JP2010256298A - XYθステージ機構および引っ張りばねの脱着装置 - Google Patents
XYθステージ機構および引っ張りばねの脱着装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】ベース10に滑動自在に支持されたアライメントテーブル11と、アライメントテーブル11をベース10に対し、X・Y・θ方向に位置決めする位置調整機構(12〜14)と、アライメントテーブル11をX軸方向の一方の側面部11a側に押圧し、アライメントテーブル11を位置調整機構(12〜14)で位置決めされた位置に固定する押圧機構(16〜19)と、アライメントテーブル11に対する押圧機構(16〜19)の押圧力を解除し、アライメントテーブル11をベース10に対してフリー状態にするメンテナンス用治具20とを具備して構成される。
【選択図】 図1
Description
X軸方向の位置調整機構12は、押圧傾斜面12sをもつ可動ブロック12Bを具備して構成される。この可動ブロック12Bは、ベース10の位置調整機構支持領域においてY軸方向(矢印a方向)に移動自在に設けられ、一端側に押圧傾斜面12sを有し、他端側に回転軸12cの当接面を有する。調整ハンドル12aを回転操作(例えば右方向に回転操作)すると、調整ハンドル12aに一体に設けられて支持ブロック12bに螺合された回転軸12cの先端が可動ブロック12Bの当接面を図示矢印a方向に押し、可動ブロック12Bを同方向に移動させる。この移動に伴い押圧傾斜面12sに接するX方向移動量伝達ローラー15を介してアライメントテーブル11がX軸方向に移動し、調整ハンドル12aの回転操作量に応じてアライメントテーブル11がX軸方向に位置調整される。Y軸方向の位置調整機構13,14はアライメントテーブル11のY軸方向に沿い、間隔を存して設けられるもので、Y方向およびθ方向(X・Yの傾き)の位置調整機構を構成する。位置調整機構13,14の調整ハンドル13a,14aを同量操作することでアライメントテーブル11がY軸方向に位置調整され、調整ハンドル13a,14aを個別に操作することでアライメントテーブル11がθ方向に位置調整される。
Claims (4)
- ベースと、
前記ベースに滑動自在に支持されたアライメントテーブルと、
前記アライメントテーブルのX軸方向の一方側面部及びY軸方向の一方側面部に接して前記アライメントテーブルを前記ベースに対しX・Y・θ方向に位置決めする位置調整機構と、
前記アライメントテーブルのX軸方向の他方側面部に接して前記アライメントテーブルを前記X軸方向の一方の側面部側に押圧し前記アライメントテーブルを前記位置調整機構で位置決めされた位置に固定する押圧機構と、
前記アライメントテーブルに対する前記押圧機構の押圧力を解除し前記アライメントテーブルを前記ベースに対してフリー状態にするメンテナンス用治具とを具備し、
前記押圧機構は、
前記アライメントテーブルの前記X軸方向の他方の側面部に、Y軸方向に間隔を存して接する一対の押圧ローラーと、
前記押圧ローラーをそれぞれ回転自在に支持する一対の回動アームと、
前記一対の回動アーム相互の間に着脱可能に掛止されて前記押圧ローラーに押圧力を付与する引っ張りコイルばねとを具備し、
前記メンテナンス用治具は、
前記引っ張りコイルばねのコイル間の隙間に嵌挿されて前記引っ張りコイルばねを伸張状態に保つ複数の差し込み片と、この複数の差し込み片を一定の間隔を保ち支持する支持軸とを具備して構成されたことを特徴とするXYθステージ機構。 - 部材相互間に張設された引っ張りコイルばねの脱着装置であって、
前記引っ張りコイルばねのコイル間の隙間に嵌挿されて、前記引っ張りコイルばねを伸張状態に保つ複数の差し込み片と、
前記複数の差し込み片を一定の間隔を保ち支持する支持軸と
を具備したことを特徴とする引っ張りコイルばねの脱着装置。 - 前記差し込み片は、一端に、前記引っ張りコイルばねのコイル間の隙間に嵌挿されるフィンを有し、他端に、前記支軸部に軸着される軸着用孔を有する帯状の板状体により構成されていることを特徴とする請求項2に記載の引っ張りコイルばねの脱着装置。
- 前記板状体は、薄板状のシムにより構成され、前記シムの重ね合わせ枚数により前記フィンの厚さが規定されることを特徴とする請求項3に記載の引っ張りコイルばねの脱着装置。
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