장치 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08118171A (ja) * | 1994-10-20 | 1996-05-14 | Toppan Printing Co Ltd | 水平移動テーブル |
JPH08314517A (ja) * | 1995-05-18 | 1996-11-29 | Canon Inc | 可動ステージ装置 |
JP2000267732A (ja) * | 1999-03-17 | 2000-09-29 | Canon Inc | ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法 |
-
2006
- 2006-02-09 JP JP2006032916A patent/JP2007213342A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100223 |
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